特開 2024-130293 リリーフ弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024130293

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】リリーフ弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 17/06 20060101AFI20240920BHJP

【ＦＩ】

F16K17/06 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023039935

(22)【出願日】2023-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000000929

【氏名又は名称】カヤバ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002468

【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 達夫

【テーマコード（参考）】

3H059

【Ｆターム（参考）】

3H059AA03

3H059BB06

3H059CA02

3H059CB02

3H059CD05

3H059CD11

3H059CE04

3H059EE01

3H059FF03

(57)【要約】

【課題】リリーフ弁内にエアが混入しても、リリーフ弁の作動が不安定になることを抑制する。
【解決手段】リリーフ弁１００は、背圧室５とドレン室９とを連通または遮断するパイロットポペット１０と、パイロットポペット１０を閉弁方向に付勢するスプリング２２と、スプリング２２のパイロットポペット１０と反対側の端部の位置を規定し、当該位置を変化させることでスプリング２２のパイロットポペット１０への付勢力を調整する圧電アクチュエータ２０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

リリーフ弁であって、
高圧側と低圧側とを連通または遮断する弁体と、
前記弁体を閉弁方向に付勢する弾性部材と、
前記弾性部材の前記弁体と反対側の端部の位置を規定し、前記位置を変化させることで前記弾性部材の前記弁体への付勢力を調整する圧電アクチュエータと、を備えることを特徴とするリリーフ弁。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リリーフ弁に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、高圧通路内の作動油の圧力が設定圧に達すると開弁し、高圧通路から低圧通路へ作動油を逃がすことにより、高圧通路内の作動油の圧力が異常に高圧となることを防止する電磁リリーフ弁が開示されている。

【0003】

特許文献１に記載の電磁リリーフ弁は、設定圧を変更することを可能にするソレノイド部を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－１２４０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載のリリーフ弁は、出荷時に検査を行った後、搬送され、その後、バルブブロックなどの油圧機器に取り付けられる。特許文献１に記載のリリーフ弁では、搬送中の振動などの影響により、弁内部にエアが混入することがある。

【0006】

例えば、ソレノイド部のプランジャを付勢するスプリングが収容されるスプリング室にエアが混入してしまうと、プランジャの移動に伴いエアが膨張及び収縮して、リリーフ弁の作動が不安定になる。

【0007】

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、リリーフ弁内にエアが混入しても、リリーフ弁の作動が不安定になることを抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、高圧側の通路と低圧側の通路とを連通または遮断する弁体と、弁体を閉弁方向に付勢する弾性部材と、弾性部材の弁体と反対側の端部の位置を規定し、位置を変化させることで弾性部材の弁体への付勢力を調整する圧電アクチュエータと、を備えることを特徴とする。

【0009】

この発明では、圧電アクチュエータによって弾性部材の弁体への付勢力を調整しているため、プランジャが存在しない。したがって、弁内部にエアが混入しても、リリーフ弁の作動が不安定になることを抑制することができる。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、リリーフ弁内にエアが混入しても、リリーフ弁の作動が不安定になることを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施形態に係るリリーフ弁の断面図である。

【図2】比較例に係るリリーフ弁の断面図である。

【図3】本発明の実施形態の変形例に係るリリーフ弁の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１を参照して、本発明の実施形態に係るリリーフ弁１００について説明する。

【0013】

リリーフ弁１００は、パイロット形式のリリーフ弁である。リリーフ弁１００は、高圧通路Ｈ内の作動油の圧力が設定圧（リリーフ圧）に達すると開弁し、高圧通路Ｈから低圧通路Ｌへ作動油を逃がすことにより、高圧通路Ｈ内の作動油の圧力が異常に高圧となることを防止する。

【0014】

図１に示すように、リリーフ弁１００は、機器本体１にねじ結合により取り付けられる。機器本体１は、油圧シリンダ、油圧ポンプ、油圧モータ、複数の弁を有するバルブブロック等の油圧機器の本体である。本実施形態では、機器本体１の作動液として作動油を使用した場合を例に説明するが、作動液は、作動水などの他の液体であってもよい。

