特開 2024-130887 印刷装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024130887

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】印刷装置

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/44 20060101AFI20240920BHJP

   B41F 15/08 20060101ALI20240920BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

B41F15/44 B

B41F15/08 303E

H05K3/34 505D

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023040833

(22)【出願日】2023-03-15

(71)【出願人】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(74)【代理人】

【識別番号】100172362

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 達哉

(72)【発明者】

【氏名】玉木 英一

【テーマコード（参考）】

2C035

5E319

【Ｆターム（参考）】

2C035AA06

2C035FA22

2C035FB25

2C035FC07

2C035FD01

2C035FD29

5E319BB01

5E319CC22

5E319GG15

(57)【要約】

【課題】半田を供給する頻度を減少させて、印刷を行う時間が増大するのを抑制することが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００は、開口３０２が設けられたマスク３００の上面に当接し、第１方向（Ｙ方向）に移動してマスク３００に供給された半田３０３を開口３０２を介して基板２００に印刷するスキージ３１１と、第１方向（Ｙ方向）に直交する水平方向の第２方向（Ｘ方向）においてスキージ３１１の一方側および他方側に設けられ、第２方向（Ｘ方向）への半田３０３の移動を規制する一対のプレート３４と、マスク３００上の半田３０３の量に応じて、一対のプレート３４のうち少なくとも一方を第２方向（Ｘ方向）に移動させるプレート移動部３５と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口が設けられたマスクの上面に当接し、第１方向に移動して前記マスクに供給された半田を前記開口を介して基板に印刷するスキージと、
前記第１方向に直交する水平方向の第２方向において前記スキージの一方側および他方側に設けられ、前記第２方向への半田の移動を規制する一対のプレートと、
前記マスク上の半田の量に応じて、前記一対のプレートのうち少なくとも一方を前記第２方向に移動させるプレート移動部と、を備える、印刷装置。

【請求項2】

前記プレート移動部の駆動を制御する制御部をさらに備え、
前記プレート移動部は、モータを含み、
前記制御部は、前記マスク上の半田の量に応じて、前記プレート移動部の前記モータを制御して、前記スキージに対する前記プレートの位置を調整する、請求項１に記載の印刷装置。

【請求項3】

前記制御部は、前記マスク上の半田の減少量に応じて、前記一対のプレートを互いに近づけるように移動させる、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項4】

前記プレート移動部は、前記一対のプレートを同時に移動させる、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項5】

前記プレート移動部は、共通の前記モータの駆動により、前記一対のプレートを連動して前記第２方向に移動させる、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項6】

前記プレート移動部は、前記一対のプレートを前記第２方向における互いに反対方向に移動させて、前記一対のプレートの間隔を変更させる、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項7】

前記制御部は、印刷時の前記一対のプレートの初期位置が、印刷を行う前記基板の前記第２方向における両端部の位置、または、前記両端部の位置よりも外側の位置になるように、前記プレート移動部を制御する、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項8】

前記マスク上の半田の量を計測する計測部をさらに備え、
前記制御部は、前記計測部により計測した半田の量に基づいて、前記一対のプレートを移動させる制御を行う、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項9】

前記制御部は、印刷開始から所定の複数枚数印刷するまでは、前記一対のプレートを移動させずに、所定の複数枚数印刷後から、前記一対のプレートを互いに近づけるように移動させる、請求項２に記載の印刷装置。

【請求項10】

前記制御部は、前記マスクの前記第２方向における前記開口が配置される範囲を取得し、前記一対のプレートを互いに最も近づける位置を、前記開口が配置される範囲の両端の位置よりも外側となるように前記一対のプレートの移動を制御する、請求項２に記載の印刷装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、印刷装置に関し、特に、半田を基板に印刷する印刷装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半田を基板に印刷する印刷装置が知られている(たとえば、特許文献１)。

【0003】

上記特許文献１には、マスクに供給された半田を印刷パターンを介して基板に印刷するスキージと、スキージの長手方向の両端部の位置に固定的に配置され、スキージの長手方向の端部から半田が横漏れするのを抑制する横漏れ防止プレートと、を備える印刷装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１２８０２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記特許文献１では、横漏れ防止プレートにより、スキージの長手方向の端部から半田が横漏れするのを抑制することができるものの、印刷に使用される半田の分だけ、マスク上の半田が減少する。そのため、印刷により半田の量が減少する分、マスク上の半田の断面積が小さくなる。半田の断面積が小さくなると、基板に十分な半田がのらないなどの印刷不具合が生じるため、半田印刷の安定性を確保するためにマスクに半田を供給する頻度を多くする必要がある。その結果、半田を供給する頻度が多くなる分だけ、印刷を行う時間が増大してしまう。そこで、半田を供給する頻度を減少させて、印刷を行う時間が増大するのを抑制することが望まれている。

【0006】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、半田を供給する頻度を減少させて、印刷を行う時間が増大するのを抑制することが可能な印刷装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における印刷装置は、開口が設けられたマスクの上面に当接し、第１方向に移動してマスクに供給された半田を開口を介して基板に印刷するスキージと、第１方向に直交する水平方向の第２方向においてスキージの一方側および他方側に設けられ、第２方向への半田の移動を規制する一対のプレートと、マスク上の半田の量に応じて、一対のプレートのうち少なくとも一方を第２方向に移動させるプレート移動部と、を備える。

【0008】

この発明の一の局面による印刷装置では、上記のように、マスク上の半田の量に応じて、一対のプレートのうち少なくとも一方を第２方向に移動させるプレート移動部を設ける。これにより、マスク上の半田の量に応じて一対のプレートを近づけるように移動させることができるので、印刷によりマスク上の半田の量が減ったとしても、マスク上の半田の第２方向の長さを小さくすることができる。その結果、マスク上の開口が設けられる領域における半田の第１方向（スキージの移動方向）の幅を大きくすることができるので、マスク上の開口が設けられる領域における半田の断面積が小さくなるのを抑制することができる。これにより、半田を供給する頻度を多くしなくても半田印刷の安定性を確保することができる。その結果、半田を供給する頻度を減少させて、印刷を行う時間が増大するのを抑制することができる。

