特開 2024-124541 光ガイド光学素子を製造する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024124541

(43)【公開日】2024-09-12

(54)【発明の名称】光ガイド光学素子を製造する方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 5/00 20060101AFI20240905BHJP

   G02B 27/02 20060101ALI20240905BHJP

【ＦＩ】

G02B5/00 B

G02B27/02 Z

【審査請求】有

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2024109893

(22)【出願日】2024-07-08

(62)【分割の表示】P 2021551594の分割

【原出願日】2020-04-14

(31)【優先権主張番号】62/833,808

(32)【優先日】2019-04-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】518105275

【氏名又は名称】ルーマス リミテッド

【氏名又は名称原語表記】Ｌｕｍｕｓ Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】110000523

【氏名又は名称】アクシス国際弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】エラド・シャーリン

(72)【発明者】

【氏名】ドロール・アルモニ

(57)【要約】

【課題】プレートには応力が加わって、プレートを歪ませ、結果としてプレートに所望されない曲率が生じ、ＬＯＥによって提供される画像品質が低下する。
【解決手段】方法は、複数の透明なプレートを提供することであって、各プレートは、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されている、提供することと、サブセットのプレートの表面のうちの第１の表面を第１のコーティングでコーティングすることと、サブセットのプレートの表面のうちの第２の表面を第２のコーティングでコーティングすることと、複数の透明なプレートを相互に結合して、スタックを形成することと、光学素子を形成するように、透明なプレートの表面に対して斜めに角度付けられた平行面に沿ってスタックを切断することと、を含み、第１のコーティングは、第１のセットの機械的特性を有する部分反射コーティングであり、第２のコーティングは、第１のコーティングと同様のコーティングであり得る。
【選択図】図２Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の部分反射表面を有する光ガイド光学素子を製造する方法であって、
複数の透明なプレートを提供することであって、各プレートは、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されている、提供することと、
サブセットのプレートの前記表面のうちの第１の表面を第１のコーティングでコーティングすることと、
前記サブセットのプレートの前記表面のうちの第２の表面を第２のコーティングでコーティングすることと、
前記複数の透明なプレートを相互に結合して、スタックを形成することと、
前記光学素子を形成するように、前記透明なプレートの前記表面に対して斜めに角度付けられた平行な平面に沿って前記スタックを切断することと、を含み、
前記第１のコーティングは、第１のセットの機械的特性を有する部分反射コーティングであり、前記第２のコーティングは、前記第１のコーティングと同様のコーティングと、前記第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングと、からなる群から選択される、方法。

【請求項2】

前記サブセットのプレートは、前記複数のプレートのうち、１つおきのプレートからなり、前記第２のコーティングは、第１のコーティングと同様のコーティングである、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記複数のプレートのうちの少なくとも１つのプレートは、第１の表面が前記第１のコーティングでコーティングされ、かつ、第２の表面が前記第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングでコーティングされる、請求項２に記載の方法。

【請求項4】

前記サブセットのプレートは、前記複数のプレートのすべてのプレートからなり、前記第２のコーティングは、前記第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングである、請求項１に記載の方法。

【請求項5】

少なくとも１対の平行な外表面を有する光ガイド光学素子であって、
前記１対の平行な外表面に非平行な表面を有する複数の透明なプレートから作製された複数の部分反射表面を備え、各プレートは、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されており、
サブセットのプレートの各プレートは、一方の表面が第１のコーティングでコーティングされ、第２の表面が第２のコーティングでコーティングされ、前記第１のコーティングは、第１のセットの機械的特性を有する部分反射コーティングであり、前記第２のコーティングは、前記第１のコーティングと同様のコーティングと、前記第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングと、からなる群から選択される、光ガイド光学素子。

【請求項6】

前記サブセットのプレートは、前記複数のプレートのうち、１つおきのプレートから構成され、前記第２のコーティングが前記第１のコーティングと同様のコーティングである、請求項５に記載の光ガイド光学素子。

