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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024131762
(43)【公開日】2024-09-30
(54)【発明の名称】物体検出装置
(51)【国際特許分類】
G01S 7/497 20060101AFI20240920BHJP
G01C 3/06 20060101ALI20240920BHJP
G02B 26/10 20060101ALI20240920BHJP
【ＦＩ】
G01S7/497
G01C3/06 120Q
G02B26/10 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023042208
(22)【出願日】2023-03-16
(71)【出願人】
【識別番号】000002303
【氏名又は名称】スタンレー電気株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001184
【氏名又は名称】弁理士法人むつきパートナーズ
(72)【発明者】
【氏名】近岡 篤彦
【テーマコード（参考）】
2F112
2H045
5J084
【Ｆターム（参考）】
2F112AD01
2F112BA06
2F112BA12
2F112CA12
2F112DA02
2F112DA04
2F112DA09
2F112DA15
2F112DA19
2F112DA25
2F112DA28
2F112DA32
2F112EA05
2F112FA23
2F112FA45
2F112GA01
2H045AB13
2H045AB25
2H045AB38
2H045BA13
2H045BA22
5J084AA05
5J084AA10
5J084AD01
5J084BA03
5J084BA20
5J084BA36
5J084BA50
5J084BB02
5J084BB28
5J084CA03
5J084EA19
(57)【要約】 （修正有）
【課題】複数の検出用光を用いる物体検出装置における検出精度の向上。
【解決手段】複数の検出用光を用いる物体検出装置であって、偏向器の反射面に対して第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、第１検出用光及び第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、走査光源部及び受光部のそれぞれと接続された制御部とを含み、制御部は、補正条件設定時において、第１検出用光に対応した第１検出結果と第２検出用光に対応した第２検出結果との差異が最小となる場合の光軸条件を特定し、通常動作時において、特定された光軸条件を基に偏向器等の補正を行う。
【選択図】図１
【解決手段】複数の検出用光を用いる物体検出装置であって、偏向器の反射面に対して第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、第１検出用光及び第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、走査光源部及び受光部のそれぞれと接続された制御部とを含み、制御部は、補正条件設定時において、第１検出用光に対応した第１検出結果と第２検出用光に対応した第２検出結果との差異が最小となる場合の光軸条件を特定し、通常動作時において、特定された光軸条件を基に偏向器等の補正を行う。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
三次元空間に存在する物体を検出するための装置であって、
第１光源及び第２光源と、少なくとも直交する二方向に偏向可能な偏向器とを有し、当該偏向器の反射面に対して前記第１光源の第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、
前記走査光源部から出射した前記第１検出用光及び前記第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、
前記走査光源部及び前記受光部のそれぞれと接続されており、前記走査光源部の動作を制御するとともに前記受光部の出力を用いて前記物体を検出するための処理を行う制御部と、
を含み、
前記制御部は、
補正条件設定時において、前記第１検出用光と前記第２検出用光とが共通の被検出物体を走査するように前記走査光源部を制御して、前記第１検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第２検出結果との差異が最小となる場合の前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々の光軸条件を特定し、
通常動作時において、前記光軸条件を基に、前記第１光源及び前記第２光源の射出パターン及び／又は前記偏向器の偏向角度範囲を補正する、
物体検出装置。
第１光源及び第２光源と、少なくとも直交する二方向に偏向可能な偏向器とを有し、当該偏向器の反射面に対して前記第１光源の第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、
前記走査光源部から出射した前記第１検出用光及び前記第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、
前記走査光源部及び前記受光部のそれぞれと接続されており、前記走査光源部の動作を制御するとともに前記受光部の出力を用いて前記物体を検出するための処理を行う制御部と、
を含み、
前記制御部は、
補正条件設定時において、前記第１検出用光と前記第２検出用光とが共通の被検出物体を走査するように前記走査光源部を制御して、前記第１検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第２検出結果との差異が最小となる場合の前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々の光軸条件を特定し、
通常動作時において、前記光軸条件を基に、前記第１光源及び前記第２光源の射出パターン及び／又は前記偏向器の偏向角度範囲を補正する、
物体検出装置。
【請求項2】
前記第１検出用光を用いる第１測定範囲と前記第２検出用光を用いる第２測定範囲とが隣接しており、
