特開 2024-128418 ポンプおよび吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024128418

(43)【公開日】2024-09-24

(54)【発明の名称】ポンプおよび吐出装置

(51)【国際特許分類】

   F04B 43/12 20060101AFI20240913BHJP

   F04C 5/00 20060101ALI20240913BHJP

【ＦＩ】

F04B43/12 A

F04B43/12 Z

F04C5/00 341F

F04C5/00 341Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023037385

(22)【出願日】2023-03-10

(71)【出願人】

【識別番号】000250502

【氏名又は名称】理想科学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100111235

【弁理士】

【氏名又は名称】原 裕子

(74)【代理人】

【識別番号】100170575

【弁理士】

【氏名又は名称】森 太士

(72)【発明者】

【氏名】久保田 睦

【テーマコード（参考）】

3H077

【Ｆターム（参考）】

3H077CC04

3H077EE04

3H077FF15

3H077FF60

(57)【要約】

【課題】占有スペースの大型化および駆動制御の複雑化を抑えつつ脈動を低減できるポンプ、およびこのポンプを用いた吐出装置を提供する。
【解決手段】チューブ１２は、液体が流入する流入端１２ａ、および液体が流出する流出端１２ｂを有する。ローラ１３は、チューブ１２の円弧部１２ｃにおいてチューブ１２を押し潰す。支持部材１４およびモータ１５は、チューブ１２の流入端１２ａ側から流出端１２ｂ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３を移動させることで、流入端１２ａから流出端１２ｂへ液体を送液する。バイパス経路１６は、チューブ１２の流入端１２ａと流入端１２ａ側における円弧部１２ｃの端との間に一端１６ａが接続され、チューブ１２の流出端１２ｂ側における円弧部１２ｃの端と流出端１２ｂとの間に他端１６ｂが接続されている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体が流入する流入端および液体が流出する流出端を有するチューブと、
前記チューブの前記流入端と前記流出端との間の一部の区間において前記チューブを押し潰す押圧部と、
前記チューブの前記流入端側から前記流出端側へ前記一部の区間に沿って前記押圧部を移動させることで、前記流入端から前記流出端へ液体を送液する駆動部と、
前記チューブの前記流入端と前記流入端側における前記一部の区間の端との間に一端が接続され、前記チューブの前記流出端側における前記一部の区間の端と前記流出端との間に他端が接続されたバイパス経路と
を備えることを特徴とするポンプ。

【請求項2】

前記バイパス経路に配置され、前記一端から前記他端に向かう方向にのみ液体の流れを許容する逆止弁をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のポンプ。

【請求項3】

前記流入端と、前記チューブと前記バイパス経路の前記一端との接続地点との間において前記チューブに配置され、前記流入端から前記流出端に向かう方向にのみ液体の流れを許容する流入側逆止弁と、
前記チューブと前記バイパス経路の前記他端との接続地点と、前記流出端との間において前記チューブに配置され、前記流入端から前記流出端に向かう方向にのみ液体の流れを許容する流出側逆止弁とをさらに備え、
前記駆動部は、前記チューブの前記流出端側から前記流入端側へ前記一部の区間に沿って前記押圧部を移動させることで、前記チューブおよび前記バイパス経路において液体を循環させることを特徴とする請求項１に記載のポンプ。

【請求項4】

前記チューブおよび前記バイパス経路において循環する液体の温度調整を行う温度調整部をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のポンプ。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれか１項に記載のポンプと、
前記ポンプにより送液された液体を吐出する吐出部と
を備えることを特徴とする吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ポンプおよび吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体を吐出する吐出部へ液体を送液するためにチューブポンプを用いた吐出装置が知られている。

【0003】

チューブポンプは、その原理上、脈動が発生する。このため、チューブポンプを用いた吐出装置では、チューブポンプの脈動による吐出量のバラつきが生じる。

【0004】

これに関し、特許文献１には、２つのチューブポンプを、チューブを押圧するローラの位相を互いにずらして連結し、それぞれの脈動を打ち消し合うように各チューブポンプを駆動させることで、脈動の影響を低減する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００４－１００６４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１の技術では、チューブポンプおよびその駆動回路が２セット分必要となるため、占有スペースの大型化および駆動制御の複雑化を招く。

