特開 2024-126911 ヘッドサスペンションアッセンブリおよびディスク装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024126911

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】ヘッドサスペンションアッセンブリおよびディスク装置

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/21 20060101AFI20240912BHJP

【ＦＩ】

G11B21/21 D

G11B21/21 101P

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023035662

(22)【出願日】2023-03-08

(71)【出願人】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(71)【出願人】

【識別番号】317011920

【氏名又は名称】東芝デバイス＆ストレージ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】三宅 晃司

(57)【要約】

【課題】磁気ヘッドの接着を安定化することが可能なヘッドサスペンションアッセンブリおよびディスク装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ヘッドサスペンションアッセンブリは、支持板と、ジンバル部を有し支持板の上に設けられた配線部材と、ジンバル部に隙間を置いて対向した被接着面を有するスライダとスライダに設けられたヘッド部とを有し、被接着面とジンバル部との間に位置する接着剤によりジンバル部に固定された磁気ヘッドと、を備えている。被接着面とジンバル部との間の隙間領域は、接着剤が配置される第１領域と、第１領域を囲む第２領域と、第２領域を囲んだ第３領域と、を含んでいる。第２領域における被接着面とジンバル部との間の隙間は、第１領域および第３領域における被接着面とジンバル部との間の隙間よりも大きい。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持板と、
弾性変形可能なジンバル部を有し、前記支持板の上に設けられた配線部材と、
前記ジンバル部に隙間を置いて対向した被接着面を有するスライダと前記スライダに設けられたヘッド部とを有し、前記被接着面と前記ジンバル部との間に位置する接着剤により前記ジンバル部に固定された磁気ヘッドと、を備え、
前記被接着面と前記ジンバル部との間の隙間領域は、前記接着剤が配置される第１領域と、前記第１領域を囲む第２領域と、前記第２領域を囲んで位置する第３領域と、を含み、前記第２領域における前記被接着面とジンバル部との間の隙間は、前記第１領域および前記第３領域における前記被接着面とジンバル部との間の隙間よりも大きい、
ヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項2】

前記接着剤の外縁部の少なくとも一部は、前記第２領域に位置している、請求項１に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項3】

前記第２領域は、前記スライダの前記被接着面に形成された収容溝を含み、前記収容溝は、前記第１領域を囲むループ状に閉じた形状を有している、請求項１に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項4】

前記第２領域は、前記ジンバル部に形成された収容溝を含み、前記収容溝は、前記第１領域を囲むループ状に閉じた形状を有している、請求項１に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項5】

前記収容溝は、円環溝、長楕円溝、あるいは、多角形溝である、請求項３又は４に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項6】

前記収容溝は、深さ２～２０μｍに形成されている、請求項３又は４に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項7】

前記収容溝は、底面、外側面、および内側面を有し、前記外側面および内側面は、前記底面に垂直な方向に対して傾斜している、請求項３又は４に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項8】

前記スライダは、前記被接着面に設けられ前記収容溝の内側に位置する凹所を有している、請求項３に記載のヘッドサスペンションアッセンブリ。

【請求項9】

回転自在な磁気ディスクと、
請求項１に記載のヘッドサスペンションアッセンブリと、
を備えるディスク装置。

【請求項10】

前記第２領域は、前記スライダの前記被接着面に形成された収容溝を含み、前記収容溝は、前記第１領域を囲むループ状に閉じた形状を有している、請求項９に記載のディスク装置。

【請求項11】

前記第２領域は、前記ジンバル部に形成された収容溝を含み、前記収容溝は、前記第１領域を囲むループ状に閉じた形状を有している、請求項９に記載のディスク装置。

【請求項12】

前記収容溝は、円環溝、長楕円溝、あるいは、多角形溝である、請求項１０又は１１に記載のディスク装置。

【請求項13】

前記収容溝は、底面、外側面、および内側面を有し、前記外側面および内側面は、前記底面に垂直な方向に対して傾斜している、請求項１０又は１１に記載のディスク装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明の実施形態は、ヘッドサスペンションアッセンブリおよびこれを備えるディスク装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ディスク装置として、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、筐体内に配設された磁気ディスクと、磁気ディスクに対して情報の記録、読み出し行う磁気ヘッドと、磁気ヘッドを支持したヘッドアクチュエータと、を備えている。ヘッドアクチュエータは、支持シャフトの回りで回動自在に支持されたアクチュエータブロックと、アクチュエータブロックから延出した複数本のアームと、各アームの延出端に接続されたヘッドサスペンションアッセンブリ（ヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）と称する場合もある）と、を有している。
磁気ヘッドは、スライダとスライダ内に設けられた記録再生素子とを有している。磁気ヘッドは、スライダの接着面をサスペンションのジンバル部に貼付することにより、サスペンションアッセンブリに取り付けられている。

【0003】

ＨＧＡ（ヘッドジンバルアッセンブリ）の振動特性を安定化させるためには、スライダ接着の安定化を図る必要がある。通常、スライダの接着面はラッピングプロセスで平滑に研磨され、清浄度も管理されている。そのため、接着力を高めるプライマー塗布などの表面処理は行われていない。スライダの接着を安定化するためには、接着剤塗布の位置や接着面積は一定であることが望ましいが、接着剤は、非ニュートン流体であることもあり、塗布する位置や塗布量、濡れ広がりの制御が困難となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平４－３０５８７７号公報

【特許文献2】特開昭５９－１８５０６６号公報

【特許文献3】実開昭６１－１１４５６８号公報

【特許文献4】実開昭６１－３７１７１号公報

【特許文献5】特開昭６１－３５７２号公報

【特許文献6】米国特許出願公開第２００１／０００９４８９号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

この発明の実施形態の課題は、接着剤の流動性を制御し、磁気ヘッドの接着を安定化することが可能なヘッドサスペンションアッセンブリおよびこれを備えるディスク装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

