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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024126928
(43)【公開日】2024-09-20
(54)【発明の名称】検査装置
(51)【国際特許分類】
G01R 31/26 20200101AFI20240912BHJP
H01L 21/66 20060101ALI20240912BHJP
【ＦＩ】
G01R31/26 Z
G01R31/26 H
H01L21/66 H
H01L21/66 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023035694
(22)【出願日】2023-03-08
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110000970
【氏名又は名称】弁理士法人 楓国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】松田 一
【テーマコード（参考）】
2G003
4M106
【Ｆターム（参考）】
2G003AA10
2G003AD02
2G003AD03
2G003AD04
4M106AA04
4M106BA14
4M106CA31
4M106CA62
4M106DH46
4M106DJ01
(57)【要約】
【課題】 検査対象物に結露が発生しにくい検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置は、チャンバと、チャンバ内に位置しており、且つ、検査対象物を保持する保持器と、チャンバ内に位置しており、且つ、保持器が保持している検査対象物の電気特性を測定する測定器と、チャンバ内にドライエアーを導入するドライエアー導入部と、を備えている。鉛直下方向を下方向と定義し、チャンバには、チャンバ内と検査装置外とを繋ぐ開口であって、検査対象物が出入り可能な開口が設けられており、ドライエアーは、前記ドライエアー導入部から前記チャンバ内に流入し、ドライエアー導入部は、前記開口より下に位置しており、保持器は、前記開口より下に位置している。
【選択図】 図２
【解決手段】 検査装置は、チャンバと、チャンバ内に位置しており、且つ、検査対象物を保持する保持器と、チャンバ内に位置しており、且つ、保持器が保持している検査対象物の電気特性を測定する測定器と、チャンバ内にドライエアーを導入するドライエアー導入部と、を備えている。鉛直下方向を下方向と定義し、チャンバには、チャンバ内と検査装置外とを繋ぐ開口であって、検査対象物が出入り可能な開口が設けられており、ドライエアーは、前記ドライエアー導入部から前記チャンバ内に流入し、ドライエアー導入部は、前記開口より下に位置しており、保持器は、前記開口より下に位置している。
【選択図】 図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
チャンバと、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、検査対象物を保持する保持器と、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、前記保持器が保持している前記検査対象物の電気特性を測定する測定器と、
前記チャンバ内にドライエアーを導入するドライエアー導入部と、
を備えた検査装置であって、
鉛直下方向を下方向と定義し、
前記チャンバには、前記チャンバ内と前記検査装置外とを繋ぐ開口であって、前記検査対象物が出入り可能な開口が設けられており、
前記ドライエアーは、前記ドライエアー導入部から前記チャンバ内に流入し、
前記ドライエアー導入部は、前記開口より下に位置しており、
前記保持器は、前記開口より下に位置している、
検査装置。
前記チャンバ内に位置しており、且つ、検査対象物を保持する保持器と、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、前記保持器が保持している前記検査対象物の電気特性を測定する測定器と、
前記チャンバ内にドライエアーを導入するドライエアー導入部と、
を備えた検査装置であって、
鉛直下方向を下方向と定義し、
前記チャンバには、前記チャンバ内と前記検査装置外とを繋ぐ開口であって、前記検査対象物が出入り可能な開口が設けられており、
前記ドライエアーは、前記ドライエアー導入部から前記チャンバ内に流入し、
前記ドライエアー導入部は、前記開口より下に位置しており、
前記保持器は、前記開口より下に位置している、
検査装置。
【請求項2】
前記ドライエアーの絶体湿度は、前記検査装置外に存在している外気の絶体湿度より低い、
請求項１に記載の検査装置。
請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
前記ドライエアーの比重は、前記検査装置外に存在している外気の比重より大きい、
請求項１に記載の検査装置。
請求項１に記載の検査装置。
【請求項4】
前記検査装置は、温度調節器を更に備えており、
前記温度調節器は、前記保持器の温度を低下させる、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
前記温度調節器は、前記保持器の温度を低下させる、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項5】
前記ドライエアーの露点温度は、前記検査装置外に存在している外気の露点温度より低い、
請求項４に記載の検査装置。
請求項４に記載の検査装置。
【請求項6】
前記検査装置は、ドライエアー制御器を更に備えており、
前記ドライエアー制御器は、前記ドライエアーの流量を制御し、
前記ドライエアー制御器が、前記ドライエアー導入部を備えている、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
前記ドライエアー制御器は、前記ドライエアーの流量を制御し、
前記ドライエアー制御器が、前記ドライエアー導入部を備えている、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項7】
