特開 2024-129940 Ｘ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024129940

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/083 20180101AFI20240920BHJP

   G01N 23/04 20180101ALI20240920BHJP

   G01T 1/24 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

G01N23/083

G01N23/04

G01T1/24

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023039353

(22)【出願日】2023-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000147833

【氏名又は名称】株式会社イシダ

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100186761

【弁理士】

【氏名又は名称】上村 勇太

(72)【発明者】

【氏名】杉本 一幸

(72)【発明者】

【氏名】吉田 圭佑

(72)【発明者】

【氏名】万木 太

(72)【発明者】

【氏名】廣瀬 修

【テーマコード（参考）】

2G001

2G188

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA09

2G001FA08

2G001HA13

2G001JA11

2G188AA25

2G188BB02

2G188CC29

2G188CC32

2G188DD05

2G188EE01

2G188FF18

2G188FF30

(57)【要約】

【課題】直接変換型検出部を利用した場合であっても、適切な感度補正を実施可能なＸ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、Ｘ線検出部の出力結果に基づき、物品の検査を実施する検査部と、を備え、Ｘ線検査装置の起動時に実施されるＸ線検出部の感度補正において、Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出し、Ｘ線源は、所定期間中にＸ線照射を開始し、所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部に搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部の出力結果に基づき、前記物品の検査を実施する検査部と、
を備えるＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線検査装置の起動時に実施される前記Ｘ線検出部の感度補正において、
前記Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、前記感度補正の基準となると共に前記物品を透過していないＸ線を検出し、
前記Ｘ線源は、前記所定期間中にＸ線照射を開始し、
前記所定期間は、前記Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い、
Ｘ線検査装置。

【請求項2】

前記Ｘ線検出部は、前記所定期間経過後の前記物品を透過していない前記Ｘ線に基づいてブライトレベルを取得する、請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記感度補正において、前記Ｘ線検出部によるＸ線の検出開始と同時に前記Ｘ線源による前記Ｘ線照射が開始される、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記所定期間は、１０秒以上である、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。

【請求項5】

物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部に搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部の出力結果に基づき、前記物品の検査を実施する検査部と、
を備えるＸ線検査装置の感度補正方法であって、
前記Ｘ線検査装置の起動時に、前記Ｘ線検出部によるＸ線の検出を開始するステップと、
Ｘ線の検出開始から所定期間経過後、前記Ｘ線検出部の基準となると共に前記物品を透過していないＸ線を検出するステップと、
を備え、
前記所定期間中に、前記Ｘ線源によるＸ線照射を開始すると共に、当該Ｘ線照射を安定化させる、
Ｘ線検査装置の感度補正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の一側面は、Ｘ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のＸ線検査装置として、例えば、下記特許文献１に記載された装置が知られている。下記特許文献１に記載のＸ線検査装置は、検出器の素子上にＸ線が検査物なしに照射されているか否かを判断する手段を備え、コンベアの移動中に再補正データ取得スパンの期間に、Ｘ線ＯＦＦ時にオフセットデータと、Ｘ線ＯＮ時のデータから感度補正係数を演算する。また、当該Ｘ線検査装置は、Ｘ線ＯＮ時に再補正データ取得スパンの期間に生データを取得して、オンラインで随時、素子間感度補正テーブルを自動的に更新する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１－４５６０号公報

【特許文献2】特開２０２２－４９９２４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、Ｘ線源の出力は、特に起動直後において、発熱によって安定しない傾向がある。また、Ｘ線検査装置には、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型センサが用いられるときがある。このような直接変換型センサは、自身でＸ線の計数処理を実施するが、当該計数処理に伴って直接変換型センサが発熱する。このため、Ｘ線検査装置の起動直後に上記特許文献１に記載されるような感度補正処理を実施した場合、センサの出力が安定しない問題があった。

【0005】

本発明の一側面の目的は、直接変換型検出部を利用した場合であっても、適切な感度補正を実施可能なＸ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法の提供である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、Ｘ線検出部の出力結果に基づき、物品の検査を実施する検査部と、を備え、Ｘ線検査装置の起動時に実施されるＸ線検出部の感度補正において、Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出し、Ｘ線源は、所定期間中にＸ線照射を開始し、所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。