【0015】

図１に示すように、リリーフ弁１００は、高圧通路Ｈと低圧通路Ｌとが設けられる機器本体１に取り付けられる第１バルブハウジング２と、第１バルブハウジング２の内側に設けられる第２バルブハウジング３と、第２バルブハウジング３に形成されたシート部３ｃから離座またはシート部３ｃに着座することで高圧通路Ｈと低圧通路Ｌとを連通または遮断する主弁体としてのメインポペット４と、第２バルブハウジング３内に設けられ、高圧通路Ｈからメインポペット４を閉弁方向に付勢するための作動油が導かれる背圧室５と、メインポペット４に設けられ、高圧通路Ｈと背圧室５とを連通するパイロット通路６と、リリーフ弁１００の設定圧（リリーフ圧）を調整するための圧電アクチュエータ２０と、圧電アクチュエータ２０を収容するハウジング８と、ハウジング８内に設けられ背圧室５の作動油が排出されるドレン室９と、ハウジング８に設けられドレン室９と背圧室５とを連通する第１連通路Ｐ１と、ハウジング８内に設けられ、第１連通路Ｐ１を開閉する弁体としてのパイロットポペット１０と、を備える。

【0016】

図１に示すように、第１バルブハウジング２は、機器本体１に取り付けられる第１円筒部２ａと、第１円筒部２ａとは反対側においてハウジング８とねじ結合される第２円筒部２ｂと、を有する円筒状に形成された部材である。

【0017】

第２バルブハウジング３は、円筒部３ａと底部３ｂとを有する有底円筒状に形成された部材である。第２バルブハウジング３は、円筒部３ａの開口端側がハウジング８の先端部８ａに固定され、底部３ｂ側が第１バルブハウジング２の第１円筒部２ａの開口から突出する。第２バルブハウジング３の底部３ｂには、高圧通路Ｈに連通する高圧ポート３Ｈが設けられ、円筒部３ａの底部３ｂ近傍には、低圧通路Ｌに連通する低圧ポート３Ｌが設けられる。

【0018】

第２バルブハウジング３の底部３ｂ側には、メインポペット４が収容される第１収容孔３ｄが設けられ、底部３ｂとは反対側の端部には、第１収容孔３ｄより径が大きい第２収容孔３ｅが設けられる。

【0019】

メインポペット４は、第１収容孔３ｄ内を摺動可能な本体部４０と、本体部４０に軸方向に貫通して形成された摺動孔４０ａ内を摺動可能なパイロットピストン４１と、を有する。

【0020】

本体部４０は、第２バルブハウジング３の内側に形成されるシート部３ｃに着座する弁部４０ｂを有する。弁部４０ｂがシート部３ｃに着座することにより、第２バルブハウジング３とメインポペット４との間を通じた高圧通路Ｈと低圧通路Ｌとの連通が遮断される。本体部４０の外周面と第２バルブハウジング３の内周面との間には、本体部４０と第２バルブハウジング３との間の隙間をシールするシール部材（Ｏリング）が設けられる。

【0021】

パイロットピストン４１は、第２バルブハウジング３の内周面とメインポペット４とハウジング８の先端部８ａとによって区画される空間である背圧室５に臨んで設けられるフランジ部４１ａと、フランジ部４１ａから軸方向に延在し摺動孔４０ａ内に挿入される円柱状の軸部４１ｂと、を有する。軸部４１ｂの先端部は、高圧通路Ｈに臨む本体部４０の先端面から突出する。また、パイロットピストン４１には、高圧通路Ｈと背圧室５とを連通するパイロット通路６が設けられる。パイロット通路６には、パイロット通路６を流れる作動油に抵抗を付与する絞りが設けられる。

【0022】

図１に示すように、パイロットピストン４１のフランジ部４１ａとハウジング８の先端部８ａとの間にはスプリング２１が設けられる。スプリング２１は、フランジ部４１ａがメインポペット４の本体部４０に当接するようにパイロットピストン４１を付勢するとともに、本体部４０が第２バルブハウジング３のシート部３ｃに着座するようにフランジ部４１ａを介して本体部４０を付勢する。

【0023】

ハウジング８は、有底円筒状に形成された部材である。ハウジング８は、第２バルブハウジング３の第２収容孔３ｅに挿入される先端部８ａと、先端部８ａより大径の連結部８ｂと、連結部８ｂより大径の本体部８ｃと、ハウジング８の一端に開口し、先端部８ａ、連結部８ｂ及び本体部８ｃにわたって軸方向に延びる収容孔８ｄと、を有する。

