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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024127001
(43)【公開日】2024-09-20
(54)【発明の名称】検査装置及び検査方法
(51)【国際特許分類】
G01N 29/32 20060101AFI20240912BHJP
G01N 29/04 20060101ALI20240912BHJP
【ＦＩ】
G01N29/32
G01N29/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023035817
(22)【出願日】2023-03-08
(71)【出願人】
【識別番号】000003078
【氏名又は名称】株式会社東芝
(71)【出願人】
【識別番号】598076591
【氏名又は名称】東芝インフラシステムズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004026
【氏名又は名称】弁理士法人ｉＸ
(72)【発明者】
【氏名】中井 豊
(72)【発明者】
【氏名】小野 富男
(72)【発明者】
【氏名】山本 紀子
【テーマコード（参考）】
2G047
【Ｆターム（参考）】
2G047AA05
2G047AB04
2G047AD16
2G047BA01
2G047CA01
2G047EA10
2G047GA14
2G047GB17
2G047GF08
(57)【要約】
【課題】検出精度を向上できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、素子部及び搬送部を含む。素子部は、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な第１送信素子と、第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、第１超音波が入射する第１受信素子と、第２超音波が入射する第２受信素子と、を含む。第１受信素子と第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、複数の第１信号の１つと、複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、空間における第１超音波及び第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４を満たす。
【選択図】図１
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、素子部及び搬送部を含む。素子部は、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な第１送信素子と、第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、第１超音波が入射する第１受信素子と、第２超音波が入射する第２受信素子と、を含む。第１受信素子と第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、複数の第１信号の１つと、複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、空間における第１超音波及び第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４を満たす。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な第１送信素子と、
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、
前記第１超音波が入射する第１受信素子と、
前記第２超音波が入射する第２受信素子と、
を含む素子部と、
前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記第１送信素子から前記第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、
前記第１超音波が入射する第１受信素子と、
前記第２超音波が入射する第２受信素子と、
を含む素子部と、
前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記第１送信素子から前記第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
【請求項2】
前記ｎは、０または１である、請求項１記載の検査装置。
【請求項3】
前記第１送信素子から前記第２送信素子への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差した、請求項１に記載の検査装置。
【請求項4】
前記第１送信素子の前記第１方向における位置は、前記第２送信素子の前記第１方向における位置と異なる、請求項１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項5】
前記素子部は、複数の前記第２送信素子、及び、複数の前記第２受信素子を含み、
前記複数の第２受信素子の１つは、前記複数の第２受信素子のうちで前記第１受信素子に最も近く、
前記第１距離Ｌ１は、前記第１受信素子と、前記複数の第２受信素子の前記１つと、の間の距離であり、
前記複数の第２受信素子の前記１つに、前記複数の第２送信素子の１つから送信された前記第２超音波が入射する、請求項１または２に記載の検査装置。
前記複数の第２受信素子の１つは、前記複数の第２受信素子のうちで前記第１受信素子に最も近く、
前記第１距離Ｌ１は、前記第１受信素子と、前記複数の第２受信素子の前記１つと、の間の距離であり、
前記複数の第２受信素子の前記１つに、前記複数の第２送信素子の１つから送信された前記第２超音波が入射する、請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項6】
前記素子部は、第１列を含み、
前記第１列は、前記第１送信素子及び前記複数の第２送信素子を含み、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並ぶ、請求項５に記載の検査装置。
前記第１列は、前記第１送信素子及び前記複数の第２送信素子を含み、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並ぶ、請求項５に記載の検査装置。
【請求項7】
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記第１受信素子、及び、前記複数の第２受信素子の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第２受信素子の別の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並ぶ、請求項５に記載の検査装置。
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記第１受信素子、及び、前記複数の第２受信素子の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第２受信素子の別の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並ぶ、請求項５に記載の検査装置。
【請求項8】
前記素子部は、
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第３バースト波を含む第３超音波を送信可能な第３送信素子と、
前記第３超音波が入射する第３受信素子と、
をさらに含み、
前記第３受信素子は、前記第３超音波に応じた第３受信信号を出力可能であり、
前記第３受信信号は、前記複数の第３バースト波にそれぞれ対応する複数の第３信号を含み、前記複数の第３信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信素子と前記第３受信素子との間の第２距離Ｌ２（ｍ）、前記複数の第２信号の１つと、前記複数の第３信号の１つと、の第２時間差Δｔ２（ｓ）、前記伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｍ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ２＋Ｌ２／ｖｘ ＜ （ｍ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｍは、０以上の整数である、請求項１に記載の検査装置。
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第３バースト波を含む第３超音波を送信可能な第３送信素子と、
前記第３超音波が入射する第３受信素子と、
をさらに含み、
前記第３受信素子は、前記第３超音波に応じた第３受信信号を出力可能であり、
前記第３受信信号は、前記複数の第３バースト波にそれぞれ対応する複数の第３信号を含み、前記複数の第３信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信素子と前記第３受信素子との間の第２距離Ｌ２（ｍ）、前記複数の第２信号の１つと、前記複数の第３信号の１つと、の第２時間差Δｔ２（ｓ）、前記伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｍ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ２＋Ｌ２／ｖｘ ＜ （ｍ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｍは、０以上の整数である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項9】
第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子と、
前記第１超音波が入射する複数の第１受信素子と、
を含む素子部と、
前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１送信素子の１つと、前記複数の第１送信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
前記第１超音波が入射する複数の第１受信素子と、
を含む素子部と、
前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１送信素子の１つと、前記複数の第１送信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
【請求項10】
前記複数の第２送信素子の１つから前記複数の第２送信素子の別の１つへの第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに供給される第２駆動信号の位相は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに供給される別の第２駆動信号の位相に対してシフトしている、請求項１に記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに供給される第２駆動信号の位相は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに供給される別の第２駆動信号の位相に対してシフトしている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項11】
