特開 2024-126955 ＣＴ撮影用治具及びそれを用いたＣＴ撮影装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024126955

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】ＣＴ撮影用治具及びそれを用いたＣＴ撮影装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/046 20180101AFI20240912BHJP

【ＦＩ】

G01N23/046

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023035743

(22)【出願日】2023-03-08

(71)【出願人】

【識別番号】391017540

【氏名又は名称】東芝ＩＴコントロールシステム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(74)【代理人】

【識別番号】100112564

【弁理士】

【氏名又は名称】大熊 考一

(74)【代理人】

【識別番号】100163500

【弁理士】

【氏名又は名称】片桐 貞典

(74)【代理人】

【識別番号】230115598

【弁護士】

【氏名又は名称】木内 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】原 拓生

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA09

2G001HA14

2G001JA08

2G001QA02

(57)【要約】      （修正有）

【課題】簡単な構成で被検査物を所望の角度で保持することができ、しかも、コーンビームアーチファクト及び散乱線によるノイズを抑制可能なＣＴ撮影用治具及びそれを用いたＣＴ撮影装置を提供する。
【解決手段】ベース２１と、ベース２１に設置された複数の支持棒２２と、複数の支持棒２２のそれぞれに、ベース２１表面から離れた位置に設けられた支持部と、を備え、支持部により、被検査物Ａの下方に空間が設けられた状態で、被検査物Ａがベース２１表面から浮き上がった位置で支持される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ベースと、
前記ベースに設置された複数の支持棒と、
前記複数の支持棒のそれぞれに、前記ベース表面から離れた位置に設けられた支持部と、
を備え、
前記支持部により、前記被検査物の下方に空間が設けられた状態で、前記被検査物が前記ベース表面から浮き上がった位置で支持されるＣＴ撮影用治具。

【請求項2】

前記複数の支持部は、前記被検査物の角度に応じて異なった位置に設けられ、
前記支持部により、前記被検査物が前記ベース表面に対して所定の角度で支持される請求項１に記載のＣＴ撮影用治具。

【請求項3】

前記支持部が、前記支持棒の一部及び紐状部材によって構成され、
前記複数の支持棒は、前記ベースから離れた高さにそれぞれ切り欠き部が設けられ、
前記紐状部材が前記複数の支持棒の切り欠き部に保持され、
前記支持棒の一部及び前記紐状部材により、前記被検査物が支持されている請求項１又は請求項２のいずれかに記載のＣＴ撮影用治具。

【請求項4】

前記切り欠き部が、前記複数の支持棒のそれぞれに複数設けられ、
前記紐状部材が、前記複数の支持棒の高さの異なる前記切り欠き部に保持されている請求項３に記載のＣＴ撮影用治具。

【請求項5】

前記支持棒は、３本以上であり、
前記３本以上の支持棒の少なくとも１本は、弾性部材から構成され、
前記被検査物は、前記３本以上の支持棒の間に挿入された状態において、前記支持棒の弾性力により保持されている請求項１又は請求項２のいずれかに記載のＣＴ撮影用治具。

【請求項6】

前記複数の支持棒の少なくとも１本と前記紐状部材は、弾性部材から構成され、
前記被検査物は、前記複数の支持棒の間に挿入された状態において、前記紐状部材の弾性力により前記被検査物側に付勢された前記支持棒により保持されている請求項３に記載のＣＴ撮影用治具。
前記紐状部材は

【請求項7】

前記支持部として、前記支持棒の一部に設けられた突起部及び／又は前記支持棒の端部を備えた請求項１又は請求項２のいずれかに記載のＣＴ撮影用治具。

【請求項8】

被検査物を載置する検査台と、
前記被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、
前記Ｘ線発生器に対向して配置されるＸ線検出器と、
を備え、
前記検査台の上に請求項１又は請求項２のいずれかに記載のＣＴ撮影用治具を配置してなるＣＴ撮影装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、ＣＴ撮影用治具及びそれを用いたＣＴ撮影装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、コーンビーム状のＸ線ビームを照射するＣＴ撮影装置が使用されている。コーンビームＣＴ撮影装置は、Ｘ線を照射するＸ線発生器と、Ｘ線を検出する二次元画素配列のＸ線検出器が対向して配置される。Ｘ線源とＸ線検出器の間には回転可能な検査台が設けられている。検査台に載置された被検査物に対してＸ線が照射されている間、この検査台が１回転することで、被検査物の全方位にＸ線が照射される。この１回転中に数百から数千という多数のＸ線照射方位からＸ線検出器によって収集された透視画像の集合を画像再構成すると断層像を得ることができる。