前記ドライエアー導入部は、減速部であり、
前記ドライエアーは、前記減速部を通過して前記チャンバ内に流入し、
前記減速部を通過した後のドライエアーの風速は、前記減速部を通過する前の前記ドライエアーの風速よりも小さい、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
前記ドライエアーは、前記減速部を通過して前記チャンバ内に流入し、
前記減速部を通過した後のドライエアーの風速は、前記減速部を通過する前の前記ドライエアーの風速よりも小さい、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項8】
前記減速部には、入口と、１以上の出口と、が設けられており、
前記ドライエアーは、前記入口を介して、前記減速部内に流入し、
前記ドライエアーは、前記１以上の出口を介して、前記減速部外へ流出し、
前記１以上の出口それぞれの面積の合計は、前記入口の面積より大きい、
請求項７に記載の検査装置。
前記ドライエアーは、前記入口を介して、前記減速部内に流入し、
前記ドライエアーは、前記１以上の出口を介して、前記減速部外へ流出し、
前記１以上の出口それぞれの面積の合計は、前記入口の面積より大きい、
請求項７に記載の検査装置。
【請求項9】
前記減速部は、多孔質部材により形成されている、
請求項８に記載の検査装置。
請求項８に記載の検査装置。
【請求項10】
前記ドライエアー導入部には、１以上のドライエアー導入口が設けられており、
前記ドライエアーは、前記１以上のドライエアー導入口から前記チャンバ内に導入され、
前記１以上のドライエアー導入口の一部は、前記ドライエアー導入部の下端部に設けられている、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
前記ドライエアーは、前記１以上のドライエアー導入口から前記チャンバ内に導入され、
前記１以上のドライエアー導入口の一部は、前記ドライエアー導入部の下端部に設けられている、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項11】
前記検査装置は、搬送器を更に備えており、
前記搬送器は、前記開口を介して前記チャンバ内へ前記検査対象物を搬送する、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
前記搬送器は、前記開口を介して前記チャンバ内へ前記検査対象物を搬送する、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、検査対象物を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、ＩＣチップの試験を行う電子部品試験装置が記載されている。電子部品試験装置は、ソケットと、チャンバと、熱交換装置と、温度制御装置と、試験用メイン装置と、を備えている。ソケットは、チャンバ内に位置している。ＩＣチップは、ソケットに配置される。熱交換装置は、チャンバ内の温度を上昇又は低下させる。温度制御装置は、熱交換装置を制御する。試験用メイン装置は、低温状態又は高温状態においてＩＣチップが正常に動作するか否かを試験する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０００－０３５４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の電子部品試験装置の分野において、検査対象物に結露が発生しにくいことが望まれている。
【0005】
本発明の目的は、検査対象物に結露が発生しにくい検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一実施形態に係る検査装置は、
チャンバと、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、検査対象物を保持する保持器と、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、前記保持器が保持している前記検査対象物の電気特性を測定する測定器と、
前記チャンバ内にドライエアーを導入するドライエアー導入部と、
を備えた検査装置であって、
鉛直下方向を下方向と定義し、
前記チャンバには、前記チャンバ内と前記検査装置外とを繋ぐ開口であって、前記検査対象物が出入り可能な開口が設けられており、
前記ドライエアーは、前記ドライエアー導入部から前記チャンバ内に流入し、
前記ドライエアー導入部は、前記開口より下に位置しており、
前記保持器は、前記開口より下に位置している。
チャンバと、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、検査対象物を保持する保持器と、
前記チャンバ内に位置しており、且つ、前記保持器が保持している前記検査対象物の電気特性を測定する測定器と、
前記チャンバ内にドライエアーを導入するドライエアー導入部と、
を備えた検査装置であって、
鉛直下方向を下方向と定義し、
前記チャンバには、前記チャンバ内と前記検査装置外とを繋ぐ開口であって、前記検査対象物が出入り可能な開口が設けられており、
前記ドライエアーは、前記ドライエアー導入部から前記チャンバ内に流入し、
前記ドライエアー導入部は、前記開口より下に位置しており、
前記保持器は、前記開口より下に位置している。
【0007】
以下に、本明細書における部材の位置関係について定義する。第１部材乃至第３部材は、検査装置の構成である。第１部材が第２部材の下に配置されるとは、以下の状態を示す。第１部材の少なくとも一部は、第２部材の真下に位置している。従って、下方向に見て、第１部材は、第２部材と重なっている。この定義は、下方向以外の方向にも適用される。
【0008】
本明細書において、第１部材が第２部材より下に配置されるとは、第１部材の上端が、第２部材の下端より下に配置されることをいう。このとき、第１部材の少なくとも一部が第２部材の真下に位置している場合、及び、第１部材が第２部材の真下に位置せずに第１部材が第２部材の斜め下に位置している場合を含む。この場合、上下方向に見て、第１部材は、第２部材と重なっていなくてもよい。斜め下とは、例えば、左下、右下である。この定義は、上下方向以外の方向にも適用される。
