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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024131029
(43)【公開日】2024-09-30
(54)【発明の名称】塗布装置
(51)【国際特許分類】
B05C 11/10 20060101AFI20240920BHJP
B05C 5/00 20060101ALN20240920BHJP
【ＦＩ】
B05C11/10
B05C5/00 101
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023041045
(22)【出願日】2023-03-15
(71)【出願人】
【識別番号】000219314
【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000280
【氏名又は名称】弁理士法人サンクレスト国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】釜谷 学
(72)【発明者】
【氏名】中井 聡
(72)【発明者】
【氏名】栗原 尚実
【テーマコード（参考）】
4F041
4F042
【Ｆターム（参考）】
4F041AA02
4F041AB01
4F041BA01
4F041BA10
4F041BA13
4F041BA22
4F041BA38
4F042AA02
4F042BA04
4F042BA06
4F042BA08
4F042DF05
4F042DF09
4F042DH09
(57)【要約】
【課題】移動ユニットの移動制御を高精度に行うことが可能となる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１０は、基材Ｗに対して液を塗布する移動ユニット１１と、移動ユニット１１の移動を案内するガイド装置１２と、移動ユニット１１に電力供給する電力線１４ａを含むケーブル群１４を支持するケーブルキャリア１３とを有する。移動ユニット１１は、ガイド装置１２の案内方向に移動可能であって液を吐出する塗布ヘッド２１を搭載する塗布ユニット１６と、塗布ユニット１６と独立して前記案内方向に移動可能であってケーブルキャリア１３と接続された制御ユニット１７と、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する可撓性ワイヤハーネス１８とを有する。
【選択図】 図１
【解決手段】塗布装置１０は、基材Ｗに対して液を塗布する移動ユニット１１と、移動ユニット１１の移動を案内するガイド装置１２と、移動ユニット１１に電力供給する電力線１４ａを含むケーブル群１４を支持するケーブルキャリア１３とを有する。移動ユニット１１は、ガイド装置１２の案内方向に移動可能であって液を吐出する塗布ヘッド２１を搭載する塗布ユニット１６と、塗布ユニット１６と独立して前記案内方向に移動可能であってケーブルキャリア１３と接続された制御ユニット１７と、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する可撓性ワイヤハーネス１８とを有する。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基材に対して液を塗布する移動ユニットと、
前記移動ユニットの移動を案内するガイド装置と、
前記移動ユニットに電力供給する電力線を含むケーブル群を支持するケーブルキャリアと、
を有し、
前記移動ユニットは、
前記ガイド装置の案内方向に移動可能であって液を吐出する塗布ヘッドを搭載する塗布ユニットと、
前記塗布ユニットと独立して前記案内方向に移動可能であって前記ケーブルキャリアと接続された制御ユニットと、
前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの間をたるみを持たせて接続する可撓性ワイヤハーネスと、
を有する、塗布装置。
前記移動ユニットの移動を案内するガイド装置と、
前記移動ユニットに電力供給する電力線を含むケーブル群を支持するケーブルキャリアと、
を有し、
前記移動ユニットは、
前記ガイド装置の案内方向に移動可能であって液を吐出する塗布ヘッドを搭載する塗布ユニットと、
前記塗布ユニットと独立して前記案内方向に移動可能であって前記ケーブルキャリアと接続された制御ユニットと、
前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの間をたるみを持たせて接続する可撓性ワイヤハーネスと、
を有する、塗布装置。
【請求項2】
前記制御ユニットは、信号線及びスイッチを含む電装品、及び、前記塗布ヘッド内の圧力を調整するためのレギュレータを搭載し、
前記移動ユニットは、前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの間をたるみを持たせて接続する可撓性エア配管を有する、
請求項１に記載の塗布装置。
前記移動ユニットは、前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの間をたるみを持たせて接続する可撓性エア配管を有する、
請求項１に記載の塗布装置。
【請求項3】
前記ワイヤハーネスは、前記制御ユニット及び前記塗布ユニットの少なくとも一方に対して着脱可能として接続するコネクタを有する、
