(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024126579
(43)【公開日】2024-09-20
(54)【発明の名称】ガス分析装置
(51)【国際特許分類】
G01N 21/3504 20140101AFI20240912BHJP
【ＦＩ】
G01N21/3504
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023035016
(22)【出願日】2023-03-07
(71)【出願人】
【識別番号】000006507
【氏名又は名称】横河電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100147485
【弁理士】
【氏名又は名称】杉村 憲司
(74)【代理人】
【識別番号】230118913
【弁護士】
【氏名又は名称】杉村 光嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100149249
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 達也
(72)【発明者】
【氏名】中城 安里珠
(72)【発明者】
【氏名】中村 元
(72)【発明者】
【氏名】光本 康彦
【テーマコード（参考）】
2G059
【Ｆターム（参考）】
2G059AA01
2G059BB01
2G059EE01
2G059JJ13
2G059KK01
2G059LL10
2G059MM14
(57)【要約】
【課題】調整の容易性、迅速性、安全性などに優れるガス分析装置を提供する。
【解決手段】発光部２と、分析部４と、反射部１３と、光透過部６、少なくとも１つの調整用ガス収容部７及び切り替え部８を有する調整部５とを有し、切り替え部８は、光透過部６に所定の調整用ガス収容部７が配置された第１状態と、光透過部６に調整用ガス収容部７が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、調整部５は、光を反射する調整用反射部１４と、調整用反射部１４が光透過部６に配置された反射状態と調整用反射部１４が光透過部６に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部１５とを有し、反射状態では、調整用反射部１４は、第１状態で発光部２を出て所定の調整用ガス収容部７を透過した光を被測定ガス３に入る前に反射し、所定の調整用ガス収容部７を透過させて分析部４に入れ、非反射状態では、調整用反射部１４は、第２状態で発光部２を出た光が反射部１３で反射されて分析部４に入ることを許容する、ガス分析装置１。
【選択図】図１Ｄ
【解決手段】発光部２と、分析部４と、反射部１３と、光透過部６、少なくとも１つの調整用ガス収容部７及び切り替え部８を有する調整部５とを有し、切り替え部８は、光透過部６に所定の調整用ガス収容部７が配置された第１状態と、光透過部６に調整用ガス収容部７が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、調整部５は、光を反射する調整用反射部１４と、調整用反射部１４が光透過部６に配置された反射状態と調整用反射部１４が光透過部６に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部１５とを有し、反射状態では、調整用反射部１４は、第１状態で発光部２を出て所定の調整用ガス収容部７を透過した光を被測定ガス３に入る前に反射し、所定の調整用ガス収容部７を透過させて分析部４に入れ、非反射状態では、調整用反射部１４は、第２状態で発光部２を出た光が反射部１３で反射されて分析部４に入ることを許容する、ガス分析装置１。
【選択図】図１Ｄ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光を出す発光部と、
前記発光部から出て被測定ガスを透過した前記光の強度に基づいて前記被測定ガスの物性を分析する分析部と、
前記発光部を出て前記被測定ガスを通った前記光を前記分析部に向けて反射する反射部と、
光透過部、少なくとも１つの調整用ガス収容部及び切り替え部を有する調整部とを有し、
前記発光部と前記分析部とが前記被測定ガスに対する片側に配置される反射型のガス分析装置であって、
前記調整用ガス収容部は、前記光透過部に配置され且つ調整用ガスを収容した状態において、前記発光部を出た前記光が前記調整用ガスを透過して前記分析部に入ることを許容し、
前記切り替え部は、前記光透過部に所定の前記調整用ガス収容部が配置された第１状態と、前記光透過部に前記調整用ガス収容部が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、
前記調整部は、前記光を反射する調整用反射部と、前記調整用反射部が前記光透過部に配置された反射状態と前記調整用反射部が前記光透過部に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部とを有し、
前記反射状態では、前記調整用反射部は、前記第１状態で前記発光部を出て前記所定の調整用ガス収容部を透過した前記光を前記被測定ガスに入る前に反射し、前記所定の調整用ガス収容部を透過させて前記分析部に入れ、
前記非反射状態では、前記調整用反射部は、前記第２状態で前記発光部を出た前記光が前記反射部で反射されて前記分析部に入ることを許容する、ガス分析装置。
