特開 2024-125885 ウェーハ収納容器乾燥装置及び洗浄システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024125885

(43)【公開日】2024-09-19

(54)【発明の名称】ウェーハ収納容器乾燥装置及び洗浄システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240911BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240911BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

H01L21/304 651Z

H01L21/304 648E

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023034004

(22)【出願日】2023-03-06

(71)【出願人】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001771

【氏名又は名称】弁理士法人虎ノ門知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】石原 淳司

(72)【発明者】

【氏名】宮迫 久顕

(72)【発明者】

【氏名】西部 幸伸

【テーマコード（参考）】

5F131

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA37

5F131BB03

5F131CA32

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA33

5F131DA43

5F131DB76

5F131GA14

5F131GA52

5F131GA74

5F131GA82

5F131GA92

5F131JA12

5F157AB02

5F157AB89

5F157CB28

5F157CC21

5F157CE51

(57)【要約】

【課題】乾燥槽の内部空間の容積の増大を抑制すること。
【解決手段】実施形態に係るウェーハ収納容器乾燥装置は、ウェーハを収納する収納空間であって、開口部に連通している収納空間を有し、ロボットにより把持されるフランジを有する本体、及び、前記開口部に対して開閉可能に装着されるドア、を有するウェーハ収納容器を乾燥する乾燥槽を有するウェーハ収納容器乾燥装置であって、前記乾燥槽は、開閉蓋により開閉可能な搬入搬出口と、前記本体を前記フランジが前記搬入搬出口側を向いた状態で収容する本体収容部と、前記本体を前記本体収容部に収容した状態において、前記本体より前記本体収容部の前記搬入搬出口側に設けられ、前記乾燥槽を平面視したときに、前記ドアの各辺が、前記搬入搬出口を形成する一辺に対し、直交および平行とならないように保持するドア保持部と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを収納する収納空間であって、開口部に連通している収納空間を有し、ロボットにより把持されるフランジを有する本体、及び、前記開口部に対して開閉可能に装着されるドア、を有するウェーハ収納容器を乾燥する乾燥槽を有するウェーハ収納容器乾燥装置であって、
前記乾燥槽は、
開閉蓋により開閉可能な搬入搬出口と、
前記本体を前記フランジが前記搬入搬出口側を向いた状態で収容する本体収容部と、
前記本体を前記本体収容部に収容した状態において、前記本体より前記本体収容部の前記搬入搬出口側に設けられ、前記乾燥槽を平面視したときに、前記ドアの各辺が、前記搬入搬出口を形成する一辺に対し、直交および平行とならないように保持するドア保持部と、
を備える、ウェーハ収納容器乾燥装置。

【請求項2】

前記ドア保持部は、前記ドアの４つの角のうち対角線上の２角を保持するように設けられる、請求項１に記載のウェーハ収納容器乾燥装置。

【請求項3】

前記ドアは、前記搬入搬出口を介して前記ロボットにより搬入出され、
前記ドア保持部が設けられる、前記搬入搬出口を形成する対向する２辺と、前記ドア保持部に保持される前記ドアとの間に、前記ロボットの把持部が挿入される隙間が形成されている、請求項２に記載のウェーハ収納容器乾燥装置。

【請求項4】

前記ドア保持部は、前記搬入搬出口を形成する対向する２辺近傍にそれぞれ設けられ、前記ドア保持部間の間隔は、前記本体を前記フランジが前記搬入搬出口側を向いた状態で前記本体収容部に搬入及び前記本体収容部から前記本体を搬出することが可能な大きさであることを特徴とする請求項２または３に記載のウェーハ収納容器乾燥装置。

【請求項5】

請求項１に記載のウェーハ収納容器乾燥装置と、
前記ウェーハ収納容器を洗浄する洗浄槽と、
を備え、
前記乾燥槽は、前記洗浄槽で洗浄した前記ウェーハ収納容器を乾燥する、洗浄システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、ウェーハ収納容器乾燥装置及び洗浄システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウェーハを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）やＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）等のウェーハ収納容器を洗浄、乾燥する洗浄システムがある。

【0003】

洗浄システムでは、洗浄システム内にウェーハ収納容器が搬送され、ロボットがウェーハ収納容器を把持した状態で洗浄槽に搬送する。そして、洗浄槽が、ウェーハ収納容器に対して洗浄処理を行う。そして、洗浄処理されたウェーハ収納容器の乾燥処理が同一の洗浄槽内において行われる。次に、乾燥処理されたウェーハ収納容器が、洗浄システム外へ搬出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００５－１０９５２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで、ウェーハ収納容器本体上面には、ウェーハ収納容器本体をロボットハンドが把持するためのフランジが設けられており、洗浄槽では、当該フランジが洗浄槽の側面に対向した状態（つまりウェーハ収納容器のドアが嵌る箇所である開口部が下方となる状態）で槽内に配置され、洗浄及び乾燥が行われる。これは、開口部に対して交差する面にフランジが設けられているため、ウェーハの収納空間内の排水性の便宜上、フランジが洗浄槽の側面に対向するように配置せざるを得ないためである。そのため、ロボットハンドが洗浄槽内にウェーハ収納容器本体を搬送する場合、洗浄槽の側面とフランジとの間にはロボットハンドが入るための所定の空間が必要となる（例えば、特許文献１の「拡張部１１」に当たる）。このため、洗浄槽の内部空間の容積が大きくなってしまう。