前記制御部は、前記補正条件設定時において、前記第１測定範囲と前記第２測定範囲の各々の一部分同士の重複範囲を生じ、当該重複範囲に前記被検出物体が位置するように前記偏向器の動作を制御する、
請求項１に記載の物体検出装置。
前記制御部は、前記補正条件設定時において、前記第１測定範囲と前記第２測定範囲の各々の一部分同士の重複範囲を生じ、当該重複範囲に前記被検出物体が位置するように前記偏向器の動作を制御する、
請求項１に記載の物体検出装置。
【請求項3】
前記制御部は、前記補正条件設定時における前記第１検出用光及び前記第２検出用光の各々のビーム照射位置が前記通常動作時に比較して相対的に狭い間隔となるように前記偏向器を制御する、
請求項１に記載の物体検出装置。
請求項１に記載の物体検出装置。
【請求項4】
前記第１検出用光に対応した前記第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記第２検出結果の各々は、前記被検出物体との距離である、
請求項１に記載の物体検出装置。
請求項１に記載の物体検出装置。
【請求項5】
前記光軸条件を基に、空間座標を算出するための係数を補正する、
請求項１に記載の物体検出装置。
請求項１に記載の物体検出装置。
【請求項6】
前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々がレーザ光である、
請求項１に記載の物体検出装置。
請求項１に記載の物体検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、物体検出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特開平０７－０８４０４５号公報（特許文献１）には、複数の方向にレーザビームを照射してそれぞれのビーム方向の物体からの反射光を受光してそれぞれの距離を測定する距離測定装置において、上記複数のレーザビームを同時に走査してそれぞれのビーム方向にある物体までの距離を測定するようにした距離測定装置が記載されている。
【0003】
ところで、複数方向へレーザ（検出用光）の照射を行う場合に、それぞれのレーザの偏向器への入射光軸が理想状態からずれていると、各レーザによる照射範囲の相互間に隙間が生じる場合や、反対に照射範囲同士が一部重複してしまう場合があり、測定結果の精度低下を招く可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平０７－０８４０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示に係る具体的態様は、複数の検出用光を用いる物体検出装置における検出精度を向上させることを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に係る一態様の物体検出装置は、三次元空間に存在する物体を検出するための装置であって、（ａ）第１光源及び第２光源と、少なくとも直交する二方向に偏向可能な偏向器とを有し、当該偏向器の反射面に対して前記第１光源の第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、（ｂ）前記走査光源部から出射した前記第１検出用光及び前記第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、（ｃ）前記走査光源部及び前記受光部のそれぞれと接続されており、前記走査光源部の動作を制御するとともに前記受光部の出力を用いて前記物体を検出するための処理を行う制御部と、を含み、（ｄ）前記制御部は、（ｄ１）補正条件設定時において、前記第１検出用光と前記第２検出用光とが共通の被検出物体を走査するように前記走査光源部を制御して、前記第１検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第２検出結果との差異が最小となる場合の前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々の光軸条件を特定し、（ｄ２）通常動作時において、前記光軸条件を基に、前記第１光源及び前記第２光源の射出パターン及び／又は前記偏向器の偏向角度範囲を補正する、物体検出装置である。
【0007】
上記構成によれば、複数の検出用光を用いる物体検出装置における検出精度を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
図１は、一実施形態の物体検出装置の構成を示す図である。本実施形態の物体検出装置１は、複数のレーザ光（検出用光）Ｌ１、Ｌ２を用いて対象空間へ光走査を行って反射光Ｌ３を受光し、当該反射光Ｌ３を用いて対象空間に存在する物体の位置や相対距離などを検出するためのものであり、制御部（コントローラ）１０、走査光源部２０、受光部３０を含んで構成されている。
【0010】
制御部１０は、物体検出装置１の全体動作を制御するものであり、測定制御部１１、偏向制御部１２、点灯制御部１３、距離測定部１４、通信部１５を含んで構成されている。この制御部１０は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたコンピュータシステムを用い、当該コンピュータシステムに所定の動作プログラムを実行させることによって実現することが可能である。
【0011】
測定制御部１１は、偏向制御部１２、点灯制御部１３及び距離測定部１４を動作させる制御を行うとともに、距離測定部１４の測定結果に基づいて光源２３、２４の光軸を測定する機能を備える。
【0012】
偏向制御部１２は、走査光源部２０のＭＥＭＳドライバ２１を介して、ＭＥＭＳミラー２５を指示された角度変化パターン（典型的には走査線間隔が均等なラスタ走査）で周期的に偏向するよう制御する。
【0013】
点灯制御部１３は、測定制御部１１によって指示されたパルス条件で各光源２３、２４がレーザ光を射出するよう制御する。
【0014】
距離測定部１４は、点灯制御部１３によるレーザ光の生成指示時期と受光部３０の受光回路３４から得られる受光信号を用いて、レーザ光の出射時期と受光時期と時間差を基に対象空間内の物体との相互間の距離を測定する。また、レーザ光の出射時期や受光時期に基づいて測定制御部１１により物体の三次元位置が検出される。
【0015】
通信部１５は、得られた点群情報（三次元位置の集合）を外部装置（図示せず）に送信する。
【0016】