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
【請求項4】
前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの移動量の差を制限する制限部材を有する、
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
【請求項5】
前記ガイド装置は、前記制御ユニットを案内する第一ガイドと、前記塗布ユニットを案内する第二ガイドと、を有し、
前記第一ガイドと前記第二ガイドとは異なる仕様である、
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
前記第一ガイドと前記第二ガイドとは異なる仕様である、
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示の発明は、塗布装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ガラス又はフィルム等の基材上にインクジェット塗布装置により液を吐出し、線分又は矩形等の様々な形状の塗布膜（膜パターンともいう）を形成する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２２－３０７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
前記のような塗布装置は、ガラス又はフィルム等の基材を保持するステージと、その基材に対して液を塗布する塗布ガントリとを有する。塗布ガントリに搭載の移動ユニットは、移動しながら、基材に対して液を吐出する塗布動作を行い、基材に塗布膜（膜パターン）を形成する。
近年、前記のような塗布装置において、更に高品質の塗布を行うことが求められており、このために、移動ユニットの移動制御に高い精度が必要となる。
近年、前記のような塗布装置において、更に高品質の塗布を行うことが求められており、このために、移動ユニットの移動制御に高い精度が必要となる。
【0005】
塗布の対象となる基材が大きくなるほど、塗布ガントリ及び移動ユニットは大型化し、その質量は大きくなる。移動ユニットには、電力線を含むケーブル群が接続される。移動ユニットは、移動しながら、又は移動と停止を繰り返しながら、塗布動作を行う。そこで、前記ケーブル群を支持するために、ケーブルキャリアが用いられる。電力線等のケーブルは多数となることから、大型のケーブルキャリアが用いられ、また、複数のケーブルキャリアが用いられる場合がある。
【0006】
ケーブルキャリアが移動ユニットに連結されていることで、ケーブルキャリアからの外力（反力）が移動ユニットに作用する。その外力は、負荷となって、移動ユニットの移動に影響を与える。例えば、外力は、移動ユニットの直進性に悪影響を及ぼす。
移動ユニットは、液を吐出する塗布ヘッドの他に多くの電装品を搭載する。このため、移動ユニットを移動させる駆動装置の負荷は大きい。移動ユニットの移動制御においてゲインを上げ難く、位置制御の精度確保及び移動速度の向上が困難となる。
移動ユニットは、液を吐出する塗布ヘッドの他に多くの電装品を搭載する。このため、移動ユニットを移動させる駆動装置の負荷は大きい。移動ユニットの移動制御においてゲインを上げ難く、位置制御の精度確保及び移動速度の向上が困難となる。
【0007】
そこで、本発明は、塗布ガントリに搭載される移動ユニットの移動制御を高精度に行うことが可能となる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
（１）本発明の塗布装置は、基材に対して液を塗布する移動ユニットと、前記移動ユニットの移動を案内するガイド装置と、前記移動ユニットに電力供給する電力線を含むケーブル群を支持するケーブルキャリアと、を有し、前記移動ユニットは、前記ガイド装置の案内方向に移動可能であって液を吐出する塗布ヘッドを搭載する塗布ユニットと、前記塗布ユニットと独立して前記案内方向に移動可能であって前記ケーブルキャリアと接続された制御ユニットと、前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの間をたるみを持たせて接続する可撓性ワイヤハーネスと、を有する。
【0009】
前記構成を有する塗布装置によれば、移動ユニットの搭載機器は、制御ユニットと塗布ユニットとに分配され、塗布ユニットの軽量化が可能となる。このため、塗布ユニットの位置制御の精度確保及び移動速度の向上が可能となる。
基材に対して液を塗布する際、塗布ヘッドを搭載する塗布ユニットは、ケーブルキャリアが接続された制御ユニットと独立して、移動する。このため、実質的に塗布を行う塗布ユニットに対して、ケーブルキャリアが与える影響を抑えることが可能となる。
ワイヤハーネスのたるみにより、制御ユニットと塗布ユニットとに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニットに対して、制御ユニットが与える影響を抑えることが可能となる。
以上より、移動ユニットの移動制御を高精度に行うことが可能となる。
基材に対して液を塗布する際、塗布ヘッドを搭載する塗布ユニットは、ケーブルキャリアが接続された制御ユニットと独立して、移動する。このため、実質的に塗布を行う塗布ユニットに対して、ケーブルキャリアが与える影響を抑えることが可能となる。
