特開 2024-130277 転写方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024130277

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】転写方法

(51)【国際特許分類】

   G09F 9/00 20060101AFI20240920BHJP

   H01L 33/00 20100101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

G09F9/00 338

H01L33/00 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023039914

(22)【出願日】2023-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】弁理士法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大久保 憲治

【テーマコード（参考）】

5F142

5G435

【Ｆターム（参考）】

5F142AA26

5F142EA34

5F142FA32

5F142FA38

5G435AA04

5G435AA17

5G435BB04

5G435KK05

(57)【要約】

【課題】発光素子の使用歩留まりを向上させ、色むらが生じない転写方法を提供する。
【解決手段】発光素子を備えたドナーと、パネルと、発光素子をパネルに転写させる転写手段と、発光素子の位置情報と発光波長を記憶する記憶手段と、発光素子を転写するためにドナーとパネルと転写手段の相対位置の順番を算出する算出手段とを用いる転写方法であって、転写手段は発光素子を転写可能な転写可能位置を複数有する転写領域を有し、パネル対角線の長さとパネルと観察者の距離により１度視野範囲を算出し、パネルに発光素子を転写するシミュレーションを各相対位置において行うシミュレーションステップと、シミュレーションに従い転写領域とパネルとドナーとを配置させる配置ステップと、発光素子をパネルに転写させる転写ステップとを備え、シミュレーションステップでは、所定の１度視野範囲の全発光素子及びそれに隣接する１度視野範囲の全発光素子の発光波長の平均値の差が波長弁別閾値以下となる配置を行う。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の色を呈する複数の発光素子が平面的に配列されているドナーと、前記発光素子が前記ドナーから転写されて搭載されるパネルと、前記ドナーから前記パネルに前記発光素子を転写させる転写手段と、前記ドナーと前記パネルと前記転写手段とのそれぞれの相対位置を制御する位置制御手段と、前記ドナーにおける前記発光素子の位置情報及び前記パネルにおける転写された前記発光素子の位置情報および各前記発光素子の発光波長を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたデータを用いて前記パネルに所定の数の前記発光素子を転写するために前記相対位置の順番を算出する算出手段と、を用いて前記発光素子を前記パネルに転写する転写方法であって、
前記転写手段は転写領域を有しているとともに、当該転写領域において前記発光素子の転写を行うことが可能な転写可能位置を複数有しており、
前記パネルの対角線の長さが１０．１６ｃｍ以上３０．４８ｃｍ未満であるときに前記パネルから３０ｃｍ離れた位置で前記パネルを観察し、前記パネルの対角線の長さが３０．４８ｃｍ以上６８．５８ｃｍ未満であるときに前記パネルから５０ｃｍ離れた位置で前記パネルを観察し、前記パネルの対角線の長さが６８．５８ｃｍ以上１６５．１０ｃｍ未満であるときに前記パネルから１３０ｃｍ離れた位置で前記パネルを観察し、それぞれの観察によって視野角を算出し、
前記パネルに前記所定の数まで前記発光素子が転写されるシミュレーションを、算出された前記相対位置の順番に従って、各前記相対位置において前記発光素子の転写が行われる前記転写可能位置を用いて行うシミュレーションステップと、
前記シミュレーションステップにより選択された前記相対位置および前記転写可能位置の組み合わせと、その順番に従って、前記位置制御手段により前記転写領域に対して前記パネルおよび前記ドナーのそれぞれの所定の位置が相対するように前記パネルと前記ドナーとを配置させる配置ステップと、
前記転写手段により前記発光素子を前記パネルに転写させる転写ステップと
を備え、
前記シミュレーションステップでは、所定の１度視野範囲に転写されるすべての前記発光素子の発光波長の平均値と、前記所定の１度視野範囲に隣接する隣接１度視野範囲に転写されるすべての前記発光素子の発光波長の平均値との差が波長弁別閾値以下となる配置を行う、転写方法。

【請求項2】

前記シミュレーションステップでは少なくとも１つの前記所定の１度視野範囲において、互いに発光波長に差異がある前記ドナー内の複数の前記発光素子を前記所定の１度視野範囲に配置する、請求項１に記載の転写方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、転写方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