【請求項7】

前記複数のプレートのうちの少なくとも１つのプレートは、第１の表面が前記第１のコーティングでコーティングされ、かつ、第２の表面が前記第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングでコーティングされる、請求項６に記載の光ガイド光学素子。

【請求項8】

前記第２のコーティングは、前記第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングである、請求項５に記載の光ガイド光学素子。

【請求項9】

複数の部分反射表面を有する光ガイド光学素子を製造する方法であって、
複数の透明なプレートを提供することであって、各プレートは、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されている、提供することと、
前記各プレートの前記表面の第１の表面を第１のコーティングでコーティングすることと、
前記複数の透明なプレートを相互に結合して、スタックを形成することと、
前記光学素子を形成するように、透明なプレートの面に対して斜めに角度付けられた平行な平面に沿って前記スタックを切断することと、を含み、
前記第１のコーティングは、交互の高屈折率コーティング材料と低屈折率コーティング材料の複数の層からなる部分反射コーティングであり、
前記低屈折率コーティング材料の前記複数の層の第１のサブセットは、第１の屈折率を有する第１のコーティング材料からなり、
前記低屈折率コーティング材料の前記複数の層の第２のサブセットは、第２の屈折率を有する第２のコーティング材料からなり、
前記高屈折率コーティング材料と、前記第１の低屈折率コーティング材料と、前記第２の低屈折率コーティング材料との組み合わせは、前記第１のコーティングによって前記プレートに加わる応力を中和するために効果的である、方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示の主題は、光ガイド光学素子に関し、より具体的には、光ガイド光学素子を製造する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特定のヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）は、導波路とも呼ばれる光ガイド光学素子（「ＬＯＥ」）を採用し、その導波路の外表面からの全内部反射によって基板内に光波を閉じ込めることによって動作する。導波路の内側に閉じ込められた光波は、アレイ状の部分反射表面よって結合される。導波路の内表面は、典型的には、複数の透明な平面プレートを接合することによって作製される。プレートを接合する前に、典型的には、プレートは、一方の表面が薄膜の部分反射コーティングでコーティングされている。画質を維持するために、プレートは、可能な限り平坦にする必要がある。しかしながら、薄膜および／またはコーティングプロセスによって、プレートには応力が加わって、プレートを歪ませ、結果としてプレートに所望されない曲率が生じ、ＬＯＥによって提供される画像品質が低下する。

【発明の概要】

【0003】

本開示の主題の一態様によれば、複数の部分反射表面を有する光ガイド光学素子を製造する方法が提供される。この方法は、複数の透明なプレートを提供することであって、各プレートは、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されている、提供することと、サブセットのプレートの表面のうちの第１の表面を第１のコーティングでコーティングすることと、サブセットのプレートの表面のうちの第２の表面を第２のコーティングでコーティングすることと、複数の透明なプレートを相互に結合して、スタックを形成することと、光学素子を形成するように、透明なプレートの表面に対して斜めに角度付けられた平行面に沿ってスタックを切断することと、を含み、第１のコーティングは、第１のセットの機械的特性を有する部分反射コーティングであり、第２のコーティングは、第１のコーティングと同様のコーティングと、第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングと、からなる群から選択される。

【0004】

本開示の主題の別の態様によれば、少なくとも１対の平行な外表面を有する光ガイド光学素子であって、１対の平行な外表面に非平行な表面を有する複数の透明なプレートから作製された複数の部分反射表面を備え、各プレートは、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されており、サブセットのプレートの各プレートは、一方の表面が第１のコーティングでコーティングされ、第２の表面が第２のコーティングでコーティングされ、第１のコーティングは、第１のセットの機械的特性を有する部分反射コーティングであり、第２のコーティングは、第１のコーティングと同様のコーティングと、第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングと、からなる群から選択される。

【0005】

本開示の主題のいくつかの態様によれば、サブセットのプレートは、複数のプレートのうち、１つおきのプレートから構成され、第２のコーティングは、第１のコーティングと同様のコーティングである。複数のプレートのうちの少なくとも１つのプレートは、第１の表面が第１のコーティングでコーティングされ、かつ、第２の表面が第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングでコーティングされ得る。

