特開 2024-127263 高周波回路とその測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024127263

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】高周波回路とその測定方法

(51)【国際特許分類】

   H04B 17/29 20150101AFI20240912BHJP

   H01P 5/12 20060101ALI20240912BHJP

【ＦＩ】

H04B17/29

H01P5/12 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023036294

(22)【出願日】2023-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000000572

【氏名又は名称】アンリツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001520

【氏名又は名称】弁理士法人日誠国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤田 卓

(57)【要約】

【課題】回路特性に影響を与えずに回路特性の測定を行なうことができる高周波回路を提供すること。
【解決手段】無線信号を受信して出力するアンテナ素子１と、アンテナ素子１から入力された信号を、第１のアンプ３と、第２のアンプ４と、に出力するハイブリッドカップラ２と、ハイブリッドカップラ２から入力された信号を増幅する第１のアンプ３と、ハイブリッドカップラ２から入力された信号を増幅する第２のアンプ４と、アンテナ素子１が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に接続された測定端子５と、第２のアンプ４の出力信号の位相を調整する移相器６と、第１のアンプ３の出力と移相器６の出力を入力とする第２のハイブリッドカップラ７と、第２のハイブリッドカップラ７により合成された信号が出力される出力端子８と、第２のハイブリッドカップラ７により合成された信号が出力される第２の測定端子９と、を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

アンテナ素子（１）から入力された信号を、第１のトランジスタ（３）と、第２のトランジスタ（４）と、に出力するハイブリッド回路（２）を備え、
前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子を接続する高周波回路。

【請求項2】

アンテナ素子（１）から入力された信号を、第１のトランジスタ（３）と、第２のトランジスタ（４）と、に出力するハイブリッド回路（２）と、
前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に接続された測定端子（５）と、
前記第２のトランジスタの出力信号の位相を調整する移相器（６）と、
前記第１のトランジスタの出力信号と、前記移相器の出力信号を合成して出力する第２のハイブリッド回路（７）と、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される一方の端子に接続された出力端子（８）と、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される他方の端子に接続された第２の測定端子（９）と、を備える高周波回路。

【請求項3】

前記ハイブリッド回路と前記測定端子の間に、第１の終端抵抗（６１）を対接地に配置し、前記第２のハイブリッド回路と前記第２の測定端子の間に、第２の終端抵抗（６２）を対接地に配置する請求項２に記載の高周波回路。

【請求項4】

前記ハイブリッド回路と前記測定端子の間に、第１の移相器（７１）と第１の終端抵抗（７２）を対接地に配置し、前記第２のハイブリッド回路と前記第２の測定端子の間に、第２の移相器（７３）と第２の終端抵抗（７４）を対接地に配置する請求項２に記載の高周波回路。

【請求項5】

前記ハイブリッド回路と前記測定端子の間に、第１の移相器（８１）を対接地に配置し、前記第２のハイブリッド回路と前記第２の測定端子の間に、第２の移相器（８２）を対接地に配置する請求項２に記載の高周波回路。

【請求項6】

アンテナ素子（１）から入力された信号を、第１のトランジスタ（３）と、第２のトランジスタ（４）と、に出力するハイブリッド回路（２）を備える高周波回路の測定方法であって、
前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子（５）を接続し、
前記測定端子に測定装置を接続して前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタの反射特性を測定する高周波回路の測定方法。

【請求項7】

アンテナ素子（１）から入力された信号を、第１のトランジスタ（３）と、第２のトランジスタ（４）と、に出力するハイブリッド回路（２）と、前記第２のトランジスタの出力信号の位相を調整する移相器（６）と、前記第１のトランジスタの出力信号と、前記移相器の出力信号を合成して出力する第２のハイブリッド回路（７）と、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される一方の端子に接続された出力端子（８）と、を備える高周波回路の測定方法であって、
前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子（５）を接続し、
前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される他方の端子に第２の測定端子（９）を接続し、
前記測定端子と前記第２の測定端子との間に測定装置を接続して前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタの通過特性を測定する高周波回路の測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マイクロ波帯からテラヘルツ波帯までの高周波回路に関し、特に、アンテナを内蔵したＭＭＩＣ（Monolithic Microwave Integrated Circuit）に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、評価対象である誘電体材料上に形成された導体パターンの表面に、ベクトルネットワークアナライザの両接続端子に接続されたグランド－シグナル－グランドプローブの可動高周波プローブと固定高周波プローブを接触させ、可動高周波プローブを順次移動させながらベクトルネットワークアナライザにより複素電力比の周波数特性を測定し、その振幅が極小値となるときの周波数に基づいて、誘電体材料の比誘電率を求めることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第７０６５５０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の方法では、高周波回路の途中に複数のグランド－シグナル－グランドの配線構造を設けているため、高周波回路の面積が大きくなるとともに、プローブがＭＭＩＣ内の配線やアンテナ上に配置されるため、その特性が変化し、測定が正確に行なえなくなるという課題があった。