ワイヤハーネスのたるみにより、制御ユニットと塗布ユニットとに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニットに対して、制御ユニットが与える影響を抑えることが可能となる。
以上より、移動ユニットの移動制御を高精度に行うことが可能となる。
【0010】
（２）好ましくは、前記制御ユニットは、信号線及びスイッチを含む電装品、及び、前記塗布ヘッド内の圧力を調整するためのレギュレータを搭載し、前記移動ユニットは、前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの間をたるみを持たせて接続する可撓性エア配管を有する。
前記構成によれば、制御ユニットが、前記電装品及び前記レギュレータを搭載する。このぶん、移動制御に高い精度が必要となる塗布ユニットの軽量化が可能となる。
前記エア配管は、レギュレータと塗布ヘッドとの間のエア流路の一部を構成する。レギュレータが調整したエアの圧力により、塗布ヘッド内が負圧に保たれる。
前記構成によれば、制御ユニットが、前記電装品及び前記レギュレータを搭載する。このぶん、移動制御に高い精度が必要となる塗布ユニットの軽量化が可能となる。
前記エア配管は、レギュレータと塗布ヘッドとの間のエア流路の一部を構成する。レギュレータが調整したエアの圧力により、塗布ヘッド内が負圧に保たれる。
【0011】
（３）好ましくは、前記ワイヤハーネスは、前記制御ユニット及び前記塗布ユニットの少なくとも一方に対して着脱可能として接続するコネクタを有する。
前記構成によれば、コネクタによりワイヤハーネスを外すことで、制御ユニットと塗布ユニットとの位置を大きくずらすことが可能となる。移動ユニットのメンテナンスが容易となる。
前記構成によれば、コネクタによりワイヤハーネスを外すことで、制御ユニットと塗布ユニットとの位置を大きくずらすことが可能となる。移動ユニットのメンテナンスが容易となる。
【0012】
（４）好ましくは、前記（１）から（３）の塗布装置は、更に、前記制御ユニットと前記塗布ユニットとの移動量の差を制限する制限部材を有する。
前記構成によれば、通常運転では、制御ユニットと塗布ユニットとは同期するようにして一体的となって移動するが、例えば制御エラー等によって、両ユニットの移動量が大きく異なる可能性がある。このような場合であっても、制限部材により、その移動量の差が制限される。このため、制御ユニットと塗布ユニットとの間のワイヤハーネス等に負荷を与えないで済む。
前記構成によれば、通常運転では、制御ユニットと塗布ユニットとは同期するようにして一体的となって移動するが、例えば制御エラー等によって、両ユニットの移動量が大きく異なる可能性がある。このような場合であっても、制限部材により、その移動量の差が制限される。このため、制御ユニットと塗布ユニットとの間のワイヤハーネス等に負荷を与えないで済む。
【0013】
（５）好ましくは、前記（１）から（４）の塗布装置において、前記ガイド装置は、前記制御ユニットを案内する第一ガイドと、前記塗布ユニットを案内する第二ガイドと、を有し、前記第一ガイドと前記第二ガイドとは異なる仕様である。
塗布ユニットは、移動制御に高い精度が必要となるのに対して、制御ユニットは、塗布ユニットと比較して、低い精度で済む。前記構成によれば、第一ガイドに要するコストを低減することが可能となる。
塗布ユニットは、移動制御に高い精度が必要となるのに対して、制御ユニットは、塗布ユニットと比較して、低い精度で済む。前記構成によれば、第一ガイドに要するコストを低減することが可能となる。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、移動ユニットの移動制御を高精度に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
〔塗布装置の全体構成〕
図１は、本発明の塗布装置の一例を示す斜視図である。本実施形態の塗布装置１０は、テーブル３０ａに保持された状態にあるガラス又はフィルム等の基材Ｗに液の塗布を行う装置である。塗布装置１０は、基材Ｗ上にインクジェット方式により液を吐出し、線分又は矩形等の様々な形状の塗布膜（膜パターンともいう）を形成する。そのために、塗布装置１０は、塗布ガントリ２０と、ステージ３０とを有する。
図１は、本発明の塗布装置の一例を示す斜視図である。本実施形態の塗布装置１０は、テーブル３０ａに保持された状態にあるガラス又はフィルム等の基材Ｗに液の塗布を行う装置である。塗布装置１０は、基材Ｗ上にインクジェット方式により液を吐出し、線分又は矩形等の様々な形状の塗布膜（膜パターンともいう）を形成する。そのために、塗布装置１０は、塗布ガントリ２０と、ステージ３０とを有する。
【0017】
ステージ３０は、基材Ｗを吸着して保持するテーブル３０ａと、テーブル３０ａを搬送する搬送装置３０ｂとを有する。ステージ３０は、基材Ｗをエア浮上させて搬送する構成であってもよい。塗布ガントリ２０は、テーブル３０ａに保持されている基材Ｗを上に跨ぐ構成を有する。
【0018】
塗布ガントリ２０は、移動しながら、又は移動と停止を繰り返しながら、基材Ｗに対して液を塗布する移動ユニット１１、ガイド装置１２、及び、ケーブルキャリア１３を有する。図２は、塗布ガントリ２０の一部を説明するための斜視図である。移動ユニット１１は、塗布ユニット１６と、制御ユニット１７とを有する。本実施形態の場合、移動ユニット１１において、制御ユニット１７は上側に位置する上部ユニットとなり、塗布ユニット１６は下側に位置する下部ユニットとなる。塗布ユニット１６と制御ユニット１７とは、それぞれ独立して、ガイド装置１２による案内方向に移動可能である。