【0006】

本開示の主題のいくつかの態様によれば、サブセットのプレートは、複数のプレートのうちのすべてのプレートで構成され、第２のコーティングは、第１のセットの機械的特性と実質的に同様の第２のセットの機械的特性を有する非反射コーティングである。

【図面の簡単な説明】

【0007】

本発明を理解し、それを実際にどのように実施することができるかを確認するために、実施形態を非限定的な実施例として添付の図面を参照して説明する。

【0008】

【図1A】先行技術による、ＬＯＥの側面図を示す。

【図1B】先行技術による、ＬＯＥの等角図を示す。

【図1C】先行技術による、ＬＯＥの製造方法を示す。

【図2A】本開示の主題の第１の実施形態による、ＬＯＥを製造する方法を示す。

【図2B】本開示の主題の第１の実施形態による、ＬＯＥを製造する特に好ましい方法を示す。

【図3】本開示の主題の第２の実施形態による、ＬＯＥを製造する方法を示す。

【図4A】本開示の主題の第１の実施形態による、平行平面に沿って切断されたスタックを示す。

【図4B】本開示の主題の第２の実施形態による、平行平面に沿って切断されたスタックを示す。

【図5A】本開示の主題の第２の実施形態による、平行平面に沿って切断された図４Ａの代替的なスタックを示す。

【図5B】本開示の主題の第２の実施形態による、平行平面に沿って切断された図４Ｂの代替的なスタックを示す。

【図6A】本開示の主題のさらに別の実施形態による、片面コーティングの実施形態を示す。

【図6B】本開示の主題のさらに別の実施形態による、片面コーティングの実施形態を示す。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下の詳細な説明には、本発明の完全な理解を提供するために、多くの特定の詳細が示されている。しかしながら、本開示の主題は、これらの特定の詳細なしで実施され得ることが、当業者によって理解されるであろう。他の場合では、本開示の主題を曖昧にしないように、周知の方法、手順、および構成要素は、詳細には説明されていない。

【0010】

これを念頭に置いて、ここで図１Ａ～１Ｃを参照する。ここには、先行技術により作製されたＬＯＥが示されている。図１Ａは、複数のプレート４と、複数の部分反射内表面２と、を有する、ＬＯＥ８の側面図を示している。図１Ｂは、ＬＯＥ８の等角図を示している。図１Ｃは、ＬＯＥ８の先行技術の製造方法を示しており、各プレート４は、接合する前に、薄い膜の部分反射コーティング１２で一方の表面がコーティングされている。代替的な先行技術の方法が示されている図４Ａ～４Ｂにさらに示されているように、次に、プレートは相互に結合されてスタック６を形成し、そのスタックは平行平面１６に沿ってスライスされてＬＯＥ８を形成する。

【0011】

通常、部分反射コーティングでは、それが適用される表面に一定量の応力が加わる。この応力が各プレートの一方の表面に適用され、他方の表面には適用されない場合、この応力によってプレートが歪み、プレートに所望されない曲率を引き起こし、結果としてＬＯＥが低品質の画像を伝播させることを生じ得る。歪みの量は、一般に、特定のコーティングの機械的特性（例えば、薄膜コーティングの応力特性）によって、かつ／または、コーティングプロセスの結果として判定される。例えば、コーティング材料は、コーティングされた膜に引き起こされる応力に関連する固有の特性を有し得る。これらの特性には、例えば、引張または圧縮となり得る、方向性の応力特性が含まれる。応力は、様々なコーティング層、および／または、材料の温度変化下、または、コーティングとプレートの間の異なる膨張係数によって引き起こされ得る。

【0012】

本発明者らは、部分反射コーティングによって引き起こされるプレートへの応力の悪影響を軽減し、それにより、歪みの量を低減または完全に排除する方法を見出した。具体的には、本発明の特定の特に好ましい実施形態によれば、プレートの一部、または、すべては、以下でより完全に詳述されるように、同様の応力特性を有するコーティングで反対の表面がコーティングされる。

