特開 2024-130641 調整方法、調整装置、測定装置の製造方法及び測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024130641

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】調整方法、調整装置、測定装置の製造方法及び測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/59 20060101AFI20240920BHJP

   G01N 33/28 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

G01N21/59 Z

G01N33/28

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023040487

(22)【出願日】2023-03-15

(71)【出願人】

【識別番号】000178675

【氏名又は名称】ヤマシンフィルタ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100170070

【弁理士】

【氏名又は名称】坂田 ゆかり

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 順基

(72)【発明者】

【氏名】北島 信行

【テーマコード（参考）】

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G059AA03

2G059AA05

2G059BB04

2G059CC09

2G059CC14

2G059CC15

2G059DD12

2G059DD13

2G059EE01

2G059GG03

2G059KK01

2G059KK03

2G059MM01

2G059MM09

2G059MM10

(57)【要約】

【課題】オイルを用いることなく測定装置を調整することができる。
【解決手段】測定流路に光を照射する光照射部と、光照射部から照射されて測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、測定流路にオイルを流した状態において受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する。測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが測定流路を流れたときに受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて光照射部から光を照射し、当該照射された光を受光部で受光して得られた電気信号に基づいて第１汚染度における測定値を得る。
【選択図】 図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整方法であって、
前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る第１調整ステップを含む
ことを特徴とする調整方法。

【請求項2】

基準測定装置を用いて、前記第１疑似信号を生成する疑似信号生成ステップを含み、
前記基準測定装置は、基準測定流路に光を連続して照射する基準光照射部と、前記基準光照射部から連続して照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る基準受光部と、を有し、
前記疑似信号生成ステップは、
前記基準測定流路に前記第１汚染度のオイルを流した状態で前記基準光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記基準受光部で受光して得られた電気信号を測定して前記第１汚染度における第１基準測定値を得る第１基準値測定ステップと、
前記測定流路にオイルを流さない状態で、前記基準受光部を点滅させる点滅信号を用いて前記基準光照射部から光を照射させ、当該基準受光部で得られた電気信号が前記基準受光部で得られた電気信号と同等であるときの前記点滅信号を前記第１疑似信号とする第１疑似信号取得ステップと、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の調整方法。

【請求項3】

前記第１基準値測定ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値を平滑化して前記第１基準測定値を得、
前記第１疑似信号取得ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値が前記第１基準測定値と同等となったときの前記点滅信号を前記第１疑似信号とする
ことを特徴とする請求項２に記載の調整方法。

【請求項4】

前記第１疑似信号取得ステップでは、前記測定流路にオイルを流さない状態で、前記基準受光部で得られる信号の出力値の最大値が、前記第１基準値測定ステップにおいて前記基準受光部で受光して得られた電気信号の最大値である基準出力値と同等な値となるように前記基準光照射部の出力レベルを調整し、当該調整後に前記基準光照射部から光を照射させて前記第１疑似信号を得る
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の調整方法。

【請求項5】

前記第１調整ステップでは、前記第１疑似信号取得ステップにおける出力レベルの調整結果に基づいて前記光照射部の出力レベルを調整し、当該調整後の出力レベルで前記第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射する
ことを特徴とする請求項４に記載の調整方法。

【請求項6】

前記測定流路は、少なくとも一部がガラスで形成された配管を含み、
前記測定流路にオイルを流さない状態とは、前記測定流路に液体を流さない状態、前記測定流路にオイル以外の液体を流した状態、又は、前記配管に変えてガラス棒を設けた状態である
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の調整方法。

【請求項7】

前記測定流路にオイル以外の液体を流した状態とは、前記測定流路に水、アルコール、又は、水とアルコールの混合物を流した状態である
ことを特徴とする請求項６に記載の調整方法。

【請求項8】

測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態で前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整方法であって、
任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射し、当該照射により前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る第１調整ステップを含む
ことを特徴とする調整方法。

【請求項9】

基準測定装置を用いて、前記棒状部材の前記遮光スリットの大きさ及び数と、前記第１速度とを調整する棒状部材調整ステップを含み、
前記基準測定装置は、基準測定流路に光を連続して照射する基準光照射部と、前記基準光照射部から連続して照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る基準受光部と、を有し、
前記棒状部材調整ステップは、
前記基準測定流路に前記第１汚染度のオイルを流した状態で前記基準光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記基準受光部で受光して得られた電気信号を測定して前記第１汚染度における第１基準測定値を得る第１基準値測定ステップと、
前記基準光照射部から光を連続的に点灯し、前記遮光スリットを任意の大きさ及び数で設けた仮棒状部材を任意の仮速度で前記基準測定流路内を移動させながら前記基準受光部で電気信号を得、当該電気信号が前記第１基準測定値と同等となった場合に前記仮棒状部材及び前記仮速度を前記棒状部材及び前記第１速度とする調整ステップと、
を含むことを特徴とする請求項８に記載の調整方法。

【請求項10】

前記第１基準値測定ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値を平滑化して前記第１基準測定値を得、
前記調整ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値が前記第１基準測定値と同等となったときの前記仮棒状部材及び前記仮速度を前記棒状部材及び前記第１速度とする
ことを特徴とする請求項９に記載の調整方法。

【請求項11】

測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整装置であって、
前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射する照射制御部と、
前記光照射部から照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る測定部と、
を含むことを特徴とする調整装置。

【請求項12】

測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整装置であって、
任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射する照射制御部と、
前記光照射部から照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る測定部と、
を含むことを特徴とする調整装置。

【請求項13】

配管を含む測定流路にオイルを流した状態において、前記測定流路に光を照射する光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を受光部で連続して受光して得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置の製造方法であって、
前記配管を挟むように、前記光照射部と前記受光部とを設けるステップと、
前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得るステップと、
前記測定流路、前記光照射部及び前記受光部が内部に設けられた筐体を組み立てるステップと、
を含むことを特徴とする測定装置の製造方法。

【請求項14】

配管を含む測定流路にオイルを流した状態において、前記測定流路に光を照射する光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を受光部で連続して受光して得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置の製造方法であって、
前記配管を挟むように、前記光照射部と前記受光部とを設けるステップと、
前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射し、当該照射により前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得るステップと、
前記測定流路、前記光照射部及び前記受光部が内部に設けられた筐体を組み立てるステップと、
を含むことを特徴とする測定装置の製造方法。

【請求項15】

測定流路に光を照射する光照射部と、
前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、
前記光照射部の点灯を制御し、かつ、前記受光部での受光結果に基づいて測定値を得る制御部と、
前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射させ、当該照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る場合と、前記第１汚染度における測定値及び前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する場合とで前記受光部からの出力を切り替える切替部と、
を備えたことを特徴とする測定装置。

【請求項16】

測定流路に光を照射する光照射部と、
前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、
前記光照射部の点灯を制御し、かつ、前記受光部での受光結果に基づいて測定値を得る制御部と、
任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射し、当該照射により前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る場合と、前記第１汚染度における測定値及び前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する場合とで前記受光部からの出力を切り替える切替部と、
を備えたことを特徴とする測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、調整方法、調整装置、測定装置の製造方法及び測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、液体に光を連続して照射する光照射部と、光照射部から連続して照射されて液体を通った光を連続して受光し、連続して受光した光を連続した電気信号に変換する受光部と、受光部で変換した連続した電気信号を第１の倍率で増幅して、連続した信号である粒子検出信号を生成する粒子検出部と、受光部で変換した連続した電気信号を第１の倍率より小さい第２の倍率で増幅して、連続した信号である気泡検出信号を生成する気泡検出部と、粒子検出信号と気泡検出信号とに基づいて体の汚染度を測定するための信号を生成する汚染度測定部と、を備えた測定装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６３６７６４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の測定装置では、汚染度の測定を行う前に受光部を調整しておく必要がある。受光部の調整は、予め汚染度が既知の液体（作動油等のオイル）を測定流路に流した状態で光照射部から連続して光を照射し、それを受光部で受光して得られた電気信号に基づいて行われる。しかしながら、測定流路にオイルを流すと、オイルの洗浄に手間がかかり調整に時間を要してしまう。

【0005】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、オイルを用いることなく測定装置を調整することができる調整方法、調整装置、測定装置の製造方法及び測定装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明に係る調整方法は、例えば、測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整方法であって、前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る第１調整ステップを含むことを特徴とする。

