特開 2024-124640 乾燥装置、および乾燥圧縮ガス生成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024124640

(43)【公開日】2024-09-13

(54)【発明の名称】乾燥装置、および乾燥圧縮ガス生成装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 53/22 20060101AFI20240906BHJP

   B01D 53/26 20060101ALI20240906BHJP

【ＦＩ】

B01D53/22

B01D53/26

B01D53/26 100

B01D53/26 231

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023032457

(22)【出願日】2023-03-03

(71)【出願人】

【識別番号】390005407

【氏名又は名称】ＡＧＣエンジニアリング株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001634

【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 翔

【テーマコード（参考）】

4D006

4D052

【Ｆターム（参考）】

4D006GA41

4D006HA02

4D006HA18

4D006JA03A

4D006JA12C

4D006JA27C

4D006KA52

4D006KA54

4D006KA72

4D006KB12

4D006KB30

4D006MA01

4D006MB04

4D006MC01

4D006MC18

4D006MC28

4D006MC29

4D006MC30

4D006MC58

4D006MC59

4D006MC61

4D006MC62

4D006PA05

4D006PB17

4D006PB65

4D006PC72

4D052AA01

4D052AA05

4D052BA04

4D052BB02

4D052CD00

4D052DA06

4D052EA02

4D052FA05

4D052HA00

4D052HA05

4D052HA12

(57)【要約】

【課題】本発明によれば、消費電力を低減することにより省エネルギー化できる乾燥装置を提供できる。
【解決手段】本発明の乾燥装置は、圧縮機によって生成された圧縮ガスを除湿する乾燥装置であって、前記圧縮ガスを除湿する第１乾燥機と、前記第１乾燥機によって除湿された前記圧縮ガスを除湿する第２乾燥機と、を備える。前記第１乾燥機は、内部を前記圧縮ガスが流れる複数本の第１中空糸膜から成る第１中空糸膜束を有する。前記第１中空糸膜束は、前記乾燥装置の外部の雰囲気に露出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧縮機によって生成された圧縮ガスを除湿する乾燥装置であって、
前記圧縮ガスを除湿する第１乾燥機と、
前記第１乾燥機によって除湿された前記圧縮ガスを除湿する第２乾燥機と、
を備え、
前記第１乾燥機は、内部を前記圧縮ガスが流れる複数本の第１中空糸膜から成る第１中空糸膜束を有し、
前記第１中空糸膜束は、前記乾燥装置の外部の雰囲気に露出する、乾燥装置。

【請求項2】

前記第２乾燥機は、電力によって駆動する電動乾燥機である、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項3】

前記第２乾燥機は、前記圧縮ガスを冷却することによって、前記圧縮ガスに含まれる水分を結露させて前記圧縮ガスを除湿する、請求項２に記載の乾燥装置。

【請求項4】

前記第２乾燥機は、前記圧縮ガスに含まれる水分を吸着可能な吸着剤を収容する乾燥室と、前記吸着剤を加熱する加熱部と、を有する、請求項２に記載の乾燥装置。

【請求項5】

前記第２乾燥機は、内部を前記圧縮ガスが流れる複数本の第２中空糸膜から成る第２中空糸膜束と、前記第２中空糸膜束を収容するケースと、を有し、
前記ケースの内部には、パージガスが流れ、
前記パージガスの水蒸気圧は、複数本の第２中空糸膜の内部を流れる前記圧縮ガスの水蒸気圧よりも小さい、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項6】

前記パージガスは、前記第２中空糸膜束から排出される前記圧縮ガスの一部である、請求項５に記載の乾燥装置。

【請求項7】

前記第１中空糸膜束の外周面に空気を送る送風部を備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の乾燥装置。

【請求項8】

前記送風部は、前記第２乾燥機に設けられる、請求項７に記載の乾燥装置。

【請求項9】

複数本の前記第１中空糸膜のそれぞれは、繊維から成る被覆部によって被覆されている、請求項１から６のいずれか一項に記載の乾燥装置。

【請求項10】

請求項１から６のいずれか一項に記載の前記乾燥装置と、
前記圧縮ガスを生成する圧縮機と、
を備える、乾燥圧縮ガス生成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、乾燥装置、および乾燥圧縮ガス生成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

圧縮ガスによって可動する機器には、圧縮ガスが含む水分によって機器が錆付くことを防止するために、乾燥した圧縮ガスを供給する必要がある。また、圧縮ガスは、圧縮過程における体積の減少に伴って、雰囲気よりも水蒸気圧が高くなる。そのため、従来から、圧縮ガスを除湿する乾燥機が提案および実用化されている。特許文献１には、圧縮ガスを冷却することによって、圧縮ガスに含まれる水分を結露させて圧縮ガスを除湿する電動式の冷却式乾燥機が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－９５７４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のような電動式の冷却式乾燥機のみによって圧縮ガスの除湿を行う場合、圧縮ガスの水蒸気圧は高いため、冷却式乾燥機によって冷却する水分量は多くなり易い。したがって、圧縮ガスに含まれる水分を冷却して結露させるために消費される電力が増大し易いため、冷却式乾燥機の省エネルギー化を図ることは困難であった。

【0005】

本発明は、上記事情に鑑みて、消費電力を低減することにより省エネルギー化できる乾燥装置および乾燥圧縮ガス生成装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、以下の態様を有する。
［１］圧縮機によって生成された圧縮ガスを除湿する乾燥装置であって、前記圧縮ガスを除湿する第１乾燥機と、前記第１乾燥機によって除湿された前記圧縮ガスを除湿する第２乾燥機と、を備え、前記第１乾燥機は、内部を前記圧縮ガスが流れる複数本の第１中空糸膜から成る第１中空糸膜束を有し、前記第１中空糸膜束は、前記乾燥装置の外部の雰囲気に露出する、乾燥装置。
すなわち、本発明の乾燥装置は、圧縮ガスの除湿を行う際に電力等のエネルギーを消費しない第１乾燥機によって、圧縮ガスの水蒸気圧を雰囲気の水蒸気圧まで低減できるため、乾燥装置の省エネルギー化を図るものである。

【0007】

［２］前記第２乾燥機は、電力によって駆動する電動乾燥機である、［１］に記載の乾燥装置。
［３］前記第２乾燥機は、前記圧縮ガスを冷却することによって、前記圧縮ガスに含まれる水分を結露させて前記圧縮ガスを除湿する、［２］に記載の乾燥装置。
［４］前記第２乾燥機は、前記圧縮ガスに含まれる水分を吸着可能な吸着剤を収容する乾燥室と、前記吸着剤を加熱する加熱部と、を有する、［２］に記載の乾燥装置。
［５］前記第２乾燥機は、内部を前記圧縮ガスが流れる複数本の第２中空糸膜から成る第２中空糸膜束と、前記第２中空糸膜束を収容するケースと、を有し、前記ケースの内部には、パージガスが流れ、前記パージガスの水蒸気圧は、複数本の第２中空糸膜の内部を流れる前記圧縮ガスの水蒸気圧よりも小さい、［１］に記載の乾燥装置。
［６］前記パージガスは、前記第２中空糸膜束から排出される前記圧縮ガスの一部である、［５］に記載の乾燥装置。
［７］前記第１中空糸膜束の外周面に空気を送る送風部を備える、［１］～［６］のいずれかに記載の乾燥装置。
［８］前記送風部は、前記第２乾燥機に設けられる、［７］に記載の乾燥装置。
［９］複数本の前記第１中空糸膜のそれぞれは、繊維から成る被覆部によって被覆されている、［１］～［８］のいずれかに記載の乾燥装置。
［１０］［１］～［９］のいずれかに記載の前記乾燥装置と、前記圧縮ガスを生成する圧縮機と、を備える、乾燥圧縮ガス生成装置。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、消費電力を低減することにより省エネルギー化できる乾燥装置および乾燥圧縮ガス生成装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置を示すブロック図である。

【図2】本発明の第１実施形態の第１乾燥機を示す図であって、第１軸線に沿って切断した断面図である。

【図3】本発明の第１実施形態の第１乾燥機を上流側から見た図である。

【図4】本発明の第１実施形態の第２乾燥機を示す模式図である。

【図5】本発明の第１実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置における圧縮ガスの水蒸気圧推移の一例を示す図である。

【図6】本発明の第２実施形態の第２乾燥機を示す模式図である。

【図7】本発明の第３実施形態の第２乾燥機を示す図であって、第２軸線に沿って切断した断面図である。

【図8】本発明の第３実施形態の第２乾燥機を上流側から見た図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

本明細書および請求の範囲における以下の用語は、以下の意味を示す。
「～」で表される数値範囲は、～の前後の数値を下限値および上限値とする数値範囲を意味する。
「ケースに対する中空糸膜の充填率」は、ケースを軸線方向に垂直な方向に切断した断面における、モジュール本体の内部の断面積に対する、各中空糸膜の外縁を基準とした断面積の合計の割合を意味する。
「ケースの有効長」とは、ケースにおいて水蒸気の分離に寄与する中空糸膜の長さであり、典型的にはケースにおける封止材間の長さである。