前記発光部から出て被測定ガスを透過した前記光の強度に基づいて前記被測定ガスの物性を分析する分析部と、
前記発光部を出て前記被測定ガスを通った前記光を前記分析部に向けて反射する反射部と、
光透過部、少なくとも１つの調整用ガス収容部及び切り替え部を有する調整部とを有し、
前記発光部と前記分析部とが前記被測定ガスに対する片側に配置される反射型のガス分析装置であって、
前記調整用ガス収容部は、前記光透過部に配置され且つ調整用ガスを収容した状態において、前記発光部を出た前記光が前記調整用ガスを透過して前記分析部に入ることを許容し、
前記切り替え部は、前記光透過部に所定の前記調整用ガス収容部が配置された第１状態と、前記光透過部に前記調整用ガス収容部が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、
前記調整部は、前記光を反射する調整用反射部と、前記調整用反射部が前記光透過部に配置された反射状態と前記調整用反射部が前記光透過部に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部とを有し、
前記反射状態では、前記調整用反射部は、前記第１状態で前記発光部を出て前記所定の調整用ガス収容部を透過した前記光を前記被測定ガスに入る前に反射し、前記所定の調整用ガス収容部を透過させて前記分析部に入れ、
前記非反射状態では、前記調整用反射部は、前記第２状態で前記発光部を出た前記光が前記反射部で反射されて前記分析部に入ることを許容する、ガス分析装置。
【請求項2】
前記反射用切り替え部は、前記調整用反射部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る反射用動作部を有し、
前記反射用切り替え部は、前記反射用動作部により、前記光透過部に前記調整用反射部を配置可能である、請求項１に記載のガス分析装置。
前記反射用切り替え部は、前記反射用動作部により、前記光透過部に前記調整用反射部を配置可能である、請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項3】
前記反射用動作部の前記動作は回転である、請求項２に記載のガス分析装置。
【請求項4】
前記調整部は、前記調整用ガス収容部及び前記切り替え部を有する第１層部分と、前記調整用反射部及び前記反射用切り替え部を有する第２層部分と、前記第１層部分と前記第２層部分とに跨る前記光透過部とを有する、請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項5】
前記調整部は、濃度又は成分が互いに異なる前記調整用ガスを収容する複数の前記調整用ガス収容部を有し、
前記切り替え部は、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、請求項１に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項6】
前記複数の調整用ガス収容部は、前記調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部とを含む、請求項５に記載のガス分析装置。
【請求項7】
前記複数の調整用ガス収容部は、前記調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対する直線性の検査・確認用ガスを収容する前記調整用ガス収容部とを含む、請求項５に記載のガス分析装置。
【請求項8】
前記調整用ガスとして前記光の波長の基準となる光波長診断用ガス成分を収容する前記調整用ガス収容部を有する、請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項9】
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記第１状態と前記第２状態とを切り替え可能である、請求項１に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記第１状態と前記第２状態とを切り替え可能である、請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項10】
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、請求項５に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、請求項５に記載のガス分析装置。
【請求項11】
前記動作部の前記動作は回転である、請求項９又は１０に記載のガス分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示はガス分析装置に関する。
【背景技術】
【0002】
光を出す発光部と、発光部から出て被測定ガスを透過した光の強度に基づいて被測定ガスの物性を分析する分析部と、発光部を出て被測定ガスを通った光を分析部に向けて反射する反射部と、校正のために調整用ガス収容部を有する調整部とを有し、発光部と分析部とが被測定ガスに対する片側に配置される反射型のガス分析装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１３－０５７６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記のようなガス分析装置は、校正、診断などの調整の容易性、迅速性、安全性などに優れることが好ましい。
【0005】