【0006】

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、乾燥効率を向上させることができるウェーハ収納容器乾燥装置及び洗浄システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明の一態様に係るウェーハ収納容器乾燥装置は、ウェーハを収納する収納空間であって、開口部に連通している収納空間を有し、ロボットにより把持されるフランジを有する本体、及び、前記開口部に対して開閉可能に装着されるドア、を有するウェーハ収納容器を乾燥する乾燥槽を有するウェーハ収納容器乾燥装置であって、前記乾燥槽は、開閉蓋により開閉可能な搬入搬出口と、前記本体を前記フランジが前記搬入搬出口側を向いた状態で収容する本体収容部と、前記本体を前記本体収容部に収容した状態において、前記本体より前記本体収容部の前記搬入搬出口側に設けられ、前記乾燥槽を平面視したときに、前記ドアの各辺が、前記搬入搬出口を形成する一辺に対し、直交および平行とならないように保持するドア保持部と、を備える。

【0008】

また、上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明の一態様に係る洗浄システムは、前記ウェーハ収納容器乾燥装置と、前記ウェーハ収納容器を洗浄する洗浄槽と、を備え、前記乾燥槽は、前記洗浄槽で洗浄した前記ウェーハ収納容器を乾燥する。

【発明の効果】

【0009】

本発明の一態様によれば、乾燥効率を向上させることができるウェーハ収納容器乾燥装置及び洗浄システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置の概略構成の一例を示す平面図である。

【図2】図２は、実施形態に係るウェーハ収納容器乾燥装置の内部を透視した状態の側面図である。

【図3】図３は、実施形態に係るＦＯＵＰ本体保持部の平面図である。

【図4】図４は、実施形態に係る乾燥槽の平面図（上面図）である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、添付図面を参照して、本願の開示するウェーハ収納容器乾燥装置及び洗浄システムの実施形態を詳細に説明する。なお、本願の開示するウェーハ収納容器乾燥装置は、以下の実施形態により限定されるものではない。以下の実施形態では、洗浄及び乾燥対象のウェーハ収納容器が、ＦＯＵＰである場合を挙げて説明するが、洗浄及び乾燥対象のウェーハ収納容器はこれに限られない。例えば、洗浄及び乾燥対象のウェーハ収納容器は、ＦＯＳＢであってもよい。

【0012】

（実施形態）
図１は、実施形態に係る洗浄システム１の概略構成の一例を示す平面図である。洗浄システム１は、例えば、半導体ウェーハを製造する工場内に設けられ、ウェーハ収納容器を洗浄し、乾燥する。

【0013】

図１に示すように、洗浄システム１は、ロードポート２、ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、ウェーハ収納容器乾燥装置６、アンロードポート７及び制御部８を備える。

【0014】

ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、ウェーハ収納容器乾燥装置６及び制御部８は、洗浄システム１のケーシング１ａの内部に設けられている。一方、ロードポート２及びアンロードポート７は、洗浄システム１のケーシング１ａの内部及び外部に跨って設けられている。

【0015】

ロードポート２は、ロードポート２のケーシング１ａの外部の部分に載置された、洗浄及び乾燥対象となるＦＯＵＰ２０をケーシング１ａの内部に搬入する。ＦＯＵＰ２０は、ＦＯＵＰ本体（シェル）２０ａとドア（蓋）２０ｂとを備える。ＦＯＵＰ本体２０ａは、開口部（ＦＯＵＰ本体開口部）と、半導体ウェーハを収納する収納空間とを有する。収納空間は、ＦＯＵＰ本体開口部よりも内側に存在し、ＦＯＵＰ本体開口部に連通する。ドア２０ｂは、ＦＯＵＰ本体２０ａと分解／連結が可能であり、ＦＯＵＰ本体２０ａと連結した際にはＦＯＵＰ本体開口部に対して開閉可能な状態で装着される。ＦＯＵＰ本体２０ａは、本体の一例である。ＦＯＵＰ本体２０ａにはフランジ２０ｃが設けられている。フランジ２０ｃは、ＦＯＵＰ２０がＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）やロボット３等により搬送される際に把持（保持）される部分であり、ＦＯＵＰ本体２０ａのＦＯＵＰ本体開口部が設けられる面と交差する面に設けられる。