【0007】

このＸ線検査装置では、Ｘ線検査装置の起動時に実施されるＸ線検出部の感度補正において、Ｘ線検出部は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出する。これにより、Ｘ線検査装置の起動直後に感度補正を実施する場合と比較して、Ｘ線検出部の出力が安定化し、ノイズが生じにくくなる。また、Ｘ線源は、所定期間中にＸ線照射を開始し、所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。これにより、Ｘ線検出部の出力が安定化するまでにＸ線源のＸ線照射も安定化するので、Ｘ線検出部の出力がより安定化する。したがって、直接変換型検出部であるＸ線検出部を備える上記Ｘ線検査装置であっても、適切な感度補正処理を実施可能である。さらには、所定期間内にＸ線源の出力を安定化させることによって、Ｘ線検査装置の起動から感度補正の実施までの時間を短縮化できる。

【0008】

（２）上記（１）に記載のＸ線検査装置にて、Ｘ線検出部は、感度補正において、所定期間経過後の物品を透過していないＸ線に基づいてブライトレベルを取得してもよい。この場合、より適切な感度補正を実施できる。

【0009】

（３）上記（１）または（２）に記載のＸ線検査装置にて、感度補正において、Ｘ線検出部によるＸ線の検出開始と同時にＸ線源によるＸ線照射が開始されてもよい。この場合、所定期間経過までにＸ線照射を確実に安定化できる。

【0010】

（４）上記（１）～（３）のいずれかに記載のＸ線検査装置にて、所定期間は、１０秒以上でもよい。この場合、Ｘ線検出部の出力を良好に安定化できる。

【0011】

（５）本発明の別の一側面に係るＸ線検査装置の感度補正方法は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であるＸ線検出部と、Ｘ線検出部の出力結果に基づき、物品の検査を実施する検査部と、を備え、Ｘ線検査装置の起動時に、Ｘ線検出部によるＸ線の検出を開始するステップと、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後、Ｘ線検出部の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出するステップと、を備え、所定期間中に、Ｘ線源によるＸ線照射を開始すると共に、当該Ｘ線照射を安定化させる。

【0012】

この感度補正方法では、Ｘ線検査装置の起動時に、Ｘ線検出部によるＸ線の検出を開始するステップと、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後、Ｘ線検出部の基準となると共に物品を透過していないＸ線を検出するステップとが実施される。これにより、Ｘ線検査装置の起動直後に感度補正を実施する場合と比較して、Ｘ線検出部の出力が安定化し、ノイズが生じにくくなる。また、上記感度補正方法では、所定期間中に、Ｘ線源によるＸ線の照射を開始すると共に、当該照射を安定化させる。これにより、Ｘ線検出部の出力が安定化するまでにＸ線源のＸ線照射も安定化するので、Ｘ線検出部の出力がより安定化する。したがって、直接変換型検出部であるＸ線検出部を備える上記Ｘ線検査装置であっても、適切な感度補正処理を実施可能である。さらには、所定期間内にＸ線源の出力を安定化させることによって、Ｘ線検査装置の起動から感度補正の実施までの時間を短縮化できる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一側面によれば、直接変換型検出部を利用した場合であっても、適切な感度補正を実施可能なＸ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、一実施形態に係るＸ線検査装置の構成図である。

【図2】図２は、図１に示されるシールドボックスの内部の模式構成図である。

【図3】図３は、感度補正方法を説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0016】

図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部８と、制御部１０と、を備える。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査を行う。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ｇは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。

【0017】

装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられている。シールドボックス４は、外部へのＸ線（電磁波）の漏洩を防止する筐体である。シールドボックス４の内部には、Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査室Ｒが設けられている。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介して検査室Ｒに搬入される。検査後の物品Ｇは、検査室Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。