【0019】
前記案内方向は、水平の直線に沿った方向であり、前後方向とも言う。案内方向に直交する水平の方向を、左右方向と定義する。案内方向と左右方向との双方に直交する方向を上下方向（鉛直方向）と定義する。ステージ３０における基材Ｗの搬送方向は、左右方向となる。
【0020】
塗布ガントリ２０と移動ユニット１１との動作の例は、次のとおりである。
塗布ガントリ１１が塗布位置に移動し、停止する。ステージ３０が移動（往路移動）しながら、移動ユニット１１により、基材Ｗに塗布が行われる。塗布ガントリ１１が次の塗布位置に移動し、停止する。ステージ３０が移動（復路移動）しながら、移動ユニット１１により、基材Ｗに塗布が行われる。以上の動作が繰り返される。
塗布ガントリ１１が塗布位置に移動し、停止する。ステージ３０が移動（往路移動）しながら、移動ユニット１１により、基材Ｗに塗布が行われる。塗布ガントリ１１が次の塗布位置に移動し、停止する。ステージ３０が移動（復路移動）しながら、移動ユニット１１により、基材Ｗに塗布が行われる。以上の動作が繰り返される。
【0021】
ガイド装置１２は、移動ユニット１１の移動を案内する装置である。ガイド装置１２は、制御ユニット１７を案内する第一ガイド５１と、塗布ユニット１６を案内する第二ガイド５２とを有する。第一ガイド５１及び第二ガイド５２それぞれは、リニアガイドであるが、本実施形態の場合、第一ガイド５１と第二ガイド５２とは異なる仕様である。
【0022】
前記異なる仕様とは、支持対象となる塗布ユニット１６及び制御ユニット１７の支持形式が異なる場合の他に、支持形式が同じであっても支持の精度等級が異なる場合を含む。本実施形態の場合、第一ガイド５１及び第二ガイド５２それぞれは、支持形式が、支持対象を浮上させるフローティング形式であるが、精度等級については、第二ガイド５２の方が、第一ガイド５１よりも高い。これは、実質的に塗布動作を行うユニットは、塗布ユニット１６であり、塗布ユニット１６を支持する第二ガイド５２は高い移動制御を要するためである。
なお、第一ガイド５１と第二ガイド５２とは、同じ仕様、同じ精度等級であってもよい。
なお、第一ガイド５１と第二ガイド５２とは、同じ仕様、同じ精度等級であってもよい。
【0023】
移動ユニット１１に電力供給するため、塗布装置１０と別に設置されている電源装置４７から延びる複数の電力線１４ａが、移動ユニット１１と接続される。
移動ユニット１１の動作制御のため、塗布装置１０と別に設置されている制御装置４６から延びる複数の信号線１４ｂが、移動ユニット１１と接続される。
電力線１４ａ及び信号線１４ｂは、ケーブルキャリア１３により保護される。
移動ユニット１１の動作制御のため、塗布装置１０と別に設置されている制御装置４６から延びる複数の信号線１４ｂが、移動ユニット１１と接続される。
電力線１４ａ及び信号線１４ｂは、ケーブルキャリア１３により保護される。
【0024】
ケーブルキャリア１３は、複数のケーブルが束ねられて成るケーブル群１４を支持する。ケーブル群１４に、移動ユニット１１に電力供給する複数の電力線１４ａ、及び、動作制御のための複数の信号線１４ｂが含まれる。
移動ユニット１１は、ガイド装置１２の案内方向に移動することから、ケーブルキャリア１３は、ケーブル群１４を支持する屈曲可能な構成であり、ケーブルダクトとも呼ばれる。本実施形態の場合、ケーブル群１４に含まれるケーブル（電力線１４ａ及び信号線１４ｂ）は多数となるため、塗布装置１０は、２つのケーブルキャリア１３を有する。
移動ユニット１１は、ガイド装置１２の案内方向に移動することから、ケーブルキャリア１３は、ケーブル群１４を支持する屈曲可能な構成であり、ケーブルダクトとも呼ばれる。本実施形態の場合、ケーブル群１４に含まれるケーブル（電力線１４ａ及び信号線１４ｂ）は多数となるため、塗布装置１０は、２つのケーブルキャリア１３を有する。
【0025】
〔移動ユニット１１について〕
前記のとおり、移動ユニット１１は、それぞれが独立して移動可能である制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを有する。図３は、塗布ガントリ１１の一部を案内方向に沿って見た概略説明図である。
制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを電気的に接続する必要がある。そこで、移動ユニット１１は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを電気的に接続する複数のワイヤハーネス１８を有する。
後に説明するが、上部の制御ユニット１７にレギュレータ３２が搭載されており、そのレギュレータ３２は、下部の塗布ユニット１６が有する塗布ヘッド２１内の圧力を調整する。そこで、移動ユニット１１は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを繋ぐエア配管１９を有する。エア配管１９は、レギュレータ３２と塗布ヘッド２１との間のエア流路の一部を構成する。
前記のとおり、移動ユニット１１は、それぞれが独立して移動可能である制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを有する。図３は、塗布ガントリ１１の一部を案内方向に沿って見た概略説明図である。