【0016】

例えば、ロードポート２のケーシング１ａの外部の部分には、ＯＨＴにより搬送されたＦＯＵＰ２０が載置される。例えば、図１に示すように、ＦＯＵＰ２０のドア２０ｂが、ケーシング１ａの開口部１ｂに設けられたシャッター２ａに対向するように、ＦＯＵＰ２０が載置される。このようにしてロードポート２にＦＯＵＰ２０が載置されると、シャッター２ａが上昇する。これにより、開口部１ｂからＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの内部に搬入可能な状態となる。すなわち、ＦＯＵＰ２０が洗浄システム１の内部に搬入可能な状態となる。そして、ロードポート２のスライド装置によりＦＯＵＰ２０が、矢印２ｂの方向にスライドされる。これにより、ＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの内部に搬入される。

【0017】

スライド装置によるスライドについて説明する。例えば、スライド装置に備えられたピンが、ＦＯＵＰ２０の底部（載置面）に設けられた孔部に挿入されることによりＦＯＵＰ２０の載置面がスライド装置に固定される。この状態で、スライド装置が矢印２ｂの方向へスライドされることによりＦＯＵＰ２０も伴ってスライドされる。これにより、ＦＯＵＰ２０は、ロードポート２のケーシング１ａの内部の所定の部分上に載置された状態となる。このようにしてＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの内部に搬入されると、シャッター２ａが下降して、ケーシング１ａの開口部１ｂが閉じられる。スライド装置はピンとともにシャッター２ａの下端（ＦＯＵＰ２０の載置面）よりも低い位置まで降下し、ケーシング１ａの外部の元の位置へ戻る。

【0018】

ロボット３は、ＦＯＵＰ２０のフランジ２０ｃを把持した状態でＦＯＵＰ２０を各部へ搬送する。ロボット３は、ロボットアーム３ａ及びロボットハンド３ｂ（ロボット３の把持部）を備えている。ロボット３は、ロボットハンド３ｂにフランジ２０ｃを把持させた状態で、ロボットアーム３ａを伸縮させたり回転移動させたりすることで、ＦＯＵＰ２０を各部へ搬送する。なお、ロボット３は、ＦＯＵＰ本体２０ａから分離（分解）されたドア２０ｂ単体を搬送する際には、ドア２０ｂの両サイドを把持して搬送する。

【0019】

分解／連結ステージ４は、ＦＯＵＰ２０をＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとに分解（分離）したり、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを連結したりする。分解／連結ステージ４上にはラッチキー４ａが設けられている。このラッチキー４ａがＦＯＵＰ２０のドア２０ｂに形成されたキー穴に挿入された状態で回転することで、ＦＯＵＰ２０がＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとに分解されたり、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが連結されたりする。例えば、分解／連結ステージ４には、ケーシング１ａの内部に搬入されたＦＯＵＰ２０がロボット３により搬送される。この場合、分解／連結ステージ４は、ＦＯＵＰ２０をＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとに分解する。なお、分解は、アンロックと言い換えることができ、連結は、ロックと言い換えることができる。

【0020】

洗浄槽５は、ＦＯＵＰ２０を洗浄する槽である。例えば、洗浄槽５には、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが別々にロボット３により搬送される。そして、洗浄槽５は、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを別々に保持した状態で、ＦＯＵＰ２０に対して洗浄処理を行う。例えば、洗浄槽５は、洗浄槽５の蓋部分にドア２０ｂを、洗浄槽５の槽部分（洗浄槽５の洗浄槽本体）にＦＯＵＰ本体２０ａを保持し、不図示の回転機構によってこれらを回転させながら、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂのそれぞれに対して、洗浄液ノズルにより洗浄液（例えば純水）を吐出することにより、ＦＯＵＰ２０の洗浄を行う。なお、洗浄槽５は、洗浄液の排出性を考慮して、ＦＯＵＰ本体２０ａのＦＯＵＰ開口部を下方へ向けて配置することが好ましい。

【0021】

洗浄槽５においてＦＯＵＰ２０の洗浄が完了すると、続けて洗浄槽５内でＦＯＵＰ本体２０ａおよびドア２０ｂを回転させ、これらに対してドライエアを吹き付けて乾燥を行う。ここでの洗浄槽５内における乾燥は、ＦＯＵＰ２０に付着した洗浄液を概ね乾燥させる処理（仮乾燥）である。洗浄槽５においてＦＯＵＰ２０の仮乾燥が完了すると、ロボット３は、洗浄槽５内のＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを別々にウェーハ収納容器乾燥装置６に搬送する。

【0022】

ウェーハ収納容器乾燥装置６は、ＦＯＵＰ２０を真空乾燥（本乾燥）する装置である。ウェーハ収納容器乾燥装置６においてＦＯＵＰ２０の真空乾燥が完了すると、ロボット３は、ウェーハ収納容器乾燥装置６内のＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを別々に分解／連結ステージ４上に搬送する。そして、分解／連結ステージ４は、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを連結する。なお、ウェーハ収納容器乾燥装置６の詳細については後述する。