【0009】

上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、プレート移動部の駆動を制御する制御部をさらに備え、プレート移動部は、モータを含み、制御部は、マスク上の半田の量に応じて、プレート移動部のモータを制御して、スキージに対するプレートの位置を調整する。このように構成すれば、モータの駆動によりプレートの位置を自動で細かく移動することができるので、マスク上の半田の量に応じてプレートの位置を自動で細かく調整することができる。また、制御部によりプレートの位置を自動で調整する制御を行うので、作業者がプレートの位置を移動させる作業を行う必要がない。

【0010】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、制御部は、マスク上の開口が設けられる領域における半田の減少量に応じて、一対のプレートを互いに近づけるように移動させる。このように構成すれば、印刷によるマスク上の半田の減少量に応じて、一対のプレートの間に挟まれて配置される半田の第２方向の長さを小さくすることができるので、その分、半田の第１方向の幅が小さくなるのを抑制することができる。その結果、マスク上の開口が設けられる領域における半田の断面積が小さくなり半田の断面形状が変化するのを抑制することができる。

【0011】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、プレート移動部は、一対のプレートを同時に移動させる。このように構成すれば、一対のプレートの各々を順番に移動させる場合と比べて、一対のプレートを移動させる時間が長くなるのを抑制することができる。

【0012】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、プレート移動部は、共通のモータの駆動により、一対のプレートを連動して第２方向に移動させる。このように構成すれば、一対のプレートの各々に対して移動させるためのモータを別個に設ける必要がないので、部品点数が増加するのを抑制することができるとともに、装置構成を簡素化することができる。

【0013】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、プレート移動部は、一対のプレートを第２方向における互いに反対方向に移動させて、一対のプレートの間隔を変更させる。このように構成すれば、スキージに対して一対のプレートを第２方向において互いに近づける移動、および、互いに遠ざける移動を、容易に行うことができる。

【0014】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、制御部は、印刷時の一対のプレートの初期位置が、印刷を行う基板の第２方向における両端部の位置、または、両端部の位置よりも外側の位置になるように、プレート移動部を制御する。このように構成すれば、第２方向における基板の両端部の間の位置に対応するマスク上の位置に半田を配置することができるので、基板の半田が印刷される領域に対して半田を確実に印刷することができる。

【0015】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、マスク上の半田の量を計測する計測部をさらに備え、制御部は、計測部により計測した半田の量に基づいて、一対のプレートを移動させる制御を行う。このように構成すれば、マスク上の半田の量を計測部により計測することができるので、計測部により計測した半田の量に基づいて、半田の形状を維持するように、一対のプレートの位置を精度よく調整することができる。

【0016】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、制御部は、印刷開始から所定の複数枚数印刷するまでは、一対のプレートを移動させずに、所定の複数枚数印刷後から、一対のプレートを互いに近づけるように移動させる。このように構成すれば、一対のプレートの位置を移動させない状態（固定した状態）で、所定の複数枚数の基板に半田を印刷した後に、半田の変化量を測定することができるので、１枚の基板における半田の使用量が少ない場合でも、複数枚の基板における半田の使用量をまとめて測定することにより、変化量を精度よく取得することができる。これにより、取得した変化量を所定の複数枚数で除することにより、１枚の基板における半田の使用量を精度よく取得することができる。また、１枚の基板における半田の使用量を取得した後は、半田の形状を維持するように、印刷毎に一対のプレートの位置を精度よく調整することができる。

【0017】

上記制御部を備える構成の印刷装置において、好ましくは、制御部は、マスクの第２方向における開口が配置される範囲を取得し、一対のプレートを互いに最も近づける位置を、開口が配置される範囲の両端の位置よりも外側となるように一対のプレートの移動を制御する。このように構成すれば、一対のプレートをマスクの開口が配置される範囲まで近づけるまでは、マスク上に半田を供給することなく、印刷を継続することができる。また、マスクの開口が配置される範囲よりも内側に一対のプレートが配置されることがないので、半田をマスクの開口から基板に確実に印刷することができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、上記のように、半田を供給する頻度を減少させて、印刷を行う時間が増大するのを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の一実施形態による印刷装置の全体構成を示した正面図である。

【図2】本発明の一実施形態による印刷装置のスキージユニット付近の側面図である。

【図3】本発明の一実施形態による印刷装置の制御的な構成を示したブロック図である。

【図4】本発明の一実施形態による印刷装置のプレートの移動の第１例を説明するための上面図である。

【図5】本発明の一実施形態による印刷装置のプレートの移動の第２例を説明するための上面図である。

【図6】本発明の一実施形態による印刷装置の印刷時に一対のプレートの両方を近づけるように移動させる例を説明するための上面図である。

【図7】本発明の一実施形態による印刷装置の印刷時に一対のプレートの一方を他方に近づけるように移動させる例を説明するための上面図である。

【図8】本発明の一実施形態による印刷装置の制御部により半田印刷処理を説明するためのフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0021】

図１～図７を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。

【0022】

本実施形態による印刷装置１００は、マスク３００に形成された開口３０２の所定のパターンで基板２００の表面に半田３０３を印刷する機能を有している。印刷装置１００は、図１に示すように、基台１と、基台１上に設けられ、基板２００を保持するとともに、マスク３００に対して位置合わせする基板テーブル２と、基板テーブル２の上方に配置されたマスク３００の上方に設けられたスキージユニット３とを備えている。この印刷装置１００は、搬入コンベア４ａにより搬入される基板２００に対して印刷処理を行った後、印刷済みの基板２００を搬出コンベア４ｂにより搬出する機能を有している。