制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを電気的に接続する必要がある。そこで、移動ユニット１１は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを電気的に接続する複数のワイヤハーネス１８を有する。
後に説明するが、上部の制御ユニット１７にレギュレータ３２が搭載されており、そのレギュレータ３２は、下部の塗布ユニット１６が有する塗布ヘッド２１内の圧力を調整する。そこで、移動ユニット１１は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを繋ぐエア配管１９を有する。エア配管１９は、レギュレータ３２と塗布ヘッド２１との間のエア流路の一部を構成する。
【0026】
塗布ユニット１６は、ガイド装置１２の案内方向に移動可能である。塗布ユニット１６は、第二ガイド５２に沿ってエア浮上して移動する。そのために、塗布ユニット１６は、リニアモータ２８と、エア浮上機構２９とを有する。エア浮上機構２９は、複数のエアパッド２９ａを有する。エアパッド２９ａからエアが噴射されることで、塗布ユニット１６は浮上し、リニアモータ２８により、塗布ユニット１６は案内方向の一方及び他方に移動する。
【0027】
塗布ユニット１６は、液を吐出する塗布ヘッド２１を搭載する。塗布ヘッド２１は、吐出機構２２及びタンク２３を搭載する。吐出機構２２は、図示しないが、液を吐出するノズル、ピエゾアクチュエータ、及び、ピエゾアクチュエータにより動作する駆動隔壁を有する。ピエゾアクチュエータは、制御装置４６からの信号によって駆動し、駆動隔壁を動作させる。駆動隔壁の動作により、ノズルは液を押し出し、液が基材Ｗに塗布される。タンク２３は、液を溜める。タンク２３の液が吐出機構２２に供給される。
【0028】
制御ユニット１７は、塗布ユニット１６と独立して、ガイド装置１２の案内方向に移動可能である。制御ユニット１７は、第一ガイド５１に沿ってエア浮上して移動する。そのために、制御ユニット１７は、リニアモータ３８と、エア浮上機構３９とを有する。エア浮上機構３９は、複数のエアパッド３９ａを有する。エアパッド３９ａからエアが噴射されることで、制御ユニット１７は浮上し、リニアモータ３８により、制御ユニット１７は案内方向の一方及び他方に移動する。
【0029】
制御ユニット１７は、信号線及びスイッチを含む電装品３１、及び、塗布ヘッド２１内の圧力を調整するためのレギュレータ３２を搭載する。電装品３１の信号線及びスイッチは、制御ユニット１７及び塗布ユニット１６を動作制御するための通信制御に用いられる。電装品３１は、制御装置４６（図１参照）から延びる信号線１４ｂと接続されている。
【0030】
塗布ユニット１６は、インクジェット方式によるため、塗布ヘッド２１の吐出機構２２は、多くのノズル及び多くのピエゾアクチュエータを有する。これらピエゾアクチュエータは個々で制御されることから、制御ユニット１７に、多くの信号線及びスイッチを含む電装品３１が搭載される。
【0031】
レギュレータ３２は、塗布ユニット１６が有する塗布ヘッド２１内の圧力を調整するための機器である。レギュレータ３２は、前記ノズルそれぞれと繋がるキャビティの圧力を調整する。レギュレータ３２が調整したエアの圧力により、塗布ヘッド２１内（前記キャビティ）を負圧に保つ。塗布ユニット１６は、インクジェット方式によるため、塗布ヘッド２１は、多くの前記ノズル及び前記キャビティを有する。多数の前記ノズルによる液の吐出は個々で制御されることから、制御ユニット１７に、多くのレギュレータ３２が搭載される。
【0032】
制御ユニット１７は、ケーブルキャリア１３と機械的に接続されている。制御ユニット１７の移動にあわせてケーブルキャリア１３は折れ曲がり動作する。このため、制御ユニット１７に、ケーブルキャリア１３からの直接的な外力（反力）が及ぶ。これに対して、塗布ユニット１６に、ケーブルキャリア１３は機械的に接続されていないので、ケーブルキャリア１３からの直接的な外力（反力）は及ばない。
【0033】
ワイヤハーネス１８は、可撓性を有する。ワイヤハーネス１８は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間を、たるみを持たせて接続する（図３参照）。
前記のとおり、制御ユニット１７に、多くの信号線及びスイッチを含む電装品３１が搭載され、塗布ユニット１６に、多くのピエゾアクチュエータを含む吐出機構２２が搭載される。これら電装品３１と吐出機構２２とを電気的に接続するため、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間に、多くの可撓性を有するワイヤハーネス１８が存在する。
前記のとおり、制御ユニット１７に、多くの信号線及びスイッチを含む電装品３１が搭載され、塗布ユニット１６に、多くのピエゾアクチュエータを含む吐出機構２２が搭載される。これら電装品３１と吐出機構２２とを電気的に接続するため、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間に、多くの可撓性を有するワイヤハーネス１８が存在する。
【0034】
塗布動作を行う通常運転では、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とは、同期するようにして一体的となって移動するように制御される。しかし、制御ユニット１７は、塗布ユニット１６に対して少しの遅れが生じるなど、僅かの移動量の差を許容する。