そこで本開示の目的は、調整の容易性、迅速性、安全性などに優れるガス分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様は以下のとおりである。
【0007】
［１］
光を出す発光部と、
前記発光部から出て被測定ガスを透過した前記光の強度に基づいて前記被測定ガスの物性を分析する分析部と、
前記発光部を出て前記被測定ガスを通った前記光を前記分析部に向けて反射する反射部と、
光透過部、少なくとも１つの調整用ガス収容部及び切り替え部を有する調整部とを有し、
前記発光部と前記分析部とが前記被測定ガスに対する片側に配置される反射型のガス分析装置であって、
前記調整用ガス収容部は、前記光透過部に配置され且つ調整用ガスを収容した状態において、前記発光部を出た前記光が前記調整用ガスを透過して前記分析部に入ることを許容し、
前記切り替え部は、前記光透過部に所定の前記調整用ガス収容部が配置された第１状態と、前記光透過部に前記調整用ガス収容部が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、
前記調整部は、前記光を反射する調整用反射部と、前記調整用反射部が前記光透過部に配置された反射状態と前記調整用反射部が前記光透過部に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部とを有し、
前記反射状態では、前記調整用反射部は、前記第１状態で前記発光部を出て前記所定の調整用ガス収容部を透過した前記光を前記被測定ガスに入る前に反射し、前記所定の調整用ガス収容部を透過させて前記分析部に入れ、
前記非反射状態では、前記調整用反射部は、前記第２状態で前記発光部を出た前記光が前記反射部で反射されて前記分析部に入ることを許容する、ガス分析装置。
光を出す発光部と、
前記発光部から出て被測定ガスを透過した前記光の強度に基づいて前記被測定ガスの物性を分析する分析部と、
前記発光部を出て前記被測定ガスを通った前記光を前記分析部に向けて反射する反射部と、
光透過部、少なくとも１つの調整用ガス収容部及び切り替え部を有する調整部とを有し、
前記発光部と前記分析部とが前記被測定ガスに対する片側に配置される反射型のガス分析装置であって、
前記調整用ガス収容部は、前記光透過部に配置され且つ調整用ガスを収容した状態において、前記発光部を出た前記光が前記調整用ガスを透過して前記分析部に入ることを許容し、
前記切り替え部は、前記光透過部に所定の前記調整用ガス収容部が配置された第１状態と、前記光透過部に前記調整用ガス収容部が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、
前記調整部は、前記光を反射する調整用反射部と、前記調整用反射部が前記光透過部に配置された反射状態と前記調整用反射部が前記光透過部に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部とを有し、
前記反射状態では、前記調整用反射部は、前記第１状態で前記発光部を出て前記所定の調整用ガス収容部を透過した前記光を前記被測定ガスに入る前に反射し、前記所定の調整用ガス収容部を透過させて前記分析部に入れ、
前記非反射状態では、前記調整用反射部は、前記第２状態で前記発光部を出た前記光が前記反射部で反射されて前記分析部に入ることを許容する、ガス分析装置。
【0008】
［２］
前記反射用切り替え部は、前記調整用反射部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る反射用動作部を有し、
前記反射用切り替え部は、前記反射用動作部により、前記光透過部に前記調整用反射部を配置可能である、［１］に記載のガス分析装置。
前記反射用切り替え部は、前記調整用反射部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る反射用動作部を有し、
前記反射用切り替え部は、前記反射用動作部により、前記光透過部に前記調整用反射部を配置可能である、［１］に記載のガス分析装置。
【0009】
［３］
前記反射用動作部の前記動作は回転である、［２］に記載のガス分析装置。
前記反射用動作部の前記動作は回転である、［２］に記載のガス分析装置。
【0010】
［４］
前記反射用動作部は反射用第１歯車部を有し、
前記反射用切り替え部は、前記反射用第１歯車部に噛み合う反射用第２歯車部を有する反射用回転操作部を有し、
前記反射用動作部は、前記反射用回転操作部の回転によって回転させられ、
前記調整部は、前記反射用回転操作部の一部を露出し且つ前記反射用動作部を全体的又は部分的に覆う反射用カバー部を有する、［３］に記載のガス分析装置。
前記反射用動作部は反射用第１歯車部を有し、
前記反射用切り替え部は、前記反射用第１歯車部に噛み合う反射用第２歯車部を有する反射用回転操作部を有し、
前記反射用動作部は、前記反射用回転操作部の回転によって回転させられ、
前記調整部は、前記反射用回転操作部の一部を露出し且つ前記反射用動作部を全体的又は部分的に覆う反射用カバー部を有する、［３］に記載のガス分析装置。
【0011】
［５］
前記反射用回転操作部を回転駆動する反射用駆動部を有する、［４］に記載のガス分析装置。
前記反射用回転操作部を回転駆動する反射用駆動部を有する、［４］に記載のガス分析装置。
【0012】
［６］
前記反射用動作部の前記動作はスライドである、［２］に記載のガス分析装置。
前記反射用動作部の前記動作はスライドである、［２］に記載のガス分析装置。
【0013】
［７］
