特開 2024-132869 ガスディフューザー取付構造を備えた基板キャリア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024132869

(43)【公開日】2024-10-01

(54)【発明の名称】ガスディフューザー取付構造を備えた基板キャリア

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240920BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023221339

(22)【出願日】2023-12-27

(31)【優先権主張番号】63/452,730

(32)【優先日】2023-03-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100128428

【弁理士】

【氏名又は名称】田巻 文孝

(72)【発明者】

【氏名】邱 銘乾

(72)【発明者】

【氏名】荘 家和

(72)【発明者】

【氏名】李 國華

(72)【発明者】

【氏名】沈 恩年

(72)【発明者】

【氏名】呂 俊明

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA10

5F131GA14

5F131GA33

5F131GA52

5F131GA69

5F131GA88

5F131GA92

(57)【要約】

【課題】ガスディフューザー取付構造を備えた基板キャリアを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、ウエハ格納空間を画定する筐体と、前記筐体の内壁に一体的に成形され、少なくとも１つのガスディフューザーを保持して、前記少なくとも１つのガスディフューザーをロボットアームの先端の可動範囲外に配置させるための少なくとも１つの取付構造とを備えた基板キャリアを提供する。基板キャリアのガスディフューザーを取り付ける構造を簡素化し、ガスディフューザーとロボットアームとの干渉を避ける。
【選択図】図３Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハ格納空間を画定する筐体と、
前記筐体の内壁に一体的に成形され、少なくとも１つのガスディフューザーを保持して、前記少なくとも１つのガスディフューザーをロボットアーム先端の動作範囲外に配置させるための少なくとも１つの取付構造と
を備えた基板キャリア。

【請求項2】

前記取付構造は、第１挟持アームと、第２挟持アームと、当接部とを備え、前記第１挟持アーム及び前記第２挟持アームは前記ガスディフューザーを挟持し、前記当接部は前記ガスディフューザーに当接する請求項１に記載の基板キャリア。

【請求項3】

前記第１挟持アーム又は前記第２挟持アームは、弾性を有する請求項２に記載の基板キャリア。

【請求項4】

前記第１挟持アーム又は前記第２挟持アームは、前記内壁から延びる支持部と、前記支持部から延びる挟持部とをさらに備え、前記支持部の厚さは前記挟持部より大きい請求項２に記載の基板キャリア。

【請求項5】

前記第１挟持アームと前記第２挟持アームは、上開口部及び下開口部を画定し、前記上開口部は前記下開口部より小さい請求項２に記載の基板キャリア。

【請求項6】

前記第１挟持アームと前記第２挟持アームにより画定される上部内径は、下部内径より小さい請求項５に記載の基板キャリア。

【請求項7】

前記ガスディフューザーの直径は、前記第１挟持アームと第２挟持アームにより画定される下部内径より小さい請求項６に記載の基板キャリア。

【請求項8】

前記第１挟持アーム及び前記第２挟持アームと前記ガスディフューザーとの接触面積は、前記当接部と前記ガスディフューザーとの接触面積より小さい請求項２に記載の基板キャリア。

【請求項9】

前記ガスディフューザーの横断面は、円形、楕円形、又は他の形状である請求項１に記載の基板キャリア。

【請求項10】

前記第１挟持アーム、前記第２挟持アーム、前記当接部及び前記ガスディフューザーは、少なくとも１つの排水口を画成する請求項１に記載の基板キャリア。

【請求項11】

ウエハ格納空間を画定する筐体と、
前記筐体の内壁から一体的に延びており、少なくとも１つのガスディフューザーを挟持するための第１挟持アームと第２挟持アームとを含む少なくとも１つの取付構造と
を備えた基板キャリア。

【請求項12】

前記取付構造は、前記第１挟持アームと前記第２挟持アームとの間に配置された当接部をさらに備える請求項１１に記載の基板キャリア。

【請求項13】

前記第１挟持アーム及び前記第２挟持アームと前記ガスディフューザーとの接触面積は、前記当接部と前記ガスディフューザーとの接触面積より小さい請求項１２に記載の基板キャリア。

【請求項14】

前記第１挟持アーム、前記第２挟持アーム、及び前記ガスディフューザーは、少なくとも１つの排水口を画成する請求項１１に記載の基板キャリア。

【請求項15】

前記第１挟持アームと前記第２挟持アームにより画定される上部内径は、下部内径より小さい請求項１１に記載の基板キャリア。

【請求項16】

前記ガスディフューザーの直径は、前記第１挟持アームと第２挟持アームにより画定される下部内径より小さい請求項１５に記載の基板キャリア。

【請求項17】

前記第１挟持アーム及び第２挟持アームの上端は、前記少なくとも１つのガスディフューザーに直接接触し、前記第１挟持アーム及び第２挟持アームの下端と前記少なくとも１つのガスディフューザーとの間に隙間がある請求項１１に記載の基板キャリア。