制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、ワイヤハーネス１８のたるみにより、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。ワイヤハーネス１８のたるみは、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を許容する余長を有する。
制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、ワイヤハーネス１８のたるみにより、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。ワイヤハーネス１８のたるみは、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を許容する余長を有する。
【0035】
図４は、メンテナンス状態にある塗布ガントリ１１の一部の説明図である。
各ワイヤハーネス１８は、制御ユニット１７及び塗布ユニット１６の少なくとも一方に対して着脱可能として接続するコネクタ４１を有する。コネクタ４１によりワイヤハーネス１８を、制御ユニット１７又は塗布ユニット１６から外すことで、図４に示すように、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との位置を大きくずらすことが可能となる。これにより、移動ユニット１１のメンテナンスが容易となる。
各ワイヤハーネス１８は、制御ユニット１７及び塗布ユニット１６の少なくとも一方に対して着脱可能として接続するコネクタ４１を有する。コネクタ４１によりワイヤハーネス１８を、制御ユニット１７又は塗布ユニット１６から外すことで、図４に示すように、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との位置を大きくずらすことが可能となる。これにより、移動ユニット１１のメンテナンスが容易となる。
【0036】
本実施形態の場合、ワイヤハーネス１８は、上部の制御ユニット１７と着脱可能として接続するコネクタ４１を有する。この構成により、ワイヤハーネス１８が、制御ユニット１７から垂れ下がらず、コネクタ４１を外したワイヤハーネス１８を、塗布ユニット１６上に仮置きすればよい。
【0037】
エア配管１９は、可撓性を有する。エア配管１９は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する（図３参照）。
前記のとおり、制御ユニット１７に、多くのレギュレータ３２が搭載され、塗布ユニット１６に、多くのノズルを含む吐出機構２２が搭載される。これらレギュレータ３２と吐出機構２２とを配管で接続するため、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間に、多くの可撓性を有するエア配管１９が存在する。
前記のとおり、制御ユニット１７に、多くのレギュレータ３２が搭載され、塗布ユニット１６に、多くのノズルを含む吐出機構２２が搭載される。これらレギュレータ３２と吐出機構２２とを配管で接続するため、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間に、多くの可撓性を有するエア配管１９が存在する。
【0038】
塗布動作を行う通常運転では、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とは、同期するようにして一体的となって移動するように制御される。しかし、制御ユニット１７は、塗布ユニット１６に対して少しの遅れが生じるなど、僅かの移動量の差を許容する。
エア配管１９のたるみにより、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。エア配管１９のたるみは、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を許容する余長を有する。
エア配管１９のたるみにより、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。エア配管１９のたるみは、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を許容する余長を有する。
【0039】
各エア配管１９は、制御ユニット１７及び塗布ユニット１６の少なくとも一方に対して着脱可能として接続するコネクタ４２を有する。コネクタ４２によりエア配管１９を、制御ユニット１７又は塗布ユニット１６から外すことで、図４に示すように、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との位置を大きくずらすことが可能となる。これにより、移動ユニット１１のメンテナンスが容易となる。
【0040】
本実施形態の場合、エア配管１９は、制御ユニット１７と着脱可能として接続するコネクタ４２を有する。この構成の場合、エア配管１９が、制御ユニット１７から垂れ下がらず、コネクタ４２を外したエア配管１９を、塗布ユニット１６上に仮置きすればよい。
【0041】
塗布動作を行う通常運転では、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とは同期するようにして一体的となって移動する。しかし、例えば制御エラー等によって、両ユニットの移動量が大きく異なる可能性がある。この場合、ワイヤハーネス１８及びエア配管１９が損傷する可能性がある。