【0007】

また、本発明の別の態様に係る調整装置は、例えば、測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整装置であって、前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射する照射制御部と、前記光照射部から照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る測定部と、を含むことを特徴とする。

【0008】

また、本発明の別の態様に係る測定装置の製造方法は、配管を含む測定流路にオイルを流した状態において、前記測定流路に光を照射する光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を受光部で連続して受光して得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置の製造方法であって、前記配管を挟むように、前記光照射部と前記受光部とを設けるステップと、前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得るステップと、前記測定流路、前記光照射部及び前記受光部が内部に設けられた筐体を組み立てるステップと、を含むことを特徴とする。

【0009】

本発明の上記いずれかの態様では、測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度（第１汚染度）のオイルが測定流路を流れたときに受光部に入力される光と同等な光を照射させる第１疑似信号を用いて、前記光照射部から照射された光を受光部で受光して得られた電気信号に基づいて第１汚染度における測定値を得て、測定装置を調整する。これにより、オイルを用いることなく測定装置を調整することができる。

【0010】

基準測定装置を用いて、前記第１疑似信号を生成する疑似信号生成ステップを含み、前記基準測定装置は、基準測定流路に光を連続して照射する基準光照射部と、前記基準光照射部から連続して照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る基準受光部と、を有し、前記疑似信号生成ステップは、前記基準測定流路に前記第１汚染度のオイルを流した状態で前記基準光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記基準受光部で受光して得られた電気信号を測定して前記第１汚染度における第１基準測定値を得る第１基準値測定ステップと、前記測定流路にオイルを流さない状態で、前記基準受光部を点滅させる点滅信号を用いて前記基準光照射部から光を照射させ、当該基準受光部で得られた電気信号が前記基準受光部で得られた電気信号と同等であるときの前記点滅信号を前記第１疑似信号とする第１疑似信号取得ステップと、を含んでもよい。これにより、第１疑似信号の精度を高くすることができる。

【0011】

前記第１基準値測定ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値を平滑化して前記第１基準測定値を得、前記第１疑似信号取得ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値が前記第１基準測定値と同等となったときの前記点滅信号を前記第１疑似信号としてもよい。これにより、正確な第１疑似信号を得、これにより調整の精度を高くすることができる。

【0012】

前記第１疑似信号取得ステップでは、前記測定流路にオイルを流さない状態で、前記基準受光部で得られる信号の出力値の最大値が、前記第１基準値測定ステップにおいて前記基準受光部で受光して得られた電気信号の最大値である基準出力値と同等な値となるように前記基準光照射部の出力レベルを調整し、当該調整後に前記基準光照射部から光を照射させて前記第１疑似信号を得てもよい。これにより、正確な第１疑似信号を得、調整の精度を高くすることができる。

【0013】

前記第１調整ステップでは、前記第１疑似信号取得ステップにおける出力レベルの調整結果に基づいて前記光照射部の出力レベルを調整し、当該調整後の出力レベルで前記第１疑似信号を用いて前記光照射部から光を照射してもよい。これにより、調整の精度を高くすることができる。

【0014】

前記測定流路は、少なくとも一部がガラスで形成された配管を含み、前記測定流路にオイルを流さない状態とは、前記測定流路に液体を流さない状態、前記測定流路にオイル以外の液体を流した状態、又は、前記配管に変えてガラス棒を設けた状態であってもよい。また、前記測定流路にオイル以外の液体を流した状態とは、前記測定流路に水、アルコール、又は、水とアルコールの混合物を流した状態であってもよい。測定流路に液体を流さない状態では、調整の時間を特に短縮することができる。また、測定流路にオイル以外の液体を流した状態や配管に変えてガラス棒を設けた状態では、配管にオイルを流した状態に近いため、調整の時間を短縮しつつも、調整の精度が向上しやすい。

【0015】

上記課題を解決するために、本発明に係る調整方法は、例えば、測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態で前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整方法であって、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射し、当該照射により前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る第１測定ステップを含むことを特徴とする。

【0016】

また、本発明の別の態様に係る調整装置は、例えば、測定流路に光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る受光部と、を有し、前記測定流路にオイルを流した状態において前記受光部で得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置を調整する調整装置であって、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射する照射制御部と、前記光照射部から照射された光を前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得る測定部と、を含むことを特徴とする。

【0017】

また、本発明の別の態様に係る測定装置の製造方法は、配管を含む測定流路にオイルを流した状態において、前記測定流路に光を照射する光照射部から照射されて前記測定流路を通った光を受光部で連続して受光して得られた電気信号に基づいてオイルの汚染度を測定する測定装置の製造方法であって、前記配管を挟むように、前記光照射部と前記受光部とを設けるステップと、前記測定流路にオイルを流さない状態で、任意の汚染度である第１汚染度のオイルが前記測定流路を流れたときに前記受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で前記測定流路内を移動させながら前記光照射部から連続的に光を照射し、当該照射により前記受光部で受光して得られた電気信号に基づいて前記第１汚染度における測定値を得るステップと、前記測定流路、前記光照射部及び前記受光部が内部に設けられた筐体を組み立てるステップと、を含むことを特徴とする。

【0018】

本発明の上記いずれかの態様では、任意の汚染度（第１汚染度）のオイルが測定流路を流れたときに受光部に入力される光と同等となるように、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を第１速度で測定流路内を移動させながら光照射部から光を連続的に光を照射し、当該照射により受光部で受光して得られた電気信号に基づいて第１汚染度における測定値を得て、測定装置を調整する。これにより、オイルを用いることなく測定装置を調整することができる。

【0019】

基準測定装置を用いて、前記棒状部材の前記遮光スリットの大きさ及び数と、前記第１速度とを調整する棒状部材調整ステップを含み、前記基準測定装置は、基準測定流路に光を連続して照射する基準光照射部と、前記基準光照射部から連続して照射されて前記測定流路を通った光を連続して受光して連続した電気信号を得る基準受光部と、を有し、前記棒状部材調整ステップは、前記基準測定流路に前記第１汚染度のオイルを流した状態で前記基準光照射部から光を照射し、当該照射された光を前記基準受光部で受光して得られた電気信号を測定して前記第１汚染度における第１基準測定値を得る第１基準値測定ステップと、前記基準光照射部から光を連続的に点灯し、前記遮光スリットを任意の大きさ及び数で設けた仮棒状部材を任意の仮速度で前記基準測定流路内を移動させながら前記基準受光部で電気信号を得、当該電気信号が前記第１基準測定値と同等となった場合に前記仮棒状部材及び前記仮速度を前記棒状部材及び前記第１速度とする調整ステップと、を含んでもよい。これにより棒状部材及び第１速度の調整精度を高くすることができる

【0020】

前記第１基準値測定ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値を平滑化して前記第１基準測定値を得、前記調整ステップでは、前記基準受光部で受光して得られた電気信号の単位時間当たりの積分値が前記第１基準測定値と同等となったときの前記仮棒状部材及び前記仮速度を前記棒状部材及び前記第１速度としてもよい。これにより、調整の精度を高くすることができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、オイルを用いることなく測定装置を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】測定装置１の概略を示す断面図である。

【図2】測定装置１、１Ａ及び測定装置１、１Ａに接続される調整装置２の電気的な構成の概略を示すブロック図である。

【図3】調整装置２が測定装置１Ａの調整処理を行う処理の流れを示すフローチャートである。

【図4】測定装置１Ａの製造方法の処理の流れを示すフローチャートである。

【図5】測定値を得る方法を説明する模式図であり、（Ａ）は配管３９に流れるオイルに含まれる粒子（ダスト）の流れを模式的に示し、（Ｂ）は電気信号の出力の時間変化を模式的に示す。