【0023】

アンロードポート７は、アンロードポート７のケーシング１ａの内部の部分にロボット３により載置された洗浄済みであり真空乾燥済みであるＦＯＵＰ２０をケーシング１ａの外部に搬出する。

【0024】

例えば、アンロードポート７のケーシング１ａの内部の部分には、真空乾燥後に、分解／連結ステージ４においてＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが連結されたＦＯＵＰ２０がロボット３により搬送されて載置される。このようにしてアンロードポート７にＦＯＵＰ２０が載置されると、ケーシング１ａの開口部１ｃに設けられたシャッター７ａが上昇する。これにより、開口部１ｃからＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの外部に搬出可能な状態となる。すなわち、ＦＯＵＰ２０が洗浄システム１の外部に搬出可能な状態となる。そして、アンロードポート７のスライド装置（ロードポート２のスライド装置と同様の機構を有する）によりＦＯＵＰ２０が、矢印７ｂの方向にスライドされることにより、ＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの外部に搬出される。このようにしてＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの外部に搬出されると、シャッター７ａが下降して、ケーシング１ａの開口部１ｃが閉じられる。

【0025】

制御部８は、洗浄システム１全体の動作を制御する。例えば、制御部８は、ロードポート２、ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、ウェーハ収納容器乾燥装置６及びアンロードポート７を制御することにより、上述したように、ロードポート２、ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、ウェーハ収納容器乾燥装置６及びアンロードポート７を動作させる。

【0026】

例えば、制御部８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＲＡＭ（Random Access Memory）と、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）と、通信インタフェースと、を備える。これらは、内部バスを介して接続されている。

【0027】

ＣＰＵは、ＲＡＭの記憶領域を各種の処理に用いられるデータの一時的な保存領域として用いながら、各種の処理を実行する。ＲＯＭ及びＨＤＤには各種の処理を実行するためのプログラムや、各種の処理を実行する際に用いられる各種のデータベースや各種のテーブル等が記憶されている。通信インタフェースは、洗浄システム１の上述した各部と通信を行うとともに、洗浄システム１とネットワークを介して接続された外部の装置と通信を行うためのインタフェースである。例えば、通信インタフェースは、ネットワークインタフェースカードである。

【0028】

次に、本実施形態に係るウェーハ収納容器乾燥装置６の一例について説明する。図２は、実施形態に係るウェーハ収納容器乾燥装置６の内部を透視した状態の側面図である。図２は、ウェーハ収納容器乾燥装置６の概略的な模式図である。図２の例では、ウェーハ収納容器乾燥装置６の一部の側面の図示が省略され、ウェーハ収納容器乾燥装置６の乾燥槽６ａの内部が示されている。また、図２の例では、乾燥槽６ａの開閉蓋６ｄにより乾燥槽本体６ｃの開口部（乾燥槽開口部）６ｘが閉じられた状態が示されている。

【0029】

図２に示すように、ウェーハ収納容器乾燥装置６は、乾燥槽６ａと、粗びきバルブ（ドライポンプ）６ｂと、粗びきバルブ６ｂに接続される排気口６ｇと、排気管６ｐと、排気管６ｐの下方に排気管６ｐに接続された不図示のメインバルブ及びターボ分子ポンプとを備える。

【0030】

乾燥槽６ａは、ＦＯＵＰ２０を真空乾燥する。具体的には、乾燥槽６ａは、洗浄槽５で洗浄したＦＯＵＰ２０を真空乾燥する。乾燥槽６ａは、乾燥槽本体６ｃと、開閉蓋（蓋部）６ｄと、ドア保持部６ｅと、ヒータ６ｆと、反射板６ｎと、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋとを備える。

【0031】

ここで、乾燥槽６ａにおいては、洗浄槽５のように洗浄液の排出性を考慮する必要がないため、ＦＯＵＰ本体２０ａのＦＯＵＰ開口部を下方へ向けて配置する必要がない。また、真空排気をするために乾燥槽６ａの内部空間の容積を可能な限り小さくすることが好ましい。そこで、本実施形態に係る乾燥槽６ａは、内部空間の容積を可能な限り小さくすることが可能なように、以下に説明するように構成されている。

【0032】

乾燥槽本体６ｃは、上方に乾燥槽開口部６ｘを有するとともに、ＦＯＵＰ本体２０ａを載置する乾燥空間６ｙとを有する。具体的には、例えば、乾燥槽本体６ｃの内部空間は、乾燥槽開口部６ｘ及び乾燥空間６ｙを含む領域である。開閉蓋６ｄは、乾燥槽本体６ｃの上方に設けられている。具体的には、乾燥槽本体６ｃの乾燥槽開口部６ｘに対して開閉可能に設けられている。開閉蓋６ｄは、例えば、エアシリンダが動作することにより乾燥槽本体６ｃの乾燥槽開口部６ｘを開閉する。すなわち、乾燥槽開口部６ｘは、開閉蓋６ｄにより開閉可能である。

