特開 2024-127457 外観検査装置、及び外観検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024127457

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】外観検査装置、及び外観検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20240912BHJP

   G06T 1/00 20060101ALI20240912BHJP

   G06T 11/80 20060101ALI20240912BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 B

G06T1/00 300

G06T1/00 200E

G06T11/80 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023036621

(22)【出願日】2023-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000002945

【氏名又は名称】オムロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】林 信吾

【テーマコード（参考）】

2G051

5B050

5B057

【Ｆターム（参考）】

2G051AA65

2G051AB02

2G051AB14

2G051AC04

2G051CA04

2G051ED01

5B050AA03

5B050BA06

5B050BA10

5B050BA13

5B050DA01

5B050EA04

5B050EA19

5B050FA02

5B050GA08

5B057AA03

5B057BA02

5B057CA08

5B057CA12

5B057CA16

5B057CB08

5B057CB12

5B057CB16

5B057CC03

5B057CE08

5B057DA08

5B057DB02

5B057DB09

(57)【要約】

【課題】基板の表面における検査領域及び非検査領域の設定が適切にされているか否かを容易に確認することを可能とする外観検査装置、及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】外観検査装置は、良品基板の画像を蓄積するデータベースと、不良品基板の画像を蓄積する不良データベースと、不良品基板における不良の画像を抽出する抽出部と、不良の画像を、良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写部と、良品基板の画像、不良品基板の画像、不良の画像、及び転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部と、検査領域及び非検査領域を用いて、転写画像の外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部と、を備え、転写部は、複数の不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置であって、
良品基板の画像を蓄積するデータベースと、
不良品基板の画像を蓄積する不良データベースと、
前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像から、前記不良品基板における不良の画像を抽出する抽出部と、
前記抽出部が抽出した前記不良の画像を、前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写部と、
前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像、前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像、前記抽出部が抽出した前記不良の画像、及び前記転写部が生成した前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部と、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写部が生成した前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部と、を備え、
前記転写部は、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査装置。

【請求項2】

前記検査領域においては、検査対象とする前記不良の種類を指定することが可能であり、
前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行した際に、前記表示部は、前記非検査領域において前記不良が検出された箇所、及び前記検査領域において指定された前記種類と異なる種類の不良が検出された箇所の少なくとも一方に対して、設定が適切でないとして所定のマークを表示することを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。

【請求項3】

前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行した場合、その旨を通知することを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。

【請求項4】

前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行していない場合、その旨を通知することを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。

【請求項5】

前記抽出部は、実際の前記不良を指定することによって、類似の前記不良の画像を抽出可能であることを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。

【請求項6】

前記検査領域においては、指定された前記不良の前記種類が誤っていた場合に、修正処理が実行されることを特徴とする、請求項２に記載の外観検査装置。

【請求項7】

前記作動確認処理部による前記作動確認処理が設定通りに実行されなかった場合、その旨を記録する記録部をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。

【請求項8】

基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査方法であって、
不良品基板の画像から、当該不良品基板における不良の画像を抽出する抽出工程と、
前記抽出工程において抽出された前記不良の画像を、良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写工程と、
前記良品基板の画像、前記不良品基板の画像、前記抽出工程において抽出された前記不良の画像、及び前記転写工程において生成された前記転写画像の少なくとも何れかを表示
する表示工程と、を有し、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写工程において生成された前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行することが可能であり、
前記転写工程においては、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査方法。

【請求項9】

前記検査領域においては、検査対象とする前記不良の種類を指定することが可能であり、
前記作動確認処理を実行した際に、前記表示工程においては、前記非検査領域において前記不良が検出された箇所、及び前記検査領域において指定された前記種類と異なる種類の不良が検出された箇所の少なくとも一方に対して、設定が適切でないとして所定のマークが表示されることを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。

【請求項10】

前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理を実行した場合、その旨を通知する第１の通知工程をさらに有することを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。

【請求項11】

前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理を実行していない場合、その旨を通知する第２の通知工程をさらに有することを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。

【請求項12】

前記抽出工程においては、実際の前記不良を指定することによって、類似の前記不良の画像を抽出可能であることを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。

