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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024122758
(43)【公開日】2024-09-09
(54)【発明の名称】粘着剤組成物、および、粘着シート
(51)【国際特許分類】
C09J 133/06 20060101AFI20240902BHJP
C09J 133/14 20060101ALI20240902BHJP
C09J 11/08 20060101ALI20240902BHJP
C09J 11/06 20060101ALI20240902BHJP
C09J 7/38 20180101ALI20240902BHJP
【ＦＩ】
C09J133/06
C09J133/14
C09J11/08
C09J11/06
C09J7/38
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023030477
(22)【出願日】2023-02-28
(71)【出願人】
【識別番号】000003964
【氏名又は名称】日東電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110003845
【氏名又は名称】弁理士法人籾井特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】千葉 みずほ
(72)【発明者】
【氏名】秋山 淳
(72)【発明者】
【氏名】北河 大葵
【テーマコード（参考）】
4J004
4J040
【Ｆターム（参考）】
4J004AA10
4J004AB01
4J004AB07
4J004CB03
4J004CC02
4J004FA08
4J040DF031
4J040DF061
4J040EF101
4J040EF262
4J040GA02
4J040GA05
4J040JA09
4J040JB08
4J040JB09
4J040KA13
4J040KA16
4J040LA01
4J040LA06
4J040NA20
(57)【要約】
【課題】紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘剤組成物およびこの粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を備える粘着シートを提供すること。
【解決手段】本発明の実施形態の粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。
【選択図】図１
【解決手段】本発明の実施形態の粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む、粘着剤組成物。
【請求項2】
前記ポリオールが第二級アルコールである、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項3】
前記ポリオールがポリプロピレングリコールユニットを含む、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項4】
放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含む、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項5】
前記ポリオール誘導体が、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている、請求項４に記載の粘着剤組成物。
【請求項6】
前記（メタ）アクリル系ポリマーが側鎖に水酸基を有し、かつ、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている、請求項１に記載の粘着剤組成物。
【請求項7】
前記（メタ）アクリル系ポリマーが少なくとも一方の末端に、水酸基を有する、または、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている、請求項６に記載の粘着剤組成物。
【請求項8】
請求項１から７のいずれか１項に記載の粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、
基材と、を備える、粘着シート。
基材と、を備える、粘着シート。
【請求項9】
前記粘着剤層が、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーと、を含む、請求項８に記載の粘着シート。
【請求項10】
半導体ウエハ加工用粘着シートである、請求項８に記載の粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、粘着剤組成物、および、粘着シートに関する。
【背景技術】
【0002】
粘着シートは、被着体の表面保護、および、固定を目的として広く用いられている。例えば、半導体ウエハの加工工程では、被着体である半導体ウエハをバックグラインド工程、および、ダイシング工程で適切に保持するために用いられる。近年、チップの微細化および薄型化が進められており、加工時に半導体ウエハを薄く研削しても半導体ウエハを適切に保持可能な粘着力が要求される。また、近年、半導体チップの高性能化に伴い、半導体チップの表面構造が複雑化している。そのため、より複雑な表面形状にも追従し、加工時に半導体ウエハを固定可能な粘着力を有する粘着シートが求められている。しかしながら、粘着力の高い粘着シートでは剥離時にウエハを破損するおそれがある。そのため、加工後は容易に被着体から剥離することができる軽剥離な粘着シートが求められている。このような粘着剤組成物としては、紫外線硬化型粘着剤を用いる粘着シートが提案されている（例えば、特許文献１）。粘着剤層を形成する粘着剤としては、溶剤を用いた粘着剤が広く用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－３１６２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物、および、この粘着剤組成物を用いて形成される粘着剤層を備える粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
１．本発明の実施形態の粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。
２．上記１に記載の粘着剤組成物において、上記ポリオールは第二級アルコールであってもよい。
３．上記１または２に記載の粘着剤組成物において、上記ポリオールはポリプロピレングリコールユニットを含んでいてもよい。
４．上記１から３のいずれかに記載の粘着剤組成物は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含んでいてもよい。
５．上記４に記載の粘着剤組成物において、ポリオール誘導体は、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
６．上記１から５のいずれかに記載の粘着剤組成物において、上記（メタ）アクリル系ポリマーは側鎖に水酸基を有し、かつ、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
７．上記５に記載の粘着剤組成物において、上記（メタ）アクリル系ポリマーは少なくとも一方の末端に、水酸基を有していてもよく、または、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
８．本発明の実施形態の別の局面においては、粘着シートが提供される。この粘着シートは、上記１から７のいずれかに記載の粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、基材と、を備える。
９．上記８に記載の粘着シートにおいて、上記粘着剤層は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーと、を含んでいてもよい。
１０．上記８または９に記載の粘着シートは、半導体ウエハ加工用粘着シートであってもよい。
２．上記１に記載の粘着剤組成物において、上記ポリオールは第二級アルコールであってもよい。
３．上記１または２に記載の粘着剤組成物において、上記ポリオールはポリプロピレングリコールユニットを含んでいてもよい。
４．上記１から３のいずれかに記載の粘着剤組成物は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含んでいてもよい。
５．上記４に記載の粘着剤組成物において、ポリオール誘導体は、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
６．上記１から５のいずれかに記載の粘着剤組成物において、上記（メタ）アクリル系ポリマーは側鎖に水酸基を有し、かつ、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
７．上記５に記載の粘着剤組成物において、上記（メタ）アクリル系ポリマーは少なくとも一方の末端に、水酸基を有していてもよく、または、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。