走査光源部２０は、狭角ビームのレーザ光を生成し、所定範囲の様々な方向に対して射出するものであり、ＭＥＭＳドライバ２１、光源ドライバ２２、２つの光源２３、２４、ＭＥＭＳミラー２５を含んで構成されている。
【0017】
ＭＥＭＳドライバ２１は、ＭＥＭＳミラー２５と接続されており、制御部１０の偏向制御部１２による制御を受けて、ＭＥＭＳミラー２５の動作を制御する駆動信号を生成し、当該ＭＥＭＳミラー２５へ供給する。
【0018】
光源ドライバ２２は、各光源２３、２４と接続されており、制御部１０の点灯制御部１３による制御を受けて、各光源２３、２４の動作を制御する駆動信号を生成し、当該各光源２３、２４へ供給する。
【0019】
各光源２３、２４は、それぞれ、検出用光としての狭角ビーム（拡がり角が小さいビーム）のレーザ光Ｌ１、Ｌ２を生成し、ＭＥＭＳミラー２５へ射出する。各光源２３、２４から射出されるレーザ光は、物体検出装置１の角度分解能に準ずる（同じかそれ以下）拡がり角のビームである。各光源２３、２４としては、例えば近赤外フォトニック結晶レーザ（ＰＣＳＥＬ）を使用することができるがこれに限定されず、狭角ビームの検出用光を射出可能な光源であればよい。
【0020】
ＭＥＭＳミラー２５は、反射面を有し、直交する二方向のそれぞれに回動可能に構成された二次元偏向器である。このＭＥＭＳミラー２５は、各光源２３、２４から射出するレーザ光Ｌ１、Ｌ２がそれぞれ異なる方向から反射面に入射し得る位置に配置されており、ＭＥＭＳドライバ２１から供給される駆動信号に基づいて回動することで、各レーザ光Ｌ１、Ｌ２を対象空間内で走査する。各レーザ光Ｌ１、Ｌ２は、走査光源部２０に適宜設けられた開口部から外部の対象空間へ射出される。
【0021】
受光部３０は、各レーザ光Ｌ１、Ｌ２によって生じる反射光Ｌ３を受光して受光信号を生成するものであり、レンズ３１、光学フィルタ３２、フォトディテクタ（受光素子）３３、受光回路３４を含んで構成されている。
【0022】
レンズ３１は、反射光Ｌ３を集光する。
【0023】
光学フィルタ３２は、各レーザ光Ｌ１、Ｌ２とは異なる波長域の光を遮断し、各レーザ光Ｌ１、Ｌ２と同じ波長域の光を透過させる。
【0024】
フォトディテクタ３３は、光学フィルタ３２を介して入射した光を検出する。
【0025】
受光回路３４は、フォトディテクタ３３の出力に対して所定の信号処理（例えば増幅、周波数フィルタ等）を施すことによって受光信号を生成する。生成された受光信号は制御部１０の距離測定部１４へ供給される。
【0026】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、走査光源部の各光源及びＭＥＭＳミラーの構成例を示す平面図である。一例として各図に示すように、各光源２３、２４とＭＥＭＳミラー２５との間にミラー２６、２７を配置することができる。具体的には、光源２３から射出するレーザ光は、ミラー２６によって反射されてＭＥＭＳミラー２５へ導かれる。同様に、光源２４から射出するレーザ光は、ミラー２７によって反射されてＭＥＭＳミラー２５へ導かれる。各光源２３、２４は、光源ドライバ２２とともに基板上に搭載されていてもよい。また、ＭＥＭＳミラー２５は、ＭＥＭＳドライバ２１とともに基板上に搭載されていてもよい。
【0027】
図２（Ｂ）から分かるように、各光源２３、２４から射出するレーザ光は、互いに異なる方向からＭＥＭＳミラー２５のミラー面に入射する。典型的には、これらのレーザ光は、ＭＥＭＳミラー２５の２つの回転軸の何れか一方に対して対称な関係で入射する。後述の図１２（Ｂ）に示すように、各光源２３、２４は、光源２３から発したレーザ光を用いた測定範囲Ｒ１と光源２４から発したレーザ光を用いた測定範囲Ｒ２が境界面Ｂを介して隣接するように各レーザ光のＭＥＭＳミラー２５への入射角が設定される。
【0028】
一例としては、各光源２３、２４等は、光源２３からミラー２６を介してＭＥＭＳミラー２５に入射するレーザ光がＭＥＭＳミラー２５に対して水平角２０°、鉛直角２０°で入射し、光源２４からミラー２７を介してＭＥＭＳミラー２５に入射するレーザ光がＭＥＭＳミラー２５に対して水平角－２０°、鉛直角－２０°で入射するように配置することができる。また、一例として、ＭＥＭＳミラー２５の駆動角を水平半角約１０．４°、垂直半角約３．１°とすると、概ね水平方向７５°、垂直方向１２°の範囲を測定範囲とすることができる。
【0029】
各光源２３、２４から射出するレーザ光は、例えば波長９４０ｎｍ、拡がり角０．１°のパルス光である。また、ＭＥＭＳミラー２５は、第１軸が共振、第１軸と直交する第２軸が非共振で回動するものである。なお、各レーザ光のＭＥＭＳミラー２５への入射角度は、ＭＥＭＳミラー２５の非回転時の反射面法線方向を基準としてＭＥＭＳミラー２５から見た方向で示している。
【0030】
＜機能Ａ：光軸ずれの測定＞
図３は、各光源からＭＥＭＳミラーへ入射するレーザ光の光軸ずれを測定する際（補正条件設定時）の処理手順を示すフローチャートである。ここに示す処理は、例えば、物体検出装置１の製造時、定期メンテナンス時若しくは装置起動時において適宜実行することが想定されているものであり、主に測定制御部１１によって実行される。
図３は、各光源からＭＥＭＳミラーへ入射するレーザ光の光軸ずれを測定する際（補正条件設定時）の処理手順を示すフローチャートである。ここに示す処理は、例えば、物体検出装置１の製造時、定期メンテナンス時若しくは装置起動時において適宜実行することが想定されているものであり、主に測定制御部１１によって実行される。
【0031】
（ステップＳ１）
測定制御部１１は、偏向制御部１２に指示を送ることにより、測定範囲Ｒ１と測定範囲Ｒ２（図１２（Ｂ）参照）の一部範囲が互いに重複するようにＭＥＭＳミラー２５の偏向角（振れ角）を設定する。それにより、偏向制御部１２からの制御信号に基づいてＭＥＭＳドライバ２１が動作し、ＭＥＭＳミラー２５の偏向角が制御される。本ステップの処理について、図４（Ａ）、図４（Ｂ）の概念図を用いて説明する。なお、図４（Ａ）、図４（Ｂ）の概念図では、説明を簡単にするために本来は三次元空間である測定範囲Ｒ１と測定範囲Ｒ２を平面的に示している。