【図6】疑似信号を取得する処理（ステップＳＰ２０）の処理の流れを示すフローチャートである。

【図7】発光素子１１から照射された光の様子を示す図であり、（Ａ）は配管３９内にオイルがある状態を示し、（Ｂ）は配管３９内にオイルが無く空気がある状態を示す。

【図8】点滅信号ｓｎを用いて発光素子１１が点滅したときに受光部２０で得られた電気信号を模式的に示す図である。

【図9】ステップＳＰ３０の処理の流れを示すフローチャートである。

【図10】測定装置１で疑似信号を得る、及び、測定装置１Ａで測定値を得る様子を模式的に示す図である。

【図11】測定装置１、１Ａ及び測定装置１、１Ａに接続される調整装置２Ａの電気的な構成の概略を示すブロック図である。

【図12】調整装置２Ａが測定装置１Ａの調整処理を行う処理の流れを示すフローチャートである。

【図13】棒状部材調整ステップ（ステップＳＰ４０）の処理の流れを示すフローチャートである。

【図14】ステップＳＰ５０の処理の流れを示すフローチャートである。

【図15】測定装置１Ｂ及び測定装置１、１Ａに接続される調整装置２Ａの電気的な構成の概略を示すブロック図である。

【図16】調整装置２が測定装置１Ｂの調整処理を行う処理の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明は、建設機械、油圧機器等のオイルを用いて所望の動作を行う装置の所望の位置に設けられ、オイルの汚染度を測定する測定装置の調整に関するものである。測定装置の調整は、測定装置を出荷する前の製造工程で行われる。

【0024】

＜第１の実施の形態＞
図１は、測定装置１の概略を示す断面図である。なお、図１では、断面を示すハッチングを一部省略する。測定装置１は、主として、光照射部１０と、受光部２０と、筐体３０と、配管３９とを有する。

【0025】

光照射部１０は、主として、発光素子１１と、発光素子１１が設けられた基板１５とを有する。発光素子１１は、例えば、ＬＥＤであり、配管３９に向けて光を照射する。

【0026】

受光部２０は、主として、受光素子２１と、受光素子２１が設けられた基板２５とを有する。受光素子２１は、例えばフォトダイオード（ＰＤ）であり、光の照射による透過光を検出する。

【0027】

発光素子１１と受光素子２１とは、配管３９を挟んで配置されている。また、発光素子１１の光軸ａｘ１は、受光素子２１の受光領域と重なる。なお、受光領域とは、入射した光が検出可能な領域であり、受光素子２１は、受光領域に入射した光を電気信号に変換する。例えば、受光素子２１がフォトダイオードである場合には、環状電極に囲まれた内側の領域が受光領域である。

【0028】

なお、図１では、発光素子１１の光軸ａｘ１は受光素子２１の光軸ａｘ２と一致しているが、光軸ａｘ１と光軸ａｘ２とは一致していなくてもよい。

【0029】

配管３９は、少なくとも一部が光透過性の材料（ここでは、ガラス）で形成されており、測定対象である油、水等の液体が内部を通過する。配管３９の光透過性材料で形成された部分に対し、一方から発光素子１１が光を照射し、反対側で受光素子２１が光を受光する。

【0030】

なお、配管３９は全体が光透過性の材料で形成されたものであってもよいし、一部に光を導入及び導出するための窓が形成されたものであってもよい。図１では、配管３９は、全体がガラスで形成されたガラス管である。

【0031】

配管３９は、筐体３０の内部に設けられている。筐体３０は、主として、第１筐体３１と、第２筐体３２と、第３筐体３３とを有する。

【0032】

第１筐体３１は、両端にそれぞれ設けられた穴３１ａと、２つの穴３１ａを連通する孔３１ｂと、が設けられている。穴３１ａの中心軸と孔３１ｂの中心軸は略一致する。

【0033】

孔３１ｂには配管３９が挿入されており、穴３１ａにはそれぞれ第２筐体３２が挿入されている。また、穴３１ａには、第２筐体３２の外側に第３筐体３３の一部が挿入されている。穴３１ａには雌ねじ部３１ｃが形成されており、第２筐体３２及び第３筐体３３の外周面に形成された雄ねじ部３２ａ、３３ａが螺合することにより、第２筐体３２及び第３筐体３３が穴３１ａに設けられ、筐体３０が組み立てられる。

【0034】

第２筐体３２及び第３筐体３３には、それぞれ孔３２ｂ、３３ｂが設けられている。孔３２ｂ、３３ｂは、配管３９の中空部と連通している。孔３２ｂ、３３ｂ及び配管３９は、測定流路に含まれる。

【0035】

なお、本実施の形態では、第２筐体３２と第３筐体３３とは別部材であるが、第２筐体３２と第３筐体３３とは一つの部材であってもよい。

【0036】

第１筐体３１は、凹部３１ｄ、３１ｅを有する。凹部３１ｄには基板１５が設けられ、凹部３１ｅには基板２５が設けられている。凹部３１ｄの底面には孔３１ｇが設けられており、孔３１ｇに発光素子１１が設けられている。また、凹部３１ｅの底面には孔３１ｆが設けられており、発光素子１１から照射された光は、配管３９及び孔３１ｆを通って受光素子２１に入射する。

【0037】

本実施の形態では、少なくとも２つの測定装置１、１Ａを用いる。測定装置１は汚染度測定の基準となる基準測定装置であり、測定装置１における測定結果を用いて測定装置１Ａの調整を行う。基準測定装置は測定装置１のみであるが、測定装置１を用いて測定装置１Ａ以外の複数の測定装置の調整を行うことができる。

【0038】

図２は、測定装置１、１Ａ及び測定装置１、１Ａに接続される調整装置２の電気的な構成の概略を示すブロック図である。

【0039】

測定装置１、１Ａは制御部４０を有し、調整装置２は制御部５０を有する。制御部４０は、主として、駆動部４１と、汚染度測定部４２と、記憶部４３と、出力部４５と、表示部４６とを有する。また、制御部５０は、主として、照射制御部５１と、測定部５２と、記憶部５３とを有する。

【0040】

駆動部４１は、発光素子１１を駆動する機能部である。駆動部４１は、発光素子１１を駆動形態を切り替える切替部４１ａを有する。駆動部４１は、発光素子１１を駆動する複数の駆動回路を含む。第１駆動回路は、発光素子１１の発光量を一定とする定電流回路等を含む。切替部４１ａが第１駆動回路に切り替えた場合には、駆動部４１は、発光素子１１から連続して光を照射させる。また、駆動部４１は、切替部４１ａが駆動回路を用いない第２回路に切り替えた場合には、照射制御部５１から出力された疑似信号（後に詳述）に基づいて発光素子１１を点滅させる。なお、第１駆動回路は、受光素子２１の受光量をフィードバックするＡＰＣ回路を含んでもよい。

【0041】

なお、本実施の形態では、駆動部４１（切替部４１ａ）が制御部４０に含まれていたが、駆動部４１（切替部４１ａ）が基板１５に設けられたアナログ回路であってもよい。

【0042】

受光素子２１は、発光素子１１から照射されて配管３９を通った光を受光する。受光部２０はアンプ２２を有し、受光素子２１の出力信号はアンプ２２により増幅された後に汚染度測定部４２及び測定部５２に入力される。

【0043】

受光部２０は、出力を切り替える切替部２３を有する。ここでは、切替部２３は、受光素子２１の出力信号を汚染度測定部４２に入力するか、測定部５２に入力するかを切り替える。

【0044】

なお、本実施の形態では、切替部２３が受光部２０（基板２５）に含まれていたが、切替部２３が制御部４０に含まれていてもよい。

【0045】

汚染度測定部４２は、受光素子２１からの出力信号に基づいて、液体の汚染度を測定する機能部である。オイルに粒子（不純物）が含まれていると、粒子により光が遮られた分だけ受光素子２１に光が入射しない。汚染度測定部４２は、受光素子２１からの出力信号が遮られた回数及び時間に基づいて、液体に含まれる粒子の量、すなわち汚染度を測定する。汚染度測定部４２の処理は公知の方法を用いることができるため、説明を省略する。

【0046】

汚染度測定部４２には、出力部４５が接続される。出力部４５には、ディスプレイ、処理装置、記憶装置、通信機械、建設機械等が接続されている。測定結果は、ディスプレイに表示されたり、記憶装置に記憶されたり、通信機械を介して建設機械に出力され、建設機械で表示されたりするようになっている。本実施の形態では、出力部４５には表示部４６が接続されている。なお、出力部４５は、ネットワーク（有線、無線を問わない）を介して測定結果を外部の出力装置等に出力するようにしてもよい。

【0047】

照射制御部５１は、点滅信号を駆動部４１に出力する機能部である。疑似信号は、発光素子１１を点滅（フラッシング）させる。

【0048】

測定部５２は、照射制御部５１から出力された点滅信号を用いて駆動部４１が発光素子１１を駆動させたときに受光部２０で受光して得られた電気信号を取得し、測定値を得る機能部である。また、測定部５２は、得られた測定値に基づいて、照射制御部５１から出力された点滅信号が疑似信号であるか否か判定する。測定部５２が行う処理の詳細については後に詳述する。

