特開 2024-128772 振込機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024128772

(43)【公開日】2024-09-24

(54)【発明の名称】振込機構

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/14 20060101AFI20240913BHJP

【ＦＩ】

B65G47/14 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023037963

(22)【出願日】2023-03-10

(71)【出願人】

【識別番号】522087154

【氏名又は名称】合同会社ポーラス・コーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】110003155

【氏名又は名称】弁理士法人バリュープラス

(72)【発明者】

【氏名】蒲田 喜彦

【テーマコード（参考）】

3F080

【Ｆターム（参考）】

3F080AA13

3F080BC05

3F080BC07

3F080CA03

3F080DA18

(57)【要約】

【課題】効率よくワークのポケット充填率を９９～１００％にすることを課題とする。
【解決手段】振込機構１は、上面開放され、内部を第１及び第２エアチャンバ２１，２２に区画されたエアチャンバ２と、第１及び第２エアチャンバ２１，２２内の各区画のそれぞれに空気を吸排気する吸排気部Ｐと、エアチャンバ２を傾動させる傾斜部３と、吸排気部Ｐと傾斜部３とを制御する制御部７とを備え、第１エアチャンバ２１は、内部を複数に区画する区画部材２Ａを分離部Ｓとして備えると共に上面開放部位にポーラスプレート４が設けられ、第２エアチャンバ２２は、上面開放部位にポケットＺが形成されたポーラスパレット４１が設けた構成とした。
【効果】分散・均した小分けされ、かつ浮上したワークＷがポーラスパレット４１に搬送されるので、結果として高速で供給の無駄なく充填率を９９～１００％にできる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

堆積状に供給された極小のワークを整列させて所定の行及び列で形成されたポケットに個別に充填する振込機構であって、上面開放され、内部が中空とされると共に第１及び第２エアチャンバに区画されたエアチャンバと、前記第１及び第２エアチャンバの各区画のそれぞれに空気を吸排気する吸排気部と、前記エアチャンバを傾動させる傾斜部と、前記吸排気部と前記傾斜部とを制御する制御部とを備え、前記第１エアチャンバは、該第１エアチャンバ内の中空空間を複数に区画するための区画部材を分離部として備えると共に前記上面開放部位に、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートが設けられ、前記第２エアチャンバは、前記上面開放部位に、その表裏面に亘って前記ポーラスプレートにワークが個別で充填されるポケットが形成されたポーラスパレットが設けられている振込機構。

【請求項2】

前記分離部内を中空として、中空とされた該分離部に対応した吸排気部を接続した請求項１記載の振込機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、極めて小さい、例えば半導体素子や電子・電気素子のような部品が乱雑に搬送されて多層状、山積状、といったように堆積して部品（以下、ワークという）が重なった状態から整列させて所定のポケットに収納するまでの処理を行う振込機構に関する。

【背景技術】

【0002】

ワークが搬送途中において、多層状、山積状になっていると、例えば個数を計数する工程であれば、重なった塊を１個と認識されてしまうので、正確な個数を計数できず、また、例えば外観検査工程であれば、重なって隠れたワークについての外観検査ができず、さらに、例えば個別に移載させる場合は、重なって隠れたワークを移載残しが生じる。したがって、ワークが堆積していれば、重なった状態を均す必要がある。

【0003】

例えば特許文献１（特開２０２０－１１１４６６号公報）には、ワークが接触した載置面や搬送面を揺動又は振動させたり、ヘラを用いたりする手法では、ワークを損傷する可能性あることから適してなく、堆積状のワークを一層化する有効な手立てが存在しないという課題を解決するために、次の構成とした一層化装置が開示されている。

【0004】

すなわち、特許文献１の一層化装置は、ワークの載置面に該ワークよりさらに小さい多数の孔を有すると共に内部が中空とされた載置台と、この載置台に接続されて該載置台の内部に正圧又は負圧を生じさせる吸排気機構と、載置台を揺動させる揺動機構と、吸排気機構と揺動機構とを駆動制御する制御部とを備えた構成とされている。