【0007】

本発明は上記に鑑みてなされたもので、占有スペースの大型化および駆動制御の複雑化を抑えつつ脈動を低減できるポンプ、およびこのポンプを用いた吐出装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様によれば、液体が流入する流入端および液体が流出する流出端を有するチューブと、前記チューブの前記流入端と前記流出端との間の一部の区間において前記チューブを押し潰す押圧部と、前記チューブの前記流入端側から前記流出端側へ前記一部の区間に沿って前記押圧部を移動させることで、前記流入端から前記流出端へ液体を送液する駆動部と、前記チューブの前記流入端と前記流入端側における前記一部の区間の端との間に一端が接続され、前記チューブの前記流出端側における前記一部の区間の端と前記流出端との間に他端が接続されたバイパス経路とを備えることを特徴とするポンプが提供される。

【0009】

本発明の他の態様によれば、上記本発明のポンプと、前記ポンプにより送液された液体を吐出する吐出部とを備えることを特徴とする吐出装置が提供される。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、占有スペースの大型化および駆動制御の複雑化を抑えつつ脈動を低減できるポンプ、およびこのポンプを用いた吐出装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施の形態に係る吐出装置の概略構成図である。

【図2】図１に示す吐出装置のポンプの概略構成図である。

【図3】図２に示すポンプの逆止弁の概略構成図であり、（ａ）は、閉状態における図、（ｂ）は、開状態における図である。

【図4】（ａ）～（ｄ）は、吐出部に液体を送液する際のポンプの動作の説明図である。

【図5】（ａ）は、ローラがチューブを押し潰している状態の説明図である。（ｂ）は、ローラがチューブから離れる際に負圧が発生することの説明図である。

【図6】ポンプの脈動の説明図である。

【図7】（ａ）～（ｄ）は、ポンプにおいて液体を循環させる動作の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。各図面を通じて同一もしくは同等の部位や構成要素には、同一もしくは同等の符号を付している。

【0013】

以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置等を例示するものであって、この発明の技術的思想は、各構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

【0014】

図１は、本発明の実施の形態に係る吐出装置の概略構成図である。図２は、図１に示す吐出装置のポンプの概略構成図である。図３は、図２に示すポンプの逆止弁の概略構成図であり、図３（ａ）は、閉状態における図、図３（ｂ）は、開状態における図である。

【0015】

図１に示すように、本実施の形態に係る吐出装置１は、吐出部２と、液体貯蔵部３と、送液チューブ４Ａ，４Ｂと、ポンプ５と、ワークテーブル６と、ＸＹＺステージ７と、制御部８とを備える。

【0016】

吐出部２は、ワークテーブル６に載置されたワーク９に接着剤等の液体を吐出する。

【0017】

液体貯蔵部３は、吐出部２が吐出する液体を貯蔵している。

【0018】

送液チューブ４Ａは、液体貯蔵部３とポンプ５とを接続する。送液チューブ４Ａの一端は液体貯蔵部３に接続され、他端は後述するポンプ５の継手１８Ａを介してチューブ１２の流入端１２ａに接続されている。

【0019】

送液チューブ４Ｂは、ポンプ５と吐出部２とを接続する。送液チューブ４Ｂの一端は後述するポンプ５の継手１８Ｂを介してチューブ１２の流出端１２ｂに接続され、他端は吐出部２に接続されている。

【0020】

ポンプ５は、液体貯蔵部３の液体を吐出部２へ送液する。ポンプ５は、チューブポンプからなる。

【0021】

ポンプ５は、フレーム１１と、チューブ１２と、４つのローラ（押圧部に相当）１３と、支持部材１４と、モータ１５と、バイパス経路１６と、逆止弁１７Ａ～１７Ｃと、継手１８Ａ，１８Ｂと、温度調整部１９とを備える。

【0022】

フレーム１１は、チューブ１２、４つのローラ１３、支持部材１４、およびバイパス経路１６を収容する。フレーム１１は、その表面を掘り下げて形成された凹部１１ａを有し、凹部１１ａにチューブ１２、４つのローラ１３、支持部材１４、およびバイパス経路１６が収容されている。

