特開 2024-124082 光学ユニットおよびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024124082

(43)【公開日】2024-09-12

(54)【発明の名称】光学ユニットおよびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 3/00 20060101AFI20240905BHJP

   C09J 5/02 20060101ALI20240905BHJP

   C09J 201/00 20060101ALI20240905BHJP

   C09J 7/30 20180101ALI20240905BHJP

   C09J 11/08 20060101ALI20240905BHJP

   C09J 11/04 20060101ALI20240905BHJP

   B29C 65/48 20060101ALI20240905BHJP

   B32B 7/023 20190101ALI20240905BHJP

   B32B 37/12 20060101ALI20240905BHJP

   B32B 27/00 20060101ALI20240905BHJP

【ＦＩ】

G02B3/00 Z

C09J5/02

C09J201/00

C09J7/30

C09J11/08

C09J11/04

B29C65/48

B32B7/023

B32B37/12

B32B27/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023032009

(22)【出願日】2023-03-02

(71)【出願人】

【識別番号】000002901

【氏名又は名称】株式会社ダイセル

(74)【代理人】

【識別番号】110000556

【氏名又は名称】弁理士法人有古特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】竹中 啓起

(72)【発明者】

【氏名】本間 大海

(72)【発明者】

【氏名】岩浜 隆裕

【テーマコード（参考）】

4F100

4F211

4J004

4J040

【Ｆターム（参考）】

4F100AK01A

4F100AK53

4F100AR00B

4F100AR00C

4F100BA03

4F100BA07

4F100CA23B

4F100CB04

4F100CB04B

4F100EH46

4F100EH46B

4F100EJ08

4F100EJ08B

4F100EJ54

4F100EJ64

4F100EJ64A

4F100JB12A

4F100JN18

4F100JN18A

4F211AA39

4F211AG03

4F211AH74

4F211AR07

4F211AR11

4F211AR12

4F211TA03

4F211TC08

4F211TD11

4F211TH24

4F211TN45

4J004AA13

4J004AB05

4J004FA08

4J040EC001

4J040HD30

4J040HD36

4J040JB08

4J040KA03

4J040KA42

4J040LA06

4J040MA10

4J040NA18

4J040PA00

4J040PA02

(57)【要約】

【課題】より簡易な方法で第１基板と第２基板とを各レンズ部の全周に亘って接着することができるようにする。
【解決手段】複数のレンズ部１１を有する、硬化性樹脂で構成されたレンズウェハーである第１基板１に第２基板２を接着して積層体を作製した後に、前記積層体をレンズ部１１の間で切断することで複数の光学ユニットを製造する。第１基板１に第２基板２を接着する前に、第１基板１の第２基板２との対向面１ａに、表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行う。表面処理の後に、第１基板１の対向面１ａに、前記複数の光学ユニットのそれぞれの輪郭内で対応するレンズ部１１が取り囲まれるように接着剤を塗布する。接着剤の塗布後、第１基板１に第２基板２を重ね合わせて前記接着剤を硬化させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のレンズ部を有する、硬化性樹脂で構成されたレンズウェハーである第１基板に第２基板を接着して積層体を作製した後に、前記積層体を前記複数のレンズ部の間で切断することで複数の光学ユニットを製造する方法であって、
前記第１基板に前記第２基板を接着する前に、前記第１基板の前記第２基板との対向面に、表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行い、
前記表面処理の後に、前記第１基板の前記対向面に、前記複数の光学ユニットのそれぞれの輪郭内で対応するレンズ部が取り囲まれるように接着剤を塗布し、
前記接着剤の塗布後に前記第１基板に前記第２基板を重ね合わせて前記接着剤を硬化させる、光学ユニットの製造方法。

【請求項2】

前記第１基板の前記対向面に表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行う際、前記第１基板の前記対向面の表面自由エネルギーを２６～７３ｍＪ／ｍ²とする、請求項１に記載の光学ユニットの製造方法。