【0023】

基板テーブル２は、主に、一対のコンベア２２と、Ｘ軸移動機構２３と、Ｙ軸移動機構２４と、Ｒ軸移動機構２５と、Ｚ軸移動機構２６と、基板昇降支持機構２７とにより構成されている。

【0024】

Ｘ軸移動機構２３は、Ｘ軸駆動部２３１（図３参照）と、Ｘ軸テーブル２３２と、Ｘ軸レール２３３とを有する。Ｙ軸移動機構２４は、Ｙ軸駆動部２４１（図３参照）と、Ｙ軸テーブル２４２と、Ｙ軸レール２４３とを有する。Ｒ軸移動機構２５は、Ｒ軸駆動部２５１（図３参照）と、Ｒ軸テーブル２５２とを有する。Ｚ軸移動機構２６は、Ｚ軸駆動部２６１（図３参照）と、Ｚ軸テーブル２６２とを有する。基板昇降支持機構２７は、バックアップ軸駆動部２７１（図３参照）と、基板昇降支持部材（複数本のバックアップピン）２７２とを含む。

【0025】

基板テーブル２は、搬送される基板２００をコンベア２２上所定の位置に保持する。その後、基板カメラ１１１（図３参照）により基板２００の基板テーブル２に対する位置が認識される。また、予めマスクカメラ１１２（図３参照）によりマスク３００の位置が認識されている。また、基板テーブル２は、Ｘ軸移動機構２３、Ｙ軸移動機構２４、およびＲ軸移動機構２５により基板２００を移動して、マスク３００に対して位置決めした状態で、Ｚ軸移動機構２６により基板２００をマスク３００下面に密着する所定の位置まで上昇するように構成されている。なお、基板カメラ１１１およびマスクカメラ１１２は、それぞれ、基板２００のマーク（図示せず）およびマスクマーク（図示せず）の撮像時、カメラ軸駆動部１１（図３参照）により、基板テーブル２とマスク３００との間の空間に侵入移動するように構成されている。

【0026】

一対のコンベア２２は、図１に示すように、基板２００の搬送方向に沿って延びるように設けられている。また、一対のコンベア２２は、前後方向（Ｙ方向）に所定距離を隔てて互いに平行に配置されている。また、一対のコンベア２２は、搬送する基板２００の幅に対応させてＹ方向の間隔を調整可能に構成されている。具体的には、基板幅軸駆動部２８（図３参照）の駆動により、一対のコンベア２２の間隔（幅）が調整されるように構成されている。

【0027】

また、一対のコンベア２２は、基板搬送軸駆動部２９（図３参照）の駆動によりＸ方向に基板２００を搬送するように構成されている。また、一対のコンベア２２は、Ｚ軸テーブル２６２により下方から支持され、Ｚ軸移動機構２６により上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。また、一対のコンベア２２は、搬入コンベア４ａから印刷前の基板２００を受け取るとともに、印刷済みの基板２００を搬出コンベア４ｂに搬出する機能を有している。

【0028】

また、基板テーブル２には、Ｚ軸テーブル２６２の上側（Ｚ１方向側）に複数のバックアップピンを含む基板昇降支持部材２７２が設けられている。複数のバックアップピンは、基板２００を下方から支持するように構成されている。具体的には、一対のコンベア２２により搬送された基板２００は、複数のバックアップピンにより一対のコンベア２２から所定の高さ分上昇移動される。そして、一対のコンベア２２に対しての所定の高さ位置まで上昇された基板２００は、基板クランプ２２１（図３参照）によりクランプされる。この状態で上記したように基板２００のマスク３００に対する位置合わせと、マスク３００下面へ密着するための基板２００の上昇とが行われ、基板２００は、マスク３００の下面の所定の印刷位置に保持される。

【0029】

マスク３００には、所定のパターンの開口３０２（図２参照）が形成されている。また、マスク３００は、平面視で矩形形状を有し、外周部にフレーム３０１が取り付けられている。また、図１に示すように、マスク３００は、マスククランプ部５によりフレーム３０１がクランプされることによって基板テーブル２の上方で固定的に保持される。

【0030】

図１に示すように、スキージユニット３は、マスク３００の上方に配置されている。スキージユニット３は、前後方向（Ｙ方向）に往復移動することにより、マスク３００の上面上に供給された半田３０３をマスク３００の上面に掻き広げる機能を有している。これにより、マスク３００の開口３０２を介して基板２００の表面に半田３０３が印刷される。具体的には、スキージユニット３は、図２および図３に示すように、印刷ヘッド部３１と、印刷ヘッド部３１を昇降駆動させるスキージＺ軸モータ３２とを備えている。なお、スキージＺ軸モータ３２の代わりに、印刷ヘッド部３１を空気圧により昇降駆動させるシリンダを設けてもよい。

【0031】

図１に示すように、印刷ヘッド部３１は、一対のレール６により前後方向（Ｙ方向）に移動可能に支持されている。具体的には、スキージＹ軸モータ３ａ（図３参照）の駆動により、印刷ヘッド部３１がＹ方向に移動されるように構成されている。つまり、スキージＹ軸モータ３ａは、スキージ３１１を所定の方向（Ｙ方向）に移動させる。また、印刷ヘッド部３１は、上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に構成されている。具体的には、スキージＺ軸モータ３２（図３参照）の駆動により、印刷ヘッド部３１がＺ方向に移動されるように構成されている。

【0032】

また、図２に示すように、印刷ヘッド部３１は、印刷ヘッド本体部３１ａと、スキージ支持プレート３１３とを有する。印刷ヘッド本体部３１ａは、主に、スキージ３１１と、スキージ回動モータ３１２と、一対のガイド部３１４と、一対の圧縮コイルバネ３１５と、スキージ支持ブラケット３１６とから構成されている。