【0009】
本明細書において、特に断りのない場合には、第１部材の各部について以下のように定義する。第１部材の前端とは、前方向における第１部材の端を意味する。第１部材の後端とは、後方向における第１部材の端を意味する。第１部材の左端とは、左方向における第１部材の端を意味する。第１部材の右端とは、右方向における第１部材の端を意味する。第１部材の上端とは、上方向における第１部材の端を意味する。第１部材の下端とは、下方向における第１部材の端を意味する。第１部材の前端部とは、第１部材の前端及びその近傍を意味する。第１部材の後端部とは、第１部材の後端及びその近傍を意味する。第１部材の左端部とは、第１部材の左端及びその近傍を意味する。第１部材の右端部とは、第１部材の右端及びその近傍を意味する。第１部材の上端部とは、第１部材の上端及びその近傍を意味する。第１部材の下端部とは、第１部材の下端及びその近傍を意味する。
【0010】
本明細書において、第１部材が第２部材に保持されているとは、第１部材が第２部材に対して移動不可能に第２部材に取り付けられている（すなわち、固定されている）場合を含み、第１部材が第２部材に対して移動可能に第２部材に取り付けられている場合を含まない。また、第１部材が第２部材に保持されているとは、第１部材が第２部材に直接に取り付けられている場合、及び、第１部材が第３部材を介して第２部材に取り付けられている場合の両方を含む。
【発明の効果】
【0011】
本発明の一実施形態に係る検査装置によれば、検査対象物に結露が発生しにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
［第１実施形態］
以下、第１実施形態に係る検査装置１について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る検査装置１を示す斜視図である。図１において、チャンバ１０の内部についての記載を省略している。また、図１において、搬送器２０及び検査対象物ＯＢの記載を省略している。図２は、検査装置１を後方向に見た図である。図２において、チャンバ１０内を透視している。図２に示す例において、冷却器７０が有している部品の内の冷却ホースのみを図示している。図２において、ドライエアー制御器６０の左端部の記載を省略している。図２において、冷却器７０の左端部の記載を省略している。図３は、ドライエアー導入部６０１を後方向に見た図である。
以下、第１実施形態に係る検査装置１について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る検査装置１を示す斜視図である。図１において、チャンバ１０の内部についての記載を省略している。また、図１において、搬送器２０及び検査対象物ＯＢの記載を省略している。図２は、検査装置１を後方向に見た図である。図２において、チャンバ１０内を透視している。図２に示す例において、冷却器７０が有している部品の内の冷却ホースのみを図示している。図２において、ドライエアー制御器６０の左端部の記載を省略している。図２において、冷却器７０の左端部の記載を省略している。図３は、ドライエアー導入部６０１を後方向に見た図である。
【0014】
本実施形態において、方向を以下のように定義する。鉛直下方向を下方向と定義する。鉛直下方向は、検査装置１に加わる重力の方向と一致している。また、図１に示すように、下方向は、保持器３０と温度調節器５０とがこの順に並んでいる方向である。下方向の反対方向を上方向と定義する。上方向は、温度調節器５０と保持器３０とがこの順に並んでいる方向である。上下軸に直交する軸を、左右軸と定義する。上下軸及び左右軸に直交する方向を、前後軸と定義する。
【0015】
検査装置１は、検査対象物ＯＢの電気特性を測定することによって、検査対象物ＯＢが正常に動作するか否かを検査する。検査対象物ＯＢとは、具体的には、電子部品である。電子部品とは、積層セラミックコンデンサ、インダクタ、サーミスタ、モジュール基板等である。電気特性とは、例えば、検査対象物ＯＢの抵抗、耐電圧等である。検査装置１は、低温状態における検査対象物ＯＢの電気特性を測定する。低温とは、例えば、－１００℃以上且つ＋１０℃以下である。
【0016】
【0017】
図１に示すように、チャンバ１０は、左右軸に沿って延びる２辺と、上下軸に沿って延びる２辺と、前後軸に沿って延びる２辺と、を有する直方体形状を有している。一例として、上下方向におけるチャンバ１０の２辺それぞれの長さは、５０～５００ｍｍであり、且つ、左右方向におけるチャンバ１０の２辺それぞれの長さは、５０～５００ｍｍであり、且つ、前後方向におけるチャンバ１０の２辺それぞれの長さは、５０～５００ｍｍである。チャンバ１０は、下方向にこの順に並んでいる上面ＵｐＳ及び下面ＤｐＳを含んでいる。チャンバ１０は、上面ＵｐＳと下面ＤｐＳとを繋ぐ４つの側面を含んでいる。図２に示すように、チャンバ１０内には、空間ＳＰが存在している。このようなチャンバ１０の材料は、金属、樹脂、ゴム等である。
【0018】
チャンバ１０には、チャンバ１０内とチャンバ１０外とを繋ぐ開口ＨＬであって、検査対象物ＯＢが出入り可能な開口ＨＬが設けられている。本実施形態では、チャンバ１０外とは、検査装置１外である。つまり、本実施形態において、開口ＨＬは、チャンバ１０内と検査装置１外とを繋いでいる。図１及び図２に示す例において、開口ＨＬは、上面ＵｐＳに設けられている。より詳細には、開口ＨＬは、上面ＵｐＳの中央及びその近傍に設けられている。開口ＨＬの形状は、例えば、上下方向に見て、長方形状である。開口ＨＬの大きさは、上面ＵｐＳの大きさより小さい。開口ＨＬの大きさは、検査対象物ＯＢの大きさより大きい。一例として、前後方向における開口ＨＬの長さ及び左右方向における開口ＨＬの長さのそれぞれは、３０～２００ｍｍである。
【0019】
搬送器２０は、図２に示すように、開口ＨＬを介してチャンバ１０内へ検査対象物ＯＢを搬入する。搬送器２０は、例えば、吸着ノズルを含んでいる。吸着ノズルは、検査対象物ＯＢを吸着する。吸着ノズルは、吸着した検査対象物ＯＢを、開口ＨＬを介してチャンバ１０内へ搬送する。
【0020】