前記調整部は、前記調整用ガス収容部及び前記切り替え部を有する第１層部分と、前記調整用反射部及び前記反射用切り替え部を有する第２層部分と、前記第１層部分と前記第２層部分とに跨る前記光透過部とを有する、［１］～［６］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記調整部は、前記調整用ガス収容部及び前記切り替え部を有する第１層部分と、前記調整用反射部及び前記反射用切り替え部を有する第２層部分と、前記第１層部分と前記第２層部分とに跨る前記光透過部とを有する、［１］～［６］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0014】
［８］
前記切り替え部は、前記第１状態と、前記第２状態と、前記所定の調整用ガス収容部以外の前記調整用ガス収容部が前記光透過部に配置される第３状態とを切り替え可能である、［１］～［７］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、前記第１状態と、前記第２状態と、前記所定の調整用ガス収容部以外の前記調整用ガス収容部が前記光透過部に配置される第３状態とを切り替え可能である、［１］～［７］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0015】
［９］
前記調整部は、濃度又は成分が互いに異なる前記調整用ガスを収容する複数の前記調整用ガス収容部を有し、
前記切り替え部は、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、［１］～［８］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記調整部は、濃度又は成分が互いに異なる前記調整用ガスを収容する複数の前記調整用ガス収容部を有し、
前記切り替え部は、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、［１］～［８］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0016】
［１０］
前記複数の調整用ガス収容部は、前記調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部とを含む、［９］に記載のガス分析装置。
前記複数の調整用ガス収容部は、前記調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部とを含む、［９］に記載のガス分析装置。
【0017】
［１１］
前記複数の調整用ガス収容部は、前記調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対する直線性の検査・確認用ガスを収容する前記調整用ガス収容部とを含む、［９］に記載のガス分析装置。
前記複数の調整用ガス収容部は、前記調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する前記調整用ガス収容部と、前記調整用ガスとして、前記所定のガス成分に対する直線性の検査・確認用ガスを収容する前記調整用ガス収容部とを含む、［９］に記載のガス分析装置。
【0018】
［１２］
前記調整用ガスとして前記光の波長の基準となる光波長診断用ガス成分を収容する前記調整用ガス収容部を有する、［１］～［１１］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記調整用ガスとして前記光の波長の基準となる光波長診断用ガス成分を収容する前記調整用ガス収容部を有する、［１］～［１１］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0019】
［１３］
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記第１状態と前記第２状態とを切り替え可能である、［１］～［１２］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記第１状態と前記第２状態とを切り替え可能である、［１］～［１２］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0020】
［１４］
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記第１状態と前記第２状態と前記第３状態とを切り替え可能である、［８］に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記第１状態と前記第２状態と前記第３状態とを切り替え可能である、［８］に記載のガス分析装置。
【0021】
［１５］
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、［９］～［１１］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記切り替え部は、少なくとも１つの前記調整用ガス収容部を伴って前記光透過部に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部を有し、
前記切り替え部は、前記少なくとも１つの動作部の前記動作により、前記光透過部に前記複数の調整用ガス収容部のそれぞれを選択的に配置可能である、［９］～［１１］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0022】