８．本発明の実施形態の別の局面においては、粘着シートが提供される。この粘着シートは、上記１から７のいずれかに記載の粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、基材と、を備える。
９．上記８に記載の粘着シートにおいて、上記粘着剤層は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーと、を含んでいてもよい。
１０．上記８または９に記載の粘着シートは、半導体ウエハ加工用粘着シートであってもよい。
【発明の効果】
【0006】
本発明の実施形態によれば、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が提供され得る。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
Ａ．粘着剤組成物
本発明の実施形態の粘着剤組成物は側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。本発明の実施形態の粘着剤組成物は、溶媒としてポリオールを含む。この粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を備える粘着シートは、架橋工程にさらに供され、粘着剤層中で側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールとが、イソシアネート系架橋剤により架橋され得る。その結果、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーの２種の活性エネルギー線硬化成分を含む粘着剤層を備える粘着シートが得られ得る。これらは粘着剤層に紫外線を照射することで硬化し得る。粘着剤組成物に含まれる溶媒であるポリオールも粘着剤層に含まれる硬化成分となるため、紫外線照射後には粘着剤層に含まれる溶媒の量は格段に低減され得る。また、形成される粘着剤層は濡れ性が良好であるので、より表面構造が複雑な半導体ウエハの加工にも好適に用いられ得る。本明細書において、（メタ）アクリルとは、アクリルおよび／またはメタクリルをいう。
本発明の実施形態の粘着剤組成物は側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。本発明の実施形態の粘着剤組成物は、溶媒としてポリオールを含む。この粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を備える粘着シートは、架橋工程にさらに供され、粘着剤層中で側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールとが、イソシアネート系架橋剤により架橋され得る。その結果、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたオリゴマーの２種の活性エネルギー線硬化成分を含む粘着剤層を備える粘着シートが得られ得る。これらは粘着剤層に紫外線を照射することで硬化し得る。粘着剤組成物に含まれる溶媒であるポリオールも粘着剤層に含まれる硬化成分となるため、紫外線照射後には粘着剤層に含まれる溶媒の量は格段に低減され得る。また、形成される粘着剤層は濡れ性が良好であるので、より表面構造が複雑な半導体ウエハの加工にも好適に用いられ得る。本明細書において、（メタ）アクリルとは、アクリルおよび／またはメタクリルをいう。
【0009】
粘着剤組成物の２５℃における粘度は、好ましくは３０ｍＰａ・ｓ以下であり、より好ましくは２０ｍＰａ・ｓ以下であり、さらに好ましくは１０ｍＰａ・ｓ以下である。また、２５℃における粘度は、例えば、１ｍＰａ・ｓ以上である。粘度が上記範囲であれば常温塗工が可能な粘着剤溶液が得られ得る。また、半導体ウエハを加工時にＳｉ（シリコン）ウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る。粘着剤組成物の粘度は、任意の適切な方法で測定することができる。例えば、Ｂ型粘度計を用いることにより測定することができる。
【0010】
Ａ－１．側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマー
側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーは、任意の適切な方法により得られ得る。例えば、任意の適切なモノマー組成物を重合することにより得られた（メタ）アクリル系ポリマーの側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入することにより得られ得る。好ましくは側鎖および末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーが用いられる。側鎖および末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていれば、紫外線照射前にはさらに優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が提供され得る。なお、末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入される場合、少なくとも一方の末端に導入されていればよい。
側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーは、任意の適切な方法により得られ得る。例えば、任意の適切なモノマー組成物を重合することにより得られた（メタ）アクリル系ポリマーの側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入することにより得られ得る。好ましくは側鎖および末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーが用いられる。側鎖および末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていれば、紫外線照射前にはさらに優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が提供され得る。なお、末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入される場合、少なくとも一方の末端に導入されていればよい。
【0011】
側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーは、好ましくは側鎖に水酸基を有する。１つの実施形態において、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーは側鎖に、（ｉ）放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入され、かつ、水酸基を有することが好ましく、側鎖に、（ｉ）放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入され、かつ、水酸基を有し、（ｉｉ）少なくとも一方の末端に、水酸基を有する、または、（ｉｉｉ）少なくとも一方の末端に、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていることがより好ましい。紫外線照射前にはさらに優れた粘着力をさらに発揮し、紫外線照射後には糊残りがより低減された被着体から剥離し得る粘着剤組成物が提供され得る。上記のとおり、末端に水酸基を有する場合、少なくとも一方の末端に水酸基を有していればよい。
【0012】
Ａ－１－１．モノマー組成物
上記のとおり、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入される（メタ）アクリル系ポリマーは、任意の適切なモノマーを重合することにより得られ得る。モノマー組成物が含むモノマーとしては、任意の適切なアクリル系モノマー、および、任意のこれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。これらのモノマーは１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせてもよい。
上記のとおり、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入される（メタ）アクリル系ポリマーは、任意の適切なモノマーを重合することにより得られ得る。モノマー組成物が含むモノマーとしては、任意の適切なアクリル系モノマー、および、任意のこれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。これらのモノマーは１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせてもよい。
【0013】
アクリル系モノマーとしては、代表的には、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが用いられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルは１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。モノマー組成物に含まれる全モノマー成分に対する（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有割合は、任意の適切な割合に調整され得る。モノマー組成物に含まれる全モノマー成分の合計に対する（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有割合は、好ましくは５０重量％～９５重量％であり、より好ましくは５０重量％～８０重量％である。