実施形態によれば、ヘッドサスペンションアッセンブリは、支持板と、弾性変形可能なジンバル部を有し、前記支持板の上に設けられた配線部材と、前記ジンバル部に隙間を置いて対向した被接着面を有するスライダと前記スライダに設けられたヘッド部とを有し、前記被接着面と前記ジンバル部との間に位置する接着剤により前記ジンバル部に固定された磁気ヘッドと、を備えている。前記被接着面と前記ジンバル部との間の隙間領域は、前記接着剤が配置される第１領域と、前記第１領域を囲む第２領域と、前記第２領域を囲んで位置する第３領域と、を含み、前記第２領域における前記被接着面とジンバル部との間の隙間は、前記第１領域および前記第３領域における前記被接着面とジンバル部との間の隙間よりも大きい。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、第１実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）をトップカバーを分解して示す斜視図。

【図2】図２は、前記ＨＤＤのアクチュエータアッセンブリおよび基板ユニットを示す斜視図。

【図3】図３は、前記ヘッドアクチュエータアッセンブリのヘッドサスペンションアッセンブリを示す斜視図。

【図4】図４は、前記ヘッドサスペンションアッセンブリの分解斜視図。

【図5】図５は、前記ヘッドサスペンションアッセンブリの磁気ヘッドの側を示す平面図。

【図6】図６は、前記磁気ヘッドのスライダの被接着面の平面図。

【図7】図７は、図６の線Ｂ－Ｂに沿った前記スライダの断面図。

【図8】図８は、前記スライダに溝を形成するプロセスを模式的に示す断面図。

【図9】図９は、図５の線Ａ－Ａに沿った前記サスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図。

【図10】図１０は、第２実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドの被接着面を示す平面図。

【図11】図１１は、第２実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図。

【図12】図１２は、第３実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドの被接着面を示す平面図。

【図13】図１３は、第３実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図。

【図14】図１４は、第４実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドの被接着面を示す平面図。

【図15】図１５は、第４実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図。

【図16】図１６は、第５実施形態に係るＨＤＤにおけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載領域を示す平面図。

【図17】図１７は、第５実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下図面を参照しながら、実施形態に係るディスク装置ついて説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

【0009】

（第１実施形態）
ディスク装置として、第１実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）について詳細に説明する。
図１は、トップカバーを外して示す第１実施形態に係るＨＤＤの分解斜視図である。
図１に示すように、ＨＤＤは、矩形状の筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、カバー（トップカバー）１４と、を有している。ベース１２は、矩形状の底壁１２ａと、底壁１２ａの周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有し、例えば、アルミニウムにより一体に成形されている。カバー１４は、例えば、ステンレスにより矩形板状に形成されている。カバー１４は、複数のねじ１３によりベース１２の側壁１２ｂ上にねじ止めされ、ベース１２の上部開口を気密に閉塞する。

【0010】

筐体１０の内には、ディスク状の記録媒体として複数枚、例えば、５枚の磁気ディスク１８、および磁気ディスク１８を支持および回転させるスピンドルモータ１９が設けられている。スピンドルモータ１９は、底壁１２ａ上に配設されている。各磁気ディスク１８は、例えば、直径９５ｍｍ（３．５インチ）の円板状に形成され非磁性体、例えば、ガラスからなる基板と、基板の上面（第１面）および下面（第２面）に形成された磁気記録層とを有している。各磁気ディスク１８は、スピンドルモータ１９のハブに互いに同軸的に嵌合され、更に、クランプばね２０によりクランプされている。これにより、磁気ディスク１８は、所定の間隔を置いて、互いに平行に、また、底壁１２ａとほぼ平行に支持されている。複数枚の磁気ディスク１８は、スピンドルモータ１９により所定の回転数で回転される。なお、磁気ディスク１８の搭載枚数は、５枚に限らず、１０枚以上、１２枚以下としてもよい。

【0011】

筐体１０の内には、磁気ディスク１８に対して情報の記録、再生を行なう複数の磁気ヘッド１７、および、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１８に対して移動自在に支持したアクチュエータアッセンブリ２２が設けられている。また、筐体１０の内には、アクチュエータアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１８の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１８から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、および変換コネクタ等の電子部品が実装された基板ユニット（ＦＰＣユニット）２１が設けられている。ＶＣＭ２４は、底壁１２ａに設けられた一対のヨーク３９とヨーク３９に固定された図示しない磁石とを含んでいる。ランプロード機構２５は、底壁１２ａに立設された図示しないランプを含んでいる。
ベース１２の底壁１２ａの外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。プリント回路基板は、スピンドルモータ１９の動作を制御するとともに、基板ユニット２１を介してＶＣＭ２４および磁気ヘッド１７の動作を制御する制御部を構成している。

【0012】

図２は、アクチュエータアッセンブリおよび基板ユニットを示す斜視図である。図示のように、アクチュエータアッセンブリ２２は、透孔３１を有するアクチュエータブロック２９と、透孔３１内に設けられた軸受ユニット（ユニット軸受）２８と、アクチュエータブロック２９から延出する複数、例えば、６本のアーム３２と、各アーム３２に取付けられたサスペンションアッセンブリ（ヘッドジンバルアッセンブリ：ＨＧＡと称する場合もある）３０と、サスペンションアッセンブリ３０に支持された磁気ヘッド１７と、を備えている。ベース１２の底壁１２ａに支持シャフト（枢軸）２６が立設されている。アクチュエータブロック２９は、軸受ユニット２８により、支持シャフト２６の周りで、回動自在に支持されている。

【0013】

本実施形態において、アクチュエータブロック２９および６本のアーム３２はアルミニウム等により一体に成形され、いわゆるＥブロックを構成している。アーム３２は、例えば、細長い平板状に形成され、支持シャフト２６と直交する方向に、アクチュエータブロック２９から延出している。６本のアーム３２は、互いに隙間を置いて、平行に設けられている。
アクチュエータアッセンブリ２２は、アクチュエータブロック２９からアーム３２と反対の方向へ延出する支持フレーム３３を有している。支持フレーム３３により、ＶＣＭ２４の一部を構成するボイスコイル３５が支持されている。図１に示したように、ボイスコイル３５は、ベース１２上にその１つが固定された一対のヨーク３９間に位置し、これらのヨーク３９、およびヨークに固定された磁石とともにＶＣＭ２４を構成している。