近年、従来の液晶ディスプレイに代わるものとしてＬＥＤを使用したディスプレイの開発が進められており、製品化が進みつつある。このようなＬＥＤを使用したディスプレイ（ＬＥＤディスプレイ）は、ＦＨＤ（Ｆｕｌｌ Ｈｉｇｈ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）パネルであって、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤが１９２０×１０８０個、４Ｋパネルでは３８４０×２１６０個、それぞれ格子状の配列にて配線基板に高密度に実装されている。

【0003】

このように配線基板へ高密度に実装される各色ＬＥＤとしては、たとえば約５０μｍ×５０μｍといった微小寸法を有する、いわゆるマイクロＬＥＤが用いられる。このようなマイクロＬＥＤは特許文献１に示すようにサファイアなどの成長基板上に窒化ガリウムの結晶をエピタキシャル成長させる工程などを経て得られ、基板上で上記寸法のチップ状にダイシングされる。このように形成されたＬＥＤチップは、１回もしくは複数回の転写工程を経て成長基板からディスプレイである配線基板へ転写される。その後、熱圧着などの実装工程を経て、配線基板にＬＥＤチップが固定される。

【0004】

ＬＥＤチップをディスプレイパネルである配線基板に転写する方法はいくつかあるが、例えば特許文献２，３に開示されているレーザーアブレーション技術を用いた方法が知られている。

【0005】

特許文献２にはレーザーアブレーション技術を用いた素子（ＬＥＤチップ）の転写方法が開示されている。また、１つの成長基板上に形成された複数のＬＥＤチップの発光波長には個体差があるが、特許文献３には、ＬＥＤディスプレイを製造した際に発光波長の個体差によって色むらが見る人によって感じられないようにする転写方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００２－１７０９９３号公報

【特許文献2】特開２００６－４１５００号公報

【特許文献3】特開２０２２－１３５５２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献３に開示された発明は、特許文献２に開示された発明を利用しつつＬＥＤディスプレイに色むらが生じないようにするという新たな課題を解決すべく創作されたものである。しかしながら、特許文献３に開示された発明では、各ＬＥＤチップの発光波長の最頻値から大きく外れた発光波長を有するＬＥＤチップは使用しないという方法を採用しているのでＬＥＤチップの歩留まりが下がってしまう。また、発光波長の最頻値から所定の波長範囲外れた発光波長を有するＬＥＤチップを色むらが目立たないディスプレイパネルの外周部に配置するだけであり、すべてのＬＥＤチップを使用して外周部であっても色むらが生じないディスプレイパネルを製造する技術ではなかった。

【0008】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェハに作成された発光素子の使用歩留まりを向上させ且つディスプレイ全面において色むらが生じない転写方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の転写方法は、所定の色を呈する複数の発光素子が平面的に配列されているドナーと、前記発光素子が前記ドナーから転写されて搭載されるパネルと、前記ドナーから前記パネルに前記発光素子を転写させる転写手段と、前記ドナーと前記パネルと前記転写手段とのそれぞれの相対位置を制御する位置制御手段と、前記ドナーにおける前記発光素子の位置情報及び前記パネルにおける転写された前記発光素子の位置情報および各前記発光素子の発光波長を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたデータを用いて前記パネルに所定の数の前記発光素子を転写するために前記相対位置の順番を算出する算出手段と、を用いて前記発光素子を前記パネルに転写する転写方法であって、前記転写手段は転写領域を有しているとともに、当該転写領域において前記発光素子の転写を行うことが可能な転写可能位置を複数有しており、前記パネルの対角線の長さが１０．１６ｃｍ以上３０．４８ｃｍ未満であるときに前記パネルから３０ｃｍ離れた位置で前記パネルを観察し、前記パネルの対角線の長さが３０．４８ｃｍ以上６８．５８ｃｍ未満であるときに前記パネルから５０ｃｍ離れた位置で前記パネルを観察し、前記パネルの対角線の長さが６８．５８ｃｍ以上１６５．１０ｃｍ未満であるときに前記パネルから１３０ｃｍ離れた位置で前記パネルを観察し、それぞれの観察によって視野角を算出し、前記パネルに前記所定の数まで前記発光素子が転写されるシミュレーションを、算出された前記相対位置の順番に従って、各前記相対位置において前記発光素子の転写が行われる前記転写可能位置を用いて行うシミュレーションステップと、前記シミュレーションステップにより選択された前記相対位置および前記転写可能位置の組み合わせと、その順番に従って、前記位置制御手段により前記転写領域に対して前記パネルおよび前記ドナーのそれぞれの所定の位置が相対するように前記パネルと前記ドナーとを配置させる配置ステップと、前記転写手段により前記発光素子を前記パネルに転写させる転写ステップとを備え、前記シミュレーションステップでは、所定の１度視野範囲に転写されるすべての前記発光素子の発光波長の平均値と、前記所定の１度視野範囲に隣接する隣接１度視野範囲に転写されるすべての前記発光素子の発光波長の平均値との差が波長弁別閾値以下となる配置を行うことを特徴とする。