【請求項13】

前記検査領域においては、指定された前記不良の前記種類が誤っていた場合に、修正処理が実行されることを特徴とする、請求項９に記載の外観検査方法。

【請求項14】

前記作動確認処理が設定通りに実行されなかった場合、その旨を記録する記録工程をさらに有することを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置、及び外観検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、欠陥を含む不良品を撮影した不良品画像において欠陥に対応する欠陥画像を指定し、指定された欠陥画像の周辺に存在する画像から周辺画像を決定し、指定された欠陥画像に決定された周辺画像を合成する画像処理装置が公知である。（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

また、基板の外観検査を実行する際には、基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定し、設定が適切にされているかを確認することがある。ここで、設定が適切にされているとは、検査領域においては、基板の表面の不良が正確に検査され、非検査領域においては、外観検査が除外されることをいう。また、検査領域においては、検査閾値の設定間違い等により、基板の表面の不良が正確に検査されない虞がある。これらの問題に起因して、不良基板を見落とし、流出させてしまう虞がある。設定が適切にされているかの確認にあたっては、基板に関して上記のような画像の合成技術によって不良画像を作成し、この合成された不良画像に、検査領域及び非検査領域を適用することが考えられる。

【0004】

しかしながら、新たな品番が増える度に不良品基板の画像を生成するには工数が増大する。また、不良品基板の画像を生成することには微細な作業が伴い、熟練者でないとその作業をこなすことは困難である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－００８４８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本件開示の技術は、上記の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板の表面における検査領域及び非検査領域の設定が適切にされているか否かを容易に確認することを可能とする外観検査装置、及び外観検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するための本開示は、データベースと、不良データベースと、抽出部と、転写部と、表示部と、作動確認処理部と、を備える外観検査装置を含む。本開示においては、基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定した後に、それらを用いて、外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認することを可能とする転写画像を疑似的に生成する。データベースには、撮像された良品基板の画像が蓄積される。不良データベースには、撮像された不良品基板の画像が蓄積される。抽出部は、不良データベースに蓄積された不良品基板の画像から、不良品基板における不良の画像を抽出する。当該不良の一例としては、はんだボール等が挙げられる。

【0008】

転写部は、抽出部が抽出した不良の画像を、データベースに蓄積された良品基板の画像
に転写し、転写画像を生成する。ここで、転写とは、ある画像に元の画像の一部を移動させ、両者の画像の間の解像度の差異等に起因して不自然な画像が生成されないように、疑似的に合成画像を生成することをいう。この合成画像は、転写画像に相当する。表示部は、上記の、良品基板の画像、不良品基板の画像、不良の画像、及び転写画像の少なくとも何れかを、外観検査装置のユーザが認識可能に表示する。作動確認処理部は、検査領域及び非検査領域を用いて、転写部が生成した転写画像の外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する。

【0009】

また、転写部が不良の画像を転写する際には、転写のパターンを指定することが可能である。当該パターンの例としては、良品基板の画像の一部に不良の画像を転写するパターンや、良品基板の画像の全体に不良の画像を転写するパターン等が挙げられる。また、転写部は、複数の不良の画像を一括して転写することが可能である。

【0010】

より詳細には、
基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置であって、
良品基板の画像を蓄積するデータベースと、
不良品基板の画像を蓄積する不良データベースと、
前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像から、前記不良品基板における不良の画像を抽出する抽出部と、
前記抽出部が抽出した前記不良の画像を、前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写部と、
前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像、前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像、前記抽出部が抽出した前記不良の画像、及び前記転写部が生成した前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部と、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写部が生成した前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部と、を備え、
前記転写部は、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査装置を含む。

【0011】

検査領域及び非検査領域が適切に設定されていれば、作動確認処理部による作動確認処理において、以下の様な結果が確認される。すなわち、検査領域においては、予め指定された、検出対象とする不良が検出され、非検査領域においては、不良が検出されない。転写画像は、外観検査装置のユーザが意図して作成することが容易であるため、作動確認処理には転写画像を適用することが有用である。これによって、作動確認処理に良品基板の画像を適用した場合に発生し得る、不良基板の見落としを抑制することが可能である。

【0012】

また、本開示においては、前記検査領域においては、検査対象とする前記不良の種類を指定することが可能であり、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行した際に、前記表示部は、前記非検査領域において前記不良が検出された箇所、及び前記検査領域において指定された前記種類と異なる種類の不良が検出された箇所の少なくとも一方に対して、設定が適切でないとして所定のマークを表示することとしてもよい。所定のマークとしては、外観検査装置のユーザが一目で確認しやすいものが用いられ、これによれば、作動確認処理を実行した結果を即時に把握することが可能である。