保持器３０は、図２に示すように、チャンバ１０内に位置している。保持器３０は、開口ＨＬより下に位置している。図２に示す例において、保持器３０は、上下方向におけるチャンバ１０の中央近傍、且つ、左右方向におけるチャンバ１０の中央近傍、且つ、前後方向におけるチャンバ１０の中央近傍に位置している。保持器３０は、チャンバ１０と接触していない。保持器３０は、検査対象物ＯＢを保持する。具体的には、保持器３０は、搬送器２０によってチャンバ１０内へ搬送された検査対象物ＯＢを保持する。保持器３０は、例えば、検査対象物ＯＢの位置決めを行う位置決め部品を有している。このような保持器３０は、キャビティ、平行チャック、四つ爪チャック等を有している部材である。
【0021】
測定器４０は、図２に示すように、チャンバ１０内に位置している。図２に示す例において、測定器４０は、上下方向に見て、チャンバ１０の中央近傍に位置している。図２に示す例では、測定器４０は、保持器３０と接触している。測定器４０は、チャンバ１０に接触していない。測定器４０は、保持器３０が保持している検査対象物ＯＢの電気特性を測定する。測定器４０は、例えば、測定端子を含んでいる測定基板を有する部材である。例えば、測定器４０は、当該測定端子を検査対象物ＯＢの表面に設けられている電極に接触させることによって、検査対象物ＯＢの電気特性を測定する。測定器４０によって電気特性を測定された検査対象物ＯＢは、搬送器２０によって開口ＨＬを介してチャンバ１０外へ搬送される。
【0022】
温度調節器５０は、図２に示すように、チャンバ１０内に位置している。図２に示す例において、温度調節器５０は、保持器３０及び測定器４０の下に位置している。温度調節器５０は、チャンバ１０内の温度を低下させる。温度調節器５０は、保持器３０の温度を低下させる。例えば、温度調節器５０は、保持器３０の温度を－１００℃以上且つ＋１０℃以下の温度に低下させる。このような温度調節器５０は、例えば、ペルチェモジュールである。
【0023】
ドライエアー制御器６０は、ドライエアーＦＬの流量を制御する。ドライエアー制御器６０は、ドライエアー供給部６００と、ドライエアー導入部６０１と、を有している。本実施形態では、検査装置１が備えているドライエアー制御器６０が、ドライエアー導入部６０１を有している。従って、検査装置１は、ドライエアー導入部６０１を備えている。
【0024】
ドライエアー供給部６００は、ドライエアーＦＬを生成する。図２に示すように、ドライエアー供給部６００によって生成されたドライエアーＦＬは、チャンバ１０内に向かって流れる。例えば、ドライエアー供給部６００は、エアドライヤー、ホース、絞り弁、流量計及び継手を含んでいる。エアドライヤーは、空気を圧縮することによって得られる圧縮空気を脱湿することによってドライエアーＦＬを生成する。ホースは、エアドライヤーと継手とを繋ぐ。絞り弁は、ホースを通過するドライエアーＦＬの流量を調整する。流量計は、ドライエアーＦＬの流量を計測する。絞り弁等によって流量を調整されたドライエアーＦＬは、ホース及び継手を通過することによってドライエアー導入部６０１に到達する。
【0025】
図２に示すように、ドライエアー導入部６０１は、ドライエアー供給部６００と繋がっている。ドライエアー導入部６０１は、チャンバ１０内に位置している。図２に示すように、ドライエアー導入部６０１は、開口ＨＬより下に位置している。本実施形態において、ドライエアー導入部６０１は、保持器３０より下に位置している。より詳細には、ドライエアー導入部６０１は、空間ＳＰにおける下端部に位置している。ドライエアー導入部６０１には、１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１が設けられている。
【0026】
ドライエアー導入部６０１は、チャンバ１０内へドライエアーＦＬを導入する。具体的には、ドライエアー供給部６００が生成したドライエアーＦＬは、ドライエアー導入部６０１に向かって流れる。ドライエアーＦＬは、１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１からチャンバ１０内に流入する。これにより、ドライエアーＦＬは、ドライエアー導入部６０１からチャンバ１０内に流入する。図２に示す例では、ドライエアー導入部６０１が空間ＳＰにおける下端部に位置しているため、ドライエアー導入部６０１から導入されたドライエアーＦＬは、空間ＳＰにおける下端部に到達する。
【0027】
本実施形態において、ドライエアー導入部６０１は、ドライエアーＦＬの流量を低下させる。具体的には、本実施形態において、ドライエアー導入部６０１は、減速部６０１０である。減速部６０１０が、ドライエアーＦＬの流量を低下させる。減速部６０１０は、チャンバ１０内に位置している。ドライエアーＦＬは、減速部６０１０を通過してチャンバ１０内に流入する。このとき、減速部６０１０を通過した後のドライエアーＦＬの風速は、減速部６０１０を通過する前のドライエアーＦＬの風速よりも小さい。
【0028】
例えば、図３に示すように、減速部６０１０は、入口Ｅｔと、１以上の流路（図示省略）と、１以上の出口Ｅｘ２と、が設けられている。本実施形態において、ドライエアー導入部６０１は減速部６０１０である。このため、図３に示すように、減速部６０１０における１以上の出口Ｅｘ２は、１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１に相当する。１以上の流路のそれぞれは、入口Ｅｔと１以上の出口Ｅｘ２とを繋いでいる。１以上の流路は、減速部６０１０内に形成されている。ドライエアーＦＬは、入口Ｅｔを介して減速部６０１０内に流入する。具体的には、ドライエアーＦＬは、入口Ｅｔを介して１以上の流路それぞれに流入する。ドライエアーＦＬは、１以上の流路を介して１以上の出口Ｅｘ２それぞれに到達する。ドライエアーＦＬは、１以上の出口Ｅｘ２を介して減速部６０１０外へ流出する。
【0029】
このとき、１以上の出口Ｅｘ２それぞれの面積の合計は、入口Ｅｔの面積より大きい。これにより、１以上の出口Ｅｘ２それぞれから流出するドライエアーＦＬの風速は、入口Ｅｔに流入するドライエアーＦＬの風速より小さくなる。一例として、減速部６０１０を備えていない検査装置においてチャンバ１０内に流入したドライエアーＦＬの風速は、約０．２２ｍ／ｓである。一方、検査装置１において減速部６０１０を介してチャンバ１０内に流入したドライエアーＦＬの風速は、約０．１３ｍ／ｓである。上記に示すような減速部６０１０は、例えば、多孔質部材により形成されている。例えば、セラミック等の材料を焼結することによって、多孔質部材である減速部６０１０が形成される。