【0011】

本発明の乾燥圧縮ガス生成装置は、圧縮機によって生成した圧縮ガスから水分を分離して乾燥した圧縮ガスを生成する。以下、本発明の乾燥圧縮ガス生成装置の一例について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において例示される図の寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施できる。

【0012】

以下の説明において各図には、適宜矢印Ｄｆを示す。矢印Ｄｆは、乾燥圧縮ガス生成装置において圧縮ガスが流れる方向を示す。以下の説明では、圧縮ガスが流れる方向のうち矢印Ｄｆが向く側（＋Ｄｆ側）を「下流側」と呼び、圧縮ガスが流れる方向のうち矢印Ｄｆが向く側と逆側（－Ｄｆ側）を「上流側」と呼ぶ。
以下の説明において各図には、雰囲気Ａｍを示す。本発明において、雰囲気Ａｍは、乾燥圧縮ガス生成装置の周囲の空気である。

【0013】

＜第１実施形態＞
図１に示すように、本実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置１０は、圧縮ガスを動力源とする機器８０に乾燥した圧縮ガスＰＡ３を供給する。機器８０の構成等は、特に限定されず、圧縮ガスを用いて機器８０自体または機器８０の一部を可動させる構成であればよい。機器８０の一例としては、圧縮ガスによって可動部が可動するロボットおよび電車のパンタグラフ等が挙げられる。また、乾燥圧縮ガス生成装置１０は、実験室等の室内に乾燥した圧縮ガスＰＡ３を供給し、該室内の雰囲気を乾燥させるために用いられてもよい。

【0014】

乾燥圧縮ガス生成装置１０は、圧縮機２０と、乾燥装置３０と、配管部６０と、を備える。配管部６０は、内部を圧縮ガスが流れる配管である。圧縮機２０において生成された圧縮ガスは、乾燥装置３０において除湿された後、機器８０に供給される。配管部６０は、圧縮機２０と乾燥装置３０とを接続し、乾燥装置３０と機器８０とを接続する。配管部６０は、第１配管６１と、第２配管６２と、第３配管６３と、を有する。

【0015】

圧縮機２０は、圧縮ガスＰＡ１を生成する。圧縮機２０の構成は特に限定されず、圧縮機２０は、ターボ圧縮機であってもよいし、容積圧縮機であってもよい。圧縮機２０は、乾燥装置３０および機器８０よりも上流側（－Ｄｆ側）に配置される。圧縮機２０には、第１配管６１の上流側の端部が接続される。図示は省略するが、圧縮機２０は、内部に吸引した雰囲気Ａｍを圧縮することにより圧縮ガスＰＡ１を生成し、圧縮ガスＰＡ１を第１配管６１の内部に圧送する。本実施形態において、圧縮機２０は、電力を動力源とする電動式圧縮機である。圧縮機２０において消費される電力は、圧縮機２０が生成する圧縮ガスＰＡ１の体積と相関する。なお、圧縮機２０は、他の送風装置から送られてきたガスを圧縮することにより圧縮ガスＰＡ１を生成し、圧縮ガスＰＡ１を第１配管６１の内部に圧送してもよい。

【0016】

圧縮ガスＰＡ１は、圧縮機２０によって雰囲気Ａｍを圧縮することにより生成される。よって、単位体積当たりの圧縮ガスＰＡ１に含まれる水分量は、単位体積当たりの雰囲気Ａｍに含まれる水分量よりも多い。よって、圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧は、雰囲気Ａｍの水蒸気圧よりも大きい。また、圧縮ガスＰＡ１の温度と雰囲気Ａｍの温度が同じ温度の場合、圧縮ガスＰＡ１の相対湿度は雰囲気Ａｍの相対湿度よりも大きい。大気圧下(０．１ＭＰａＡ)において、温度２０℃、相対湿度２５％の雰囲気Ａｍを、圧縮機２０によって０．８ＭＰａＡに圧縮すると、温度２０℃において圧縮ガスＰＡ１の相対湿度は１００％になる。このように、圧縮ガスＰＡ１は、雰囲気Ａｍよりも水蒸気圧が高く、飽和水蒸気圧に達しているため、結露し易い。

【0017】

仮に、圧縮ガスＰＡ１が全く除湿されないまま機器８０に供給されると、機器８０内での温度低下等によって圧縮ガスＰＡ１に含まれる水分が液化（凝縮）し易いため、機器８０内においてドレンが発生し易い。機器８０内においてドレンが発生すると、機器８０を構成する部材等が錆付いてしまう問題が発生する。そのため、本実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置１０では、乾燥装置３０によって圧縮ガスＰＡ１を除湿し、乾燥した圧縮ガスＰＡ３を機器８０に供給する。

【0018】

乾燥装置３０は、圧縮機２０の下流側（＋Ｄｆ側）、且つ、機器８０の上流側（－Ｄｆ側）に配置される。乾燥装置３０は、圧縮ガスＰＡ１を除湿して、除湿した圧縮ガスＰＡ３を機器８０に供給する。乾燥装置３０は、第１乾燥機４０と、第２乾燥機５０と、を備える。

【0019】

第１乾燥機４０は、圧縮ガスＰＡ１を除湿し、圧縮ガスＰＡ１よりも水蒸気圧が低い圧縮ガスＰＡ２を第２乾燥機５０に送る。第１乾燥機４０は、圧縮機２０の下流側（＋Ｄｆ側）、且つ、第２乾燥機５０の上流側（－Ｄｆ側）に配置される。第１乾燥機４０には、第１配管６１の下流側の端部が接続される。これにより、第１乾燥機４０は、第１配管６１を介して圧縮機２０と接続される。また、第１乾燥機４０には、第２配管６２の上流側の端部が接続される。第１乾燥機４０は、第２配管６２の内部に圧縮ガスＰＡ２を排出する。

【0020】

図２に示すように、本実施形態において、第１乾燥機４０は、圧縮ガスＰＡ１から水分を分離して、圧縮ガスＰＡ１を除湿する複数本の第１中空糸膜４５から成る第１中空糸膜束４６を有する。よって、第１乾燥機４０では、圧縮ガスＰＡ１を除湿するための動力が不要である。つまり、本実施形態の第１乾燥機４０では、電力を消費することなく、圧縮ガスＰＡ１を除湿できる。第１乾燥機４０は、上流フランジ４２と、下流フランジ４３と、第１中空糸膜束４６と、封止部４８と、を有する。

【0021】

なお、図２に示す第１軸線Ｊ１は、上流フランジ４２および下流フランジ４３それぞれの中心軸を示す仮想軸線である。本実施形態において、第１軸線Ｊ１は、圧縮ガスが流れる方向を示す矢印Ｄｆと平行な方向延びる。以下の説明において、第１軸線Ｊ１が延びる方向を「第１軸線方向」と呼ぶ場合がある。

【0022】

上流フランジ４２は、第１軸線Ｊ１を中心として第１軸線方向に突出する円筒状である。上流フランジ４２は、下流側（＋Ｄｆ側）に開口する。上流フランジ４２には、第１供給部４２ａが設けられる。第１供給部４２ａには、第１供給部４２ａを第１軸線方向に貫通する孔が設けられ、孔には第１配管６１の下流側の端部が接続される。これにより、上流フランジ４２の内部に圧縮ガスＰＡ１が流れ込む。

【0023】

下流フランジ４３は、第１軸線Ｊ１を中心として第１軸線方向に突出する円筒状である。下流フランジ４３は、上流側（－Ｄｆ側）に開口する。下流フランジ４３は、上流フランジ４２よりも下流側（＋Ｄｆ側）に配置される。下流フランジ４３は、上流フランジ４２と第１軸線方向に間隔をあけて配置される。下流フランジ４３には、第１排出部４３ａが設けられる。第１排出部４３ａには、第１排出部４３ａを第１軸線方向に貫通する孔が設けられ、孔には第２配管６２の上流側の端部が接続される。これにより、第１中空糸膜束４６によって除湿された圧縮ガスＰＡ２は、第２配管６２の内部に排出される。

【0024】

上流フランジ４２および下流フランジ４３それぞれの材質は特に限定されず、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニルを例示できる。上流フランジ４２および下流フランジ４３の材質は、１種でもよく、２種以上でもよい。また、上流フランジ４２および下流フランジ４３は、アルミニウム等の金属製であってもよい。

【0025】

上流フランジ４２および下流フランジ４３それぞれの形状は、円筒状に限定されず、四角筒状、六角筒状等の角筒状であってもよい。
上流フランジ４２および下流フランジ４３それぞれの外径は、３ｍｍ～２２５ｍｍが好ましい。上流フランジ４２および下流フランジ４３それぞれの内径は、１ｍｍ～２２０ｍｍが好ましい。