測定制御部１１は、偏向制御部１２に指示を送ることにより、測定範囲Ｒ１と測定範囲Ｒ２（図１２（Ｂ）参照）の一部範囲が互いに重複するようにＭＥＭＳミラー２５の偏向角（振れ角）を設定する。それにより、偏向制御部１２からの制御信号に基づいてＭＥＭＳドライバ２１が動作し、ＭＥＭＳミラー２５の偏向角が制御される。本ステップの処理について、図４（Ａ）、図４（Ｂ）の概念図を用いて説明する。なお、図４（Ａ）、図４（Ｂ）の概念図では、説明を簡単にするために本来は三次元空間である測定範囲Ｒ１と測定範囲Ｒ２を平面的に示している。
【0032】
例えば、通常の測定モードでは、理想状態（原理的な状態）としては図４（Ａ）に示すように測定範囲Ｒ１と測定範囲Ｒ２とが互いに重複しないようにＭＥＭＳミラー２５の偏向角Ａが設定される。これに対して、ステップＳ１では図４（Ｂ）に示すように測定範囲Ｒ１と測定範囲Ｒ２のそれぞれの一部範囲が重複するようにＭＥＭＳミラー２５の偏向角Ａ’（Ａ’＞Ａ）が設定される。生じた重複範囲Ｒ３は光軸ずれ測定に用いられる。測定時には重複範囲Ｒ３に所定の被検出物体４０を配置しておく。一例としては、ＭＥＭＳミラー２５の通常モードにおける水平駆動角の機械半角が１０．４であり、ステップＳ１における水平駆動角の機械半角は１３．４°である。
【0033】
（ステップＳ２）
次に、測定制御部１１は、偏向制御部１２に指示を送ることにより、通常モード時よりも高密度（すなわち相対的に狭い間隔）でレーザ光が照射されるモード（高密度測定モード）となるようにＭＥＭＳミラー２５の回転動作を制御する。それにより、偏向制御部１２からの制御信号に基づいてＭＥＭＳドライバ２１が動作し、ＭＥＭＳミラー２５の回転動作が制御される。本ステップの処理について、図５（Ａ）、図５（Ｂ）の概念図を用いて説明する。
次に、測定制御部１１は、偏向制御部１２に指示を送ることにより、通常モード時よりも高密度（すなわち相対的に狭い間隔）でレーザ光が照射されるモード（高密度測定モード）となるようにＭＥＭＳミラー２５の回転動作を制御する。それにより、偏向制御部１２からの制御信号に基づいてＭＥＭＳドライバ２１が動作し、ＭＥＭＳミラー２５の回転動作が制御される。本ステップの処理について、図５（Ａ）、図５（Ｂ）の概念図を用いて説明する。
【0034】
図５（Ａ）及び図５（Ｂ）においては、レーザ光の射出設定角度群（すなわちビーム照射位置）を黒点で示す。図５（Ａ）は通常モード、図５（Ｂ）は高密度測定モードに対応している。各図に示すように、通常モード時より高密度（狭い間隔）にレーザ光が照射されるようにＭＥＭＳミラー２５の回転動作が制御される。具体的には、下記の２つの処理が実行される。
【0035】
処理の１つとしては、ＭＥＭＳミラー２５の非共振軸の時間当たり回転量が通常モード時より小さく設定される。すなわち、図６に概念図を示すように、走査周波数が相対的に下げられる。それにより、通常モードにおける刻み幅Δａｖよりも高密度測定モードでの刻み幅Δａｖ’が相対的に小さくなる。この処理は、ＭＥＭＳミラー２５の偏向角（回転角）Ｖ方向の高密度化に対応する。
【0036】
もう１つの処理としては、図７に概念図を示すように、走査周期毎の測定方向群のずらし量が小さくなるように全方向測定に要する走査周期（サブフレーム数）が増やされる。図７において偏向範囲に描かれる複数の白丸はそれぞれレーザ光の射出対象角（すなわちビーム照射位置）を示しており、１つの測距フレームを構成する各サブフレーム１、２、・・・ＮＳＦの間で異なる角度となっている。これら各サブフレームでの射出対象角を合成したものが上記した図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に対応する。この処理により、通常モードにおける刻み幅Δａｈよりも高密度測定モードでの刻み幅Δａｈ’が相対的に小さくなる。この処理は、ＭＥＭＳミラー２５の偏向角（回転角）Ｈ方向の高密度化に対応する。一例として、通常モード時のサブフレーム数を１６、サブフレーム間の偏向角Ｈの相違量を０．１°とし、高密度測定モード時のサブフレーム数を１２８、サブフレーム間の偏向角Ｈの相違量を０．０１２５°とすることができる。
【0037】
（ステップＳ３）
次に、測定制御部１１は、点灯制御部１３に指示を送ることにより、一方の光源（ここでは光源２３）が点灯し、他方の光源（ここでは光源２４）は点灯しないように各光源２３、２４の動作を制御する。それにより、光源ドライバ２２からの制御信号に基づいて角光源２３、２４が動作する。そして、測定制御部１１は、距離測定部１４に指示を送り、光源２３から射出するレーザ光Ｌ１に対応する反射光Ｌ３によって受光回路３４から出力される受光信号に基づいて、測定範囲Ｒ１内における測定対象方向群について測距する。本ステップの詳細な処理フローチャートを図８に示す。
次に、測定制御部１１は、点灯制御部１３に指示を送ることにより、一方の光源（ここでは光源２３）が点灯し、他方の光源（ここでは光源２４）は点灯しないように各光源２３、２４の動作を制御する。それにより、光源ドライバ２２からの制御信号に基づいて角光源２３、２４が動作する。そして、測定制御部１１は、距離測定部１４に指示を送り、光源２３から射出するレーザ光Ｌ１に対応する反射光Ｌ３によって受光回路３４から出力される受光信号に基づいて、測定範囲Ｒ１内における測定対象方向群について測距する。本ステップの詳細な処理フローチャートを図８に示す。
【0038】
測定制御部１１は、光源２３からのレーザ光Ｌ１の射出対象となるＭＥＭＳミラー２５の偏向条件（θＨ，θＶ）を設定する（ステップＳ３１）。
【0039】
設定した偏向条件に基づいて測定制御部１１から偏向制御部１２に指示が出され、偏向制御部１２によりＭＥＭＳドライバ２１の動作が制御される。そして、ＭＥＭＳミラー２５が設定した偏向条件に一致する偏向状態となるタイミングに合わせて、測定制御部１１は、光源２３へ発光指示を行う（ステップＳ３２）。具体的には、測定制御部１１から点灯制御部１３に指示が出され、点灯制御部１３によって光源ドライバ２２の動作が制御され、光源２３がレーザ光Ｌ１を射出する。また、光源２４は消灯するように制御される。
【0040】
レーザ光Ｌ１によって生じる反射光Ｌ３に対応する受光信号が受光回路３４から距離測定部１４に出力されると、距離測定部１４は距離Ｄを求める。測定制御部１１は、この求められた距離Ｄを距離測定部１４から取得し（ステップＳ３３）、この距離Ｄとそれに対応する偏向条件（θＨ，θＶ）を図示しないメモリに記憶させる（ステップＳ３４）。
【0041】