【0024】

先端部８ａの外周面には、第２バルブハウジング３の円筒部３ａが固定される。先端部８ａの外周面と第２バルブハウジング３の円筒部３ａの内周面との間には、これらの間の隙間をシールするシール部材（Ｏリング）が設けられる。

【0025】

また、先端部８ａには、背圧室５と収容孔８ｄとを連通する第１連通路Ｐ１と、一端が収容孔８ｄに開口するとともに他端が先端部８ａの外周面に開口するドレン通路１３と、が形成される。ドレン通路１３は、先端部８ａの周方向に間隔を開けて複数設けられる。

【0026】

連結部８ｂは、先端部８ａと本体部８ｃとの間に設けられる。連結部８ｂの外周面には、第１バルブハウジング２の第２円筒部２ｂと連結するためのおねじが形成される。

【0027】

ハウジング８の収容孔８ｄの開口端には、パイロットポペット１０の移動方向における圧電アクチュエータ２０の位置を調整するアジャスタ３０が設けられる。アジャスタ３０の具体的な構成については、後で説明する。

【0028】

収容孔８ｄに開口する第１連通路Ｐ１の開口端には、パイロットポペット１０の弁部１０ａが離着座するシート部８ｅが設けられる。また、シート部８ｅと背圧室５との間の第１連通路Ｐ１上には、第１連通路Ｐ１を流れる作動油の流れに抵抗を与える絞り８ｆが設けられる。なお、本実施形態では、第１連通路Ｐ１及び背圧室５が、特許請求の範囲における「高圧側」に相当する。

【0029】

ドレン室９は、ハウジング８の収容孔８ｄと圧電アクチュエータ２０とによって区画された空間である。ドレン室９は、ドレン通路１３、及び第２バルブハウジング３の外周面と第１バルブハウジング２の内周面との間の隙間１４と、を通じて低圧通路Ｌと常時連通する。なお、本実施形態では、ドレン室９、ドレン通路１３、及び隙間１４が、特許請求の範囲における「低圧側」及び「ドレン通路」に相当する。

【0030】

図１に示すように、パイロットポペット１０は、収容孔８ｄに収容される。パイロットポペット１０は、円錐状に形成された弁部１０ａと、弁部１０ａから軸方向に延びるガイド部１０ｂと、を有する。

【0031】

パイロットポペット１０は、パイロットポペット１０と圧電アクチュエータ２０との間に設けられた弾性部材としてのスプリング２２によって閉弁方向に付勢される。スプリング２２は、ガイド部１０ｂによって径方向の移動が規制される。

【0032】

圧電アクチュエータ２０は、ピエゾ素子を複数枚積層して形成される。圧電アクチュエータ２０のリード線（図示せず）は、ハウジング８を通って外部のコントローラ（図示せず）に接続される。圧電アクチュエータ２０は、コントローラから印加される電流に応じて、積層方向（図１におけるリリーフ弁１００の軸方向）に伸長または収縮する。印加電流として、圧電アクチュエータ２０を伸張させる電流を「正の電流」といい、圧電アクチュエータ２０を収縮させる電流を「負の電流」という。正の電流と負の電流とは、互いに極性が異なる電流である。

【0033】

圧電アクチュエータ２０は、スプリング２２の一端（パイロットポペット１０と反対側の端部）の位置を規定するとともに、スプリング２２のパイロットポペット１０へ付勢力を調整する。具体的には、圧電アクチュエータ２０に負の電流が印加されると、圧電アクチュエータ２０が収縮する。これにより、スプリング２２が伸張することで、パイロットポペット１０へ付勢力が小さくなる。この結果、パイロットポペット１０の弁部１０ａをシート部８ｅから離座させるために必要となる圧力、いわゆるクラッキング圧が小さくなる。

【0034】

これに対し、圧電アクチュエータ２０に正の電流が印加されると、圧電アクチュエータ２０が伸張する。これにより、スプリング２２が圧縮されることで、パイロットポペット１０へ付勢力が大きくなる。この結果、パイロットポペット１０の弁部１０ａをシート部８ｅから離座させるために必要となる圧力、いわゆるクラッキング圧が大きくなる。