［１６］
前記動作部の前記動作は回転である、［１３］～［１５］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記動作部の前記動作は回転である、［１３］～［１５］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0023】
［１７］
前記動作部は第１歯車部を有し、
前記切り替え部は、前記第１歯車部に噛み合う第２歯車部を有する回転操作部を有し、
前記動作部は、前記回転操作部の回転によって回転させられ、
前記調整部は、前記回転操作部の一部を露出し且つ前記動作部を全体的又は部分的に覆うカバー部を有する、［１６］に記載のガス分析装置。
前記動作部は第１歯車部を有し、
前記切り替え部は、前記第１歯車部に噛み合う第２歯車部を有する回転操作部を有し、
前記動作部は、前記回転操作部の回転によって回転させられ、
前記調整部は、前記回転操作部の一部を露出し且つ前記動作部を全体的又は部分的に覆うカバー部を有する、［１６］に記載のガス分析装置。
【0024】
［１８］
前記回転操作部を回転駆動する駆動部を有する、［１７］に記載のガス分析装置。
前記回転操作部を回転駆動する駆動部を有する、［１７］に記載のガス分析装置。
【0025】
［１９］
前記動作部の前記動作はスライドである、［１３］～［１５］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記動作部の前記動作はスライドである、［１３］～［１５］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0026】
［２０］
複数の前記調整用ガス収容部が前記動作部に並べて配置され、
前記動作部の前記動作は、前記複数の調整用ガス収容部が並ぶ方向に前記複数の調整用ガス収容部が移動するように行われる、［１３］～［１９］の何れか１項に記載のガス分析装置。
複数の前記調整用ガス収容部が前記動作部に並べて配置され、
前記動作部の前記動作は、前記複数の調整用ガス収容部が並ぶ方向に前記複数の調整用ガス収容部が移動するように行われる、［１３］～［１９］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0027】
［２１］
複数の前記動作部が個別に前記動作をし得る、［１９］に記載のガス分析装置。
複数の前記動作部が個別に前記動作をし得る、［１９］に記載のガス分析装置。
【0028】
［２２］
前記調整用ガス収容部は前記動作部に着脱可能に配置される、［１３］～［２１］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記調整用ガス収容部は前記動作部に着脱可能に配置される、［１３］～［２１］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0029】
［２３］
前記動作部は、動作部本体と、前記調整用ガス収容部を着脱可能な少なくとも１つの蓋体とを有し、前記蓋体は、前記動作部本体に着脱可能に取り付けられることで、前記蓋体に着脱可能に取り付けられた前記調整用ガス収容部を前記動作部本体の内部空間に収容する、［２２］に記載のガス分析装置。
前記動作部は、動作部本体と、前記調整用ガス収容部を着脱可能な少なくとも１つの蓋体とを有し、前記蓋体は、前記動作部本体に着脱可能に取り付けられることで、前記蓋体に着脱可能に取り付けられた前記調整用ガス収容部を前記動作部本体の内部空間に収容する、［２２］に記載のガス分析装置。
【0030】
［２４］
前記発光部は、前記光として所定の波長範囲のレーザーを発振するレーザー発振部である、［１］～［２３］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記発光部は、前記光として所定の波長範囲のレーザーを発振するレーザー発振部である、［１］～［２３］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0031】
［２５］
前記分析部は、吸収分光法による分析を行う、［１］～［２４］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記分析部は、吸収分光法による分析を行う、［１］～［２４］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【0032】
［２６］
前記調整用ガス収容部は、前記調整用ガスを封入する封入容器である、［１］～［２５］の何れか１項に記載のガス分析装置。
前記調整用ガス収容部は、前記調整用ガスを封入する封入容器である、［１］～［２５］の何れか１項に記載のガス分析装置。
【発明の効果】
【0033】
本開示によれば、調整の容易性、迅速性、安全性などに優れるガス分析装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0034】
【図1A】一実施形態に係るガス分析装置が有する調整部の第１層部分を示す正面図である。
【図4A】調整部の第１層部分の他の例を斜めから見た投影図である。
【図5】調整部の第１層部分の他の例を示す正面図である。
【図6】調整部の第１層部分の他の例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【0035】
以下、図面を参照して本開示の実施形態を詳細に例示説明する。
【0036】