【0023】

凹部１１ａは、平面視にて半円の円弧状の支持面１１ｂを有する。支持面１１ｂは、後述するチューブ１２の円弧部（一部の区間に相当）１２ｃを形成するためのものである。

【0024】

チューブ１２は、ポンプ５が送液する液体の流路を形成する。チューブ１２は、ゴム等からなり、可撓性を有する。チューブ１２は、液体が流入する流入端１２ａ、および液体が流出する流出端１２ｂを有する。流入端１２ａは、継手１８Ａを介して送液チューブ４Ａに接続されている。流出端１２ｂは、継手１８Ｂを介して送液チューブ４Ｂに接続されている。

【0025】

また、チューブ１２は、流入端１２ａと流出端１２ｂとの間の一部において、フレーム１１の支持面１１ｂに沿って半円の円弧状に配設された円弧部１２ｃを有する。すなわち、チューブ１２は、Ｕ字形状に配設されている。

【0026】

ローラ１３は、チューブ１２の円弧部１２ｃにおいてチューブ１２を押し潰す。

【0027】

支持部材１４は、４つのローラ１３を回転可能に支持する。支持部材１４は、回転軸１４ａを中心に、図２における反時計回り方向である正転方向、および時計回り方向である逆転方向に回転可能である。支持部材１４は、回転軸１４ａを中心に周方向に９０°間隔で配置された４本のアーム１４ｂを有する。各アーム１４ｂの先端にローラ１３が配置されている。

【0028】

支持部材１４が正転方向に回転することで、チューブ１２の流入端１２ａ側から流出端１２ｂ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３がチューブ１２を押し潰しつつ移動する。これにより、チューブ１２の流入端１２ａから流出端１２ｂへ液体が送液される。また、支持部材１４が逆転方向に回転することで、チューブ１２の流出端１２ｂ側から流入端１２ａ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３がチューブ１２を押し潰しつつ移動する。これにより、後述するように、チューブ１２およびバイパス経路１６において液体が循環する。

【0029】

モータ１５は、支持部材１４を正転方向および逆転方向に回転させる。

【0030】

なお、支持部材１４およびモータ１５により、チューブ１２の円弧部１２ｃに沿ってローラ１３を移動させる駆動部が構成される。

【0031】

バイパス経路１６は、チューブ１２の流入端１２ａ近傍と流出端１２ｂ近傍との間の、円弧部１２ｃを経由しない液体の流路を形成する。バイパス経路１６の一端１６ａは、チューブ１２の流入端１２ａと流入端１２ａ側における円弧部１２ｃの端との間に接続され、他端１６ｂは、チューブ１２の流出端１２ｂ側における円弧部１２ｃの端と流出端１２ｂとの間に接続されている。

【0032】

逆止弁１７Ａは、バイパス経路１６に配置され、一端１６ａから他端１６ｂに向かう方向にのみ液体の流れを許容し、逆流を防止する。

【0033】

逆止弁１７Ｂ（流入側逆止弁に相当）は、流入端１２ａと、チューブ１２とバイパス経路１６の一端１６ａとの接続地点との間においてチューブ１２に配置されている。逆止弁１７Ｂは、流入端１２ａから流出端１２ｂに向かう方向にのみ液体の流れを許容し、逆流を防止する。

【0034】

逆止弁１７Ｃ（流出側逆止弁に相当）は、チューブ１２とバイパス経路１６の他端１６ｂとの接続地点と、流出端１２ｂとの間においてチューブ１２に配置されている。逆止弁１７Ｃは、流入端１２ａから流出端１２ｂに向かう方向にのみ液体の流れを許容し、逆流を防止する。

【0035】

逆止弁１７（１７Ａ～１７Ｃ）は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、弁筐体２１と、弁座２２と、弁体２３と、バネ２４とを備える。

【0036】

弁筐体２１は、弁座２２、弁体２３、およびバネ２４を収容している。弁筐体２１は、弁筐体２１内に液体を流入させる流入口２１ａと、弁筐体２１から液体を流出させる流出口２１ｂとを有する。

【0037】

逆止弁１７Ａの弁筐体２１は、流入口２１ａおよび流出口２１ｂを介してバイパス経路１６に連通されている。逆止弁１７Ａの弁筐体２１は、流入口２１ａがバイパス経路１６の一端１６ａ側、流出口２１ｂがバイパス経路１６の他端１６ｂ側に配置される向きで設置されている。