【0010】

前記シミュレーションステップでは少なくとも１つの前記所定の１度視野範囲において、互いに発光波長に差異がある前記ドナー内の複数の前記発光素子を前記所定の１度視野範囲に配置していてもよい。

【発明の効果】

【0011】

１度視野範囲及び波長弁別閾値という基準を用いてシミュレーションを行うことによって、パネル内のどの位置であっても色むらが生じないように且つドナーの発光素子を歩留まり良く転写することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】実施形態に係る発光素子の転写装置の模式的な図である。

【図2】実施形態に係るドナー、転写手段、転写領域、パネルの相対的な位置関係の一例を示す模式的な図である。

【図3】（Ａ）は転写領域に相対しているドナーの領域、（Ｂ）は転写領域、（Ｃ）は転写領域に相対しているパネルの領域を示す一例である。

【図4】赤緑縞の空間コントラスト感度を表すグラフである。

【図5】実施形態に係るドナーに存在している緑色を呈する発光素子の発光波長分布を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

発明を実施するための形態について説明を行う前に、本願発明者が本願発明に思い至り創作した経緯を説明する。

【0014】

サファイアなどの成長基板（ウェハ）上に窒化ガリウムの結晶をエピタキシャル成長させる工程などを経て製造されるマイクロＬＥＤ（発光素子）は、１枚のウェハ上に多数のチップとして整列して存在している。このような成長工程においては、窒化ガリウムの結晶成長を始めどのような加工工程であっても、１つのウェハ上のあらゆる位置において均一に加工がなされるようにすることは非常に困難である。そのため、出来上がったチップの特性は１つ１つ少しずつ異なっていてばらつきがある。このような特性のうち、ディスプレイに関しては発光波長が特に重要になる。

【0015】

上述のようなばらつきは、製造装置内における温度むらや原材料の供給むらに起因する場合が多く、１つの製造装置で多数のウェハを一度に加工する場合には、ウェハを置く位置によってむらが生じてしまう。そのため例えばウェハの中央部分と周辺部分とで、あるいは右側と左側とで、または縞状に特性値の大きさが変化してむらになる。

【0016】

１つのウェハ上の多数のチップに、上記のように特性値、特に発光波長にむらが生じることを回避するのは非常に困難である。従って、例えば、中央部分の発光素子は発光波長が長めであるのに対して、周辺部分の発光素子は発光波長が短めになるといったむらが生じることがままあるが、そのようなむらが存在することを前提としてパネルを製造することになる。

【0017】

一般に１つのウェハには非常に多数のチップ（発光素子）が存在しており、１つのウェハから複数のパネルに発光素子を供給することができる。通常はウェハよりもパネルの方が面積が大きいが、ウェハ上のチップ間距離よりもパネル上のチップ間距離の方がかなり大きいため、１つのウェハ上の発光素子数が１つのパネルに搭載される発光素子数よりも多くなるのである。また、ウェハからパネルに発光素子を転写させる転写装置は、１度に転写することができる領域の面積がウェハ全体やパネル全体の面積に対して小さいため、１つのパネルに必要な発光素子をすべて転写するためには、ウェハ及びパネルを転写領域に対して複数回移動させて転写を行うことが必要である。