【0033】

乾燥槽本体６ｃの内部の乾燥空間６ｙは、乾燥槽開口部６ｘよりも内側に存在し、乾燥槽開口部６ｘに連通する。乾燥槽開口部６ｘに対して開閉蓋６ｄが開けられた状態で、ロボット３により、乾燥槽開口部６ｘからＦＯＵＰ本体２０ａが乾燥空間６ｙに搬入される。この際、ロボット３は、フランジ２０ｃが上側を向いた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを乾燥空間６ｙに搬入する。そして、乾燥槽本体６ｃの乾燥空間６ｙには、搬入されたＦＯＵＰ本体２０ａを保持するＦＯＵＰ本体保持部６ｋが設けられている。ここで、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋは、ＦＯＵＰ本体２０ａのフランジ２０ｃが上側を向いた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを保持する。すなわち、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋは、フランジ２０ｃが乾燥槽本体６ｃの乾燥槽開口部６ｘ側を向いた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを保持する。また、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋは、ＦＯＵＰ本体２０ａの開口部が乾燥槽本体６ｃの側壁（側面）に対向する状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを保持する。このようにして、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋがＦＯＵＰ本体２０ａを保持することにより、乾燥槽本体６ｃの乾燥空間６ｙにＦＯＵＰ本体２０ａが収容される。このような乾燥槽本体６ｃが備える乾燥空間６ｙは、ＦＯＵＰ本体２０ａを収容する本体収容部の一例である。

【0034】

図３は、実施形態に係るＦＯＵＰ本体保持部６ｋの平面図である。図３に示すように、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋは板状の部材であり、複数のピン（キネマティックピン）６ｋ１が設けられる。これらのピン６ｋ１は、ＦＯＵＰ本体２０ａの底部（フランジ２０ｃが設けられる面と対向する面）に設けられる孔に対応する位置に設けられる。ＦＯＵＰ本体２０ａの底部に設けられる孔の位置は、予め規格で定められている。

【0035】

ＦＯＵＰ本体保持部６ｋは、複数のピン６ｋ１を介してＦＯＵＰ本体２０ａの底部との間に隙間を形成するようにしてＦＯＵＰ本体２０ａを保持する。ＦＯＵＰ本体保持部６ｋには孔６ｋ２が設けられており、この孔６ｋ２を介して、乾燥槽本体６ｃに形成された排気口６ｍ（図２参照）とＦＯＵＰ本体２０ａの底部の下方空間とが連通している。具体的には、排気口６ｍと排気管６ｐとが接続されている。このように、ＦＯＵＰ本体２０ａの下方空間と排気口６ｍの間を連通させることにより、排気口６ｍからの排気を妨げない構成になっている。これにより、乾燥槽６ａの排気効率が向上し、ひいては乾燥槽６ａの乾燥効率が向上する。

【0036】

上述したように、ロボット３は、フランジ２０ｃが上側を向いた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを乾燥空間６ｙに搬入する。このため、乾燥槽本体６ｃの側面とＦＯＵＰ本体２０ａとの間にロボット３（より具体的にはロボットハンド３ｂ）が入るための比較的大きな空間を設ける必要がなく、乾燥槽本体６ｃの側面とＦＯＵＰ本体２０ａとの間の隙間を洗浄槽５と比較して狭くすることが可能になる。すなわち、乾燥槽本体６ｃの内部の容積（例えば、乾燥槽開口部６ｘと乾燥空間６ｙとを合わせた空間の容積）のサイズを、ＦＯＵＰ本体２０ａが入るサイズで、かつ、余分な空間がないサイズとすることができる。したがって、本実施形態に係るウェーハ収納容器乾燥装置６によれば、乾燥槽６ａの内部空間の容積の増大を抑制することができる。

【0037】

乾燥槽６ａの容積増大を抑制することにより、乾燥槽６ａ内部空間を速く排気することができ、目標の真空度まで排気する時間を短縮することができる。これによって、ＦＯＵＰ２０の乾燥処理効率を向上させることができる。

【0038】

なお、前述のとおり、乾燥槽６ａに搬入されたＦＯＵＰ２０は、すでに洗浄槽５において仮乾燥を終えており、乾燥槽６ａにおいてより確実に乾燥処理（本乾燥）を行うことを目的としている。

【0039】

ドア保持部６ｅは、乾燥槽開口部６ｘに設けられ、ロボット３により搬送されたドア２０ｂを保持する。本実施形態では、図２に示すように２つのドア保持部６ｅが設けられるが、ドア保持部６ｅの数はこれに限られない。