【0014】
モノマー組成物は、好ましくは水酸基を有するアクリル系モノマーを含む。水酸基を有するアクリル系モノマーを用いれば、側鎖または末端に水酸基を有する（メタ）アクリル系ポリマーが得られ得る。１つの実施形態において、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する（メタ）アクリル系ポリマーは、好ましくは側鎖に水酸基を有し、より好ましくは側鎖および末端の両方に水酸基を有する。側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する（メタ）アクリル系ポリマーが、側鎖および末端の両方に水酸基を有していれば、イソシアネート系架橋剤による架橋反応で、（メタ）アクリル系ポリマーの鎖延長反応が生じ得る。その結果、得られる粘着剤組成物の凝集力が向上し、被着体（例えば、Ｓｉウエハ）に対する初期粘着力がさらに向上し得る。水酸基を有するアクリル系モノマーとしては任意の適切なモノマーが挙げられる。例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシへキシル（メタ）アクリレート、６－ヒドロキシへキシル（メタ）アクリレート、８－ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、１０－ヒドロキシデシル（メタ）アクリレート、１２－ヒドロキシラウリル（メタ）アクリレート、（４－ヒドロキシメチルシクロへキシル）メチルアクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、Ｎ－ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。好ましくは、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチルアクリレートが挙げられる。これらのモノマーを用いることにより、ポリオールとの相溶性が良い（メタ）アクリル系ポリマーが得られ得る。また、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には粘着力が十分に低下し得る粘着シートを提供し得る。これらのモノマーは、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0015】
モノマー組成物に含まれる全モノマー成分の合計に対する水酸基を有するアクリル系モノマーの含有割合は、好ましくは３０重量％以下であり、より好ましくは２０重量％以下であり、さらに好ましくは１５重量％以下である。モノマー組成物に含まれる全モノマー成分の合計に対する水酸基を有するアクリル系モノマーの含有割合は、例えば、５重量％以上である。水酸基を有するアクリル系モノマーの含有割合が上記範囲であれば、得られる粘着剤組成物から形成される粘着剤層が紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る。
【0016】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル、および、水酸基を有するアクリル系モノマーと共重合可能なモノマーとしては、任意の適切なモノマーを用いることができる。例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、アクリロイルモルフォリン等の窒素含有モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル等の（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド等のマレイミド系モノマー；Ｎ－メチルイタコンイミド、Ｎ－エチルイタコンイミド等のイタコンイミド系モノマー；スクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ－ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン等のビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール等のグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレート等の複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子等を有するアクリル酸エステル系モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレン等のオレフィン系モノマー；ビニルエーテル等のビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。モノマー組成物に含まれる全モノマー成分に対する共重合可能なモノマーの含有割合は、任意の適切な割合に調整され得る。好ましくは５０重量％～９５重量％であり、より好ましくは５０重量％～８０重量％である。
【0017】
モノマー組成物は、適切な添加剤がさらに含まれていてもよい。例えば連鎖移動剤、重合開始剤等が挙げられる。
【0018】
重合開始剤としては、任意の適切な重合開始剤を用いることができる。例えば、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（２－アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２’－アゾビス［２－（５－メチル－２－イミダゾリン－２－イル）プロパン］ジヒドロクロライド、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオンアミジン）二硫酸塩、２，２’－アゾビス（Ｎ，Ｎ’－ジメチレンイソブチルアミジン）などのアゾ系重合開始剤；過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩；ベンゾイルパーオキサイド、ｔ－ブチルハイドロパーオキサイド、過酸化水素などの過酸化物系重合開始剤；過酸化物とアスコルビン酸との組み合わせ（過酸化水素水とアスコルビン酸との組み合わせ等）、過酸化物と鉄（ＩＩ）塩との組み合わせ（過酸化水素水と鉄（ＩＩ）塩との組み合わせ等）、過硫酸塩と亜硫酸水素ナトリウムとの組み合わせ等による、過酸化物と還元剤との組み合わせによるレドックス系重合開始剤が挙げられる。重合開始剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0019】
重合開始剤は、用いる重合開始剤の種類およびモノマー組成物の組成などに応じて任意の適切な量で用いることができる。重合開始剤の含有量は、例えば、モノマー組成物１００重量部に対して０．０１重量部～１重量部であり、好ましくは０．０２重量部～０．５重量部である。
【0020】
連鎖移動剤としては任意の適切な連鎖移動剤が用いられる。例えば、ドデシルメルカプタン（ドデカンチオール）、ラウリルメルカプタン、グリシジルメルカプタン、２－メルカプトエタノール、メルカプト酢酸、チオグリコール酸２－エチルヘキシル、２，３－ジメルカプト－１－プロパノール等のメルカプタン類、α－メチルスチレンダイマー、チオカルボニルチオ化合物（ＲＡＦＴ（ｒｅｖｅｒｓｉｂｌｅ ａｄｄｉｔｉｏｎ－ｆｒａｇｍｅｎｔａｔｉｏｎ ｃｈａｉｎ ｔｒａｎｓｆｅｒ）剤）等が挙げられる。好ましくは、２－メルカプトエタノール、３－メルカプト－１，２－プロパンジオール、トリチオ炭酸＝ビス[４－（２，３－ジヒドロキシプロポキシカルボニル）ベンジル]、トリチオ炭酸ビス｛４－［エチル－（２－ヒドロキシエチル）カルボモイル］ベンジル｝、トリチオ炭酸＝ビス［４－（２－ヒドロキシエトキシカルボニル）ベンジル］が用いられる。これらの連鎖移動剤を用いれば、側鎖および末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーがより容易に得られ得る。連鎖移動剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。連鎖移動剤の含有量は、モノマー組成物１００重量部に対して、例えば、０．００１重量部～０．５重量部である。
【0021】
（メタ）アクリル系ポリマーの重合は、任意の適切な方法で行うことができる。例えば、任意の適切なモノマー、重合開始剤、および、連鎖移動剤等の任意の適切な添加剤を重合用の反応容器に添加し、攪拌しながら加熱することにより行う。反応時間、および、反応温度は任意の適切な値に設定することができる。反応時間は、例えば、４時間～８時間であり、好ましくは６時間～８時間である。反応温度は、例えば、６０℃～８０℃であり、好ましくは６０℃～７０℃である。
【0022】
１つの実施形態においては、（メタ）アクリル系ポリマーの重合に用いられる溶媒としてポリオールが用いられる。溶媒がポリオールであれば、粘着剤層での架橋工程により粘着剤層に含まれる溶媒の含有量を格段に低減し得る。ポリオールとしては、後述するポリオールが挙げられる。