前記複数の第２送信素子の１つから前記複数の第２送信素子の別の１つへの第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに含まれる第１圧電層の極性は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに含まれる別の第２圧電層の極性に対して反転している、請求項１に記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに含まれる第１圧電層の極性は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに含まれる別の第２圧電層の極性に対して反転している、請求項１に記載の検査装置。
【請求項12】
第１送信素子、第２送信素子、第１受信素子及び第２受信素子を含む素子部の、前記第１送信素子から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信させ、前記第２送信素子から前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信させ、前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を移動させ、
前記第１超音波が入射した前記第１受信素子、及び、前記第２超音波が入射した前記第２受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
前記第１超音波が入射した前記第１受信素子、及び、前記第２超音波が入射した前記第２受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
【請求項13】
複数の第１送信素子と、複数の第１受信素子と、を含む素子部の前記複数の第１送信素子から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信させ、前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を移動させ、
前記第１超音波が入射した前記複数の第１受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１受信素子の１つと、前記複数の第１受信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
前記第１超音波が入射した前記複数の第１受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１受信素子の１つと、前記複数の第１受信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば超音波などを用いた検査装置がある。検出精度の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２２－４２６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、検出精度を向上できる検査装置及び検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態によれば、検査装置は、素子部及び搬送部を含む。前記素子部は、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な第１送信素子と、前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、前記第１超音波が入射する第１受信素子と、前記第２超音波が入射する第２受信素子と、を含む。前記搬送部は、前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能である。前記第１送信素子から前記第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差する。前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能である。前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能である。前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含む。前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含む。前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有する。前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４を満たす。前記ｎは、０以上の整数である。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
（第１実施形態）
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３（ａ）、図３（ｂ）、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、素子部１０Ｅ及び搬送部６０を含む。検査装置１１０は、制御部７０を含んで良い。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３（ａ）、図３（ｂ）、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、素子部１０Ｅ及び搬送部６０を含む。検査装置１１０は、制御部７０を含んで良い。
【0009】
【0010】
第１送信素子１１は、第１超音波１１ｗを送信可能である。第２送信素子１２は、第２超音波１２ｗを送信可能である。
【0011】
これらの超音波は、送信素子に供給される駆動信号に基づいている。図２に示すように、例えば、第１送信素子１１及び第２送信素子１２に送信回路１０Ｄが接続される。制御部７０からの制御信号Ｓｃにより、送信回路１０Ｄが制御される。送信回路１０Ｄからの第１駆動信号Ｓｖ１が第１送信素子１１に供給される。送信回路１０Ｄからの第２駆動信号Ｓｖ２が第２送信素子１２に供給される。第１駆動信号Ｓｖ１に基づいて、第１送信素子１１から第１超音波１１ｗが出射される。第２駆動信号Ｓｖ２に基づいて、第２送信素子１２から第２超音波１２ｗが出射される。
【0012】
図３（ａ）は、第１駆動信号Ｓｖ１を例示している。図３（ｂ）は、第２駆動信号Ｓｖ２を例示している。図３（ａ）及び図３（ｂ）の横軸は、時間ｔｍである。縦軸は、駆動信号の電圧Ｓｖｖである。図３（ａ）に示すように、第１駆動信号Ｓｖ１は、複数の第１バースト信号１１ｖＢを含む。複数の第１バースト信号１１ｖＢは、第１周期Ｔｐを有する。複数の第１バースト信号１１ｖＢの１つは、時間幅Ｔｖを有する。図３（ｂ）に示すように、第２駆動信号Ｓｖ２は、複数の第２バースト信号１２ｖＢを含む。複数の第２バースト信号１２ｖＢは、第１周期Ｔｐを有する。複数の第２バースト信号１２ｖＢの１つは、時間幅Ｔｖを有する。複数の第２バースト信号１２ｖＢは、複数の第１バースト波１１ｗＢを基準にして、第１時間差Δｔ１の時間でシフトしている。
【0013】
例えば、駆動信号により送信素子に含まれる圧電層などが変形することで、超音波（第１超音波１１ｗ及び第２超音波１２ｗなど）が出射される。
【0014】
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、これらの超音波を例示している。図４（ａ）及び図４（ｂ）の横軸は、時間ｔｍである。縦軸は、超音波の強度Ｓｗである。図４（ａ）は、第１超音波１１ｗを例示している。図４（ｂ）は、第２超音波１２ｗを例示している。図４（ａ）に示すように、第１送信素子１１から発信される第１超音波１１ｗは、複数の第１バースト波１１ｗＢを含む。複数の第１バースト波１１ｗＢは、第１周期Ｔｐを有する。複数の第１バースト波１１ｗＢの１つは、時間幅Ｔｔを有する。複数の第１バースト波１１ｗＢの１つは、複数の第１波１１ｘを含む。
【0015】
図４（ｂ）に例示するように、第２送信素子１２から送信される第２超音波１２ｗは、複数の第２バースト波１２ｗＢを含む。複数の第２バースト波１２ｗＢは、第１周期Ｔｐを有する。複数の第２バースト波１２ｗＢの１つは、時間幅Ｔｔを有する。複数の第２バースト波１２ｗＢの１つは、複数の第２波１２ｘを含む。
【0016】
複数の第１バースト波１１ｗＢの１つと、複数の第２バースト波１２ｗＢの１つと、は、第１時間差Δｔ１を有する。超音波の時間幅Ｔｔは、駆動信号の時間幅Ｔｖよりも長くて良い。例えば、送信素子における過渡動作特性により、時間幅Ｔｔは、駆動信号の時間幅Ｔｖよりも長くなり易い。
【0017】
図２に示すように、第１受信素子２１は、第１送信素子１１と対向する。第２受信素子２２は、第２送信素子１２と対向する。第１受信素子２１に、第１超音波１１ｗが入射する。第２受信素子２２に、第２超音波１２ｗが入射する。
【0018】
図１（ａ）、図１（ｂ）及び図２に示すように、第１送信素子１１と第１受信素子２１との間、及び、第２送信素子１２と第２受信素子２２との間に、空間８８Ｓが設けられる。搬送部６０は、空間８８Ｓ中を第１方向Ｄ１（搬送方向６０Ｄ）に沿って検査対象８０を搬送可能である。
【0019】
第１方向Ｄ１をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。
【0020】
図２に示すように、第１送信素子１１から第１受信素子２１への第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１と交差する。この例では、第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１に対して傾斜している。第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１に対して垂直でも良い。
【0021】
図２に示すように、第１送信素子１１及び第２送信素子１２は、送信部１０に含まれる。第１受信素子２１及び第２受信素子２２は、受信部２０に含まれる。
【0022】
第１送信素子１１及び第２送信素子１２から出射された超音波は、検査対象８０を通過して、受信部２０に届く。受信部２０に含まれる第１受信素子２１及び第２受信素子２２に含まれる圧電層などにより、超音波が電気信号に変換される。例えば、第１受信素子２１は、入射した第１超音波１１ｗに応じた第１受信信号２１ｓ（図２参照）を出力可能である。第２受信素子２２は、入射した第２超音波１２ｗに応じた第２受信信号２２ｓ（図２参照）を出力可能である。
【0023】
図５（ａ）は、第１受信素子２１から出力される第１受信信号２１ｓを模式的に例示している。図５（ｂ）は、第２受信素子２２から出力される第２受信信号２２ｓを模式的に例示している。これらの図の横軸は、時間ｔｍである。図５（ａ）の縦軸は、第１受信信号２１ｓの大きさＳ２１（例えば電圧）である。図５（ｂ）の縦軸は、第２受信信号２２ｓの大きさＳ２２（例えば電圧）である。
【0024】
図５（ａ）に示すように、第１受信信号２１ｓは、複数の第１信号２１ｇを含む。複数の第１信号２１ｇは、複数の第１バースト波１１ｗＢにそれぞれ対応する。例えば、複数の第１信号２１ｇの１つは、複数の第１バースト波１１ｗＢの１つに対応する。
【0025】