【0038】

逆止弁１７Ｂ，１７Ｃの弁筐体２１は、流入口２１ａおよび流出口２１ｂを介してチューブ１２に連通されている。逆止弁１７Ｂ，１７Ｃの弁筐体２１は、流入口２１ａがチューブ１２の流入端１２ａ側、流出口２１ｂがチューブ１２の流出端１２ｂ側に配置される向きで設置されている。

【0039】

弁座２２は、弁体２３が着座可能な部材である。弁座２２は、着座した弁体２３により閉じられる弁口２２ａを有する。

【0040】

弁体２３は、弁口２２ａを開閉する部材である。弁体２３は、弁筐体２１内において弁座２２より流出口２１ｂ側に配置されている。

【0041】

バネ２４は、弁体２３を弁座２２に着座する方向に付勢する。

【0042】

逆止弁１７は、図３（ａ）に示す閉状態では、弁体２３が弁座２２に着座し、弁口２２ａを閉じている。この閉状態で流出口２１ｂから液体が流入しても、弁体２３が弁座２２に着座した状態が維持され、流入口２１ａ側へ液体は流れない。

【0043】

流入口２１ａから弁筐体２１内に液体が流入すると、液体の流入圧で弁体２３がバネ２４の付勢力に抗して弁座２２から離れる方向に移動し、弁口２２ａが開く。これにより、逆止弁１７が図３（ｂ）に示す開状態となり、流入口２１ａ側から流出口２１ｂ側へ液体が流れる。

【0044】

ここで、逆止弁１７Ａにおいては、後述するように、ローラ１３がチューブ１２から離れる際にチューブ１２内に負圧が発生すると、弁体２３が弁座２２から離れて弁口２２ａが開く。逆止弁１７Ａのバネ２４としては、上記の負圧により弁体２３が弁座２２から離れて弁口２２ａが開くことができるような弾性力を有するものが用いられている。

【0045】

継手１８Ａ，１８Ｂは、それぞれ送液チューブ４Ａ，４Ｂとチューブ１２とを接続する。

【0046】

温度調整部１９は、温度調整のための液体の循環中において、チューブ１２およびバイパス経路１６において循環する液体の温度調整を行う。温度調整部１９は、加温装置および冷却装置（いずれも図示せず）を有する。本実施の形態では、温度調整部１９は、チューブ１２の円弧部１２ｃの近傍に配置されている。

【0047】

ワークテーブル６は、液体の吐出対象物であるワーク９が載置されるテーブルである。ワークテーブル６は、後述するＹステージ３２に設置されている。

【0048】

ＸＹＺステージ７は、吐出部２とワークテーブル６上のワーク９とを、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に相対的に移動させる。ＸＹＺステージ７は、Ｘステージ３１と、Ｙステージ３２と、Ｚステージ３３とを備える。

【0049】

Ｘステージ３１は、Ｚステージ３３を水平方向であるＸ方向に移動させる。Ｙステージ３２は、ワークテーブル６をＸ方向に直交する水平方向であるＹ方向に移動させる。Ｚステージ３３は、吐出部２を鉛直方向であるＺ方向に移動させる。Ｚステージ３３は、Ｘステージ３１に設置されている。

【0050】

制御部８は、吐出装置１の各部の動作を制御する。制御部８は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等を備えて構成される。

【0051】

次に、吐出装置１における液体の吐出時の動作について説明する。

【0052】

吐出装置１において液体を吐出する際、制御部８は、吐出部２に液体を送液するようポンプ５を駆動させる。具体的には、制御部８は、支持部材１４を正転方向に回転させる。

【0053】

これにより、チューブ１２の流入端１２ａ側から流出端１２ｂ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３がチューブ１２を押し潰しつつ移動することで、チューブ１２の流入端１２ａから流出端１２ｂへ液体が送液される。この結果、液体貯蔵部３から吐出部２へ液体が送液される。

【0054】

そして、制御部８は、ワーク９に液体を吐出するよう吐出部２およびＸＹＺステージ７を制御する。

【0055】

ここで、吐出部２に液体を送液する際のポンプ５の動作の詳細を説明する。

【0056】

上述のように、吐出部２に液体を送液する際、ポンプ５において、支持部材１４が正転方向に回転する。これにより、図４（ａ）～（ｄ）に示すように、チューブ１２の流入端１２ａ側から流出端１２ｂ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３がチューブ１２を押し潰しつつ移動することで、チューブ１２の流入端１２ａから流出端１２ｂへ液体が送液される。