【0018】

さらには、パネルの製造コストを低減させるために、移動回数および転写回数を減らすことが重要である。そのためには転写領域内に存在するウェハ上の発光素子であってパネルに転写可能なものはできるだけ多く、可能であれば転写可能な全数を転写することが考えられる。この場合、パネル上の所定の領域にウェハの中央部分から転写可能な限りの発光素子を転写し、その隣の領域にウェハの周辺部分から転写可能な限りの発光素子を転写する、ということが起こりうる。もし上記のように、ウェハの中央部分と周辺部分とで発光素子の発光波長に大きな差があるようなむらがあったとしたら、パネル上の所定の領域は発光波長の長い発光素子が集中的に転写され、その隣の領域には発光波長の短い発光素子が集中的に転写されて、結果として隣接する２つの領域に明確な発光波長の差、即ち色むらが生じることになる。

【0019】

特許文献３に開示された発明はこのような色むらが生じないようにするための発明であるが、上述したように発光波長が最頻値から外れている発光素子を色むらが目立ちにくいパネルの外周部に転写するという方法であるので、色むらが生じないようにしているわけではない。また、最頻値から大きく外れる発光波長を有する発光素子は転写しないようにしているので、ウェハ内で使用することができる発光素子が減ってしまい歩留まりが下がってしまう。本願発明者はこのような状況に鑑みて様々な検討を行って本願発明に想到するに至った。

【0020】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。

【0021】

（実施形態１）
実施形態１は、所定の色を呈する多数のマイクロＬＥＤのチップが平面的に隣り合って配列されているドナー（ウェハ）から、転写手段によりチップをディスプレイパネルとなるパネル基板に転写する転写方法に関する。転写手段はレーザーリフトオフ（レーザーアブレーション技術）を用いているが、他の方法を用いても構わない。

【0022】

図１に示すように、ドナー２０は所定の色（例えば緑色）を呈する複数の発光素子２２が平面的に配列されているものであって、保持手段２５により保持されてパネル３０に向き合っている。パネル３０は、発光素子２２ａが転写された面とは反対側の面を載置部３２により吸着把持されており、載置部３２は移動ステージ４２の上に載せられている。なお、パネル３０に転写済みの発光素子には符号２２ａを付す。また、保持手段２５は、チップをエピタキシャル成長させるベースとなる成長基板やウェハに貼り付けられた中間基板などである。

【0023】

転写手段１０はレーザー光源１１、ガルバノミラー１２、Ｆθレンズ１４を備えている。レーザー光源１１は１本のレーザー光１３を出射する装置である。用いるレーザーとしてはＹＡＧレーザー、可視光レーザー、紫外線レーザーなどを挙げることができる。ガルバノミラー１２は２枚のミラーを有し、これらのミラーの位置および角度を制御することで、入射してきた光線を任意の方向へ出射する。

【0024】

（転写ステップ）
転写は以下のように行われる。レーザー光源１１から発せられたパルス状のレーザー光１３がガルバノミラー１２及びＦθレンズ１４を経由して保持手段２５に照射される。レーザー光１３は保持手段２５を透過して、保持手段２５と発光素子２２との界面に到達し、この界面においてレーザーアブレーションを生じさせる。このレーザーアブレーションによって発光素子２２は保持手段２５から剥離して下側に付勢されて、パネル３０に転写される。

【0025】

転写手段１０においては、レーザー光１３はガルバノミラー１２によって光路が制御されて、保持手段２５の様々な位置に照射されるが、ガルバノミラー１２の位置および角度の変更範囲は限定されている。そのため、図２に示すように、転写手段１０において、レーザー光１３を照射可能な領域である転写領域１５はドナー２０及びパネル３０に比べて小さい面積となっている。

【0026】

本実施形態では、波長測定手段によってドナー２０の個々の発光素子２２の発光波長が、転写が行われる前に測定されて、個々の発光素子２２の位置と発光波長が記憶手段により記憶される。波長測定手段およびそれを用いた発光波長の測定方法は、例えば特許文献３に記載されているように、発光素子２２にレーザー光を照射して発光素子２２内の電子を励起させ、この電子が基底状態に戻る際に放出する光を波長測定器で測定をして、発光波長を測定する方法を用いてもよいし、他の方法を用いてもよい。