図５（ｂ）に示すように、第２受信信号２２ｓは、複数の第２信号２２ｇを含む。複数の第２信号２２ｇは、複数の第２バースト波１２ｗＢにそれぞれ対応する。例えば、複数の第２信号２２ｇの１つは、複数の第２バースト波１２ｗＢの１つに対応する。
【0026】
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、複数の第１信号２１ｇの１つと、複数の第２信号２２ｇの１つと、は、第１時間差Δｔ１を有する。受信信号における第１時間差Δｔ１は、送信された超音波における第１時間差Δｔ１を反映している。
【0027】
複数の第１信号２１ｇの周期は、第１周期Ｔｐである。複数の第２信号２２ｇの周期は、第１周期Ｔｐである。受信信号における周期（第１周期Ｔｐ）は、送信された超音波における第１周期Ｔｐを反映している。
【0028】
図５（ａ）に示すように、複数の第１信号２１ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。図５（ｂ）に示すように、複数の第２信号２２ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。受信信号における第１時間幅Ｔｗは、送信された超音波における時間幅Ｔｔと同じでも異なっても良い。例えば、受信素子における過渡動作特性により、第１時間幅Ｔｗは、受信素子に入射する超音波における時間幅Ｔｔよりも長くなる場合がある。
【0029】
第１受信素子２１及び第２受信素子２２から得られる電気信号（第１受信信号２１ｓ及び第２受信信号２２ｓ）が、検出回路２０Ｄに供給される。例えば、検出回路２０Ｄから得られる検出信号Ｓｄが制御部７０に供給される。制御部７０から、検出信号Ｓｄに基づく検出結果Ｓ１が出力される。検出結果Ｓ１は、検査対象８０の状態を含む。
【0030】
検査対象８０は、例えば紙幣などである。検査対象８０は、有価証券などの書類でも良い。検査対象８０の材料は任意である。
【0031】
図２に示すように、搬送部６０は、第１搬送機構６１及び第２搬送機構６２などを含んで良い。これらの搬送機構は、例えば、ローラなどで良い。搬送機構は、例えば、搬送ベルトなどでも良い。
【0032】
図２に示すように、この例では、送信部１０は、送信導波部１５を含む。送信導波部１５は、送信素子から出射された超音波を導波する。この例では、受信部２０は、受信導波部２５を含む。受信導波部２５は、検査対象８０を通過した後の超音波を導波する。受信導波部２５から出た超音波が受信素子に入射する。例えば、多重反射などの影響が抑制される。ノイズが抑制され、高い精度の検査が可能になる。
【0033】
図１（ａ）は、送信部１０を例示している。図１（ｂ）は、受信部２０を例示している。図１（ａ）に示すように、第１送信素子１１及び第２送信素子１２を含む、複数の送信素子が設けられる。図１（ｂ）に示すように、第１受信素子２１及び第２受信素子２２を含む、複数の受信素子が設けられる。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１受信素子２１は、第２方向Ｄ２において、第１送信素子１１と実質的に重なる（図２参照）。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第２受信素子２２は、第２方向Ｄ２において、第２送信素子１２と実質的に重なる（図２参照）。このように、複数の受信素子は、第２方向Ｄ２において、複数の送信素子と重なる。以下の説明において、受信素子のＸ－Ｙ平面における位置は、送信素子のＸ－Ｙ平面における位置に実質的に対応する。
【0034】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１方向Ｄ１（搬送方向）と交差する方向を第３方向Ｄ３とする。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。第３方向Ｄ３は、例えば、Ｙ軸方向である。
【0035】
図１（ａ）に示すように、複数のこのような第２送信素子１２が設けられて良い。図１（ａ）に示すように、この例では、第１送信素子１１に加えて、別の第１送信素子１１Ａが設けられる。以下、まず、第１送信素子１１に着目する。複数の第２送信素子１２の１つである素子１２ａに着目する。第１送信素子１１に対応する第１受信素子２１に着目する。素子１２ａに対応する素子２２ａ（受信素子）に着目する。
【0036】
第１受信素子２１と第２受信素子２２（素子２２ａ）との間の距離を第１距離Ｌ１とする。第１送信素子１１と第２送信素子１２（素子１２ａ）との間の距離は、第１距離Ｌ１で良い。
【0037】
空間８８Ｓにおける第１超音波１１ｗ及び第２超音波１２ｗの伝搬速度を伝搬速度ｖｘとする。実施形態においては、第１距離Ｌ１（ｍ）、第１時間差Δｔ１（ｓ）、伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（１）
の第１式を満たす。「ｎ」は、０以上の整数である。この関係が満たされるときに、例えば、クロストークが抑制できる。
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（１）
の第１式を満たす。「ｎ」は、０以上の整数である。この関係が満たされるときに、例えば、クロストークが抑制できる。
【0038】
図５（ｂ）に示すように、既に説明したように、第２受信素子２２（素子２２ａ）において、複数の第２信号２２ｇが生じる、複数の第２信号２２ｇは、入射する第２超音波１２ｗの複数の第２バースト波１２ｗＢに対応する。図５（ｂ）に示すように、第２受信素子２２（素子２２ａ）において、信号２１ｇｃが生じる。信号２１ｇｃは、例えば、第１超音波１１ｗの一部に対応する。例えば、第１超音波１１ｗの一部の成分が、素子２２ａに入射することで、信号２１ｇｃが生じる。信号２１ｇｃは、例えば、検査対象８０の第３方向Ｄ３における端部８３の影響により生じ易い。例えば、第１超音波１１ｗの一部の成分は、端部８３を通過して、第２受信素子２２に入射する。このような成分が複数の第２信号２２ｇと時間的に重なると、この成分（信号２１ｇｃ）は、ノイズとなる。例えば、クロストークが発生する。
【0039】
実施形態においては、上記の第１式が満たされる。これにより、不要な成分（信号２１ｇｃ）の時間的な位置が、複数の第２信号２２ｇの間になる。これにより、ノイズが抑制される。クロストークが抑制できる。検出精度を向上できる検査装置を提供できる。
【0040】
例えば、上記の第１式を満たすように、第１距離Ｌ１が設定される。例えば、第１式を満たすように、第１時間差Δｔ１が設定される。第１式に示すように、例えば、第１距離Ｌ１に関する適切な値の範囲は、離散的である。第１時間差Δｔ１に関する適切な値の範囲は、離散的である。
【0041】
例えば、全ての送信素子から同じタイミングで超音波が送信される第１参考例が考えられる。第１参考例において、２つの受信素子（または送信素子）の距離（第１距離Ｌ１）が適切に設定されない場合、素子２２ａにおいて、第１超音波１１ｗに基づく成分（信号２１ｇｃ）が第２信号２２ｇと重なる。成分（信号２１ｇｃ）はノイズとなる。クロストークが発生し、高い精度の検査が困難である。例えば、検査対象８０の第３方向Ｄ３における端部８１において、ノイズによる誤検出が生じ易い。
【0042】
実施形態においては。上記の第１式により、成分（信号２１ｇｃ）が複数の第２信号２２ｇの間に位置する。ノイズが抑制され、クロストークが抑制できる。例えば、検査対象８０の第３方向Ｄ３における端部８３に関する異常を高い精度で検査できる。
【0043】
上記のように、第１式の関係は、受信信号における第１時間幅Ｔｗにより定義される。これにより、受信素子の過渡動作特性を含んだ受信信号において、クロストークが効果的に抑制できる。
【0044】
実施形態において、第１送信素子１１及び第２送信素子１２から送信される超音波の強度は、互いに同じでも、互いに異なっても良い。例えば、第１送信素子１１の信号強度を小さくすると、第２受信素子２２で受信される、第１送信素子１１からの成分が、小さくなる。第２信号２２ｇへの影響が小さくなり、ノイズが抑制される。クロストークが抑制できる。例えば、第１送信素子１１からの成分に対応する信号強度が第２信号２２ｇの信号強度の１／２以下になることで、クロストークが効果的に抑制される。
【0045】
実施形態において、「ｎ」は、０または１であることが好ましい。ｎが２以上の場合、例えば、第１距離Ｌ１が過度に長くなる。例えば、解像度が低下する。例えば、装置が大きくなる。「ｎ」は、０または１であることで、高い解像度が得られる。小型化が容易になる。
【0046】
第１距離Ｌ１は、第１受信素子２１から第２受信素子２２（素子２２ａ）への素子間方向における第１受信素子２１の中心と、素子間方向における第２受信素子２２（素子２２ａ）の中心と、の間の素子間方向に沿う長さで良い。図１（ｂ）の例においては、素子間方向は、第３方向Ｄ３（例えばＹ軸方向）である。
【0047】
第１距離Ｌ１は、第１送信素子１１から第２送信素子１２（素子１２ａ）への素子間方向における第１送信素子１１の中心と、素子間方向における第２送信素子（素子１２ａ）の中心と、の間の素子間方向に沿う長さで良い。図１（ａ）の例においては、素子間方向は、第３方向Ｄ３（例えばＹ軸方向）である。
【0048】
実施形態において、第１距離Ｌ１は、例えば、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下である、高い解像度と、実用的な装置サイズが得られる。実施形態において、第１周期Ｔｐは、例えば、２００μｓ以上１０００μｓ以下である。例えば、第１時間幅Ｔｗは、２００μｓ以上１０００μｓ以下である。高速の検査が実施できる。
【0049】
この例では、第１受信素子２１から第２受信素子２２（素子２２ａ）への第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。後述するように、第１受信素子２１から第２受信素子２２への方向は、第１方向Ｄ１に実質的に沿っても良い。この例では、第１送信素子１１から第２送信素子１２（素子１２ａ）への第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。後述するように、第１送信素子１１から第２送信素子１２への方向は、第１方向Ｄ１に実質的に沿っても良い。
【0050】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、この例では、素子部１０Ｅは、複数の第２送信素子１２、及び、複数の第２受信素子２２を含む。複数の第２受信素子２２の位置は、複数の第２送信素子１２にそれぞれ対応する。
【0051】
複数の第２受信素子２２の１つ（素子２２ａ）は、複数の第２受信素子２２のうちで第１受信素子２１に最も近い。この場合、上記の第１距離Ｌ１は、第１受信素子２１と、複数の第２受信素子２２の１つ（素子２２ａ）と、の間の距離である。複数の第２受信素子２２の１つ（素子２２ａ）に、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）から送信された第２超音波１２ｗが入射する。
【0052】
複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）は、複数の第２送信素子１２のうちで第１送信素子１１に最も近い。この場合、上記の第１距離Ｌ１は、第１送信素子１１と、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）と、の間の距離である。
【0053】
複数の第２受信素子２２のうちで第１受信素子２１に最も近い第２受信素子２２（素子２２ａ）について、上記の第１式が満たされる。例えば、複数の第２送信素子１２のうちで第１送信素子１１に最も近い第２送信素子１２（素子１２ａ）について、上記の第１式が満たされる。