全対象方向を指定回数だけ測定完了していない間は（ステップＳ３５；ＮＯ）、上記ステップＳ３１～Ｓ３４の各処理が繰り返される。測定完了した場合には（ステップＳ３５；ＹＥＳ）、測定制御部１１は、偏向条件毎に距離Ｄを平均化する（ステップＳ３６）。平均化された後の偏向条件と対応する距離Ｄのデータ構成例を図９に示す。θＨとθＶのそれぞれの条件θＨ１（１，１）、θＨ１（１，２）、・・・θＨ１（ｎ，ｍ）、θＶ１（１，１）、θＶ１（１，２）、・・・θＶ１（ｎ，ｍ）に対応する距離Ｄ１１１、距離Ｄ１１２、・・・距離Ｄ１ｎｍが記憶される。
【0042】
（ステップＳ４）
次に、測定制御部１１は、点灯制御部１３に指示を送ることにより、他方の光源（ここでは光源２４）が点灯し、一方の光源（ここでは光源２３）は点灯しないように各光源２３、２４の動作を制御する。それにより、光源ドライバ２２からの制御信号に基づいて角光源２３、２４が動作する。そして、測定制御部１１は、光源２４から射出するレーザ光による反射光Ｌ３に対応して受光回路３４から出力される受光信号に基づいて、測定範囲Ｒ２内における測定対象方向群について測距する。本ステップの処理については、点灯させる光源を光源２４とした以外は上記したステップＳ３と同様であるので、詳細な説明を省略する。
次に、測定制御部１１は、点灯制御部１３に指示を送ることにより、他方の光源（ここでは光源２４）が点灯し、一方の光源（ここでは光源２３）は点灯しないように各光源２３、２４の動作を制御する。それにより、光源ドライバ２２からの制御信号に基づいて角光源２３、２４が動作する。そして、測定制御部１１は、光源２４から射出するレーザ光による反射光Ｌ３に対応して受光回路３４から出力される受光信号に基づいて、測定範囲Ｒ２内における測定対象方向群について測距する。本ステップの処理については、点灯させる光源を光源２４とした以外は上記したステップＳ３と同様であるので、詳細な説明を省略する。
【0043】
（ステップＳ５）
次に、測定制御部１１は、ステップＳ３、Ｓ４で得た偏向条件毎の距離Ｄのデータを用いて、比較評価対象方向の類似度を評価する。具体的には、各光源２３、２４のレーザ光Ｌ１、Ｌ２の各々の理想光軸Ｌｉ１_ｉｄｅａｌ、Ｌｉ２_ｉｄｅａｌから光軸ずれ許容角ＥＬｉの範疇でレーザ光Ｌ１、Ｌ２それぞれの光軸方向Ｌｉ１、Ｌｉ２を仮定し（図１０（Ａ）参照）、重複範囲Ｒ３（図４（Ｂ）参照）に設定された比較評価対象方向のビーム射出方向群Ｌｏ＝｛Ｌｏ１, Ｌｏ２,…Ｌｏｘ｝に関して（図１０（Ｂ）参照）、対応するＭＥＭＳミラー２５の反射面法線ベクトルＭ並びに該ベクトルＭに対応する偏向角θＨ,θＶを計算する（或いは、予め計算しておいて取得する）。この偏向角を基にステップＳ３、Ｓ４での測定結果を参照し、Ｌｉ１,Ｌｏに対応する距離群Ｄ１＝｛Ｄ１１, Ｄ１２,…Ｄ１ｎ｝、Ｌｉ２,Ｌｏに対応する距離群Ｄ２＝｛Ｄ２１, Ｄ２２,…Ｄ２ｎ｝を取得する。そして、距離群Ｄ１とＤ２の類似性を以下に示す評価関数ＦＥＶＡＬで評価する。この評価関数ＦＥＶＡＬは、二乗誤差をとるものである。
次に、測定制御部１１は、ステップＳ３、Ｓ４で得た偏向条件毎の距離Ｄのデータを用いて、比較評価対象方向の類似度を評価する。具体的には、各光源２３、２４のレーザ光Ｌ１、Ｌ２の各々の理想光軸Ｌｉ１_ｉｄｅａｌ、Ｌｉ２_ｉｄｅａｌから光軸ずれ許容角ＥＬｉの範疇でレーザ光Ｌ１、Ｌ２それぞれの光軸方向Ｌｉ１、Ｌｉ２を仮定し（図１０（Ａ）参照）、重複範囲Ｒ３（図４（Ｂ）参照）に設定された比較評価対象方向のビーム射出方向群Ｌｏ＝｛Ｌｏ１, Ｌｏ２,…Ｌｏｘ｝に関して（図１０（Ｂ）参照）、対応するＭＥＭＳミラー２５の反射面法線ベクトルＭ並びに該ベクトルＭに対応する偏向角θＨ,θＶを計算する（或いは、予め計算しておいて取得する）。この偏向角を基にステップＳ３、Ｓ４での測定結果を参照し、Ｌｉ１,Ｌｏに対応する距離群Ｄ１＝｛Ｄ１１, Ｄ１２,…Ｄ１ｎ｝、Ｌｉ２,Ｌｏに対応する距離群Ｄ２＝｛Ｄ２１, Ｄ２２,…Ｄ２ｎ｝を取得する。そして、距離群Ｄ１とＤ２の類似性を以下に示す評価関数ＦＥＶＡＬで評価する。この評価関数ＦＥＶＡＬは、二乗誤差をとるものである。
【数1】
【0044】
（ステップＳ６）
次に、測定制御部１１は、ステップＳ５での類似度の評価結果に基づいて、最も類似性が高くなる光軸方向Ｌｉ１、Ｌｉ２の条件対を探すことで、光軸を特定する。例示した式（１）の評価関数ＦＥＶＡＬの場合には類似性が高いと値が小さくなるため、測定制御部１１は、最小値をとるＬｉ１、Ｌｉ２の条件対を特定する。以上により、機能Ａに係る処理が完了する。
次に、測定制御部１１は、ステップＳ５での類似度の評価結果に基づいて、最も類似性が高くなる光軸方向Ｌｉ１、Ｌｉ２の条件対を探すことで、光軸を特定する。例示した式（１）の評価関数ＦＥＶＡＬの場合には類似性が高いと値が小さくなるため、測定制御部１１は、最小値をとるＬｉ１、Ｌｉ２の条件対を特定する。以上により、機能Ａに係る処理が完了する。
【0045】
＜機能Ｂ：発光パターン補正＞
図１１は、通常モード時（通常動作時）の動作手順を示すフローチャートである。機能Ｂの発光パターンの補正は、光源２３、２４が各々割り当てられた測定範囲内にレーザ光Ｌ１、Ｌ２を射出するように、光源２３、２４を点灯させる偏向角群を機能Ａでの結果に応じて決定するものであり、図１１に示す初期設定（ステップＳＢ１）にて実行される。なお、図１１に示す通常モードの動作については後述する。
図１１は、通常モード時（通常動作時）の動作手順を示すフローチャートである。機能Ｂの発光パターンの補正は、光源２３、２４が各々割り当てられた測定範囲内にレーザ光Ｌ１、Ｌ２を射出するように、光源２３、２４を点灯させる偏向角群を機能Ａでの結果に応じて決定するものであり、図１１に示す初期設定（ステップＳＢ１）にて実行される。なお、図１１に示す通常モードの動作については後述する。
【0046】
各光源２３、２４から射出されるレーザ光の光路が測定範囲Ｒ１、Ｒ２の境界面Ｂ内となる場合のＭＥＭＳミラー２５の偏向角（境界面Ｂ相当角）は、各光源２３、２４の光軸によってそれぞれに対して定まるものであり、予め計算され記憶されている。境界面ＢにおけるＭＥＭＳミラー２５の偏向角θＨ、θＶの関係の一例を示したのが図１２（Ａ）である。曲線ａは光軸ずれがない場合、曲線ｂは光軸ずれが偏向角θＨについて＋０．５°の場合、曲線ｃは光軸ずれが偏向角θＨについて－０．５°の場合を示している。
【0047】