【0018】

搬送部５は、物品Ｇを搬送する部材であり、シールドボックス４の中央を貫通するように配置されている。搬送部５は、搬入口４ａから検査室Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。なお、搬送部５は、搬入口４ａ及び搬出口４ｂよりも外側に突出していてもよい。

【0019】

図１及び図２に示されるように、Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されている電磁波照射部（Ｘ線源）である。Ｘ線照射部６から照射されるＸ線には、低エネルギー（長波長）から高エネルギー（短波長）までの様々なエネルギー領域のＸ線が含まれている。このため、Ｘ線照射部６は、搬送部５に搬送される物品Ｇに対して、複数のエネルギー領域のＸ線を照射する。Ｘ線照射部６の起動直後においては、Ｘ線の出力が不安定なことがある。このため、Ｘ線検査装置１の起動後であって物品Ｇの検査前に、Ｘ線照射部６によるＸ線照射（すなわち、Ｘ線照射部６のアイドリング）が実施されてもよい。なお、上述した低エネルギー及び高エネルギーにおける「低」及び「高」は、Ｘ線照射部６から照射される複数のエネルギー領域の中で相対的に「低い」及び「高い」ことを示すものであり、特定の範囲を示すものではない。

【0020】

Ｘ線検出部７は、電磁波を検出するセンサユニットである。Ｘ線検出部７は、シールドボックス４内であって、上下方向においてＸ線照射部６に対向する位置に配置される。本実施形態では、Ｘ線検出部７は、フォトンカウンティング方式でＸ線を検出可能な直接変換型検出部であり、例えば、物品Ｇを透過する複数のエネルギー領域の各々のＸ線を検出するセンサ１１（マルチエナジーセンサ）を含む。センサ１１は、例えば、少なくとも搬送部５の搬送方向及び上下方向に直交する方向（幅方向）に並べられる。センサ１１は、上記幅方向だけでなく、上記搬送方向にも並べられてもよい。本実施形態では、Ｘ線検出部７は、二次元的に配置されるセンサ１１の群を含む。センサ１１は、例えば、ＣｄＴｅ半導体検出器などの光子検出型センサを含む。

【0021】

Ｘ線検出部７に含まれるセンサ１１においては、例えば、Ｘ線の光子が到達することによって電子正孔対が生成される。このときに得られるエネルギー（光子エネルギー）に基づき、フォトンの計数処理（フォトンカウンティング）がなされる。当該計数処理は、Ｘ線検出部７もしくはセンサ１１に含まれる演算部（不図示）によって実施される。当該計数処理の演算負荷は高いので、Ｘ線検査装置１の動作時において上記演算部は発熱する傾向がある。

【0022】

Ｘ線検査装置１の起動時に実施されるＸ線検出部７の感度補正（キャリブレーション）においては、物品Ｇを透過していないＸ線に基づいてブライトレベルが取得される。ブライトレベルは、物品Ｇを透過していないＸ線がＸ線検出部７に入射したときに検知されたフォトンカウント数である。Ｘ線照射部６の出力などに応じて、ブライトレベルが変化し得る。このため、ブライトレベルは、単数に限られず、複数でもよい。例えば、ブライトレベルは、Ｘ線照射部６の出力が１００％である場合に得られる最大ブライトレベル、及び、Ｘ線照射部６の出力が５０％である場合に得られる中間ブライトレベル（グレーレベル）を少なくとも有する。本実施形態では、上記感度補正にて、Ｘ線検出部７によるダークレベルの取得は実施されなくてもよい。この場合、単に検知されたフォトン数が０であることが、ダークレベルと予め設定されてもよい。もしくは、上記感度補正において、Ｘ線検出部７によって検知されたフォトン数が０である場合、ダークレベルと設定してもよい。なお、Ｘ線検出部７の感度補正は、Ｘ線検出部７に含まれる各センサ１１間の出力差の補正に相当する。