【0005】

そこで、本発明は、高周波回路の入出力にハイブリッド回路を配置することにより、回路特性に影響を与えずに回路特性の測定を行なうことができる高周波回路を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の高周波回路は、アンテナ素子から入力された信号を、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、に出力するハイブリッド回路を備え、前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子を接続するものである。

【0007】

この構成により、ハイブリッド回路のアンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子が接続される。このため、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタの特性に影響を与えず、正確な測定を行なうことができる。

【0008】

また、本発明の高周波回路は、アンテナ素子から入力された信号を、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、に出力するハイブリッド回路と、前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に接続された測定端子と、前記第２のトランジスタの出力信号の位相を調整する移相器と、前記第１のトランジスタの出力信号と、前記移相器の出力信号を合成して出力する第２のハイブリッド回路と、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される一方の端子に接続された出力端子と、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される他方の端子に接続された第２の測定端子と、を備えるものである。

【0009】

この構成により、ハイブリッド回路のアンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子が接続され、第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される他方の端子に第２の測定端子が接続される。このため、回路特性に影響を与えずに回路特性の測定を行なうことができる。

【0010】

また、本発明の高周波回路において、前記ハイブリッド回路と前記測定端子の間に、第１の終端抵抗を対接地に配置し、前記第２のハイブリッド回路と前記第２の測定端子の間に、第２の終端抵抗を対接地に配置するものである。

【0011】

この構成により、ハイブリッド回路と測定端子の間に、第１の終端抵抗が対接地に配置され、第２のハイブリッド回路と第２の測定端子の間に、第２の終端抵抗が対接地に配置される。このため、測定端子と第２の測定端子にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際のインピーダンス変化を小さくすることができ、アンテナ素子で受信された信号が、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタの特性への影響を更に小さくすることができる。

【0012】

また、本発明の高周波回路において、前記ハイブリッド回路と前記測定端子の間に、第１の移相器と第１の終端抵抗を対接地に配置し、前記第２のハイブリッド回路と前記第２の測定端子の間に、第２の移相器と第２の終端抵抗を対接地に配置するものである。

【0013】

この構成により、ハイブリッド回路と測定端子の間に、第１の移相器と第１の終端抵抗が対接地に配置され、第２のハイブリッド回路と第２の測定端子の間に、第２の移相器と第２の終端抵抗が対接地に配置される。このため、測定端子と第２の測定端子にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際、第１の終端抵抗と第２の終端抵抗に伝搬する信号を減少させて、測定装置に伝搬される信号を大きくさせて、正確な測定を行なうことができる。

【0014】

また、本発明の高周波回路において、前記ハイブリッド回路と前記測定端子の間に、第１の移相器を対接地に配置し、前記第２のハイブリッド回路と前記第２の測定端子の間に、第２の移相器を対接地に配置するものである。

【0015】

この構成により、ハイブリッド回路と測定端子の間に、第１の移相器が対接地に配置され、第２のハイブリッド回路と第２の測定端子の間に、第２の移相器が対接地に配置される。このため、測定端子と第２の測定端子にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際、測定装置に伝搬される信号を大きくさせて、正確な測定を行なうことができる。

【0016】

また、本発明の高周波回路の測定方法は、アンテナ素子から入力された信号を、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、に出力するハイブリッド回路を備える高周波回路の測定方法であって、前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子を接続し、前記測定端子に測定装置を接続して前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタの反射特性を測定するものである。

【0017】

この構成により、ハイブリッド回路のアンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子が接続され、測定端子に測定装置が接続されて第１のトランジスタと第２のトランジスタの反射特性が測定される。このため、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタの特性に影響を与えず、正確な測定を行なうことができる。