【0005】

また、特許文献１には、載置台におけるワークよりさらに小さい多数の孔が形成された載置面に、ワークが１個だけ嵌入するポケットを形成したものを採用することも開示されている。なお、このポケット内にもポケット外同様にワークよりさらに小さい多数の孔が形成されている。こうすれば一層化と共にワークを整列させて（ポケット内に）収納することが可能である。

【0006】

ところが、特許文献１の一層化装置は、一層化するに際して堆積状のワーク全てを一斉に均す構成であったため、一層化したワーク全てを例えば移送するには、まずワーク全てを均した後になるため、却って時間がかかるといった問題があった。また、特許文献１においてポケットを形成した載置台では、載置台中央にワークを堆積状に載置した後に、ワークを浮かせて該載置台を前後左右に傾斜させてポケットにワークを挿入することとなるが、全ポケットに対して充填率を９９～１００％にしようとすると、前後左右の傾斜を何度も繰り返す必要が生じて、時間がかかっていた。

【0007】

また、本出願人は、先に、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けたエアチャンバと、このエアチャンバの上面開放部位に設けられ、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、エアチャンバにおける各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、エアチャンバを所定角度傾斜させる傾斜部と、吸排気部と傾斜部とを制御する制御部とを備えた一層化機構を提案している（特願２０２２－１９３２４７号：先行出願）。

【0008】

本出願人による先行出願によれば、一層化しつつワークを移送することができるというより、ワークを所定の数量で移送しつつ一層化するので、ワークを均した後に移送するという時間と処理が省ける。

【0009】

しかしながら、先行出願では、一層化機構におけるポーラスプレートを特許文献１のようなポケットを設けたものに変換してしまうと、ポケットにワークが挿入されると当該ポケットにおける吸排気が阻害され、移送が滞ってしまい、ワークを数量で移送しつつ一層化するという効果が発揮できないこととなり、結果的に、ワークの一層化してポケットにワークを整列するには時間がかかり、また、充填率を９９～１００％とするにはさらに時間がかかるといった問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０２０－１１１４６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

解決しようとする問題は、ワークの一層化に時間がかかると共に、ワークのポケット充填率を９９～１００％とするにはさらに時間を要する点である。

【課題を解決するための手段】

【0012】

上記課題を解決するため、本発明は、堆積状に供給された極小のワークを整列させて所定の行及び列で形成されたポケットに個別に充填する振込機構であって、上面開放され、内部が中空とされると共に第１及び第２エアチャンバに区画されたエアチャンバと、前記第１及び第２エアチャンバの各区画のそれぞれに空気を吸排気する吸排気部と、前記エアチャンバを傾動させる傾斜部と、前記吸排気部と前記傾斜部とを制御する制御部とを備え、前記第１エアチャンバは、該第１エアチャンバ内の中空空間を複数に区画するための区画部材を分離部として備えると共に前記上面開放部位に、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートが設けられ、前記第２エアチャンバは、前記上面開放部位に、その表裏面に亘って前記ポーラスプレートにワークが個別で充填されるポケットが形成されたポーラスパレットが設けられたものである。

【発明の効果】

【0013】

本発明は、第１エアチャンバにおける上方傾斜端からポーラスパレットにおけるポケット数とほぼ同数だけワークを供給すれば、第２エアチャンバの下方傾斜下流端に０～１％の残留ワークが生じ、第１エアチャンバから第２エアチャンバへワークを片道搬送するだけで、ポーラスパレットに９９～１００％充填することができる。よって、充填率の向上と振込時間の大幅な短縮化が図れるというメリットがある。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図2】本発明の第１実施例構成のエアチャンバ周辺を示す図である。

【図3】本発明の第１実施例の制御フローチャートである。

【図4】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図5】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図6】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図7】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図8】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図9】本発明の第２実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図10】本発明の第２実施例構成のエアチャンバを示す図である。