【0003】

コーンビームＣＴ撮影装置においては、コーンビームアーチファクトと呼ばれる現象が生じてしまう。すなわち、被検査物の回転軸に垂直な体軸断面の輪郭は、Ｘ線ビームの光軸上又は光軸に近い体軸断面に関しては鮮明であるが、Ｘ線ビームの光軸から離れるほど体軸断面の輪郭は不鮮明となり、体軸断面の層間などが明瞭に区別できなくなる。そのため、コーンビームアーチファクトを発生させないように、回転軸と被検査物を掲載する面の法線が平行にならないように固定する必要がある。また、コーンビームＣＴ撮影装置では、散乱線が発生して画質劣化が生じる問題がある。

【0004】

これらの問題に対応するため、予め角度をつけた治具の上面に被検査物を固定したり、Ｘ線吸収や散乱が少ないプラスチックやカーボンなどで作られた治具の上面に被検査物を保持したりする方法が用いられている。しかし、このような方法では、治具本体からの散乱が発生してしまうため画質劣化が生じるだけではなく、被検査物ごとに治具の大きさや形状、さらには被検査物を支持する上面の角度を変更しなくてはならず手間がかかる。

【0005】

そこで、特許文献１では、ゴニオステージを用いてコーンビームアーチファクトを除去する方法を提案している。すなわち、ゴニオステージは、ステージ面中央の垂線上に回転中心を持ち、円弧動作することから、被検査物の寸法、形状に応じて適切な支持角度を得ることができコーンビームアーチファクトを効果的に除去することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第７１４８２６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、特許文献１では、被検査物の回転軸と掲載面の法線が平行にならないように固定することはできるものの、ゴニオステージがあることで散乱線や金属アーチファクトが 多く発生してしまう。特に、ゴニオステージは、被検査物の支持面の角度を変更するために、アリ溝とウォームギア、あるいはクロスローラとマイクロメータヘッドのような機械部品が必要であり、これらの部品によって発生する散乱線や金属アーチフェクトの影響による画質劣化を避けることが困難であった。

【0008】

本発明の実施形態は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、簡単な構成で被検査物を所望の角度で保持することができ、しかも、コーンビームアーチファクト及び散乱線によるノイズを抑制可能なＣＴ撮影用治具及びそれを用いたＣＴ撮影装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

実施形態のＣＴ撮影用治具は、次のような構成を備える。
（１）ベース。
（２）前記ベースに設置された複数の支持棒。
（３）前記複数の支持棒のそれぞれに、前記ベース表面から離れた位置に設けられた支持部。
（４）前記支持部により、前記被検査物の下方に空間が設けられた状態で、前記被検査物が前記ベース表面にから浮き上がった位置で支持されるＣＴ撮影用治具。

【0010】

実施形態のＣＴ撮影用治具は、更に次のような構成を備えてもよい。
（１）前記複数の支持部は、前記被検査物の角度に応じて異なった位置に設けられ、前記支持部により、前記被検査物が前記ベース表面に対して所定の角度で支持される。
（２）前記支持部が、前記支持棒の一部及び紐状部材によって構成され、前記複数の支持棒は、前記ベースから離れた高さにそれぞれ切り欠き部が設けられ、前記紐状部材が前記複数の支持棒の切り欠き部に保持され、前記支持棒の一部及び前記紐状部材により、前記被検査物が支持されている。
（３）前記切り欠き部が、前記複数の支持棒のそれぞれに複数設けられ、前記紐状部材が、前記複数の支持棒の高さの異なる前記切り欠き部に保持されている。
（４）前記支持棒は、３本以上であり、前記３本以上の支持棒の少なくとも１本は、弾性部材から構成され、前記被検査物は、前記３本以上の支持棒の間に挿入された状態において、前記支持棒の弾性力により保持されている。
（５）前記複数の支持棒の少なくとも１本と前記紐状部材は、弾性部材から構成され、前記被検査物は、前記複数の支持棒の間に挿入された状態において、前記紐状部材の弾性力により前記被検査物側に付勢された前記支持棒により保持されている。
（６）前記支持部として、前記支持棒の一部に設けられた突起部及び／又は前記支持棒の端部を備える。