【0054】
図１（ｂ）に示すように、素子部１０Ｅは、第１列２０Ａを含む。第１列２０Ａは、第１受信素子２１、及び、複数の第２受信素子２２を含む。複数の第２受信素子２２は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。
【0055】
図１（ｂ）に示すように、素子部１０Ｅは、第１列２０Ａ及び第２列２０Ｂを含んでも良い。第１列２０Ａから第２列２０Ｂへの方向は、第１方向Ｄ１に沿う。第１列２０Ａは、第１受信素子２１、及び、複数の第２受信素子２２の一部を含む。複数の第２受信素子２２のこの一部は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。第２列２０Ｂは、複数の第２受信素子２２の別の一部を含む。複数の第２受信素子２２の別の一部は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。
【0056】
図１（ａ）に示すように、素子部１０Ｅは、第１列１０Ａを含む。第１列１０Ａは、第１送信素子１１、及び、複数の第２送信素子１２を含む。複数の第２送信素子１２は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。
【0057】
図１（ａ）に示すように、素子部１０Ｅは、第１列１０Ａ及び第２列１０Ｂを含んでも良い。第１列１０Ａから第２列１０Ｂへの方向は、第１方向Ｄ１に沿う。第１列１０Ａは、第１送信素子１１、及び、複数の第２送信素子１２の一部を含む。複数の第２送信素子１２のこの一部は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。第２列１０Ｂは、複数の第２送信素子１２の別の一部を含む。複数の第２送信素子１２の別の一部は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。
【0058】
図１（ａ）に示すように、別の第１送信素子１１Ａが設けられても良い。別の第１送信素子１１Ａに対応する第２送信素子１２（素子１２Ａ）が存在する。別の第１送信素子１１Ａと、素子１２Ａ、との間の距離（第１距離Ｌ１）が、上記の第１式を満たしても良い。ノイズが抑制される。クロストークが抑制される。高い精度の検査が可能である。
【0059】
図１（ｂ）に示すように、別の第１送信素子１１Ａに対応する別の第１受信素子２１（素子２１Ａ）が設けられる。別の第１受信素子２１（素子２１Ａ）に対応する第２受信素子２２（素子２２Ａ）が設けられる。別の第１受信素子２１（素子２１Ａ）と、素子２２Ａ、との間の距離（第１距離Ｌ１）が、上記の第１式を満たしても良い。ノイズが抑制される。クロストークが抑制される。高い精度の検査が可能である。
【0060】
図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図７（ａ）、図７（ｂ）、図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、実施形態に係る検査装置１１１において、素子部１０Ｅは、第３送信素子１３及び第３受信素子２３を含む。検査装置１１１におけるこれ以外の構成は、検査装置１１０における構成と同様で良い。
図７（ａ）、図７（ｂ）、図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、実施形態に係る検査装置１１１において、素子部１０Ｅは、第３送信素子１３及び第３受信素子２３を含む。検査装置１１１におけるこれ以外の構成は、検査装置１１０における構成と同様で良い。
【0061】
【0062】
この例では、複数の第３送信素子１３が設けられる。複数の第３送信素子１３のうちの１つ（素子１３ａ）に着目する。素子１３ａは、複数の第３送信素子１３のうちで、第２送信素子１２（素子１２ａ）に最も近い。
【0063】
この例では、複数の第３受信素子２３が設けられる。複数の第３受信素子２３のうちの１つ（素子２３ａ）に着目する。素子２３ａは、複数の第３受信素子２３のうちで、第２受信素子２２（素子２２ａ）に最も近い。
【0064】
図７（ａ）は、第２送信素子１２から送信される第２超音波１２ｗを模式的に例示している。図７（ｂ）は、第３送信素子１２から送信される第３超音波１３ｗを模式的に例示している。これらの図の横軸は、時間ｔｍである。縦軸は、超音波の強度Ｓｗである。
【0065】
図７（ａ）に示すように、この例においても、第２送信素子１２から発信される第２超音波１２ｗは、複数の第２バースト波１２ｗＢを含む。図７（ｂ）に例示するように、第３送信素子１３から送信される第３超音波１３ｗは、複数の第３バースト波１３ｗＢを含む。複数の第３バースト波１３ｗＢは、第１周期Ｔｐを有する。複数の第３バースト波１３ｗＢの１つは、時間幅Ｔｔを有する。複数の第３バースト波１３ｗＢの１つは、複数の第３波１３ｘを含む。
【0066】
複数の第２バースト波１２ｗＢの１つと、複数の第３バースト波１３ｗＢの１つと、は、第２時間差Δｔ２を有する。第２受信素子２２（素子２２ａ）に、第２超音波１２ｗが入射する。第３受信素子２３（素子２３ａ）に、第３超音波１３ｗが入射する。
【0067】
図６（ｂ）に示すように、第２受信素子２２（素子２２ａ）と第３受信素子２３（素子２３ａ）との間の距離を第２距離Ｌ２とする。図６（ａ）に示すように、第２送信素子１２（素子１２ａ）と第３送信素子１３（素子１３ａ）との間の距離は、第２距離Ｌ２で良い。
【0068】
図８（ａ）は、第２受信素子２２から出力される第２受信信号２２ｓを模式的に例示している。図８（ｂ）は、第３受信素子２３から出力される第３受信信号２３ｓを模式的に例示している。これらの図の横軸は、時間ｔｍである。図８（ａ）の縦軸は、第２受信信号２２ｓの大きさＳ２２（例えば電圧）である。図８（ｂ）の縦軸は、第３受信信号２３ｓの大きさＳ２３（例えば電圧）である。
【0069】
図８（ａ）に示すように、第２受信信号２２ｓは、複数の第２信号２２ｇを含む。複数の第２信号２２ｇは、複数の第２バースト波１２ｗＢにそれぞれ対応する。図８（ｂ）に示すように、第３受信信号２３ｓは、複数の第３信号２３ｇを含む。複数の第３信号２３ｇは、複数の第３バースト波１３ｗＢにそれぞれ対応する。例えば、複数の第３信号２３ｇの１つは、複数の第３バースト波１３ｗＢの１つに対応する。
【0070】
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、複数の第２信号２２ｇの１つと、複数の第３信号２３ｇの１つと、は、第２時間差Δｔ２を有する。受信信号における第２時間差Δｔ２は、送信された超音波における第２時間差Δｔ２（図７（ａ）及び図７（ｂ）参照）を反映している。複数の第２信号２２ｇの周期、及び、複数の第３信号２３ｇの周期は、第１周期Ｔｐである。
【0071】
図８（ａ）に示すように、複数の第２信号２２ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。図８（ｂ）に示すように、複数の第３信号２３ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。受信信号における第１時間幅Ｔｗは、送信された超音波における時間幅Ｔｔと同じでも異なっても良い。
【0072】
検査装置１１１において、第２距離Ｌ２（ｍ）、第２時間差Δｔ２（ｓ）、伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｍ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ２＋Ｌ２／ｖｘ ＜ （ｍ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（２）
の第２式を満たす。「ｍ」は、０以上の整数である。
ｍ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ２＋Ｌ２／ｖｘ ＜ （ｍ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（２）
の第２式を満たす。「ｍ」は、０以上の整数である。
【0073】
図８（ｂ）に示すように、第３受信素子２３（素子２３ａ）において、信号２２ｇｃが生じる。信号２２ｇｃは、例えば、第２超音波１２ｗの一部に対応する。例えば、第２超音波１２ｗの一部の成分が、素子２３ａに入射することで、信号２２ｇｃが生じる。成分（信号２２ｇｃ）が複数の第３信号２３ｇと時間的に重なると、この成分（信号２２ｇｃ）は、ノイズとなる。例えば、クロストークが発生する。
【0074】
実施形態においては、上記の第２式が満たされる。これにより、不要な成分（信号２２ｇｃ）の時間的な位置が、複数の第３信号２３ｇの間になる。これにより、ノイズが抑制される。クロストークが抑制できる。検出精度を向上できる検査装置を提供できる。「ｍ」は、０または１でも良い。高い解像度が得られる。小型化が容易になる。
【0075】
図６（ｂ）に示すように、別の第１受信素子２１（素子２１Ａ）、別の第２受信素子（素子２２Ａ）、及び、別の第３受信素子（素子２３Ａ）が設けられても良い。別の第２受信素子（素子２２Ａ）と、別の第３受信素子２３（素子２３Ａ）と、の距離（第２距離Ｌ２）が、上記の第２式を満たしても良い。ノイズが抑制される。クロストークが抑制される。高い精度の検査が可能である。
【0076】
図６（ａ）に示すように、別の第１送信素子１１Ａ、別の第２送信素子（素子１２Ａ）、及び、別の第３送信素子（素子１３Ａ）が設けられても良い。別の第２送信素子（素子１２Ａ）と、別の第３送信素子１３（素子１３Ａ）と、の距離（第２距離Ｌ２）が、上記の第２式を満たしても良い。さらに別の第１送信素子１１Ａ、別の第２送信素子（素子１２Ａ）と、の距離（第１距離Ｌ１）が、上記の第１式を満たしても良い。ノイズが抑制される。クロストークが抑制される。高い精度の検査が可能である。
【0077】
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、実施形態に係る検査装置１１２において、第１距離Ｌ１に対応する、第１受信素子２１から第２受信素子２２への方向は、第３方向Ｄ３と交差する。第１距離Ｌ１に対応する、第１送信素子１１から第２送信素子１２への方向は、第３方向Ｄ３と交差する。検査装置１１２におけるこの他の構成は、例えば、検査装置１１０と同様で良い。
図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、実施形態に係る検査装置１１２において、第１距離Ｌ１に対応する、第１受信素子２１から第２受信素子２２への方向は、第３方向Ｄ３と交差する。第１距離Ｌ１に対応する、第１送信素子１１から第２送信素子１２への方向は、第３方向Ｄ３と交差する。検査装置１１２におけるこの他の構成は、例えば、検査装置１１０と同様で良い。
【0078】
検査装置１１２において、第１受信素子２１の第１方向Ｄ１における位置は、第２受信素子２２の第１方向Ｄ１における位置と異なる。このような、第１受信素子２１と第２受信素子２２との間の第１距離Ｌ１は、上記の第１式を満たす。これによりノイズが抑制される。クロストークが抑制される。高い検出精度が得られる。
【0079】
検査装置１１２において、第１送信素子１１の第１方向Ｄ１における位置は、第２送信素子１２の第１方向Ｄ１における位置と異なる。このような、第１送信素子１１と第２送信素子１２との間の第１距離Ｌ１は、上記の第１式を満たす。これによりノイズが抑制される。クロストークが抑制される。高い検出精度が得られる。
【0080】