【0013】

ここで図２Ａ、２Ｂおよび３を参照すると、本開示の主題の特定の実施形態による、本発明のＬＯＥを製造する２つの方法が示されている。双方の方法では、最初に複数の透明なプレート１０を提供し、ここで、各プレートは、反対の表面が相互に平行になるように、２つの反対の表面上で研磨されている。明確化のために、前述の説明では、２つの反対の表面は、時折「左」および「右」面と称され得る。本発明の目的のために、これらの説明的な明示は、本説明の目的のために２つの反対の表面を区別することのみを意味し、処理中、または、最終製品において、プレートの特定の順序および／または光学特性を決して示すものではないことを理解されたい。

【0014】

図２Ａ、２Ｂおよび３に示されるように、部分反射コーティング１２である第１のコーティングは、次に、プレート１０の少なくとも一部（本明細書ではプレートの「サブセット」と称される）の表面の片側にコーティングされる。図２Ａ、２Ｂおよび３では、サブセットのプレートは、１０’として示されている。例として、図２Ａ、２Ｂおよび３では、プレート１０’の左面に適用された部分反射コーティング１２が示されている。次に、特定の実施形態に応じて、同一または異なるコーティングのいずれかであり得る第２のコーティングが、以下に詳述されるように、プレート１０’の第２の表面上にコーティングされる。

【0015】

特定の実施形態において、いくつかのＬＯＥでは、プレートが異なると必要な反射率も異なり得る。したがって、「第１のコーティング」または「部分反射コーティング」への言及は、すべて部分反射であるが、それぞれの反射パラメータが異なり得るコーティングの群からの１つのコーティングを指すと解釈されるべきである。特定の実施形態では、反射パラメータは、特定のＬＯＥの設計要件に従って、後続の各表面に対して漸進的に変更することができる。

【0016】

第１の実施形態では、図２Ａに示されるように、プレートのサブセットは１つおきのプレートから構成される。サブセットの各プレート１０’は、部分反射コーティング１２で左右の両方の表面がコーティングされている。残りのプレートは、コーティングされていない。コーティングされたプレートは、その両面が同様のコーティングでコーティングされているので、そのようなプレートに加わるコーティングによって誘発されるいかなる応力も双方の反対の表面に等しく加わり、それによって歪み効果を低減または排除する。「類似」のコーティングとは、同様に応力を加えるコーティングを指し、それらは同一の組成、同一数の層、および同一の総厚で製造されてもよく、あるいは、されなくてもよいことを理解されたい。

【0017】

図４Ａ～４Ｂに示すように、プレートは相互に接合されてＬＯＥを形成するため、すべてのプレートを部分反射コーティングでコーティングする必要はなく、すなわち、コーティングが施されているプレート（２つの隣接するプレートなど）の光学特性に相違はない。したがって、本発明者らは、１つおきにプレートの両面に部分反射コーティングを適用し、他のプレートにはコーティングを適用しないことが有利であることを見出した。このようにして、コーティングによって引き起こされるプレートの平坦度の偏差は、反対側の同様の偏差によって相殺され、プレートの全体的な曲率が低減または排除される。さらに、プレートの両面は、同時にコーティングすることができる。

【0018】

特定の特に好ましい実施形態において、および図２Ｂに示されるように、奇数の光学活性表面が存在する場合には、プレート１０’’（これは、図２Ｂに示される最後のプレートであり得るか、または代替的に、スタック内の任意の場所に配置されたプレートとすることができる）は、図３に示される第２の実施形態を参照して以下でさらに詳細に説明するように、その一方の表面が部分反射コーティング１２でコーティングされ、対向する表面が中和コーティング１４でコーティングされる。

【0019】

部分反射コーティングは、好ましくは、高屈折率と低屈折率（および場合によっては中間値）が交互にあり、異なる層厚を有する層を有する多層誘電体コーティングとして実装され、ここで、すべて当技術分野で既知であるように、かつ、当技術分野で既知の標準ソフトウェアツールを使用して導出することができるように、厚さおよび層特性は所望の光学特性を提供するためにアルゴリズムに従って選択される。同様に、第２のコーティングは、好ましくは、同じアプローチおよび技術を使用して実装されるが、定義された光学特性は、関連するすべての角度に対する反射防止コーティングの光学特性である。反射防止特性は、典型的には、部分反射コーティングよりも少ない層数で達成され得るが、以下でさらに考察されるように、同様の機械的特性を達成するために部分反射コーティングと同数の層を使用して、反射防止特性が実装されることが好ましい。