【0049】

図３は、調整装置２が測定装置１Ａの調整処理を行う処理の流れを示すフローチャートである。

【0050】

（ステップＳＰ１０）
調整装置２に測定装置１（本発明の基準測定装置に相当）を接続する。測定装置１の測定流路（配管３９を含む）に任意の汚染度（本発明の第１汚染度に相当）のオイルを流した状態で、測定装置１の駆動部４１は、測定装置１の光照射部１０（本発明の基準光照射部に相当）から光を照射する。このとき、測定装置１は、連続して発光素子１１を点灯させる。この照射された光を測定装置１の受光部２０（本発明の基準受光部に相当）で受光し、それにより得られた電気信号を測定部５２が取得し、測定部５２はこの電気信号から測定値を取得する。測定部５２は、取得した測定値を、任意の汚染度における基準測定値（本発明の第１基準測定値に相当）として記憶部５３に記憶させる。ステップＳＰ１０は、本発明の第１基準値測定ステップに相当する。

【0051】

任意の汚染度は、例えば、ＩＳＯ等級が１６～２２のいずれかである。配管３９に流すオイルは、予めＩＳＯ等級が１６～２２のいずれかの汚染度となるように清浄なオイルに粒子（ダスト）を混ぜて作成されている。例えば、調整済みの測定装置で汚染度を確認しながらオイルに徐々にダストを投入し、任意の汚染度等級のオイルを作成する。

【0052】

なお、ステップＳＰ１０では、測定装置１の汚染度測定部４２が受光部２０で受光して得られた電気信号から測定値を得、測定部５２がこれを取得してもよい。

【0053】

（ステップＳＰ２０）
ステップＳＰ１０の処理が終了したら、測定装置１の測定流路からオイルを除去して洗浄する。そして、制御部５０は、測定流路にオイルが無い状態で、測定装置１の光照射部１０を点滅させる点滅信号を用いて測定装置１の光照射部１０を照射させ、基準測定値と同等の電気信号が測定装置１の受光部２０で得られたときの点滅信号を疑似信号とする。ステップＳＰ２０は、本発明の第１疑似信号取得ステップに相当する。

【0054】

本実施の形態では、測定流路にオイルが無い状態とは、測定流路に液体を流さず、測定流路（配管３９含む）に空気が入った状態である。

【0055】

（ステップＳＰ３０）
ステップＳＰ１０及びＳＰ２０（本発明の疑似信号生成ステップに相当）の処理が終了したら、調整装置２に測定装置１Ａ（本発明の測定装置に相当）を接続する。照射制御部５１は、ステップＳＰ２０で得られた疑似信号を駆動部４１に出力する。測定装置１の駆動部４１は、測定装置１Ａの測定流路に液体を流さない状態で、照射制御部５１から出力された疑似信号を用いて測定装置１Ａの光照射部１０（本発明の光照射部に相当）から光を照射する。すなわち、疑似信号とは、測定流路にオイルが無い状態で、任意の汚染度（第１汚染度）のオイルが測定流路を流れたときに受光部２０に入力される光と同等な光を照射させる信号である。したがって、ステップＳＰ２３０では、測定装置１Ａは、発光素子１１を点滅させる。

【0056】

この照射された光を測定装置１Ａの受光部２０（本発明の受光部に相当）で受光し、受光部２０で電気信号を得、測定部５２はこれを取得する。測定部５２は、取得した電気信号から測定値を得、この測定値を測定装置１Ａにおける任意の汚染度のときの出力値として記憶部４３に記憶させる。ステップＳＰ３０は、本発明の第１調整ステップに相当する。これにより、任意の汚染度における測定装置１Ａの調整処理を終了する。

【0057】

図４は、測定装置１Ａの製造方法の処理の流れを示すフローチャートである。
（ステップＳＰ１１０）
まず、配管３９を挟むように光照射部１０と受光部２０とを第１筐体３１に設ける。この段階では、筐体３０は組み立てられていない。

【0058】

（ステップＳＰ１２０）
次いで、測定装置１Ａの調整処理（ステップＳＰ１２０）を行う。ステップＳＰ１２０とステップＳＰ３０とは同一の処理である。

【0059】

（ステップＳＰ１３０）
次いで、配管３９、光照射部１０及び受光部２０が内部に設けられた筐体３０を組み立てて測定装置１Ａの完成品を得る。

【0060】

このようにして得られた測定装置１Ａの完成品は、梱包して出荷される。その後、測定装置は、建設機械、油圧機器等の装置に設けられ、ステップＳＰ１２０（ステップＳＰ３０）で記憶部４３に格納された出力値と、受光部２０で取得された電気信号を用いて得られた測定値とに基づいてオイルの汚染度を測定する。

【0061】

次に、ステップＳＰ１０～ステップＳＰ３０の処理の詳細について説明する。まず、ステップＳＰ１０及び出荷後の汚染度測定時において、受光部２０で取得された電気信号を用いて測定値をどのようにして得るか説明する。測定値を得る方法は、ステップＳＰ１０及び出荷後の汚染度測定時で同様である。

【0062】

図５は、測定値を得る方法を説明する模式図であり、（Ａ）は配管３９に流れるオイルに含まれる粒子（ダスト）の流れを模式的に示し、（Ｂ）は電気信号の出力の時間変化を模式的に示す。

【0063】

光照射部１０は連続的に光を照射しており、連続して照射された光を受光部２０で連続して受光している。配管３９内をダストが通過する（図５（Ａ）参照）ことで影が作られ、これにより受光部２０における受光量が下がり、ダストが無いときに比べて出力が低下する（図５（Ｂ）参照）。

【0064】

汚染度測定部４２及び測定部５２は、図５（Ｂ）に示す電気信号の単位時間当たりの積分値を求める（図５（Ｂ）の網掛け部参照）。また、汚染度測定部４２及び測定部５２は、電気信号の単位時間当たりの積分値の移動平均を求めて、単位時間当たりの積分値を平滑化する。ダストが含まれるオイルの汚染度を測定する場合には、ダストの大きさ等によって出力低下の程度にばらつきが生じるため、単位時間当たりの積分値を平滑化する必要がある。

【0065】

汚染度測定部４２は、平滑化された積分値に基づいて単位時間当たりの総ダスト量（汚染度等級）を算出する。また、測定部５２は、平滑化された積分値に基づいて基準測定値を得る。

【0066】

なお、発光素子１１及び受光素子２１は個体差がある。例えば、発光素子１１の発光効率に個体差があり、照射される光量にばらつきが生じる。また、受光素子２１の光から電圧への変換効率に個体差があり、出力値にばらつきが生じる。そのため、配管３９内をダストが通過しない場合に、発光素子１１に同じ電圧を入力したとしても受光部２０から得られる出力値が異なる。

【0067】

したがって、ステップＳＰ１０及び出荷後の汚染度測定時においては、駆動部４１及び照射制御部５１は、受光部２０で得られる電気信号の最大値Ｏｍａｘ（図５（Ｂ）参照）が所定の値となるように、光照射部１０に印加する電力（発光素子１１の明るさ）を調整して、受光部２０から得られる出力の出力レベルを調整する。

【0068】

なお、電子回路（センシング回路）での個体差も考慮し、汚染度測定部４２及び測定部５２は、センシング回路から出力された電気信号を処理することにより出力レベルを調整するようにしてもよい。

【0069】

図６は、疑似信号を取得する処理（ステップＳＰ２０）の処理の流れを示すフローチャートである。まず、調整装置２から測定装置１を外し、調整装置２に測定装置１Ａを接続する。

【0070】

（ステップＳＰ２１）
測定装置１の測定流路からオイルを除去して洗浄し、測定流路にオイルが無い状態（ここでは、配管３９に空気が入った状態）とする。照射制御部５１は、受光部２０で得られる電気信号の最大値ＯｍａｘがステップＳＰ１０における最大値Ｏｍａｘと同様になるように、光照射部１０に印加する電力、すなわち光照射部１０の出力レベルを調整する。