【0033】

スキージ３１１は、図１に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。また、スキージ３１１は、開口３０２が設けられたマスク３００の上面に当接し、第１方向（Ｙ方向）に移動してマスク３００に供給された半田３０３をマスク３００の開口３０２を介して基板２００に印刷するように構成されている。また、スキージ３１１は、図２に示すように、第１方向（Ｙ方向）に直交する水平方向の第２方向（Ｘ方向）に延びる支持軸３１７を回動中心として、スキージ支持ブラケット３１６に対し回動可能に取り付けられている。具体的には、スキージ３１１は、スキージ回動モータ３１２の駆動により、支持軸３１７を中心に回動されるように構成されている。

【0034】

また、スキージ３１１は、半田３０３を掻き取る掻き取り面（作業面）３１１ａを有し、マスク３００の上面に対して前後方向（Ｙ方向）に摺動することによりマスク３００の上面上の半田３０３を掻き取るように構成されている。また、スキージ３１１は、往路の印刷（後方から前方に向かう方向（Ｙ１方向）の印刷）および復路の印刷（前方から後方に向かう方向（Ｙ２方向）の印刷）の両方で共通の掻き取り面３１１ａが用いられる。

【0035】

スキージ支持プレート３１３は、印刷ヘッド本体部３１ａを支持するように構成されている。具体的には、スキージ支持プレート３１３は、一対のガイド部３１４のストッパ３１４ａが当接することにより、ガイド部３１４と、ガイド部３１４の下方（Ｚ２方向）に接続されているスキージ支持ブラケット３１６と、スキージ支持ブラケット３１６にそれぞれ設けられたスキージ３１１およびスキージ回動モータ３１２と、スキージ支持ブラケット３１６に支持された一対の圧縮コイルバネ３１５とを含む印刷ヘッド本体部３１ａを吊るように支持するように構成されている。また、スキージ支持プレート３１３は、ボールネジ軸３２２に係合（螺合）しており、ボールネジ軸３２２が回動することにより、上下方向（Ｚ方向）に移動するように構成されている。

【0036】

また、図３に示すように、スキージユニット３には、半田供給部３３が設けられている。半田供給部３３は、マスク３００上に半田３０３を自動で供給するように構成されている。

【0037】

ここで、本実施形態では、印刷装置１００には、図１に示すように、第１方向（Ｙ方向）に直交する水平方向の第２方向（Ｘ方向）においてスキージ３１１の一方側および他方側（Ｘ１方向側およびＸ２方向側）に設けられ、第２方向（Ｘ方向）への半田３０３の移動を規制する一対のプレート３４が設けられている。一対のプレート３４は、Ｘ１方向側に配置されたプレート３４ａと、Ｘ２方向側に配置されたプレート３４ｂとを含んでいる。つまり、プレート３４ａは、スキージ３１１の中心に対してＸ１方向側に配置されている。また、プレート３４ｂは、スキージ３１１の中心に対してＸ２方向側に配置されている。また、プレート３４ａは、スキージ３１１により移動される半田３０３のＸ１方向側への移動を規制して、半田３０３がＸ１方向側に漏れ出るのを抑制する。プレート３４ｂは、スキージ３１１により移動される半田３０３のＸ２方向側への移動を規制して、半田３０３がＸ２方向側に漏れ出るのを抑制する。プレート３４は、たとえば、樹脂により板状に形成されている。

【0038】

また、本実施形態では、印刷装置１００には、図４に示すように、マスク３００上の半田３０３の量に応じて、一対のプレート３４のうち少なくとも一方をＸ方向に移動させるプレート移動部３５を設ける。

【0039】

プレート移動部３５は、図４に示すように、プレート移動モータ３５１と、駆動軸３５２と、歯車３５３と、第１歯車３５４ａおよび３５４ｂと、第２歯車３５５ａおよび３５５ｂと、ボールネジ軸３５６ａおよび３５６ｂと、ベアリング３５７ａおよび３５７ｂと、を含んでいる。なお、プレート移動モータ３５１は、特許請求の範囲の「モータ」の一例である。

【0040】

プレート移動モータ３５１は、駆動軸３５２を回転させる。具体的には、プレート移動モータ３５１は、サーボモータを含み、駆動軸３５２を指令値に基づく所定量だけ回転させる。また、プレート移動モータ３５１は、軸線方向にみて、時計回りおよび反時計周りの両方の向きに回転可能である。駆動軸３５２は、プレート移動モータ３５１による回転駆動を歯車３５３に伝達する。

【0041】

歯車３５３は、第１歯車３５４ａおよび３５４ｂの両方に係合する第１位置（図４参照）と、第２歯車３５５ａおよび３５５ｂのうちいずれか一方に係合する第２位置（図５参照）との間で位置を切り替えることが可能である。具体的には、エアシリンダなどの駆動部により、プレート移動モータ３５１、駆動軸３５２および歯車３５３の位置が移動される。

【0042】

歯車３５３は、第１歯車３５４ａおよび３５４ｂの両方に係合する第１位置（図４参照）に位置する場合に、回転駆動を、第１歯車３５４ａおよび３５４ｂの両方に伝達する。また、歯車３５３は、第２歯車３５５ａおよび３５５ｂのうちいずれか一方に係合する第２位置（図５参照）に位置する場合に、回転駆動を、第２歯車３５５ａおよび３５５ｂのうち係合している歯車に伝達する。なお、図５では、歯車３５３がＸ１方向側に位置する第２歯車３５５ａに係合している場合を示しているが、Ｘ２方向側に位置する第２歯車３５５ａに対しても、歯車３５３がＸ２方向側に移動することにより同様に係合する。

【0043】

Ｘ１方向側に配置されたボールネジ軸３５６ａは、第１歯車３５４ａおよび第２歯車３５５ａに接続されている。つまり、ボールネジ軸３５６ａは、第１歯車３５４ａまたは第２歯車３５５ａの回転駆動が伝達される。また、ボールネジ軸３５６ａには、プレート３４ａが係合（螺合）している。つまり、ボールネジ軸３５６ａが回転することにより、プレート３４ａがＸ方向に移動される。