【0013】

また、本開示においては、前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行した場合、その旨を通知することとしてもよい。これによれば、作動確認処理を実行し忘れることをより確実に防止することが可能である。

【0014】

また、本開示においては、前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行していない場合、その旨を通知することとしてもよい。これによれば、上記と同様、作動確認処理を実行し忘れることをより確実に防止することが可能である。

【0015】

また、本開示においては、前記抽出部は、実際の前記不良を指定することによって、類似の前記不良の画像を抽出可能であることとしてもよい。これによれば、抽出部によって不良の画像が容易に抽出される。

【0016】

また、本開示においては、前記検査領域においては、指定された前記不良の前記種類が誤っていた場合に、修正処理が実行されることとしてもよい。なお、修正処理とは、検査領域において、検出対象としてある不良を指定した場合、その不良と異なる種類の不良を正しい検出対象として提示することを意味する。あるいは、正しい検出対象がその不良と異なる種類の不良であることが明らかな場合は、検出対象として自動的にその不良と異なる種類の不良が指定されるようにすることを意味する。これによれば、作動確認処理の精度を向上させることが可能である。

【0017】

また、本開示においては、前記作動確認処理部による前記作動確認処理が設定通りに実行されなかった場合、その旨を記録する記録部をさらに備えることとしてもよい。これによれば、検査領域及び非検査領域の適切でない設定を参照し、設定の精度を向上させることが可能である。

【0018】

また、上記の課題を解決するための本開示は、
基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査方法であって、
不良品基板の画像から、当該不良品基板における不良の画像を抽出する抽出工程と、
前記抽出工程において抽出された前記不良の画像を、良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写工程と、
前記良品基板の画像、前記不良品基板の画像、前記抽出工程において抽出された前記不良の画像、及び前記転写工程において生成された前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示工程と、を有し、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写工程において生成された前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行することが可能であり、
前記転写工程においては、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査方法を含んでもよい。

【0019】

本開示における外観検査装置以外の外観検査装置を、本開示における外観検査方法に適用することによっても、転写画像を容易に生成することが可能であり、作動確認処理に転写画像を適用することによって、不良基板の見落としを抑制することが可能である。

【0020】

また、本開示においては、前記検査領域においては、検査対象とする前記不良の種類を指定することが可能であり、前記作動確認処理を実行した際に、前記表示工程においては、前記非検査領域において前記不良が検出された箇所、及び前記検査領域において指定された前記種類と異なる種類の不良が検出された箇所の少なくとも一方に対して、設定が適切でないとして所定のマークが表示されることとしてもよい。これによれば、表示工程において、作動確認処理を実行した結果を即時に把握することが可能である。

【0021】

また、本開示においては、前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対し
て、前記作動確認処理を実行した場合、その旨を通知する第１の通知工程をさらに有することとしてもよい。これによれば、作動確認処理を実行し忘れることをより確実に防止することが可能である。

【0022】

また、本開示においては、前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理を実行していない場合、その旨を通知する第２の通知工程をさらに有することとしてもよい。これによれば、上記と同様、作動確認処理を実行し忘れることをより確実に防止することが可能である。

【0023】

また、本開示においては、前記抽出工程においては、実際の前記不良を指定することによって、類似の前記不良の画像を抽出可能であることとしてもよい。これによれば、抽出工程において不良の画像が容易に抽出される。

【0024】

また、本開示においては、前記検査領域においては、指定された前記不良の前記種類が誤っていた場合に、修正処理が実行されることとしてもよい。これによれば、作動確認処理の精度を向上させることが可能である。

【0025】

また、本開示においては、前記作動確認処理が設定通りに実行されなかった場合、その旨を記録する記録工程をさらに有することとしてもよい。これによれば、検査領域及び非検査領域の適切でない設定を参照し、設定の精度を向上させることが可能である。

【0026】

なお、上記の課題を解決するための手段は、可能な限り互いに組み合わせて用いることができる。

【発明の効果】

【0027】

本件開示の技術によれば、基板の表面における検査領域及び非検査領域の設定が適切にされているか否かを容易に確認することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】図１は、実施例に係る外観検査装置のハードウェア構成の一例を示す模式図である。