【0035】

このように、リリーフ弁１００では、圧電アクチュエータ２０に印加する電流を制御してパイロットポペット１０に作用するスプリング２２の付勢力を変化させることによって、パイロットポペット１０が開弁する設定圧（リリーフ圧）を変更することができる。

【0036】

アジャスタ３０は、圧電アクチュエータ２０の初期位置及びスプリング２２の初期荷重を調整するために用いられる。アジャスタ３０は、調節ねじ３１と、ロックナット３２と、を有する。

【0037】

調節ねじ３１は、ハウジング８の収容孔８ｄの開口端に形成されためねじ部８ｇに螺合する。調節ねじ３１を回転させることで、調節ねじ３１がハウジング８に対して軸方向に移動する。具体的には、調節ねじ３１をねじ込むことにより、圧電アクチュエータ２０がスプリング２２を圧縮する方向に移動する。反対に、調節ねじ３１を緩めることにより、圧電アクチュエータ２０がスプリング２２が伸張する方向に移動する。

【0038】

ロックナット３２は、調節ねじ３１のゆるみ止めとして機能する。

【0039】

次に、リリーフ弁１００の動作について説明する。

【0040】

高圧通路Ｈの作動油は、パイロット通路６及び背圧室５を通じて第１連通路Ｐ１に導かれる。第１連通路Ｐ１に導かれた作動油の圧力が、スプリング２２によって設定される設定圧（クラッキング圧）に達すると、作動油の圧力によって、パイロットポペット１０の弁部１０ａがシート部８ｅから離座する。

【0041】

パイロットポペット１０の弁部１０ａがシート部８ｅから離座すると、背圧室５内の作動油が、第１連通路Ｐ１、ドレン室９、ドレン通路１３及び隙間１４を通じて低圧通路Ｌへと排出される。

【0042】

背圧室５には、パイロット通路６を通じて高圧通路Ｈから作動油が常時供給される。しかしながら、高圧通路Ｈから背圧室５への作動油の供給は、パイロット通路６に設けられた絞りによって制限される。このため、弁部１０ａがシート部８ｅから離座して背圧室５内の作動油が排出されると、背圧室５の圧力は、高圧通路Ｈの圧力よりも次第に低くなる。

【0043】

このように、背圧室５の圧力が低下すると、メインポペット４の本体部４０を第２バルブハウジング３のシート部３ｃに着座させる方向に作用する背圧室５の圧力による付勢力が低下する。そして、背圧室５の圧力と高圧通路Ｈの圧力との圧力差が予め設定された圧力差を超えると、メインポペット４の本体部４０が第２バルブハウジング３のシート部３ｃから離座し、メインポペット４が開弁する。これにより、高圧通路Ｈから低圧通路Ｌへと作動油が排出され、高圧通路Ｈの圧力が設定圧よりも高圧となることが防止される。

【0044】

ところで、スプリング２２のパイロットポペット１０へ付勢力を調整するために、圧電アクチュエータ２０に換えてソレノイドを用いることが考えられる。ここで、図２を参照して、比較例であるソレノイドを用いたリリーフ弁２００について、簡単に説明する。なお、以下では、ソレノイド部分のみを説明する。

【0045】

リリーフ弁２００は、ソレノイドへの電流の通電量を大きくするにつれて、設定圧（リリーフ圧）が高くなる逆比例タイプのリリーフ弁である。逆比例タイプとは、ソレノイドに印加する電流値が大きくなるほど、リリーフ圧が小さくなるように構成されたリリーフ弁である。

【0046】

リリーフ弁２００のソレノイド部Ｓは、ソレノイドハウジング７１内に摺動自在に収容されるプランジャ７２、プランジャ７２に固定され先端がパイロットポペット１０に当接するロッド７３と、ソレノイドハウジング７１内に係止されプランジャ７２をパイロットポペット１０側に向けて付勢する付勢部材としてのスプリング７４と、ソレノイドハウジング７１に収容されプランジャ７２にスプリング７４の付勢力に対向する反力を付与するコイル７５と、を有する。