【0011】

実施形態のＣＴ撮影用治具を用いたＣＴ撮影装置は、更に次のような構成を備えてもよい。
（１）被検査物を載置する検査台。
（２）前記被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器。
（３）前記Ｘ線発生器に対向して配置されるＸ線検出器。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本実施形態のＣＴ撮影用治具を用いたＣＴ撮影装置の全体構成を示す断面図である。

【図2】本実施形態のＣＴ撮影用治具を示す斜視図であり、（ａ）被検査物を搭載していない状態、（ｂ）支持棒と紐状部材の弾性力を示す状態、（ｃ）被検査物を搭載している状態である。

【図3】他の実施形態のＣＴ撮影用治具を示す斜視図であり、（ａ）被検査物を搭載していない状態、（ｂ）支持棒と紐状部材の弾性力を示す状態、（ｃ）被検査物を搭載している状態である。

【図4】他の実施形態のＣＴ撮影用治具の全体構成を示す斜視図である。

【図5】他の実施形態のＣＴ撮影用治具の全体構成を示す斜視図である。

【図6】他の実施形態において、複数の被検査物を支持した状態を示す斜視図である。

【図7】他の実施形態において、ベースの形状及び支持棒の固定状態を説明する図であり、（ａ）はベースに複数の穴を設けたもの、（ｂ）はベースにＴ溝を設けたもの、（ｃ）及び（ｄ）はＴ溝及び支持棒の下部に設けた凸部形状の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［１．構成］
［１－１．ＣＴ撮影装置の全体構成］
以下、第１の実施形態に係るＣＴ撮影装置１００について、図１を参照しつつ説明する。第１実施形態のＣＴ撮影装置１００は、リチウムイオン電池や半導体デバイスなどといった小型電子部品から鋳物部品などを高分解能で検査する産業用のコーンビームＣＴ（ＣＢＣＴ）機能を有するＣＴ撮影装置１００である。

【0014】

ＣＴ撮影装置１００は、被検査物Ａの非破壊検査に供する装置である。ＣＴ撮影装置１００は、被検査物Ａの周囲に当該被検査物Ａを透過するＸ線ビーム２を照射し、被検査物Ａを透過したことで減弱したＸ線量を検出する。この検出結果に基づいて被検査物Ａの断面画像であるＣＴ画像を生成する。ＣＴ撮影装置１００は、生成された複数のＣＴ画像から３Ｄ画像を生成する。

【0015】

このようなＣＴ撮影装置１００は、被検査物Ａを載置する検査台１、被検査物ＡにＸ線を照射するＸ線発生器３、Ｘ線発生器３に対向して配置される受光面を有するＸ線検出器４、制御部５を備える。

【0016】

検査台１は、被検査物Ａを載置する載置面を有する台である。検査台１は、被検査物Ａを載置する試料テーブルを備える。検査台１は、載置面に直交する方向を軸に載置面を回転昇降させる検査台回転昇降機構１１と、載置面に平行な方向又は垂直な方向に当該載置面を移動させる検査台移動機構１２と、を備える。

【0017】

検査台回転昇降機構１１は、検査台１の内部又は下に設けられ、例えば、サーボモータによって駆動されるボールねじ機構を用いることができる。検査台回転昇降機構１１は、載置面に直交する方向に検査台１を昇降させることで、載置面の高さを調整することができる。載置面の高さを調整することにより、Ｘ線の光軸Ｉｄを被検査物Ａの中心又はユーザの任意の位置に合わせることが可能となる。検査台回転昇降機構１１は、載置面と直交する方向を回転軸として回転可能である。Ｘ線ビーム２が照射されている間、この検査台１が回転することで、被検査物Ａの全方位にＸ線ビーム２が照射される。