【0023】
ポリオールを（メタ）アクリル系ポリマーの重合の溶媒として用いる場合、ポリオールとモノマー組成物との重量比は、好ましくは３０：７０～７０：３０であり、より好ましくは３５：６５～６５：３５であり、さらに好ましくは４０：６０～６０：４０である。ポリオールとモノマー組成物との重量比が上記範囲であれば、粘着剤組成物が室温で塗工可能な粘度（例えば、２５℃の粘度）の範囲内で、ポリオールと（メタ）アクリル系ポリマーの分子量が大きくなり、より適切な架橋密度と凝集性とを有し、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が得られ得る。
【0024】
上記のとおり、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーは、任意の適切な方法により得られ得る。例えば、（メタ）アクリル系ポリマーと放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物とを反応（例えば、縮合反応、付加反応）させることにより得られ得る。（メタ）アクリル系ポリマーと、放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物と、を反応させる場合、（メタ）アクリル系ポリマーおよび放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物はそれぞれ、互いに反応可能な官能基を有することが好ましい。官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシル基／エポキシ基、カルボキシル基／アジリジン基、ヒドロキシル基／イソシアネート基等が挙げられる。これらの官能基の組み合わせの中でも、反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組み合わせが好ましい。
【0025】
放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物としては、例えば、２－イソシアネートエチルメタクリレート、メタクリロイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（２－イソシアナトエチルメタクリレート）、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げられる。これらの化合物は１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0026】
放射線重合性炭素－炭素二重結合の導入は、（メタ）アクリル系ポリマーを含む溶液に放射線重合性炭素－炭素を有する化合物を添加し、任意の適切な触媒の存在下で反応させることにより行われる。反応温度および反応時間は任意の適切な値に設定される。反応時間は、例えば、６時間～７２時間であり、好ましくは８時間～１２時間である。反応温度は、例えば、２３℃～６０℃であり、好ましくは４０℃～６０℃である。
【0027】
Ａ－２．ポリオール
ポリオールとしては、任意の適切なポリオールを用いることができる。例えば、多価アルコール類、アミン類、アルカノールアミン類、多価フェノール類等が挙げられる。具体的には、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、グリセリン、ヘキサントリオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール等の多価アルコール類；エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のアミン類；エタノールアミン、プロパノールアミン等のアルカノールアミン類；レゾルシン、ビスフェノール類等の多価フェノール類が挙げられる。より具体的には、例えば、ポリテトラメチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシブチレングリコール等のポリエーテル系ポリオール；ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール等のポリオレフィン系ポリオール；その他アジペート系ポリオール、ラクトン系ポリオール、ヒマシ油等のポリエステル系ポリオール等が挙げられる。ポリオールは１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
ポリオールとしては、任意の適切なポリオールを用いることができる。例えば、多価アルコール類、アミン類、アルカノールアミン類、多価フェノール類等が挙げられる。具体的には、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、グリセリン、ヘキサントリオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール等の多価アルコール類；エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のアミン類；エタノールアミン、プロパノールアミン等のアルカノールアミン類；レゾルシン、ビスフェノール類等の多価フェノール類が挙げられる。より具体的には、例えば、ポリテトラメチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシブチレングリコール等のポリエーテル系ポリオール；ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール等のポリオレフィン系ポリオール；その他アジペート系ポリオール、ラクトン系ポリオール、ヒマシ油等のポリエステル系ポリオール等が挙げられる。ポリオールは１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0028】
ポリオールとしては、好ましくは第二級アルコールを用いることができる。すなわち、第二級水酸基を有するポリオールを好ましくは用いることができる。第二級アルコールを用いれば、上記溶媒としてポリオールを用いる場合、（メタ）アクリル系ポリマーの側鎖の第一級水酸基に優先的に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入され得る。後の架橋工程でポリオールはウレタン結合を介して（メタ）アクリル系ポリマーの主鎖骨格に取り込まれ得る。その結果、半導体ウエハ加工時にＳｉウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る粘着剤組成物が得られる。
【0029】
ポリオールの数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは３０００以下であり、より好ましくは４００～３０００であり、さらに好ましくは６００～３０００であり、特に好ましくは６００～２０００である。ポリオールの数平均分子量が上記範囲であれば、重量平均分子量が１０万以下の（メタ）アクリル系ポリマーを用いる場合、常温塗工が可能な粘着剤溶液が得られ得る。また、半導体ウエハを加工時にＳｉウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る。なお、数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ測定（溶媒：テトラヒドロフラン、ポリスチレン換算）により求めることができる。
【0030】
ポリオールは好ましくはポリプロピレングリコールユニットを含む。ポリプロピレングリコールユニットを含むポリオールを用いれば、常温で塗工可能な粘度の粘着剤組成物が得られ得る。また、ポリオールが有する水酸基が第二級水酸基であり、半導体ウエハを加工時にＳｉウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る。ポリオールに含まれるポリプロピレングリコールユニットは１つであってもよく、２以上であってもよい。
【0031】
ポリオールとしては、好ましくはポリプロピレングリコール、ポリプロピレントリオールが用いられる。これらのポリオールを用いれば、常温で塗工可能な粘度の粘着剤溶液が得られ得る。また、ポリオールが第二級アルコールであり、半導体ウエハを加工時にＳｉウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る。
【0032】
ポリオールとしては、市販品を用いてもよい。例えば、三洋化成工業社製、商品名「サンニックス ＰＰ－６００」、「サンニックス ＰＰ－１０００」、「サンニックス ＰＰ－２０００」等のサンニックスＰＰシリーズ、三洋化成工業社製、商品名「サンニックス ＧＰ－１０００」等のサンニックスＧＰシリーズ、ＡＧＣ社製、商品名「ＥＸＣＥＮＯＬ １０２０Ｆ」「ＥＸＣＥＮＯＬ １０３０Ｆ」「ＥＸＣＥＮＯＬ ２０２０Ｆ」「ＥＸＣＥＮＯＬ ９０３」等が挙げられる。
【0033】
ポリオールの２５℃における粘度は、好ましくは１０００ｍＰａ・ｓ以下であり、より好ましくは８００ｍＰａ・ｓ以下であり、さらに好ましくは６００ｍＰａ・ｓ以下である。また、ポリオールの２５℃における粘度は、例えば、５０ｍＰａ・ｓ以上である。粘度が上記範囲であれば常温塗工が可能な粘着剤溶液が得られ得る。また、半導体ウエハを加工時にＳｉウエハを固定するのに十分な粘着力を発現し得る。ポリオールの２５℃における粘度は、任意の適切な方法で測定することができる。例えば、Ｂ型粘度計を用いることにより測定することができる。