【0047】

ソレノイドハウジング７１には、プランジャ７２が摺動する収容孔７１ａと軸方向に連続して形成され、スプリング７４が収容される付勢部材室としてのスプリング室７６が設けられる。

【0048】

スプリング７４の付勢力は、プランジャ７２及びプランジャ７２に連結されるロッド７３を介してパイロットポペット１０を閉弁方向に付勢するように作用する。つまり、スプリング７４は、パイロットポペット１０の弁部（図１参照）がシート部（図１参照）に着座するようにパイロットポペット１０を付勢している。

【0049】

コイル７５は、電流が印加されると、プランジャ７２にスプリング７４の付勢力に対向する推力を付与する。コイル７５に印加される電流が大きくなるにつれて、プランジャ７２及びロッド７３を介してパイロットポペット１０に作用するスプリング７４の付勢力が小さくなる。この結果、クラッキング圧が小さくなる。

【0050】

このように、リリーフ弁２００では、コイル７５に印加する電流を制御してパイロットポペット１０に作用するスプリング７４の付勢力を変化させることによって、パイロットポペット１０が開弁する設定圧（リリーフ圧）を変更することができる。

【0051】

このようなリリーフ弁２００では、パイロットポペット１０が開弁するために移動すると、プランジャ７２が移動してスプリング室７６の容積が縮小する。このとき、スプリング室７６の作動油の一部が貫通孔７２ａを通じて移動する。しかしながら、リリーフ弁２００内に混入したエアが、スプリング室７６内に入り込んでしまうと、プランジャ７２が移動した際に、パイロットポペット１０が開いて発振するおそれがある。これにより、リリーフ弁２００の作動が不安定になるおそれがある。

【0052】

これに対し、本実施形態のリリーフ弁１００は、圧電アクチュエータ２０によってスプリング２２のパイロットポペット１０への付勢力を調整しているため、プランジャが存在しない。したがって、リリーフ弁１００の内部にエアが混入しても、発振することがないため、リリーフ弁１００の作動が不安定になることを抑制することができる。

【0053】

なお、リリーフ弁１００は、上記実施形態に例示したものに限らない。ここで、図３を参照して、リリーフ弁１００の変形例であるリリーフ弁３００について具体的に説明する。以下では、リリーフ弁１００と異なる点のみを説明し、同一の構成については適宜説明を省略する。

【0054】

図３に示すリリーフ弁３００は、パイロット形式のリリーフ弁であるが、本変形例におけるリリーフ弁３００は、直動形式のリリーフ弁である。具体的には、図３に示すように、リリーフ弁３００では、パイロットポペット１０、背圧室５、パイロット通路６及びパイロットピストン４１が存在していない。このため、リリーフ弁３００では、スプリング２２の付勢力は、メインポペット３０４に直接作用する。

【0055】

リリーフ弁３００では、ハウジング３０８に、高圧通路Ｈに連通する高圧ポート３０３Ｈと、低圧通路Ｌに連通する低圧ポート３０３Ｌと、が設けられる。メインポペット３０４は、高圧ポート３０３Ｈと低圧ポート３０３Ｌとの連通を制御する。なお、この変形例におけるメインポペット３０４は、特許請求の範囲の「弁体」に相当し、高圧ポート３０３Ｈは、特許請求の範囲の「高圧側」に相当し、低圧ポート３０３Ｌは、特許請求の範囲の「低圧側」に相当する。

【0056】

このように構成されたリリーフ弁３００では、高圧ポート３０３Ｈの作動油の圧力が、スプリング２２によって設定される設定圧（クラッキング圧）に達すると、作動油の圧力によって、メインポペット３０４の弁部３０４ａがシート部３０８ｅから離座する。これにより、高圧通路Ｈから低圧通路Ｌへと作動油が排出され、高圧通路Ｈの圧力が設定圧よりも高圧となることが防止される。

【0057】

本変形例のリリーフ弁３００においても、圧電アクチュエータ２０によってスプリング２２のメインポペット３０４への付勢力を調整しているため、プランジャが存在しない。したがって、リリーフ弁３００の内部にエアが混入しても、発振することがないため、リリーフ弁３００の作動が不安定になることを抑制することができる。