【0044】

Ｘ２方向側に配置されたボールネジ軸３５６ｂは、第１歯車３５４ｂおよび第２歯車３５５ｂに接続されている。つまり、ボールネジ軸３５６ｂは、第１歯車３５４ｂまたは第２歯車３５５ｂの回転駆動が伝達される。また、ボールネジ軸３５６ｂには、プレート３４ｂが係合（螺合）している。つまり、ボールネジ軸３５６ｂが回転することにより、プレート３４ｂがＸ方向に移動される。

【0045】

また、歯車３５３が第１歯車３５４ａおよび３５４ｂの両方に係合する第１位置（図４参照）に位置する場合には、ボールネジ軸３５６ａおよび３５６ｂの両方が回転するため、Ｘ１方向側のプレート３４ａおよびＸ２方向側のプレート３４ｂの両方がＸ方向に移動する。つまり、プレート移動部３５は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を同時に移動させる。また、プレート移動部３５は、共通のプレート移動モータ３５１の駆動により、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を連動してＸ方向に移動させる。

【0046】

また、プレート移動部３５は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）をＸ方向における互いに反対方向に移動させて、一対のプレート３４の間隔を変更させる。つまり、プレート移動部３５は、プレート３４ａのＸ２方向側への移動と、プレート３４ｂのＸ１方向側への移動とを、連動させる。これにより、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔が小さくなる（近づく）。また、プレート移動部３５は、プレート３４ａのＸ１方向側への移動と、プレート３４ｂのＸ２方向側への移動とを、連動させる。これにより、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔が大きくなる（広がる）。

【0047】

また、印刷装置１００には、図３に示すように、印刷装置１００を制御する制御部７が設けられている。制御部７は、主制御部７ａと、駆動制御部７ｂと、バルブ制御部７ｃとを有している。主制御部７ａは、ＣＰＵからなり、記憶部１０に記憶された印刷プログラムに基づいて各部を制御する機能を有している。また、主制御部７ａは、駆動制御部７ｂおよびバルブ制御部７ｃを介して、スキージユニット、コンベアユニットおよびカメラユニットを制御するように構成されている。具体的には、駆動制御部７ｂにより、スキージＹ軸モータ３ａ、スキージＺ軸モータ３２およびスキージ回動モータ３１２の駆動が制御されて、スキージ３１１がＹ方向およびＺ方向に移動されるとともに、スキージ３１１が支持軸３１７周りに回動される。つまり、制御部７は、スキージＹ軸モータ３ａ、スキージＺ軸モータ３２およびスキージ回動モータ３１２によるスキージ３１１の移動を制御する。

【0048】

また、駆動制御部７ｂにより、半田供給部３３の駆動が制御されて、マスク３００上に半田３０３が供給される。具体的には、制御部７は、所定の印刷枚数毎に半田３０３をマスク３００上に供給する制御を行う。また、制御部７は、レーザ測定部１２（図３参照）や基板カメラ１１１（図３参照）によりマスク３００上の半田３０３の量を取得して、半田３０３の量が所定の量よりも少なくなったと判断した場合に、半田供給部３３により、マスク３００上に半田３０３を供給する制御を行う。

【0049】

また、駆動制御部７ｂにより、プレート移動モータ３５１の駆動が制御されて、一対のプレート３４が第２方向（Ｘ方向）に移動される。

【0050】

また、駆動制御部７ｂにより、Ｘ軸駆動部２３１、Ｙ軸駆動部２４１、Ｒ軸駆動部２５１およびＺ軸駆動部２６１の駆動が制御されて、コンベアユニットの基板クランプ２２１にクランプされた基板２００がＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動される。また、駆動制御部７ｂにより、Ｒ軸駆動部２５１の駆動が制御されて、コンベアユニットの基板クランプ２２１にクランプされた基板２００がＺ軸方向を回動中心としてＲ軸方向に回動される。また、駆動制御部７ｂにより、バックアップ軸駆動部２７１の駆動が制御されて、基板昇降支持部材２７２（バックアップピン）が上下方向（Ｚ方向）に移動される。また、駆動制御部７ｂにより、カメラユニットのカメラ軸駆動部１１の駆動が制御されて、マスク３００の位置および姿勢を認識するためのマスクカメラ１１２（図３参照）が移動される。

【0051】

また、駆動制御部７ｂにより、基板幅軸駆動部２８の駆動が制御されて、コンベア２２のＹ方向の間隔（幅）が調整される。また、駆動制御部７ｂにより、基板搬送軸駆動部２９の駆動が制御されて、コンベア２２により基板２００がＸ方向に搬送される。また、バルブ制御部７ｃにより、基板クランプ２２１のエア駆動が制御されて、基板２００のクランプのオンオフが制御される。また、駆動制御部７ｂにより、カメラユニットのカメラ軸駆動部１１の駆動が制御されて、基板２００の位置および姿勢を認識するための基板カメラ１１１（図３参照）が移動される。

【0052】

なお、カメラユニットには上向きのマスクカメラ１１２と下向きの基板カメラ１１１が搭載されている。また、基板クランプ２２１は基板２００のＹ方向両側から基板２００を挟むものであり、基板２００をクランプした状態で基板クランプ２２１の上面は基板２００の上面と高さ位置（Ｚ方向位置）が一致するようにされ、かつ、スキージ３１１からの荷重を基板２００と同様にマスク３００を介して支持することが可能に構成されている。

【0053】

また、主制御部７ａは、印刷装置１００の運転状態を表示ユニット８に表示させるように構成されている。また、主制御部７ａは、作業者が入力ユニット９を介して入力する各種情報を受け付けるように構成されている。