【0034】
粘着剤組成物におけるポリオールの含有量は任意の適切な量に調整され得る。例えば、ポリオールと放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーとの重量比が、好ましくは３０：７０～７０：３０であり、より好ましくは３５：６５～６５：３５であり、４０：６０～６０：４０である。重量比が上記範囲であれば、粘着剤組成物が室温で塗工可能な粘度（例えば、２５℃の粘度）の範囲内で、ポリオールと（メタ）アクリル系ポリマーの分子量が大きく（主鎖または側鎖の鎖長が長く）なり、より適切な架橋密度と凝集性とを有し、紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る粘着剤組成物が得られ得る。
【0035】
Ａ－３．放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体
粘着剤組成物は、好ましくは放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含む。ポリオール誘導体は、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよく、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよく、側鎖と少なくとも一方の末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。１つの実施形態において、ポリオール誘導体は、好ましくは少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている。放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体は、例えば、任意の適切なポリオールに放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入することにより得られ得る。放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されるポリオールとしては任意の適切なポリオールを用いることができる。例えば、上記のポリオールを用いることができる。放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されるポリオールは、粘着剤組成物に含まれるポリオールと同一であってもよく、異なっていてもよい。また、ポリオールに放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入する方法としては任意の適切な方法を用いることができる。例えば、上記の（メタ）アクリル系ポリマーに放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入する方法を用いることができる。
粘着剤組成物は、好ましくは放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体をさらに含む。ポリオール誘導体は、側鎖に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよく、少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよく、側鎖と少なくとも一方の末端の両方に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されていてもよい。１つの実施形態において、ポリオール誘導体は、好ましくは少なくとも一方の末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されている。放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体は、例えば、任意の適切なポリオールに放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入することにより得られ得る。放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されるポリオールとしては任意の適切なポリオールを用いることができる。例えば、上記のポリオールを用いることができる。放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されるポリオールは、粘着剤組成物に含まれるポリオールと同一であってもよく、異なっていてもよい。また、ポリオールに放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入する方法としては任意の適切な方法を用いることができる。例えば、上記の（メタ）アクリル系ポリマーに放射線重合性炭素－炭素二重結合を導入する方法を用いることができる。
【0036】
１つの実施形態において、ポリオールは上記放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーの重合に溶媒として用いられる。ポリオール中で（メタ）アクリル系ポリマーの重合を行い、次いで（メタ）アクリル系ポリマーを重合した溶液をそのまま用いて放射線重合性炭素－炭素二重結合を（メタ）アクリル系ポリマーに導入させることにより、溶媒として用いられたポリオールにも放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されポリオール誘導体となり得る。その結果、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体とを含む溶液が一工程で得られ得る。
【0037】
Ａ－４．イソシアネート系架橋剤
イソシアネート系架橋剤としては、任意の適切なポリイソシアネートが用いられる。ポリイソシアネートとしては、例えば、芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート、ならびに、これらのジイソシアネートの二量体および三量体などが挙げられる。具体的には、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、１，５－ナフチレンジイソシアネート、１，３－フェニレンジイソシアネート、１，４－フェニレンジイソシアネート、ブタン－１，４－ジイソシアネート、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン－１，４－ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン－４，４－ジイソシアネート、１，３－ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、ｍ－テトラメチルキシリレンジイソシアネート等、ならびに、これらの二量体および三量体、ポリフェニルメタンポリイソシアネートなどが挙げられる。また、上記三量体としては、イソシアヌレート型、ビューレット型、アロファネート型などが挙げられる。イソシアネート系架橋剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
イソシアネート系架橋剤としては、任意の適切なポリイソシアネートが用いられる。ポリイソシアネートとしては、例えば、芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート、ならびに、これらのジイソシアネートの二量体および三量体などが挙げられる。具体的には、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、１，５－ナフチレンジイソシアネート、１，３－フェニレンジイソシアネート、１，４－フェニレンジイソシアネート、ブタン－１，４－ジイソシアネート、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン－１，４－ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン－４，４－ジイソシアネート、１，３－ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、ｍ－テトラメチルキシリレンジイソシアネート等、ならびに、これらの二量体および三量体、ポリフェニルメタンポリイソシアネートなどが挙げられる。また、上記三量体としては、イソシアヌレート型、ビューレット型、アロファネート型などが挙げられる。イソシアネート系架橋剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0038】
イソシアネート系架橋剤としては、市販品を用いてもよい。市販品としては、三井化学社製、商品名「タケネート Ｄ１０１Ａ」、「タケネート Ｄ１６５Ｎ」、東ソー製、「コロネートＬ」、「コロネートＨＬ」、「コロネートＨＸ」等が挙げられる。
【0039】
イソシアネート架橋剤の含有量は、任意の適切な値に設定され得る。イソシアネート系架橋剤と、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマー、ポリオールおよび任意のポリオール誘導体が有する水酸基との当量比が、好ましくはＮＣＯ／ＯＨ＝０．５～５．０であり、より好ましくは１．０～３．０であり、さらに好ましくは１．５～３．０である。当量比が上記範囲であれば、得られる粘着剤組成物から形成される粘着剤層が紫外線照射前には優れた粘着力を発揮し、紫外線照射後には糊残りが低減され被着体から剥離し得る。