【0018】

また、本発明の高周波回路の測定方法は、アンテナ素子から入力された信号を、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、に出力するハイブリッド回路と、前記第２のトランジスタの出力信号の位相を調整する移相器と、前記第１のトランジスタの出力信号と、前記移相器の出力信号を合成して出力する第２のハイブリッド回路と、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される一方の端子に接続された出力端子と、を備える高周波回路の測定方法であって、前記ハイブリッド回路の前記アンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子を接続し、前記第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される他方の端子に第２の測定端子を接続し、前記測定端子と前記第２の測定端子との間に測定装置を接続して前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタの通過特性を測定するものである。

【0019】

この構成により、ハイブリッド回路のアンテナ素子が接続された端子に対してアイソレーション端子となる端子に測定端子が接続され、第２のハイブリッド回路の出力信号が出力される他方の端子に第２の測定端子が接続され、測定端子と第２の測定端子との間に測定装置が接続されて、第１のトランジスタと第２のトランジスタの通過特性が測定される。このため、回路特性に影響を与えずに回路特性の測定を行なうことができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明は、回路特性に影響を与えずに回路特性の測定を行なうことができる高周波回路を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】図１は、本発明の第１実施形態に係る高周波回路のブロック図である。

【図2】図２は、本発明の第１実施形態の第１の他の態様に係る高周波回路のブロック図である。

【図3】図３は、本発明の第１実施形態の第２の他の態様に係る高周波回路のブロック図である。

【図4】図４は、本発明の第１実施形態の第３の他の態様に係る高周波回路のブロック図である。

【図5】図５は、本発明の第２実施形態に係る高周波回路のブロック図である。

【図6】図６は、本発明の第２実施形態に係る高周波回路の通過特性を示す図であり、図６（ａ）は、測定端子に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図であり、図６（ｂ）は、測定端子に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図7】図７は、本発明の第２実施形態に係る高周波回路の測定端子に測定装置を接続した場合の測定端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図8】図８は、本発明の第２実施形態の第１の他の態様に係る高周波回路のブロック図である。

【図9】図９は、本発明の第２実施形態の第１の他の態様に係る高周波回路の通過特性を示す図であり、図９（ａ）は、測定端子に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図であり、図９（ｂ）は、測定端子に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図10】図１０は、本発明の第２実施形態の第１の他の態様に係る高周波回路の測定端子に測定装置を接続した場合の測定端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図11】図１１は、本発明の第２実施形態の第２の他の態様に係る高周波回路のブロック図である。

【図12】図１２は、本発明の第２実施形態の第２の他の態様に係る高周波回路の通過特性を示す図であり、図１２（ａ）は、測定端子に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図であり、図１２（ｂ）は、測定端子に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図13】図１３は、本発明の第２実施形態の第２の他の態様に係る高周波回路の測定端子に測定装置を接続した場合の測定端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図14】図１４は、本発明の第２実施形態の第３の他の態様に係る高周波回路のブロック図である。

【図15】図１５は、本発明の第２実施形態の第３の他の態様に係る高周波回路の通過特性を示す図であり、図１５（ａ）は、測定端子に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図であり、図１５（ｂ）は、測定端子に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【図16】図１６は、本発明の第２実施形態の第３の他の態様に係る高周波回路の測定端子に測定装置を接続した場合の測定端子から第１のアンプと第２のアンプへの通過特性を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る高周波回路について詳細に説明する。

【0023】

（第１実施形態）
図１において、本発明の第１実施形態に係る高周波回路１０は、アンテナ素子１と、ハイブリッド回路としてのハイブリッドカップラ２と、第１のトランジスタとしての第１のアンプ３と、第２のトランジスタとしての第２のアンプ４と、測定端子５と、を含んで構成される。
アンテナ素子１は、無線信号を受信して出力する。

【0024】

ハイブリッドカップラ２は、アンテナ素子１から入力された信号を、第１のアンプ３と、第２のアンプ４と、に出力する。ハイブリッドカップラ２は、アンテナ素子１から入力された信号の位相が９０°遅れた信号を第１のアンプ３に出力する。ハイブリッドカップラ２は、アンテナ素子１から入力された信号の位相が１８０°遅れた信号を第２のアンプ４に出力する。測定端子５には、第１のアンプ３及び第２のアンプ４からの反射電力が合成されて出力される。