【0057】

ここで、ローラ１３がチューブ１２を押し潰している状態では、図５（ａ）に示すように、液体を送る方向に正圧が発生している。

【0058】

一方、ローラ１３がチューブ１２から離れる際には、図５（ｂ）に示すように、押し潰されていた状態から元の状態に戻るチューブ１２の復元力により、液体を送る方向に対して負圧が発生する。

【0059】

すなわち、ローラ１３が円弧部１２ｃの流出端１２ｂ側の端を通過してチューブ１２から離れる際に、当該ローラ１３によるチューブ１２の押圧が解除され始めると、図４（ｃ）に示すように、当該ローラ１３の流出端１２ｂ側近傍において負圧が発生する。

【0060】

このように負圧が発生すると、バイパス経路１６の逆止弁１７Ａが開き、図４（ｄ）に示すように、バイパス経路１６の一端１６ａから他端１６ｂに向かう方向に液体が流れる。そして、バイパス経路１６の他端１６ｂからチューブ１２に液体が流入することで、ローラ１３がチューブ１２から離れる際に発生した負圧が緩和される。また、バイパス経路１６の他端１６ｂからチューブ１２に流入した液体は、流出端１２ｂから流出する。

【0061】

ここで、本実施の形態とは異なり、バイパス経路１６がない構成では、上述の負圧の発生により、流出端１２ｂ側から負圧が発生した領域に液体が引き込まれることで、瞬間的に液体の流量が低下する。このため、図６に示すように液体の流量が周期的に低下する脈動が発生する。

【0062】

これに対し、本実施の形態のポンプ５では、上述のように、バイパス経路１６の他端１６ｂからチューブ１２に液体が流入することで、負圧が緩和されるとともに、流出端１２ｂへ流れる液体が補充される。これにより、ローラ１３がチューブ１２から離れる際の負圧の発生による流量の低下が抑制されるので、脈動が低減する。

【0063】

このようにポンプ５における脈動が低減することにより、吐出部２による液体の吐出量のバラつきが低減する。

【0064】

また、本実施の形態とは異なり、バイパス経路１６に逆止弁１７Ａが配置されていない構成では、液体を送液する動作中において、流入端１２ａと流出端１２ｂとの圧力の瞬間的なバランスによっては、バイパス経路１６の他端１６ｂから一端１６ａへの液体の流れが生じる可能性がある。そして、このような液体の流れが生じることで、ポンプ５が送液する液体の流量が変動するおそれがある。

【0065】

これに対し、本実施の形態では、逆止弁１７Ａが設けられていることで、バイパス経路１６の他端１６ｂから一端１６ａへの液体の流れが防止されるので、上述のような流量の変動が抑えられる。

【0066】

次に、ポンプ５において液体を循環させる動作について説明する。

【0067】

ポンプ５における液体の循環は、例えば、チューブ１２を洗浄する場合、吐出部２に送液する液体の温度調整を行う場合、および、液体の撹拌を行う場合に行われる。

【0068】

ポンプ５における液体の循環を行う際、制御部８は、支持部材１４を逆転方向に回転させる。

【0069】

これにより、図７（ａ）～（ｄ）に示すように、チューブ１２の流出端１２ｂ側から流入端１２ａ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３がチューブ１２を押し潰しつつ移動する。これにより、チューブ１２の流出端１２ｂ側から流入端１２ａ側へ液体が流れる。

【0070】

円弧部１２ｃから流入端１２ａへ向かって流れる液体は、逆止弁１７Ｂを通過できないため、バイパス経路１６に一端１６ａから流入する。これにより、バイパス経路１６の逆止弁１７Ａが開き、バイパス経路１６の一端１６ａから他端１６ｂに向かう方向に液体が流れる。バイパス経路１６の他端１６ｂからチューブ１２に流入した液体は、逆止弁１７Ｃにより流出端１２ｂ側への進行が妨げられるため、円弧部１２ｃ側へ流れる。

【0071】

これにより、図７に示すように、チューブ１２およびバイパス経路１６において、図７における時計回り方向に液体が循環する。

【0072】

ここで、チューブ１２の洗浄のための液体の循環を行う場合には、循環させる液体として、洗浄液を用いる。チューブ１２の洗浄は、例えば、ポンプ５が吐出部２に送液する液体として用いた接着剤等が固化してチューブ１２が詰まらないように長期停止前等に行われる。