【0027】

（配置ステップ）
転写領域１５がドナー２０及びパネル３０に比べて小さい面積であるので、パネル３０の全面に発光素子２２ａを必要な数だけ転写させるためには、転写領域１５とドナー２０とパネル３０との相対的な位置を変更してその都度転写を行う必要がある。転写手段１０は大がかりな装置であって固定されているので、保持手段２５を把持している把持手段４１によりドナー２０の位置を制御し、パネル３０の位置を移動ステージ４２により制御する。把持手段４１及び移動ステージ４２を備えた位置制御手段によって、パネル３０の発光素子２２ａが転写される面に対して平行にドナー２０及びパネル３０が移動して、転写領域１５とドナー２０とパネル３０との相対的な位置が変わっていく。ドナー２０とパネル３０とは、選択された所定の位置（領域）が転写領域１５に対して相対するように、位置制御手段によって移動されて配置される。

【0028】

（ある相対位置における転写の検討）
図３に示すように、（Ａ）では転写領域１５に相対するドナー２０の領域に複数の発光素子２２が隙間（小さな間隔）を介して隣接して並んでいるのに対し、（Ｃ）では転写領域１５に相対するパネル３０の領域に、ドナー２０における発光素子２２同士の隣接間隔よりも大きな間隔（数倍から数十倍）で発光素子２２ａが転写されることになる。転写領域１５も（Ｂ）に示すようにパネル３０の転写間隔と同じ間隔で転写可能位置１６が設定されている。

【0029】

図３では、ドナー２０に抜けなく発光素子２２が並んでいるため、転写領域１５のすべての転写可能位置１６を用いてパネル３０へ発光素子２２を転写することが可能である。ここでは、転写領域１５における転写可能位置１６は９個存在している。すべての転写可能位置１６を用いてパネル３０へ発光素子２２を転写することで転写効率を良くすることができるが、このやり方を続けると、パネル３０が発光したときにパネル３０上において色むらがはっきりと現れることがある。

【0030】

上記のようなパネル３０の発光時の色むらが生じないようにするとともにドナー２０の発光素子２２を歩留まりよく使用するため、本願発明者は様々な検討を行い、シミュレーションを行った結果、ある１度視野範囲内に転写される複数の発光素子２２の発光波長が所定の条件を満たすように転写のシミュレーションを行ってから転写を実行すればよいことを見出した。

【0031】

（１度視野範囲の算出）
パネル３０上における１度視野範囲は円で表され、パネル３０の観察者からパネル３０までの距離により算出することができる。即ち、観察者が所定の距離からディスプレイパネルを見た時に、観察者の視野角が１度となるディスプレイパネル上の円が１度視野範囲である。ディスプレイパネルの用途及び大きさによって、ディスプレイの表示が明確に視認できるような観察者からパネル３０までの距離は決められている。例えば、対角線の長さが４０インチ（１０１．６ｃｍ）のテレビ用途のディスプレパネルでは、一般社団法人日本オーディオ協会によれば、視聴のための推奨距離が２２９０ｍｍで最短距離が１２２０ｍｍとされている。距離が短いほど１度視野範囲は大きくなるので、最短距離を基準として１度視野範囲を算出する。

【0032】

対角線の長さで表示するパネルサイズが、４インチ（１０．１６ｃｍ）以上１２インチ（３０．４８ｃｍ）未満のディスプレイは、スマートフォンやタブレットに用いられるものであり、本実施形態では観察者からディスプレイパネルまでの距離を３０ｃｍとして１度視野範囲を算出する。この場合、パネル３０上の１度視野範囲は直径５．２４ｍｍの円形となる。

【0033】

対角線の長さで表示するパネルサイズが、１２インチ（３０．４８ｃｍ）以上２７インチ（６８．５８ｃｍ）未満のディスプレイは、ＰＣ等のモニターに用いられるものであり、本実施形態では観察者からディスプレイパネルまでの距離を５０ｃｍとして１度視野範囲を算出する。この場合、パネル３０上の１度視野範囲は直径８．７６ｍｍの円形となる。