【0014】

図２に示すように、アクチュエータアッセンブリ２２は、それぞれ磁気ヘッド１７を支持した１０個のヘッドサスペンションアッセンブリ３０を備えている。ヘッドサスペンションアッセンブリ３０は各アーム３２の先端部３２ａにそれぞれ取付けられている。複数のヘッドサスペンションアッセンブリ３０は、磁気ヘッド１７を上向きに支持するアップヘッドサスペンションアッセンブリと、磁気ヘッド１７を下向きに支持するダウンヘッドサスペンションアッセンブリと、を含んでいる。これらのアップヘッドサスペンションアッセンブリおよびダウンヘッドサスペンションアッセンブリは、同一構造のヘッドサスペンションアッセンブリ３０を上下向きを変えて配置することにより構成される。
本実施形態では、図２において、最上部のアーム３２にダウンヘッドサスペンションアッセンブリ３０が取付けられ、最下部のアーム３２にアップヘッドサスペンションアッセンブリ３０が取り付けられている。中間の４本のアーム３２の各々には、アップヘッドサスペンションアッセンブリ３０およびダウンヘッドサスペンションアッセンブリ３０が取り付けられている。

【0015】

ヘッドサスペンションアッセンブリ３０は、ほぼ矩形状のベースプレート３６と、細長い板ばねからなるロードビーム３８と、細長い帯状のフレキシャ（配線部材）４２と、を有している。フレキシャ４２は、後述するジンバル部を有し、このジンバル部に磁気ヘッド１７が載置されている。ベースプレート３６の基端部がアーム３２の先端部３２ａに固定されている。ロードビーム３８は、その基端部がベースプレート３６の先端部に重ねて固定されている。ロードビーム３８は、ベースプレート３６から延出し、延出端に向かって先細に形成されている。ロードビーム３８は、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１８の表面に向けて付勢するばね力（反力）を生じている。また、ロードビーム３８の先端からタブ４０が突出している。タブ４０は、前述したランプに係合可能であり、ランプと共にランプロード機構２５を構成する。

【0016】

図２に示すように、ＦＰＣユニット２１は、ほぼ矩形状のベース部２１ａ、ベース部２１ａの一側縁から延出した細長い帯状の中継部２１ｂと、中継部２１ｂの先端に連続して設けられた接合部２１ｃと、を一体に有している。ベース部２１ａ、中継部２１ｂ、および接合部２１ｃは、フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）により形成されている。ベース部２１ａ上に、図示しない変換コネクタ、複数のコンデンサ等の電子部品が実装され、図示しない配線に電気的に接続されている。

【0017】

中継部２１ｂは、ベース部２１ａの側縁からアクチュエータブロック２９に向かって延びている。接合部２１ｃは、アクチュエータブロック２９の側面（設置面）とほぼ等しい高さおよび幅の矩形状に形成されている。接合部２１ｃは、アルミニウム等で形成された裏打ち板を介して、アクチュエータブロック２９の設置面に貼付され、更に、固定ねじ６５により設置面にねじ止め固定されている。接合部２１ｃに多数の接続パッドが設けられている。接合部２１ｃには例えば１つのヘッドＩＣ（ヘッドアンプ）５９が実装され、このヘッドＩＣ５９は配線を介して接続パッドおよびベース部２１ａに接続されている。更に、接合部２１ｃには、ボイスコイル３５が接続される接続端子５３が設けられている。

【0018】

各ヘッドサスペンションアッセンブリ３０のフレキシャ４２は、磁気ヘッド１７に電気的に接続された一端部と、アーム３２の側縁を通ってアクチュエータブロック２９まで延出した他端部と、他端部に設けられた接続端部（テール接続端子部）４２ｃと、を有している。接続端部４２ｃは、細長い矩形状に形成されている。接続端部４２ｃには複数の接続端子（接続パッド）４３が設けられている。これらの接続パッド４３は、フレキシャ４２の配線にそれぞれ接続されている。すなわち、フレキシャ４２の複数の配線は、フレキシャ４２のほぼ全長に亘って延び、一端は磁気ヘッド１７に電気的に接続され、他端は、接続端子（接続パッド）４３に接続されている。
接続端部４２ｃに設けられた接続パッド４３は、接合部２１ｃの接続パッドに接合され、接合部２１ｃの配線に電気的に接続されている。これにより、アクチュエータアッセンブリ２２の１０個の磁気ヘッド１７は、それぞれフレキシャ４２の配線、接続端部４２ｃ、ＦＰＣユニット２１の接合部２１ｃ、中継部２１ｂを通して、ベース部２１ａに電気的に接続される。

【0019】

上記のように構成されたアクチュエータアッセンブリ２２をベース１２上に組み込んだ状態において、図１に示したように、支持シャフト２６は、スピンドルモータ１９のスピンドルとほぼ平行に立設される。各磁気ディスク１８は２本のヘッドサスペンションアッセンブリ３０間に位置する。ＨＤＤの動作時、２本のヘッドサスペンションアッセンブリ３０に支持された磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１８の上面および下面にそれぞれ対向する。

【0020】

次に、ヘッドサスペンションアッセンブリ３０の構成を詳細に説明する。
図３は、ヘッドサスペンションアッセンブリの磁気ヘッドの側を示す斜視図、図４は、サスペンションアッセンブリの分解斜視図、図５は、サスペンションアッセンブリの平面図である。
図３および図４に示すように、ヘッドサスペンションアッセンブリ３０は、支持板として機能するサスペンション３４を有している。サスペンション３４は、数百ミクロン厚の金属板からなる矩形状のベースプレート３６と、数十ミクロン厚の金属板からなる細長い板ばね状のロードビーム３８と、を有している。ロードビーム３８は、その基端部がベースプレート３６の先端部に重ねて配置され、複数個所を溶接することによりベースプレート３６に固定されている。ロードビーム３８の先端部は、支持板の先端部を構成している。ロードビーム３８の先端には、棒状のタブ４０が突設されている。

【0021】

図４に示すように、ベースプレート３６は、その基端部に円形の開口３６ａおよびこの開口３６ａの周囲に位置する円環状の突起部３６ｂを有している。ベースプレート３６は、突起部３６ｂをアーム３２のかしめ座面に形成された図示しない円形のかしめ孔に嵌合し、この突起部３６ｂをかしめることで、アーム３２の先端部３２ａに締結される。ベースプレート３６の基端は、レーザ溶接、スポット溶接あるいは接着によりアーム３２の先端部３２ａに固定されてもよい。