【図11】（ａ）～（ｄ）は本発明の第２実施例の動作を説明するための図である。

【図12】本発明の第３実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図13】本発明の第３実施例構成のエアチャンバを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明は、ワークの一層化に時間がかかると共に、ワークのポケット充填率を９９～１００％とするにはさらに時間を要するという問題を、上面開放され、内部が中空とされると共に第１及び第２エアチャンバに区画されたエアチャンバと、前記第１及び第２エアチャンバの各区画のそれぞれに空気を吸排気する吸排気部と、前記エアチャンバを傾動させる傾斜部と、前記吸排気部と前記傾斜部とを制御する制御部とを備え、前記第１エアチャンバは、該第１エアチャンバ内の中空空間を複数に区画するための区画部材を分離部として備えると共に前記上面開放部位に、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートが設けられ、前記第２エアチャンバは、前記上面開放部位に、その表裏面に亘って前記ポーラスプレートにワークが個別で充填されるポケットが形成されたポーラスパレットが設けた構成により解消した。

【0016】

エアチャンバは、第１エアチャンバと第２エアチャンバに区画され、さらに第１エアチャンバ自体も区画され、各区画に対応して吸排気部が接続されている。また、第１エアチャンバの各区画を隔てる区画部材が本発明では分離部として機能している。第１エアチャンバの上面全域はポーラスプレートが設けられ、該エアチャンバ内外の空気の流通が可能となっている。

【0017】

一方、第２エアチャンバの上面領域にはワークが個別に充填されるポケットが行及び列をなして形成されたポーラスパレットが設けられる。ポーラスプレート及びポーラスパレットは、共に、第１及び第２エアチャンバにおいて正圧（排気）を受けてワークを僅かに浮上させる。

【0018】

第２エアチャンバのポーラスパレットにおけるポケットは、平面視縦横サイズはワークが１個だけ充填されるサイズであればよいが、深さに関してだけは、ワークが僅かに突出するサイズとする。この理由は、ワークがポケットに埋没してしまう深さであると、ワークが重なってポケットに２つ充填される可能性があると共に、ワークがポケットで引っかかって上手く搬送されない可能性がある。

【0019】

すなわち、ポケットからワークが僅かに突出する深さとすることで、未だ充填されていないワークは、ポケットから僅かに突出したワークに弾かれて別の場所に移動し、移動した先で未充填のポケットがあればそこに挿入される。

【0020】

また、傾斜部は第１及び第２エアチャンバを一体としたエアチャンバを所定角度傾斜させるものであり、第１エアチャンバの上方傾斜端から第２エアチャンバの下方傾斜端へと、吸排気部による空気噴射により僅かに浮上したワークを移動させる。なお、本発明においてワークの推進力は、浮上したワークの自重である。

【0021】

傾斜部と、吸排気部とは、制御部に接続されており、この制御部によりワークの大きさ（重さ）や全体量や切り分け量に応じて、傾斜角度や空気圧を制御することで、堆積状のワークを一定量ずつ切り分けて、広い区画に誘導して、ここで確実に一層化とワーク同士の分散を行う。

【0022】

そして、吸排気部によるワークの浮上と、ワークの自重及び傾斜部によるワークの移動と、ポーラスパレットにおけるポケットから僅かにワークが突出するポケットサイズ（深さ）により、第１エアチャンバの上方傾斜端から第２エアチャンバの下方傾斜端へ片道送りするだけで、ワークはほぼポーラスパレットのポケットに充填されることとなる。

【0023】

要するに、本発明は、堆積状で供給されたワーク全てを一層化して次工程に送るという従来手法に代えて、堆積状で供給されたワークを少しずつ一層化して、一層化されて小分けされたワークをポーラスパレットにおいてポケットに充填することで、ワークの供給からワークのポケット充填までの時間を短縮することができ、なおかつポーラスパレットの全ポケットへのワークの充填率を９９～１００％とすることができる。