【0026】

第１中空糸膜束４６は、上流フランジ４２の内部から下流フランジ４３の内部まで第１軸線方向に延在する複数本の第１中空糸膜４５から成る。図３に示すように、本実施形態において、各第１中空糸膜４５のそれぞれは、繊維から成る被覆部４５ａによって被覆されている。図示は省略するが、被覆部４５ａは、ガスの通気を妨げない程度の通気性を有している。そのため、被覆部４５ａと第１中空糸膜４５との間で空気が滞留することを抑制できる。

【0027】

図２に示すように、第１中空糸膜束４６の上流側（－Ｄｆ側）の端部は、封止部４８によって上流フランジ４２の内周面と気密に固定される。第１中空糸膜束４６の下流側（＋Ｄｆ側）の端部は、封止部４８によって下流フランジ４３の内周面と気密に固定される。なお、本発明において、「気密に固定される」とは、接着剤等により取付け部からガスが漏れないように固定された状態である。図１に示すように、本実施形態において、第１中空糸膜束４６のうち、上流フランジ４２と下流フランジ４３との間の部分は、乾燥装置３０の外部の雰囲気Ａｍに露出している。これにより、各第１中空糸膜４５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ１が含む水分を、各第１中空糸膜４５を介して雰囲気Ａｍに排出できる。

【0028】

図２に示すように、上流フランジ４２の内部および下流フランジ４３の内部のそれぞれにおいて、各第１中空糸膜４５の端部は開口している。すなわち、各第１中空糸膜４５の内部と、上流フランジ４２の内部の空間と、下流フランジ４３の内部の空間とは、互いに連通している。そのため、第１供給部４２ａから供給された圧縮ガスＰＡ１は、上流フランジ４２の内部空間を介して、各第１中空糸膜４５の内部を下流側（＋Ｄｆ側）に向けて流れつつ除湿され、除湿された圧縮ガスＰＡ２は、下流フランジ４３の内部空間と第１排出部４３ａとを介して、第２配管６２の内部に排出される。

【0029】

第１中空糸膜４５の形状は、特に限定されず、典型的には円筒状である。第１中空糸膜４５の外径は、０．２ｍｍ～６.０ｍｍが好ましく、０．４ｍｍ～１.０ｍｍがより好ましい。第１中空糸膜４５の内径は、０．１ｍｍ～５．５ｍｍが好ましい。第１中空糸膜４５の膜厚は、０．０５ｍｍ～１．５０ｍｍが好ましい。第１中空糸膜４５の長さは、３０ｍｍ～１０００ｍｍが好ましい。第１中空糸膜束４６を構成する第１中空糸膜４５の本数は、１本～１０００００本が好ましい。

【0030】

第１中空糸膜４５の材質は、特に限定されず、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、シリコン、酢酸セルロース、フッ素系イオン交換樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレンを例示できる。なかでも、水蒸気の透過性に優れる点から、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、フッ素系イオン交換樹脂が好ましい。
第１中空糸膜４５の材質は、１種でもよく、２種以上でもよい。

【0031】

封止部４８は、複数の第１中空糸膜４５の第１軸線方向の両端を保持する。本実施形態において、封止部４８は樹脂製である。封止部４８を形成する樹脂は、特に限定されず、エポキシ、ポリウレタン、シリコン、アクリルを例示できる。封止部４８の材質は、１種でもよく、２種以上でもよい。封止部４８は、第１封止部４８ａと、第２封止部４８ｂと、を有する。

【0032】

第１封止部４８ａは、上流フランジ４２の内部に配置される。第１封止部４８ａは、上流フランジ４２の内周面に接着によって固定される。第１封止部４８ａは、第１中空糸膜束４６の上流側（－Ｄｆ側）の端部を保持する。図３に示すように、第１封止部４８ａは、複数本の第１中空糸膜４５のそれぞれを覆う被覆部４５ａ同士の間を封止し、第１中空糸膜束４６と上流フランジ４２との間を封止する。図２に示すように、第１封止部４８ａによって、上流フランジ４２の内部の空間と、各第１中空糸膜４５の外部の空間とは気密に封止される。なお、「気密に封止される」とは、接着剤等により封止部から圧縮ガスが漏れないように封止された状態である。

【0033】

第２封止部４８ｂは、下流フランジ４３の内部に配置される。第２封止部４８ｂは、下流フランジ４３の内周面に接着によって固定される。第２封止部４８ｂは、第１中空糸膜束４６の下流側（＋Ｄｆ側）の端部を保持する。図示は省略するが、第１封止部４８ａと同様に、第２封止部４８ｂは、複数本の第１中空糸膜４５のそれぞれを覆う被覆部４５ａ同士の間を封止し、第１中空糸膜束４６と下流フランジ４３との間を封止する。図２に示すように、第２封止部４８ｂによって、下流フランジ４３の内部の空間と、各第１中空糸膜４５の外部の空間とは気密に封止される。

【0034】

本実施形態の第１乾燥機４０では、上流フランジ４２の第１供給部４２ａから圧縮ガスＰＡ１が供給されると、上流側（－Ｄｆ側）から下流側（＋Ｄｆ側）に向かって各第１中空糸膜４５の内部を圧縮ガスＰＡ１が通過する。また、上述のように、各第１中空糸膜４５は、雰囲気Ａｍに露出している。さらに、上述のように、各第１中空糸膜４５の内部を通過する圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧は、雰囲気Ａｍの水蒸気圧よりも高い。よって、圧縮ガスＰＡ１に含まれる水分は、各第１中空糸膜４５の膜外に透過し、雰囲気Ａｍに吸収される。これにより、各第１中空糸膜４５の内部を通過する圧縮ガスＰＡ１は除湿され、除湿された圧縮ガスＰＡ２が各第１中空糸膜４５から下流フランジ４３内の空間を介して、第２配管６２の内部に排出される。なお、第１乾燥機４０において除湿された圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧は、雰囲気Ａｍの水蒸気圧とほぼ同じになる。また、上述のように、第１乾燥機４０では、電力を消費することなく、圧縮ガスＰＡ１を除湿する。つまり、本実施形態の第１乾燥機４０は、電力を消費することなく、圧縮ガスＰＡ１を雰囲気Ａｍと同等の水蒸気圧まで除湿できる。

【0035】

図１に示すように、第２乾燥機５０は、第１乾燥機４０によって除湿された圧縮ガスＰＡ２を除湿し、圧縮ガスＰＡ２よりも水蒸気圧が低い圧縮ガスＰＡ３を生成する。第２乾燥機５０は、第１乾燥機４０の下流側（＋Ｄｆ側）、且つ、機器８０の上流側（－Ｄｆ側）に配置される。第２乾燥機５０には、第２配管６２の下流側の端部が接続される。これにより、第２乾燥機５０は、第２配管６２を介して第１乾燥機４０と接続される。また、第２乾燥機５０には、第３配管６３の上流側の端部が接続される。第３配管６３の下流側の端部は、機器８０と接続される。これにより、第２乾燥機５０は、第３配管６３を介して機器８０と接続される。また、第２乾燥機５０は、第３配管６３の内部に圧縮ガスＰＡ３を排出する。これにより、乾燥装置３０によって除湿された圧縮ガスＰＡ３が機器８０に供給される。

【0036】

本実施形態において、第２乾燥機５０は、電力によって駆動する電動乾燥機である。本実施形態において、第２乾燥機５０は、圧縮ガスＰＡ２を冷却することによって、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を結露させて圧縮ガスＰＡ２を除湿する冷却式乾燥機である。図４に示すように、第２乾燥機５０は、ハウジング５０ａと、圧縮器５１と、凝縮器５２と、膨張弁５３と、冷却室５４と、蒸発器５５と、排気ダクト５８と、冷媒Ｌと、を有する。また、第２乾燥機５０には、送風部５９が設けられる。

【0037】

ハウジング５０ａは、圧縮器５１および凝縮器５２等の第２乾燥機５０を構成する各部を内部に収容する。本実施形態において、ハウジング５０ａの上部には開口５０ｂが設けられる。ハウジング５０ａの内部は、開口５０ｂを介して排気ダクト５８の内部と繋がる。排気ダクト５８は、ハウジング５０ａの内部の空気をハウジング５０ａの外部に排出する風路である。排気ダクト５８の一方の開口である第１開口５８ａは、開口５０ｂと繋がる。排気ダクト５８の他方の開口である第２開口５８ｂは、上流側（－Ｄｆ側）に向けて開口する。

【0038】

第２乾燥機５０は、冷媒Ｌを圧縮器５１、凝縮器５２、膨張弁５３、および蒸発器５５の順に循環させつつ、冷却室５４に配置された蒸発器５５によって、圧縮ガスＰＡ２と冷媒Ｌと間で熱交換を行い、圧縮ガスＰＡ２を冷却する。圧縮器５１は、冷媒Ｌを圧縮して高温且つ高圧の冷媒Ｌを凝縮器５２に向けて吐出する。凝縮器５２において、冷媒Ｌは送風部５９によって凝縮器５２に送風される空気との間の熱交換によって冷却されて液化する。なお、本実施形態の凝縮器５２には複数のフィン５２ａが設けられるため、空気と冷媒Ｌとの間の熱交換効率を高められる。複数のフィン５２ａは、設けられなくてもよい。