【0020】

第２の実施形態では、図３に示されるように、サブセットのプレートはすべてのプレートで構成され、サブセットの各プレート１０’は、その第１の表面（例えば、図３の左面として示される）が部分反射コーティング１２でコーティングされ、かつ、その第２の表面（例えば、図３の右面として示されている）が中和コーティング１４でコーティングされている。中和コーティング１４は、認識されるような影響を光の透過に対して及ぼさない（すなわち、非反射性である）が、部分反射性のコーティング１２と実質的に同様の機械的特性、すなわち、応力特性を有する。したがって、他の表面（すなわち、コーティング１２の存在しない表面）に中和コーティング１４を適用すると、実質的に同等の応力が各コーティングされたプレートの両面に加わり、それによって歪み効果を低減または排除する。この実施形態では、各プレートがコーティングされるが、プレートの両側は、同等の応力特性を有するコーティングでコーティングされる。結果として、第１の実施形態と同様に、コーティングによって引き起こされるプレートの平坦度の偏差は、反対側の等しい偏差によって相殺され、プレートの全体的な曲率を低減または排除する。

【0021】

特定の実施形態では、前述のように、中和コーティング１４は反射防止コーティングである。特定の特に好ましい実施形態では、反射防止コーティングは、部分反射コーティングと同様の層組成および層数のコーティングであるが、反射防止光学特性を生成するように選択された厚さで適用される。多くの場合、同一の組成を有する層を同数使用することで、厚さを変えるだけで、プレートの如何なる残留歪みを許容レベルまで低減するために十分な同様の応力効果が得られる。しかしながら、「応力中和」コーティングのための異なる層組成および／または層の数の使用もまた、本発明の範囲内にある。

【0022】

特定の実施形態では、部分反射コーティングおよび中和コーティングは、プレートに同時に適用することができる。特定の実施形態では、コーティングを適用した後、プレートは歪み、次いで修正され得る。特定の実施形態では、応力はコーティングプロセスによって、および／またはコーティングが適用された後の冷却中に引き起こされる。

【0023】

「実質的に同様」の機械的特性とは、プレートの歪みが低減され、好ましくは排除される程度に機械的特性が十分に類似していることを意味することに留意されたい。多くの場合、反射率／透過率のわずかに異なる比率を達成するために、かつ／または、反射防止特性を達成するために、プレートの両側のコーティング間で実際に層の厚さが異なっているが、特に層の数とその組成が同一である場合は、同様の一連のコーティングを使用することにより、多くの場合には、高品質の製品に対して十分に高度な応力除去を達成する程度まで「実質的に同様」となることが見出されている。

【0024】

ここで図４Ａ～４Ｂを参照すると、先行技術の方法と同様に、上記の実施形態の双方において、次いで、プレートを相互に結合して、スタック６を形成し、光学素子を形成するようにプレートの表面に対して斜めに角度付けられた平行平面１６に沿ってスタックを切断することによって、ＬＯＥ８が形成される。特定の実施形態では、プレートは、陽極接合などの接着剤を含まない結合プロセスで結合され得る。

【0025】

いくつかの実施形態では、図４Ａに示されるように、プレートは、角度付けることなく積み重ねることができ、その場合、スタック６は、プレートの表面に対して角度付けられている平行平面に沿って切断される。他の実施形態では、図４Ｂに示されるように、プレート自体がスタック内で角度付けられており、その場合、スタック６は、真っ直ぐに切断される。いくつかの実施形態（図示せず）では、スタックは、例えば、２次元導波路を形成するために、他の平面に沿って切断することができる。