【0024】

また、本発明は、上記構成において、前記分離部内を中空として、中空とされた該分離部に対応した吸排気部を接続してもよい。こうすることで、より効率的にワークを一層化して小分けして第２エアチャンバのポーラスパレットへ送ることが可能となるので、充填率を１００％に近づけることができる。

【実施例0025】

以下、図１～図１３を参照して本発明の具体的な第１～第実施例を説明する。本発明の振込機構についての基本構成は第１実施例において説明する。第２～第４実施例では、第１実施例と異なる構成について説明することとし、第１実施例と重複する構成についての説明は省略し、図示においては同じ参照符号を示す。また、図示において、例えばポケットＺ等は、誇張したり、説明において不要な場合は省略したりしている。

【0026】

（第１実施例）
図１～図８に示す本発明の振込機構１は、上面が開放され、底面と４側面が閉塞したエアチャンバ２を備えている。エアチャンバ２は、供給されたワークＷを一層化して小分けしつつ搬送する領域を形成する第１エアチャンバ２１と、一層化して小分けされたワークＷを整列して収納する領域を形成する第２エアチャンバ２２とからなる。

【0027】

第１エアチャンバ２１は、内部が、第１実施例の場合、区画部材２Ａにより、（図示左から）領域Ｌ１と領域Ｌ２とに２分割されている。区画部材２Ａは、本発明では分離領域Ｓ（分離部）とされ、堆積したワークＷの切り分け機能を果たしている。

【0028】

第１エアチャンバ２１の領域Ｌ１と領域Ｌ２のそれぞれの底面には、各々独立して稼働する吸排気部Ｐ１（領域Ｌ１に対応）、吸排気部Ｐ２（領域Ｌ２に対応）が、バルブを介して接続されている。

【0029】

第２エアチャンバ２２の内部は、本例の場合、上記に倣って領域Ｌ３とされ、領域Ｌ３の底面には、同じく吸排気部Ｐ３がバルブを介して接続されている。これら、吸排気部Ｐ１～Ｐ３を総称するときは吸排気部Ｐということとする。

【0030】

なお、第１エアチャンバ２１の領域Ｌ２と第２エアチャンバ２２の領域Ｌ３の間には互いを区画する区画部材２Ｂを設けているが、本例においては分離領域Ｓとして積極利用しない。もちろん、区画部材２Ｂを分離領域Ｓとして積極的に利用してもよい。

【0031】

エアチャンバ２には、傾斜部３が設けられており、この傾斜部３は、第１エアチャンバ２１の一方端（図１に示す状態で第１エアチャンバ２１の左端）に軸部３Ａが設けられ、他方端下面（図１に示す状態で第２エアチャンバ２２の右端下面）には傾動部３Ｂが設けられている。

【0032】

傾斜部３は、傾動部３Ｂにより他方端を上下動させることで、軸部３Ａを中心にエアチャンバ２ごと傾斜させるよう構成とされている。なお、この傾斜部３に関しては、エアチャンバ２が傾斜させることができれば、特に構成の限定はしない。

【0033】

第１エアチャンバ２１における上面の開放面には、その表裏面に亘って現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔を有したポーラスプレート４が設けられている。ポーラスプレート４は全領域一面に多数の孔を有したものであって区画されていないが、以下の説明では、このポーラスプレート４上において、上記のエアチャンバ２の領域Ｌ１、領域Ｌ２、分離領域Ｓを示している。

【0034】

第２エアチャンバ２２における上面の開放面には、その表裏面に亘って現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔を有したポーラスプレートに、ワークＷの縦横サイズより若干大きく、高さサイズより若干浅い、ポケットＺが列及び行をなして整列して形成されたポーラスパレット４１が設けられている。ポーラスパレット４１のポケットＺの内底面にも現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔が形成されている。