【0040】

本実施形態では、乾燥槽開口部６ｘに対して開閉蓋６ｄが開けられた状態で、ロボット３により、ＦＯＵＰ本体２０ａが乾燥空間６ｙに搬入された後に、ドア２０ｂが乾燥槽開口部６ｘに搬入される。ドア保持部６ｅは、このようにして搬入されたドア２０ｂを保持する。なお、ＦＯＵＰ２０に対する真空乾燥が完了した後は、ドア保持部６ｅにより保持されたドア２０ｂがロボット３により搬出される。このように、ドア２０ｂは、乾燥槽開口部６ｘを介してロボット３により搬入出される。そして、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋにより保持されたＦＯＵＰ本体２０ａがロボット３により搬出される。したがって、乾燥槽開口部６ｘは、ロボットによるＦＯＵＰ２０の搬入口でもあり、搬出口でもある。よって、乾燥槽開口部６ｘは、搬入搬出口の一例である。

【0041】

また、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋによりＦＯＵＰ本体２０ａが保持された状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａの開口部に対向する、乾燥槽６ａの側壁（側面）の位置に、乾燥槽６ａの内部空間を真空にするための排気口６ｇが設けられている。本実施形態では、ウェーハ収納容器乾燥装置６は、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋによりＦＯＵＰ本体２０ａが保持され、ドア保持部６ｅによりドア２０ｂが保持され、乾燥槽開口部６ｘを開閉蓋６ｄが閉じた状態で、乾燥槽本体６ｃの内部空間を、排気口６ｇ及び粗びきバルブ６ｂを介して真空引き（粗引き）するとともに、排気口６ｍ、排気管６ｐ及びメインバルブを介してターボ分子ポンプにより真空引き（本引き）しながらヒータ６ｆで加温することで、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂを真空乾燥する。ここで、反射板６ｎは、ヒータ６ｆからの熱が乾燥槽本体６ｃの内部空間全体に行き渡るように、ヒータ６ｆからの熱を反射する。これにより、乾燥槽本体６ｃの内部空間を効率よく加温させることができる。

【0042】

次に、本実施形態に係るドア保持部６ｅについて説明する。図４は、実施形態に係る乾燥槽６ａの平面図（上面図）である。ただし、図４では、開閉蓋６ｄの図示が省略されている。また、図４では、ドア２０ｂを二点鎖線で示している。図４は、ウェーハ収納容器乾燥装置６の構成要素についての概略的な模式図である。図４に示すように、乾燥槽６ａを平面視（上面視）した場合に、ドア２０ｂの形状は、４つの辺２０ｂＡ１，２０ｂＡ２，２０ｂＢ１，２０ｂＢ２により構成される四角形又は略四角形である。短辺である辺２０ｂＡ１、２０ｂＡ２の長さは、長辺である辺２０ｂＢ１、２０ｂＢ２の８割程度の長さを有する。また、平面視した場合に、乾燥槽本体６ｃの乾燥槽開口部６ｘを形成する側面の形状も、４つの辺６ｃＡ１，６ｃＡ２，６ｃＢ１，６ｃＢ２により構成される四角形又は略四角形である。

【0043】

このように、ドア２０ｂの形状及び乾燥槽開口部６ｘの形状を四角形又は略四角形とみなすことができる。そして、本実施形態において、ＦＯＵＰ本体保持部６ｋによりＦＯＵＰ本体２０ａが保持された状態において、辺６ｃＡ１が延びる方向と平行な方向におけるＦＯＵＰ本体２０ａの長さＡは、辺６ｃＢ１が延びる方向と平行な方向におけるＦＯＵＰ本体２０ａの長さＢよりもわずかに長い。これは、ＦＯＵＰ本体２０ａは、図４に示すように、辺６ｃＢ１が延びる方向と平行な方向に２つのハンドル２０ｈを備えているからである。

【0044】

また、本実施形態では、ドア２０ｂの辺２０ｂＢ１の長さは、上述した長さＡと同程度であり、ドア２０ｂの辺２０ｂＡ１の長さは、上述のとおりドア２０ｂの辺２０ｂＢ１の８割程度であることから、長さＡよりもわずかに短い長さとなる。例えば、ドア２０ｂの辺２０ｂＡ１の長さは３０７ｍｍ、辺２０ｂＢ１の長さは３６５ｍｍである。

【0045】

本実施形態では、図４に示すように、乾燥槽６ａを平面視したときに、ドア保持部６ｅは、ドア２０ｂの各辺が、乾燥槽開口部６ｘを形成する一辺に対し、直交および平行とならないようにドア２０ｂを保持する。例えば、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＡ１が辺６ｃＡ１に対し、直交及び平行とならないように、ドア２０ｂを保持する。また、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＡ２が辺６ｃＡ２に対し、直交及び平行とならないように、ドア２０ｂを保持する。また、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＢ１が辺６ｃＢ１に対し、直交及び平行とならないように、ドア２０ｂを保持する。また、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＢ２が辺６ｃＢ２に対し、直交及び平行とならないように、ドア２０ｂを保持する。