【0030】
冷却器７０は、温度調節器５０を冷却する。冷却器７０は、例えば、冷却水循環装置及び冷却ホースを有している。冷却水循環装置は、チャンバ１０外に配置されている。冷却ホースは、冷却水循環装置と温度調節器５０とを繋いでいる。冷却水循環装置内にて冷却された冷却水は、冷却ホースを介して温度調節器５０に到達する。温度調節器５０を冷却した冷却水は、温度調節器５０から冷却ホースを介して冷却水循環装置に戻る。
【0031】
露点温度計８０は、チャンバ１０内の露点温度を計測する。露点温度とは、気体を冷却した場合に、結露が発生する温度である。図２に示す例において、露点温度計８０は、チャンバ１０の側面に設けられている。露点温度計８０は、左方向の端におけるチャンバ１０の側面に設けられている。露点温度計８０は、チャンバ１０の側面の上端部に設けられている。
【0032】
本実施形態において、ドライエアーＦＬとは、チャンバ１０外に存在している外気（以下、単に外気と称す）と比べて、乾燥している気体である。つまり、ドライエアーＦＬが含んでいる単位体積あたりの水分の量は、外気が含んでいる単位体積当たりの水分の量より少ない。つまり、ドライエアーＦＬの絶体湿度は、外気の絶体湿度より低い。
【0033】
このとき、ドライエアーＦＬの比重は、外気の比重より大きい。つまり、ドライエアーＦＬは、外気よりも重い。具体的には、水分子の質量は、外気が含んでいる気体の分子の質量の合計より軽い。水分子の１モルあたりの質量は１８ｇである一方で、外気が含んでいる気体の分子の１モルあたりの質量の合計は約２８．８ｇである。ドライエアーＦＬが含んでいる水分子の含有量は、外気が含んでいる水分子の含有量より少ない。水分子の含有量が少ないドライエアーＦＬは、水分子の含有量が多い外気よりも、重い。一例として、ドライエアーＦＬの比重は、外気の比重の１．１倍以上である。
【0034】
このとき、ドライエアーＦＬの露点温度は、外気の露点温度より低い。具体的には、露点温度は、温度と湿度とにより定まる温度である。湿度が低下した場合、露点温度は、低下する。つまり、水分子の含有量が少ないドライエアーＦＬの露点温度は、水分子の含有量が多い外気の露点温度より低くなる。一例として、ドライエアーＦＬの露点温度は、外気の露点温度より２０度以上低い。上記に示すようなドライエアーＦＬは、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）、二酸化炭素（ＣＯ２）、ヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）等の混合物である。
【0035】
（効果）
検査装置１によれば、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。より詳細には、検査装置１は、チャンバ１０と、ドライエアー導入部６０１と、を備えている。チャンバ１０には、開口ＨＬが設けられている。ドライエアー導入部６０１は、開口ＨＬより下に位置している。従って、開口ＨＬより下において、ドライエアーＦＬがチャンバ１０内に導入される。ここで、ドライエアーＦＬの絶体湿度は、外気の絶体湿度より低い。このような、ドライエアーＦＬは、外気よりも重い。外気よりも重いドライエアーＦＬは、チャンバ１０内の空間ＳＰにおける下端部に移動する。具体的には、ドライエアーＦＬが流入する前のチャンバ１０内には、外気が存在している。チャンバ１０内に流入したドライエアーＦＬは、チャンバ１０内に存在している外気より重い。従って、ドライエアーＦＬは、外気の下に位置するようにチャンバ１０内を移動する。このとき、チャンバ１０内に存在している外気は、チャンバ１０内の下端部に溜まるドライエアーＦＬによって、チャンバ１０内を上方向に向かって移動する。チャンバ１０の上端には、開口ＨＬが設けられている。このため、チャンバ１０内を上方向に向かって移動する外気は、開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出しやすい。結果、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。従って、検査対象物ＯＢがチャンバ１０内に位置している場合に、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。
検査装置１によれば、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。より詳細には、検査装置１は、チャンバ１０と、ドライエアー導入部６０１と、を備えている。チャンバ１０には、開口ＨＬが設けられている。ドライエアー導入部６０１は、開口ＨＬより下に位置している。従って、開口ＨＬより下において、ドライエアーＦＬがチャンバ１０内に導入される。ここで、ドライエアーＦＬの絶体湿度は、外気の絶体湿度より低い。このような、ドライエアーＦＬは、外気よりも重い。外気よりも重いドライエアーＦＬは、チャンバ１０内の空間ＳＰにおける下端部に移動する。具体的には、ドライエアーＦＬが流入する前のチャンバ１０内には、外気が存在している。チャンバ１０内に流入したドライエアーＦＬは、チャンバ１０内に存在している外気より重い。従って、ドライエアーＦＬは、外気の下に位置するようにチャンバ１０内を移動する。このとき、チャンバ１０内に存在している外気は、チャンバ１０内の下端部に溜まるドライエアーＦＬによって、チャンバ１０内を上方向に向かって移動する。チャンバ１０の上端には、開口ＨＬが設けられている。このため、チャンバ１０内を上方向に向かって移動する外気は、開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出しやすい。結果、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。従って、検査対象物ＯＢがチャンバ１０内に位置している場合に、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。