【0058】

以上のように構成された本発明の実施形態の構成、作用、及び効果をまとめて説明する。

【0059】

リリーフ弁１００，３００は、高圧側（背圧室５、高圧ポート３０３Ｈ）と低圧側（ドレン室９、低圧ポート３０３Ｌ）とを連通または遮断する弁体（パイロットポペット１０、メインポペット３０４）と、弁体（パイロットポペット１０、メインポペット３０４）を閉弁方向に付勢する弾性部材（スプリング２２）と、弾性部材（スプリング２２）の弁体（パイロットポペット１０、メインポペット３０４）と反対側の端部の位置を規定し、当該位置を変化させることで弾性部材（スプリング２２）の弁体（パイロットポペット１０、メインポペット３０４）への付勢力を調整する圧電アクチュエータ２０と、を備える。

【0060】

この構成では、圧電アクチュエータ２０によって弾性部材（スプリング２２）の弁体（パイロットポペット１０、メインポペット３０４）への付勢力を調整しているため、プランジャが存在しない。したがって、リリーフ弁１００，３００の内部にエアが混入しても、リリーフ弁１００，３００の作動が不安定になることを抑制することができる。

【0061】

リリーフ弁１００は、リリーフ弁１００が取り付けられる機器本体１に設けられた高圧通路Ｈと低圧通路Ｌとを連通または遮断する主弁体（メインポペット４）と、高圧通路Ｈから主弁体（メインポペット４）を閉弁方向に付勢するための作動液（作動油）が導かれる背圧室５と、をさらに備え、高圧側である背圧室５の圧力が弾性部材（スプリング２２）の付勢力を上回ったときに、弁体（パイロットポペット１０）が開弁して低圧側であるドレン通路（ドレン室９、ドレン通路１３、隙間１４）に背圧室５内の作動液（作動油）を排出する。

【0062】

この構成では、弁体（パイロットポペット１０）が背圧室５とドレン通路（ドレン室９、ドレン通路１３、隙間１４）との間の作動液（作動油）の流れを制御するだけでよいので、弁体（パイロットポペット１０）及び弾性部材（スプリング２２）を小さくできる。また、主弁体（メインポペット４）によって高圧通路Ｈと低圧通路Ｌとを連通または遮断しているので、リリーフ流量を大きくすることができる。よって、リリーフ弁１００の流量を大きくしつつ、リリーフ弁１００の大型化を抑制できる。

【0063】

リリーフ弁１００，３００は、圧電アクチュエータ２０を収容するハウジング８，３０８と、ハウジング８，３０８に取り付けられ、弁体（パイロットポペット１０、メインポペット３０４）の移動方向における圧電アクチュエータ２０の位置を調整するアジャスタ３０と、をさらに備える。

【0064】

この構成では、圧電アクチュエータ２０の初期位置ないし弾性部材（スプリング２２）の初期荷重を簡単に調整することができる。

【0065】

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

【0066】

上記リリーフ弁１００，３００は、パイロット形式のリリーフ弁、及び直動形式のリリーフ弁の一例を示すものであり、様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0067】

１００，２００，３００・・・リリーフ弁、１・・・機器本体、２・・・第１バルブハウジング、３・・・第２バルブハウジング、３Ｈ・・・高圧ポート、３Ｌ・・・低圧ポート、３ｃ・・・シート部、４・・・メインポペット（主弁体）、５・・・背圧室（高圧側）、６・・・パイロット通路、８・・・ハウジング、８ｅ・・・シート部、９・・・ドレン室（低圧側、ドレン通路）、１０・・・パイロットポペット（弁体）、１３・・・ドレン通路（低圧側）、１４・・・隙間（低圧側、ドレン通路）、２０・・・圧電アクチュエータ、２２・・・スプリング（弾性部材）、３０・・・アジャスタ、７２・・・プランジャ、７４・・・スプリング、７６・・・スプリング室、３０３Ｈ・・・高圧ポート（高圧側）、３０３Ｌ・・・低圧ポート（低圧側）、３０４・・・メインポペット（弁体）、３０８・・・ハウジング、３０８ｅ・・・シート部、Ｈ・・・高圧通路、Ｌ・・・低圧通路、Ｐ１・・・第１連通路（高圧側）、Ｓ・・・ソレノイド部

【図1】

【図2】

【図3】