【0022】

サスペンションアッセンブリ３０は、記録信号、再生信号および圧電素子の駆動信号を伝達するための細長い帯状のフレキシャ（配線部材）４２と、フレキシャ４２に実装された一対の圧電素子（例えば、ＰＺＴ素子）５０と、磁気ヘッド１７と、を有している。図２および図３に示すように、フレキシャ４２は、ロードビーム３８およびベースプレート３６上に配置された先端側部分４２ａと、ベースプレート３６の側縁から外側に延出し、アーム３２の側縁に沿ってアクチュエータブロック２９まで延びた基端側部分４２ｂと、基端側部分４２ｂの延出端から延出した接続端部４２ｃとを有している。接続端部４２ｃは、並んで設けられた複数の接続端子（電極パッド）４３を有している。これらの接続パッド４３は、アクチュエータブロック２９に設置された接合部２１ｃの接続端子に電気的に接合される。

【0023】

図３、図４、図５に示すように、フレキシャ４２の先端部は、ロードビーム３８の先端部の上に位置し、弾性支持部として機能するジンバル部４４を構成している。磁気ヘッド１７は、ジンバル部４４に載置および固定され、このジンバル部４４を介してロードビーム３８に支持されている。駆動素子としての一対の圧電素子５０は、ジンバル部４４に実装され、磁気ヘッド１７の両サイドに配置されている。

【0024】

フレキシャ４２は、ベースとなるステンレス等の金属薄板（金属板）４６と、金属薄板４６上に貼付あるいは固定された帯状の積層部材（フレキシブルプリント配線基板：ＦＰＣ）４８と、を有し、細長い積層板をなしている。積層部材（ＦＰＣ）４８は、大部分が金属薄板４６に固定されたベース絶縁層と、ベース絶縁層上に形成されて、複数の信号配線、駆動配線、複数の接続パッドを構成する導電層（配線パターン）と、導電層を覆ってベース絶縁層上に積層されたカバー絶縁層と、を有している。導電層としては、例えば、銅箔を用い、この銅箔をパターニングすることにより複数の信号配線、駆動配線、および接続パッドを形成している。
フレキシャ４２の先端側部分４２ａでは、金属薄板４６がロードビーム３８およびベースプレート３６の表面上に貼付され、あるいは、複数の溶接点にてスポット溶接されている。一例では、金属薄板４６は、ロードビーム３８の基端部に溶接された２つの溶接点Ｂ１と、ロードビーム３８の先端部に溶接された１つの溶接点（第２溶接部）Ｂ２と、を有している。すなわち、金属薄板４６は、磁気ヘッド１７のリーディング端（流出端）側に位置する溶接点Ｂ１と磁気ヘッド１７のトレーリング端（流入端）側に位置する溶接点Ｂ２との少なくとも２か所でロードビーム３８に溶接されている。

【0025】

ジンバル部４４において、金属薄板４６は、先端側に位置するほぼ矩形状のタング部（支持部）４４ａと、タング部４４ａと空間を挟んで基端側に位置するほぼ矩形状の基端部４４ｂと、それぞれ基端部４４ｂとタング部４４ａとを連結しタング部４４ａを変位可能に支持している弾性変形可能な一対のアウトリガー４４ｃと、一方のアウトリガー４４ｃからタング部４４ａの先端側を回って他方のアウトリガー４４ｃまで延びた連結フレーム４４ｄと、連結フレーム４４ｄから延出しタング部４４ａの先端部に対向したほぼ矩形状の固定パッド部（第２端部）４４ｅと、を一体に有している。固定パッド部４４ｅは、連結フレーム４４ｄとタング部４４ａとの間に位置している。
基端部４４ｂは、ロードビーム３８の表面上に貼付され、溶接点Ｂ１でロードビーム３８にスポット溶接されている。固定パッド部４４ｅは、溶接点Ｂ２でロードビーム３８の先端部にスポット溶接されている。溶接点Ｂ２は、サスペンション３４の中心軸線Ｃ１上に位置している。

【0026】

図４に示すように、タング部４４ａは、磁気ヘッド１７を載置可能な大きさおよび形状に形成され、例えば、ほぼ矩形状に形成されている。タング部４４ａは、その幅方向の中心軸線がサスペンション３４の中心軸線Ｃ１と一致するように配置されている。タング部４４ａは、基端部４４ｂの側に位置する後端部がアウトリガー４４ｃに連結されている。タング部４４ａは、そのほぼ中心部が、ロードビーム３８の先端部に突設されたディンプル（凸部）５２に当接している。タング部４４ａは、一対のアウトリガー４４ｃおよび連結フレーム４４ｄが弾性変形することにより、ディンプル５２を支点として種々の向きに変位可能である。これにより、タング部４４ａおよびタング部４４ａに搭載される磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１８の表面変動に柔軟に追従してロール方向あるいはピッチ方向に変位し、磁気ディスク１８の表面と磁気ヘッド１７との間に微小隙間を維持することができる。

【0027】

図３、図４、図５に示すように、ジンバル部４４において、フレキシャ４２の積層部材４８は、金属板４６上に配置され、基端部４４ｂからタング部４４ａの上まで延びている。すなわち、積層部材４８は、基端部４４ｂの上に貼付された基端部４８ａと、タング部４４ａに貼付された先端部４８ｂと、基端部４８ａから先端部４８ｂまで二股状に延びている一対の帯状のブリッジ部４８ｃと、を有している。先端部４８ｂは、磁気ヘッド１７が搭載されるヘッド設置領域を構成している。

【0028】

先端部４８ｂには、複数の接続パッド（電極パッド）５４が幅方向に並んで設けられている。また、先端部４８ｂには、圧電素子５０を接続するための複数の接続パッド（電極パッド）５５が設けられている。積層部材４８は、接続パッド５４から先端部４８ｂの両側縁部を回って基端部４８ａ側に延びた複数本の信号配線Ｗおよび接続パッド５５から基端部４８ａ側に延びる複数本の駆動配線Ｗを有している。これらの信号配線Ｗおよび駆動配線Ｗは、積層部材４８のほぼ全長に亘って延在し、接続端部４２ｃの接続パッド４３に繋がっている。図４に示すように、先端部４８ｂの中央部、特に、配線Ｗが存在していない領域に透孔８６が設けられている。後述するように、透孔８６を介して、タング部４４ａの上に接着剤が塗布される。