【0035】

ポーラスプレート４、ポーラスパレット４１における領域Ｌ１～Ｌ３を一体とした上面には、枠体５が設けられている。この枠体５は、ポーラスプレート４及びポーラスパレット４１上の４側面部の壁面として機能してワークＷの落下、散乱を予防することと、該ポーラスプレート４及びポーラスパレット４１をエアチャンバ２に取り付ける部材として機能してエアチャンバ２の内圧で該ポーラスプレート４及びポーラスパレット４１が反ったり、該エアチャンバ２との接触部分に隙間が生じたりすることを予防する。

【0036】

ポーラスプレート４の上方には、カメラ６が設けられ、このカメラ６で撮像したデータが処理部６Ａに入力される。本例では、カメラ６はポーラスプレート４上全体を視野に入れる１台とされ、画角や視野の切り替えなどは後述の制御部７が行う。

【0037】

上記、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３、傾斜部３（傾動部３Ｂ），処理部６Ａは、制御部７において制御される。以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、小分けしてポーラスパレット４１のポケットＺにワークＷを充填するまでの具体的な制御手順について説明する。

【0038】

図３の手順１（以下＃１と記す）、図４（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、エアチャンバ２を傾斜０°つまり水平にし、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＦＦ、つまり吸気も排気も行わない状態とし、この状態で、ワークＷがポーラスプレート４上の領域Ｌ１に供給される。このとき、ワークＷは山状に堆積された状態となっている。

【0039】

図３の＃２、図５（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、ワークＷが領域Ｌ１に供給された後に、吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮ、この場合は排気（エアチャンバ２内を正圧化する）すると、ワークＷがポーラスプレート４からの空気圧で浮上しようとして、堆積山が崩れ、裾野の面積が広がる。

【0040】

分離領域Ｓは第１実施例の場合、区画部材２Ａによってポーラスプレート４の孔を塞いでいる。よって、エアチャンバ２の正圧の影響でワークＷは浮上せず、水平であればほぼ分離領域Ｓを超えて領域Ｌ２に移動することはない。

【0041】

図３の＃３では、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ２，Ｐ３の圧力を吸排気部Ｐ１より高くし、さらにエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜するよう傾斜部３を制御する。

【0042】

なお、以下の説明では負角度は図１で言うと第２エアチャンバ２２側の図示右端が下方に傾斜するように傾動することを、正角度は図１で言うと第２エアチャンバ２２側の図示右端が上方に傾斜するように傾動することを、それぞれ意味する。

【0043】

図６（ａ）（ｂ）に示すように、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ２，Ｐ３の圧力を吸排気部Ｐ１より高くし、エアチャンバ２を角度－θだけ傾斜すると、現時点では、領域Ｌ１のワークＷが浮上してポーラスプレート４との接触摩擦による拘束から開放されて、傾斜とワークＷの自重により領域Ｌ２に移動する。

【0044】

このとき、分離領域Ｓは上記したとおり無圧状態であるため、領域Ｌ２へ移動しようとするワークＷは該分離領域Ｓで停止するが、この停止時に傾斜とワークＷの自重の余力で分離領域Ｓから領域Ｌ２側へはみ出した分が、領域Ｌ２の吸排気部Ｐ２の正圧により小分けされて領域Ｌ２へ移動する。

【0045】

図３の＃４では、制御部７は、＃４で吸排気部Ｐ１をＯＦＦにした状態で所定時間をカウントする（＃５）し、カメラ６により領域Ｌ１におけるワークＷの残量を確認して、領域Ｌ１のワークＷ全てが領域Ｌ２に移動した場合（＃６でＹＥＳ）は、吸排気部Ｐ１をＯＦＦにして（＃７）、＃８の処理を行う。一方、領域Ｌ１のワークＷ全てが領域Ｌ２に移動していない場合（＃６でＮＯ）は、処理を＃３に戻し、領域Ｌ１のワークＷ全てが領域Ｌ２に移動するまで（＃６でＹＥＳ）、図３の＃３～＃６を循環する。