【0036】
検査装置１によれば、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。具体的には、ドライエアー導入部６０１が、開口ＨＬより下に位置している。これにより、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。ここで、保持器３０は、開口ＨＬより下に位置している。この場合、保持器３０の周囲がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。つまり、保持器３０によって保持されている検査対象物ＯＢの周囲が、ドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。結果、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。
【0037】
ドライエアーＦＬの比重は、外気の比重より大きい。従って、チャンバ１０内に存在している外気は、チャンバ１０内においてドライエアーＦＬの上に位置するようにチャンバ１０内を移動する。従って、チャンバ１０内に存在している外気が、チャンバ１０の上端に位置している開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出しやすくなる。
【0038】
ドライエアー制御器６０は、ドライエアーＦＬの流量を制御する。このため、ドライエアー制御器６０は、チャンバ１０内を流れるドライエアーＦＬの風速を低下させることが出来る。従って、ドライエアーＦＬがチャンバ１０内を循環しにくくなる。これにより、ドライエアーＦＬがチャンバ１０内を循環することによって、ドライエアーＦＬが開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出するという事象が発生しにくくなる。従って、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。結果、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。
【0039】
減速部６０１０は、ドライエアーＦＬの風速を低下する。つまり、チャンバ１０内に導入されるドライエアーＦＬの風速が低下する。従って、ドライエアーＦＬがチャンバ１０内を循環しにくくなる。これにより、ドライエアーＦＬがチャンバ１０内を循環することによって、ドライエアーＦＬが開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出するという事象が発生しにくくなる。従って、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。結果、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。
【0040】
検査装置１は、ドライエアーＦＬの風速を低下させる減速部６０１０を備えている。この場合、検査装置１は、ドライエアー供給部６００がドライエアーＦＬの風速を低下させる構成を備えている場合と比較して、簡単な構成でドライエアーＦＬの風速を低下させることが出来る。
【0041】
検査装置１では、チャンバ１０内に存在している気体が、開口ＨＬから流出することによって、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。つまり、開口ＨＬが閉じられていない場合であっても、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすい。従って、検査装置１では、チャンバ１０内をドライエアーＦＬで満たすために、開口ＨＬを閉じる動作を行わなくてよい。結果、検査対象物ＯＢが搬送器２０によって搬入されてから搬出されるまでの時間を短縮することが出来る。
【0042】
減速部６０１０は、ドライエアーＦＬの風速を低下する。これにより、チャンバ１０内を流れるドライエアーＦＬの風速を低下させることが出来る。このため、温度調節器５０の近傍においてドライエアーＦＬの強い流れが生じにくい。従って、チャンバ１０内を流れるドライエアーＦＬによって温度調節器５０における温度調節が、阻害されにくくなる。
【0043】
検査装置１では、チャンバ１０内をドライエアーＦＬで満たすことが出来る。このため、検査装置１では、検査対象物ＯＢの電気特性の試験以外に、ドライエアー環境下における検査対象物ＯＢの耐久性の試験も行うことが出来るという効果を奏する。このとき、温度調節器５０は、必ずしも、保持器３０の温度を低下させなくてもよい。この場合、検査対象物ＯＢは、乾燥しやすいゴムや、樹脂等により形成されている。
【0044】
【0045】
図４に示すように、検査装置１ａは、ドライエアー導入部６０１の代わりに、ドライエアー導入部６０１ａを備えている点で、検査装置１と異なる。ドライエアー導入部６０１ａにおいて、１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１の一部は、ドライエアー導入部６０１ａの下端部に設けられている。
【0046】
本変形例において、ドライエアー導入部６０１ａは、減速部６０１０と異なる減速部６０１０ａである。このため、減速部６０１０ａに設けられている１以上の出口Ｅｘ２のそれぞれは、ドライエアー導入部６０１ａに設けられている１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１に相当する。ドライエアーＦＬは、減速部６０１０ａからチャンバ１０内に流入する。ここで、図４に示す例において、１以上の出口Ｅｘ２の一部は、減速部６０１０ａの下端部に設けられている。このような減速部６０１０ａは、減速部６０１０と同様にして、例えば、多孔質部材により形成されている。
【0047】
（効果）