検査装置１１２においては、例えば、検査対象８０の第１方向Ｄ１の端部８１に起因するノイズが抑制できる。例えば、端部８１の影響により誤検出を抑制できる。
【0081】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式的平面図である。
図１０（ａ）に示すように、実施形態に係る検査装置１１３において、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）から複数の第２送信素子１２の別の１つ（素子１２ｂ）への第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。例えば、第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１に対して実質的に垂直である。複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（素子１２ｂ）は、複数の第２送信素子１２の上記の１つ（素子１２ａ）の隣である。例えば、素子１２ａ及び素子１２ｂは、第３方向Ｄ３に沿って交互に並ぶ。
図１０（ａ）に示すように、実施形態に係る検査装置１１３において、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）から複数の第２送信素子１２の別の１つ（素子１２ｂ）への第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。例えば、第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１に対して実質的に垂直である。複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（素子１２ｂ）は、複数の第２送信素子１２の上記の１つ（素子１２ａ）の隣である。例えば、素子１２ａ及び素子１２ｂは、第３方向Ｄ３に沿って交互に並ぶ。
【0082】
図１０（ｂ）に示すように、検査装置１１３において、複数の第２受信素子２２の１つ（素子２２ａ）から複数の第２受信素子２２の別の１つ（素子２２ｂ）への第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。例えば、第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１に対して実質的に垂直である。複数の第２受信素子２２の上記の別の１つ（素子２２ｂ）は、複数の第２受信素子２２の上記の１つ（素子２２ａ）の隣である。例えば、素子２２ａ及び素子２２ｂは、第３方向Ｄ３に沿って交互に並ぶ。
【0083】
【0084】
図１１（ａ）は、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）に供給される第２駆動信号Ｓｖ２を例示している。図１１（ｂ）は、複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（素子１２ｂ）に供給される第２駆動信号Ｓｖ２を例示している。これらの図の横軸は、時間ｔｍである。図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、複数の第２送信素子１２の上記の１つ（素子１２ａ）に供給される第２駆動信号Ｓｖ２の位相は、複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（素子１２ｂ）に供給される別の第２駆動信号Ｓｖ２の位相に対してシフトしている。例えば、素子１２ａに供給される第２駆動信号Ｓｖ２の位相は、素子１２ｂに供給される第２駆動信号Ｓｖ２の位相から１８０度シフトしている。
【0085】
このような位相のシフトにより、受信素子の位置において、素子１２ａからの複数の第２バースト波１２ｗＢの少なくとも一部と、素子１２ｂからの複数の第２バースト波１２ｗＢの少なくとも一部と、が重なった場合、これらのバースト波は弱め合う。これにより、クロストークがより抑制される。上記を除く検査装置１１３の構成は、検査装置１１０の構成と同様で良い。
【0086】
図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置の一部を例示する模式的断面図である。
図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、実施形態に係る検査装置１１４における第２送信素子１２を例示している。図１２（ａ）は、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）に対応する。図１２（ｂ）は、複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（素子１２ｂ）に対応する。
図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、実施形態に係る検査装置１１４における第２送信素子１２を例示している。図１２（ａ）は、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）に対応する。図１２（ｂ）は、複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（素子１２ｂ）に対応する。
【0087】
図１０（ａ）に関して説明したように、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）から複数の第２送信素子１２の別の１つ（素子１２ｂ）への第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（１２ｂ）は、複数の第２送信素子１２の上記１つ（素子１２ａ）の隣である。
【0088】
図１２（ａ）に示すように、素子１２ａは、第１圧電層３１を含む。図１２（ｂ）に示すように、素子１２ｂは、第２圧電層３２を含む。検査装置１１４においては、第１圧電層３１の極性ｑ１は、第２圧電層３２の極性ｑ２に対して反転している。これにより、素子１２ａ及び素子１２ｂに供給される信号Ｓｇ１の位相が同じ場合においても、これらの送信素子から送信される超音波（第２超音波１２ｗ）の位相をシフトさせることができる。これにより、クロストークが抑制できる。
【0089】
このように、検査装置１１４においては、複数の第２送信素子１２の上記１つ（素子）に含まれる第１圧電層３１の極性は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに含まれる別の第２圧電層３２の極性に対して反転している。極性は、例えば、分極の向きである。分極の向きは、例えば、素子の製造プロセスにおいて行われる高電圧印加処理などにより、制御できる。極性は、例えば材料（例えば結晶方位）などにより制御されても良い。
【0090】
図１２（ａ）に示すように、第１圧電層３１は、電極３５ａと電極３５ｂとの間に設けられる。第１圧電層３１、電極３５ａ及び電極３５ｂを含む積層体が膜部３５ｆに固定される。膜部３５ｆは基体３０ｓに支持される。これらの電極に信号Ｓｇ１（例えば交流信号）が印加されることで、第１圧電層３１が変形する。変形により、膜部３５ｆが変形する。変形により第２超音波１２ｗが発生する。
【0091】
図１２（ｂ）に示すように、第２圧電層３２は、電極３６ａと電極３６ｂとの間に設けられる。第２圧電層３２、電極３６ａ及び電極３６ｂを含む積層体が膜部３６ｆに固定される。膜部３６ｆは基体３０ｓに支持される。これらの電極に信号Ｓｇ１（例えば交流信号）が印加されることで、第２圧電層３２が変形する。変形により、膜部３６ｆが変形する。変形により第２超音波１２ｗが発生する。
【0092】
圧電層における極性の違いにより、膜部３６ｆの変形の位相は、膜部３５ｆの変形の位相と、１８０°シフトする。これにより、素子１２ａから送信される第２超音波１２ｗの位相は、素子１２ｂから送信される第２超音波１２ｗの位相に対して１８０°シフトする。これらの超音波は、互いに弱め合う。クロストークが抑制される。上記を除く検査装置１１４の構成は、検査装置１１０の構成と同様で良い。
（第２実施形態）
以下の第２実施形態に関する説明において、第１実施形態と同じ部分については、適宜省略する。
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、第２実施形態に係る検査装置１２０は、素子部１０Ｅ及び搬送部６０（図２参照）を含む。
（第２実施形態）
以下の第２実施形態に関する説明において、第１実施形態と同じ部分については、適宜省略する。
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、第２実施形態に係る検査装置１２０は、素子部１０Ｅ及び搬送部６０（図２参照）を含む。
【0093】
図１３（ａ）に示すように、素子部１０Ｅは、複数の第１送信素子１１を含む。複数の第１送信素子１１は、第１超音波１１ｗ（例えば図２参照）を送信可能である。第１超音波１１ｗは、複数の第１バースト波１１ｗＢを含む（例えば図４（ａ）及び図４（ｂ）参照参照）。複数の第１バースト波１１ｗＢは、第１周期Ｔｐを有する。
【0094】
図１３（ｂ）に示すように、素子部１０Ｅは、複数の第１受信素子２１を含む。複数の第１受信素子２１に第１超音波１１ｗが入射する（例えば図２参照）。搬送部６０は、複数の第１送信素子１１と複数の第１受信素子２１との間の空間８８Ｓ中を第１方向Ｄ１に沿って検査対象８０を搬送可能である（例えば、図２参照）。
【0095】
図１３（ｂ）に示すように、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）と、複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２１ｂ）と、の間の距離を第１距離Ｌ１とする。例えば、複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２１ｂ）は、複数の第１受信素子２１のうちで、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）の隣である。
【0096】
図１３（ａ）に示すように、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）と、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）と、の間の距離は、第１距離Ｌ１で良い。例えば、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）は、複数の第１送信素子１１のうちで、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の隣である。
【0097】
図１３（ｂ）に示すように、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）と、第２方向Ｄ２において対向する（図２参照）。複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２１ｂ）は、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）と、第２方向Ｄ２において対向する（例えば図２参照）。
【0098】
検査装置１２０において、第１距離Ｌ１（ｍ）、空間８８Ｓにおける第１超音波１１ｗの伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（３）
の第３式を満たす。「ｎ」は、０以上の整数である。