【図2】図２は、実施例に係る外観検査装置の機能構成の一例を示す模式図である。

【図3】図３Ａは、実施例に係る転写部による転写を具体的に説明するための模式図である。図３Ｂは、図３Ａに示す転写が良品基板の表面の一部においてされた場合に生成される転写画像である。図３Ｃは、図３Ａに示す転写が良品基板の表面の全体においてされた場合に生成される転写画像である。

【図4】図４Ａは、実施例に係る、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板を用いて、作動確認処理部が転写画像に対して作動確認処理を実行する方法を説明するための模式図である。図４Ｂは、図４Ａに示す作動確認処理の結果の表示部による表示態様を説明するための模式図である。

【図5】図５は、実施例に係る外観検査装置を用いた外観検査方法の手順を示すフローチャートである。

【図6】図６は、実施例に係る表示部の表示画面の一例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

〔適用例〕
以下に本開示の適用例の概要について一部の図面を用いて説明する。図１は、本適用例に係る外観検査装置１のハードウェア構成の一例を示す模式図である。本適用例に係る外観検査装置１は、制御装置１０、データ管理用サーバ１１、及び端末１２等が無線または有線の通信回線を介して相互に接続されて構成されている。

【0030】

制御装置１０は、検査対象である回路基板２（後述の図３Ａに図示）の撮像画像を生成し、処理することにより、回路基板２の表面の状態が良好であるか不良であるかを判定する。制御装置１０は、ハードウェア構成として、例えばＣＰＵ等のプロセッサや、ＲＡＭやＲＯＭ等の記憶装置や、外部装置とのインターフェース等を含む。

【0031】

データ管理用サーバ１１には、検査プログラムや回路基板２の表面における検査項目及び検査基準を定めた検査内容データが保存されるほか、端末１２における処理に必要な様々な情報が登録される。なお、端末１２は、据え置き型のものであっても可搬式のものであってもよい。

【0032】

図２は、本適用例に係る外観検査装置１の機能構成の一例を示す模式図である。本適用例に係る外観検査装置１の制御装置１０は、データベース１００、不良データベース１０１、抽出部１０２、及び転写部１０３等を備えて構成される。また、外観検査装置１の端末１２は、表示部１２０等を備えて構成される。本適用例においては、外観検査装置１を用いて回路基板２の外観検査を実行する準備として、回路基板２の表面において検査領域及び非検査領域を設定する。そして、その設定が適切にされているか否かを確認するために、不良を含む回路基板２の画像を疑似的に生成する。

【0033】

データベース１００には、撮像された良品の回路基板２（以下、単に良品基板ともいう）の画像が蓄積される。また、不良データベース１０１には、撮像された不良品の回路基板２（以下、単に不良品基板ともいう）の画像が蓄積される。上記の、不良を含む回路基板２の画像を疑似的に生成するにあたっては、最初に、抽出部１０２が、不良データベース１０１に蓄積された不良品基板の画像から、不良品基板における不良の画像を抽出する。なお、不良の種類の具体例については、図３Ａを用いて後述する。転写部１０３は、抽出部１０２が抽出した不良の画像を、データベース１００に蓄積された良品基板の画像に転写し、転写画像４（後述の図３Ｂ及び図３Ｃに図示）を生成する。ここで、転写画像４は、上記の、疑似的に生成された、不良を含む回路基板２の画像に相当する。

【0034】

作動確認処理部１０４は、回路基板２の表面において設定された検査領域及び非検査領域を用いて、転写部１０３が生成した転写画像４の外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する処理を実行する。なお、以下においては、この処理、すなわち、検査領域及び非検査領域の設定が適切にされているか否かの確認処理を、作動確認処理という。

【0035】

表示部１２０は、例えば端末１２のディスプレイ等であり、データベース１００に蓄積された良品基板の画像、不良データベース１０１に蓄積された不良品基板の画像、抽出部１０２が抽出した不良の画像、及び転写部１０３が生成した転写画像４の少なくとも何れかを、外観検査装置１のユーザが認識可能に表示する。表示部１２０によって、転写画像４、または転写画像４に係る情報を容易に把握することが可能となる。なお、表示部１２０の表示画面の一例については、後述の図６に示す。

【0036】

転写部１０３による転写について、図３Ａを用いて具体的に説明する。上記の通り、良品基板の画像を元画像として、不良の画像を良品基板の画像に転写する。本適用例においては、不良の種類としてはんだボール３を例示するが、はんだボール３の他に、ブリッジや汚れや異物等であってもよい。なお、良品基板の種類と、抽出部１０２が不良の画像を抽出した不良品基板の種類は同じであるとする。