【0034】

対角線の長さで表示するパネルサイズが、２７インチ（６８．５８ｃｍ）以上６５インチ（１６５．１０ｃｍ）未満のディスプレイは、テレビに用いられるものであり、本実施形態では観察者からディスプレイパネルまでの距離を１３０ｃｍとして１度視野範囲を算出する。この場合、パネル３０上の１度視野範囲は直径２２．６９ｍｍの円形となる。

【0035】

（シミュレーションステップ）
一般的に１枚のドナー（ウェハ）２０の全発光素子２２数よりも、パネル３０に搭載される全発光素子２２ａ数の方が相当少ないため、１枚のドナー２０から複数枚のパネル３０に発光素子２２を転写できる。

【0036】

ドナー２０からパネル３０に発光素子２２の転写を開始する前に、ドナー２０のどの位置の発光素子２２を、パネル３０のどの位置に搭載するのかについて、パネル３０の発光素子搭載位置のすべてに発光素子２２を転写できるようにシミュレーションをまず行う。シミュレーションにおいては転写がすべて完了したパネル３０が色むらを生じないように、記憶手段に記憶された個々の発光素子２２の位置と発光波長を用いて各発光素子２２を転写するパネル３０上の位置を決定する。このようなシミュレーションを完了せずに転写を開始してしまうと、パネル３０に色むらが現れてしまったり、ドナー２０に発光素子２２が残っていてもパネル３０への転写が行えずパネル３０が完成できない事態に陥る虞がある。

【0037】

本実施形態では、所定の色（例えば緑色）を呈する複数の発光素子２２が平面的に配列されているドナー２０からパネル３０に発光素子を２２を転写する際に、シミュレーションステップにおいて所定の１度視野範囲に転写されるすべての発光素子２２の発光波長の平均値と、この所定の１度視野範囲に隣接する隣接１度視野範囲に転写されるすべての発光素子２２の発光波長の平均値との差が波長弁別閾値以下となるようにシミュレーションを行う。このような発光波長の平均値の比較は、パネル３０内のすべての１度視野範囲に対して行う。

【0038】

色むらが感じられるか否かの参考となる指標として色度格子縞による空間的コントラスト感度がある。本実施形態では、１つのドナー２０に存在している発光素子２２は単色、即ちばらつきを除けば発光波長が同じものであって、単色を前提とした色むらを抑制するシミュレーションを行う。しかしながら、単色の色むらは、むらの有る無しの判断が難しいため、より厳しい条件である異なる２波長、例えば赤（６０２ｎｍ）の線と緑（５２６ｎｍ）の線とが交互に並んで縞を形成しているときに、赤と緑の色の区別ができるのか混色して区別がつかないのかを判断する色度格子縞による空間的コントラスト感度を参考にする。

【0039】

図４は赤緑縞の空間コントラスト感度を表すグラフである。横軸は１度視野範囲の縞の繰り返しサイクルである空間周波数（cy/deg）を表しており、縦軸はコントラスト感度を表している。空間周波数が約１０cy/deg（符号５１）よりも大きくなると色度感度が消失して混色して見え、赤と緑の区別がつかなくなる。混色するということは赤と緑の平均波長として感じる（見える）ということである。例えば、２７インチの８Ｋのディスプレイパネルでは、発光素子の繰り返しの周期は０．１５５ｍｍなので、９５ｃｍ離れて観察する場合１度視野範囲が直径１６．６ｍｍの円形である。この１度視野範囲での発光素子の設置繰り返しサイクルは約１０７cy/degになり、色度感度が消失する。したがって、この範囲内の発光素子に波長のばらつきがあっても平均された波長として感じられ、波長のばらつきを感じることはない。

【0040】

次に波長弁別閾値であるが、これは隣り合う領域において色が違うと感じるか否かの境目を表す数値である。この値には個人差があるが、例えば青（波長：４５２ｎｍ）では３．５ｎｍ、緑（５３４ｎｍ）では３．１ｎｍ、赤（６２０ｎｍ）では２．５ｎｍである。