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（３）
の第３式を満たす。「ｎ」は、０以上の整数である。
【0099】
検査装置１２０において、例えば、素子２１ｂ（受信素子）において、素子１１ａ（送信素子）から送信された第１超音波１１ｗの一部に起因する成分（信号２１ｇｃ、図５（ｂ）参照）は、素子１１ｂ（送信素子）から送信された第１超音波１１ｗの複数の信号の時間的な間に位置する。これにより、ノイズが抑制される。クロストークが抑制される。
【0100】
この例では、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における位置と異なる。例えば、検査対象８０の第１方向Ｄ１における端部８１に起因する第１超音波１１ｗの一部の成分の影響を抑制できる。
【0101】
この例では、複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２１ｂ）の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）の第１方向Ｄ１における位置と異なる。例えば、検査対象８０の第１方向Ｄ１における端部８１に起因する第１超音波１１ｗの一部の成分（信号２１ｇｃ）の影響を抑制できる。
【0102】
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に例示する状態は、検査対象８０の搬送方向６０Ｄ（第１方向Ｄ１）の前側の端部８１の第１方向Ｄ１における位置が、素子１１ａの搬送方向６０Ｄにおける位置と、素子１１ｂの搬送方向６０Ｄにおける位置と、の間に存在する。素子１１ｂは、第２方向Ｄ２において検査対象８０と重なる。素子１１ａは、第２方向Ｄ２において、検査対象８０と重ならない。この状態において、素子１１ｂから送信される第１超音波１１ｗにおいて、端部８１の影響により、成分（信号２１ｇｃ）が生じる。
【0103】
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、検査装置１２０における別の状態を例示している。図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に例示する状態は、検査対象８０の搬送方向６０Ｄ（第１方向Ｄ１）の後側の端部８１の第１方向Ｄ１における位置が、素子１１ａの搬送方向６０Ｄにおける位置と、素子１１ｂの搬送方向６０Ｄにおける位置と、の間に存在する。素子１１ａは、第２方向Ｄ２において検査対象８０と重なる。素子１１ｂは、第２方向Ｄ２において、検査対象８０と重ならない。この状態において、素子１１ａから送信される第１超音波１１ｗにおいて、端部８１の影響により、成分（信号２１ｇｃ）が生じる。
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、検査装置１２０における別の状態を例示している。図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に例示する状態は、検査対象８０の搬送方向６０Ｄ（第１方向Ｄ１）の後側の端部８１の第１方向Ｄ１における位置が、素子１１ａの搬送方向６０Ｄにおける位置と、素子１１ｂの搬送方向６０Ｄにおける位置と、の間に存在する。素子１１ａは、第２方向Ｄ２において検査対象８０と重なる。素子１１ｂは、第２方向Ｄ２において、検査対象８０と重ならない。この状態において、素子１１ａから送信される第１超音波１１ｗにおいて、端部８１の影響により、成分（信号２１ｇｃ）が生じる。
【0104】
検査装置１２０において、例えば、素子２１ａ（受信素子）において、素子１１ｂ（送信素子）から送信された第１超音波１１ｗの一部に起因する成分（信号２１ｇｃ、図５（ｂ）参照）は、素子１１ａ（送信素子）から送信された第１超音波１１ｗの複数の信号の時間的な間に位置する。これにより、ノイズが抑制される。クロストークが抑制される。
【0105】
【0106】
検査装置１２０において、「ｎ」は、０または１で良い。高い解像度が得られる。小型化が容易になる。
【0107】
【0108】
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、素子部１０Ｅは、第１列１０Ａ及び第２列１０Ｂを含む。第１列１０Ａから第２列１０Ｂへの方向は、第１方向Ｄ１に沿う。第１列１０Ａは、複数の第１送信素子１１の一部を含む。複数の第１送信素子１１のこの一部は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。第３方向Ｄ３は、例えば、Ｙ軸方向である。
【0109】
第２列１０Ｂは、複数の第１送信素子１１の別の一部を含む。複数の第１送信素子１１のこの別の一部は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ。複数の第１送信素子１１の上記の１つ（素子１１ａ）は、第１列１０Ａに含まれる。複数の第１送信素子１１の上記別の１つ（素子１１ｂ）、第２列１０Ｂに含まれる。
【0110】
（第３実施形態）
第３実施形態は、検査方法に係る。
実施形態に係る検査方法は、第１実施形態または第２実施形態に関して説明した構成を採用した方法で良い。
第３実施形態は、検査方法に係る。
実施形態に係る検査方法は、第１実施形態または第２実施形態に関して説明した構成を採用した方法で良い。
【0111】
図１５は、第３実施形態に係る検査方法を例示するフローチャートである。
図１５に示すように、検査方法において、超音波を送信し（ステップＳ１１０）する。検査方法において、超音波を受信して、検査対象８０を検査する（ステップＳ１２０）。
図１５に示すように、検査方法において、超音波を送信し（ステップＳ１１０）する。検査方法において、超音波を受信して、検査対象８０を検査する（ステップＳ１２０）。
【0112】
例えば、第１実施形態に関して説明した構成が適用されて良い。例えば、ステップＳ１１０において、素子部１０Ｅの第１送信素子１１から第１超音波１１ｗを送信させ、素子部１０Ｅの第２送信素子１２から第２超音波を送信させる。第１超音波１１ｗは、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波１１ｗＢを含む。第２超音波１２ｗは、第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波１２ｗＢを含む。素子部１０Ｅは、第１送信素子１１、第２送信素子１２、第１受信素子２１及び第２受信素子２２を含む。
【0113】
ステップＳ１１０において、第１送信素子１１と第１受信素子２１との間、及び、第２送信素子１２と第２受信素子２２との間の空間８８Ｓ中を第１方向Ｄ１に沿って検査対象８０を移動させる（図２参照）。
【0114】
ステップＳ１２０において、第１超音波１１ｗが入射した第１受信素子２１、及び、第２超音波１２ｗが入射した第２受信素子２２から得られる信号に基づいて、検査対象８０を検査する。
【0115】
第１受信素子２１は、第１超音波１１ｗに応じた第１受信信号２１ｓを出力可能である。第２受信素子２２は、第２超音波１２ｗに応じた第２受信信号２２ｓを出力可能である。
【0116】
第１受信信号２１ｓは、複数の第１バースト波１１ｗＢにそれぞれ対応する複数の第１信号２１ｇを含む。複数の第１信号２１ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。第２受信信号２２ｓは、複数の第２バースト波１２ｗＢにそれぞれ対応する複数の第２信号２２ｇを含む。複数の第２信号２２ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。複数の第１信号２１ｇの１つと、複数の第２信号２２ｇの１つと、は、第１時間差Δｔ１を有する（図５（ａ）及び図５（ｂ）参照）。
【0117】
第１受信素子２１と第２受信素子２２との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、第１時間差Δｔ１（ｓ）、空間８８Ｓにおける第１超音波１１ｗ及び第２超音波１２ｗの伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（１）
の第１式を満たす。「ｎ」は、０以上の整数である。ノイズが抑制できる。「ｎ」は、０または１で良い。例えば、第１式が満たされるように、第１時間差Δｔ１、第１周期Ｔｐ、及び、第１時間幅Ｔｗの少なくともいずれかが制御されて良い。
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（１）
の第１式を満たす。「ｎ」は、０以上の整数である。ノイズが抑制できる。「ｎ」は、０または１で良い。例えば、第１式が満たされるように、第１時間差Δｔ１、第１周期Ｔｐ、及び、第１時間幅Ｔｗの少なくともいずれかが制御されて良い。
【0118】
第３実施形態において、第２実施形態に関して説明した構成が適用されて良い。例えば、素子部１０Ｅは、複数の第１送信素子１１と、複数の第１受信素子２１と、を含む。ステップＳ１１０において、複数の第１送信素子１１から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波１１ｗＢを含む第１超音波１１ｗを送信させる。複数の第１送信素子１１と複数の第１受信素子２１との間の空間８８Ｓ中を第１方向Ｄ１に沿って検査対象８０を移動させる。
【0119】
ステップＳ１２０において、第１超音波１１ｗが入射した複数の第１受信素子２１から得られる信号に基づいて、検査対象８０を検査する。
【0120】
複数の第１受信素子２１のそれぞれは、第１超音波１１ｗに応じた第１受信信号２１ｓを出力可能である。第１受信信号２１ｓは、複数の第１バースト波１１ｗＢにそれぞれ対応する複数の第１信号２１ｇを含む。複数の第１信号２１ｇの１つは、第１時間幅Ｔｗを有する。複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）と、複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２２ｂ）と、の間の距離を第１距離Ｌ１とする。
【0121】
例えば、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）と、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）と、の間の距離は、第１距離Ｌ１で良い。
【0122】
第１距離Ｌ１（ｍ）、空間８８Ｓにおける第１超音波１１ｗの伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（３）
の第３式を満たす。
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４ …（３）
の第３式を満たす。
【0123】
複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２１ｂ）は、複数の第１受信素子２１のうちで、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）の隣である。複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）は、複数の第１送信素子１１のうちで、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の隣である。「ｎ」は、０以上の整数である。ノイズが抑制できる。「ｎ」は、０または１で良い。例えば、第３式が満たされるように、第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、第１時間幅Ｔｗ（ｓ）の少なくともいずれかが制御されて良い。