【0040】
Ａ－５．光重合開始剤
光重合開始剤としては、任意の適切な開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、エチル２，４，６－トリメチルベンジルフェニルホスフィネート、（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキシド等のアシルホスフィンオキシド系光重合開始剤；４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１－プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフォナート、２－ヒドロキシ－１－（４－（４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル）フェニル）２－メチルプロパン－１等のα―ヒドロキシアセトフェノン等が挙げられる。光重合開始剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
光重合開始剤としては、任意の適切な開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、エチル２，４，６－トリメチルベンジルフェニルホスフィネート、（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキシド等のアシルホスフィンオキシド系光重合開始剤；４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１－プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフォナート、２－ヒドロキシ－１－（４－（４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル）フェニル）２－メチルプロパン－１等のα―ヒドロキシアセトフェノン等が挙げられる。光重合開始剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0041】
光重合開始剤としては、市販品を用いてもよい。例えば、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製の商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ－Ｌ」、「Ｏｍｎｉｒａｄ ５００」、「Ｏｍｎｉｒａｄ ＭＢＦ」等が挙げられる。
【0042】
光重合開始剤は任意の適切な量で用いられ得る。光重合開始剤の含有量は、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．５重量部～２０重量部であり、より好ましくは１重量部～１０重量部である。光重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、紫外線照射後の粘着剤層の粘着力が十分に低下し得る。
【0043】
Ａ－６．添加剤
粘着剤組成物は、必要に応じて、任意の適切な添加剤をさらに用いてもよい。添加剤としては、例えば、架橋剤、触媒（例えば、白金触媒）、粘着付与剤、可塑剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、難燃剤、溶剤等が挙げられる。添加剤は目的に応じて任意の適切な量で用いられる。
粘着剤組成物は、必要に応じて、任意の適切な添加剤をさらに用いてもよい。添加剤としては、例えば、架橋剤、触媒（例えば、白金触媒）、粘着付与剤、可塑剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、難燃剤、溶剤等が挙げられる。添加剤は目的に応じて任意の適切な量で用いられる。
【0044】
Ａ－７．調製方法
本発明の実施形態の粘着剤組成物は、任意の適切な方法で調製することができる。１つの実施形態において、本発明の実施形態の粘着剤組成物は、以下の方法により調製され得る。まず、ポリオール中で（メタ）アクリル系モノマーを含むモノマー組成物を重合し、（メタ）アクリル系ポリマーを含む溶液を得る。次いで、得られた溶液に放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物を添加し、ポリオールおよび（メタ）アクリル系ポリマーと反応させる。その結果、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、を含む溶液が得られる。なお、放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物の添加量および／または（メタ）アクリル系ポリマーが有する水酸基の割合を調整することにより、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体も含まれ得る。得られた溶液にイソシアネート系架橋剤、光重合開始剤、および、任意の適切な添加剤を添加することにより粘着剤組成物を調製することができる。
本発明の実施形態の粘着剤組成物は、任意の適切な方法で調製することができる。１つの実施形態において、本発明の実施形態の粘着剤組成物は、以下の方法により調製され得る。まず、ポリオール中で（メタ）アクリル系モノマーを含むモノマー組成物を重合し、（メタ）アクリル系ポリマーを含む溶液を得る。次いで、得られた溶液に放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物を添加し、ポリオールおよび（メタ）アクリル系ポリマーと反応させる。その結果、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、を含む溶液が得られる。なお、放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物の添加量および／または（メタ）アクリル系ポリマーが有する水酸基の割合を調整することにより、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体も含まれ得る。得られた溶液にイソシアネート系架橋剤、光重合開始剤、および、任意の適切な添加剤を添加することにより粘着剤組成物を調製することができる。
【0045】
Ｂ．粘着シート
Ｂ－１．粘着シートの全体構成
本発明の実施形態の粘着シートは、上記粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、基材とを備える。図１は、本発明の実施形態による粘着シートの概略断面図である。本発明の実施形態の粘着シート１００は、基材２０と、粘着剤層１０と、をこの順に備える。粘着シート１００は、任意の適切な層をさらに含んでいてもよい。例えば、基材２０と、粘着剤層１０との間に、中間層（図示せず）が形成され得る。中間層を含む場合、表面に凹凸を有する被着体への追従性が向上し得る。
Ｂ－１．粘着シートの全体構成
本発明の実施形態の粘着シートは、上記粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層と、基材とを備える。図１は、本発明の実施形態による粘着シートの概略断面図である。本発明の実施形態の粘着シート１００は、基材２０と、粘着剤層１０と、をこの順に備える。粘着シート１００は、任意の適切な層をさらに含んでいてもよい。例えば、基材２０と、粘着剤層１０との間に、中間層（図示せず）が形成され得る。中間層を含む場合、表面に凹凸を有する被着体への追従性が向上し得る。
【0046】
粘着シートは、紫外線照射前の粘着シートのＳｉウエハに対する粘着力が好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、より好ましくは１．０Ｎ／２０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは４．０Ｎ／２０ｍｍ以上である。紫外線照射前のＳｉウエハに対する粘着力が上記範囲であれば、被着体への優れた密着性を有する。また、Ｓｉウエハに対する粘着力は、例えば、１５Ｎ／２０ｍｍ以下である。本明細書において、Ｓｉウエハに対する粘着力は、以下の方法により測定される粘着力をいう。粘着シートを幅２０ｍｍ、長さ８０ｍｍに切断し、シリコンミラーウエハのミラー面に、２３℃の雰囲気下、ハンドローラーを１往復させて圧着し、２３℃で３０分放置する。その後、粘着シートを剥離させるのに要する力を２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、引張速度３００ｍｍ／分で１８０°剥離試験を行い測定する。
【0047】