【0041】

以上の点を考慮すると、１度視野範囲内の発光素子の設置繰り返しサイクルが色度感度の消失が生じる範囲にある場合は、ある１度視野範囲から人間が感じられる波長（色）は、その１度視野範囲内に存在するすべての発光素子の発光波長の平均値となる。そして、隣接する１度視野範囲内に存在するすべての発光素子の発光波長の平均値との比較では、その差が波長弁別閾値以下であれば同じ色と感じられるため色むらは生じない（色むらがあると感じることがない）。上記の１度視野範囲の算出の記載において列記した３種類のディスプレイはすべて１度視野範囲内の発光素子の設置繰り返しサイクルが大きくて、色度感度の消失が生じる。従って、シミュレーションでは１度視野範囲内に存在するすべての発光素子の発光波長の平均値を計算することで色むらが生じない発光素子の転写を行うことが可能となる。

【0042】

シミュレーションステップでは、転写領域１５とドナー２０とパネル３０との相対的な位置を１つ選び、転写領域１５の転写可能位置１６のすべてあるいは一部を用いてドナー２０からパネル３０へ発光素子２２を転写するシミュレーションを行う。このとき、記憶手段には各発光素子２２の発光波長が記憶されており、どのような発光波長を有する発光素子２２がパネル３０のどの位置に転写されたのかも記憶手段に記憶される。それから、転写領域１５とドナー２０とパネル３０との次の相対的な位置（前回の相対的な位置とは異なる位置）を選んで、同じように転写を行う。

【0043】

このように相対的な位置を次々に選んで転写を行っていくのと同時に、パネル３０上の任意の位置での１度視野の範囲内に転写されている複数の発光素子２２ａの平均発光波長を算出手段によって算出する。シミュレーションが進み、パネル３０に転写される発光素子２２ａの数が増えるにつれて、それぞれの１度視野の平均発光波長が変化していく。このような転写の進行に従って、隣接する１度視野範囲間の平均発光波長の差も計算し、パネル３０の完成時には前記平均発光波長の差がパネル３０上のいずれの場所においても波長弁別閾値以下になるように、シミュレーションにおける各配置ステップ・各転写ステップにおいて発光波長及び転写位置を考慮した発光素子２２の転写を行う。また、各１度視野範囲の平均発光波長そのものも、目標値から所定の範囲内に収まるようにシミュレーションを行う。このシミュレーションによって隣接する１度視野範囲間の平均発光波長の差がパネル３０上のいずれの場所においても波長弁別閾値以下になるような配置、転写の順番が導出できたら、実際にその順番に従って発光素子２２のパネル３０への転写を行う。

【0044】

なお、シミュレーションステップの具体的な方法は、パネル３０の完成時に隣接する１度視野範囲間の平均発光波長の差がパネル３０上のいずれの場所においても波長弁別閾値以下になるようにできればどのような方法であってもよいので、特に限定されない。例えば、最初の転写から、転写領域１５の転写可能位置１６のうち一部だけを用いて同じような発光波長を有する複数の発光素子２２がパネル３０の特定の領域に集中しないようにしたり、パネル３０上に転写されている隣り合う発光素子２２ａはドナー２０においてある程度離れた位置にある発光素子２２同士を転写するようにする方法などが挙げられる。さらには、ドナー２０における発光素子２２を可能な限り転写するようにシミュレーションを行うことにより、歩留まり良く発光素子２２を転写することができる。

【0045】

本実施形態ではシミュレーションステップを用いて、隣接する１度視野範囲間の平均発光波長の差が波長弁別閾値以下になるようにドナーから発光素子を選択してパネルに転写する順番を定めて実際の転写を行うので、完成したパネルからは色むらが観察されることがない。