【0054】

また、主制御部７ａは、レーザ測定部１２によりマスク３００上の半田３０３の量を測定する制御を行う。また、主制御部７ａは、基板カメラ１１１により基板２００の位置および姿勢を取得するための撮像を制御する。また、主制御部７ａは、マスクカメラ１１２によりマスク３００の位置および姿勢を取得するための撮像を制御する。

【0055】

ここで、本実施形態では、制御部７は、プレート移動部３５の駆動を制御する。具体的には、制御部７は、マスク３００上の半田３０３の量に応じて、プレート移動部３５のプレート移動モータ３５１を制御して、スキージ３１１に対するプレート３４の位置を調整する。

【0056】

また、制御部７は、マスク３００上の半田３０３の減少量に応じて、一対のプレート３４を互いに近づけるように移動させる。

【0057】

具体的には、制御部７は、マスク３００上の半田３０３の量を、レーザ測定部１２または基板カメラ１１１により測定して取得する。レーザ測定部１２は、マスク３００の上方に配置され、レーザを照射してスキャンすることにより、マスク３００上の半田３０３の幅Ｗ（Ｙ方向の長さ）および高さＨ（Ｚ方向の長さ）を計測する。また、基板カメラ１１１によりマスク３００上の半田３０３の量を測定する場合には、基板カメラ１１１により、半田３０３を撮像して、半田３０３の幅Ｗを計測する。

【0058】

また、制御部７は、プレート３４の位置に基づいて、半田３０３の長さＬ（Ｘ方向の長さ）を取得する。つまり、半田３０３は、Ｘ方向において、両端部がプレート３４に当接するため、プレート３４の間隔が半田３０３の長さＬとして取得される。

【0059】

制御部７は、取得した半田３０３の幅Ｗ、高さＨおよび長さＬに基づいて、半田３０３の量（体積）を算出する。そして、制御部７は、半田３０３の幅Ｗおよび高さＨに基づく断面積Ｓが所定の範囲内になるように、プレート３４の間隔を小さくする制御を行う。つまり、半田３０３の長さＬを小さくして、その分、半田３０３の幅Ｗおよび高さＨを大きくして、断面積Ｓを所定の範囲内に維持する。

【0060】

また、制御部７は、半田３０３の長さＬの目標値を、（半田３０３の量（体積））／（半田３０３の断面積）により算出する。そして、制御部７は、プレート３４ａを、（（現在の間隔）ー（目標の間隔））／２だけ、Ｘ２方向に移動させる。また、制御部７は、プレート３４ｂを、（（現在の間隔）ー（目標の間隔））／２だけ、Ｘ１方向に移動させる。これにより、半田３０３のロールの直径が維持される。

【0061】

また、制御部７は、印刷開始から所定の複数枚数印刷するまでは、一対のプレート３４を移動させずに、所定の複数枚数印刷後から、一対のプレート３４を互いに近づけるように移動させる。つまり、制御部７は、プレート３４を同じ位置とした状態で、基板２００に半田３０３を複数枚印刷した後に、半田３０３の変化量を計測する。そして、制御部７は、変化量を複数枚で除することにより、１枚あたりの半田３０３の使用量を算出する。そして、制御部７は、基板２００の１枚当たりの半田３０３の使用量を算出した結果に基づいて、基板２００を１枚印刷する毎に、一対のプレート３４を、使用量に応じた距離だけ互いに近づけるように移動させる。これにより、プレート３４を一度に移動させる量を最小限にすることができるので、プレート３４の移動に起因して半田３０３のＸ方向の端部の形状が大きく変形するのを抑制することが可能である。また、半田３０３の断面積および断面形状を効果的に維持することが可能である。

【0062】

また、制御部７は、印刷時の一対のプレート３４の初期位置が、印刷を行う基板２００のＸ方向における両端部の位置、または、両端部の位置よりも外側の位置になるように、プレート移動部３５を制御する。具体的には、図７（Ａ）に示すように、印刷開始時では、一対のプレート３４が間隔Ｄ１となるようにする。なお、間隔Ｄ１は、基板２００のＸ方向における長さＬ１以上である。

【0063】

また、制御部７は、マスク３００のＸ方向における開口３０２が配置される範囲３０２ａを取得する。そして、制御部７は、図６および図７に示すように、一対のプレート３４を互いに最も近づける位置を、開口３０２が配置される範囲３０２ａの両端の位置よりも外側となるように一対のプレート３４の移動を制御する。

【0064】

たとえば、制御部７は、基板生産データのマスク３００の情報に基づいて、開口３０２が配置される範囲３０２ａを取得する。また、たとえば、制御部７は、基板生産データの基板２００の情報に基づいて、開口３０２が配置される範囲３０２ａを取得する。つまり、基板２００の電極の位置に基づいて、開口３０２が配置される範囲３０２ａが取得される。また、たとえば、制御部７は、カメラなどによりマスク３００を撮像した画像に基づいて、開口３０２が配置される範囲３０２ａを取得する。

【0065】

図６に示す動作例では、制御部７は、印刷毎に一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の両方を互いに近づく方向に移動させる。図６（Ａ）に示すように、印刷開始時に、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を間隔Ｄ１だけ離間させる。そして、印刷毎に一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔を近づけていき、図６（Ｂ）の状態では、間隔Ｄ２（Ｄ２＜Ｄ１）となる。そして、図６（Ｃ）に示すように、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）が間隔Ｄ３まで近づくと、図６（Ａ）に戻る。つまり、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔Ｄ３が、開口３０２が配置される範囲３０２ａのＸ方向の長さＬ２となると、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔を広げて、半田３０３が供給される。