【0071】

図７は、発光素子１１から照射された光の様子を示す図であり、（Ａ）は配管３９内にオイルがある状態を示し、（Ｂ）は配管３９内にオイルが無く空気がある状態を示す。オイルの屈折率は１．４６７であり、配管３９内にオイルがある状態ではオイルがある配管３９がレンズの役割を果たし、発光素子１１から照射された光が受光素子２１に集光される（図７（Ａ）参照）。それに対し、空気の屈折率は１であるため、配管３９内に空気がある状態では配管３９がレンズの役割を果たさず、発光素子１１から照射された光が受光素子２１に集光されない（図７（Ｂ）参照）。したがって、配管３９内に空気がある状態では、配管３９内にオイルがある状態に比べて、受光素子２１に入光する光が少なく、受光部２０で得られる電気信号の最大値Ｏｍａｘが小さくなる。

【0072】

そのため、ステップＳＰ２１において、照射制御部５１が光照射部１０の出力レベルを調整して、受光部２０で得られる電気信号の最大値ＯｍａｘがステップＳＰ１０における最大値Ｏｍａｘと同様になるようにする。

【0073】

例えば、配管３９内にオイルがある状態において受光部２０で得られる電気信号の最大値Ｏｍａｘが３．５Ｖであり、配管３９内に空気がある状態において受光部２０で得られる電気信号の最大値Ｏｍａｘが１Ｖであるとすると、照射制御部５１は、配管３９内に空気がある状態においては、配管３９内にオイルがある状態に対して光照射部１０に印加する電力を３．５倍して、最大値Ｏｍａｘを同等にする。これにより、疑似信号の精度が向上する。

【0074】

（ステップＳＰ２２、２３）
図６の説明に戻る。照射制御部５１は、点滅信号ｓｎを駆動部４１に出力し、駆動部４１は、点滅信号ｓｎを用いて発光素子１１を点滅させる。ステップＳＰ２２でｎ＝１に設定するため、最初にステップＳＰ２３を実行する際の点滅信号は点滅信号ｓ１である。このようにして照射された光を受光部２０で受光して得られた電気信号は、測定部５２に入力される。測定部５２は、この電気信号に基づいて測定値を得る。

【0075】

図８は、点滅信号ｓｎを用いて発光素子１１が点滅したときに受光部２０で得られた電気信号を模式的に示す図である。電気信号では、周期的に出力が高い状態と低い状態とが現れている。測定部５２は、この電気信号の単位時間当たりの積分値を求め（図８の網掛け部参照）、これを測定値とする。

【0076】

図６の説明に戻る。なお、複数の点滅信号ｓｎ（ｎは自然数）は、記憶部５３に記憶されている。照射制御部５１は、ステップＳＰ２３を実行するのに必要な点滅信号ｓｎを記憶部５３から取得して駆動部４１に出力する。

【0077】

（ステップＳＰ２４）
測定部５２は、ステップＳＰ２３で得られた測定値が、ステップＳＰ１０で得られた基準測定値と同等であるか否かを判定する。測定部５２は、基準測定値を記憶部５３から取得する。ここで、基準測定値と同等であるとは、基準測定値と略同等である場合、すなわち基準測定値と一致する場合や、基準測定値と一致しないが誤差が微小な場合を含む概念である。

【0078】

ステップＳＰ２３で得られた測定値が基準測定値と同等でない場合（ステップＳＰ２４でＮｏ）には、処理はステップＳＰ２５に進む。ステップＳＰ２３で得られた測定値が基準測定値と同等である場合（ステップＳＰ２４でＹｅｓ）には、処理はステップＳＰ２６に進む。

【0079】

（ステップＳＰ２５）
ステップＳＰ２３で得られた測定値が基準測定値と同等でない場合（ステップＳＰ２４でＮｏ）には、測定部５２は、ｎ＝ｎ＋１とし、処理をステップＳＰ２３に戻す。例えば、点滅信号ｓ１を用いて発光素子１１を点滅駆動したときの測定値が基準測定値と同等でない場合には、測定部５２は、点滅信号ｓ２を用いてステップＳＰ２３の処理を行う。このように、基準測定値と同等となる点滅信号ｓｎが見つかるまでステップＳＰ２３～ステップＳＰ２５が繰り返し行われる。

【0080】

（ステップＳＰ２６）
ステップＳＰ２３で得られた測定値が基準測定値と同等である場合（ステップＳＰ２４でＹｅｓ）には、測定部５２は、基準測定値と同等となったときに用いた点滅信号ｓｎを疑似信号（本発明の第１疑似信号に相当）とする。そして、測定部５２は、疑似信号を記憶部５３に格納する。これにより、ステップＳＰ２０の一連の処理が終了する。このように、単位時間当たりの積分値である測定値と基準測定値とを同等とすることで正確な疑似信号を得、これにより、調整の精度を高くすることができる。

【0081】

図９は、ステップＳＰ３０の処理の流れを示すフローチャートである。
（ステップＳＰ３１）
測定装置１Ａの測定流路にオイルが無い状態（ここでは、配管３９に空気が入った状態）で、照射制御部５１は、ステップＳＰ２１における出力レベルの調整結果に基づいて光照射部１０の出力レベルを調整する。例えば、照射制御部５１は、駆動部４１を介して、ステップＳＰ２１で照射制御部５１が光照射部１０に印加した電力と同じ電力を光照射部１０に印加する。これにより、受光部２０で得られる電気信号の最大値Ｏｍａｘが、測定流路にオイルがある状態で出力レベルの調整をせずに受光部２０で得られる電気信号の最大値Ｏｍａｘと同等になる。

【0082】

（ステップＳＰ３２）
照射制御部５１は、記憶部５３に記憶された疑似信号を駆動部４１に出力する。駆動部４１は、ステップＳＰ３１で出力レベルが調整された後の状態で、疑似信号を用いて光照射部１０から光を照射する。このようにして照射された光を受光部２０で受光して得られた電気信号は、測定部５２に入力される。測定部５２は、この電気信号に基づいて測定値（本発明の第１汚染度における測定値に相当）を得る。例えば、測定部５２は、ステップＳＰ２３と同様に、電気信号の単位時間当たりの積分値を求め、これを測定値とする。測定部５２は、この測定値を記憶部４３に記憶させる。これにより、ステップＳＰ３０の一連の処理が終了する。

【0083】

本実施の形態によれば、配管３９を含む測定流路にオイルを流すことなく、測定装置１Ａの調整を行うことができる。これにより、調整に要する時間が短縮される。また、調整の精度が高くなる。

【0084】

従来のように、測定流路にオイルを入れて調整する場合には、調整後の洗浄に手間がかかり、調整完了までに時間がかかってしまう。また、納品で空輸を利用する場合が有るが、空輸では空輸対象物の内部にオイルが残っていることを嫌うため、測定流路にオイルを注した実績があると梱包費がかさんでしまう。

【0085】

さらに、測定流路にオイルを入れて調整する場合には、測定装置１Ａの調整時にダストを入れたオイルを準備する必要がある。しかしながら、オイルの加熱、ダストのオイルへの分散に時間がかかってしまう。特に、ダストをオイルに分散させるには、ダストを複数回に分けて投入しつつ、希望の汚染度になるまでダストの注入を行う必要があり、ダストをオイルに入れ終わるまでに長い時間を要する。また、一度調整に使用したオイルを再利用するためには、オイルをクリーンアップしなければならないが、これにも時間を要する。

【0086】

それに対し、本実施の形態のように測定流路にオイルを流すことなく測定装置１Ａの調整を行うことで、オイルを用いることによる時間、費用及び手間に関する問題点を無くすことができる。

【0087】

また、測定装置１Ａの調整時にダストを入れたオイルを用いる場合には、汚染度測定部４２での測定に時間がかかってしまう。それに対し、疑似信号を用いる場合には、平滑化する必要が無く、短時間で調整を行うことができる。

【0088】

さらに、粒子径が所定の範囲内にある粒子をオイルに所定量だけ混合させることで汚染度が既知のオイルを生成するが、粒子径や粒子の混合量等のばらつきをなくすことはできず、これにより調整の精度が安定しないおそれがある。それに対し、本実施の形態では、疑似信号を用いるため、光照射部１０から照射される光が安定しており、調整の精度が向上する。