【0018】

検査台移動機構１２は、例えば、サーボモータによって駆動されるボールねじ機構を用いることができる。図１及び図２に示すように、検査台移動機構１２は、サーボモータの駆動により、検査台１の載置面に垂直な方向（ｘ方向）又は平行な方向（ｙ方向）に被検査物Ａを移動させる。検査台移動機構１２の移動によって、Ｘ線ビーム２の光軸Ｉｄに被検査物Ａを合わせることができる。
本実施形態では、Ｘ線発生器３は、例えば、反射型又は透過型のマイクロフォーカスＸ線管であり、Ｘ線ビーム２を発生させる。なお、Ｘ線に限らず、例えばγ線など被検査物Ａを透過するものを用いることができる。Ｘ線発生器３の下には、Ｘ線発生器３を支持するＸ線発生器支持フレーム３１が設けられている。

【0019】

Ｘ線発生器３は、被検査物Ａを透過するＸ線ビーム２を照射する。Ｘ線ビーム２は、Ｘ線発生器３の焦点を頂点とし、コーン角を有して円錐状に拡がるＸ線の束である。本実施形態では、Ｘ線発生器３は、例えば、反射型又は透過型のマイクロフォーカスＸ線管であり、Ｘ線ビーム２を発生させる。なお、Ｘ線に限らず、例えばγ線など被検査物Ａを透過するものを用いることができる。Ｘ線発生器３の下には、Ｘ線発生器３を支持するＸ線発生器支持フレーム３１が設けられている。

【0020】

Ｘ線検出器４は、Ｘ線発生器３に対向して配置される。Ｘ線検出器４は、Ｘ線発生器３から照射されたＸ線ビーム２が被検査物Ａに照射されることにより、Ｘ線の透過経路に応じて減弱したＸ線強度の二次元分布が検出する。Ｘ線検出器４は、表示部６に透視画像を出力する。Ｘ線検出器４は、受光面として二次元画素配列の撮像領域を有し、例えばフラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）により構成されるものを使用するとよい。フラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）は、Ｘ線変換膜（シンチレータ）を平面状に配置し、フォトダイオードで発光を検出する。Ｘ線検出器４は、撮像領域の中心が、Ｘ線発生器３の光軸Iｄと一致するように設置されるとよい。Ｘ線検出器４の下には、Ｘ線検出器４を支持するＸ線検出器支持フレーム４１が設けられている。

【0021】

制御部５は、図１に示すように、検査台回転昇降機構１１及び検査台移動機構１２を制御する検査台機構制御部５１と、Ｘ線ビーム２を制御するＸ線制御部５２と、Ｘ線検出器４から取得した透視画像に対して再構成を行うデータ処理部５３と、を備える。制御部５は、コンピュータ及びドライバ回路により構成される。コンピュータは、ＨＤＤまたはＳＳＤといったストレージ、ＲＡＭ、ＣＰＵなどにより構成される。なお、制御部５には図示しない入力部が接続され、ユーザはこの入力部を介して制御部５にＣＴ撮影装置１００の各構成を制御させる。

【0022】

検査台機構制御部５１は、検査台回転昇降機構１１及び検査台移動機構１２を制御することにより、検査台１に載置された被検査物ＷをＸ線ビーム２の光軸Ｉｄに合わせ、また被検査物Ｗの向きを変える。Ｘ線制御部５２は、高電圧発生器７を介して、Ｘ発生器１から照射されるＸ線ビーム２を制御し、被検査物ＷにＸ線ビーム２を照射させる。すなわち、検査台機構制御部５１及びＸ線制御部５２の制御により、被検査物Ｗに対してＸ線ビーム２を照射させ、被検査物Ｗの透視画像をＸ線検出器３から取得することができる。

【0023】

データ処理部５３は、Ｘ線検出器４からオフセットデータやゲインデータなどの各種データを取得するスキャン制御部５３１と、この各種データに基づき透視画像を再構成する再構成部５３２と、を備える。データ処理部５３は、再構成部５３２が再構成した透視画像を表示部６に表示する。

【0024】

［１－２．ＣＴ撮影用治具の構成］
検査台１の試料テーブル上には、一例として図２（ａ）～（ｃ）に示すようなＣＴ撮影用治具２００が配置される。図２（ａ）に示すように、ＣＴ撮影用治具２００は、検査台１の載置面上に載置されるベース２１と、ベース２１に設置された複数の支持棒２２と、複数の支持棒２２にそれぞれ設けられた支持部の一つである紐状部材２３とを備える。