【0039】

送風部５９は、凝縮器５２に空気を送風するととともに、排気ダクト５８を介してハウジング５０ａの内部の空気をハウジング５０ａの外部に排出する送風ファンである。上述のように、排気ダクト５８の第２開口５８ｂは、上流側（－Ｄｆ側）に向けて開口するため、排気ダクト５８から排出される空気は雰囲気Ａｍと共に第２乾燥機５０から上流側に向けて流れる攪拌風ＡＦとなる。攪拌風ＡＦは、図１に示すように、第１乾燥機４０に向けて流れるため、図２に示すように、攪拌風ＡＦは、第１中空糸膜束４６の周りを流れる。つまり、送風部５９は、ハウジング５０ａ内の空気を第１中空糸膜束４６の外周面に送る。

【0040】

図４に示すように、凝縮器５２において液化した高圧且つ液相の冷媒Ｌは、膨張弁５３に送られ、膨張弁５３において減圧される。膨張弁５３において減圧された、低圧且つ液相の冷媒Ｌは、冷却室５４内に配置される蒸発器５５に流れ込む。

【0041】

冷却室５４は、ハウジング５０ａの内部に配置される。冷却室５４は、蒸発器５５を内部に収容する。冷却室５４には、第２供給部５４ａと、第２排出部５４ｂと、ドレン流路５４ｃが設けられる。第２供給部５４ａには、第２供給部５４ａを貫通する孔が設けられ、孔には第２配管６２の下流側（＋Ｄｆ側）の端部が接続される。これにより、冷却室５４の内部に圧縮ガスＰＡ２が流れ込む。第２排出部５４ｂには、第２排出部５４ｂを貫通する孔が設けられ、孔には第３配管６３の上流側の端部が接続される。これにより、第２乾燥機５０によって除湿された圧縮ガスＰＡ３は、第３配管６３の内部に排出され、図１に示すように、機器８０に供給される。

【0042】

図２に示すように、ドレン流路５４ｃは、圧縮ガスＰＡ２を冷却する際に発生したドレンを排出する経路である。ドレン流路５４ｃの一端は、冷却室５４の底部に設けられる孔と繋がる。ドレン流路５４ｃの他端は、ハウジング５０ａの外部に位置する。これにより、ドレンは第２乾燥機５０の外部に排出される。

【0043】

冷却室５４の内部に送られた圧縮ガスＰＡ２は、蒸発器５５において低温且つ液相の冷媒Ｌと熱交換されることによって、本実施形態では３℃程度に冷却される。圧縮ガスＰＡ２が冷却されると、圧縮ガスＰＡ２の飽和水蒸気圧が低下するため、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分の一部が結露し、ドレン流路５４ｃから第２乾燥機５０の外部に排出される。これにより、圧縮ガスＰＡ２は除湿され、露点が３℃程度の圧縮ガスＰＡ３が生成される。圧縮ガスＰＡ３の水蒸気圧は、圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧よりも低い。なお、本実施形態の蒸発器５５には複数のフィン５５ａが設けられている。これにより、蒸発器５５の表面積を大きくできるため、圧縮ガスＰＡ２と冷媒Ｌとの間の熱交換効率を高められる。

【0044】

圧縮ガスＰＡ３は、第２排出部５４ｂを介して、第３配管６３の内部に排出される。第２排出部５４ｂを通過した直後の圧縮ガスＰＡ３は、温度が３℃程度、且つ、相対湿度が略１００％であるが、第３配管６３を通過する際に雰囲気Ａｍとの熱交換等によって、温められると、圧縮ガスＰＡ３の相対湿度は低下する。圧縮ガスＰＡ３は、図示しないヒータ等によって加熱されてもよく、この場合、圧縮ガスＰＡ３の相対湿度を安定して低減できるため、機器８０の内部で圧縮ガスＰＡ３に含まれる水分が結露することをより好適に抑制できる。

【0045】

冷媒Ｌは、蒸発器５５において、圧縮ガスＰＡ２との熱交換によって蒸発すると、圧縮器５１に流れ込む。その後、冷媒Ｌは、圧縮器５１において圧縮され、上述の手順と同様の手順で凝縮器５２、膨張弁５３、および蒸発器５５を循環しつつ、蒸発器５５において、圧縮ガスＰＡ２を冷却し、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を結露させることによって、圧縮ガスＰＡ２を除湿し、圧縮ガスＰＡ２よりも水蒸気圧が低い圧縮ガスＰＡ３を生成する。

【0046】

図５は、本実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置１０で圧縮ガスを生成した実験における、圧縮ガスの水蒸気圧推移の一例を示す図である。図５には、図１に示す、圧縮機２０によって圧縮された直後の圧縮ガスＰＡ１、第１乾燥機４０によって除湿された圧縮ガスＰＡ２、および第２乾燥機５０によって除湿された圧縮ガスＰＡ３それぞれの水蒸気圧を示す。なお、本実験における、雰囲気Ａｍの温度および相対湿度は、それぞれ、２３℃および３２％であった。

【0047】

上述のように、圧縮機２０は、内部に吸引した雰囲気Ａｍを圧縮することにより圧縮ガスＰＡ１を生成する。本実験において、圧縮ガスＰＡ１の圧力は約０．９４ＭＰａＡ、温度は２３℃、相対湿度は１００％であり、水蒸気圧は２８１１Ｐａであった。なお、圧縮ガスＰＡ１を生成する際に発生したドレンは、図示しないドレン流路を介して圧縮機２０の外部に排出される。

【0048】

上述のように、第１乾燥機４０において除湿された圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧は、雰囲気Ａｍの水蒸気圧とほぼ同じ水蒸気圧である。本実験において、圧縮ガスＰＡ２の圧力は０．９４ＭＰａＡ、温度は２３℃、相対湿度は３２％であり、水蒸気圧は９０８Ｐａであった。よって、第１乾燥機４０によって、圧縮ガスの水蒸気圧は２８１１Ｐａから９０８Ｐａに低減された。本実験において、第１乾燥機４０によって低減した水蒸気圧である第１低減水蒸気圧ΔＰＶ１は、１９０３Ｐａであった。なお、上述のように、本実施形態の第１乾燥機４０は、電力を消費することなく、圧縮ガスＰＡ１を雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで除湿できる。したがって、本実験において、第１乾燥機４０は、電力を消費することなく、圧縮ガスの水蒸気圧を１９０３Ｐａ低減している。

【0049】

次に、本実験において、第２乾燥機５０において除湿された圧縮ガスＰＡ３の圧力は０．９４ＭＰａＡ、温度は３℃、相対湿度は１００％であり、水蒸気圧は７５８Ｐａであった。よって、第２乾燥機５０によって、圧縮ガスの水蒸気圧は９０８Ｐａから７５８Ｐａに低減された。本実験において、第２乾燥機５０によって低減した水蒸気圧である第２低減水蒸気圧ΔＰＶ２は、１５０Ｐａであった。

【0050】

乾燥装置３０が第１乾燥機４０を有さず、第２乾燥機５０のみによって構成される場合、第２乾燥機５０には、水蒸気圧が２８１１Ｐａの圧縮ガスＰＡ１が直接供給され、水蒸気圧が７５８Ｐａの圧縮ガスＰＡ３が排出される。したがって、この場合において、第２乾燥機５０によって低減した水蒸気圧である第３低減水蒸気圧ΔＰＶ３は、２０５３Ｐａになる。つまり、乾燥装置３０が第１乾燥機４０を有することによって、第２乾燥機５０において低減する圧縮ガスの水蒸気圧を第３低減水蒸気圧ΔＰＶ３（２０５３Ｐａ）から第２低減水蒸気圧ΔＰＶ２（１５０Ｐａ）に低減できる。よって、乾燥装置３０が第１乾燥機４０を有することによって、第２乾燥機５０において低減する圧縮ガスの水蒸気圧、すなわち第２乾燥機５０において圧縮ガスから分離する水分量を低減できる。より詳細には、本実験では、第１乾燥機４０によって、電力を消費することなく、第２乾燥機５０において低減する圧縮ガスの水蒸気圧、および圧縮ガスから分離湿する水分量のそれぞれを９３％程度削減できる。