【0023】

Ｘ線検査装置１の動作中、センサ１１及び上記演算部の少なくとも一方の発熱によって、Ｘ線検出部７の温度が上昇する。Ｘ線検出部７の温度上昇によって、特にＸ線検査装置１の起動直後においてＸ線検出部７の出力が不安定化することがある。具体例としては、Ｘ線検出部７の温度上昇によって、少なくとも一つのセンサ１１の計数処理精度が悪化し、誤ったカウンティング数を出力してしまうことがある。これにより、不適切なＸ線画像が生成され得る。このため、Ｘ線検出部７は、センサ１１に加えて、Ｘ線検出部７を冷却する冷却素子（不図示）を有する。Ｘ線検査装置１の動作中に当該冷却素子が動作することによって、Ｘ線検出部７の温度変化を抑制できる。例えば、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出を開始してから所定期間の経過後、Ｘ線検出部７は、上記感度補正の基準となると共に物品Ｇを透過していないＸ線を検出する。そして、Ｘ線検出部７は、ブライトレベルを取得する。所定期間は、例えば１０秒以上、８秒以上、６秒以上または５秒以上であるが、これに限られない。Ｘ線検査装置１の種別、仕様、設置環境などによって、当該所定期間は調整されてもよい。消費電力などの観点から、上記所定期間は、極力短く設定されてもよい。なお、上記冷却素子は、例えばペルチェ素子などである。

【0024】

一般に、Ｘ線検出部７によるＸ線検出の開始からＸ線検出部７の出力が安定化するまでに要する期間は、Ｘ線照射部６によるＸ線照射の開始から当該Ｘ線照射の出力が安定化するまでに要する期間（Ｘ線源の照射が安定化する期間）と同じかそれより長い。このため、上記所定期間は、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出の開始からＸ線検出部７の出力が安定化するまでに要する期間と同じかそれより長い。同様に、上記所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。よって、Ｘ線検出部７の感度補正短縮化の観点から、Ｘ線検査装置１の起動時、少なくともＸ線検出部７によるＸ線の検出が開始されてもよい。Ｘ線検出部７の出力安定化の観点から、Ｘ線照射部６は、上記所定期間中にＸ線照射を開始する。この場合、当該Ｘ線照射が上記所定期間の終了までに安定化するように、当該Ｘ線照射が開始される。感度補正においては、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出開始と同時にＸ線照射部６によるＸ線照射が開始されてもよい。

【0025】

Ｘ線検出部７は、任意の閾値に基づいて検出したＸ線の光子エネルギーを２以上のエネルギー領域に弁別する。これにより、Ｘ線検出部７は、各エネルギー領域のフォトンカウンティングが可能になる。Ｘ線検出部７は、Ｘ線の検出結果に相当し、かつ、分別された信号（検出結果信号）を制御部１０に出力する。任意の閾値は、例えば制御部１０によって設定される１つ以上の値（単位：ｋｅＶ）である。任意の閾値は、例えば、特願２０２２－３７９９９号に記載される方法によって設定されてもよいし、上記ブライトレベルを利用して設定されてもよい。

【0026】

図１に示されるように、表示操作部８は、装置本体２に設けられている部材（表示部）である。表示操作部８は、各種情報を表示すると共に、外部から各種条件の入力操作を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。

【0027】

制御部１０は、装置本体２の内部に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。ＲＯＭには、Ｘ線検査装置１を制御するためのプログラムが記録されている。制御部１０は、Ｘ線検出部７の出力結果に基づき、物品Ｇの検査を実施する検査部としても機能する。

【0028】

次に、図３を参照しながら、本実施形態に係るＸ線検査装置１の感度補正方法の一例について説明する。図３は、感度補正方法を説明するためのフローチャートである。

【0029】

図３に示されるように、まず、Ｘ線検査装置１の起動時に、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出を開始する（ステップＳＴ１）。ステップＳＴ１にて、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出を開始することによって、Ｘ線検出部７が発熱する。本実施形態では、ステップＳＴ１にて、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出と同時に、Ｘ線照射部６によるＸ線の照射が開始されるが、これに限られない。なお、ステップＳＴ１では、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出結果は、感度補正にて利用されない。これにより、不安定な検出結果が利用されにくくなる。