【請求項3】

前記接着剤中には、単分散真球フィラーが分散している、請求項１または２に記載の光学ユニットの製造方法。

【請求項4】

前記第１基板の前記対向面における前記第２基板と接着される部分はフラットであり、
前記第２基板の前記第１基板との対向面における前記第１基板と接着される部分はフラットである、請求項１または２に記載の光学ユニットの製造方法。

【請求項5】

レンズ部を有する、硬化性樹脂で構成された第１素子と、
前記第１素子と重なり合う第２素子と、
前記レンズ部を取り囲むように前記第１素子と前記第２素子との間に介在する、単分散真球フィラーを含む接着層と、
を備える、光学ユニット。

【請求項6】

前記第１素子の前記第２素子との対向面および前記第２素子の前記第１素子との対向面には、前記接着層を収容する溝が形成されていない、請求項５に記載の光学ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光学ユニットの製造方法およびその製造方法の一態様により得られる光学ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、複数の光学ユニットを同時に製造するために、複数のレンズ部を有するレンズウェハーを用いた光学ユニットの製造方法が知られている。具体的に、この製造方法では、まず複数のレンズ部を有するレンズウェハーである第１基板に、同様のレンズウェハーまたは遮光板などである第２基板を接着して積層体を作製する。その後、その積層体をレンズ部の間で切断することで、複数の光学ユニットが製造される。

【0003】

第１基板と第２基板の接着には接着剤が用いられる。例えば、特許文献１には、第１基板および第２基板として、レンズ部がマトリクス状に並ぶレンズウェハー（特許文献１では「ウェハスケールレンズ」と称呼）を用いた光学ユニットの製造方法が開示されている。第１基板の第２基板との対向面には、隣り合うレンズ部の間を通って当該対向面を横切るように格子状に溝が設けられており、第２基板の第１基板との対向面には、隣り合うレンズ部の間を通って当該対向面を横切るように格子状に溝が設けられている。

【0004】

特許文献１に開示された光学ユニットの製造方法では、まず第１基板の対向面と第２基板の対向面とを面接触させて重合体を形成する。このとき、第１基板の溝と第２基板の溝とが合致することで、第１基板と第２基板の重合体の端面に両端が開口する注入空間が形成される。その後、その注入空間に接着剤を充填して硬化させることで、第１基板と第２基板とが接着された積層体が作製される。

【0005】

なお、第１基板の対向面に設けられる溝の幅および第２基板の対向面に設けられる溝の幅は、積層体の切断に使用されるダイシング刃の幅よりも大きい。このため、積層体を切断した後は、切断面である外周面の全周に亘って接着層が存在する光学ユニットが得られる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第５２５４１３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１の光学ユニットの製造方法によれば、第１基板と第２基板とが各レンズ部の全周に亘って接着される。このため、積層体を切断する際には、第１基板と第２基板の間のレンズ部に沿う隙間に、切削粉や切断に用いられる水が浸入することを防ぐことができる。

【0008】

しかしながら、特許文献１の光学ユニットの製造方法では、第１基板の溝と第２基板の溝とで形成される、第１基板と第２基板の重合体の端面に両端が開口する注入空間に接着剤を充填するので、その注入空間に全長に亘って接着剤を隙間なく充填することが困難である。

【0009】

そこで、本開示は、より簡易な方法で第１基板と第２基板とを各レンズ部の全周に亘って接着することができるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本開示は、複数のレンズ部を有する、硬化性樹脂で構成されたレンズウェハーである第１基板に第２基板を接着して積層体を作製した後に、前記積層体を前記複数のレンズ部の間で切断することで複数の光学ユニットを製造する方法であって、前記第１基板に前記第２基板を接着する前に、前記第１基板の前記第２基板との対向面に、表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行い、前記表面処理の後に、前記第１基板の前記対向面に、前記複数の光学ユニットのそれぞれの輪郭内で対応するレンズ部が取り囲まれるように接着剤を塗布し、前記接着剤の塗布後に前記第１基板に前記第２基板を重ね合わせて前記接着剤を硬化させる、光学ユニットの製造方法を提供する。