【0073】

チューブ１２の洗浄のための液体の循環を行う場合、洗浄液を貯蔵した液体貯蔵部３を送液チューブ４Ａに接続した状態で、制御部８は、支持部材１４を正転方向に回転させることで、チューブ１２に洗浄液を導入する。

【0074】

次いで、制御部８は、支持部材１４を所定時間、逆転方向に回転させる。これにより、チューブ１２およびバイパス経路１６において洗浄液が循環することで、チューブ１２が洗浄される。この後、支持部材１４を再び正転方向に回転させることで、洗浄液はポンプ５から排出される。

【0075】

温度調整のための液体の循環を行う場合には、制御部８は、支持部材１４を逆転方向に回転させてチューブ１２およびバイパス経路１６において液体を循環させつつ、温度調整部１９を駆動させる。

【0076】

制御部８は、図示しない温度検出部により循環する液体の温度を検出し、液体の温度が目標の温度に到達すると、支持部材１４の回転を停止させる。そして、制御部８は、支持部材１４を正転方向に回転させることで、温度調整した液体を吐出部２に送液する。

【0077】

上述のように液体を循環させつつ温度調整を行うことで、温度調整部１９がチューブ１２の一部のみを加熱および冷却するものであっても、チューブ１２およびバイパス経路１６における循環経路全体の液体の温度調整を行うことができる。

【0078】

撹拌のための液体の循環は、例えば、ポンプ５が吐出部２に送液する液体として、顔料やフィラー等の成分の沈降が生じるおそれがある液体を用いている場合に行われる。

【0079】

この場合において、吐出部２への液体の送液を開始する際に、ポンプ５が停止している期間が所定期間以上である場合、制御部８は、支持部材１４を所定時間、逆転方向に回転させる。これにより、チューブ１２およびバイパス経路１６において液体が循環することで、液体の成分の沈降が生じていた場合でも、それが解消される。そして、制御部８は、支持部材１４を正転方向に回転させることで、液体を吐出部２に送液する。

【0080】

以上説明したように、吐出装置１のポンプ５は、チューブ１２の流入端１２ａと流入端１２ａ側における円弧部１２ｃの端との間に一端１６ａが接続され、チューブ１２の流出端１２ｂ側における円弧部１２ｃの端と流出端１２ｂとの間に他端１６ｂが接続されたバイパス経路１６を備える。このため、支持部材１４が正転方向に回転して吐出部２へ液体を送液する動作において、ローラ１３がチューブ１２から離れる際にチューブ１２内に負圧が発生するのに対し、バイパス経路１６の他端１６ｂからチューブ１２に液体が流入することで、負圧が緩和されるとともに、流出端１２ｂへ流れる液体が補充される。これにより、ローラ１３がチューブ１２から離れる際の負圧の発生による流量の低下を抑制でき、ポンプ５の脈動を低減できる。

【0081】

また、バイパス経路１６を設けても、ポンプ５の占有スペースの大型化は抑えられる。また、吐出部２へ液体を送液するための支持部材１４を回転させる制御以外の制御は不要であるため、駆動制御の複雑化は抑えられる。

【0082】

したがって、ポンプ５によれば、占有スペースの大型化および駆動制御の複雑化を抑えつつ脈動を低減できる。

【0083】

また、ポンプ５における脈動が低減することにより、吐出装置１における液体の吐出量のバラつきを低減できる。

【0084】

また、ポンプ５では、バイパス経路１６に逆止弁１７Ａが配置されているので、バイパス経路１６の他端１６ｂから一端１６ａへの液体の流れが防止される。このため、バイパス経路１６の他端１６ｂから一端１６ａへの液体の流れが生じることでポンプ５が送液する液体の流量が変動することを抑えることができる。

【0085】

また、ポンプ５は、流入端１２ａと、チューブ１２とバイパス経路１６の一端１６ａとの接続地点との間においてチューブ１２に配置され、流入端１２ａから流出端１２ｂに向かう方向にのみ液体の流れを許容する逆止弁１７Ｂと、チューブ１２とバイパス経路１６の他端１６ｂとの接続地点と、流出端１２ｂとの間においてチューブ１２に配置され、流入端１２ａから流出端１２ｂに向かう方向にのみ液体の流れを許容する逆止弁１７Ｃとを備える。そして、支持部材１４が反転方向に回転してチューブ１２の流出端１２ｂ側から流入端１２ａ側へ円弧部１２ｃに沿ってローラ１３を移動させることで、チューブ１２およびバイパス経路１６において液体を循環させる。これにより、チューブ１２の洗浄や液体の撹拌を行うことが可能となる。