【0051】

本実施形態によれば、乾燥装置３０は、圧縮ガスＰＡ１を除湿する第１乾燥機４０と、第１乾燥機４０によって除湿された圧縮ガスＰＡ２を除湿する第２乾燥機５０と、を備え、第１乾燥機４０は、内部を圧縮ガスＰＡ１が流れる複数本の第１中空糸膜４５から成る第１中空糸膜束４６を有し、第１中空糸膜束４６は、乾燥装置３０の外部の雰囲気Ａｍに露出する。上述のように、第１乾燥機４０は、各第１中空糸膜４５を介して、各第１中空糸膜４５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ１に含まれる水分を雰囲気Ａｍに排出できる。そのため、圧縮ガスＰＡ１の除湿を行う際に電力等のエネルギーを消費しない第１乾燥機４０によって、圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧を雰囲気Ａｍの水蒸気圧程度まで低減できる。よって、電動式の乾燥機のみによって圧縮ガスＰＡ１の除湿を行う構成の乾燥装置と比較して、圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧を雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで低減するために消費されるエネルギーに相当する電力を低減できるため、乾燥装置３０によって乾燥した圧縮ガスＰＡ３を生成するために必要なエネルギーを低減できる。したがって、乾燥装置３０の省エネルギー化できる。また、これにより、圧縮機２０が圧縮ガスＰＡ１を生成するために消費する電力と、乾燥装置３０が乾燥した圧縮ガスＰＡ３を生成するために消費する電力と、を合算した電力を低減できるため、乾燥圧縮ガス生成装置１０の省エネルギー化できる。

【0052】

本実施形態によれば、第２乾燥機５０は、電力によって駆動する電動乾燥機である。上述のように、電力等のエネルギーを消費しない第１乾燥機４０によって、圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧を雰囲気Ａｍの水蒸気圧程度まで低減できるため、電動式の第２乾燥機５０で除湿する水分量を低減できる。より詳細には、上述の図５に示した実験では、第１乾燥機４０によって、第２乾燥機５０で除湿する水分量を９３％程度低減できる。したがって、第２乾燥機５０で圧縮ガスＰＡ２を除湿するために消費される電力を低減できるため、乾燥装置３０および乾燥圧縮ガス生成装置１０の省エネルギー化できる。

【0053】

本実施形態によれば、第２乾燥機５０は、圧縮ガスＰＡ２を冷却することによって、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を結露させて圧縮ガスＰＡ２を除湿する。上述のように、電力等のエネルギーを消費しない第１乾燥機４０によって、圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧を雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで低減できるため、第２乾燥機５０で除湿する水分量を低減できる。これにより、第２乾燥機５０において圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を冷却するために消費される電力を低減できる。上述の図５に示した実験では、第２乾燥機５０が圧縮ガスＰＡ２含まれる水分を冷却するために消費される電力を９３％程度削減できる。したがって、乾燥装置３０および乾燥圧縮ガス生成装置１０の省エネルギー化できる。

【0054】

本実施形態によれば、乾燥装置３０は、第１中空糸膜束４６の外周面に空気を送る送風部５９を備える。よって、第１中空糸膜束４６に上述の攪拌風ＡＦを送れるため、各第１中空糸膜４５それぞれの周りの空気が滞留することを抑制できる。これにより、第１乾燥機４０によって圧縮ガスＰＡ１の除湿を行う際に、各第１中空糸膜４５それぞれの周りのガスの水蒸気圧が高くなりすぎることを抑制できる。よって、第１乾燥機４０の除湿性能が低下することを抑制できるため、第１乾燥機４０において、圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧をより安定して雰囲気Ａｍの水蒸気圧程度まで低減できる。したがって、第２乾燥機５０で消費される電力をより安定的に低減できるため、乾燥装置３０および乾燥圧縮ガス生成装置１０の省エネルギー化できる。

【0055】

本実施形態によれば、送風部５９は、第２乾燥機５０に設けられる。そのため、第２乾燥機５０の排気を行う送風部５９によって、第１乾燥機４０の第１中空糸膜束４６の外周面に攪拌風ＡＦを送れる。したがって、第２乾燥機５０に設けられる送風部５９とは別個に、第１中空糸膜束４６に攪拌風ＡＦを送る送風部材を設ける場合と比較して、乾燥装置３０の部品点数および製造コストが増大することを抑制できる。

【0056】

本実施形態によれば、複数本の第１中空糸膜４５のそれぞれは、繊維から成る被覆部４５ａによって被覆されている。そのため、雰囲気Ａｍに露出して配置される複数本の第１中空糸膜４５に、乾燥装置３０および乾燥圧縮ガス生成装置１０のメンテナンス等を行う作業者、および作業者が使用する工具等が接触しても、第１中空糸膜４５が損傷することを抑制できる。したがって、第１乾燥機４０によって、圧縮ガスＰＡ１を安定して除湿できるため、乾燥装置３０および乾燥圧縮ガス生成装置１０の省エネルギー化をより安定的に図れる。

【0057】

＜第２実施形態＞
図６は、第２実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置２１０の第２乾燥機２５０を示す模式図である。以下の説明において、上述の第１実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。なお、図示は省略するが、本実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置２１０が備える圧縮機２０、第１乾燥機４０、配管部６０、および機器８０の構成等は、上述の第１実施形態の圧縮機２０、第１乾燥機４０、配管部６０、および機器８０の構成等と同一である。

【0058】

本実施形態の第２乾燥機２５０は、電力によって駆動する吸着式乾燥機である。第２乾燥機２５０は、風路２５１と、乾燥室２５３と、吸着剤２５７と、加熱部２５８と、ハウジング２６０と、を有する。また、第２乾燥機２５０には、送風部２５９が設けられる。

【0059】

ハウジング２６０は、乾燥室２５３および加熱部２５８等の第２乾燥機２５０を構成する各部を内部に収容する。本実施形態において、ハウジング２６０の上流側（－Ｄｆ側）を向く面には、上流側に開口する開口２６０ａが設けられる。開口２６０ａには、送風部２５９が取り付けられる。

【0060】

送風部２５９は、ハウジング２６０の内部の空気を上流側に向けて排気する送風ファンである。送風部２５９によって第２乾燥機２５０から排出される空気は、雰囲気Ａｍと共に第２乾燥機２５０から上流側に向けて流れる攪拌風ＡＦとなる。攪拌風ＡＦは、上述の第１実施形態の攪拌風ＡＦと同様に、第１乾燥機４０に向けて流れる。したがって、各第１中空糸膜４５それぞれの周りの空気が滞留することを抑制できるため、第１乾燥機４０の除湿性能が低下することを抑制できる。これにより、第１乾燥機４０によって、圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧を安定して雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで低減できる。

【0061】

乾燥室２５３は、ハウジング２６０の内部に配置される。乾燥室２５３は、内部に吸着剤２５７を収容する。本実施形態において、乾燥室２５３は、第１乾燥室２５４と、第２乾燥室２５５と、を含む。第１乾燥室２５４には、上流側（－Ｄｆ側）に開口する第１吸気口２５４ａと、下流側（＋Ｄｆ側）に開口する第１排気口２５４ｂと、が設けられる。第２乾燥室２５５には、上流側に開口する第２吸気口２５５ａと、下流側に開口する第２排気口２５５ｂと、が設けられる。

【0062】

吸着剤２５７は、乾燥室２５３の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を吸着可能である。吸着剤２５７は、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を吸着することにより、圧縮ガスＰＡ２を除湿する。吸着剤２５７の材質は特に限定されず、二酸化珪素、酸化カルシウム、および塩化カルシウム等の吸湿性を有する材質を例示できる。本実施形態において、吸着剤２５７の材質は、二酸化珪素である。吸着剤２５７は、円形状に成形された複数の二酸化珪素粒子によって構成される。本実施形態において、吸着剤２５７は、第１吸着剤２５７ａと、第２吸着剤２５７ｂと、を含む。第１吸着剤２５７ａは、第１乾燥室２５４の内部に収容される。第２吸着剤２５７ｂは、第２乾燥室２５５の内部に収容される。

【0063】

風路２５１は、内部を圧縮ガスが流れる配管である。風路２５１は、第２配管６２と、乾燥室２５３とを繋ぎ、乾燥室２５３と第３配管６３とを繋ぐ。風路２５１は、第２供給部２５１ａと、第１流入路２５２ａと、第２流入路２５２ｂと、第１流出路２５６ａと、第２流出路２５６ｂと、第２排出部２５１ｂと、を有する。風路２５１には、第１切替部２６１ａおよび第２切替部２６１ｂが配置される。

【0064】

第２供給部２５１ａは、第２配管６２と、第１流入路２５２ａおよび第２流入路２５２ｂとを繋ぐ。第２供給部２５１ａは、第２配管６２の下流側（＋Ｄｆ側）の端部と接続される。第１流入路２５２ａは、第２供給部２５１ａと第１乾燥室２５４とを繋ぐ。第２流入路２５２ｂは、第２供給部２５１ａと第２乾燥室２５５とを繋ぐ。第１流入路２５２ａおよび第２流入路２５２ｂのそれぞれは、第１切替部２６１ａを介して、第２供給部２５１ａの下流側の端部と繋がる。第１流入路２５２ａの下流側の端部は、第１乾燥室２５４の第１吸気口２５４ａに接続される。第２流入路２５２ｂの下流側の端部は、第２乾燥室２５５の第２吸気口２５５ａに接続される。