【0037】

図３Ｂは、図３Ａに示す転写が良品基板の画像の一部においてされた場合に生成される転写画像４である。図３Ｂに示す破線で囲まれた部分は、複数のはんだボール３の画像が
部分的に転写された箇所を示す。検査領域及び非検査領域が設定された回路基板２においては、この破線で囲まれた部分は、検査領域に相当し、検査領域が適切に設定されていれば、はんだボール３が検出される。

【0038】

また、図３Ｃは、図３Ａに示す転写が良品基板の画像の全体においてされた場合に生成される転写画像４である。図３Ｃに示す破線で囲まれた部分も、はんだボール３の画像が転写された箇所を示す。図３Ｃにおいては、良品基板の画像の全体にはんだボール３の画像が転写されているため、検査領域及び非検査領域が設定された回路基板２における非検査領域に相当する箇所にも、はんだボール３の画像が転写されていることとなる。この箇所においてはんだボール３が検出された場合には、非検査領域が適切に設定されていないことを示す。

【0039】

すなわち、図３Ｂに示す様に、はんだボール３の画像を部分的に転写して生成した転写画像４は、検査領域が適切に設定されているか否かの確認に用いるのに適している。図３Ｃに示す様に、はんだボール３の画像を全体的に転写して生成した転写画像４は、非検査領域が適切に設定されているか否かの確認に用いるのに適している。本適用例において、転写部１０３が、図３Ｂに示す様な転写画像４と、図３Ｃに示す様な転写画像４のいずれを生成するか、指定することが可能である。また、いずれの転写画像４を生成する場合も、はんだボール３の画像を一括して転写することが可能である。ここで、本開示における指定されたパターンとは、図３Ｂ及び図３Ｃに示す様な転写のパターンのことを示す。

【0040】

図２を用いて説明した通りに、転写画像４、または転写画像４に係る情報を表示部１２０が表示するまでのフローについて、図５に示すフローチャートの一部（ステップＳ１０１乃至Ｓ１０３）を用いて簡単に説明する。最初に、ステップＳ１０１において、抽出部１０２は、不良データベース１０１に蓄積された不良品基板の画像から、不良品基板における不良の画像を抽出する。なお、以下のフローにおいては、上記の通り、不良としてはんだボール３を例示する。ここで、ステップＳ１０１は、本開示における抽出工程に相当する。

【0041】

次にステップＳ１０２において、転写部１０３は、ステップＳ１０１において抽出したはんだボール３の画像を、良品基板の画像に転写し、図３Ｂ及び図３Ｃに示す様な転写画像４を生成する。ここで、ステップＳ１０２は、本開示における転写工程に相当する。最後にステップＳ１０３において、表示部１２０は、データベース１００に蓄積された良品基板の画像、不良データベース１０１に蓄積された不良品基板の画像、ステップＳ１０１において抽出されたはんだボール３の画像、及びステップＳ１０２において生成された転写画像４の少なくとも何れかを表示する。ここで、ステップＳ１０３は、本開示における表示工程に相当する。なお、図５に示すフローチャートの詳細については、後述の実施例で説明する。

【0042】

以上の様に、図２に示す機能構成を有する外観検査装置１を用いて、図５に示すフローを実行することによって、作動確認処理を容易に実行することが可能である。また、容易に実行することが可能であるとは、例えば新たな品番の回路基板２が増えた場合であっても、熟練者以外の者も転写画像４を容易に生成し、作動確認処理を実行することが可能であることを意味する。また、転写画像４の生成に要する工数を短縮し、作動確認処理を即時に実行することが可能であることも意味する。

【0043】

〔実施例〕
以下、本開示の実施例に係る外観検査装置１、及び外観検査装置１を用いた外観検査方法について、図面（上記の適用例で一旦説明した図面も含む）を用いてより詳細に説明する。なお、本開示の実施例に係る外観検査装置１、及び外観検査方法は、以下の構成に限
定する趣旨のものではない。

【0044】

＜構成＞
ここで、適用例において説明した図１に示すハードウェア構成の機能について、再度図２を用いて詳細に説明する。なお、本実施例に係る外観検査装置１は、適用例において説明した外観検査装置１と同様の構成を有するため、適用例において説明した内容については、詳細な説明は省略する。また、本明細書では同一の構成要素については同一の符号を用いて説明を行う。