【0025】

ベース２１は、支持棒２２を設置する板状のものであり、形状は円形、三角形、四角形など様々なものが採用できる。ベース２１には、支持棒２２を接着剤などで固定してもよいが、図７に示すように、支持棒２２を立てる位置を変更できるようにすることで汎用的に使うことができる。例えば、図７（ａ）に示すように、ベース２１に複数の穴２１１を設け、これら複数の穴２１１に支持棒２２の下部を挿入するものが使用できる。また、図７（ｂ）～（ｄ）に示すように、ベース２１にアリ溝２１２を縦横に形成し、支持棒２２の下部に凸部２２３ａや三角形の係合部２２３ｂを形成しておき、アリ溝２１２に凸部２２３ａや係合部２２３ｂを係合させた状態で、支持棒２２をアリ溝２１２に沿ってスライドさせることで、支持棒２２の位置を調整することができる。

【0026】

支持棒２２は、細長い棒状の部材であり、本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、ベース２１上において三角形の頂点となるように所定の間隔で３本の支持棒２２が配置される。支持棒２２は、被検査物Ａの下に空間を設けて安定的に被検査物Ａを固定するため、本実施形態のように３本用いることが好ましいが、被検査物Ａの形状や支持角度、あるいは支持部の形状に応じて、２本又は４本以上でも良い。

【0027】

支持棒２２の材質は、散乱線の発生を低減するため、カーボン、プラスチック全般、木材など原子番号密度が小さく、固い材料であるとよい。なお、固い材料からなる支持棒２２としては、固くて変形することがない部材でもよいが、本実施形態では、棒の全体が弾力的に湾曲する弾力性を有する部材を使用する。また、支持棒２２は、図示のような直線状でベースから垂直に立ち上がった部材に限定されず、ベース２２に対して斜めに固定されたもの、あるいは、支持棒２２全体やその一部が円弧状に湾曲したもの、支持棒２２の一部に階段状の屈曲部やループ部、さらには突起や枝部を有するものなどが使用できる。

【0028】

支持部とは、複数の支持棒２２のそれぞれに、ベース２１の表面から離れた位置に設けられ、被検査物Ａを支持する部分を意味する。支持部により、被検査物Ａの下方に空間が設けられた状態で、被検査物Ａがベース２１の表面から浮き上がった位置で支持される。本実施形態において、支持棒２２に設けられる支持部としては、支持棒２２とは別体に設けられたループ状の紐状部材２３と、支持棒２２の一部（支持棒２２の棒状部分の表面や上端面）が使用される。ループ状の紐状部材２３は、本実施形態では、輪ゴムのように弾力性のある材料から構成され、３本の支持棒２２の外側に引き伸ばされた状態ではめ込まれる。

【0029】

複数の支持棒２２には、ベース２１から離れた高さに、紐状部材２３を支持棒２２に取り付けるための切り欠き部２２１が設けられる。ルーブ状の紐状部材２３は、３本の支持棒２２の外側から各支持棒２２の切り欠き部２２１に紐状部材２３が係合するようにはめ込まれ、保持される。切り欠き部２２１は、各支持棒２２について１か所だけ設けてもよいが、被検査物Ａの大きさに合わせてベース２１から紐状部材２３までの高さを適宜変更可能なように、複数個所設けておくとよい。本実施形態では、図２（ａ）に示すように、ループ状の紐状部材２３は、被検査物Ａの角度に応じて異なった位置に設けられる。支持部の一部であるループ状の紐状部材２３が異なった位置に設けられることにより、図２（ｃ）に示すように、被検査物Ａがベース２１の表面に対して所定の角度で支持される。