【0029】

磁気ヘッド１７は、ほぼ偏平な直方体形状のスライダ１７ａと、スライダ１７ａに設けられたヘッド部（記録素子（ライトヘッド）およびリード素子（リードヘッド）を含む）１６と、を有している。スライダ１７ａは、磁気ディスク１８の表面に対向する上面（ＡＢＳ）１７ｂと反対側の背面（被接着面）１７ｃと、ロードビーム３８の先端の側に位置する流出端１７ｄと、ロードビーム３８の基端部の側に位置する流入端１７ｅと、を有している。磁気ヘッド１７は、ヘッドスライダ１７ａの流出端１７ｄに設けられた複数の接続パッドＰＴを有している。これらの接続パッドＰＴは、磁気ヘッド１７の記録素子、リード素子、ヒータ等に電気的に接続されている。

【0030】

磁気ヘッド１７は、スライダ１７ａの背面１７ｃが先端部４８ｂに対向した状態で、先端部４８ｂに重ねてタング部４４ａの上に載置され、接着剤によりタング部４４ａに固定されている。磁気ヘッド１７は長手方向の中心軸線がサスペンション３４の中心軸線Ｃ１と一致するように配置され、また、磁気ヘッド１７のほぼ中心部はディンプル５２の上に位置している。磁気ヘッド１７の接続パッドＰＴは、半田あるいは銀ペースト等の導電性接着剤Ｓｄ（図９参照）により先端部４８ｂの複数の接続パッド５４に電気的に接続されている。これにより、磁気ヘッド１７は、接続パッド５４を介して積層部材４８の信号配線Ｗに接続されている。

【0031】

一対の圧電素子５０は、例えば、矩形板状の圧電素子（ＰＺＴ素子）を用いている。圧電素子５０は、その長手方向（伸縮方向）が、サスペンション３４の中心軸線Ｃ１と平行になるように配置されている。２つの圧電素子５０は、磁気ヘッド１７の幅方向の両側に配置され、互いに平行に並んで配置されている。各圧電素子５０の長手方向の両端部は、先端部４８ｂの接続パッド５５に実装され電気的に接続されている。これにより、圧電素子５０は、接続パッド５５を介して積層部材４８の駆動配線Ｗに接続されている。

【0032】

次に、磁気ヘッド１７の実装構造について詳細に説明する。
図６は、磁気ヘッド１７のスライダ１７ａの被接着面側を示す平面図、図７は、図６の線Ｂ－Ｂに沿ったスライダの溝部の断面図である。
図６に示すように、スライダ１７ａは、ほぼ平坦な被接着面１７ｃと、被接着面１７ｃに形成された環状の収容溝５６とを有している。収容溝５６は、被接着面１７ｃの範囲内でループ状に閉じた形状を有している。すなわち、収容溝５６は、スライダ１７ａのいずれの側縁にも開口していない形状としている。一例では、収容溝５６は、中心軸線Ｃ１の上に中心を有する円環状に形成されている。収容溝５６は、平面視で、円形の外径および円形の内径を有している。また、収容溝５６の深さｈは、２～２０μｍに形成されている。
なお、図６において、２点鎖線の円Ｃ２は、ジンバル部４４の側に塗布される接着剤の塗布領域を示している。２点鎖線の円Ｃ３は、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着した後の接着剤の外径縁を示している。

【0033】

収容溝５６は、円筒形の外周面（外側面）５６ａ、環状の底面５６ｃ、および円筒形の内周面（内側面）５６ｂにより規定されている。図７に示すように、外周面５６ａおよび内周面５６ｂは、底面および被接着面１７ｃに垂直な方向に対し内側に傾斜している。一例では、被接着面１７ｃの側において外周面５６ａおよび内周面５６ｂの傾き角θ１は、０．７９rad以上に形成されている。底面５６ｃの側において外周面５６ａおよび内周面５６ｂの傾き角θ２は、１．４６rad 以上に形成されている。言い換えると、外周面５２ａおよび内周面５２ｂは、被接着面１７ｃおよび底面５６ｃと直角に交差せず、ある程度の傾き（θ１、θ２）を有している。収容溝５６の幅Ｗは、１０～５０μｍ程度に設定されている。

【0034】

スライダ１７ａに収容溝５６を形成するプロセスの一例を説明する。
図８は、溝の形成プロセスを模式的に示す断面図である。
図８（ａ）に示すように、スライダ１７ａを固定治具７０の上にセットし、接着剤７１によりスライダ１７ａを固定治具７０に固定する。更に、スライダ１７ａの被接着面１７ｃにレジストを塗布し、レジスト膜７２を形成する。

【0035】

次いで、図８（ｂ）に示すように、レジスト膜７２の所定部位を露光した後、図８（ｃ）に示すように、レジスト膜７２の露光部位を現像および除去する。続いて、図８（ｄ）に示すように、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）またはイオンミリング（ＩＭ）プロセスによりスライダ１７ａの被接着面１７ｃをエッチングあるいはミリングし、深さ２～２０μｍ程度の収容溝５６を形成する。溝深さの下限は、十分な効果を得られるように必要最低限必要な深さである。また、製造時間（加工時間）の観点で溝深さの上限が決められる。
その後、図８（ｅ）に示すように、レジスト膜７２を剥離し、更に、スライダ１７ａを固定治具７０から取り外すことにより、溝形成プロセスが終了する。

【0036】

図９は、図５の線Ａ－Ａに沿ったサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図である。図示のように、磁気ヘッド１７は、スライダ１７ａの被接着面１７ｃがジンバル部４４に対向した状態で、先端部４８ｂの上に載置され、接着剤Ａｄによりタング部４４ａに接着されている。この場合、接着剤Ａｄは、予めタング部４４ａに塗布されている。接着剤Ａｄは、スライダ１７ａの収容溝５６で囲まれた閉じた図形の内側に収まる位置、ここでは、図６に示した円Ｃ２で囲まれた領域に塗布される。なお、一例として、接着剤Ａｄは、アクリル樹脂系またはエポキシ樹脂系の接着剤を用いることができる。