【0011】

また、本開示は、レンズ部を有する、硬化性樹脂で構成された第１素子と、前記第１素子と重なり合う第２素子と、前記レンズ部を取り囲むように前記第１素子と前記第２素子との間に介在する、単分散真球フィラーを含む接着層と、を備える、光学ユニットを提供する。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、より簡易な方法で第１基板と第２基板とを各レンズ部の全周に亘って接着することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】一実施形態に係る光学ユニットの製造方法で用いられる第１基板および第２基板の斜視図である。

【図2】前記第１基板と前記第２基板とが接着された積層体の斜視図である。

【図3】（ａ）は光学ユニットの断面図、（ｂ）はその要部拡大図である。

【図4】第１基板の対向面への接着剤の塗布方法を説明するための図である。

【図5】第１変形例の接着剤の塗布方法を説明するための図である。

【図6】第２変形例の接着剤の塗布方法を説明するための図である。

【図7】第３変形例の接着剤の塗布方法を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下で説明する各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は、一例であって、本開示の主旨から逸脱しない範囲内で、適宜、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。本開示は、実施形態によって限定されることはなく、クレームの範囲によってのみ限定される。また、本明細書に開示された各々の態様は、本明細書に開示された他のいかなる特徴とも組み合わせることができる。

【0015】

図１に、一実施形態に係る光学ユニットの製造方法で用いられる第１基板１および第２基板２を示す。本実施形態では、第１基板１および第２基板２が円形状であるが、第１基板１および第２基板２の形状は正方形状などのその他の形状であってもよい。

【0016】

第１基板１は、複数のレンズ部１１を有するレンズウェハーである。レンズ部１１はマトリクス状に並んでいる。本実施形態では、第２基板２も、複数のレンズ部２１を有するレンズウェハーである。レンズ部２１はレンズ部１１と同じピッチでマトリクス状に並んでいる。ただし、第２基板２は、第１基板１のレンズ部１１に対応する位置に開口を有する遮光板であってもよいし、第１基板１であるレンズウェハーとその他のレンズウェハーとの間に介在するスペーサであってもよい。

【0017】

光学ユニットの製造方法では、まず図２に示すように第１基板１に第２基板２を接着して積層体３を作製する。本実施形態では、第１基板１の第２基板２との対向面１ａ（図１参照）における第２基板２と接着される部分、および第２基板２の第１基板１との対向面２ａ（図１参照）における第１基板１と接着される部分がフラットである。その後、積層体３をレンズ部１１，２１の間で切断することで、複数の光学ユニット４（図３（ａ）参照）が製造される。

【0018】

第１基板１および第２基板２であるレンズウェハーは、硬化性樹脂で構成されている。第１基板１と第２基板２とでは、同じ硬化性樹脂が用いられてもよいし、異なる硬化性樹脂が用いられてもよい。

【0019】

硬化性樹脂は、加熱により、又は紫外線や電子線等の活性エネルギー線の照射により硬化する樹脂である。硬化性樹脂は特に限定されないが、硬化性樹脂としてはエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂などが挙げられる。

【0020】

例えば、硬化性樹脂は、脂環エポキシ化合物、シロキサン化合物、カチオン重合性化合物のいずれかを含んでもよい。脂環エポキシ化合物は、少なくとも１つのエポキシ基で置換された脂環を有する化合物である。シロキサン化合物は、分子内に２以上のエポキシ基を有し、さらにシロキサン結合（Ｓｉ－Ｏ－Ｓｉ）により構成されたシロキサン骨格を少なくとも有する化合物である。カチオン重合性化合物は、少なくとも１つのカチオン硬化性官能基を有する化合物である。

【0021】

積層体３を作製する際は、第１基板１に第２基板２を接着する前に、第１基板１の対向面１ａに、表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行う。これにより、第１基板１の対向面１ａの濡れ性が改善される。第１基板１の対向面１ａの表面自由エネルギーを上昇させる表面処理としては、エキシマ処理、プラズマ処理、コロナ処理、紫外線オゾン処理などを用いることができる。