【0026】

図５Ａ～５Ｂを参照すると、いくつかの実施形態では、プレート１０とは異なる厚さを有する１つ以上のエンドプレート１８が、スタック６の端部に取り付けられ得る。いくつかの実施形態では、エンドプレート１８は、１つ以上のコーティングでコーティングすることもできる。これらのコーティングは、プレート１０に適用されるコーティングと同一または異なるコーティングとすることができる。特定の最も特に好ましい実施形態では、コーティングは、エンドプレート１８に適用されない。

【0027】

特定の実施形態では、いくつかのＬＯＥは、異なるプレートにおいて異なる量の反射率を必要とし得る。したがって、「第１のコーティング」または「部分反射コーティング」への言及は、すべて部分反射であるが、それぞれの反射パラメータが異なり得るコーティングの群からの１つのコーティングを指すと解釈されるべきである。特定の実施形態では、反射パラメータは、特定のＬＯＥの設計要件に従って、後続の各表面に対して漸進的に変更することができる。

【0028】

図６Ａ～６Ｂは、プレート１０の各々が片面のみコーティングされ得る一実施形態を概略的に示す。ここで図６Ａを参照すると、いくつかの実施形態では、スタック６内の複数のプレート１０の各々は、部分反射コーティング１２’でコーティングされている。ここで図６Ｂを参照すると、コーティング１２’は、屈折率Ｒ_hを有する高屈折率コーティングＨと、屈折率Ｒ₁を有する低屈折率コーティングＬとの交互の層から構成され得る（Ｒ_h＞Ｒ₁）。例えば、コーティング１２’は、交互のコーティングＨ₁、Ｌ₁、Ｈ₂、Ｌ₂…などからなることができ、図６Ｂの左側に示すように、Ｈ₁はプレート表面に適用され、次いでＨ₁上にＬ₁が適用され、次いでＬ₁上にＨ₂が適用され、次いでＨ₂上にＬ₂が適用され．．．など。コーティングＨおよび／またはＬは、それ自体が、組み合わされたときに所望の屈折率、すなわちＨコーティング層のＲ_hおよびＬコーティング層のＲ_lを達成する複数の異なるコーティング材料から構成され得ることを理解されたい。

【0029】

コーティングＨとＬの各々は、プレートの表面に適用されたときにそれぞれ固有の応力特性（引張または圧縮）（特定の温度、厚さ、コーティング手順などによって異なる場合がある）を有するため、ストーニー方程式などの既知の手法を使用してコーティングの総応力１２’を計算することができる。上で考察されるように、１２’の総応力は望ましくなく、各プレートの片側に加えられたときに、プレート１０の歪みを引き起こし得る。

【0030】

しかしながら、本発明者らは、図６Ｂの右側部分に示されるように、ＨまたはＬ層の一部を、（場合によっては）異なる材料または材料の組み合わせで作製された代替のＨ’またはＬ’で置き換えることが可能であることを見出した。この場合、コーティング１２’は、全体的に中性の応力（プレート１０への引張応力または圧縮応力が最小または全くないということを意味する）を有するように設計および構築され得る。したがって、コーティング１２’は、プレート望ましくない歪みを引き起こすことなく、プレート１０の各々の片側に適用され得る。

【0031】

例えば、次のようにプレート表面から外側に適用された、ＳｉＯ２（Ｒ～１．４２）とＴａ２Ｏ５（Ｒ～２．０７５）の１７層の交互層からなるコーティングを考える。
層１、３、５、７、９、１１、１３、１５、１７＝ＴＡ２Ｏ５
層２、４、６、８、１０、１２、１４、１６＝ＳＩＯ２

【0032】

この場合、コーティング１２’の約６分の総引張応力は２１６．４ＭＰａを超える。これは、片面コーティングには望ましくない。しかしながら、Ｌ層（すなわち、ＳｉＯ２）一部がＬ’＝ＭｇＦ２（Ｒ～１．３８）の層に置き換えられた場合、例えば、
層１、３、５、７、９、１１、１３、１５、１７：ＴＡ２Ｏ５
層２、４、６、１４、１６：ＳＩＯ２
層８、１０、１２：ＭｇＦ２
ＭｇＦ２層は、プレート１０上のコーティング１２’の総応力が最小となって、それゆえ片面コーティングに許容されるように、コーティング１２’によって生成される総応力を効果的に中和する。置き換えられる層の数は、設計における総応力によって定義され、材料の数および応力特性、設計、ならびに層の厚さに応じて変化し得ることに留意されたい。