【0089】

また、本実施の形態によれば、測定の前に光照射部１０の出力レベルを調整することで、正確な疑似信号を得、かつ、正確に調整を行うことができる。

【0090】

なお、本実施の形態では、測定流路にオイルを流さず、配管３９に空気が入った状態で疑似信号の取得及び測定装置１Ａの調整を行ったが、測定流路にオイルが無い状態はこれに限られない。例えば、測定流路にオイルが無い状態とは、測定流路に液体を流さず空気が含まれている状態、測定流路にオイル以外の液体を流した状態、又は、配管３９に変えてガラス棒を設けた状態であってもよい。

【0091】

測定流路にオイル以外の液体を流す状態とは、配管３９を含む測定流路に水、アルコール、又は、水とアルコールの混合物を入れた状態であってもよい。空気の屈折率は１であるが、水、アルコールの屈折率は１．３～１．４であり、オイルの屈折率である１．４６７に近い。具体的には、水の屈折率は１．３３であり、エタノールの屈折率は１．３６１であり、メタノールの屈折率は１．３２９であり、イソプロピルアルコールの屈折率は１．３８４である。

【0092】

このように、配管３９に水、アルコール、又は、水とアルコールの混合物を入れた状態では、配管３９に空気が入った状態とは異なり、配管３９がレンズの役割を果たし、発光素子１１から照射された光が受光素子２１に集光される。したがって、疑似信号の取得や測定装置１Ａの調整が容易になる。また、配管３９に流す液体の種類によっては、出力レベルを調整することなく、疑似信号の取得や測定装置１Ａの調整が可能になる（ステップＳＰ２１、ＳＰ３１は必須ではない）。また、水やアルコールは速乾性を有するため、測定流路に水やアルコールを流したとしても乾くまでの時間が短く、調整に要する時間が短くて済む。

【0093】

また、例えば、測定流路にオイルが無い状態を配管３９に変えてガラス棒を設けた状態とすることができる。ガラス、例えば石英ガラスの屈折率は１．４６～１．４７であり、ＢＫ７の屈折率は１．５１～１．５３であるため、オイルの屈折率である１．４６７に近い屈折率を有する。したがって、ガラス棒がレンズの役割を果たし、発光素子１１から照射された光が受光素子２１に集光される。したがって、疑似信号の取得や測定装置１Ａの調整が容易となる。また、出力レベルを調整することなく、疑似信号の取得や測定装置１Ａの調整が可能となる（ステップＳＰ２１、ＳＰ３１は不要である）。

【0094】

また、本実施の形態では、ステップＳＰ１０で任意の汚染度（第１汚染度）のオイルを用いて基準測定値（第１基準測定値）を測定し、ステップＳＰ２０で測定流路にオイルが無い状態で第１汚染度のオイルが測定流路を流れたときに受光部２０に入力される光と同等な光を照射させる信号を疑似信号として取得し、ステップＳＰ３０でこの疑似信号を用いて第１汚染度における測定値を得た、すなわち測定装置１Ａの調整を１つの汚染度で行ったが、複数の汚染度（第１汚染度及び第２汚染度の少なくとも２つ）で測定装置１Ａの調整を行ってもよい。任意の汚染度はＩＳＯ等級が１６～２２とすると、例えば、第１汚染度がＩＳＯ等級が１６であり、第２汚染度がＩＳＯ等級が２０であってもよい。

【0095】

つまり、制御部４０、５０は、測定値を得たい各等級において、それぞれ、基準測定値及び疑似信号を探し出す。また、制御部４０、５０は、各等級における疑似信号を用いてそれぞれ測定値を得る。例えば、第１汚染度及び第２汚染度で測定装置１Ａの調整を行う場合には、ステップＳＰ１０で第１汚染度及び第２汚染度における基準測定値（第１基準測定値及び第２基準測定値）を測定し、ステップＳＰ２０で第１汚染度及び第２汚染度のそれぞれに対する疑似信号（第１疑似信号及び第２疑似信号）を得、ステップＳＰ３０で第１疑似信号及び第２疑似信号を用いて第１汚染度及びにおける測定値をそれぞれ得ればよい。

【0096】

また、本実施の形態では、１つの測定装置１Ａの調整を行ったが、複数の測定装置１Ａの調整を連続して行うことも可能である。この場合には、ステップＳＰ３０の処理を測定装置１Ａの数だけ連続して行えばよい。

【0097】

また、本実施の形態では、ステップＳＰ３０の前にステップＳＰ１０及びＳＰ２０を行ったが、ステップＳＰ１０及びＳＰ２０は必須ではない。例えば、疑似信号が予め記憶部４３又は５３に記憶されており、この疑似信号を用いてステップＳＰ３０の処理を行ってもよい。この場合には、疑似信号を求める処理は、ステップＳＰ１０及びＳＰ２０の方法に限られない。ただし、疑似信号の精度を高くするためには、ステップＳＰ１０及びＳＰ２０の方法を用いて疑似信号を求めることが望ましい。

【0098】

＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、疑似信号を用いて測定装置１Ａの調整を行ったが、測定装置１Ａの調整を行う方法はこれに限られない。本発明の第２の実施の形態は、光を通さない遮光スリットが複数設けられた棒状部材を用いて測定装置１Ａの調整を行う形態である。以下、第２の実施の形態について説明する。ただし、第１の実施の形態と同様の構成及び処理については、同一の符号を付し、説明を省略する。

【0099】

図１０は、測定装置１で疑似信号を得る、及び、測定装置１Ａで測定値を得る様子を模式的に示す図である。棒状部材９０を測定流路（配管３９を含む）を移動させながら光照射部１０から光を連続的に点灯する。光照射部１０から照射され、配管３９及び棒状部材９０を通過した光を受光部２０で受光して電気信号を得る。棒状部材９０は例えばガラス棒であり、棒状部材９０には光を通さない遮光スリット９１が複数設けられている。

【0100】

なお、図１０に示す形態では、遮光スリット９１は、一定間隔で設けられている。ただし、棒状部材９０の形態はこれに限られない。遮光スリット９１の幅及び配置間隔は任意である。例えば、太さが異なる複数種類の遮光スリットが棒状部材９０に設けられていてもよい。また、隣接する遮光スリット９１の間隔は同一でなくてもよい。

【0101】

棒状部材９０には、駆動装置３が設けられている。駆動装置３は、主として、棒状部材９０を移動させるアクチュエータ等の駆動部３５と、駆動部３５の出力を棒状部材９０に伝達する伝達部３６とを有する。駆動部３５は、伝達部３６を介して棒状部材９０を棒状部材９０の長手方向に沿って移動させる。

【0102】

図１１は、測定装置１、１Ａ及び測定装置１、１Ａに接続される調整装置２Ａの電気的な構成の概略を示すブロック図である。

【0103】

測定装置１、１Ａは制御部４０を有し、調整装置２Ａは制御部５０Ａを有する。制御部５０Ａは、主として、照射制御部５１と、測定部５２と、記憶部５３と、駆動制御部５４とを有する。

【0104】

駆動制御部５４は、駆動部３５を駆動させる信号を駆動装置３に出力する機能部である。駆動部３５を駆動させる信号ｓｍは、所定の速度ｃｍで棒状部材ｂｎを移動させる。信号ｓｍ（ｍは自然数）は、記憶部５３に複数記憶されている。

【0105】

図１２は、調整装置２Ａが測定装置１Ａの調整処理を行う処理の流れを示すフローチャートである。

【0106】

（ステップＳＰ１０）
調整装置２Ａに測定装置１を接続する。測定装置１の測定流路に任意の汚染度のオイルを流した状態で、測定装置１の駆動部４１は、測定装置１の光照射部１０から連続して光を照射する。この照射された光を測定装置１の受光部２０で受光して得られた電気信号を測定し、測定部５２はこれを取得する。測定部５２は、取得した測定値を、任意の汚染度における基準測定値として記憶部５３に記憶させる。ステップＳＰ４０は、本発明の第１基準値測定ステップに相当する。

【0107】

（ステップＳＰ４０）
ステップＳＰ１０の処理が終了したら、測定装置１の測定流路からオイルを除去して洗浄する。また、遮光スリット９１の幅及び数が異なる複数の棒状部材９０を用意する。以下、複数の棒状部材を棒状部材ｂｎ（ｎは自然数）とする。