【0022】

例えば、エキシマ処理では、第１基板１を処理室内に配置して、第１基板の対向面１ａをエキシマランプを用いて酸化させる。処理室内の酸素濃度は、例えば５～１８％である。

【0023】

第１基板１の対向面１ａの表面処理では、第１基板１の対向面１ａの表面自由エネルギーを、２６～７３ｍＪ／ｍ²とすることが好ましい。表面自由エネルギーが２６ｍＪ／ｍ²を下回ると接着剤５が第１基板１の対向面１ａから弾かれて塗布状態を維持できなくなり、表面自由エネルギーが７３ｍＪ／ｍ²を上回ると接着剤５が第１基板１の対向面１ａ上で濡れ広がって塗布状態を維持できなくなるからである。

【0024】

なお、表面自由エネルギーは、ＯＷＲＫ（Owens Wendt Rable Kaelble）法によって算出される。ＯＷＲＫ法で使用する接触角の測定方法は、ＪＩＳ Ｋ ６７６９に規定されている。例えば、表面自由エネルギーが２６～７３ｍＪ／ｍ²である対向面１ａの水に対する接触角は２６度以上８７度以下である。第１基板１の対向面１ａの表面自由エネルギーは、より好ましくは３０～６９ｍＪ／ｍ²であり、さらに好ましくは３４～６５ｍＪ／ｍ²である。

【0025】

第１基板１の対向面１ａの表面処理後、図４に示すように、第１基板１の対向面１ａに、複数の光学ユニット４のそれぞれの輪郭４０内で対応するレンズ部１１が取り囲まれるように接着剤５を塗布する。

【0026】

本実施形態では、隣り合うレンズ部１１の間での切断を一度だけ行うため、隣り合う光学ユニット４の輪郭４０同士の間の距離は、積層体３の切断に使用されるダイシング刃の幅と同じである。ただし、隣り合う光学ユニット４の輪郭４０同士の間の距離がダイシング刃の幅よりも大きくされ、隣り合うレンズ部１１の間での切断が複数回行われてもよい。

【0027】

図４では、各光学ユニット４の輪郭４０内で、輪郭４０の四辺に沿ってレンズ部１１の回りを一周するように接着剤５が塗布される。このため、接着剤５が各レンズ部１１の回りに全周に亘って塗布される。ただし、図５に示すように、接着剤５の最終塗布部が接着剤５の初期塗布部から離間するように接着剤５が塗布されてもよい。すなわち、各レンズ部１１の回りにほぼ全周に亘って接着剤５が塗布される限り、各レンズ部１１の周囲に部分的に接着剤５が塗布されない領域が残されてもよい。

【0028】

あるいは、図６に示すように、まずマトリクス状に並ぶレンズ部１１の行と平行に接着剤５を塗布して、隣り合う光学ユニット４の輪郭４０同士の間の距離よりも幅の広い帯状部５１を形成し、その後に、帯状部５１の間に、マトリクス状に並ぶレンズ部１１の列と平行に接着剤５を塗布して、隣り合う光学ユニット４の輪郭４０同士の間の距離よりも幅の広い短冊部５２を形成してもよい。図５では、短冊部５２が帯状部５１から離間しているが、短冊部５２は帯状部５１とつながっていてもよい。

【0029】

さらには、図７に示すように、縦横２つずつの４つのレンズ部１１のうちの対角に位置する２つのレンズ部１１を連続して取り囲むように接着剤５を塗布して、斜め八字部５３を形成してもよい。この場合、接着剤５の塗布は、行および列のそれぞれでレンズ部１１の２ピッチおきに行われる。