【0046】

ポーラスプレート４（領域Ｌ１、領域Ｌ２）上のワークＷは、極めて微細であるとしてポーラスプレート４の孔の開いている部分とそうでない部分とを移動することになるので、該ポーラスプレート４の面と常に平行に移動するのではなく、上下左右に微細に揺れながら（踊りながら）移動することとなる。したがって、上下で重なっていたり、前後左右で接触したりするワークＷは、一層化されると共に分散化される。

【0047】

そして、吸排気部Ｐ１のＯＮとＯＦＦを繰り返すことで、領域Ｌ２には小分けされた複数のワークＷが領域Ｌ２を移動することとなる。そして、図３の＃３～＃６を循環している間に領域Ｌ２に移動した小分けされた複数のワークＷは、エアチャンバ２の傾斜と、浮上したワークＷの自重により領域Ｌ３に到達する。

【0048】

図７（ａ）（ｂ）に示すように、領域Ｌ２を通過した小分けされた複数のワークＷは、浮上したまま領域Ｌ３に移動する。領域Ｌ３に移動した小分けされた複数のワークＷは、ポーラスパレット４１の未充填のポケットＺに順次挿入する。

【0049】

ここで、ポケットＺにワークＷが挿入される原理を説明する。ポーラスパレット４１は、ポケットＺの内底面にも現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔が形成されている。また、第２エアチャンバ２２における吸排気部Ｐ３からの正圧は領域Ｌ３全域で一定であって、ポーラスパレット４１においてポケットＺの内底面は、該ポーラスパレット４１のポケットＺが形成されていない部分の表面より、正圧として噴射する空気の吹き出し位置が低い。

【0050】

同高さ位置から同じ正圧をワークＷに与えた場合はワークＷの浮上高さは一定なので、低い位置から同じ正圧をワークＷに与えた場合は、その低い位置から上記の一定高さ分浮上する。つまり、ポーラスパレット４１におけるポケットＺの「内底面」からのワークＷの浮上高さ、該ポケットＺの存在しない部分の「表面」からのワークＷの浮上高さ、一定で、ワークＷは常に「吹き出し位置」に対して一定の浮上高さを保っているが、ポケットＺの位置では吹き出し位置が低い位置にあるので、その高低差に沿ってポケットＺの存在しない部分の高さに比べて沈む（ポケットＺに挿入）のである。

【0051】

また、ポケットＺは、ワークＷが僅かに突出する高さとされているので、ワークＷは装填済みのポケットＺの位置に移動すると、ここで突出したワークＷと接触して、例えばピンボールのピンにボールが接触したようにワークＷが弾かれて別の場所に移動し、そもそも領域Ｌ２から領域Ｌ３に移動するワークＷも規則正しく並んでいない。こうした理由でワークＷがポーラスパレット４１上を全面的に移動するから充填率が向上する。

【0052】

図３の＃３～＃６を循環し、領域Ｌ１から領域Ｌ２、領域Ｌ２から領域Ｌ３へワークを移動させ、制御部７は、領域Ｌ２にワークが存在しているか否かをカメラ６で撮像して処理部６Ａがその旨検知するまで（＃８，＃９でＮＯ）、図３の＃７の処理を行う。また、領域Ｌ２にワークＷが存在しなくなり（＃８でＹＥＳ）、かつ領域Ｌ３においてポーラスパレット４１のポケットＺ形成領域を移動するワークＷが検出されなくなった（＃９でＹＥＳ）とき、図８（ａ）（ｂ）に示すように吸排気部Ｐ２、Ｐ３をＯＦＦにして、エアチャンバ２を水平に戻す（＃１０）。

【0053】

（第２実施例）
図９～図１１に示す第２実施例の振込機構１は、以下が第１実施例と異なる構成である。第３実施例は、領域Ｌ１と領域Ｌ２を区画する区画部材２Ａの内部が中空で、この領域を調整領域Ｓｃとしている、つまり（図示左から）領域Ｌ１、調整領域Ｓｃ、領域Ｌ２とされている。また、調整領域Ｓｃは、これに対応した吸排気部Ｐｃが設けられている。