そこで、本実施形態の塗布装置１０は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を制限する制限部材４５を有する（図５参照）。
そこで、本実施形態の塗布装置１０は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を制限する制限部材４５を有する（図５参照）。
【0042】
図５は、制限部材４５の一例を示す説明図である。図５に示す制限部材４５は、ストッパ５６と、一対の接触部材５７とを有する。制御ユニット１７の第一フレーム３６と、塗布ユニット１６の第二フレーム３７とのうちの一方に、ストッパ５６が固定されている。第一フレーム３６と第二フレーム３７とのうちの他方に、一対の接触部材５７が固定されている。一対の接触部材５７は、案内方向に間隔をあけて第二フレーム３７に位置する。ストッパ５６は、一対の接触部材５７の間に位置する。
【0043】
制御ユニット１７が、塗布ユニット１６に対して案内方向の一方側（例えば、図５の右側）に位置ずれして、これらの移動量の差が大きくなると、ストッパ５６は、一対の接触部材５７の一方（例えば、図５の右）の接触部材５７と接触する。
制御ユニット１７が、塗布ユニット１６に対して案内方向の他方側（例えば、図５の左側）に位置ずれして、これらの移動量の差が大きくなると、ストッパ５６は、一対の接触部材５７の他方（例えば、図５の左）の接触部材５７と接触する。
ストッパ５６が接触部材５７に接触することで、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差が制限される。
制御ユニット１７が、塗布ユニット１６に対して案内方向の他方側（例えば、図５の左側）に位置ずれして、これらの移動量の差が大きくなると、ストッパ５６は、一対の接触部材５７の他方（例えば、図５の左）の接触部材５７と接触する。
ストッパ５６が接触部材５７に接触することで、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差が制限される。
【0044】
制限部材４５は、図５に示す形態以外であってもよく、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を制限する構成であればよい。例えば、制限部材４５は、図示しないが、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とを結ぶチェーン又はベルト等の連結部材であってもよい。塗布動作を行う通常運転では、チェーン等の連結部材はたるみを有する。移動量の差が制限値を超えると、チェーン等の連結部材が延びきった状態となり、その制限値以上、移動量に差を生じさせない。
【0045】
制限部材４５により、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差が制限される。制限部材４５は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との移動量の差を、ワイヤハーネス１８及びエア配管１９の前記たるみにより得られる余長未満に、制限する。このため、ワイヤハーネス１８及びエア配管１９等に負荷を与えないで済む。
【0046】
図２及び図３に示す移動ユニット１１は、ワイヤハーネス１８及びエア配管１９それぞれが制御ユニット１７の下部（下面）と塗布ユニット１６の上部（上面）とを繋ぐ構成である。図６は、移動ユニット１１の変形例を示す説明図である。図６に示す移動ユニット１１は、ワイヤハーネス１８及びエア配管１９それぞれが制御ユニット１７の側部（側面）と塗布ユニット１６の側部（側面）とを繋ぐ構成である。
図６に示す形態では、図２及び図３に示す形態と同様、ワイヤハーネス１８は、可撓性を有しており、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する。エア配管１９は、可撓性を有しており、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する。ワイヤハーネス１８は、上部の制御ユニット１７と着脱可能として接続するコネクタ４１を有する。エア配管１９は、上部の制御ユニット１７と着脱可能として接続するコネクタ４２を有する。
図６に示す形態では、図２及び図３に示す形態と同様、ワイヤハーネス１８は、可撓性を有しており、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する。エア配管１９は、可撓性を有しており、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する。ワイヤハーネス１８は、上部の制御ユニット１７と着脱可能として接続するコネクタ４１を有する。エア配管１９は、上部の制御ユニット１７と着脱可能として接続するコネクタ４２を有する。
【0047】
〔本実施形態の塗布装置１０について〕
以上のように、前記各実施形態の塗布装置１０は、基材Ｗに対して液を塗布する移動ユニット１１と、移動ユニット１１の移動を案内するガイド装置１２と、ケーブルキャリア１３とを有する。ケーブルキャリア１３は、移動ユニット１１に電力供給する電力線を含むケーブル群１４を支持する。