【0108】

制御部５０Ａは、測定流路にオイルが無い状態で、棒状部材９０の遮光スリット９１の大きさ及び数と、棒状部材９０を移動させる速度とを調整する。例えば、測定装置１の光照射部１０から連続して光を照射させた状態で、棒状部材ｂｎを任意の速度で移動させながら、測定装置１の受光部２０で光を受光して電気信号を取得する。そして、制御部５０Ａは、基準測定値と同等の電気信号が測定装置１の受光部２０で得られたときの棒状部材ｂｎ及びその移動速度（本発明の第１速度）を得る。ステップＳＰ４０は、本発明の調整ステップに相当する。

【0109】

（ステップＳＰ５０）
ステップＳＰ１０及びＳＰ４０（本発明の棒状部材調整ステップに相当）の処理が終了したら、調整装置２Ａに測定装置１Ａを接続する。測定装置１の駆動部４１は、測定装置１Ａの光照射部１０から連続して光を照射する。このとき、配管３９内を、ステップＳＰ４０で得られた移動速度で棒状部材ｂｎを移動させる。

【0110】

この照射された光を測定装置１Ａの受光部２０で受光して得られた電気信号を測定し、測定部５２はこれを取得する。測定部５２は、取得した測定値を、測定装置１Ａにおける任意の汚染度のときにおける出力値として記憶部４３に記憶させる。ステップＳＰ５０は、本発明の第１調整ステップに相当する。これにより、任意の汚染度における測定装置１Ａの調整処理を終了する。

【0111】

本実施の形態における測定装置１Ａの製造方法は、第１の実施の形態と同様である。すなわち、配管３９を挟むように光照射部１０と受光部２０とを第１筐体３１に設け（ステップＳＰ１１０）、測定装置１Ａの調整処理（ステップＳＰ１２０）を行い、配管３９、光照射部１０及び受光部２０が内部に設けられた筐体３０を組み立てて測定装置１Ａの完成品を得る（ステップＳＰ１３０）。ただし、本実施の形態のステップＳＰ１２０は、ステップＳＰ５０と同一の処理である。

【0112】

このようにして得られた測定装置１Ａの完成品は、梱包して出荷される。その後、測定装置は、建設機械、油圧機器等の装置に設けられ、ステップＳＰ１２０（ステップＳＰ５０）で記憶部４３に格納された出力値と、受光部２０で取得された電気信号を用いて得られた測定値とに基づいてオイルの汚染度を測定する。

【0113】

図１３は、調整ステップ（ステップＳＰ４０）の処理の流れを示すフローチャートである。まず、調整装置２Ａから測定装置１を外し、調整装置２Ａに測定装置１Ａを接続する。また、複数の棒状部材ｂｎ（ｎは自然数）はあらかじめ準備されている。

【0114】

（ステップＳＰ４１）
測定装置１の測定流路からオイルを除去して洗浄し、測定流路に配管３９に空気が入った状態とする。照射制御部５１は、受光部２０で得られる電気信号の最大値ＯｍａｘがステップＳＰ１０における最大値Ｏｍａｘと同様になるように、光照射部１０に印加する電力、すなわち光照射部１０の出力レベルを調整する。ステップＳＰ４１の処理はステップＳＰ２１と同様である。

【0115】

（ステップＳＰ４２、４３）
照射制御部５１は、速度ｃｍを記憶部５３から取得して駆動部４１に出力し、駆動装置３を介して棒状部材ｂｎ（本発明の仮棒状部材）を速度ｃｍ（本発明の仮速度）で移動させる。この状態で、駆動部４１は光照射部１０（発光素子１１）を連続して点灯させる。このようにして照射された光を受光部２０で受光して得られた電気信号は、測定部５２に入力される。測定部５２は、この電気信号に基づいて測定値を得る。測定部５２は、電気信号の単位時間当たりの積分値を求め、これを測定値とする。

【0116】

ステップＳＰ４２でｎ、ｍ＝１に設定するため、最初にステップＳＰ４３を実行する際の棒状部材は棒状部材ｂ１であり、速度は速度ｃ１である。

【0117】

（ステップＳＰ４４）
測定部５２は、ステップＳＰ４３で得られた測定値が、ステップＳＰ１０で得られた基準測定値と同等であるか否かを判定する。測定部５２は、基準測定値を記憶部５３から取得する。

【0118】

ステップＳＰ４３で得られた測定値が基準測定値と同等でない場合（ステップＳＰ２４でＮｏ）には、処理はステップＳＰ４５に進む。ステップＳＰ２３で得られた測定値が基準測定値と同等である場合（ステップＳＰ４４でＹｅｓ）には、処理はステップＳＰ４８に進む。

【0119】

（ステップＳＰ４５～ＳＰ４７）
ステップＳＰ４３で得られた測定値が基準測定値と同等でない場合（ステップＳＰ４４でＮｏ）には、測定部５２は、速度ｃｍが変更可能か、すなわち記憶部５３に記憶されている速度を全て実施し終わっていないかを判定する（ステップＳＰ４５）。

【0120】

速度ｃｍが変更可能である場合（ステップＳＰ４５でＹｅｓ）には、測定部５２は、ｍ＝ｍ＋１として（ステップＳＰ４６）、処理をステップＳＰ４３に戻す。速度ｃｍが変更可能でない場合（ステップＳＰ４５でＮｏ）には、測定部５２は、ｍを１に戻し、かつ、ｎ＝ｎ＋１として棒状部材ｂｎを変更して（ステップＳＰ４７）、処理をステップＳＰ４３に戻す。このように、測定値が基準測定値と同等となる棒状部材ｂｎ及び速度ｃｍが見つかるまでステップＳＰ４３～ステップＳＰ４７が繰り返し行われる。

【0121】

（ステップＳＰ４８）
ステップＳＰ４３で得られた測定値が基準測定値と同等である場合（ステップＳＰ４４でＹｅｓ）には、測定部５２は、基準測定値と同等であるときに用いた棒状部材ｂｎ及び速度ｃｍ（以下、棒状部材ｂｘ及び速度ｃｘ）を、任意の汚染度（第１汚染度）のときの棒状部材（本発明の棒状部材）及び速度（本発明の第１速度）とする。そして、測定部５２は、棒状部材ｂｘ及び速度ｃｘを記憶部５３に格納する。これにより、ステップＳＰ４０の一連の処理が終了する。

【0122】

図１４は、ステップＳＰ５０の処理の流れを示すフローチャートである。
（ステップＳＰ５１）
測定装置１Ａの測定流路にオイルが無い状態（ここでは、配管３９に空気が入った状態）で、照射制御部５１は、ステップＳＰ２１における出力レベルの調整結果に基づいて光照射部１０の出力レベルを調整する。ステップＳＰ５１の処理はステップＳＰ３１と同様である。

【0123】

（ステップＳＰ５２）
駆動制御部５４は、記憶部５３に記憶された速度ｃｘを駆動装置３に出力し、駆動部３５は速度ｃｘで棒状部材ｂｘを移動させる。また、駆動部４１及び照射制御部５１は、ステップＳＰ３１で出力レベルが調整された後の状態で光照射部１０から連続して光を照射する。このようにして照射された光を受光部２０で受光して得られた電気信号は、測定部５２に入力される。測定部５２は、この電気信号に基づいて測定値（本発明の第１汚染度における測定値に相当）を得る。例えば、測定部５２は、ステップＳＰ４３と同様に、電気信号の単位時間当たりの積分値を求め、これを測定値とする。

【0124】

本実施の形態によれば、配管３９を含む測定流路にオイルを流すことなく、測定装置１Ａの調整を行うことができる。そのため、調整に要する時間を短縮することができる。また、調整の精度を高くすることができる。

【0125】

また、本実施の形態によれば、棒状部材９０はガラス製であるため、配管３９にオイルが流れている場合と同様に光を受光部２０に集光させることができる。これにより、出力レベルを調整することなく、疑似信号の取得や測定装置１Ａの調整が可能になり得る（ステップＳＰ４１、ＳＰ５１は必須ではない）。

【0126】

また、本実施の形態によれば、測定値を得る前に光照射部１０の出力レベルを調整することで、正確な疑似信号を得、かつ、正確に調整を行うことができる。

【0127】

なお、本実施の形態では、測定装置１Ａの調整を１つの汚染度で行ったが、第１の実施の形態と同様、複数の汚染度（第１汚染度及び第２汚染度の少なくとも２つ）で測定装置１Ａの調整を行ってもよい。また、本実施の形態では、１つの測定装置１Ａの調整を行ったが、第１の実施の形態と同様、複数の測定装置１Ａの調整を連続して行うことも可能である。