【0086】

また、ポンプ５は、温度調整部１９を備えるので、チューブ１２およびバイパス経路１６において液体を循環させつつ、温度調整部１９を駆動させることで、液体の温度調整が可能である。

【0087】

なお、逆止弁１７Ａを省略してもよい。また、支持部材１４を反転方向に回転させてチューブ１２およびバイパス経路１６において液体を循環させる動作は行わない場合には、逆止弁１７Ｂ，１７Ｃも省略してもよい。

【0088】

また、上述した実施の形態では、ポンプ５が４つのローラ１３を備える構成を示したが、ローラ１３の数はこれに限らない。

【0089】

また、上述した実施の形態では、ポンプ５のローラ１３がチューブ１２の円弧部１２ｃを押し潰す構成を示したが、これに限らず、チューブの流入端と流出端との間の一部の区間において押圧部がチューブを押し潰すものであればよい。

【0090】

また、上述した実施の形態では、バネ２４により弁座２２に付勢された弁体２３が弁口２２ａを開閉する逆止弁１７を用いたが、他の構造の逆止弁を用いてもよい。

【0091】

本発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

【0092】

［付記］
本出願は、以下の発明を開示する。

【0093】

（付記１）
液体が流入する流入端および液体が流出する流出端を有するチューブと、
前記チューブの前記流入端と前記流出端との間の一部の区間において前記チューブを押し潰す押圧部と、
前記チューブの前記流入端側から前記流出端側へ前記一部の区間に沿って前記押圧部を移動させることで、前記流入端から前記流出端へ液体を送液する駆動部と、
前記チューブの前記流入端と前記流入端側における前記一部の区間の端との間に一端が接続され、前記チューブの前記流出端側における前記一部の区間の端と前記流出端との間に他端が接続されたバイパス経路と
を備えることを特徴とするポンプ。

【0094】

（付記２）
前記バイパス経路に配置され、前記一端から前記他端に向かう方向にのみ液体の流れを許容する逆止弁をさらに備えることを特徴とする付記１に記載のポンプ。

【0095】

（付記３）
前記流入端と、前記チューブと前記バイパス経路の前記一端との接続地点との間において前記チューブに配置され、前記流入端から前記流出端に向かう方向にのみ液体の流れを許容する流入側逆止弁と、
前記チューブと前記バイパス経路の前記他端との接続地点と、前記流出端との間において前記チューブに配置され、前記流入端から前記流出端に向かう方向にのみ液体の流れを許容する流出側逆止弁とをさらに備え、
前記駆動部は、前記チューブの前記流出端側から前記流入端側へ前記一部の区間に沿って前記押圧部を移動させることで、前記チューブおよび前記バイパス経路において液体を循環させることを特徴とする付記１または２に記載のポンプ。

【0096】

（付記４）
前記チューブおよび前記バイパス経路において循環する液体の温度調整を行う温度調整部をさらに備えることを特徴とする付記３に記載のポンプ。

【0097】

（付記５）
付記１乃至４のいずれかに記載のポンプと、
前記ポンプにより送液された液体を吐出する吐出部と
を備えることを特徴とする吐出装置。

【符号の説明】

【0098】

１ 吐出装置
２ 吐出部
３ 液体貯蔵部
４Ａ，４Ｂ 送液チューブ
５ ポンプ
６ ワークテーブル
７ ＸＹＺステージ
８ 制御部
１１ フレーム
１１ａ 凹部
１１ｂ 支持面
１２ チューブ
１２ａ 流入端
１２ｂ 流出端
１２ｃ 円弧部
１３ ローラ
１４ 支持部材
１４ａ 回転軸
１４ｂ アーム
１５ モータ
１６ バイパス経路
１６ａ 一端
１６ｂ 他端
１７，１７Ａ～１７Ｃ 逆止弁
１８Ａ，１８Ｂ 継手
１９ 温度調整部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】