【0030】

次に、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出開始から所定期間、待機する（ステップＳＴ２）。ステップＳＴ２では、上記所定期間中、Ｘ線検出部７によるＸ線検出を維持する。このとき、Ｘ線検出部７の冷却素子も動作し、Ｘ線検出部７の温度調整が図られる。同様に、上記所定期間中、Ｘ線照射部６によるＸ線照射を維持する。これにより、Ｘ線照射部６の出力の安定化も図られる。なお、ステップＳＴ１にてＸ線照射部６によるＸ線照射が開始されない場合、ステップＳＴ２にて、Ｘ線照射部６によるＸ線照射が開始される。換言すると、ステップＳＴ１にてＸ線照射部６によるＸ線照射が開始されない場合、上記所定期間中、Ｘ線照射部６によるＸ線照射が開始される。この場合、上記所定期間中にＸ線照射部６によるＸ線照射を安定化させるように、Ｘ線照射部６によるＸ線照射の開始タイミングが調整される。なお、ステップＳＴ２でも、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出結果は、感度補正にて利用されない。これにより、不安定な検出結果が利用されにくくなる。

【0031】

続いて、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出開始から所定期間経過後（すなわち、ステップＳＴ２後）、Ｘ線検出部７の基準となると共に物品Ｇを透過していないＸ線を検出する（ステップＳＴ３）。ステップＳＴ３では、当該Ｘ線の検出結果を利用して、Ｘ線検出部７の感度補正を実施する。当該感度補正では、例えばセンサ１１毎に、ブライトレベルの取得、零点の取得、スパン係数値の算出などが実施される。当該感度補正にて、ダークレベルの取得が実施されてもよい。そして、取得されたブライトレベル、算出された値などをＸ線検出部７の各センサ１１に設定する。以上により、Ｘ線検査装置１の起動時に実施されるＸ線検出部の感度補正が完了する。当該感度補正の完了後、Ｘ線検査装置１による物品Ｇの検査が良好に実施可能になる。

【0032】

以上に説明した本実施形態に係るＸ線検査装置１及びその感度補正方法によれば、Ｘ線検査装置１の起動時に実施されるＸ線検出部７の感度補正において、Ｘ線検出部７は、Ｘ線の検出開始から所定期間経過後に、感度補正の基準となると共に物品Ｇを透過していないＸ線を検出する。これにより、Ｘ線検査装置１の起動直後に感度補正を実施する場合と比較して、Ｘ線検出部７の出力が安定化し、ノイズが生じにくくなる。また、Ｘ線照射部６は、所定期間中にＸ線照射を開始し、当該所定期間は、Ｘ線源の照射が安定化する期間と同じかそれより長い。これにより、Ｘ線検出部７の出力が安定化するまでにＸ線照射部６のＸ線照射も安定化するので、Ｘ線検出部７の出力がより安定化する。したがって、直接変換型検出部であるＸ線検出部７を備えるＸ線検査装置１であっても、適切な感度補正処理を実施可能である。さらには、所定期間内にＸ線照射部６の出力を安定化させることによって、Ｘ線検査装置１の起動から感度補正の実施までの時間を短縮化できる。

【0033】

本実施形態では、Ｘ線検出部７は、感度補正において、所定期間経過後の物品Ｇを透過していないＸ線に基づいてブライトレベルを取得してもよい。この場合、より適切な感度補正を実施できる。

【0034】

本実施形態では、感度補正において、Ｘ線検出部７によるＸ線の検出開始と同時にＸ線照射部６によるＸ線照射が開始される。このため、所定期間経過までにＸ線照射を確実に安定化できる。

【0035】

本実施形態では、所定期間は、１０秒以上でもよい。この場合、Ｘ線検出部７の出力を良好に安定化できる。

【0036】

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0037】

１…Ｘ線検査装置、３…支持脚、４…シールドボックス、４ａ…搬入口、４ｂ…搬出口、５…搬送部、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検出部、８…表示操作部、１０…制御部、Ａ…搬送方向、Ｇ…物品。

【図1】

【図2】

【図3】