【0046】

（実施形態２）
実施形態２は、具体的な発光波長の分布を示しているドナー２０からの発光素子の転写のシミュレーションを行う転写方法である。

【0047】

実施形態２に用いるドナー２０に存在している複数の発光素子２２（緑色）の発光波長分布を図５に示す。隣接する１度視野範囲間の平均発光波長の差がパネル３０上のいずれの場所においても波長弁別閾値以下にするには、５３５ｎｍ（符号６１）から５４０ｎｍ（符号６２）の範囲内の発光波長を備えた発光素子２２のみを転写すればよく、これにより確実に条件を満たすことができて色むらが生じないようになる。しかしながら、このような転写方法では符号６１よりも短波長側の発光素子２２及び符号６２よりも長波長側の発光素子２２を転写しないことになり、使用できない発光素子２２が非常に多くなって歩留まりが下がってしまう。

【0048】

本実施形態では、符号６１よりも短波長側の発光素子２２及び符号６２よりも長波長側の発光素子２２もすべてパネル３０に転写するようにシミュレーションステップでシミュレーションを行う。具体的には、まず、発光素子２２の発光波長のうち、最も短い発光波長と最も長い発光波長とを検出して比較する。図５では５３０ｎｍ（符号５２）と５４７ｎｍ（符号５３）である。この２つの波長の平均は５３８．５ｎｍであり、５３５ｎｍから５４０ｎｍの範囲（許容範囲）に入る。そこでシミュレーションにおいて、これらの発光波長を備えた２つの発光素子２２をパネル３０において隣接する位置に転写させることにして、実際の配置ステップ及び転写ステップにおいてもこのシミュレーションに従って発光素子２２の転写を行う。なお、パネル３０上のどの領域にこれらの発光素子２２を転写するかについては特に限定されず、シミュレーション時間が短くなり、実際の転写の時間も短いようにできる転写領域を求めるシミュレーションを行うことが好ましい。

【0049】

１度視野範囲には数十個の発光素子２２が配置されるため、この範囲において発光波長の平均を行うのであれば、最短発光波長と最長発光波長の２つの発光素子２２は隣接する位置に転写する必要はない。しかしながら、隣接する位置に転写すれば、その２つだけで平均波長が許容範囲に入ると共に、隣り合う１度視野範囲の中での発光素子２２の配置まで考慮すると、シミュレーションステップでの計算時間を短くすることができる。

【0050】

符号５２の５３０ｎｍと符号５３の５４７ｎｍの発光素子２２の転写位置をすべて決定したら、次に符号５４の５３１ｎｍと符号５５の５４６ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２を用いて同じように隣り合わせになるように転写のシミュレーションを行う。これら２つの発光波長の平均は５３８．５ｎｍであり、５３５ｎｍから５４０ｎｍの範囲（許容範囲）に入る。

【0051】

図５では符号５４の５３１ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２の方が、符号５５の５４６ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２よりも多い。そこで、５４６ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２をすべて転写し終えた後は、符号５７の５４５ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２と符号５４の５３１ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２とを組み合わせて隣同士になるようにシミュレーションを行う。これら２つの発光波長の平均は５３８ｎｍであり、やはり５３５ｎｍから５４０ｎｍの範囲（許容範囲）に入る。

【0052】

このように、発光波長が短いものと長いものとを組み合わせて隣同士に転写し、波長が短い方も長い方も順に発光波長の最頻値に近づいていくシミュレーションを行っていけば、発光波長が許容範囲内（符号６１から符号６２の間）の発光素子２２を転写する場合に、色むらが生じないようにするためのシミュレーションにおいて、許容範囲内の発光波長を有する発光素子２２はパネル３０上の発光素子２２が転写されていない位置のどこに転写してもよいようになり、転写できる位置の選択肢が大きくなる。即ち、シミュレーション後半では発光素子２２の配置の自由度が大きくなってシミュレーションおよび実際の転写を短時間で行うことができる。

【0053】

（その他の実施形態）
上述の実施形態は本願発明の例示であって、本願発明はこれらの例に限定されず、これらの例に周知技術や慣用技術、公知技術を組み合わせたり、一部置き換えたりしてもよい。また当業者であれば容易に思いつく改変発明も本願発明に含まれる。

【符号の説明】

【0054】

１０ 転写手段
１５ 転写領域
１６ 転写可能位置
２０ ドナー
２２ 発光素子
２２ａ 発光素子（パネル上に転写された）
３０ パネル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】