図１２（Ｂ）に示すように、主走査方向５０に測定領域Ｒ１、Ｒ２が並ぶ形態の場合には、機能Ａでの結果を基に参照した境界面Ｂ相当角（図中、点線で示す）を基準にして、この境界面Ｂ相当角から所定の角度刻みΔａ毎にずらしてパルス光射出角度を設定していくことで全体としてパルス光射出角度群（すなわち偏向角群）が得られる。この様子を示したのが図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）である。図中のθｈｌｉｍ－、θｈｌｉｍ＋は、偏向角Ｈのマイナス方向、プラス方向の各々の境界値である。このようにして得られたパルス光射出角度群を用いることで発光パターンを補正することができる
【0048】
また、図１４に示すように、副走査方向５１に測定領域Ｒ１、Ｒ２が並ぶ形態の場合、つまり図１２（Ｂ）の構成と比べてＭＥＭＳミラー２５が９０°回転した配置となっている場合にも、機能Ａでの結果を基に参照した境界面Ｂ相当角を超えて測定範囲Ｒ１、Ｒ２の範囲外となる角度群を外したものがパルス光射出角度群として設定される。この様子を示したのが図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）である。
【0049】
＜機能Ｃ：偏向角補正＞
機能Ｃの偏向角補正は、２つの測定範囲Ｒ１、Ｒ２が離間せず、かつ２つの測定範囲Ｒ１、Ｒ２を合わせて全体として必要な範囲を測定できるように、ＭＥＭＳミラー２５の駆動角度範囲を機能Ａの結果に応じて決定するものであり、機能Ｂの場合と同様に、図１１に示す初期設定（ステップＳＢ１）にて実行される。
機能Ｃの偏向角補正は、２つの測定範囲Ｒ１、Ｒ２が離間せず、かつ２つの測定範囲Ｒ１、Ｒ２を合わせて全体として必要な範囲を測定できるように、ＭＥＭＳミラー２５の駆動角度範囲を機能Ａの結果に応じて決定するものであり、機能Ｂの場合と同様に、図１１に示す初期設定（ステップＳＢ１）にて実行される。
【0050】
具体的には、測定範囲Ｒ１、Ｒ２が主走査方向（共振動作軸の走査方向）に並んでいる場合（図１２（Ｂ）参照）には、主走査軸の駆動角度範囲を機能Ａの結果に基づき以下のように決定する。
【0051】
（ａ）光源２３のレーザ光Ｌ１により測定範囲Ｒ１の端面Ｆ１まで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ１１ｍ、
（ｂ）光源２３のレーザ光Ｌ１により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ１Ｂｍ、
（ｃ）光源２４のレーザ光Ｌ２により測定範囲Ｒ２の端面Ｆ２まで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２２ｍ、
（ｄ）光源２３のレーザ光Ｌ２により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２Ｂｍ、
とすると、Ａ１１ｍ、Ａ１Ｂｍ、Ａ２２ｍ、Ａ２Ｂｍの各々の最大値以上を主走査軸の駆動機械半角として決定する。
（ｂ）光源２３のレーザ光Ｌ１により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ１Ｂｍ、
（ｃ）光源２４のレーザ光Ｌ２により測定範囲Ｒ２の端面Ｆ２まで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２２ｍ、
（ｄ）光源２３のレーザ光Ｌ２により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２Ｂｍ、
とすると、Ａ１１ｍ、Ａ１Ｂｍ、Ａ２２ｍ、Ａ２Ｂｍの各々の最大値以上を主走査軸の駆動機械半角として決定する。
【0052】
詳細には、機能Ａで得られたＬｉ１を用いると、境界面Ｂから端面Ｆ１にかけての領域Ｒ１への光射出に対応するＭＥＭＳミラー２５の二軸の回転状態を表す角度群（ＡＢ，ＡＦ１）が得られる。偏向角θＶによらず境界面Ｂから端面Ｆ１にかけての領域Ｒ１の間をカバーするためには、最も単純には角度群（ＡＢ，ＡＦ１）の絶対値の最大値をＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量Ａ１１ｍ、Ａ１Ｂｍとすればよい。もちろん、最大値に基づいて適宜補正を行って偏向角度量Ａ１１ｍ、Ａ１Ｂｍを求めてもよい。同様にして、機能Ａで得られたＬｉ２を用いることで偏向角度量Ａ２２ｍ、Ａ２Ｂｍを求めることができる。
【0053】
また、測定範囲Ｒ１、Ｒ２が副走査方向（非共振動作軸の走査方向）に並んでいる場合（図１４参照）には、副走査軸の駆動角度範囲を機能Ａの結果に基づき、以下のように決定する。
【0054】
（ａ）光源２３のレーザ光Ｌ１により測定範囲Ｒ１の端面Ｆ１まで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ１１ｓ、
（ｂ）光源２３のレーザ光Ｌ１により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ１Ｂｓ、
（ｃ）光源２４のレーザ光Ｌ２により測定範囲Ｒ２の端面Ｆ２まで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２２ｓ、
（ｄ）光源２４のレーザ光Ｌ２により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２Ｂｓ、
とすると、Ａ１１ｓとＡ２Ｂｓのうち負側の値、Ａ１ＢｓとＡ２２ｓのうち正側の値に基づいて副走査軸の駆動機械半角として決定する。つまり、副走査軸の駆動角度範囲は、Ａ１１ｓとＡ２Ｂｓのうち負側の値、Ａ１ＢｓとＡ２２ｓのうち正側の値、あるいは、これらの範囲を含む範囲とすることができる。この場合において、偏向角度は正の方向に変化させると符号５１で示す方向に光が走査されるものとする。副走査軸は非共振動作軸なため、副走査軸の駆動角度範囲は、正負非対称に決めることができるため、上記のように決定することにより、必要以上に大きな駆動角度範囲とすることを避けることができる。
（ｂ）光源２３のレーザ光Ｌ１により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ１Ｂｓ、
（ｃ）光源２４のレーザ光Ｌ２により測定範囲Ｒ２の端面Ｆ２まで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２２ｓ、
（ｄ）光源２４のレーザ光Ｌ２により境界面Ｂまで測定するのに必要なＭＥＭＳミラー２５の偏向角度量をＡ２Ｂｓ、