【0124】
この検査方法において、複数の第１受信素子２１の別の１つ（素子２１ｂ）の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）の第１方向Ｄ１における位置と異なって良い。この検査方法において、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｂ）の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における位置と異なって良い。
【0125】
実施形態によれば、検出精度を向上できる検査方法を提供できる。
【0126】
実施形態は、以下の構成（技術案）を含んでも良い。
（構成１）
第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な第１送信素子と、
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、
前記第１超音波が入射する第１受信素子と、
前記第２超音波が入射する第２受信素子と、
を含む素子部と、
前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記第１送信素子から前記第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
（構成１）
第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な第１送信素子と、
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信可能な第２送信素子と、
前記第１超音波が入射する第１受信素子と、
前記第２超音波が入射する第２受信素子と、
を含む素子部と、
前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記第１送信素子から前記第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
【0127】
（構成２）
前記ｎは、０または１である、構成１記載の検査装置。
前記ｎは、０または１である、構成１記載の検査装置。
【0128】
（構成３）
前記第１距離Ｌ１は、前記第１受信素子から前記第２受信素子への素子間方向における前記第１受信素子の中心と、前記素子間方向における前記第２受信素子の中心と、の間の前記素子間方向に沿う長さである、構成１または２に記載の検査装置。
前記第１距離Ｌ１は、前記第１受信素子から前記第２受信素子への素子間方向における前記第１受信素子の中心と、前記素子間方向における前記第２受信素子の中心と、の間の前記素子間方向に沿う長さである、構成１または２に記載の検査装置。
【0129】
（構成４）
前記第１送信素子から前記第２送信素子への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差した、構成１または２に記載の検査装置。
前記第１送信素子から前記第２送信素子への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差した、構成１または２に記載の検査装置。
【0130】
（構成５）
前記第１送信素子の前記第１方向における位置は、前記第２送信素子の前記第１方向における位置と異なる、構成１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
前記第１送信素子の前記第１方向における位置は、前記第２送信素子の前記第１方向における位置と異なる、構成１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
【0131】
（構成６）
前記素子部は、複数の前記第２送信素子、及び、複数の前記第２受信素子を含み、
前記複数の第２受信素子の１つは、前記複数の第２受信素子のうちで前記第１受信素子に最も近く、
前記第１距離Ｌ１は、前記第１受信素子と、前記複数の第２受信素子の前記１つと、の間の距離であり、
前記複数の第２受信素子の前記１つに、前記複数の第２送信素子の１つから送信された前記第２超音波が入射する、構成１または２に記載の検査装置。
前記素子部は、複数の前記第２送信素子、及び、複数の前記第２受信素子を含み、
前記複数の第２受信素子の１つは、前記複数の第２受信素子のうちで前記第１受信素子に最も近く、
前記第１距離Ｌ１は、前記第１受信素子と、前記複数の第２受信素子の前記１つと、の間の距離であり、
前記複数の第２受信素子の前記１つに、前記複数の第２送信素子の１つから送信された前記第２超音波が入射する、構成１または２に記載の検査装置。
【0132】
（構成７）
前記素子部は、第１列を含み、
前記第１列は、前記第１送信素子及び前記複数の第２送信素子を含み、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並ぶ、構成６に記載の検査装置。
前記素子部は、第１列を含み、
前記第１列は、前記第１送信素子及び前記複数の第２送信素子を含み、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並ぶ、構成６に記載の検査装置。
【0133】
（構成８）
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記第１送信素子、及び、前記複数の第２送信素子の一部を含み、
前記複数の第２送信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第２送信素子の別の一部を含み、
前記複数の第２送信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並ぶ、構成６に記載の検査装置。
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記第１送信素子、及び、前記複数の第２送信素子の一部を含み、
前記複数の第２送信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第２送信素子の別の一部を含み、
前記複数の第２送信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並ぶ、構成６に記載の検査装置。
【0134】
（構成９）
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記第１受信素子、及び、前記複数の第２受信素子の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第２受信素子の別の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並ぶ、構成６に記載の検査装置。
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記第１受信素子、及び、前記複数の第２受信素子の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第２受信素子の別の一部を含み、
前記複数の第２受信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並ぶ、構成６に記載の検査装置。
【0135】
（構成１０）
前記素子部は、
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第３バースト波を含む第３超音波を送信可能な第３送信素子と、
前記第３超音波が入射する第３受信素子と、
をさらに含み、
前記第３受信素子は、前記第３超音波に応じた第３受信信号を出力可能であり、
前記第３受信信号は、前記複数の第３バースト波にそれぞれ対応する複数の第３信号を含み、前記複数の第３信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信素子と前記第３受信素子との間の第２距離Ｌ２（ｍ）、前記複数の第２信号の１つと、前記複数の第３信号の１つと、の第２時間差Δｔ２（ｓ）、前記伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｍ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ２＋Ｌ２／ｖｘ ＜ （ｍ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｍは、０以上の整数である、構成１～９のいずれか１つに記載の検査装置。
前記素子部は、
前記第１周期Ｔｐを有する複数の第３バースト波を含む第３超音波を送信可能な第３送信素子と、
前記第３超音波が入射する第３受信素子と、
をさらに含み、
前記第３受信素子は、前記第３超音波に応じた第３受信信号を出力可能であり、
前記第３受信信号は、前記複数の第３バースト波にそれぞれ対応する複数の第３信号を含み、前記複数の第３信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信素子と前記第３受信素子との間の第２距離Ｌ２（ｍ）、前記複数の第２信号の１つと、前記複数の第３信号の１つと、の第２時間差Δｔ２（ｓ）、前記伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｍ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ２＋Ｌ２／ｖｘ ＜ （ｍ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｍは、０以上の整数である、構成１～９のいずれか１つに記載の検査装置。
【0136】
（構成１１）
第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子と、
前記第１超音波が入射する複数の第１受信素子と、
を含む素子部と、
前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１送信素子の１つと、前記複数の第１送信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子と、
前記第１超音波が入射する複数の第１受信素子と、
を含む素子部と、
前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備え、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１送信素子の１つと、前記複数の第１送信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査装置。
【0137】
（構成１２）
前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における位置と異なる、構成１１に記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における位置と異なる、構成１１に記載の検査装置。
【0138】
（構成１３）
前記複数の第１送信素子から前記複数の第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記複数の第１送信素子の一部を含み、
前記複数の第１送信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第１送信素子の別の一部を含み、