【0025】

第１のアンプ３は、ハイブリッドカップラ２から入力された信号を増幅する。
第２のアンプ４は、ハイブリッドカップラ２から入力された信号を増幅する。

【0026】

測定端子５は、ハイブリッドカップラ２に接続されたシグナル端子５ａと、高周波回路１０のグランドに接続された第１のグランド端子５ｂ及び第２のグランド端子５ｃと、を備えたグランド－シグナル－グランドの端子である。

【0027】

以上のように構成された第１実施形態に係る高周波回路１０において、測定端子５にベクトルネットワークアナライザなどの測定装置を接続して、第１のアンプ３及び第２のアンプ４の反射特性を測定することができる。

【0028】

また、測定装置のプローブが配線やアンテナ素子１に配置されないため、第１のアンプ３及び第２のアンプ４の特性に影響を与えず、正確な測定を行なうことができる。

【0029】

第１実施形態の第１の他の態様としては、図２に示すように、高周波回路２０は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間に、終端抵抗２１を対接地に配置している。

【0030】

このようにすることで、測定端子５にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際のインピーダンス変化を小さくすることができ、第１のアンプ３及び第２のアンプ４の特性への影響を更に小さくすることができる。

【0031】

第１実施形態の第２の他の態様としては、図３に示すように、高周波回路３０は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間に、移相器３１と終端抵抗３２を対接地に配置している。移相器３１は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間の信号の位相を例えば９０°遅らせて終端抵抗３２に出力する。

【0032】

このようにすることで、測定端子５にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際、終端抵抗３２に伝搬する信号を減少させて、測定装置に伝搬される信号を大きくさせて、正確な測定を行なうことができる。

【0033】

第１実施形態の第３の他の態様としては、図４に示すように、高周波回路４０は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間に、移相器４１を対接地に配置している。移相器４１は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間の信号の位相を例えば９０°遅らせる。

【0034】

このようにすることで、測定端子５にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際、測定装置に伝搬される信号を大きくさせて、正確な測定を行なうことができる。

【0035】

なお、移相器４１を、測定端子５のシグナル端子５ａと、第１のグランド端子５ｂまたは第２のグランド端子５ｃとの間に接続するようにしてもよい。

【0036】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。ここで、本実施形態は前述の第１実施形態の構成を部分的に使用しているので、同様な構成には同一の符号を付して特徴部分を説明する。

【0037】

図５において、本発明の第２実施形態に係る高周波回路５０は、第２のアンプ４の出力信号の位相を調整する移相器６と、第１のアンプ３の出力と移相器６の出力とが入力される第２のハイブリッド回路としての第２のハイブリッドカップラ７と、第２のハイブリッドカップラ７により合成された信号が出力される出力端子８と、第２のハイブリッドカップラ７により合成された信号が出力される第２の測定端子９と、を備えている。

【0038】

移相器６は、例えば、第２のアンプ４の出力信号の位相を９０°遅らせる。
第２の測定端子９は、第２のハイブリッドカップラ７に接続されたシグナル端子９ａと、高周波回路１０のグランドに接続された第１のグランド端子９ｂ及び第２のグランド端子９ｃと、を備えたグランド－シグナル－グランドの端子である。

【0039】

以上のように構成された第２実施形態に係る高周波回路５０において、アンテナ素子１に入力された信号は、第１のアンプ３及び第２のアンプ４により増幅されて出力端子８に出力される。

【0040】

また、測定端子５及び第２の測定端子９にベクトルネットワークアナライザなどの測定装置を接続して、第１のアンプ３及び第２のアンプ４の通過特性を測定することができる。

【0041】

このような構成により、ハイブリッドカップラ２のアンテナ素子１が接続されたアンテナ端子に対して、測定端子５はアイソレーション端子となるため、測定端子５にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続されることによってアンテナ素子１で受信された信号が、第１のトランジスタ３および第２のトランジスタ４で増幅される特性への影響は小さい。

【0042】

また、測定端子５と第２の測定端子９にコネクタやケーブルを介して測定装置を接続して測定を行う場合、アンテナ素子１に測定用部材が近接することによってアンテナ素子１のインピーダンスが変化するが、測定端子５とアンテナ素子１が接続されている端子はアイソレーションの関係にあるため、測定結果への影響は小さい。同様にして、測定の際に出力端子８に測定装置等が接続されているか否かも、測定結果への影響は小さい。

