特開2024-122710遊星式スピンコーターおよびスピンコート方法

発明の名称　遊星式スピンコーターおよびスピンコート方法

出願人　独立行政法人国立高等専門学校機構　（識別番号 504237050）

　　　　特許公開件数ランキング 1070 位（44件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1789 位（31件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-122710

公報発行日　2024年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-122710

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