【0030】

本実施形態では、接着剤５中に単分散真球フィラー６（図３（ｂ）参照）が分散している。この単分散真球フィラー６は、第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分と第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分との間に一定のクリアランスを確保するためのものである。例えば、接着剤５は、主成分としてエポキシ化合物を含むと共に、その他の成分としてオキセタン化合物、光酸発生剤（光開始剤）、シランカップリング剤などを含む。また、単分散真球フィラー６は、例えば、ジビニルベンゼン重合体やシリカで構成されている。

【0031】

ここで、粒子径や形状等の粒子特性が均質な微粒子群を単分散微粒子と呼び、「単分散真球フィラー」とは、粒径分布の標準偏差と５０％平均径の比で定義される変動係数ＣＶ（Coefficient of Variation）値が１０％以下の粒子群を指す。なお、粒子の単分散性を示すＣＶ値は、ＣＶ［％］＝（σ／Ｄ）×１００で定義される（σ：標準偏差、Ｄ：平均粒径）。

【0032】

例えば、フィラー中の粒子径は１～１００μｍである。フィラー中の粒子径は５～５０μｍであることが好ましく、１０～３０μｍであることがより好ましい。

【0033】

また、接着剤５中のフィラーの分散状態としては、例えば、１ｍｍ²の接着剤５に対してフィラー中の粒子が１～１０００個である。１ｍｍ²の接着剤５に対するフィラー中の粒子の個数は、１０～２００個であることが好ましく、１５～１００個であることがより好ましい。

【0034】

第１基板１の対向面１ａへの接着剤の塗布後、第１基板１に第２基板２を重ね合わせて接着剤５を硬化させる。その後、上述したように積層体３をレンズ部１１，２１の間で切断することで、複数の光学ユニット４が製造される。

【0035】

図３（ａ）に示すように、各光学ユニット４は、レンズ部１１を有する第１素子１０と、第１素子１０と重なり合う、レンズ部２１を有する第２素子２０と、レンズ部１１を取り囲むように第１素子１０と第２素子２０との間に介在する接着層５０を含む。

【0036】

第１素子１０は第１基板１の一部であるため、第１基板１と同じ硬化性樹脂で構成されている。同様に、第２素子２０は第２基板２の一部であるため、第２基板２と同じ硬化性樹脂で構成されている。接着層５０は、硬化した接着剤５の一部である。

【0037】

本実施形態では、上述したように第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分、および第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分がフラットであるので、第１素子１０の第２素子２０との対向面１０ａおよび第２素子２０の第１素子１０との対向面２０ａには、接着層５０を収容する溝が形成されていない。

【0038】

また、本実施形態では、上述したように光学ユニット４の製造時に用いられる接着剤５中に単分散真球フィラー６が分散しているので、図３（ｂ）に示すように、接着層５０が単分散真球フィラー６を含む。つまり、単分散真球フィラー６によって接着層５０の厚さが均一に確保されている。

【0039】

以上説明した本実施形態の製造方法では、次の効果が得られる。第１基板１の対向面１ａに表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行わない場合には、第１基板１の対向面１ａに、各光学ユニット４の輪郭４０内でレンズ部１１が取り囲まれるように接着剤５を塗布しても、その状態が維持されずに、接着剤５が特定の箇所に集束する現象が発生する。これに対し、本実施形態のように第１基板１の対向面１ａに表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行えば、各光学ユニット４の輪郭４０内でレンズ部１１が取り囲まれるように接着剤５を塗布した後もその状態が維持される。すなわち、第１基板１の対向面１ａに接着剤５を塗布するという簡易な方法で、第１基板１と第２基板２とを各レンズ部１１の全周に亘って接着することができる。このため、積層体３を切断する際には、第１基板１と第２基板２の間のレンズ部１１に沿う隙間に、切削粉や切断に用いられる水が浸入することを防ぐことができる。

【0040】

ところで、特許文献１のように第１基板および第２基板の対向面同士が面接触する場合には、接着剤が、表面張力で対向面同士の間を通ってレンズ部まで侵入するおそれがある。特に、第１基板の溝と第２基板の溝とで形成される注入空間への接着剤の充填を容易とするために低粘度の接着剤を用いた場合には、その傾向が高くなる。これに対し、本実施形態のように第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分と第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分との間にクリアランスが設けられていれば、そのような不具合を防止することができる。