【0037】

スライダ１７ａをタング部４４ａに接着する際、接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａに挟まれ外側に広がっていくが、接着剤Ａｄの外周部分が収容溝５６に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。図６に円Ｃ３で示したように、かつ、図９に示すように、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着した後の接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の内に位置している。なお、接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の全周に亘って流れ込む場合に限らず、収容溝５６の少なくとも一部に位置する場合もある。

【0038】

磁気ヘッド１７の接続パッドＰＴは、半田あるいは銀ペースト等の導電性接着剤Ｓｄにより先端部４８ｂの複数の接続パッド５４に電気的に接続されている。これにより、磁気ヘッド１７は、接続パッド５４を介して積層部材４８の信号配線Ｗに接続されている。また、磁気ヘッド１７のほぼ中心部はディンプル５２の上に位置している。

【0039】

図９に示すように、ジンバル部４４とスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、収容溝５６を含む円環状の第２領域Ｇ２は、接着剤が充填される円柱状の接着領域（第１領域）Ｇ１を囲んでいる。更に、第２領域Ｇ２は、周囲の第３領域Ｇ３に囲まれている。収容溝５６を含む第２領域Ｇ２の隙間ｄ１は、周囲の第３領域Ｇ３の隙間ｄ２および第１領域Ｇ１の隙間ｄ２よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、収容溝５６を含む第２領域Ｇ２は、周囲の隙間領域（第３領域Ｇ３）よりも隙間の広い広隙間領域を形成している。広隙間領域（第２領域Ｇ２）は、接着領域（第１領域Ｇ１）を囲んでいる。そのため、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着する際、接着領域Ｇ１に充填された接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａに挟まれ外側に広がっていくが、接着剤の外径縁部分が広隙間領域Ｇ２に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。
なお、後述するように、広隙間領域（第２領域Ｇ２）は、スライダ１７ａに溝を設ける代わりに、ジンバル部、例えば、タング部４４ａの側に溝を設けることによっても形成することができる。

【0040】

一方、収容溝５６において、溝の底面と溝の周面（側面）とが直交していると、底面と側面の稜線に高粘度の接着剤Ａｄが回り込まず空間ができてしまう場合がある。この場合、接着力の低下や接着剤の未硬化の原因となり得る。これに対して、本実施形態によれば、前述したように、収容溝５６の外周面５２ａおよび内周面５２ｂは、被接着面１７ｃおよび底面５６ｃと直角に交差せず、ある程度の傾き（θ１、θ２）を持たせている。そのため、接着剤Ａｄは、収容溝５６の稜線部分（角部）に容易に回り込むことができ、空間や隙間の発生を防止することができる。これにより、接着剤Ａｄの接着力低下および未硬化が抑制される。

【0041】

以上のように構成された第１実施形態に係るＨＤＤによれば、ヘッドジンバルアッセンブリにおいて、ジンバル部４４と磁気ヘッド１７との間の隙間に接着領域（第１領域Ｇ１）を囲む隙間の広い広隙間領域（第２領域Ｇ２）を設けることにより、接着剤Ａｄの流動を制御し接着剤Ａｄを所望の接着位置に保持することが可能となる。本実施形態では、広隙間領域を形成する環状の収容溝５６を磁気ヘッドのスライダ１７ａに設けることにより、接着剤Ａｄが収容溝５６に流れ込むことで接着剤Ａｄが収容溝５６よりも外側に濡れ広がることが無く、接着剤の流動を高精度に制御することができる。これにより、接着剤Ａｄを所望の接着位置に保持し、磁気ヘッドをジンバル部に安定して接着することが可能となる。また、接着剤Ａｄの一部が収容溝５６に位置することにより、接着剤の接着面積が増大し接着力の向上を図ることが可能となる。

【0042】

本実施形態によれば、収容溝５６の深さを最適化（２～２０μｍ）し、更に、収容溝５６の側面（外周面５２ａおよび内周面５２ｂ）は収容溝５６の底面５６ｃに垂直な方向に対してある程度の傾き（θ２）を有していることから、接着剤Ａｄは、空間や隙間を生じることなく収容溝５６の稜線部分（角部）に容易に回り込むことがでる。これにより、接着剤Ａｄの接着力低下および未硬化が抑制され、接着力の向上を図ることができる。
以上のことから、本実施形態によれば、磁気ヘッドを安定して接着することができ、振動特性を安定化することが可能なヘッドサスペンションアッセンブリ（ヘッドジンバルアッセンブリ）、およびこれを備えるディスク装置を提供することができる。

【0043】

次に、他の実施形態に係るＨＤＤのヘッドサスペンションアッセンブリについて説明する。以下に述べる他の実施形態において、上述した第１実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。

【0044】

（第２実施形態）
図１０は、第２実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドの被接着面を示す平面図、図１１は、第２実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図である。
図１０に示すように、第２実施形態では、磁気ヘッド１７のスライダ１７ａは、被接着面１７ｃに形成された円環状の収容溝５６に加えて円形の凹所５８を有している。凹所５８は、収容溝５６の内径よりも小さい外径を有し、収容溝５６の内側で収容溝５６と同芯に設けられている。凹所５８は、収容溝５６と同様の深さ（２～２０μｍ）を有している。凹所５８は、円形の底面と円筒状の側面（周面）とで規定されている。側面は、底面に垂直な方向に対して角度θ１、θ２だけ傾斜している。

【0045】

図１１に示すように、ジンバル部４４とスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、収容溝５６を含む第２領域Ｇ２の隙間ｄ１および凹所５８が設けられている領域Ｇ６の隙間ｄ１は、接着領域Ｇ１の隙間ｄ２および収容溝５６の周囲の第３領域Ｇ３の隙間ｄ２よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、収容溝５６を含む隙間領域Ｇ２および凹所５８を含む隙間領域は、周囲の隙間領域Ｇ３よりも隙間の広い広隙間領域をそれぞれ形成している。広隙間領域Ｇ２は、接着領域（第１領域Ｇ１）を囲んでいる。そのため、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着する際、接着領域Ｇ１に充填された接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａに挟まれ外側に広がっていくが、接着剤の外径縁部分が広隙間領域（Ｇ２、Ｇ６）に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。図１０に円Ｃ３で示したように、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着した後の接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の内に位置している。同時に、接着剤Ａｄの一部は、凹所５８の内に流れ込み凹所５８の底面および側面５８ａに密着している。なお、接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の全周に亘って流れ込む場合に限らず、収容溝５６の少なくとも一部に位置する場合もある。