【0046】

ドア保持部６ｅには、平面視において四角形又は略四角形の形状を有するドア２０ｂの角に沿うように段差６ｅ１が形成されている。この段差６ｅ１を平面視した場合に、段差６ｅ１が辺６ｃＡ１，６ｃＡ２に対して傾斜するようにドア保持部６ｅに段差６ｅ１が形成されている。すなわち、ドア保持部６ｅの段差６ｅ１を平面視した場合に、段差６ｅ１が辺６ｃＡ１，６ｃＡ２に対して直交及び平行とならないようにドア保持部６ｅに形成されている。

【0047】

ここで、仮に、ドア２０ｂの各辺が乾燥槽開口部６ｘを形成する一辺に対し、直交又は平行となるようにドア保持部６ｅがドア２０ｂを保持する場合について説明する。この場合、例えば、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＡ１が辺６ｃＡ１に対し、平行となるように、ドア２０ｂを保持する。また、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＡ２が辺６ｃＡ２に対し、平行となるように、ドア２０ｂを保持する。また、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＢ１が辺６ｃＢ１に対し、平行となるように、ドア２０ｂを保持する。また、ドア保持部６ｅは、辺２０ｂＢ２が辺６ｃＢ２に対し、平行となるように、ドア２０ｂを保持する。このようにして、ドア保持部６ｅがドア２０ｂを保持しようとする場合、ドア保持部６ｅの位置が、図４に示すドア保持部６ｅの位置よりも内側に位置することになる。この場合、ロボット３がＦＯＵＰ本体２０ａを乾燥空間６ｙに搬入しようとしても、ドア保持部６ｅとＦＯＵＰ本体２０ａとが互いに干渉してしまい、ＦＯＵＰ本体２０ａを乾燥空間６ｙに搬入することが困難になってしまう。

【0048】

一方、本実施形態によれば、上述したように、ドア保持部６ｅは、ドア２０ｂの各辺が、乾燥槽開口部６ｘを形成する一辺に対し、直交および平行とならないようにドア２０ｂを保持する。ドア２０ｂの長辺２０ｂＢ１、２０ｂＢ２よりも、ドア２０ｂの対角線の方が長い。このため、ドア２０ｂの長辺２０ｂＢ１、２０ｂＢ２を、乾燥槽開口部６ｘの辺６ｃＢ１、６ｃＢ２と平行に配置した場合と比較して、ドア２０ｂを斜めに配置した方が辺６ｃＢ１、６ｃＢ２の長さを短くすることができる。また、ＦＯＵＰ本体２０ａの、辺６ｃＢ１、６ｃＢ２に沿う方向の長さが、長さＢおよびドア２０ｂの辺２０ｂＢ１、２０ｂＢ２の長さと略同じである。これによって図４に示すように、辺６ｃＢ１、６ｃＢ２におけるドア２０ｂの角部分を、ＦＯＵＰ本体２０ａの配置されている箇所よりも外側（辺６ｃＡ１、６ｃＡ２に近い側）へ配置させることができる。ドア２０ｂの角部分を支持するように、辺６ｃＡ１、６ｃＡ２に隣接させてドア保持部６ｅを配置すると、一対のドア保持部６ｅ間にＦＯＵＰ本体２０ａが通過可能な空間を確保することができる。この空間を確保することができるため、ＦＯＵＰ本体２０ａの搬入・搬出の際に、ドア保持部６ｅとＦＯＵＰ本体２０ａとの干渉を避ける目的でドア保持部６ｅに退避機構などを設ける必要がなく、簡易な構成で、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂの搬入・搬出を容易に行うことができる。

【0049】

なお、ドア保持部６ｅと、搬入されるＦＯＵＰ本体２０ａとが干渉しないようにするためには、乾燥槽６ａの内部空間において、ＦＯＵＰ本体２０ａよりもドア２０ｂが下側に配置されるように、乾燥槽６ａがＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂを保持することも考えられる。しかしながら、この場合、ドア２０ｂを乾燥槽６ａの底部に載置するために、ロボット３（より具体的にはロボットアーム３ａ）を乾燥槽６ａの底部にまで進入させる必要がある。このため、ロボット３（より具体的にはロボットアーム３ａ）が乾燥槽６ａと接触する可能性が高くなり、ロボットアーム３ａによって乾燥槽６ａ内の部品を傷つけるリスクが高くなってしまう。一方、本実施形態のように、乾燥槽６ａの内部空間において、フランジ２０ｃが上側を向いた状態で、ドア２０ｂよりもＦＯＵＰ本体２０ａが下側に配置される場合には、ロボット３が乾燥槽６ａに進入する位置で、最も深い位置がフランジ２０ｃの位置となる。このように、本実施形態では、比較的浅い位置にあるフランジ２０ｃまでロボット３が移動するだけでよいので、ロボット３が乾燥槽６ａと接触してしまうリスクを低くすることができる。