【0030】

紐状部材２３は、ゴム、テグス、釣り糸、結束バンドのようなもので、支持棒２２を締め込むことができるものを用いるとよい。なお、紐状部材２３としては、固くて変形することがない部材でもよいが、本実施形態では、弾力性を有する部材を使用する。散乱線を防ぐため、紐状部材２３の材質は、金属でないものが望ましい。図２（ｂ）に示すように、本実施形態では、輪ゴムのような弾力性のある紐状部材２３を使用することにより、ベース２１に固定された３本の支持棒２２が中心部に向かって絞められる。これにより、支持棒２２の内側に挿入された被検査物Ａを保持する面を簡単に作ることができる。弾力性のある紐状部材２３の代わりに、結束バンドのような締め付け可能な部材であっても、３本の支持棒２３をその中心側に締め付けることができるので、本実施形態の紐状部材２３として適している。

【0031】

［２．作用］
前記のような構成を有する第１実施形態のＣＴ撮影用治具２００及びＣＴ撮影用治具２００を用いたＣＴ撮影装置について、図１及び図２を参照しつつ説明する。

【0032】

検査台１の試料テーブルの上に、ＣＴ撮影用治具２００が配置される。ＣＴ撮影用治具２００のベース２１には、３本の支持棒２２が配置され、支持棒２２は弾力性のある紐状部材２３により内側に絞めつけられている。その状態で、被検査物Ａは、支持棒２２の内側に挿入される。

【0033】

支持棒２２自体及び紐状部材２３は弾力性のある部材からなるため、図２（ｂ）に示すように、３本の支持棒２２には中心に向かって締まる力が加わり、被検査物Ａの底面の一部は紐状部材２３に保持された状態で、かつ、被検査物Ａの側面は３本の支持棒２２で把持した状態で安定的に固定する。その際、図２（ｃ）に示すように、被検査物Ａの下方には、ベース２１から一定の空間が設けられた状態となり、被検査物Ａはベース２１の表面にから浮き上がった位置で固定される。

【0034】

このようにＣＴ撮影用治具２００により、被検査物Ａを保持した状態において、Ｘ線発生器３は、被検査物Ａを透過するＸ線ビーム２を照射する。Ｘ線発生器３から照射されたＸ線ビーム２は、ＣＴ撮影用治具２００に保持された被検査物Ａ及び検査台１を挟んでＸ線発生器３に対向して設けられたＸ線検出器４により、Ｘ線の透過経路に応じて減弱したＸ線強度の二次元分布が検出される。

【0035】

Ｘ線検出器４から検出されたオフセットデータやゲインデータなどの各種データは、スキャン制御部５３１に取得される。この各種データは再構成部５３２により再構成され、再構成した被検査物Ａの透視画像が表示部６に表示される。

【0036】

［３．効果］
本実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）本実施形態のＣＴ撮影用治具２００は、コーンビームアーチファクト及び散乱線によるノイズを低減し、被検査物の形状に応じて簡単に固定することができる。特に、被検査物Ａの下に空間を設けることができため、被検査物Ａを搭載している検査台１や試料テーブルからの散乱線によるノイズを低減することにより、良質な透過画像を得ることが可能となる。

【0037】

（２）本実施形態の線検査用治具２００は、複数の支持棒２２にそれぞれ設けられた複数の支持部により、被検査物Ａがベース２１の表面に対して所定の角度で支持される。そのため、コーンビームアーチファクトを効果的に除去することができ、より良質な透過画像を得ることが可能となる。

【0038】

（３）本実施形態の線検査用治具２００は、固定された３本の支持棒２２を弾力性のある紐状部材２３で絞めつけることで、被検査物Ａを保持する面を簡単に作ることができ、かつ、支持棒２２には内側に締まる力が加わるため被検査物Ａを安定的に固定することができる。

【0039】

（４）本実施形態の線検査用治具２００は、複数の支持棒２２のそれぞれに切り欠き部２２１が複数設けられ、紐状部材２３が、複数の支持棒２２の高さの異なる切り欠き部２２１に保持されている。そのため、所望の撮影範囲や被検査物Ａの形状に合わせて、簡単に被検査物Ａを固定することができる。また、検査台１やＸ線発生器３やＸ線検出器４など他の部分については従来技術と同様な構成を用いることができるため、低コストでコーンビームアーチファクト及び散乱線によるノイズを低減した透視画像を得ることができる。

【0040】

［４．他の実施形態］
本明細書においては、本実施形態に係る複数の実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであって、発明の範囲を限定することを意図していない。以上のような実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【0041】