【0041】

（変形例）
前記実施形態では、接着剤５中に単分散真球フィラー６が分散していたが、単分散真球フィラー６を含まない接着剤５を用いることも可能である。この場合、接着剤５の硬化後の接着層５０の厚さ（第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分と第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分との間のクリアランス）を一定とするために、第１基板１と第２基板２の一方に、他方に当接する当接部を設けることが好ましい。

【0042】

これに対し、前記実施形態のように単分散真球フィラーが分散する接着剤５を用いれば、接着剤５のみで、接着層５０の厚さを一定に保つことができる。

【0043】

また、第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分、および第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分は、必ずしもフラットである必要はない。例えば、第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分、および第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分には、接着剤５によって満たされる溝が形成されてもよい。この場合、製造後の光学ユニット４では、第１素子１０の対向面１０ａおよび第２素子２０の対向面２０ａに接着層５０を収容する溝が形成される。

【0044】

これに対し、前記実施形態のように、第１基板１の対向面１ａにおける第２基板２と接着される部分、および第２基板２の対向面２ａにおける第１基板１と接着される部分がフラットであれば、第１基板１および第２基板２の強度を確保することができる。また、製造後の光学ユニット４においては、第１素子１０および第２素子２０の強度を確保することができる。

【実施例0045】

以下、本開示を実施例により説明するが、本開示は以下の実施例に限定されるものではない。

【0046】

比較例１および実施例１～８の基板の表面上に接着剤を線状に塗布し、時間経過しても接着剤が線状に保たれるかを確認した。接着剤としては、エポキシ樹脂を主成分としたレジナス化成社製のＵＶ硬化性接着剤ＵＶＡ－６７９０ Ｋ１０を用いた。

【0047】

比較例１では、基板としてダイセル社製のＣＥＬＶＥＮＵＳ ＯＴＭ１０７を用い、表面処理は行わなかった。実施例１～３，６～８では、基板として同じＣＥＬＶＥＮＵＳ ＯＴＭ１０７を用い、表面に表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行った。実施例４，５では、基板としてダイセル社製のＣＥＬＶＥＮＵＳ ＯＴＬ１０１を用い、表面に表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行った。なお、ＣＥＬＶＥＮＵＳ ＯＴＭ１０７は、エポキシ系樹脂で構成されるとともに、脂環エポキシ化合物、シロキサン化合物およびカチオン重合性化合物を含み、ＣＥＬＶＥＮＵＳ ＯＴＬ１０１は、エポキシ系樹脂で構成されるとともに、脂環エポキシ化合物およびカチオン重合性化合物を含む。

【0048】

実施例１～５では、光照射装置（ウシオ社製ＳＵＳ９５６）を用い、表面処理として基板の表面にエキシマ光を照射するエキシマ処理を行った。条件としては、酸素濃度１５％、ステージ温度４０度、光源高さ３ｍｍとし、実施例１～３，６～８で照射時間を異ならせた。具体的に、実施例１では５秒、実施例２では３０秒、実施例３では３００秒、実施例４では３秒、実施例５では１０秒とした。

【0049】

実施例６～８では、スイッチバック自動走式コロナ処理装置（ウェッジ社製、ＣＴＷ－０２１２）を用い、表面処理としてコロナ放電を行った。条件としては、高周波電源の印加電力０．２ｋＷ、高さ設定１ｍｍとし、実施例６～８で回数を異ならせた。具体的に、実施例６では１回、実施例７では４回、実施例８では８回とした。

【0050】

また、接触角測定器（共和界面科学社製、ＤｒｏｐＭａｓｔｅｒ ＤＭ７０１）を用いた液適法により、比較例１および実施例１～８の基板の表面（実施例１～８では表面処理後の表面）に対する純水またはジヨードメタンの接触角を測定した。滴下量は２μＬ、待機時間は１０００ｍｓとし、５点測定の平均値を算出した。