【0128】

＜第３の実施の形態＞
なお、第１、２の実施の形態では、発光素子１１及び受光素子２１がそれぞれ１つであったが、発光素子１１及び受光素子２１の数はこれに限られない。例えば、発光素子１１及び受光素子２１がそれぞれ複数設けられていてもよいし、発光素子１１が１つで受光素子２１が２つ設けられていてもよい。

【0129】

本発明の第３の実施の形態は、発光素子１１及び受光素子２１がそれぞれ２つであり、２つの受光素子２１で受光された光の差分に基づいて汚染度を測定する形態である。以下、本発明の第３の実施の形態について説明する。ただし、第１、２の実施の形態と同様の構成及び処理については、同一の符号を付し、説明を省略する。

【0130】

図１５は、測定装置１Ｂ及び測定装置１、１Ａに接続される調整装置２Ａの電気的な構成の概略を示すブロック図である。測定装置１Ｂは、調整が行われる測定装置であり、基準測定値及び疑似信号の取得には測定装置１を用いる。

【0131】

測定装置１Ｂは、複数（ここでは２つ）の発光素子１１を有する光照射部１０Ａと、複数（ここでは２つ）の受光素子２１及びアンプ２２を有する受光部２０Ａを有する。また、測定装置１Ｂは制御部４０Ａを有し、調整装置２は制御部５０を有する。制御部４０は、主として、駆動部４１Ａと、汚染度測定部４２Ａと、記憶部４３と、切替部４４と、出力部４５と、表示部４６とを有する。

【0132】

駆動部４１Ａは、２つの発光素子１１のうちの所望の発光素子１１のみを駆動する機能部である。発光素子１１の駆動については、駆動部４１と同様であるため説明を省略する。

【0133】

汚染度測定部４２Ａは、２つの受光素子２１からの出力信号に基づいて、液体の汚染度を測定する機能部である。例えば、汚染度測定部４２Ａは、一方の受光素子２１からの出力信号から得られた測定値と、他方の受光素子２１からの出力信号から得られた測定値との差分に基づいて汚染度を測定する。汚染度の測定は、様々な方法を用いることができるため説明を省略する。

【0134】

切替部４４は、受光部２０Ａからの出力を切り替える機能部である。切替部４４は、調整時には受光部２０Ａからの信号を測定部５２に出力し、出荷後の汚染度測定時には受光部２０Ａからの信号を汚染度測定部４２に出力する。このように、切替部４４は、調整時か汚染度測定時かで受光部２０Ａからの出力先を異ならせる。

【0135】

また、切替部４４は、調整時には、複数の受光素子２１及びアンプ２２からの信号をそれぞれ別々に測定部５２に出力する。例えば、切替部４４は、駆動された発光素子１１に対応する受光素子２１で得られた信号を測定部５２に出力する。

【0136】

図１６は、調整装置２が測定装置１Ｂの調整処理を行う処理の流れを示すフローチャートである。

【0137】

（ステップＳＰ１０）
調整装置２に測定装置１を接続する。測定装置１の測定流路に任意の汚染度（第１汚染度）のオイルを流した状態で、測定装置１の駆動部４１は、測定装置１の光照射部１０から連続して光を照射する。この照射された光を測定装置１の受光部２０で受光して得られた電気信号を測定し、測定部５２はこれを取得する。測定部５２は、取得した測定値を、任意の汚染度における基準測定値（第１基準測定値）として記憶部５３に記憶させる。

【0138】

（ステップＳＰ２０）
ステップＳＰ１０の処理が終了したら、測定装置１の測定流路からオイルを除去して洗浄する。そして、制御部５０は、測定流路にオイルが無い状態で、測定装置１の光照射部１０を点滅させる点滅信号を用いて測定装置１の光照射部１０を照射させ、基準測定値と同等の電気信号が測定装置１の受光部２０で得られたときの点滅信号を疑似信号とする。

【0139】

（ステップＳＰ３０Ａ）
ステップＳＰ２０Ａの処理が終了したら、調整装置２に測定装置１Ｂ（本発明の測定装置に相当）を接続する。照射制御部５１は、ステップＳＰ２０Ａで得られた疑似信号を駆動部４１Ａに出力する。測定装置１の駆動部４１Ａは、測定装置１Ａの測定流路に液体を流さない状態で、照射制御部５１から出力された疑似信号を用いて測定装置１Ｂの光照射部１０Ａ（本発明の光照射部に相当）のいずれかの発光素子１１を駆動する。この照射された光を測定装置１Ｂの受光部２０Ａ（本発明の受光部に相当）のうちの光を照射した発光素子１１に対応する受光素子２１で受光し、得られた電気信号を切替部４４を介して測定部５２が取得する。測定部５２は、電気信号に基づいて測定値を取得し、これを測定装置１Ａにおける任意の汚染度のときの出力値として記憶部４３に記憶させる。ステップＳＰ３０Ａは、本発明の第１調整ステップに相当する。

【0140】

ステップＳＰ３０とステップＳＰ３０Ａとの差異は、測定値を取得を発光素子１１及び受光素子２１の数（ここでは２回）だけ繰り返す点であり、具体的な処理の内容は同じである。これにより、任意の汚染度における測定装置１Ｂの調整処理を終了する。

【0141】

なお、測定装置１Ｂの製造方法は、測定装置１Ａの製造方法（図４）と同様である。

【0142】

本実施の形態によれば、配管３９を含む測定流路にオイルを流すことなく、測定装置１Ｂの調整を行うことができる。そのため、調整に要する時間を短縮することができる。また、調整の精度を高くすることができる。

【0143】

なお、本実施の形態では、配管３９に空気が入った状態で調整を行ったが、第１の実施の形態と同様、配管３９を含む測定流路に水、アルコール、又は、水とアルコールの混合物を入れた状態であってもよいし、配管３９に変えてガラス棒を設けた状態でもよい。

【0144】

また、本実施の形態では、疑似信号を用いて調整を行ったが、第２の実施の形態と同様、棒状部材９０を用いて調整を行ってもよい。

【0145】

また、本実施の形態では、ステップＳＰ１０、２０を発光素子１１及び受光素子２１を１つずつ有する測定装置１を用いて行ったが、ステップＳＰ１０、２０を発光素子１１及び受光素子２１をそれぞれ複数有する測定装置を用いて行ってもよい。この場合には、ステップＳＰ１０、２０の処理を発光素子１１及び受光素子２１の数（ここでは２回）だけ繰り返せばよく、具体的な処理の内容は同じである。

【0146】

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、上記の実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、実施形態の構成に他の構成の追加、削除、置換等をすることが可能である。

【0147】

また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、「略直交」とは、厳密に直交の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に直交、平行、一致等と表現する場合において、厳密に直交、平行、一致等の場合のみでなく、略平行、略直交、略一致等の場合を含むものとする。

【0148】

また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、端近傍という場合に、端の近くのある範囲の領域であって、端を含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。

【符号の説明】

【0149】

１、１Ａ、１Ｂ：測定装置
２、２Ａ ：調整装置
３ ：駆動装置
１０、１０Ａ：光照射部
１１ ：発光素子
１５ ：基板
２０、２０Ａ：受光部
２１ ：受光素子
２２ ：アンプ
２３ ：切替部
２５ ：基板
３０ ：筐体
３１ ：第１筐体
３１ａ ：穴
３１ｂ ：孔
３１ｃ ：雌ねじ部
３１ｄ、３１ｅ：凹部
３１ｆ、３１ｇ：孔
３２ ：第２筐体
３２ａ ：雄ねじ部
３２ｂ ：孔
３３ ：第３筐体
３３ａ ：雄ねじ部
３３ｂ ：孔
３５ ：駆動部
３６ ：伝達部
３９ ：配管
４０、４０Ａ：制御部
４１、４１Ａ：駆動部
４１ａ ：切替部
４２、４２Ａ：汚染度測定部
４３ ：記憶部
４４ ：切替部
４５ ：出力部
４６ ：表示部
５０、５０Ａ：制御部
５１ ：照射制御部
５２ ：測定部
５３ ：記憶部
５４ ：駆動制御部
９０ ：棒状部材
９１ ：遮光スリット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】