【0043】

第２実施形態に係る高周波回路５０における各種通過特性について図６、図７を参照して説明する。

【0044】

図６（ａ）は、測定端子５に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0045】

アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示しており、測定端子５に測定装置を未接続の場合にハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0046】

図６（ｂ）は、測定端子５に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0047】

測定端子５に測定装置を接続した場合、アンテナ端子から測定端子５への通過特性が小さく、アンテナ端子からの信号が測定端子５に伝搬せず、アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示していることより、ハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0048】

図７は、測定端子５に測定装置を接続した場合の測定端子５から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0049】

測定端子５に測定装置を接続した場合、測定端子５から第１のアンプ３への通過特性（出力端子８から測定端子５への通過特性）と測定端子５から第２のアンプ４への通過特性（測定端子５から第２の測定端子９への通過特性）が概ね-5dB～-10dBとなり、測定端子５で第１のアンプ３及び第２のアンプ４の特性測定が可能であることが分かる。

【0050】

第２実施形態の第１の他の態様としては、図８に示すように、高周波回路６０は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間に、第１の終端抵抗６１を対接地に配置し、第２のハイブリッドカップラ７と第２の測定端子９の間に、第２の終端抵抗６２を対接地に配置している。

【0051】

このようにすることで、測定端子５と第２の測定端子９にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際のインピーダンス変化を小さくすることができ、アンテナ素子１で受信された信号が、第１のアンプ３及び第２のアンプ４で増幅される特性への影響を更に小さくすることができる。

【0052】

なお、第１の終端抵抗６１、第２の終端抵抗６２を接地させる例を示したが、グランドとの間にコンデンサを介挿し、高周波成分のみが接地されるようにしてもよい。

【0053】

第２実施形態の第１の他の態様に係る高周波回路６０における各種通過特性について図９、図１０を参照して説明する。

【0054】

図９（ａ）は、測定端子５に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0055】

アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示しており、測定端子５に測定装置を未接続の場合にハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0056】

図９（ｂ）は、測定端子５に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0057】

測定端子５に測定装置を接続した場合、アンテナ端子から測定端子５への通過特性が小さく、アンテナ端子からの信号が測定端子５に伝搬せず、アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示していることより、ハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0058】

図１０は、測定端子５に測定装置を接続した場合の測定端子５から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0059】

測定端子５に測定装置を接続した場合、測定端子５から第１のアンプ３への通過特性（出力端子８から測定端子５への通過特性）と測定端子５から第２のアンプ４への通過特性（測定端子５から第２の測定端子９への通過特性）が概ね-5dB～-10dBとなり、測定端子５で第１のアンプ３及び第２のアンプ４の特性測定が可能であることが分かる。

【0060】

第２実施形態の第２の他の態様としては、図１１に示すように、高周波回路７０は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間に、第１の移相器７１と第１の終端抵抗７２を対接地に配置し、第２のハイブリッドカップラ７と第２の測定端子９の間に、第２の移相器７３と第２の終端抵抗７４を対接地に配置している。第１の移相器７１は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間の信号の位相を例えば９０°遅らせて終端抵抗３２に出力する。第２の移相器７３は、第２のハイブリッドカップラ７と第２の測定端子９の間の信号の位相を例えば９０°遅らせて第２の終端抵抗７４に出力する。

【0061】

このようにすることで、測定端子５と第２の測定端子９にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際、第１の終端抵抗７２と第２の終端抵抗７４に伝搬する信号を減少させて、測定装置に伝搬される信号を大きくさせて、正確な測定を行なうことができる。

【0062】

第２実施形態の第２の他の態様に係る高周波回路７０における各種通過特性について図１２、図１３を参照して説明する。

【0063】

図１２（ａ）は、測定端子５に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0064】

アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示しており、測定端子５に測定装置を未接続の場合にハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0065】

図１２（ｂ）は、測定端子５に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0066】

測定端子５に測定装置を接続した場合、アンテナ端子から測定端子５への通過特性が小さく、アンテナ端子からの信号が測定端子５に伝搬せず、アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示していることより、ハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0067】

図１３は、測定端子５に測定装置を接続した場合の測定端子５から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0068】