図１～図３Ｂに示すように、一実施形態に係るガス分析装置１は、光を出す発光部２と、発光部２から出て被測定ガス３を透過した光の強度に基づいて被測定ガス３の物性を分析する分析部４と、発光部２を出て被測定ガス３を通った光を分析部４に向けて反射する反射部１３と、光透過部６、少なくとも１つの調整用ガス収容部７及び切り替え部８を有する調整部５とを有し、発光部２と分析部４とが被測定ガス３に対する片側に配置される反射型のガス分析装置１であって、調整用ガス収容部７は、光透過部６に配置され且つ調整用ガスを収容した状態において、発光部２を出た光が調整用ガスを透過して分析部４に入ることを許容し、切り替え部８は、光透過部６に所定の調整用ガス収容部７が配置された第１状態と、光透過部６に調整用ガス収容部７が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、調整部５は、光を反射する調整用反射部１４と、調整用反射部１４が光透過部６に配置された反射状態と調整用反射部１４が光透過部６に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部１５とを有し、反射状態では、調整用反射部１４は、第１状態で発光部２を出て所定の調整用ガス収容部７を透過した光を被測定ガス３に入る前に反射し、所定の調整用ガス収容部７を透過させて分析部４に入れ、非反射状態では、調整用反射部１４は、第２状態で発光部２を出た光が反射部１３で反射されて分析部４に入ることを許容する。
【0037】
上記構成によれば、切り替え部８によって第１状態とし且つ反射用切り替え部１５によって反射状態とすることで、所定の調整用ガス収容部７内の調整用ガスを用いた校正、診断などの調整を行うことができ、切り替え部８によって第２状態とし且つ反射用切り替え部１５によって非反射状態とすることで、被測定ガス３の測定を行うことができる。したがって上記構成によれば、調整の容易性、迅速性、安全性などに優れるガス分析装置１を実現できる。分析部４によって分析される被測定ガス３の物性は、例えば、単一又は複数のガス成分の濃度又は有無を含む。第２状態において光透過部６には何も配置されない構成、すなわち、第２状態において光透過部６が空洞からなる構成としてもよい。
【0038】
反射用切り替え部１５は、調整用反射部１４を伴って光透過部６に対する動作をし得る反射用動作部１５ａを有し、反射用切り替え部１５は、反射用動作部１５ａにより、光透過部６に調整用反射部１４を配置可能である。上記構成によれば、反射用切り替え部１５による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0039】
図１Ｄに示すように、反射用動作部１５ａの動作は回転である。上記構成によれば、反射用切り替え部１５による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0040】
図１Ｄに示すように、反射用動作部１５ａは反射用第１歯車部１５ａ１を有し、反射用切り替え部１５は、反射用第１歯車部１５ａ１に噛み合う反射用第２歯車部１５ｂ１を有する反射用回転操作部１５ｂを有し、反射用動作部１５ａは、反射用回転操作部１５ｂの回転によって回転させられ、調整部５は、反射用回転操作部１５ｂの一部を露出し且つ反射用動作部１５ａを全体的又は部分的に覆う反射用カバー部を有する。上記構成によれば、調整部５の光透過部６への異物の侵入を反射用カバー部によって抑制できるため、ガス分析の精度を高めることができる。また、反射用カバー部の外部から例えば手で反射用回転操作部１５ｂを操作することで、反射用回転操作部１５ｂを介して反射用動作部１５ａを操作し、動作させることができる。
【0041】
反射用回転操作部１５ｂを回転駆動する反射用駆動部を有する構成としてもよい。上記構成によれば、反射用駆動部によって反射用回転操作部１５ｂを介して反射用動作部１５ａを動作させることができる。
【0042】
反射用動作部１５ａの動作はスライドである構成としてもよい。上記構成によっても、反射用切り替え部１５による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0043】
調整部５は、調整用ガス収容部７及び切り替え部８を有する第１層部分１６と、調整用反射部１４及び反射用切り替え部１５を有する第２層部分１７と、第１層部分１６と第２層部分１７とに跨る光透過部６とを有する。上記構成によれば、調整用反射部１４及び反射用切り替え部１５を有する調整部５の構造を簡単化できる。
【0044】
切り替え部８は、第１状態と、第２状態と、所定の調整用ガス収容部７以外の調整用ガス収容部７が光透過部６に配置される第３状態とを切り替え可能である構成としてもよい。上記構成によれば、切り替え部８によって第３状態とし且つ反射用切り替え部１５によって反射状態とすることで、所定の調整用ガス収容部７以外の調整用ガス収容部７を用いた調整を行うことができる。
【0045】
調整部５は、濃度又は成分が互いに異なる調整用ガスを収容する複数の調整用ガス収容部７を有し、切り替え部８は、光透過部６に複数の調整用ガス収容部７のそれぞれを選択的に配置可能である。上記構成によれば、複数の調整を切り替え部８によって容易に行うことができる。
【0046】