前記複数の第１送信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並び、
前記複数の第１送信素子の前記１つは、前記第１列に含まれ、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つ、前記第２列に含まれる、構成１１に記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子から前記複数の第１受信素子への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記素子部は、第１列及び第２列を含み、
前記第１列から前記第２列への方向は、前記第１方向に沿い、
前記第１列は、前記複数の第１送信素子の一部を含み、
前記複数の第１送信素子の前記一部は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿って並び、
前記第２列は、前記複数の第１送信素子の別の一部を含み、
前記複数の第１送信素子の前記別の一部は、前記第３方向に沿って並び、
前記複数の第１送信素子の前記１つは、前記第１列に含まれ、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つ、前記第２列に含まれる、構成１１に記載の検査装置。
【0139】
（構成１４）
前記複数の第２送信素子の１つから前記複数の第２送信素子の別の１つへの第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに供給される第２駆動信号の位相は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに供給される別の第２駆動信号の位相に対してシフトしている、構成１に記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子の１つから前記複数の第２送信素子の別の１つへの第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに供給される第２駆動信号の位相は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに供給される別の第２駆動信号の位相に対してシフトしている、構成１に記載の検査装置。
【0140】
（構成１５）
前記複数の第２送信素子の１つから前記複数の第２送信素子の別の１つへの第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに含まれる第１圧電層の極性は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに含まれる別の第２圧電層の極性に対して反転している、構成１に記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子の１つから前記複数の第２送信素子の別の１つへの第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣であり、
前記複数の第２送信素子の前記１つに含まれる第１圧電層の極性は、前記複数の第２送信素子の前記別の１つに含まれる別の第２圧電層の極性に対して反転している、構成１に記載の検査装置。
【0141】
（構成１６）
第１送信素子、第２送信素子、第１受信素子及び第２受信素子を含む素子部の、前記第１送信素子から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信させ、前記第２送信素子から前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信させ、前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を移動させ、
前記第１超音波が入射した前記第１受信素子、及び、前記第２超音波が入射した前記第２受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
第１送信素子、第２送信素子、第１受信素子及び第２受信素子を含む素子部の、前記第１送信素子から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信させ、前記第２送信素子から前記第１周期Ｔｐを有する複数の第２バースト波を含む第２超音波を送信させ、前記第１送信素子と前記第１受信素子との間、及び、前記第２送信素子と前記第２受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を移動させ、
前記第１超音波が入射した前記第１受信素子、及び、前記第２超音波が入射した前記第２受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記第１受信素子は、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第２受信素子は、前記第２超音波に応じた第２受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第２受信信号は、前記複数の第２バースト波にそれぞれ対応する複数の第２信号を含み、前記複数の第２信号の１つは、前記第１時間幅Ｔｗを有し、
前記第１受信素子と前記第２受信素子との間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記複数の第１信号の１つと、前記複数の第２信号の１つと、の第１時間差Δｔ１（ｓ）、前記空間における前記第１超音波及び前記第２超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Δｔ１＋Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
【0142】
（構成１７）
前記ｎは、０または１である、構成１６に記載の検査方法。
前記ｎは、０または１である、構成１６に記載の検査方法。
【0143】
（構成１８）
複数の第１送信素子と、複数の第１受信素子と、を含む素子部の前記複数の第１送信素子から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信させ、前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を移動させ、
前記第１超音波が入射した前記複数の第１受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１受信素子の１つと、前記複数の第１受信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
複数の第１送信素子と、複数の第１受信素子と、を含む素子部の前記複数の第１送信素子から、第１周期Ｔｐを有する複数の第１バースト波を含む第１超音波を送信させ、前記複数の第１送信素子と前記複数の第１受信素子との間の空間中を第１方向に沿って検査対象を移動させ、
前記第１超音波が入射した前記複数の第１受信素子から得られる信号に基づいて、前記検査対象を検査し、
前記複数の第１受信素子のそれぞれは、前記第１超音波に応じた第１受信信号を出力可能であり、
前記第１受信信号は、前記複数の第１バースト波にそれぞれ対応する複数の第１信号を含み、
前記複数の第１信号の１つは、第１時間幅Ｔｗを有し、
前記複数の第１受信素子の１つと、前記複数の第１受信素子の別の１つと、の間の第１距離Ｌ１（ｍ）、前記空間における前記第１超音波の伝搬速度ｖｘ（ｍ／ｓ）、前記第１周期Ｔｐ（ｓ）、及び、前記第１時間幅Ｔｗ（ｓ）は、
ｎ×Ｔｐ＋Ｔｗ／４ ＜ Ｌ１／ｖｘ ＜ （ｎ＋１）×Ｔｐ－Ｔｗ／４
を満たし、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子のうちで、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、
前記ｎは、０以上の整数である、検査方法。
【0144】
（構成１９）
前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における位置と異なる、構成１８に記載の検査方法。
前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における位置と異なる、構成１８に記載の検査方法。
【0145】
（構成２０）
前記ｎは、０または１である、構成１８または１９に記載の検査方法。
前記ｎは、０または１である、構成１８または１９に記載の検査方法。
【0146】
実施形態によれば、検出精度を向上できる検査装置及び検査方法が提供できる。
【0147】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、検査装置に含まれる送信素子、受信素子、搬送部、及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【0148】
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【0149】
その他、本発明の実施の形態として上述した検査装置及び検査方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての検査装置及び検査方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【0150】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【0151】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0152】
１０：送信部、 １０Ａ、１０Ｂ：第１、第２列、 １０Ｄ：送信回路、 １０Ｅ：素子部、 １１～１３：第１～第３送信素子、 １１Ａ～１３Ａ：第１～第３送信素子、 １１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ：素子、 １１ｖＢ、１２ｖＢ：第１、第２バースト信号、 １１ｗ～１３ｗ：第１～第３超音波、 １１ｗＢ～１３ｗＢ：第１～第３バースト波、 １１ｘ～１３ｘ：第１～第３波、 １５：送信導波部、 ２０：受信部、 ２０Ａ、２０Ｂ：第１、第２列、 ２０Ｄ：検出回路、 ２１～２３：第１～第３受信素子、 ２１Ａ、２２Ａ、２３Ａ、２１ａ、２１ｂ、２２Ａ、２２ａ、２３Ａ、２３ａ：素子、 ２１ｇ～２３ｇ：第１～第３信号、 ２１ｇｃ、２２ｇｃ：信号、 ２１ｓ～２３ｓ：第１～第３受信信号、 ２５：受信導波部、 ３０ｓ：基体、 ３１、３２：第１、第２圧電層、 ３５ａ、３５ｂ、３６ａ、３６ｂ：電極、 ３５ｆ、３６ｆ：膜部、 ６０：搬送部、 ６０Ｄ：搬送方向、 ６１、６２：第１、第２搬送機構、 ７０：制御部、 ８０：検査対象、 ８１、８３：端部、 ８８Ｓ：空間、 １１０～１１４、１２０：検査装置、 Ｄ１～Ｄ３：第１～第３方向、 Ｌ１、Ｌ２：第１、第２距離、 Ｓ１：検出結果、 Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２３：大きさ、 Ｓｃ：制御信号、 Ｓｄ：検出信号、 Ｓｇ１：信号、 Ｓｖ１、Ｓｖ２：第１、第２駆動信号、 Ｓｖｖ：電圧、 Ｓｗ：強度、 Ｔｐ：第１周期、 Ｔｔ、Ｔｖ：時間幅、 Ｔｗ：第１時間幅、 ｑ１、ｑ２：極性、 Δｔ１、Δｔ２：第２時間差
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】