【0046】

第２実施形態において、ヘッドサスペンションアッセンブリの他の構成は、前述した第１実施形態に係るヘッドサスペンションアッセンブリの構成と同一である。第２実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。更に、第２実施形態では、スライダ１７ａの被接着面１７ｃに凹所５８を設けることにより、接着剤Ａｄと被接着面１７ｃとの接着面積が増大するため、接着剤Ａｄの接着力の一層の向上を図ることができる。

【0047】

（第３実施形態）
図１２は、第３実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドの被接着面を示す平面図、図１３は、第３実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図である。
図１２に示すように、第３実施形態によれば、磁気ヘッド１７のスライダ１７ａは、被接着面１７ｃに形成された円環状の収容溝５６に加えて、円環状の第２収容溝６０を有している。第２収容溝６０の外径および内径は、収容溝５６の外径および内径よりも小さく、一例では、収容溝５６の外径および内径の４０～６０％程度の外径および内径としている。第２収容溝６０は、その中心がスライダ１７ａの中心軸線Ｃ１上に位置し、収容溝５６と間隔を置いて設けられている。一例では、第２収容溝６０は、積層部材（ＦＰＣ）４８と重なる位置に設けられている。

【0048】

第２収容溝６０は、収容溝５６と同様の深さ（２～２０μｍ）を有している。第２収容溝６０は、円環状の底面と円筒状の外周面（外側面）６０ａおよび内周面（内側面）６０ｂとで規定されている。両側面６０ａ、６０ｂは、被接着面１７ｃおよび底面に垂直な方向に対して前述した角度θ１、θ２だけ傾斜している。
なお、図１２において、２点鎖線の円Ｃ２は、ジンバル部４４の側に塗布される接着剤Ａｄの塗布領域を示している。２点鎖線の円Ｃ３は、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着した後の接着剤の外径縁を示している。

【0049】

図１３に示すように、磁気ヘッド１７をジンバル部４４に載置した状態において、被接着面１７ｃの収容溝５６が設けられた領域はタング部４４ａに対向し、接着剤Ａｄによりタング部４４ａに接着される。一例では、被接着面１７ｃの第２収容溝６０が設けられた領域は積層部材４８に対向し、接着剤Ａｄにより積層部材４８に接着される。

【0050】

タング部４４ａとスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、収容溝５６を含む第２領域Ｇ２の隙間ｄ１は、収容溝５６の周囲に位置する第３領域Ｇ３の隙間ｄ２および接着領域Ｇ１の隙間ｄ２よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、収容溝５６を含む隙間領域（第２領域Ｇ２）は、周囲の隙間領域（第３領域Ｇ３）よりも隙間の広い広隙間領域を形成している。この広隙間領域は、接着領域（第１領域Ｇ１）を囲んでいる。そのため、スライダ１７ａをタング部４４ａに接着する際、接着領域Ｇ１に充填された接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａに挟まれ外側に広がっていくが、外周部分が広隙間領域（第２領域Ｇ２）に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。図１２に円Ｃ３で示したように、スライダ１７ａをタング部４４ａに接着した後の接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の内に位置している。なお、接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の全周に亘って流れ込む場合に限らず、収容溝５６の少なくとも一部に位置する場合もある。

【0051】

同様に、積層部材４８とスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、第２収容溝６０が設けられている第４領域Ｇ４の隙間ｄ３は、第２収容溝６０の周囲に位置する第５領域Ｇ５の隙間ｄ４よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、第２収容溝６０を含む隙間領域（第４領域Ｇ４）は、周囲の隙間領域（第５領域Ｇ５）よりも隙間の広い広隙間領域を形成している。広隙間領域は、接着領域を囲んでいる。そのため、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着する際、接着剤Ａｄは、スライダ１７ａと積層部材４８に挟まれ外側に広がっていくが、外径縁部が広隙間領域（第４領域Ｇ４）に流れ込むことで第２収容溝６０よりも外側に濡れ広がることがない。図１２に円Ｃ３で示したように、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着した後の接着剤Ａｄの外径縁は、第２収容溝６０の内に位置している。

【0052】

第３実施形態において、ヘッドサスペンションアッセンブリの他の構成は、前述した第１実施形態に係るヘッドサスペンションアッセンブリの構成と同一である。第３実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。更に、第３実施形態によれば、磁気ヘッド１７の接着箇所を増やすことにより接着面積が増大し、より安定した接着が可能となる。

【0053】

（第４実施形態）
図１４は、第４実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドの被接着面を示す平面図、図１５は、第４実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図である。
前述した実施形態において、スライダ１７ａの収容溝は、円環形状の溝としているが、収容溝の形状はこれに限らず、ループ状に閉じた形状であれば、楕円形、長楕円形、角を丸めた四角形、多角形、など、他の種々の形状を選択可能である。

【0054】

図１４に示すように、第４実施形態によれば、スライダ１７ａの被接着面１７ｃに設けられた収容溝５６は、長楕円形あるいはトラック形状としている。収容溝５６は、中心軸線Ｃ１とほぼ平行に延びる一対の直線部分とこれらの直線部分を繋ぐ一対の円弧状部分とを含んでいる。収容溝５６は、中心軸線Ｃ１の軸方向において、被接着面１７ｃの軸方向一端の近傍から軸方向他端の近傍まで延在している。

【0055】

収容溝５６の深さは２～２０μｍ程度に形成されている。収容溝５６の外周面（外側面）５６ａおよび内周面（内側面）５６ｂは、収容溝５６の底面に垂直な方向に対して、所定角度（例えば、θ２）傾斜している。
なお、図１４において、２点鎖線の２つの円Ｃ２は、ジンバル部４４の側に塗布される接着剤Ａｄの塗布領域をそれぞれ示している。２点鎖線の長楕円Ｃ３は、スライダ１７ａをジンバル部４４に接着した後の接着剤の外径縁を示している。