【0066】

図７に示す動作例では、開口３０２が配置される範囲３０２ａがＸ１方向側に寄っている。この場合、制御部７は、印刷毎に一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の一方（図７の例ではプレート３４ｂ）を他方（プレート３４ａ）に近づく方向に移動させる。図７（Ａ）に示すように、印刷開始時に、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を間隔Ｄ１１だけ離間させる。そして、印刷毎にプレート３４ｂをプレート３４ａに近づけていき、図７（Ｂ）の状態では、間隔Ｄ１２（Ｄ１２＜Ｄ１１）となる。そして、図７（Ｃ）に示すように、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）が間隔Ｄ１３まで近づくと、図７（Ａ）に戻る。つまり、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔Ｄ１３が、開口３０２が配置される範囲３０２ａのＸ方向の長さＬ１２となると、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔を広げて、半田３０３が供給される。

【0067】

（半田印刷処理）
次に、図８を参照して、制御部７の制御による半田印刷処理について説明する。

【0068】

図８のステップＳ１において、基板品種が切り替えられる。ステップＳ２において、制御部７は、マスク３００の開口３０２が配置される範囲３０２ａを取得する。

【0069】

ステップＳ３において、制御部７は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を互いに遠ざかるように移動させる。たとえば、制御部７は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔を最大まで広げる。その後、マスク３００上に半田３０３が供給される。そして、ステップＳ４において、制御部７は、マスク３００上の半田３０３の幅（Ｙ方向の長さ）を測定し、その測定の結果Ａを取得する。

【0070】

ステップＳ５において、制御部７は、１枚の基板２００に半田３０３を印刷して、半田３０３が印刷された基板２００を１枚生産する。ステップＳ６において、制御部７は、複数の所定枚数の基板２００を生産したか否かを判断する。所定枚数の基板２００を生産するまで、ステップＳ５～Ｓ６の処理が繰り返される。

【0071】

複数の所定枚数の基板２００が生産されると、ステップＳ７において、制御部７は、マスク３００上の半田３０３の幅（Ｙ方向の長さ）を測定し、その測定の結果Ｂを取得する。ステップＳ８において、制御部７は、結果Ａおよび結果Ｂに基づいて、半田３０３の減少量を算出する。そして、制御部７は、算出した半田３０３の減少量を所定枚数で除して、１枚の基板２００に使用される半田３０３の量を算出する。

【0072】

ステップＳ９において、制御部７は、基板２００を１枚印刷する毎のプレート３４の移動量を算出する。つまり、制御部７は、半田３０３の径（Ｙ方向の長さ）を維持するように、一対のプレート３４を近づける移動量を算出する。ステップＳ１０において、１枚の基板２００に半田３０３を印刷して、半田３０３が印刷された基板２００を１枚生産する。

【0073】

ステップＳ１１において、制御部７は、プレート３４を移動させた場合に、プレート３４が開口３０２の配置される範囲３０２ａに到達するか否かを判断する。プレート３４が範囲３０２ａに到達しなければ、ステップＳ１２に進み、プレート３４が範囲３０２ａに到達するようであれば、ステップＳ１３に進む。ステップＳ１２において、制御部７は、プレート３４を、ステップＳ９で算出した量だけ近づくようにＸ方向に移動させる。なお、プレート３４のＸ方向への移動は、ステップＳ１０における印刷時（スキージ３１１のＹ方向への移動時）に並行して行うことが好ましい。

【0074】

ステップＳ１３において、制御部７は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）の間隔を最大まで広げる。ステップＳ１４において、制御部７は、マスク３００上に半田３０３を供給する。その後、ステップＳ１０に戻る。

【0075】

また、この品種の基板２００の生産が終了するまで、ステップＳ１０～Ｓ１４の処理が繰り返される。

【0076】

本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0077】

本実施形態では、上記のように、マスク３００上の半田３０３の量に応じて、一対のプレート３４のうち少なくとも一方をＸ方向に移動させるプレート移動部３５を設ける。これにより、マスク３００上の半田３０３の量に応じて一対のプレート３４を近づけるように移動させることができるので、印刷によりマスク３００上の半田３０３の量が減ったとしても、マスク３００上の半田３０３のＸ方向の長さを小さくすることができる。その結果、マスク３００上の開口３０２が設けられる領域における半田３０３のＹ方向（スキージ３１１の移動方向）の幅を大きくすることができるので、マスク３００上の開口３０２が設けられる領域における半田３０３の断面積が小さくなるのを抑制することができる。これにより、半田３０３を供給する頻度を多くしなくても半田印刷の安定性を確保することができる。その結果、半田３０３を供給する頻度を減少させて、印刷を行う時間が増大するのを抑制することができる。

【0078】

また、本実施形態では、上記のように、プレート移動部３５の駆動を制御する制御部７を設ける。また、プレート移動部３５は、プレート移動モータ３５１を含む。また、制御部７は、マスク３００上の半田３０３の量に応じて、プレート移動部３５のプレート移動モータ３５１を制御して、スキージ３１１に対するプレート３４の位置を調整する。これにより、プレート移動モータ３５１の駆動によりプレート３４の位置を自動で細かく移動することができるので、マスク３００上の半田３０３の量に応じてプレート３４の位置を自動で細かく調整することができる。また、制御部７によりプレート３４の位置を自動で調整する制御を行うので、作業者がプレート３４の位置を移動させる作業を行う必要がない。

【0079】

また、本実施形態では、上記のように、制御部７は、マスク３００上の開口３０２が設けられる領域における半田３０３の減少量に応じて、一対のプレート３４を互いに近づけるように移動させる。これにより、印刷によるマスク３００上の半田３０３の減少量に応じて、一対のプレート３４の間に挟まれて配置される半田３０３のＸ方向の長さを小さくすることができるので、その分、半田３０３のＹ方向の幅が小さくなるのを抑制することができる。その結果、マスク３００上の開口３０２が設けられる領域における半田３０３の断面積が小さくなり半田３０３の断面形状が変化するのを抑制することができる。

【0080】

また、本実施形態では、上記のように、プレート移動部３５は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を同時に移動させる。これにより、一対のプレート３４の各々を順番に移動させる場合と比べて、一対のプレート３４を移動させる時間が長くなるのを抑制することができる。