とすると、Ａ１１ｓとＡ２Ｂｓのうち負側の値、Ａ１ＢｓとＡ２２ｓのうち正側の値に基づいて副走査軸の駆動機械半角として決定する。つまり、副走査軸の駆動角度範囲は、Ａ１１ｓとＡ２Ｂｓのうち負側の値、Ａ１ＢｓとＡ２２ｓのうち正側の値、あるいは、これらの範囲を含む範囲とすることができる。この場合において、偏向角度は正の方向に変化させると符号５１で示す方向に光が走査されるものとする。副走査軸は非共振動作軸なため、副走査軸の駆動角度範囲は、正負非対称に決めることができるため、上記のように決定することにより、必要以上に大きな駆動角度範囲とすることを避けることができる。
【0055】
測定範囲Ｒ１、Ｒ２が主走査方向に並んでいる態様（図１２（Ｂ））、測定範囲Ｒ１、Ｒ２が副走査方向に並んでいる態様（図１４）のいずれにしても、光源２３、２４の各々の光軸と測定範囲並びに関連する軸の駆動角の関係は予め計算しておき、機能Ａの結果を基に参照することで実現する。
【0056】
＜通常モード時の動作＞
再び図１１を参照し、物体検出装置１の通常モード時の動作について説明する。物体検出装置１の測定制御部１１は、偏向制御部１２に指示を送り、通常設定後（ステップＳＢ１）、レーザ光の射出対象となるＭＥＭＳミラー２５の偏向条件（θＨ，θＶ）を設定する（ステップＳＢ２）。次に、測定制御部１１は、点灯制御部１３に指示を送り、設定条件に一致するＭＥＭＳミラー２５の偏向状態において光源２３（又は光源２４）に発光指示を行う（ステップＳＢ３）。次に、測定制御部１１は、距離測定部１４から距離Ｄを取得する（ステップＳＢ４）。次に、測定制御部１１は、機能Ａで得られたＬｉ１、Ｌｉ２の条件対に基づきθＨ、θＶ、Ｄを空間座標に変換する（ステップＳＢ５）。１フレーム分が完了するまではステップＳＢ１～ステップＳＢ５が繰り返される。１フレーム分が完了すると、測定制御部１１は、得られた点群情報（ステップＳＢ５で得られる空間座標での位置、すなわち三次元位置の集合）を通信部１５へ出力する（ステップＳＢ５）。通信部１５は、外部装置（図示せず）に点群情報を送信する。
再び図１１を参照し、物体検出装置１の通常モード時の動作について説明する。物体検出装置１の測定制御部１１は、偏向制御部１２に指示を送り、通常設定後（ステップＳＢ１）、レーザ光の射出対象となるＭＥＭＳミラー２５の偏向条件（θＨ，θＶ）を設定する（ステップＳＢ２）。次に、測定制御部１１は、点灯制御部１３に指示を送り、設定条件に一致するＭＥＭＳミラー２５の偏向状態において光源２３（又は光源２４）に発光指示を行う（ステップＳＢ３）。次に、測定制御部１１は、距離測定部１４から距離Ｄを取得する（ステップＳＢ４）。次に、測定制御部１１は、機能Ａで得られたＬｉ１、Ｌｉ２の条件対に基づきθＨ、θＶ、Ｄを空間座標に変換する（ステップＳＢ５）。１フレーム分が完了するまではステップＳＢ１～ステップＳＢ５が繰り返される。１フレーム分が完了すると、測定制御部１１は、得られた点群情報（ステップＳＢ５で得られる空間座標での位置、すなわち三次元位置の集合）を通信部１５へ出力する（ステップＳＢ５）。通信部１５は、外部装置（図示せず）に点群情報を送信する。
【0057】
なお、上記したステップＳＢ５における空間座標への変換については、例えば以下のように行うことができる。機能Ａで得られたＬｉ１の条件による光軸方向でＭＥＭＳミラー２５に入射する光（光源２３から発せられた光）の単位方向ベクトルをＶＬ（Ｌｉ１）とする。また、ＭＥＭＳミラー２５の光反射点の座標をＰ０とする。このとき、ＭＥＭＳミラー２５の偏向条件（θＨ，θＶ）で距離Ｄを取得した場合、これを変換した反射点の空間座標ＰＲは、以下のように表現することができる。
ＰＲ＝Ｄ{ＶＬ(Ｌｉ１)－２(ＶＬ(Ｌｉ１)・ＶＭ(θＨ，θＶ))ＶＭ(θＨ，θＶ)}＋Ｐ０
ここで、ＶＭ(θＨ，θＶ)は、ＭＥＭＳミラー２５の偏向条件（θＨ，θＶ）におけるＭＥＭＳミラー２５の反射面の法線ベクトルである。
ＰＲ＝Ｄ{ＶＬ(Ｌｉ１)－２(ＶＬ(Ｌｉ１)・ＶＭ(θＨ，θＶ))ＶＭ(θＨ，θＶ)}＋Ｐ０
ここで、ＶＭ(θＨ，θＶ)は、ＭＥＭＳミラー２５の偏向条件（θＨ，θＶ）におけるＭＥＭＳミラー２５の反射面の法線ベクトルである。
【0058】
以上の実施形態によれば、以下のような効果が得られる。
【0059】
まず、ＭＥＭＳミラー２５の偏向角を抑えつつ、十分な検出範囲を確保し、高解像度かつ高速に測定することが可能となる。すなわち、ＭＥＭＳミラー２５に対して異なる方向に配置した複数の光源２３、２４からレーザ光を入射させて、光源ごとに異なる範囲を測定するよう構成することで、１つの光源を用いる場合に比べて光射出可能な範囲を大きくできる。光源の繰り返し周波数により制限される時間当たりの光射出数を増やせるので、解像度を増やし、あるいは測定の周波数を上げることが出来る。
【0060】
また、測定範囲に意図しない死角や意図しない重複が生じるのを防ぐことができるので検出精度を向上させることができる。すなわち、１つのＭＥＭＳミラー２５を介する複数の光源２３、２４で共通の対象を測定し、それぞれの測定結果が最も良好に合致する光軸条件を探すことで、光源の光軸を把握できる。光軸の把握に際する測定時のみＭＥＭＳミラー２５の駆動角を大きくすることで、共通の対象を測定するための測定範囲の重複範囲を確実に発生させるとともに、通常測定時に無効な偏向期間が生じるのを防ぐことができる。また、測定を行う際に高密度（測定方向間隔を狭くする）ことで、光軸をより正確に把握できる。把握した光軸を基に、測定動作時のＭＥＭＳミラー２５の駆動角を補正することで、各光源２３、２４による測定範囲が互い離間してその間に非測定範囲が生じることや逆に意図しない重複範囲が生じることを防ぎ、さらに各測定範囲を合わせた全測定範囲が狭まることを防ぎ、測定しているつもりなのに実際には測定されていないというような範囲が発生するのを防ぐことができる。
【0061】
また、把握した光軸をもとに空間座標を計算するので、方向誤差の発生を抑制でき。それにより座標誤差の発生を抑制することができる。また、補正能力の範囲で光軸ずれの影響（死角の発生など）をキャンセルできるので、多少の組み立てずれを許容できる。よって、物体検出装置１の製造時の歩留まりが上がり、コスト低減、資源ロスの抑制が期待できる。
【0062】