測定端子５に測定装置を接続した場合、測定端子５から第１のアンプ３への通過特性（出力端子８から測定端子５への通過特性）と測定端子５から第２のアンプ４への通過特性（測定端子５から第２の測定端子９への通過特性）が概ね-5dB～-10dBとなり、測定端子５で第１のアンプ３及び第２のアンプ４の特性測定が可能であることが分かる。

【0069】

第２実施形態の第３の他の態様としては、図１４に示すように、高周波回路８０は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間に、第１の移相器８１を対接地に配置し、第２のハイブリッドカップラ７と第２の測定端子９の間に、第２の移相器８２を対接地に配置している。第１の移相器８１は、ハイブリッドカップラ２と測定端子５の間の信号の位相を例えば９０°遅らせる。第２の移相器８２は、第２のハイブリッドカップラ７と第２の測定端子９の間の信号の位相を例えば９０°遅らせる。

【0070】

このようにすることで、測定端子５と第２の測定端子９にコネクタやケーブルを介して測定装置が接続された際、測定装置に伝搬される信号を大きくさせて、正確な測定を行なうことができる。

【0071】

なお、第１の移相器８１を、測定端子５のシグナル端子５ａと、第１のグランド端子５ｂまたは第２のグランド端子５ｃとの間に接続するようにしてもよい。また、第２の移相器８２を、第２の測定端子９のシグナル端子９ａと、第１のグランド端子９ｂまたは第２のグランド端子９ｃとの間に接続するようにしてもよい。

【0072】

第２実施形態の第３の他の態様に係る高周波回路８０における各種通過特性について図１５、図１６を参照して説明する。

【0073】

図１５（ａ）は、測定端子５に測定装置を未接続の場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0074】

アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示しており、測定端子５に測定装置を未接続の場合にハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0075】

図１５（ｂ）は、測定端子５に測定装置を接続した場合のアンテナ端子から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0076】

測定端子５に測定装置を接続した場合、アンテナ端子から測定端子５への通過特性が小さく、アンテナ端子からの信号が測定端子５に伝搬せず、アンテナ端子から第１のアンプ３への通過特性（アンテナ端子から出力端子８への通過特性）、アンテナ端子から第２のアンプ４への通過特性（アンテナ端子から第２の測定端子９への通過特性）が220GHz～330GHzで一様で同一の通過特性を示していることより、ハイブリッドカップラ２が所望の特性となっていることが分かる。

【0077】

図１６は、測定端子５に測定装置を接続した場合の測定端子５から第１のアンプ３と第２のアンプ４への通過特性を示している。

【0078】

測定端子５に測定装置を接続した場合、測定端子５から第１のアンプ３への通過特性（出力端子８から測定端子５への通過特性）と測定端子５から第２のアンプ４への通過特性（測定端子５から第２の測定端子９への通過特性）が概ね-5dB～-10dBとなり、測定端子５で第１のアンプ３及び第２のアンプ４の特性測定が可能であることが分かる。

【0079】

なお、前述の第１実施形態及び第２実施形態においては、ハイブリッドカップラとしてブランチラインカップラを用いる例を示したが、ラットレースカップラやマーチャントバランなどを用いてもよい。

【0080】

本発明の実施形態を開示したが、当業者によっては本発明の範囲を逸脱することなく変更が加えられうることは明白である。すべてのこのような修正及び等価物が次の請求項に含まれることが意図されている。

【符号の説明】

【0081】

１ アンテナ素子
２ ハイブリッドカップラ（ハイブリッド回路）
３ 第１のアンプ（第１のトランジスタ）
４ 第２のアンプ（第２のトランジスタ）
５ 測定端子
５ａ シグナル端子
５ｂ 第１のグランド端子
５ｃ 第２のグランド端子
６ 移相器
７ 第２のハイブリッドカップラ（第２のハイブリッド回路）
８ 出力端子
９ 第２の測定端子
９ａ シグナル端子
９ｂ 第１のグランド端子
９ｃ 第２のグランド端子
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０ 高周波回路
６１ 第１の終端抵抗
６２ 第２の終端抵抗
７１ 第１の移相器
７２ 第１の終端抵抗
７３ 第２の移相器
７４ 第２の終端抵抗
８１ 第１の移相器
８２ 第２の移相器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】