複数の調整用ガス収容部７は、調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する調整用ガス収容部７と、調整用ガスとして、所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する調整用ガス収容部７とを含む構成としてもよい。上記構成によれば、所定のガス成分に対するスパン及びゼロ点の校正を切り替え部８によって容易に行うことができる。スパン校正用ガスは、所定の濃度の所定のガス成分を含むガスである。ゼロ点校正用ガスは、発光部２から出る光を実質的に吸収しないガス（例えば窒素）である。
【0047】
複数の調整用ガス収容部７は、調整用ガスとして、所定のガス成分に対するスパン校正用ガスを収容する調整用ガス収容部７と、調整用ガスとして、所定のガス成分に対するゼロ点校正用ガスを収容する調整用ガス収容部７と、調整用ガスとして、所定のガス成分に対する直線性の検査・確認用ガスを収容する調整用ガス収容部７とを含む構成としてもよい。上記構成によれば、所定のガス成分に対するスパン点及びゼロ点の校正、並びに直線性の検査・確認を切り替え部８によって容易に行うことができる。直線性の検査・確認用ガスは、スパン校正用ガスの半分程度の濃度の所定のガス成分を含むガスである。
【0048】
ガス分析装置１は、調整用ガスとして光の波長の基準となる光波長診断用ガス成分を収容する調整用ガス収容部７を有する。上記構成によれば、発光部２から発振されるレーザーの波長が基準からずれていないかの診断を切り替え部８によって容易に行うことができる。光波長診断用ガス成分のピーク波長は、レーザーの波長範囲内にあり且つ被測定ガス３に含まれる被測定ガス３成分のピーク波長とは異なる。光波長診断用ガス成分を収容する調整用ガス収容部７を光透過部６に配置した状態とし、この状態のままで、光波長診断用ガス成分によりレーザーの波長を基準に合わせながら被測定ガス３の測定を行ってもよい。
【0049】
切り替え部８は、少なくとも１つの調整用ガス収容部７を伴って光透過部６に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部８ａを有し、切り替え部８は、少なくとも１つの動作部８ａの動作により、第１状態と第２状態とを切り替え可能である。上記構成によれば、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0050】
切り替え部８は、少なくとも１つの調整用ガス収容部７を伴って光透過部６に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部８ａを有し、切り替え部８は、少なくとも１つの動作部８ａの動作により、第１状態と第２状態と第３状態とを切り替え可能である。上記構成によれば、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0051】
切り替え部８は、少なくとも１つの調整用ガス収容部７を伴って光透過部６に対する動作をし得る少なくとも１つの動作部８ａを有し、切り替え部８は、少なくとも１つの動作部８ａの動作により、光透過部６に複数の調整用ガス収容部７のそれぞれを選択的に配置可能である。上記構成によれば、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0052】
動作部８ａの動作は回転である。上記構成によれば、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0053】
動作部８ａは第１歯車部８ａ１を有し、切り替え部８は、第１歯車部８ａ１に噛み合う第２歯車部８ｂ１を有する回転操作部８ｂを有し、動作部８ａは、回転操作部８ｂの回転によって回転させられ、調整部５は、回転操作部８ｂの一部を露出し且つ動作部８ａを全体的又は部分的に覆うカバー部９を有する。上記構成によれば、調整部５の光透過部６への異物の侵入をカバー部９によって抑制できるため、ガス分析の精度を高めることができる。また、カバー部９の外部から例えば手で回転操作部８ｂを操作することで、回転操作部８ｂを介して動作部８ａを操作し、動作させることができる。
【0054】
回転操作部８ｂを回転駆動する駆動部を有する構成としてもよい。上記構成によれば、駆動部によって回転操作部８ｂを介して動作部８ａを動作させることができる。駆動部は例えば、電動モータ等のアクチュエータ等によって構成される。
【0055】
【0056】
図１Ａ～図１Ｃに示すように、複数の調整用ガス収容部７が動作部８ａに並べて配置され、動作部８ａの動作は、複数の調整用ガス収容部７が並ぶ方向に複数の調整用ガス収容部７が移動するように行われる。上記構成によれば、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0057】
図５に示すように、動作部８ａの動作はスライドであり、複数の調整用ガス収容部７が動作部８ａに並べて配置され、動作部８ａの動作は、複数の調整用ガス収容部７が並ぶ方向に複数の調整用ガス収容部７が移動するように行われる構成としてもよい。上記構成によっても、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0058】
図６に示すように、動作部８ａの動作はスライドであり、複数の動作部８ａが個別に動作をし得る構成としてもよい。上記構成によっても、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0059】
図４Ａ～図４Ｄに示すように、調整用ガス収容部７は動作部８ａに着脱可能に配置される構成としてもよい。上記構成によれば、封入容器としての調整用ガス収容部７の着脱により、複数種類の調整を適宜行うことができる。
【0060】