検査装置１ａにおいて、１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１の一部は、ドライエアー導入部６０１ａの下端部に設けられている。このため、ドライエアーＦＬの一部は、ドライエアー導入部６０１ａの下端部に設けられているドライエアー導入口Ｅｘ１から下方向に向かって流れる。これにより、ドライエアーＦＬがチャンバ１０の下端部に向かって流れやすくなる。従ってドライエアーＦＬがチャンバ１０内の空間ＳＰの下端部に溜まりやすくなる。これにより、チャンバ１０内に存在していた外気が開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出しやすくなる。結果、ドライエアーＦＬが、チャンバ１０内に効率的に溜まりやすくなる。
検査装置１ａにおいて、１以上のドライエアー導入口Ｅｘ１の一部は、ドライエアー導入部６０１ａの下端部に設けられている。このため、ドライエアーＦＬの一部は、ドライエアー導入部６０１ａの下端部に設けられているドライエアー導入口Ｅｘ１から下方向に向かって流れる。これにより、ドライエアーＦＬがチャンバ１０の下端部に向かって流れやすくなる。従ってドライエアーＦＬがチャンバ１０内の空間ＳＰの下端部に溜まりやすくなる。これにより、チャンバ１０内に存在していた外気が開口ＨＬからチャンバ１０外へ流出しやすくなる。結果、ドライエアーＦＬが、チャンバ１０内に効率的に溜まりやすくなる。
【0048】
［その他の変形例］
本発明に係る検査装置は、検査装置１，１ａに限らず、その要旨の範囲において変更可能である。検査装置１，１ａの構成を任意に組み合わせてもよい。
本発明に係る検査装置は、検査装置１，１ａに限らず、その要旨の範囲において変更可能である。検査装置１，１ａの構成を任意に組み合わせてもよい。
【0049】
なお、上下方向、前後方向及び左右方向は、説明のために定義した方向である。従って検査装置１の実使用時における上下方向、前後方向及び左右方向は、必ずしも、各実施形態及び各変形例における上下方向、前後方向及び左右方向と一致しなくてよい。
【0050】
なお、検査対象物ＯＢは、積層セラミックコンデンサ、インダクタ、サーミスタ、モジュール基板以外の部品であってもよい。検査対象物ＯＢは、例えば、個片チップ状の半導体素子、集合ウエハ状の半導体素子等であってもよい。なお、検査対象物ＯＢは、製造途中の半製品であってもよい。
【0051】
なお、チャンバ１０は、必ずしも直方体形状を有していなくてもよい。チャンバ１０は、円柱形状、円錐形状、円錐台形状、球体形状等を有していてもよい。
【0052】
なお、チャンバ１０の内面には、チャンバ１０の内面からチャンバ１０の中央近傍に向かって突出する突起等が存在していないことが好ましい。これにより、ドライエアーＦＬのチャンバ１０内への充填が阻害されにくくなる。
【0053】
なお、チャンバ１０に実質的に気体が通過しない開口（以下、第１開口と称す）が存在している場合、第１開口は、開口ＨＬに相当しない。例えば、チャンバ１０に微小な孔が存在している場合、当該微小な孔は、開口ＨＬに相当しない。但し、チャンバ１０に開口ＨＬが存在している場合、チャンバ１０に開口ＨＬに加えて当該孔が存在していてもよい。同様にして、チャンバ１０に部材等で覆われている開口（以下、第２開口と称す）が存在している場合、第２開口は、開口ＨＬに相当しない。但し、チャンバ１０に開口ＨＬが存在している場合、チャンバ１０に開口ＨＬに加えて第２開口が存在していてもよい。
【0054】
なお、チャンバ１０には、実質的に気体が通過出来る開口（以下、第３開口と称す）であって、検査対象物ＯＢが出入り不可能な第３開口が設けられていてもよい。この場合、第３開口は、ドライエアー導入部６０１より上に位置していることが好ましい。また、第３開口は、保持器３０より上に位置していることが好ましい。なお、検査対象物ＯＢが第３開口を出入り不可能な理由は、例えば、以下である。第３開口の大きさが、検査対象物ＯＢの大きさより小さい。第３開口の形状が、検査対象物ＯＢの形状と合わない。第３開口又は第３開口の近傍に障害物が存在している。
【0055】
なお、開口ＨＬは、必ずしも、チャンバ１０の上面ＵｐＳに設けられていなくてもよい。例えば、開口ＨＬは、チャンバ１０の４つの側面のいずれかに設けられていてもよい。この場合、ドライエアー導入部６０１及び保持器３０のそれぞれは、チャンバ１０の４つの側面のいずれかに設けられている開口ＨＬより下に位置している。
【0056】
なお、チャンバ１０の材料は、必ずしも、金属、樹脂、ゴムでなくてもよい。
【0057】
なお、開口ＨＬは、必ずしも、上下方向に見て、長方形状でなくてもよい。例えば、開口ＨＬは、上下方向に見て、多角形状、円形状等であってもよい。
【0058】
なお、前後方向における開口ＨＬの長さは、必ずしも、３０～２００ｍｍでなくてもよい。なお、左右方向における開口ＨＬの長さは、必ずしも、３０～２００ｍｍでなくてもよい。
【0059】
なお、測定器４０は、必ずしも、測定端子を含んでいる測定基板でなくてもよい。
【0060】
なお、測定器４０は、必ずしも、検査対象物ＯＢの表面に設けられている電極に測定端子を接触させる接触式の測定器でなくてもよい。測定器４０は、非接触式の測定器であってもよい。例えば、測定器４０は、電磁波、容量結合等によって検査対象物ＯＢの電気特性を測定する非接触式の測定器であってもよい。
【0061】
なお、検査装置１は、複数のドライエアー導入部６０１を備えていてもよい。この場合、複数のドライエアー導入部６０１の内の少なくとも１個のドライエアー導入部６０１が、開口ＨＬより下に位置していればよい。
【0062】
なお、検査装置１は、複数の保持器３０を備えていてもよい。この場合、複数の保持器３０の全てが、開口ＨＬより下に位置していればよい。
【0063】
なお、チャンバ１０には、複数の開口ＨＬが設けられていてもよい。この場合、ドライエアー導入部６０１及び保持器３０のそれぞれは、複数の開口ＨＬより下に位置している。
【0064】
なお、検査装置１が複数のドライエアー導入部６０１を備えており、且つ、チャンバ１０には複数の開口ＨＬが設けられていてもよい。この場合、複数のドライエアー導入部６０１の内の少なくとも１つのドライエアー導入部６０１が、複数の開口ＨＬの全てより下に位置していればよい。
【0065】
なお、検査装置１が複数の保持器３０を備えており、且つ、チャンバ１０には複数の開口ＨＬが設けられていてもよい。この場合、複数の保持器３０の全てが、複数の開口ＨＬの全てより下に位置していればよい。
【0066】