【0065】

第１流出路２５６ａは、第１乾燥室２５４と第２排出部２５１ｂとを繋ぐ。第２流出路２５６ｂは、第２乾燥室２５５と第２排出部２５１ｂとを繋ぐ。第１流出路２５６ａの上流側（－Ｄｆ側）の端部は、第１乾燥室２５４の第１排気口２５４ｂに接続される。第２流出路２５６ｂの上流側の端部は、第２乾燥室２５５の第２排気口２５５ｂに接続される。第１流出路２５６ａおよび第２流出路２５６ｂのそれぞれは、第２切替部２６１ｂを介して、第２排出部２５１ｂと繋がる。第２排出部２５１ｂは、第１流出路２５６ａおよび第２流出路２５６ｂと、第３配管６３と、を繋ぐ。第２排出部２５１ｂは、第３配管６３の上流側の端部と接続される。

【0066】

第１切替部２６１ａおよび第２切替部２６１ｂは、それぞれ、三方弁である。第１切替部２６１ａは、圧縮ガスＰＡ２が流れる風路を、第１流入路２５２ａと第２流入路２５２ｂとの間で切り替え可能である。第２切替部２６１ｂは、圧縮ガスＰＡ３が流れる流路を、第１流出路２５６ａと第２流出路２５６ｂとの間で切り替え可能である。なお、第１切替部２６１ａおよび第２切替部２６１ｂによる風路の切り替えは、図示しない制御部によって行われてもよいし、作業者等によって行われてもよい。

【0067】

加熱部２５８は、吸着剤２５７を加熱して、吸着剤２５７に吸着した水分を蒸発させることによって、吸着剤２５７から水分を除去する。本実施形態において、加熱部２５８は、電動ヒータである。本実施形態において、加熱部２５８は、第１加熱部２５８ａと、第２加熱部２５８ｂと、を含む。第１加熱部２５８ａは、第１乾燥室２５４と対向して配置され、第１吸着剤２５７ａを加熱する。第２加熱部２５８ｂは、第２乾燥室２５５と対向して配置され、第２吸着剤２５７ｂを加熱する。

【0068】

本実施形態の第２乾燥機２５０において、吸着剤２５７に吸着した水分量が所定量を超えると、吸着剤２５７が圧縮ガスＰＡ２を除湿する除湿性能は低下する。これに対して、本実施形態では、加熱部２５８によって吸着剤２５７を加熱し、上述のように吸着剤２５７に吸着した水分を除去することにより、吸着剤２５７が圧縮ガスＰＡ２を除湿する除湿性能を回復できる。これにより、本実施形態の第２乾燥機２５０では、除湿性能が低下した吸着剤２５７を交換することなく繰り返し使用できる。上述のように、加熱部２５８は電動ヒータであるため、本実施形態の第２乾燥機２５０では、加熱部２５８によって吸着剤２５７を加熱する際に電力が消費される。

【0069】

次に、第２乾燥機２５０の動作について説明する。まず、第１吸着剤２５７ａによって圧縮ガスＰＡ２を除湿する際には、第１切替部２６１ａは、第２供給部２５１ａと第１流入路２５２ａとを連通し、第２切替部２６１ｂは、第１流出路２５６ａと第２排出部２５１ｂとを連通する。第２配管６２を介して、第２供給部２５１ａに流入した圧縮ガスＰＡ２は、第１流入路２５２ａを通過して、第１乾燥室２５４の内部に流入する。第１乾燥室２５４の内部において、圧縮ガスＰＡ２は、第１吸着剤２５７ａと接触しつつ、下流側（＋Ｄｆ側）に向けて流れる。このとき、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分は第１吸着剤２５７ａに吸着する。これにより、圧縮ガスＰＡ２は除湿される。除湿された圧縮ガスＰＡ３は、第１流出路２５６ａおよび第２排出部２５１ｂを介して、第３配管６３に排出され、機器８０に供給される。

【0070】

第１吸着剤２５７ａに吸着した水分量が所定量を超えると、第１切替部２６１ａは、第２供給部２５１ａと第２流入路２５２ｂとを連通し、第２切替部２６１ｂは、第２流出路２５６ｂと第２排出部２５１ｂとを連通する。これにより、圧縮ガスＰＡ２は、第２流入路２５２ｂを通過して、第２乾燥室２５５の内部に流入し、第２吸着剤２５７ｂによって除湿される。除湿された圧縮ガスＰＡ３は、第２流出路２５６ｂおよび第２排出部２５１ｂを通過して、第３配管６３に排出され、機器８０に供給される。このとき、第１加熱部２５８ａは、第１吸着剤２５７ａの加熱を行う。これにより、上述のように、第１吸着剤２５７ａに吸着した水分は除去されるため、第１吸着剤２５７ａの除湿性能は回復する。第１吸着剤２５７ａに吸着している水分量が所定量以下になると、第１加熱部２５８ａは第１吸着剤２５７ａの加熱を停止する。

【0071】

その後、第２吸着剤２５７ｂに吸着した水分量が所定量を超えると、第１切替部２６１ａは、第２供給部２５１ａと第１流入路２５２ａとを連通し、第２切替部２６１ｂは、第１流出路２５６ａと第２排出部２５１ｂとを連通して、第１吸着剤２５７ａによって圧縮ガスＰＡ２を除湿する。このとき、第２加熱部２５８ｂは、第２吸着剤２５７ｂの加熱を行い、第２吸着剤２５７ｂの除湿性能を回復させる。以後は、上述の動作を繰り返すことによって、第２乾燥機２５０は、圧縮ガスＰＡ２を除湿する。

【0072】

第２乾燥機２５０において、圧縮ガスから除去する水分量は、圧縮ガスに含まれる水分量、すなわち圧縮ガスの水蒸気圧に依存する。本実施形態の乾燥装置２３０は、上述の第１実施形態の乾燥装置３０と同様に、第２乾燥機２５０の上流側（－Ｄｆ側）に第１乾燥機４０を有している。よって、上述のように、本実施形態の第１乾燥機４０は、電力を消費することなく、雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで除湿した圧縮ガスＰＡ２を生成する。すなわち、本実施形態の第２乾燥機２５０は、あらかじめ第１乾燥機４０によって雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで除湿された圧縮ガスＰＡ２を除湿する。

【0073】

乾燥装置２３０が第１乾燥機４０を有さず、第２乾燥機２５０のみによって構成される場合、第２乾燥機２５０は、圧縮ガスＰＡ２よりも水蒸気圧が高い圧縮ガスＰＡ１を除湿する。この場合、本実施形態の乾燥装置２３０と比較して、第２乾燥機２５０において除湿する水分量が多くなるため、吸着剤２５７に吸着する水分量が増加する。したがって、加熱部２５８によって吸着剤２５７を加熱して、吸着剤２５７の除湿性能を回復させる頻度が増大する。

【0074】

本実施形態によれば、第２乾燥機２５０は、圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を吸着可能な吸着剤２５７を収容する乾燥室２５３と、吸着剤２５７を加熱する加熱部２５８と、を有する。第２乾燥機２５０は、上述のようにあらかじめ第１乾燥機４０によって雰囲気Ａｍの水蒸気圧程度まで除湿された圧縮ガスＰＡ２を除湿するため、乾燥装置２３０が第１乾燥機４０を有さない場合と比較して、第２乾燥機２５０によって除去する水分量を低減できる。よって、加熱部２５８によって吸着剤２５７を加熱して、吸着剤２５７の除湿性能を回復させる頻度を低減できるため、第２乾燥機２５０において消費される電力を低減できる。したがって、乾燥装置２３０および乾燥圧縮ガス生成装置２１０の省エネルギー化できる。

【0075】

また、本実施形態では、上述のように、加熱部２５８によって吸着剤２５７を加熱して、吸着剤２５７の除湿性能を回復させる頻度を低減できるため、例えば加熱によって吸着剤２５７が砕ける等によって、吸着剤２５７が劣化することを抑制できる。したがって、吸着剤２５７を交換する頻度を低減できるとともに、第２乾燥機２５０の運転費用（ランニングコスト）を低減できる。

【0076】

また、本実施形態では、第２乾燥機２５０は、２つの乾燥室２５４，２５５を有し、各乾燥室２５４，２５５のそれぞれには、吸着剤２５７ａ，２５７ｂが収容される。そのため、一方の乾燥室に収容される吸着剤を加熱部２５８によって加熱することによって、吸着剤の除湿性能を回復させつつ、他方の乾燥室に収容される吸着剤によって圧縮ガスＰＡ２の除湿できる。したがって、吸着剤２５７の除湿性能を回復させる作業を行う際に、第２乾燥機２５０による圧縮ガスＰＡ２の除湿を停止する必要が無いため、機器８０に圧縮ガスＰＡ３を連続的に供給できる。したがって、乾燥装置２３０および乾燥圧縮ガス生成装置２１０の利便性を向上できる。

【0077】

＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置３１０の第２乾燥機３５０を示す断面図である。以下の説明において、上述の第１実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。なお、図示は省略するが、本実施形態の乾燥圧縮ガス生成装置３１０が備える圧縮機２０、第１乾燥機４０、配管部６０、および機器８０の構成等は、上述の第１実施形態の圧縮機２０、第１乾燥機４０、配管部６０、および機器８０の構成等と同一である。