なお、本開示は上記した実施形態の内容に限定されるものではなく、本開示の要旨の範囲内において種々に変形して実施をすることが可能である。例えば、上記した実施形態において挙げた数値条件などは一例であってそれらに限定されない。また、光源の数が２より大きい場合にも同様にして本開示の内容を適用することができる。例えば、４つの光源を用いる場合であれば、図１６に例示するように各光源からのレーザ光Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４とそれらに対応する測定範囲Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４について、レーザ光Ｌ１とレーザ光Ｌ３、レーザ光Ｌ２とレーザ光Ｌ４、レーザ光Ｌ３とレーザ光Ｌ４、レーザ光Ｌ１とレーザ光Ｌ２という対となるように各光源を組み合わせて共通の対象を測定することで光軸ずれを把握することができる。光軸ずれに対する補正の方法は上記した実施形態と同様である。
【0063】
本開示は、以下に付記する特徴を有する。
（付記１）
三次元空間に存在する物体を検出するための装置であって、
第１光源及び第２光源と、少なくとも直交する二方向に偏向可能な偏向器とを有し、当該偏向器の反射面に対して前記第１光源の第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、
前記走査光源部から出射した前記第１検出用光及び前記第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、
前記走査光源部及び前記受光部のそれぞれと接続されており、前記走査光源部の動作を制御するとともに前記受光部の出力を用いて前記物体を検出するための処理を行う制御部と、
を含み、
前記制御部は、
補正条件設定時において、前記第１検出用光と前記第２検出用光とが共通の被検出物体を走査するように前記走査光源部を制御して、前記第１検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第２検出結果との差異が最小となる場合の前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々の光軸条件を特定し、
通常動作時において、前記光軸条件を基に、前記第１光源及び前記第２光源の射出パターン及び／又は前記偏向器の偏向角度範囲を補正する、
物体検出装置。
（付記２）
前記第１検出用光を用いる第１測定範囲と前記第２検出用光を用いる第２測定範囲とが隣接しており、
前記制御部は、前記補正条件設定時において、前記第１測定範囲と前記第２測定範囲の各々の一部分同士の重複範囲を生じ、当該重複範囲に前記被検出物体が位置するように前記偏向器の動作を制御する、
付記１に記載の物体検出装置。
（付記３）
前記制御部は、前記補正条件設定時における前記第１検出用光及び前記第２検出用光の各々のビーム照射位置が前記通常動作時に比較して相対的に狭い間隔となるように前記偏向器を制御する、
付記１又は２に記載の物体検出装置。
（付記４）
前記第１検出用光に対応した前記第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記第２検出結果の各々は、前記被検出物体との距離である、
付記１～３の何れかに記載の物体検出装置。
（付記５）
前記光軸条件を基に、空間座標を算出するための係数を補正する、
付記１～４の何れかに記載の物体検出装置。
（付記６）
前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々がレーザ光である、
付記１～５の何れかに記載の物体検出装置。
（付記１）
三次元空間に存在する物体を検出するための装置であって、
第１光源及び第２光源と、少なくとも直交する二方向に偏向可能な偏向器とを有し、当該偏向器の反射面に対して前記第１光源の第１検出用光と前記第２光源の第２検出用光とが互いに異なる方向から入射するように構成された走査光源部と、
前記走査光源部から出射した前記第１検出用光及び前記第２検出用光の何れかによる反射光を受光する受光部と、
前記走査光源部及び前記受光部のそれぞれと接続されており、前記走査光源部の動作を制御するとともに前記受光部の出力を用いて前記物体を検出するための処理を行う制御部と、
を含み、
前記制御部は、
補正条件設定時において、前記第１検出用光と前記第２検出用光とが共通の被検出物体を走査するように前記走査光源部を制御して、前記第１検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記受光部の出力に基づく第２検出結果との差異が最小となる場合の前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々の光軸条件を特定し、
通常動作時において、前記光軸条件を基に、前記第１光源及び前記第２光源の射出パターン及び／又は前記偏向器の偏向角度範囲を補正する、
物体検出装置。
（付記２）
前記第１検出用光を用いる第１測定範囲と前記第２検出用光を用いる第２測定範囲とが隣接しており、
前記制御部は、前記補正条件設定時において、前記第１測定範囲と前記第２測定範囲の各々の一部分同士の重複範囲を生じ、当該重複範囲に前記被検出物体が位置するように前記偏向器の動作を制御する、
付記１に記載の物体検出装置。
（付記３）
前記制御部は、前記補正条件設定時における前記第１検出用光及び前記第２検出用光の各々のビーム照射位置が前記通常動作時に比較して相対的に狭い間隔となるように前記偏向器を制御する、
付記１又は２に記載の物体検出装置。
（付記４）
前記第１検出用光に対応した前記第１検出結果と前記第２検出用光に対応した前記第２検出結果の各々は、前記被検出物体との距離である、
付記１～３の何れかに記載の物体検出装置。
（付記５）
前記光軸条件を基に、空間座標を算出するための係数を補正する、
付記１～４の何れかに記載の物体検出装置。
（付記６）
前記第１検出用光と前記第２検出用光の各々がレーザ光である、
付記１～５の何れかに記載の物体検出装置。
【符号の説明】
【0064】
１：物体検出装置、１０：制御部、１１：測定制御部、１２：偏向制御部、１３：点灯制御部、１４：距離測定部、１５：通信部、２０：走査光源部、２１：ＭＥＭＳドライバ、２２：光源ドライバ、２３、２４：光源、２５：ＭＥＭＳミラー、３０：受光部、３１：レンズ、３２：光学フィルタ、３３：フォトディレクタ、３４：受光回路、２６、２７：ミラー、Ｌ１、Ｌ２：レーザ光、Ｒ１、Ｒ２：測定範囲、Ｒ３：重複範囲
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】