なお、ドライエアーＦＬの露点温度は、外気の露点温度より低ければ、どの様な露点温度であってもよい。このため、ドライエアーＦＬの露点温度は、必ずしも、外気の露点温度より２０度以上低くなくてよい。
【0067】
なお、ドライエアーＦＬの比重は、外気の比重より大きければ、どの様な比重であってもよい。このため、ドライエアーＦＬの比重は、必ずしも、外気の比重の１．１倍以上でなくてよい。
【0068】
なお、外気は、より詳細には、チャンバ１０の周囲に存在している気体である。
【0069】
なお、第１実施形態において、開口ＨＬは、チャンバ１０内と検査装置１外とを繋いでいる。
【0070】
なお、第１実施形態において、外気は、検査装置１外に存在している。従って、ドライエアーＦＬの絶体湿度は、検査装置１外に存在している外気の絶体湿度より低い。ドライエアーＦＬの比重は、検査装置１外に存在している外気の比重より低い。ドライエアーＦＬの露点温度は、検査装置１外に存在している外気の露点温度より低い。
【0071】
なお、温度調節器５０は、必ずしもペルチェモジュールでなくてもよい。温度調節器５０は、水冷ヒートシンク、液体窒素チャンバ等であってもよい。
【0072】
なお、減速部６０１０，６０１０ａは、必ずしも、多孔質部材でなくてもよい。減速部６０１０，６０１０ａは、例えば、空圧機器のサイレンサーであってもよい。サイレンサーは、サイレンサーからチャンバ１０内に導入されるドライエアーＦＬの排気音を軽減する機器である。サイレンサーを通過した後のドライエアーＦＬの風速は、サイレンサーを通過する前のドライエアーＦＬの風速よりも遅くなる。従って、検査対象物ＯＢに結露が発生しにくくなる。
【0073】
なお、検査装置１は、減速部６０１０の代わりに、減速部６０１０とは異なる減速部（以下、変形例２に係る減速部と称す）を備えていてもよい。例えば、変形例２に係る減速部は、障害物を含んでいる。また、変形例２に係る減速部には、ドライエアーＦＬが流れる流路が形成されてている。障害物は、変形例２に係る減速部の流路に設けられている。この場合、流路を流れるドライエアーＦＬは障害物に衝突する。障害物に衝突することによってドライエアーＦＬが流れる向きが変化する。このとき、ドライエアーＦＬの風速が低下しやすい。従って、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。
【0074】
なお、検査装置１は、減速部６０１０の代わりに、減速部６０１０とは異なる減速部（以下、変形例３に係る減速部と称す）を備えていてもよい。例えば、変形例３に係る減速部における１以上の流路それぞれは、非直線形状である。これにより、ドライエアーＦＬが１以上の流路それぞれを通過するとき、ドライエアーＦＬが流れる向きが、変化する。このとき、ドライエアーＦＬの風速が低下しやすい。従って、チャンバ１０内がドライエアーＦＬによって満たされやすくなる。
【0075】
なお、検査装置１は、以下に示す検査装置（以下、変形例２に係る検査装置と称す）であってもよい。変形例２に係る検査装置は、減速部６０１０又は減速部６０１０ａを備えている。このとき、減速部６０１０又は減速部６０１０ａは、必ずしも、開口ＨＬより下に位置していなくてよく、且つ、保持器３０は、必ずしも、開口ＨＬより下に位置していなくてよい。
【0076】
なお、検査装置１内は、チャンバ１０内、及び、検査装置１内であるがチャンバ１０外である場所の両方を含んでいる。
【0077】
なお、検査装置１は、必ずしも、減速部６０１０を備えていなくてもよい。このため、検査装置１は、必ずしも、減速部６０１０によってドライエアーＦＬの流量を低下させなくてもよい。
【0078】
なお、減速部６０１０は、ドライエアー制御器６０に設けられている流路の一部に配置されていてもよい。
【0079】
なお、ドライエアー制御器６０が、必ずしも、ドライエアー導入部６０１を備えていなくてもよい。検査装置１において、ドライエアー制御器６０以外の部材が、ドライエアー導入部を備えていてもよい。例えば、チャンバ１０がドライエアー導入部６０１を備えていてもよい。例えば、チャンバ１０の下面ＤｐＳの一部にドライエアーＦＬが導入されるドライエアー導入口が設けられていてもよい。この場合、チャンバ１０の下面ＤｐＳの一部がドライエアー導入部６０１に相当する。
【0080】
なお、検査装置１におけるドライエアー導入部６０１近傍を流れるドライエアーＦＬの流量は、例えば、５～１００Ｌ／ｍｉｎである。
【0081】
なお、検査装置１における開口ＨＬ近傍を流れるドライエアーＦＬの流量は、例えば、５０Ｌ／ｍｉｎである。
【0082】
なお、上下方向におけるドライエアー導入部６０１の上端と開口ＨＬの下端との間の距離は、上下方向における検査装置１の長さより短い。
【0083】
なお、上下方向における保持器３０の上端と開口ＨＬの下端との間の距離は、上下方向における検査装置１の長さより短い。
【0084】
なお、必ずしも、ドライエアー導入部６０１は、必ずしも、保持器３０より下に位置していなくてもよい。保持器３０が、ドライエアー導入部６０１より下に位置していてもよい。
【0085】
なお、減速部６０１０，６０１０ａは、１個の出口Ｅｘ２のみを含んでいてもよい。
【0086】
なお、ドライエアー導入部６０１は、チャンバ１０の下面ＤｐＳに設けられていてもよい。
【0087】
なお、測定器４０が検査対象物ＯＢを測定するとき、開口ＨＬは、閉じられている。
【0088】
なお、検査装置１，１ａは、必ずしも、冷却器７０を備えていなくてもよい。
【0089】
なお、検査装置１，１ａは、必ずしも、露点温度計８０を備えていなくてもよい。
【符号の説明】
【0090】
１，１ａ：検査装置
１０：チャンバ
２０：搬送器
３０：保持器
４０：測定器
５０：温度調節器
６０：ドライエアー制御器
６００：ドライエアー供給部
６０１，６０１ａ：ドライエアー導入部
６０１０，６０１０ａ：減速部
ＦＬ：ドライエアー
ＨＬ：開口
ＯＢ：検査対象物
１０：チャンバ
２０：搬送器
３０：保持器
４０：測定器
５０：温度調節器
６０：ドライエアー制御器
６００：ドライエアー供給部
６０１，６０１ａ：ドライエアー導入部
６０１０，６０１０ａ：減速部
ＦＬ：ドライエアー
ＨＬ：開口
ＯＢ：検査対象物
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】