粘着シートは、積算光量が４６０ｍＪ／ｃｍ２となるよう紫外線を照射した後の粘着シートのＳｉウエハに対する粘着力が好ましくは０．３Ｎ／２０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．２５Ｎ／２０ｍｍ以下であり、さらに好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ以下である。紫外線照射後のＳｉウエハに対する粘着力が上記範囲であれば、軽剥離性を有する。紫外線照射後の粘着力は小さいほど好ましい。本明細書において、積算光量が４６０ｍＪ／ｃｍ２となるよう紫外線を照射した後の粘着シートのＳｉウエハに対する粘着力は以下の方法で測定した値をいう。粘着シートを幅２０ｍｍ、長さ８０ｍｍに切断し、シリコンミラーウエハのミラー面に、２３℃の雰囲気下、ハンドローラーを１往復させて圧着し、２３℃で３０分放置する。その後、紫外線（ＵＶ）を積算光量が４６０ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍ換算）となるよう粘着シート面側から照射する。次いで、粘着シートを剥離させるのに要する力を２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、引張速度３００ｍｍ／分の条件で１８０°剥離試験を行い測定する。
【0048】
本発明の実施形態の粘着シートの厚みは任意の適切な厚みに設定され得る。粘着シートの厚みは、好ましくは３０μｍ～４００μｍであり、より好ましくは４０μｍ～３００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ～２００μｍである。
【0049】
Ｂ－２．粘着剤層
粘着剤層は上記粘着剤組成物により形成される。上記のとおり、粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。この粘着剤組成物を用いて粘着剤層を形成し、得られた粘着シートをさらに架橋工程に供することで、粘着剤層中で上記（メタ）アクリル系ポリマーが主鎖となり、側鎖および／または末端にウレタン結合を介してポリオール、任意のポリオール誘導体、または、（メタ）アクリル系ポリマーが導入された活性エネルギー線硬化成分と、ポリオールまたは任意のポリオール誘導体がウレタン結合を介して結合したオリゴマーである活性エネルギー線硬化成分とを含む粘着剤層が形成され得る。その結果、粘着剤層に溶媒として含まれていたポリオールが活性エネルギー線硬化成分となり、溶媒の含有量が格段に低減され得る。
粘着剤層は上記粘着剤組成物により形成される。上記のとおり、粘着剤組成物は、側鎖または末端に放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、イソシアネート系架橋剤と、光重合開始剤とを含む。この粘着剤組成物を用いて粘着剤層を形成し、得られた粘着シートをさらに架橋工程に供することで、粘着剤層中で上記（メタ）アクリル系ポリマーが主鎖となり、側鎖および／または末端にウレタン結合を介してポリオール、任意のポリオール誘導体、または、（メタ）アクリル系ポリマーが導入された活性エネルギー線硬化成分と、ポリオールまたは任意のポリオール誘導体がウレタン結合を介して結合したオリゴマーである活性エネルギー線硬化成分とを含む粘着剤層が形成され得る。その結果、粘着剤層に溶媒として含まれていたポリオールが活性エネルギー線硬化成分となり、溶媒の含有量が格段に低減され得る。
【0050】
粘着剤層の厚みは、任意の適切な値に設定され得る。粘着剤層の厚みは、好ましくは２μｍ～２００μｍであり、より好ましくは３μｍ～１５０μｍであり、さらに好ましくは５μｍ～１００μｍである。粘着剤層の厚みが上記範囲であれば、被着体に対し優れた粘着力を発揮し得る。
【0051】
Ｂ－３．基材
基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。基材を構成する樹脂の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリブチレンナフタレート（ＰＢＮ）などのポリエステル系樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン－メタクリル酸メチル共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン－プロピレン共重合体などのポリオレフィン系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリイミド、セルロース類、フッ素系樹脂、ポリエーテル、ポリスチレンなどのポリスチレン系樹脂、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン等が挙げられる。好ましくはポリオレフィン系樹脂、または、ポリエステル系樹脂である。これらの樹脂は紫外線を透過するため、紫外線照射により軽剥離性を有する粘着シートが得られ得る。
基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。基材を構成する樹脂の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリブチレンナフタレート（ＰＢＮ）などのポリエステル系樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン－メタクリル酸メチル共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン－プロピレン共重合体などのポリオレフィン系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリイミド、セルロース類、フッ素系樹脂、ポリエーテル、ポリスチレンなどのポリスチレン系樹脂、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン等が挙げられる。好ましくはポリオレフィン系樹脂、または、ポリエステル系樹脂である。これらの樹脂は紫外線を透過するため、紫外線照射により軽剥離性を有する粘着シートが得られ得る。
【0052】
基材は、本発明の効果を損なわない範囲で、その他の成分をさらに含んでいてもよい。その他の成分としては、例えば、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、耐熱安定剤、帯電防止剤等が挙げられる。その他の成分の種類および使用量は、目的に応じて任意の適切な量で用いることができる。
【0053】
基材の厚みは、任意の適切な値に設定され得る。基材の厚みは、好ましくは３０μｍ～２００μｍであり、より好ましくは４０μｍ～１８０μｍであり、さらに好ましくは４５μｍ～１８０μｍである。
【0054】
Ｂ－４．粘着シートの製造方法
本発明の実施形態の粘着シートは任意の適切な方法により作製することができる。例えば、はく離ライナーに上記粘着剤組成物を塗布し、加熱して、はく離ライナー上に粘着剤層を形成した後、基材に粘着剤層を転写することにより得られ得る。また、基材上に上記粘着剤組成物を塗布し、加熱して、粘着剤層を形成してもよい。
本発明の実施形態の粘着シートは任意の適切な方法により作製することができる。例えば、はく離ライナーに上記粘着剤組成物を塗布し、加熱して、はく離ライナー上に粘着剤層を形成した後、基材に粘着剤層を転写することにより得られ得る。また、基材上に上記粘着剤組成物を塗布し、加熱して、粘着剤層を形成してもよい。
【0055】
粘着剤組成物の塗布方法としては、バーコーター塗布、エアナイフ塗布、グラビア塗布、グラビアリバース塗布、リバースロール塗布、リップ塗布、ダイ塗布、ディップ塗布、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷など種々の方法を採用することができる。加熱方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。
【0056】
１つの実施形態において、粘着シートは好ましくは架橋工程に供される。得られた粘着シートをさらに架橋工程に供することにより、粘着剤層に含まれるイソシアネート系架橋剤と、放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入された（メタ）アクリル系ポリマーと、ポリオールと、任意の放射線重合性炭素－炭素二重結合が導入されたポリオール誘導体に含まれる未反応の水酸基とがウレタン結合し得る。その結果、粘着剤層に含まれているポリオールは、（メタ）アクリル系ポリマーの側鎖および／または末端に結合し得る。または、ポリオールおよび／またはポリオール誘導体が結合し、活性エネルギー線硬化性のオリゴマーとなり得る。その結果、粘着剤層には、活性エネルギー線硬化性（メタ）アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性オリゴマーとが含まれ得る。その結果、溶媒として用いられるポリオールは上記活性エネルギー線硬化成分となり、粘着剤層に残存する溶剤の量が低減され得る。また、紫外線照射前の粘着剤層の粘着力がさらに向上し得る。
【0057】
架橋工程は任意の適切な方法で行われる。例えば、遮光した状態で、任意の適切な温度に、任意の適切な時間置くことにより、ウレタン化反応を行うことができる。反応時間は、例えば、１分～１０分であり、好ましくは２分～５分である。反応温度は、例えば、１１０℃～１５０℃であり、好ましくは１２０℃～１４０℃である。
【0058】
架橋工程は、粘着シートの製造工程の任意の適切な段階で行われ得る。１つの実施形態において、架橋工程は粘着剤組成物を塗工し、加熱することにより行われる。架橋工程は、はく離ライナーに粘着剤層を形成した後、はく離ライナー上で行ってもよく、はく離ライナーに粘着剤層を形成し、基材に転写した後、行ってもよい。また、基材上に粘着剤層を形成し、架橋工程を行ってもよい。