図４Ａ～図４Ｄに示すように、動作部８ａは、動作部本体１０と、調整用ガス収容部７を着脱可能な少なくとも１つの蓋体１１とを有し、蓋体１１は、動作部本体１０に着脱可能に取り付けられることで、蓋体１１に着脱可能に取り付けられた調整用ガス収容部７を動作部本体１０の内部空間に収容する構成としてもよい。上記構成によれば、調整用ガス収容部７の着脱の容易性を高めることができる。
【0061】
図４Ａに示すように、カバー部９は、蓋体１１を通す窓部９ｃを有する構成としてもよい。上記構成によれば、調整用ガス収容部７の着脱の容易性を高めることができる。
【0062】
図３Ａに示すように、動作部８ａは、切り替え部８による切り替えが行われる毎にカバー部９に対して移動への抵抗を与えるように引っ掛かる位置合わせ部１２を有する構成としてもよい。上記構成によれば、切り替え部８による切り替え操作の容易性を高めることができる。
【0063】
図３Ａに示すように、位置合わせ部１２は複数の穴１２ａによって構成され、カバー部９は、カバー部本体９ａと、カバー部本体９ａに設けられる穴にスライド可能に配置され、凸曲面状の先端面を有するスライド部材９ｂと、スライド部材９ｂをカバー部９の内側へ付勢するバネとを有し、切り替え部８による切り替えが行われる毎に、スライド部材９ｂの先端面は、位置合わせ部１２としての複数の穴１２ａに選択的に入る構成としてもよい。上記構成によれば、位置合わせ部１２の構造を簡単化できる。
【0064】
発光部２は、光として所定の波長範囲のレーザーを発振するレーザー発振部である構成としてもよい。上記構成によれば、ガス分析の精度を高めることができる。
【0065】
分析部４は、吸収分光法による分析を行う構成としてもよい。上記構成によれば、ガス分析の精度を高めることができる。
【0066】
ガス分析装置１は、産業プラントにおいて被測定ガス３としてのプロセスガス等をその場で（in-situで）分析する構成としてもよい。上記構成によれば、産業プラントの操業を効率化できる。
【0067】
調整用ガス収容部７は、調整用ガスを封入する封入容器である。上記構成によれば、調整用ガス収容部７に調整用ガスを導入し、収容するためのガスの流路構造を設ける必要をなくし、調整時に調整用ガス収容部７に調整用ガスを導入するのに必要となる時間をなくし、調整用ガス導入時のガス漏れの可能性をなくすことができる。したがって上記構成によれば、調整用ガス収容部７としての封入容器により、調整の容易性、迅速性、安全性などを高めることができる。
【0068】
本開示は前述した実施形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【0069】
したがって、前述した実施形態に係るガス分析装置１は、光を出す発光部２と、発光部２から出て被測定ガス３を透過した光の強度に基づいて被測定ガス３の物性を分析する分析部４と、発光部２を出て被測定ガス３を通った光を分析部４に向けて反射する反射部１３と、光透過部６、少なくとも１つの調整用ガス収容部７及び切り替え部８を有する調整部５とを有し、発光部２と分析部４とが被測定ガス３に対する片側に配置される反射型のガス分析装置１であって、調整用ガス収容部７は、光透過部６に配置され且つ調整用ガスを収容した状態において、発光部２を出た光が調整用ガスを透過して分析部４に入ることを許容し、切り替え部８は、光透過部６に所定の調整用ガス収容部７が配置された第１状態と、光透過部６に調整用ガス収容部７が配置されない第２状態とを切り替え可能であり、調整部５は、光を反射する調整用反射部１４と、調整用反射部１４が光透過部６に配置された反射状態と調整用反射部１４が光透過部６に配置されない非反射状態とを切り替え可能な反射用切り替え部１５とを有し、反射状態では、調整用反射部１４は、第１状態で発光部２を出て所定の調整用ガス収容部７を透過した光を被測定ガス３に入る前に反射し、所定の調整用ガス収容部７を透過させて分析部４に入れ、非反射状態では、調整用反射部１４は、第２状態で発光部２を出た光が反射部１３で反射されて分析部４に入ることを許容する、ガス分析装置１である限り、種々変更可能である。
【符号の説明】
【0070】
１ ガス分析装置
２ 発光部
３ 被測定ガス
４ 分析部
５ 調整部
６ 光透過部
７ 調整用ガス収容部
８ 切り替え部
８ａ 動作部
８ａ１ 第１歯車部
８ｂ 回転操作部
８ｂ１ 第２歯車部
９ カバー部
９ａ カバー部本体
９ｂ スライド部材
９ｃ 窓部
１０ 動作部本体
１１ 蓋体
１２ 位置合わせ部
１２ａ 穴
１３ 反射部
１４ 調整用反射部
１５ 反射用切り替え部
１５ａ 反射用動作部
１５ａ１ 反射用第１歯車部
１５ｂ 反射用回転操作部
１５ｂ１ 反射用第２歯車部
１６ 第１層部分
１７ 第２層部分
２ 発光部
３ 被測定ガス
４ 分析部
５ 調整部
６ 光透過部
７ 調整用ガス収容部
８ 切り替え部
８ａ 動作部
８ａ１ 第１歯車部
８ｂ 回転操作部
８ｂ１ 第２歯車部
９ カバー部
９ａ カバー部本体
９ｂ スライド部材
９ｃ 窓部
１０ 動作部本体
１１ 蓋体
１２ 位置合わせ部
１２ａ 穴
１３ 反射部
１４ 調整用反射部
１５ 反射用切り替え部
１５ａ 反射用動作部
１５ａ１ 反射用第１歯車部
１５ｂ 反射用回転操作部
１５ｂ１ 反射用第２歯車部
１６ 第１層部分
１７ 第２層部分
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図1G】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5】
【図6】