（１）上記実施形態では、被検査物Ａはベース２１の表面に対して所定の角度で支持されているが、図３（ａ）～（ｃ）に示すように、紐状部材２３を同じ高さにして、被検査物Ａがベース２１表面にから浮き上がった位置で保持してもよい。被検査物Ａの材質や撮影条件などによりコーンビームアーチファクトの影響をあまり考えなくて良い場合には、紐状部材２３を同じ高さにし、被検査物Ａの下方に空間を設けるだけでも、被検査物Ａを保持している部品から発生する散乱線による画質劣化を防ぐことができ、良質な透過画像を得ることが可能となる。

【0042】

（２）上記実施形態では、支持棒２２及び紐状部材２３を用いて、被検査物Ａを固定したが、図４に示すように、紐状部材２３を用いずに、３本以上の支持棒２２を用いて被検査物Ａを保持してもよい。この場合、３本以上の支持棒２２の少なくとも１本は弾性部材から構成され、被検査物Ａは、ベース２２に設置された３本以上の支持棒２２の間に挿入された状態において、支持棒２２の弾性力により、被検査物Ａの下に空間が設けられた状態で固定されている。紐状部材２３を用いないため、より少ない材料で、簡単な構成により、被検査物Ａを固定することが可能となる。

【0043】

（３）上記実施形態では、支持棒２２及び紐状部材２３を用いて、被検査物Ａを固定したが、図５に示すように、紐状部材２３を用いずに、支持棒２２の一部に被検査物Ａを保持する突起部２２２を設けて、突起部２２２により被検査物Ａを保持してもよい。紐状部材２３を用いないため、より少ない材料で、被検査物Ａを固定することが可能となる。突起部２２２は、３本の支持棒２２の中心部に向かって突出する形状で、被検査物Ａの大きさや重量に合わせて、その厚みや大きさを調整する。支持棒２２に設ける突起部２２２の場所は、図５に示したものに限られず、被検査物Ａの下方に空間を設けて保持できるのであれば、下方でもあってもよい。また、被検査物Ａの下方に空間を設けて保持できるのであれば、突起部２２２に限られず、支持棒２２の端部であってもよい。長さを変えた支持棒２２を用いることにより、突起部２２２や支持棒２２の端部を組み合わせて、被検査物Ａの下方に空間を設けて被検査物Ａを保持することも可能である。なお、突起部２２２が大きいものであると、突起部２２２から発生する散乱線による影響を受けてしまうため、突起部２２２はあまり大きなものでない方が好ましい。

【0044】

（４）上記実施形態では、支持棒２２に対して１つの紐状部材２２を固定したが、図６に示すように、支持棒２２に対して２つ以上の紐状部材２２を固定して、複数の被検査物Ａを配置も可能である。この構成によれば、一度に複数の被検査物Ａの透視画像を得ることができ、撮影時間の短縮を図ることができる利点がある。

【0045】

（５）上記実施形態では、紐状部材２３を使用したが、紐状ではなく、網（ネット）状であってもよい。また、紐状部材２３の上面又は下面の一部に散乱線の発生の少ない材料の補助板を配置して被検査物Ａを固定してもよい。

【0046】

（６）上記実施形態では、支持棒２２の長さや太さは同じものを使用したが、各支持棒２２は長さや太さを変えた棒を用いてもよい。

【符号の説明】

【0047】

１００ ＣＴ撮影装置
１ 検査台
１１ 検査台回転昇降機構
１２ 検査台移動機構
２ Ｘ線ビーム
３ Ｘ線発生器
３１ Ｘ線発生器支持フレーム
４ Ｘ線検出器
４１ Ｘ線検出器支持フレーム
５ 制御部
５１ 検査台機構制御部
５２ Ｘ線制御部
５３ データ処理部
５３１ スキャン制御部
５３２ 再構成部
６ 表示部
７ 高電圧発生器
２００ ＣＴ撮影用治具
２１ ベース
２１１ 穴
２１２ アリ溝
２２ 支持棒
２２１ 切り欠き部
２２２ 突起部
２２３ａ 凸部
２２３ｂ 係合部
２３ 紐状部材
Ａ 被検査物
Ｉｄ 光軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】