【0056】

図１５に示すように、磁気ヘッド１７をジンバル部４４に載置した状態において、被接着面１７ｃの収容溝５６が設けられた領域はタング部４４ａおよび積層部材４８に対向し、接着剤Ａｄによりタング部４４ａおよび積層部材４８に接着される。

【0057】

タング部４４ａとスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、収容溝５６を含む第２領域Ｇ２の隙間ｄ１は、収容溝５６の周囲に位置する第３領域Ｇ３の隙間ｄ２よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、収容溝５６を含む隙間領域（第２領域Ｇ２）は、周囲の隙間領域（第３領域Ｇ３）の隙間ｄ２および接着領域Ｇ１の隙間ｄ２よりも隙間の広い広隙間領域を形成している。この広隙間領域（第２領域Ｇ２）は、接着領域Ｇ１を囲んでいる。また、積層部材４８とスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、収容溝５６が設けられている第４領域Ｇ４の隙間ｄ３は、周囲に位置する第５領域Ｇ５の隙間ｄ４よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、収容溝５６を含む第４領域Ｇ４は、周囲の隙間領域Ｇ５よりも隙間の広い広隙間領域を形成している。広隙間領域（第４領域Ｇ４）は、接着領域を囲んでいる。

【0058】

スライダ１７ａをタング部４４ａおよび積層部材４８に接着する際、接着領域Ｇ１に充填された接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａおよび積層部材４８とに挟まれ外側に広がっていくが、外径縁部分の少なくとも一部が広隙間領域（第２領域Ｇ２、第４領域Ｇ４）に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。図１４に円Ｃ３で示したように、スライダ１７ａをタング部４４ａおよび積層部材４８に接着した後の接着剤Ａｄの外径縁は、収容溝５６の内に位置している。

【0059】

第４実施形態において、ヘッドサスペンションアッセンブリの他の構成は、前述した第１実施形態に係るヘッドサスペンションアッセンブリの構成と同一である。そして、第４実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。更に、第４実施形態によれば、磁気ヘッドの接着面積が増大し、より安定した接着が可能となる。

【0060】

（第５実施形態）
図１６は、第５実施形態に係るＨＤＤにおけるヘッドサスペンションアッセンブリの先端部およびジンバル部を示す平面図、図１７は、第５実施形態におけるサスペンションアッセンブリの磁気ヘッド搭載部分の断面図である。
前述した実施形態において、収容溝は、スライダ１７ａの被接着面１７ｃに設けられているが、これに限らず、ヘッドサスペンションのジンバル部４４の側に設けてもよい。

【0061】

図１６および図１７に示すように、第５実施形態によれば、ヘッドサスペンションアッセンブリのジンバル部４４、ここでは、タング部４４ａに収容溝５６が設けられている。収容溝５６は、前述した第１実施形態における収容溝５６と同様の形状、構造を有している。詳細には、収容溝５６は、円環形状を有し、深さ２～２０μｍに形成されている。収容溝５６は、円環状の底面、ほぼ円筒状の外周面（外側面）および内周面（内側面）を有している。外周面および内周面は、底面に垂直な方向に対して所定角度θ１、θ２だけ傾斜している。

【0062】

図１７に示すように、磁気ヘッド１７をジンバル部４４に載置した状態において、スライダ１７ａの被接着面１７ｃはタング部４４ａおよび積層部材４８に対向し、接着剤Ａｄによりタング部４４ａに接着される。接着剤Ａｄは、予めタング部４４ａの収容溝５６の内側領域（接着領域Ｇ１）に塗布されている。スライダ１７ａをタング部４４ａに接着する際、接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａに挟まれ外側に広がっていくが、接着剤Ａｄの外周部分が収容溝５６に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。

【0063】

タング部４４ａとスライダ１７ａの被接着面１７ｃとの間の隙間領域において、収容溝５６を含む第２領域Ｇ２の隙間ｄ１は、収容溝５６の周囲に位置する第３領域Ｇ３の隙間ｄ２および接着剤Ａｄが充填された接着領域（第１領域Ｇ１）の隙間ｄ２よりも広く、すなわち、大きく設定されている。このように、収容溝５６を含む隙間領域Ｇ２は、周囲の隙間領域（第３領域Ｇ３）よりも隙間の広い広隙間領域を形成している。この広隙間領域は、接着領域（第１領域Ｇ１）を囲んでいる。このように、収容溝５６をジンバル部４４の側に設けた構成においても、接着領域（第１領域Ｇ１）を囲む広隙間領域（第２領域Ｇ２）を形成することができる。磁気ヘッド１７を接着する際、接着剤Ａｄは、スライダ１７ａとタング部４４ａとに挟まれ外側に広がっていくが、接着剤Ａｄの外径縁部分が広隙間領域（第２領域Ｇ２）に流れ込むことで収容溝５６よりも外側に濡れ広がることがない。

【0064】

第５実施形態において、ヘッドサスペンションアッセンブリの他の構成は、前述した第１実施形態に係るヘッドサスペンションアッセンブリの構成と同一である。そして、第５実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

【0065】

本発明は上述した実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
例えば、収容溝の形状、寸法、設置数は、上述した実施形態に限定されることなく、適宜変更可能である。また、収容溝は、スライダの被接着面およびジンバル部のいずれか一方に限らず、両方に設けてもよい。

【符号の説明】

【0066】

１０…筺体、１２…ベース、１７…磁気ヘッド、１７ａ…スライダ、
１７ｃ…被接着面、１８…磁気ディスク、２２…アクチュエータアッセンブリ、
３０…ヘッドサスペンションアッセンブリ、３４…サスペンション、
３８…ロードビーム、４２…フレキシャ（配線部材）、４４…ジンバル部、
４４ａ…タング部、４２…ロードビーム、４６…金属板、４８…積層部材（ＦＰＣ）、
５６，６０…収容溝、Ａｄ…接着剤、Ｇ１…第１領域、Ｇ２…第２領域（広隙間領域）、
Ｇ３…第３領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】