【0078】

本実施形態の第２乾燥機３５０は、電力によって駆動する膜式乾燥機である。第２乾燥機３５０は、ケース３５１と、第１接続継手３５２と、第２接続継手３５３と、第２中空糸膜束３５６と、封止材３５８と、分岐配管３６５と、を備えている。また、第２乾燥機３５０には、送風部３５９が設けられる。

【0079】

図７に示す第２軸線Ｊ２は、ケース３５１の中心軸を示す仮想軸線である。本実施形態において、第２軸線Ｊ２は、圧縮ガスが流れる方向Ｄｆと平行な方向に延びる。以下の説明において、第２軸線Ｊ２が延びる方向を「第２軸線方向」と呼ぶ場合がある。また、以下の説明において、「ケース３５１に対する第２中空糸膜３５５の充填率」は、ケース３５１を第２軸線方向と直交する方向に切断した断面における、ケース３５１の内部の断面積に対する、各第２中空糸膜３５５の外縁を基準とした断面積の合計の割合を意味する。「ケース３５１の有効長」は、ケース３５１において水分の分離に寄与する各第２中空糸膜３５５の長さであり、典型的にはケース３５１における封止材３５８間の長さである。

【0080】

ケース３５１は、第２軸線方向に沿って延び、第２軸線方向の両側に開口する筒状である。本実施形態において、ケース３５１は、円筒状である。ケース３５１の内部には、第２中空糸膜束３５６および封止材３５８が収容される。ケース３５１の下流側（＋Ｄｆ側）の部分には、吸気口３５１ａが設けられる。ケース３５１の上流側（－Ｄｆ側）の部分には、排気口３５１ｂが設けられる。

【0081】

ケース３５１の材質は特に限定されず、アルミニウムおよびステンレス等の金属であってもよいし、アクリル樹脂およびポリカーボネート樹脂等の樹脂であってもよい。また、ケース３５１は、円筒状には限定されず、四角筒状、六角筒状等の角筒状であってもよい。ケース３５１の第２軸線方向の長さは、特に限定されず、有効長を１０ｍｍ～１０００ｍｍに設定できる。ケース３５１の外径は、４ｍｍ～２２５ｍｍが好ましい。ケース３５１の内径は、２ｍｍ～２２０ｍｍが好ましい。

【0082】

第１接続継手３５２は、ケース３５１の上流側（－Ｄｆ側）の端部に取り付けられている。図示は省略するが、第１接続継手３５２とケース３５１との間にはガスケットが配置され、第１接続継手３５２はケース３５１に気密に取り付けられる。第１接続継手３５２には、第２供給部３５２ａが設けられる。第２供給部３５２ａには、第２供給部３５２ａを第２軸線方向に貫通する孔が設けられ、孔には第２配管６２の下流側（＋Ｄｆ側）の端部が接続される。これにより、第１接続継手３５２の内部に圧縮ガスＰＡ２が流れ込む。

【0083】

第２接続継手３５３は、ケース３５１の下流側の端部に取り付けられている。図示は省略するが、第２接続継手３５３とケース３５１との間にはガスケットが配置され、第２接続継手３５３はケース３５１に気密に取り付けられる。第２接続継手３５３には、第２排出部３５３ａが設けられる。第２排出部３５３ａには、貫通孔３５３ｃおよび分岐孔３５３ｄが設けられる。貫通孔３５３ｃは、第２排出部３５３ａを第２軸線方向に貫通する孔である。貫通孔３５３ｃには第３配管６３の上流側（－Ｄｆ側）の端部が接続される。これにより、第２中空糸膜束３５６によって除湿された圧縮ガスＰＡ３は、第３配管６３の内部に排出され、機器８０に供給される。

【0084】

分岐孔３５３ｄは、第２排出部３５３ａを第２軸線方向と略直交する方向に貫通する孔である。分岐孔３５３ｄの一端は、貫通孔３５３ｃの内周面と繋がり、分岐孔３５３ｄの他端は、第２排出部３５３ａの外周面と繋がる。分岐孔３５３ｄの内部は、貫通孔３５３ｃの内部と繋がる。

【0085】

第１接続継手３５２の材質および第２接続継手３５３の材質は特に限定されず、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニルを例示できる。第１接続継手３５２および第２接続継手３５３の材質は、１種でもよく、２種以上でもよい。また、第１接続継手３５２および第２接続継手３５３は、アルミニウム等の金属製であってもよい。

【0086】

第２中空糸膜束３５６は、第２軸線方向に延在する複数本の第２中空糸膜３５５から成る。第２中空糸膜束３５６は、ケース３５１の上流側（－Ｄｆ側）の端部から下流側（＋Ｄｆ側）端部まで延在するように、ケース３５１の内部に充填されている。ケース３５１の内部において、第２中空糸膜束３５６の両端の部分は、封止材３５８によってケース３５１の内周面に気密に固定されている。

【0087】

ケース３５１の上流側の端部と下流側の端部において、各第２中空糸膜３５５の端面は開口した状態になっている。すなわち、各第２中空糸膜３５５の内部と、第１接続継手３５２の内部の空間と、第２接続継手３５３の内部内の空間とは、互いに連通している。よって、第２供給部３５２ａから供給された圧縮ガスＰＡ２は、第１接続継手３５２の内部空間を介して、各第２中空糸膜３５５の内部を下流側に向けて流れつつ除湿され、除湿された圧縮ガスＰＡ３は、第２接続継手３５３の内部空間と第２排出部３５３ａとを介して、第３配管６３に排出される。

【0088】

第２中空糸膜３５５の形状は、特に限定されず、典型的には円筒状である。第２中空糸膜３５５の外径は、０．２ｍｍ～６ｍｍが好ましく、０．４ｍｍ～１.０ｍｍがより好ましい。第２中空糸膜３５５の内径は、０．１ｍｍ～５．５ｍｍが好ましい。第２中空糸膜３５５の膜厚は、０．０５ｍｍ～１．５ｍｍが好ましい。ケース３５１に対する第２中空糸膜３５５の充填率は、５％～７０％である。第２中空糸膜３５５の充填率は、５０％以下が好ましい。第２中空糸膜束３５６を構成する第２中空糸膜３５５の本数は、１本～１０００００本が好ましい。

【0089】

第２中空糸膜３５５の材質としては、特に限定されず、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、シリコン、酢酸セルロース、フッ素系イオン交換樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレンを例示できる。なかでも、水蒸気の透過性に優れる点から、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、フッ素系イオン交換樹脂が好ましい。第２中空糸膜３５５の材質は、１種でもよく、２種以上でもよい。

【0090】

封止材３５８は、複数の第２中空糸膜３５５の第２軸線方向の両端の部分を保持する。封止材３５８は、ケース３５１の内周面に接着によって固定される。本実施形態において、封止材３５８は樹脂製である。封止材３５８を形成する樹脂は、特に限定されず、エポキシ、ポリウレタン、シリコン、アクリルを例示できる。なかでも、接着耐久性能および成形性の点から、封止材３５８を形成する樹脂は、エポキシおよびポリウレタンが好ましい。封止材３５８の材質は、１種でもよく、２種以上でもよい。本実施形態において、封止材３５８は、２個設けられる。封止材３５８は、第１封止材３５８ａと、第２封止材３５８ｂと、を有する。

【0091】

第１封止材３５８ａは、ケース３５１の内部に配置される。第２軸線方向において、第１封止材３５８ａは、ケース３５１の上流側（－Ｄｆ側）の端部と、排気口３５１ｂとの間に配置される。第１封止材３５８ａは、ケース３５１の内周面に接着によって固定される。第１封止材３５８ａは、第２中空糸膜束３５６の上流側の端部を保持する。図８に示すように、第１封止材３５８ａは、複数本の第２中空糸膜３５５同士の間を封止し、第２中空糸膜束３５６とケース３５１との間を封止する。図７に示すように、第１封止材３５８ａによって、第１接続継手３５２の内部の空間と、ケース３５１の内部の空間とは、気密に封止される。

【0092】

第２封止材３５８ｂは、ケース３５１の内部に配置される。第２軸線方向において、第２封止材３５８ｂは、ケース３５１の下流側（＋Ｄｆ側）の端部と、吸気口３５１ａとの間に配置される。第２封止材３５８ｂは、ケース３５１の内周面に接着によって固定される。第２封止材３５８ｂは、第２中空糸膜束３５６の下流側の端部を保持する。図示は省略するが、第１封止材３５８ａと同様に、第２封止材３５８ｂは、複数本の第２中空糸膜３５５同士の間を封止し、第２中空糸膜束３５６とケース３５１との間を封止する。第２封止材３５８ｂによって、第２接続継手３５３の内部の空間と、ケース３５１の内部の空間との間は、気密に封止される。

【0093】

第１封止材３５８ａの第２軸線方向の寸法および第２封止材３５８ｂの第２軸線方向の寸法は、それぞれ、５ｍｍ以上が好ましい。第１封止材３５８ａの第２軸線方向の寸法および第２封止材３５８ｂの第２軸線方向の寸法が係る範囲内であれば、第１封止材３５８ａおよび第２封止材３５８ｂと、ケース３５１との接着性を高められる。