【0054】

以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、ポーラスパレット４１のポケットＺにワークＷを個別に充填するまでの制御手順について説明する。第２実施例の制御手順は、構成が相違するので異なる手順があるが、領域Ｌ１にワークＷが供給され、領域Ｌ１からワークＷを小分けして領域Ｌ２に切り出し、領域Ｌ２において一層化及び分散化して領域Ｌ３においてワークＷをポーラスパレット４１に収納するという手順は、上記図３及び図４～図８に示した第１実施例の制御手順に準じている。

【0055】

第２実施例において、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ，Ｐ２をＯＦＦにすると共にエアチャンバ２を水平にしておき、この状態で、図１１（ａ）に示すように、ワークＷが領域Ｌ１に供給される。領域Ｌ１に供給されたワークＷは山積みの状態とされる。

【0056】

ワークＷが領域Ｌ１に供給された後、図１１（ｂ）に示すように、制御部７は、吸排気部ＰｃをＯＦＦのまま、吸排気部Ｐ２，Ｐ３を吸排気部Ｐ１よりも高圧に設定して、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮにすると共にエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜させる。このとき、調整領域Ｓｃは、領域Ｌ１から領域Ｌ２側へ移動しようとするワークＷを一旦停止させる分離領域Ｓとして機能している。

【0057】

上記の後、図１１（ｃ）に示すように、制御部７は、上記でＯＦＦとしていた吸排気部Ｐｃを吸排気部Ｐ２，Ｐ３と同圧にてＯＮにし、所定時間経過後にＯＦＦとすることを繰り返す。これを数度繰り返すことで、領域Ｌ２に移動するワークは、吸排気部ＰｃをＯＦＦにした時間分だけ領域Ｌ１－Ｌ２方向に間隔が空き、ワークＷ同士をより確実に分散させることができる。

【0058】

そして、制御部７は、吸排気部ＰｃのＯＮ・ＯＦＦの繰り返しを領域Ｌ１からワークＷが存在しなくなるまで行った後、吸排気部Ｐ１、ＰｃをＯＦＦとし、以降順次、領域Ｌ２からワークＷが存在しなくなったら吸排気部Ｐ２をＯＦＦとし、領域Ｌ３においてポーラスパレット４１のポケットＺ形成領域を移動するワークＷが検出されなくなった後、図１１（ｄ）に示すように、吸排気部Ｐ３をＯＦＦとすると共に、エアチャンバＷの傾斜を水平に戻す。

【0059】

（第３実施例）
図１２及び図１３に示す第３実施例の振込機構１は、以下が第１実施例と異なる構成である。第４実施例は、領域Ｌ１と領域Ｌ２を区画する区画部材２Ａの内部が中空で、この領域を調整領域Ｓｃとしている、つまり（図示左から）領域Ｌ１、調整領域Ｓｃ、領域Ｌ２とされている。

【0060】

また、区画部材２Ａの内部中空は、領域Ｌ１，Ｌ２方向と直交する方向に複数区画され、前記領域Ｌ１，Ｌ２方向と直交する方向に交互に調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２が設けられている。すなわち調整領域Ｓｃは調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２で構成されている。さらに、これら調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２に対応した吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２が設けられている。また、領域Ｌ１の面積が領域Ｌ２よりも小さくされている。

【0061】

以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、ポーラスパレット４１のポケットＺにワークＷを個別に充填するまでの制御手順について説明する。第３実施例の制御手順は、構成が相違するので異なる手順があるが、領域Ｌ１にワークＷが供給され、領域Ｌ１からワークＷを小分けして領域Ｌ２に切り出し、領域Ｌ２において一層化及び分散化して領域Ｌ３においてワークＷをポーラスパレット４１に収納するという手順は、上記図３及び図４～図８に示した第１実施例の制御手順に準じている。