【0045】

図２に示す様に、本実施例に係る外観検査装置１の制御装置１０は、適用例において説明した構成の他、記録部１０５を備えて構成される。記録部１０５は、作動確認処理部１０４による作動確認処理が設定通りに実行されていなかった場合、その旨を記録する。これによって、検査領域及び非検査領域の適切でない設定を参照し、設定の精度を向上させることが可能である。また、適切でない設定をサンプルとして提供することも可能である。

【0046】

また、表示部１２０は、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板２に対して、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行した場合、その旨を表示することが可能である。また、表示部１２０は、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板２に対して、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行していない場合にも、その旨を表示することが可能である。なお、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行した旨、及び実行していない旨を外観検査装置１のユーザに通知する方法としては、上記の様に表示部１２０が表示することに限られず、例えば外観検査装置１に取り付けられたランプ（図示略）が点灯または点滅してもよく、あるいは作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行していない旨を、アラーム音を鳴らすことによって通知してもよい。

【0047】

＜外観検査方法＞
ここで、図３Ａの説明に戻る。上記の通り、転写部１０３がはんだボール３の画像を転写する前に、抽出部１０２は、不良画像からはんだボール３の画像を抽出する。このとき、表示部１２０における表示画面において、不良の種類をはんだボール３に設定し、その設定に基づいて、はんだボール３、またははんだボール３と類似の画像を自動的に抽出するようにしてもよい。あるいは、不良画像において、転写の対象とするはんだボール３の周辺を手動で指定し、その指定に基づいてはんだボール３の画像を抽出するようにしてもよい。これによって、抽出部１０２によってはんだボール３の画像が容易に抽出される。

【0048】

図４Ａは、実施例に係る、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板２を用いて、転写画像４に対して作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行する方法を説明するための模式図である。回路基板２において検査領域を設定するにあたっては、検査領域の広さと位置に加えて、検出対象とする不良の種類を指定することが可能である。図４Ａには、はんだボール３を検出対象とする検査領域Ｘと、異物（不良の種類の一例）を検出対象とする検査領域Ｙを、回路基板２に設定する例を示す。なお、検査領域Ｘ及び検査領域Ｙ以外の領域は、非検査領域であるとする。そして、この回路基板２を用いて、はんだボール３の画像を全体的に転写して生成した転写画像４（図３Ｃに示す転写画像４と同じ）の外観検査を実行する。

【0049】

図４Ｂは、図４Ａに示す作動確認処理の結果の表示部１２０による表示態様を説明するための模式図である。図４Ｂにおいては、外観検査が設定通りに実行されなかった箇所（すなわち、作動確認処理を実行した結果、検査領域または非検査領域の設定が不適切とされた箇所）を、所定のマークとして十字のマークで示している。このような箇所として、破線ｘで囲んだ箇所においては、非検査領域に含まれるにもかかわらずはんだボール３が
検出されている。また、破線ｙで囲んだ箇所においては、異物を検出対象とする検査領域Ｙに含まれるにもかかわらずはんだボール３が検出されている。以上の様に、外観検査が設定通りに実行されないエラーは二通りあり、これらのエラーに基づき、検査領域または非検査領域の設定が不適切であることを明確に把握することが可能である。なお、所定のマークは十字のマークに限られず、また、外観検査が設定通りに実行された箇所についても、所定のマークと異なるマークで表示されるようにしてもよい。

【0050】

また、検査領域Ｘ及び検査領域Ｙの少なくとも一方においては、検出対象として指定された不良の種類が誤っていた場合に、修正処理が実行されるようにしてもよい。ここで、修正処理とは、例えば検査領域Ｘにおいて、検出対象としてはんだボール３以外の不良を指定した場合、正しい検出対象としてはんだボール３以外を提示することを意味する。あるいは、正しい検出対象がはんだボール３であることが明らかな場合は、検出対象として自動的にはんだボール３が指定されるようにしてもよい。これによって、作動確認処理の精度を向上させることが可能である。

【0051】

＜フローチャート＞
ここで、図５の説明に戻る。なお、ステップＳ１０１乃至Ｓ１０３については、上記の適用例において説明したため、再度の説明を省略する。本フローチャートでは、ステップＳ１０１乃至Ｓ１０３は、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行するための準備を行う工程に相当する。