【0051】

比較例１および実施例１～８の基板種類および表面処理条件、ならびに接触角測定結果および時間経過による接着剤塗布状態の観察結果を表１に示す。なお、表１中の〇は接着剤が線状に保たれていることを示し、×は接着剤が線状に保たれないか、塗布後の接着剤の高さが変化していることを示す。

【表1】

【0052】

表１から、基板の表面に表示面自由エネルギーを上昇させる処理を行えば、接着剤が１０分以上は線状に保たれることが分かる。特に、表面自由エネルギーを３０～７３ｍＪ／ｍ²とした実施例２，４～８では６０分経過しても接着剤が良好な状態で線状に保たれていた。

【0053】

（まとめ）
第１の態様として、本開示は、複数のレンズ部を有する、硬化性樹脂で構成されたレンズウェハーである第１基板に第２基板を接着して積層体を作製した後に、前記積層体を前記複数のレンズ部の間で切断することで複数の光学ユニットを製造する方法であって、前記第１基板に前記第２基板を接着する前に、前記第１基板の前記第２基板との対向面に、表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行い、前記表面処理の後に、前記第１基板の前記対向面に、前記複数の光学ユニットのそれぞれの輪郭内で対応するレンズ部が取り囲まれるように接着剤を塗布し、前記接着剤の塗布後に前記第１基板に前記第２基板を重ね合わせて前記接着剤を硬化させる、光学ユニットの製造方法を提供する。

【0054】

第１基板の対向面に表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行わない場合には、第１基板の対向面に、各光学ユニットの輪郭内でレンズ部が取り囲まれるように接着剤を塗布しても、その状態が維持されずに、接着剤が特定の箇所に集束する現象が発生する。これに対し、上記の構成のように第１基板の対向面に表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行えば、各光学ユニットの輪郭内でレンズ部が取り囲まれるように接着剤を塗布した後もその状態が維持される。すなわち、第１基板の対向面に接着剤を塗布するという簡易な方法で、第１基板と第２基板とを各レンズ部の全周に亘って接着することができる。

【0055】

第２の態様として、第１の態様において、例えば、前記第１基板の前記対向面に表面自由エネルギーを上昇させる表面処理を行う際、前記第１基板の前記対向面の表面自由エネルギーを２６～７３ｍＪ／ｍ²としてもよい。

【0056】

第３の態様として、第１または第２の態様において、前記接着剤中には、単分散真球フィラーが分散してもよい。この構成によれば、接着剤のみで、接着剤の硬化後の接着層の厚さを一定に保つことができる。

【0057】

第４の態様として、第１～第３の態様の何れかにおいて、前記第１基板の前記対向面における前記第２基板と接着される部分はフラットであり、前記第２基板の前記第１基板との対向面における前記第１基板と接着される部分はフラットであってもよい。この構成によれば、第１基板および第２基板の強度を確保することができる。

【0058】

また、本開示は、レンズ部を有する、硬化性樹脂で構成された第１素子と、前記第１素子と重なり合う第２素子と、前記レンズ部を取り囲むように前記第１素子と前記第２素子との間に介在する、単分散真球フィラーを含む接着層と、を備える、光学ユニットを提供する。この構成によれば、単分散真球フィラーによって接着層の厚さが均一に確保される。

【0059】

第６の態様として、第５の態様において、例えば、前記第１素子の前記第２素子との対向面および前記第２素子の前記第１素子との対向面には、前記接着層を収容する溝が形成されていなくてもよい。この構成によれば、第１素子および第２素子の強度を確保することができる。

【符号の説明】

【0060】

１ 第１基板
１ａ 対向面
１０ 第１素子
１０ａ 対向面
１１ レンズ部
２ 第２基板
２ａ 対向面
２０ 第２素子
２０ａ 対向面
２１ レンズ部
３ 積層体
４ 光学ユニット
４０ 輪郭
５ 接着剤
５０ 接着層
６ 単分散真球フィラー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】