【0094】

分岐配管３６５は、第２排出部３５３ａの分岐孔３５３ｄと、ケース３５１の吸気口３５１ａとを繋ぐ風路である。分岐配管３６５の一端は、分岐孔３５３ｄに接続される。分岐配管３６５の他端は、吸気口３５１ａに接続される。これにより、分岐配管３６５を介して、第２排出部３５３ａの貫通孔３５３ｃの内部と、ケース３５１の内部とが繋がる。

【0095】

第２排出部３５３ａには、第３切替部３７１が配置される。第３切替部３７１は、三方弁である。第３切替部３７１は、第３配管６３を流れる圧縮ガスＰＡ３の風量に対する分岐配管３６５を流れる圧縮ガスＰＡ３の風量の比率である風量比を切り替え可能である。本実施形態において、第３切替部３７１は、ミキシングバルブである。

【0096】

分岐配管３６５を流れる圧縮ガスＰＡ３は、吸気口３５１ａを介して、ケース３５１の内部に流れ込む。本実施形態において、ケース３５１の内部に流れ込む圧縮ガスＰＡ３は、各第２中空糸膜３５５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分を吸収するパージガスＧｐとしての役割を果たす。以下の説明では、分岐配管３６５およびケース３５１の内部を流れる圧縮ガスＰＡ３をパージガスＧｐと呼ぶ。パージガスＧｐは、第２中空糸膜束３５６から排出される圧縮ガスＰＡ３の一部である。つまり、パージガスＧｐは、第１乾燥機４０および第２乾燥機３５０によって除湿された圧縮ガスＰＡ３の一部である。したがって、パージガスＧｐの水蒸気圧は、複数本の第２中空糸膜３５５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧よりも小さい。

【0097】

送風部３５９は、パージガスＧｐを、上流側（－Ｄｆ側）に向けて排出する配管である。送風部３５９の一端は、ケース３５１の排気口３５１ｂと繋がり、送風部３５９の他端は、上流側に向けて開口する。送風部３５９から排出されるパージガスＧｐは、雰囲気Ａｍと共に第２乾燥機３５０から上流側に向けて流れる攪拌風ＡＦとなる。攪拌風ＡＦは、上述の第１実施形態の攪拌風ＡＦと同様に、第１乾燥機４０に向けて流れる。したがって、各第１中空糸膜４５の周りの空気が滞留することを抑制できるため、第１乾燥機４０の除湿性能が低下することを抑制できる。これにより、第１乾燥機４０によって、圧縮ガスＰＡ１の水蒸気圧を安定して雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで低減できる。

【0098】

第１接続継手３５２の第２供給部３５２ａから圧縮ガスＰＡ２が供給されると、各第２中空糸膜３５５の内部を圧縮ガスＰＡ２が下流側（＋Ｄｆ側）に向けて流れる。一方、ケース３５１の排気口３５１ｂからケース３５１の内部に流れ込んだパージガスＧｐは、各第２中空糸膜３５５同士の間を下流側から上流側（－Ｄｆ側）に向かって流れる。上述のように、パージガスＧｐの水蒸気圧は、複数本の第２中空糸膜３５５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧よりも小さい。そのため、各第２中空糸膜３５５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２に含まれる水分は、各第２中空糸膜３５５の膜外に透過し、パージガスＧｐに吸収される。圧縮ガスＰＡ２の水分を吸収したパージガスＧｐは、排気口３５１ｂおよび送風部３５９を介して、第２乾燥機３５０の外部に排出される。これにより、各第２中空糸膜３５５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２の水分が除去され、圧縮ガスＰＡ２は除湿される。よって、第２乾燥機３５０は、圧縮ガスＰＡ２よりも水蒸気圧が低い圧縮ガスＰＡ３を生成する。圧縮ガスＰＡ３は、各第２中空糸膜３５５から第２接続継手３５３の内部の空間に排出され、圧縮ガスＰＡ３の一部は、第３配管６３を介して機器８０に供給され、圧縮ガスＰＡ３の他の一部は、パージガスＧｐとしてケース３５１の内部に供給される。

【0099】

第２乾燥機３５０において、圧縮ガスから除去する水分量は、圧縮ガスに含まれる水分量、すなわち圧縮ガスの水蒸気圧に依存する。本実施形態の乾燥装置３３０は、上述の第１実施形態の乾燥装置３０と同様に、第２乾燥機３５０の上流側（－Ｄｆ側）に第１乾燥機４０を有している。よって、上述のように、本実施形態の第１乾燥機４０は、電力を消費することなく、雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで除湿した圧縮ガスＰＡ２を生成する。すなわち、本実施形態の第２乾燥機３５０は、あらかじめ第１乾燥機４０によって雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで除湿された圧縮ガスＰＡ２を除湿する。

【0100】

乾燥装置３３０が第１乾燥機４０を有さず、第２乾燥機３５０のみによって構成される場合、第２乾燥機３５０は、圧縮ガスＰＡ２よりも水蒸気圧が高い圧縮ガスＰＡ１を除湿する。この場合、本実施形態の乾燥装置３３０と比較して、第２乾燥機３５０において除去する水分量が多くなるため、パージガスＧｐが吸収する水分量は増加し、パージガスＧｐの水蒸気圧は高くなり易い。パージガスＧｐの水蒸気圧が高くなるほど、パージガスＧｐは水分を吸収しづらくなる。したがって、第２乾燥機３５０において除湿した後の圧縮ガスの水蒸気圧を、本実施形態の乾燥装置３３０によって除湿した圧縮ガスＰＡ３の水蒸気圧と同じ水蒸気圧にするためには、第３切替部３７１によって風量比を高めて、機器８０に供給する圧縮ガスＰＡ３の風量に対するパージガスＧｐの風量を増加させる必要がある。

【0101】

本実施形態によれば、第２乾燥機３５０は、内部を圧縮ガスＰＡ２が流れる複数本の第２中空糸膜３５５から成る第２中空糸膜束３５６と、第２中空糸膜束３５６を収容するケース３５１と、を有し、ケース３５１の内部には、パージガスＧｐが流れ、パージガスＧｐの水蒸気圧は、複数本の第２中空糸膜３５５の内部を流れる圧縮ガスＰＡ２の水蒸気圧よりも小さい。第２乾燥機３５０は、上述のように、あらかじめ第１乾燥機４０によって雰囲気Ａｍの水蒸気圧まで除湿された圧縮ガスＰＡ２を除湿するため、乾燥装置３３０が第１乾燥機４０を有さない場合と比較して、第２乾燥機３５０によって除去する水分量を低減できる。よって、乾燥装置３３０が第１乾燥機４０を有さない場合と比較して、第２乾燥機３５０において使用するパージガスＧｐの風量を低減できるため、パージガスＧｐを生成するために消費される電力を低減できる。したがって、乾燥圧縮ガス生成装置３１０の省エネルギー化できる。

【0102】

本実施形態によれば、パージガスＧｐは、第２中空糸膜束３５６から排出される圧縮ガスＰＡ３の一部である。よって、乾燥装置３３０が第１乾燥機４０を有さない場合と比較して、上述のように、第２乾燥機３５０において使用するパージガスＧｐの風量を低減できるとともに、相対的に機器８０に供給される圧縮ガスＰＡ３の量を増大させることができる。したがって、圧縮機２０が生成した圧縮ガスＰＡ１の量に対する機器８０に供給される圧縮ガスＰＡ３の量の比率である、圧縮ガスの歩留まりを高められるため、圧縮機２０において圧縮ガスＰＡ１を生成するために消費される電力を低減できる。よって、乾燥圧縮ガス生成装置３１０の省エネルギー化できる。

【0103】

以上に、本発明の実施形態を説明したが、実施形態における各構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはない。

【0104】

乾燥装置の構成は上記の実施形態の構成に限定されず、第２乾燥機の下流側にさらに第３乾燥機を有していてもよい。この場合、第３乾燥機は、冷却式乾燥機、吸着式乾燥機、および膜式乾燥機の何れの乾燥機であってもよい。

【0105】

また、送風部は第２乾燥機に設けられなくてもよく、送風部は第１乾燥機と第２乾燥機との間に配置され、第１乾燥機に向けて送風する送風ファンであってもよい。

【符号の説明】

【0106】

１０，２１０，３１０…乾燥圧縮ガス生成装置、２０…圧縮機、３０，２３０，３３０…乾燥装置、４０…第１乾燥機、４５…第１中空糸膜、４５ａ…被覆部、４６…第１中空糸膜束、５０，２５０，３５０…第２乾燥機、５９，２５９，３５９…送風部、２５３…乾燥室、２５７，２５７…吸着剤、２５８…加熱部、３５１…ケース、３５５…第２中空糸膜、３５６…第２中空糸膜束、Ａｍ…雰囲気、Ｇｐ…パージガス、ＰＡ１，ＰＡ２，ＰＡ３…圧縮ガス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】