【0052】

ステップＳ１０４においては、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板２に対して、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行した場合、その旨を通知する。ここで、ステップＳ１０４は、本開示における第１の通知工程に相当する。また、ステップＳ１０５においては、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板２に対して、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行していない場合、その旨を通知する。ここで、ステップＳ１０５は、本開示における第２の通知工程に相当する。

【0053】

なお、ステップＳ１０４及びＳ１０５が実行される順番は不問であり、また、いずれか一のステップが実行されてもよい。また、ステップＳ１０４及びＳ１０５が実行される態様は、表示部１２０における表示であってもよい。すなわち、ステップＳ１０４及びＳ１０５は、ステップＳ１０３に含まれていてもよい。

【0054】

また、ステップＳ１０６においては、図４Ｂに示した様に、作動確認処理部１０４による作動確認処理が設定通りに実行されなかった場合、記録部１０５は、その旨を記録する。ここで、ステップＳ１０６は、本開示における記録工程に相当する。

【0055】

＜表示画面＞
図６は、本実施例に係る表示部１２０の表示画面の一例を示す説明図である。破線ａで囲んだ範囲においては、転写画像４が表示される。なお、この転写画像４は、一例として図３Ｃに示す転写画像４と同じであるが、図３Ｂに示す転写画像４と同じであってもよい。破線ｂで囲んだ範囲においては、良品基板の画像に転写する不良の画像の種類を選択することが可能である。また、「はんだボールサイズ５０μｍ」及び「はんだボールサイズ３０μｍ」といった様に、同種の不良であってもサイズを選択することが可能であってもよい。

【0056】

破線ｃで囲んだ範囲においては、破線ｂで囲んだ範囲において選択した不良をどのように転写するか設定することが可能である。具体的には、まず良品基板の画像のどの領域に不良の画像を転写するかを設定する。図６に示す例では、良品基板の画像全体にはんだボール３の画像を転写している。次に、転写する不良の画像を良品基板の画像においてどの
ように配置するかを設定する。図６に示す例では、はんだボール３の画像を格子状に配置している。

【0057】

破線ｄで囲んだ範囲においては、メッセージが表示される。例えば、上記の通り、検査領域及び非検査領域を設定した回路基板２に対して、作動確認処理部１０４が作動確認処理を実行していない場合には、その旨を示すメッセージが表示される。また、図４Ｂにおいて説明したように、検査領域において、検査対象として設定された不良と異なる種類の不良が検出された場合には、その旨を示すメッセージが表示される。以上の様に、図６に示す表示画面によって、ユーザは、入力情報を設定しつつ、その入力情報に伴って変化する転写画像４の表示を即時に確認することが可能となる。

【0058】

＜付記１＞
基板（２）の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置（１）であって、
良品基板の画像を蓄積するデータベース（１００）と、
不良品基板の画像を蓄積する不良データベース（１０１）と、
前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像から、前記不良品基板における不良（３）の画像を抽出する抽出部（１０２）と、
前記抽出部が抽出した前記不良の画像を、前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像に転写し、転写画像（４）を生成する転写部（１０３）と、
前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像、前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像、前記抽出部が抽出した前記不良の画像、及び前記転写部が生成した前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部（１２０）と、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写部が生成した前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部（１０４）と、を備え、
前記転写部は、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査装置（１）。

【0059】

＜付記２＞
基板（２）の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査方法であって、
不良品基板の画像から、当該不良品基板における不良（３）の画像を抽出する抽出工程（ステップＳ１０１）と、
前記抽出工程において抽出された前記不良の画像を、良品基板の画像に転写し、転写画像（４）を生成する転写工程（ステップＳ１０２）と、
前記良品基板の画像、前記不良品基板の画像、前記抽出工程において抽出された前記不良の画像、及び前記転写工程において生成された前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示工程（ステップＳ１０３）と、を有し、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写工程において生成された前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行することが可能であり、
前記転写工程においては、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査方法。

【符号の説明】

【0060】

１・・・・・外観検査装置
１０・・・・制御装置
１００・・・データベース
１０１・・・不良データベース
１０２・・・抽出部
１０３・・・転写部
１０４・・・作動確認処理部
１０５・・・記録部
１１・・・・データ管理用サーバ
１２・・・・端末
１２０・・・表示部
２・・・・・回路基板
３・・・・・はんだボール
４・・・・・転写画像

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】