【0050】

また、本実施形態では、図４に示すように、２つのドア保持部６ｅが設けられている。そして、２つのドア保持部６ｅの段差と、ドア２０ｂの４つの角のうち対角線上の２角とが係合されることにより、２つのドア保持部６ｅは、ドア２０ｂの対角線上の２角を保持する。このようにして、ドア２０ｂの対角線上の２角がドア保持部６ｅにより保持されることにより、乾燥槽６ａに対するドア２０ｂの位置決めを行うことができる。

【0051】

また、図４に示すように、乾燥槽開口部６ｘの、辺６ｃＢ１および６ｃＢ２に対してドア２０ｂの長辺２０ｂＢ１、２０ｂＢ２を平行に配置せずに斜めに配置することにより、乾燥槽開口部６ｘを形成する対向する２つの辺６ｃＡ１及び辺６ｃＡ２のそれぞれと、ドア保持部６ｅに保持されるドア２０ｂとの間に、隙間６０，６１が自ずと形成されることになる。隙間６０，６１は、ロボット３によりドア２０ｂが保持されることを可能にするための空間（ロボットアーム３ａが挿入される空間）である。したがって、本実形態によれば、辺６ｃＡ１、６ｃＡ２間の距離は、ＦＯＵＰ本体２０ａの搬入・搬出が可能な大きさとすることができ、かつ、ロボット３が、隙間６０，６１に入ってドア２０ｂを把持することが可能となる。これにより、乾燥槽６ａの容積増大を抑制することができる。

【0052】

上述したように、本実施形態に係る２つのドア保持部６ｅは、乾燥槽開口部６ｘを形成する対向する２辺（辺６ｃＡ１、６ｃＡ２）近傍にそれぞれ設けられる。そして、２つのドア保持部６ｅの間隔は、ＦＯＵＰ本体２０ａをフランジ２０ｃが上方（上側）を向いた状態で乾燥空間６ｙに搬入及び乾燥空間６ｙからＦＯＵＰ本体２０ａを搬出することが可能な大きさである。

【0053】

なお、ＦＯＵＰ２０の種類に応じてドア２０ｂの大きさが異なる場合がある。このため、制御部８は、ＦＯＵＰ２０の種類に応じてドア保持部６ｅの位置を自動で調整してもよい。これにより、ドア保持部６ｅは、様々な大きさのドア２０ｂを保持することができる。また、ユーザの手動により、ドア保持部６ｅの位置を調整してもよい。

【0054】

以上、実施形態に係るウェーハ収納容器乾燥装置６及び洗浄システム１について説明した。上述したように、ウェーハ収納容器乾燥装置６及び洗浄システム１によれば、乾燥槽６ａの内部空間の容積の増大を抑制することができ、これにより乾燥効率を向上させることができる。

【0055】

ここで、ＦＯＵＰ２０は樹脂製で耐熱性が低いため、例えばヒータ６ｆの温度設定を９０度程度にとどめる必要がある。つまり、ヒータ６ｆの温度設定に上限があるので、ヒータ６ｆの設定温度を高くすることによってＦＯＵＰ２０の乾燥効率を向上させるには限界がある。乾燥槽６ａの内部空間の容積が小さいほうが温度設定の上限がある状況においても内部空間内を速く温めることができ、これによりＦＯＵＰ２０を速く乾燥させることができる。

【0056】

また、上述した実施形態の乾燥槽６ａのように真空下においてＦＯＵＰ２０を乾燥する際には、乾燥槽６ａの内部空間の容積が小さいほうが排気に必要な時間が短縮できるため、ＦＯＵＰ２０を速く乾燥させることができる。つまり、乾燥槽６ａの内部空間の容積の増大を抑制することにより、乾燥効率を向上させることができる。

【0057】

なお、上記の実施形態においては、洗浄液として純水を例示したが、これに限らず、界面活性剤を含む洗浄液や、ガスを溶解させた液体などであっても良い。二流体ノズルを用いて二流体を洗浄液として供給するようにしてもよい。

【0058】

また、上記の実施形態においては、洗浄槽５において仮乾燥を行うことを例示したが、これに限らず、仮乾燥を行うことなく、乾燥槽６ａによる本乾燥のみを行うようにしてもよい。また、仮乾燥は、ドライエアを吹き付けることを例示したが、これに限らず、ＦＯＵＰ２０を回転させ、遠心力により洗浄液を飛ばすようにして仮乾燥を行うようにしてもよい。

【符号の説明】

【0059】

１ 洗浄システム
６ ウェーハ収納容器乾燥装置
６ａ 乾燥槽
６ｃ 乾燥槽本体
６ｄ 開閉蓋
６ｅ ドア保持部
６ｘ 乾燥槽開口部
６ｙ 乾燥空間
２０ ＦＯＵＰ
２０ａ ＦＯＵＰ本体
２０ｂ ドア
２０ｃ フランジ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】