【0062】

第３実施例において、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ１，Ｐｃ２，Ｐ２，Ｐ３をＯＦＦにすると共にエアチャンバ２を水平としておき、この状態でワークＷが領域Ｌ１に供給される。

【0063】

ワークＷが領域Ｌ１に供給された後、制御部７は、吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２，をＯＦＦのまま、吸排気部Ｐ２，Ｐ３を吸排気部Ｐ１よりも高圧にして吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮにすると共にエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜させる。このとき、調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２は、領域Ｌ１から領域Ｌ２側へ移動しようとするワークＷを一旦停止させる分離領域Ｓとして機能している。

【0064】

上記の後、制御部７は、上記でＯＦＦとしていた例えば吸排気部Ｐｃ１を吸排気部Ｐ２と同圧にてＯＮにし、所定時間経過後に吸排気部Ｐｃ１をＯＦＦとすると同時に吸排気部Ｐｃ２をＯＮにすることを繰り返す。これを数度繰り返すことで、領域Ｌ２に移動するワークは、吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２をＯＦＦにした時間分だけ領域Ｌ１－Ｌ２方向及び該領域Ｌ１－Ｌ２方向と直交する方向で互いに隣接する調整領域Ｓｃ１、Ｓｃ２の間隔が空き、ワークＷ同士をより確実に分散させることができる。

【0065】

そして、制御部７は、吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２の交互のＯＮ・ＯＦＦの繰り返しを領域Ｌ１からワークＷが存在しなくなるまで行った後、吸排気部Ｐ１、Ｐｃ１，Ｐｃ２をＯＦＦとし、以降順次、領域Ｌ２からワークＷが存在しなくなったら吸排気部Ｐ２をＯＦＦとし、領域Ｌ３においてポーラスパレット４１のポケットＺ形成領域を移動するワークＷが検出されなくなった後に吸排気部Ｐ３をＯＦＦとする。

【0066】

上記、本発明の第１～第３実施例によれば、ポーラスパレット４１における全ポケットＺへのワークＷ充填率は９９～１００％であった。また、処理開始から吸排気部ＰをＯＦＦにするまでの１サイクルの処理速度は、ワークＷの自重、エアチャンバ２の傾斜角度、吸排気部Ｐの圧力にもよるが、ワークＷのサイズに応じた、最低速条件で実施しても従来のものより短時間で処理が完了し、また、最高速条件で実施しても上記充填率を維持することができた。

【0067】

また、本発明の振込機構１は、従来では最初に領域Ｌ１に供給するワークＷの数量は闇雲に多量に供給していて、ポケットＺに収納しきれずに領域Ｌ１から再供給するためにその都度戻す必要があったのに対し、充填率が９９～１００％を達成することができるので、最初に領域Ｌ１に供給するワークＷの数量はポケットＺの数に対して多くとも１０％程度多めに供給すればよく、再供給のために領域Ｌ１へワークＷを戻す頻度を下げることができるから、ワークＷの全量を処理し終えるまでの時間が大幅に短縮することができる。

【0068】

なお、上記で「吸排気部」とした構成については、上記実施例では排気のみを行う構成としていたが、例えば給気も制御において活用することでさらに効率的な動作を実現できる可能性がある。

【符号の説明】

【0069】

１ 振込機構
２ エアチャンバ
２１ 第１エアチャンバ
２２ 第２エアチャンバ
２Ａ 区画部材
３ 傾斜部
４ ポーラスプレート
４１ ポーラスパレット
６ カメラ
７ 制御部
Ｌ１ Ｌ２ Ｌ３ 領域
Ｓ 分離領域（分離部）
Ｓｃ Ｓｃ１ Ｓｃ２ 調整領域
Ｐ Ｐ１ Ｐ２ Ｐ３ Ｐｃ Ｐｃ１ Ｐｃ２ 吸排気部
Ｗ ワーク
Ｚ ポケット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】