以上のように、前記各実施形態の塗布装置１０は、基材Ｗに対して液を塗布する移動ユニット１１と、移動ユニット１１の移動を案内するガイド装置１２と、ケーブルキャリア１３とを有する。ケーブルキャリア１３は、移動ユニット１１に電力供給する電力線を含むケーブル群１４を支持する。
【0048】
移動ユニット１１は、ガイド装置１２の案内方向に移動可能である塗布ユニット１６と、塗布ユニット１６と独立して前記案内方向に移動可能である制御ユニット１７と、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する可撓性ワイヤハーネス１８とを有する。塗布ユニット１６は、液を吐出する塗布ヘッド２１を搭載する。制御ユニット１７は、ケーブルキャリア１３と接続されている。
【0049】
前記構成を有する塗布装置１０によれば、移動ユニット１１の搭載機器は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに分配され、塗布ユニット１６の軽量化が可能となる。このため、塗布ユニット１６の位置制御の精度確保及び移動速度の向上が可能となる。
基材Ｗに対して液を塗布する際、塗布ヘッド２１を搭載する塗布ユニット１６は、ケーブルキャリア１３が接続された制御ユニット１７と独立して、移動する。このため、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、ケーブルキャリア１３が与える影響を抑えることが可能となる。
ワイヤハーネス１８のたるみにより、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。
以上より、移動ユニット１１の移動制御を高精度に行うことが可能となる。
基材Ｗに対して液を塗布する際、塗布ヘッド２１を搭載する塗布ユニット１６は、ケーブルキャリア１３が接続された制御ユニット１７と独立して、移動する。このため、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、ケーブルキャリア１３が与える影響を抑えることが可能となる。
ワイヤハーネス１８のたるみにより、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。
以上より、移動ユニット１１の移動制御を高精度に行うことが可能となる。
【0050】
本実施形態の場合、制御ユニット１７は、電装品３１、及び、塗布ヘッド２１内の圧力を調整するためのレギュレータ３２を搭載する。このぶん、移動制御に高い精度が必要となる塗布ユニット１６の軽量化が可能となる。
移動ユニット１１は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する可撓性エア配管１９を有する。エア配管１９は、レギュレータ３２と塗布ヘッド２１との間のエア流路の一部を構成する。
エア配管１９のたるみにより、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。
移動ユニット１１は、制御ユニット１７と塗布ユニット１６との間をたるみを持たせて接続する可撓性エア配管１９を有する。エア配管１９は、レギュレータ３２と塗布ヘッド２１との間のエア流路の一部を構成する。
エア配管１９のたるみにより、制御ユニット１７と塗布ユニット１６とに移動量の差が生じても、実質的に塗布を行う塗布ユニット１６に対して、制御ユニット１７が与える影響を抑えることが可能となる。
【0051】
塗布ユニット１６は、移動制御に高い精度が必要となるのに対して、制御ユニット１７は、塗布ユニット１６と比較して、低い精度で済む。そこで、本実施形態の場合、ガイド装置１２は、制御ユニット１７を案内する第一ガイド５１と、塗布ユニット１６を案内する第二ガイド５２とを有し、第一ガイド５１と第二ガイド５２とは異なる仕様である。異なる仕様として、第一ガイド５１の精度等級を第二ガイド５２よりも低くした場合、第一ガイド５１に要するコストを低減することが可能となる。
【0052】
〔その他〕
本実施形態の場合、塗布装置１０は、２つのケーブルキャリア１３を有するが、１つであってもよい。ガイド装置１２は、図示した形態以外であってもよい。
本実施形態の場合、塗布装置１０は、２つのケーブルキャリア１３を有するが、１つであってもよい。ガイド装置１２は、図示した形態以外であってもよい。
【0053】
今回開示した実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の技術的範囲は前述の実施形態に限定されるものではなく、この技術的範囲には特許請求の範囲に記載された構成と均等の範囲内での全ての変更が含まれる。
【符号の説明】
【0054】
１０ 塗布装置
１１ 移動ユニット
１２ ガイド装置
１３ ケーブルキャリア
１４ ケーブル群
１４ａ 電力線
１４ｂ 信号線
１６ 塗布ユニット
１７ 制御ユニット
１８ ワイヤハーネス
１９ エア配管
２１ 塗布ヘッド
３１ 電装品
３２ レギュレータ
４１ コネクタ
４５ 制限部材
５１ 第一ガイド
５２ 第二ガイド
Ｗ 基材
１１ 移動ユニット
１２ ガイド装置
１３ ケーブルキャリア
１４ ケーブル群
１４ａ 電力線
１４ｂ 信号線
１６ 塗布ユニット
１７ 制御ユニット
１８ ワイヤハーネス
１９ エア配管
２１ 塗布ヘッド
３１ 電装品
３２ レギュレータ
４１ コネクタ
４５ 制限部材
５１ 第一ガイド
５２ 第二ガイド
Ｗ 基材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】