【0033】

さらに、置換層Ｈ’またはＬ’の屈折率は、（場合によっては）一次層ＨまたはＬの屈折率から６％以下の偏差を有することが好ましいことに留意されたい。

【0034】

本開示の主題の教示に従って製造されたＬＯＥは、Ｌｕｍｕｓ（イスラエル）の特許および特許出願に記載されている様々なニアアイディスプレイおよび関連する用途などの様々な用途に使用することができる。

【0035】

本発明は、その出願において、本明細書に含まれる説明に明記された、または、図面に示された詳細事項に限定されないことが理解されるであろう。本発明は、他の実施形態が可能であり、かつ様々な方法で実践または実施されることが可能である。したがって、本明細書で用いられる表現および用語は、説明を目的とするものであり、限定的なものと見なされるべきではないことを理解されたい。したがって、本開示の基礎となる概念が、本開示の主題のいくつかの目的を実施するための他の構造、方法、およびシステムを設計するための基礎として容易に利用され得ることを当業者は理解するであろう。

【0036】

当業者は、添付の特許請求の範囲内、または、添付の特許請求の範囲内によって定義され、その範囲から逸脱することなく、前述のように本発明の実施形態に様々な修正および変更を適用できることを容易に理解するであろう。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【手続補正書】

【提出日】2024-07-08

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の部分反射表面を有する光ガイド光学素子を製造する方法であって、
複数の透明プレートを提供することにして、各透明プレートは、未コーティングであり、同一の厚みを持つと共に、２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されている、ことと、
前記複数の透明プレートを第１及び第２サブセットに区分することと、
前記第１サブセットの前記透明プレートの前記２つの反対の表面の第１表面を多層誘電体コーティングから成る第１コーティングでコーティングすることと、
前記第１サブセットの前記透明プレートの前記２つの反対の表面の第２表面を多層誘電体コーティングから成る第２コーティングでコーティングすることと、
前記複数の透明プレートを一緒に結合してスタックを形成することにして、前記スタックが、前記第１サブセットの前記透明プレートと前記第２サブセットの透明プレートの交互配置を含み、前記第１サブセットの前記透明プレートが、前記第１及び第２コーティングでコーティングされており、前記第２サブセットの前記透明プレートが未コーティングである、ことと、
前記光ガイド光学素子を形成するように、前記透明プレートの前記表面に対して斜めに角度付けられた平行な平面に沿って前記スタックを切断することを含み、
前記第１及び第２コーティングが部分反射コーティングであり、前記２つの反対の表面の前記第１及び第２表面が同時に前記第１及び第２コーティングによりコーティングされる、方法。

【請求項2】

前記第１及び第２コーティングの前記多層誘電体コーティングが高及び低屈折率の層を交互に有する、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

少なくとも１対の平行な外表面を有する光ガイド光学素子であって、
前記１対の平行な外表面に非平行な表面を有する複数の透明プレートから作製された複数の部分反射表面を備え、前記複数の透明プレートの各透明プレートは、同一の厚みを持ち、かつ２つの反対の表面が相互に平行になるように研磨されており、
前記複数の透明プレートは、第１及び第２サブセットに区分され、
前記第１サブセットの各透明プレートは、その厚みを画定する２つの表面の一方の表面が第１コーティングでコーティングされ、その他方の表面が第２コーティングでコーティングされ、前記第１及び第２コーティングが、同一のコーティングから成り、
前記第２サブセットの各透明プレートは、その厚みを画定する２つの表面において未コーティングである、光ガイド光学素子。

【請求項4】

前記第１及び第２コーティングそれぞれが、高及び低屈折率の層を交互に有する多層誘電体コーティングから成る、請求項３に記載の光ガイド光学素子。

【外国語明細書】