【0081】

また、本実施形態では、上記のように、プレート移動部３５は、共通のプレート移動モータ３５１の駆動により、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）を連動してＸ方向に移動させる。これにより、一対のプレート３４の各々に対して移動させるためのプレート移動モータ３５１を別個に設ける必要がないので、部品点数が増加するのを抑制することができるとともに、装置構成を簡素化することができる。

【0082】

また、本実施形態では、上記のように、プレート移動部３５は、一対のプレート３４（３４ａおよび３４ｂ）をＸ方向における互いに反対方向に移動させて、一対のプレート３４の間隔を変更させる。これにより、スキージ３１１に対して一対のプレート３４をＸ方向において互いに近づける移動、および、互いに遠ざける移動を、容易に行うことができる。

【0083】

また、本実施形態では、上記のように、制御部７は、印刷時の一対のプレート３４の初期位置が、印刷を行う基板２００のＸ方向における両端部の位置、または、両端部の位置よりも外側の位置になるように、プレート移動部３５を制御する。これにより、Ｘ方向における基板２００の両端部の間の位置に対応するマスク３００上の位置に半田３０３を配置することができるので、基板２００の半田が印刷される領域に対して半田３０３を確実に印刷することができる。

【0084】

また、本実施形態では、上記のように、マスク３００上の半田３０３の量を計測するレーザ測定部１２、基板カメラ１１１（計測部）を設ける。また、制御部７は、レーザ測定部１２、基板カメラ１１１により計測した半田３０３の量に基づいて、一対のプレート３４を移動させる制御を行う。これにより、マスク３００上の半田３０３の量をレーザ測定部１２、基板カメラ１１１により計測することができるので、レーザ測定部１２、基板カメラ１１１により計測した半田３０３の量に基づいて、半田３０３の形状を維持するように、一対のプレート３４の位置を精度よく調整することができる。

【0085】

また、本実施形態では、上記のように、制御部７は、印刷開始から所定の複数枚数印刷するまでは、一対のプレート３４を移動させずに、所定の複数枚数印刷後から、一対のプレート３４を互いに近づけるように移動させる。これにより、一対のプレート３４の位置を移動させない状態（固定した状態）で、所定の複数枚数の基板２００に半田３０３を印刷した後に、半田３０３の変化量を測定することができるので、１枚の基板２００における半田３０３の使用量が少ない場合でも、複数枚の基板２００における半田３０３の使用量をまとめて測定することにより、変化量を精度よく取得することができる。これにより、取得した変化量を所定の複数枚数で除することにより、１枚の基板２００における半田３０３の使用量を精度よく取得することができる。また、１枚の基板２００における半田３０３の使用量を取得した後は、半田３０３の形状を維持するように、印刷毎に一対のプレート３４の位置を精度よく調整することができる。

【0086】

また、本実施形態では、上記のように、制御部７は、マスク３００のＸ方向における開口３０２が配置される範囲３０２ａを取得し、一対のプレート３４を互いに最も近づける位置を、開口３０２が配置される範囲３０２ａの両端の位置よりも外側となるように一対のプレート３４の移動を制御する。これにより、一対のプレート３４をマスク３００の開口３０２が配置される範囲まで近づけるまでは、マスク３００上に半田３０３を供給することなく、印刷を継続することができる。また、マスク３００の開口３０２が配置される範囲３０２ａよりも内側に一対のプレート３４が配置されることがないので、半田３０３をマスク３００の開口３０２から基板２００に確実に印刷することができる。

【0087】

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

【0088】

たとえば、上記実施形態では、前後方向（Ｙ方向）の両方に１つのスキージを移動させて印刷を行う構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、前方向に移動させて印刷を行うスキージと、後方向に移動させて印刷を行うスキージとの２つのスキージが設けられている構成であってもよい。

【0089】

また、上記実施形態では、一対のプレートの両方が第２方向（Ｘ方向）に移動可能である構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、一対のプレートのうち一方のみが第２方向（Ｘ方向）に移動可能であってもよい。

【0090】

また、上記実施形態では、プレート移動部がボールネジ機構によりプレートを移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、プレート移動部がコンベア機構によりプレートを移動させてもよいし、プレート移動部がリニアモータ機構によりプレートを移動させてもよい。

【0091】

また、上記実施形態では、プレート移動部が共通のモータにより、一対のプレートの両方を移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、プレート移動部が別個のモータにより、一対のプレートの各々を移動させてもよい。

【0092】

また、上記実施形態では、一対のプレートを同時に移動させる場合に、一対のプレートの各々が互いに反対方向に移動する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、一対のプレートを同時に移動させる場合に、一対のプレートの各々を互いに同じ方向に移動してもよい。

【0093】

また、上記実施形態では、基板とマスクとを密着させて印刷を行うコンタクト印刷方式により基板への半田の印刷を行う例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板とマスクとの間にギャップ（空隙）を設けて、印刷（スキージング）と版離れとの工程を同時に行うキャップ印刷（オフコンタクト印刷）方式を適用して、基板への半田の印刷を行ってもよい。

【0094】

また、上記実施形態では、前後方向（Ｙ方向）に基板を搬送するレーンが１つ設けられているシングルレーンの構成の印刷装置の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板を搬送するレーンが前後方向（Ｙ方向）に複数設けられているマルチレーンの構成の印刷装置であってもよい。

【符号の説明】

【0095】

７ 制御部
１２ レーザ測定部（計測部）
３４、３４ａ、３４ｂ プレート
３５ プレート移動部
１００ 印刷装置
１１１ 基板カメラ（計測部）
２００ 基板
３００ マスク
３０２ 開口
３０２ａ 開口が配置される範囲
３０３ 半田
３１１ スキージ
３５１ プレート移動モータ（モータ）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】