【0059】
Ｃ．粘着シートの用途
本発明の実施形態の粘着シートは半導体ウエハの製造工程に好適に用いることができる。例えば、ダイシングテープ、および、バックグラインドテープ等の半導体ウエハ加工用粘着シートとして用いることができる。本発明の実施形態の粘着シートは追従性に優れ得る。そのため、表面がより複雑な構造である半導体ウエハの加工にも好適に用いることができる。
本発明の実施形態の粘着シートは半導体ウエハの製造工程に好適に用いることができる。例えば、ダイシングテープ、および、バックグラインドテープ等の半導体ウエハ加工用粘着シートとして用いることができる。本発明の実施形態の粘着シートは追従性に優れ得る。そのため、表面がより複雑な構造である半導体ウエハの加工にも好適に用いることができる。
【実施例0060】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。また、実施例において、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。
【0061】
［実施例１］
アクリル酸２－エチルヘキシル（２ＥＨＡ）２８．２重量部、アクリロイルモルフォリン（ＡＣＭＯ）１７．３重量部、４－ヒドロキシブチルアクリレート（４ＨＢＡ）４．４重量部、２－メルカプトエタノール（連鎖移動剤）０．３重量部、ポリオール（三洋化成社製、商品名「サンニックス ＰＰ－１０００」）５０重量部、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．１重量部を混合し、組成物を調製した。得られた組成物を、１Ｌ丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、攪拌棒、攪拌羽が装備された重合用実験装置に投入し攪拌しながら、常温で１時間、窒素置換した。その後、窒素流入下、攪拌しながら、６２℃で４時間、次いで７８℃で２時間保持して重合させ、樹脂溶液を得た。次いで、得られた樹脂溶液の入ったフラスコを室温まで冷却した。その後、該樹脂溶液に、放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物（昭和電工社製、商品名「カレンズＭＯＩ」）１４．２重量部、および、触媒（ジラウリン酸ジブチルスズＩＶ）０．０４重量部を添加し、空気雰囲気下、５０℃で８時間攪拌し、ポリマー溶液を得た。得られたポリマー溶液に、イソシアネート系架橋剤（三井化学社製、商品名「タケネート Ｄ－１６５Ｎ」）８．４重量部、および、光重合開始剤（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製、商品名「ＯｍｎｉｒａｄＴＰＯ－Ｌ」）３．７重量部を添加、混合し、粘着剤溶液を作製した。
一方の面にコロナ処理を施した厚み５０μｍのＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラー Ｓ１０５」」）のコロナ処理面に、粘着剤溶液を塗布し、１３０℃で３分間、乾燥機で加熱し、厚み３０μｍの粘着剤層を形成した。その後、ＰＥＴ剥離ライナー（三菱ケミカル社製、商品名「ダイアホイルＭＲＦ３８」）の離型処理面と形成した粘着剤層とを、ハンドローラーで貼り合わせた。次いで、遮光した状態で、５０℃に設定した乾燥機内で４８時間放置後、乾燥機から取り出し、粘着シートを得た。
アクリル酸２－エチルヘキシル（２ＥＨＡ）２８．２重量部、アクリロイルモルフォリン（ＡＣＭＯ）１７．３重量部、４－ヒドロキシブチルアクリレート（４ＨＢＡ）４．４重量部、２－メルカプトエタノール（連鎖移動剤）０．３重量部、ポリオール（三洋化成社製、商品名「サンニックス ＰＰ－１０００」）５０重量部、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．１重量部を混合し、組成物を調製した。得られた組成物を、１Ｌ丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、攪拌棒、攪拌羽が装備された重合用実験装置に投入し攪拌しながら、常温で１時間、窒素置換した。その後、窒素流入下、攪拌しながら、６２℃で４時間、次いで７８℃で２時間保持して重合させ、樹脂溶液を得た。次いで、得られた樹脂溶液の入ったフラスコを室温まで冷却した。その後、該樹脂溶液に、放射線重合性炭素－炭素二重結合を有する化合物（昭和電工社製、商品名「カレンズＭＯＩ」）１４．２重量部、および、触媒（ジラウリン酸ジブチルスズＩＶ）０．０４重量部を添加し、空気雰囲気下、５０℃で８時間攪拌し、ポリマー溶液を得た。得られたポリマー溶液に、イソシアネート系架橋剤（三井化学社製、商品名「タケネート Ｄ－１６５Ｎ」）８．４重量部、および、光重合開始剤（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製、商品名「ＯｍｎｉｒａｄＴＰＯ－Ｌ」）３．７重量部を添加、混合し、粘着剤溶液を作製した。
一方の面にコロナ処理を施した厚み５０μｍのＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラー Ｓ１０５」」）のコロナ処理面に、粘着剤溶液を塗布し、１３０℃で３分間、乾燥機で加熱し、厚み３０μｍの粘着剤層を形成した。その後、ＰＥＴ剥離ライナー（三菱ケミカル社製、商品名「ダイアホイルＭＲＦ３８」）の離型処理面と形成した粘着剤層とを、ハンドローラーで貼り合わせた。次いで、遮光した状態で、５０℃に設定した乾燥機内で４８時間放置後、乾燥機から取り出し、粘着シートを得た。
【0062】
［実施例２～６］
粘着剤溶液の組成を表１に記載のように変更した以外は実施例１と同様にして、粘着剤溶液を得た。得られた粘着剤溶液を用いたこと以外は実施例１と同様にして粘着シートを得た。
粘着剤溶液の組成を表１に記載のように変更した以外は実施例１と同様にして、粘着剤溶液を得た。得られた粘着剤溶液を用いたこと以外は実施例１と同様にして粘着シートを得た。
【0063】
（比較例１）
粘着剤溶液の組成を表１に記載のように変更した以外は実施例１と同様にして、粘着剤溶液を得た。得られた粘着剤溶液を用いて、実施例１と同様に粘着シートの作製を試みたが、粘着剤層を形成することができず、粘着シートを得られなかった。
粘着剤溶液の組成を表１に記載のように変更した以外は実施例１と同様にして、粘着剤溶液を得た。得られた粘着剤溶液を用いて、実施例１と同様に粘着シートの作製を試みたが、粘着剤層を形成することができず、粘着シートを得られなかった。
【0064】
＜評価＞
実施例または比較例で得られた粘着シートを用いて以下の評価を行った。結果を表１に示す。
１．粘着力
得られた粘着シートを、幅２０ｍｍ、長さ８０ｍｍの大きさに切断し、シリコンミラーウエハ（信越半導体株式会社製）のミラー面に、２３℃の雰囲気下、ハンドローラーを１往復させて圧着し、２３℃で３０分放置した。その後、粘着シートを剥離するのに要する力を２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で、測定し、ＵＶ前粘着力とした。
また、同様の方法でシリコンミラーウエハに粘着シートを圧着し、２３℃で３０分放置した。次いで、紫外線（ＵＶ）（積算光量：４６０ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍ換算））を粘着シート面側から照射した。その後、粘着シートを剥離させるのに要する力を、２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で測定し、ＵＶ後粘着力とした。
実施例または比較例で得られた粘着シートを用いて以下の評価を行った。結果を表１に示す。
１．粘着力
得られた粘着シートを、幅２０ｍｍ、長さ８０ｍｍの大きさに切断し、シリコンミラーウエハ（信越半導体株式会社製）のミラー面に、２３℃の雰囲気下、ハンドローラーを１往復させて圧着し、２３℃で３０分放置した。その後、粘着シートを剥離するのに要する力を２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で、測定し、ＵＶ前粘着力とした。
また、同様の方法でシリコンミラーウエハに粘着シートを圧着し、２３℃で３０分放置した。次いで、紫外線（ＵＶ）（積算光量：４６０ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍ換算））を粘着シート面側から照射した。その後、粘着シートを剥離させるのに要する力を、２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で測定し、ＵＶ後粘着力とした。
【0065】
【表1】
【0066】
本発明の実施例の粘着シートは、ＵＶ照射前は被着体への高い粘着力を有し、ＵＶ照射後には糊残りなく容易に剥離することができた。比較例１の粘着剤溶液では凝集力が不十分であり、粘着シートを得ることができなかった。
【産業上の利用可能性】
【0067】
本発明の実施形態の粘着剤組成物は粘着シートに好適に用いることができる。この粘着シートは半導体ウエハの加工工程に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【0068】
１０ 粘着剤層
２０ 基材
１００ 粘着シート
２０ 基材
１００ 粘着シート
【図1】