【請求項18】

前記第１挟持アーム又は前記第２挟持アームは、前記内壁から延びる支持部と、前記支持部から延びる挟持部とをさらに備え、前記支持部の機械的強度は、前記挟持部より大きい請求項１１に記載の基板キャリア。

【請求項19】

前記挟持部は、弾性を有し、前記支持部の厚さは前記挟持部より大きい請求項１８に記載の基板キャリア。

【請求項20】

前記取付構造は、ロボットアーム先端の動作範囲外に設けられる請求項１１に記載の基板キャリア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板（ウエハ）キャリア、特にフロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）に関し、より特にガスディフューザー取付構造を備えた基板キャリアに関する。

【背景技術】

【0002】

現在、ガスディフューザーを備えた従来の基板キャリアは、ケーシングを含み、ケーシング内に複数のガスディフューザー、複数の支持体及び複数の組立式チューブクランプが設けられる。組立式チューブクランプは、ケーシングに取り外し可能に組み付けられ、ガスディフューザーは組み付けられたチューブクランプを介してケーシング内に保持される。ケーシングは、ウエハ格納空間を形成する。ウエハ格納空間内に複数のガスディフューザーを前記ケーシング後部近くに配置することにより、ガスが前記ガスディフューザーを介してウエハ格納空間に均一に拡散させることができる。

【0003】

しかしながら、ガスディフューザーを保持するための従来の組立式チューブクランプは、組み立てられる部品が多すぎるため、組み立てに時間がかかり、コストも高かった。なお、組立式チューブクランプは、落下しやすいリスクがあり、かつ組立式チューブクランプの配置位置により容易にロボットアームと干渉しやすいことで、格納されているウエハに影響を及ぼす可能性がある。さらに、従来の組立式チューブクランプは、ガスディフューザーとの接触面積が大きすぎ、擦れ合うことで多量の粉塵が発生しやすい。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、ガスディフューザーを筐体の内側に固定して組立プロセスを簡略化することで、組立工数とコストを削減する一体化取付構造を提供したものである。なお、一体化取付構造の挟持部分とガスディフューザーとの間の接触面積を減らすことで、発塵を低減する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の目的は、ウエハ格納空間を画定する筐体と、前記筐体の内壁に一体的に成形され、少なくとも１つのガスディフューザーを保持して、前記少なくとも１つのガスディフューザーをロボットアーム先端の動作範囲外に配置させるための少なくとも１つの取付構造とを備えた基板キャリアを提供することである。

【0006】

一具体的な実施形態において、前記取付構造は、第１挟持アームと、第２挟持アームと、当接部とを備え、前記第１挟持アーム及び前記第２挟持アームは前記ガスディフューザーを挟持し、前記当接部は前記ガスディフューザーに当接する。

【0007】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム又は前記第２挟持アームは、弾性を有する。

【0008】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム又は前記第２挟持アームは、前記内壁から延びる支持部と、前記支持部から延びる挟持部とをさらに備え、前記支持部の厚さは前記挟持部より大きい。

【0009】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アームと前記第２挟持アームは、上開口部及び下開口部を画定し、前記上開口部は前記下開口部より小さい。

【0010】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アームと前記第２挟持アームにより画定される上部内径は、下部内径より小さい。

【0011】

一具体的な実施形態において、前記ガスディフューザーの直径は、前記第１挟持アームと第２挟持アームにより画定される下部内径より小さい。

【0012】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム及び前記第２挟持アームと前記ガスディフューザーとの接触面積は、前記当接部と前記ガスディフューザーとの接触面積より小さい。

【0013】

一具体的な実施形態において、前記ガスディフューザーの横断面は、円形、楕円形、又は他の形状である。

【0014】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム、前記第２挟持アーム、前記当接部及び前記ガスディフューザーは、少なくとも１つの排水口を画成する。

【0015】

本発明の別の目的は、ウエハ格納空間を画定する筐体と、前記筐体の内壁から一体的に延びており、少なくとも１つのガスディフューザーを挟持するための第１挟持アームと第２挟持アームとを含む少なくとも１つの取付構造とを備えた基板キャリアを提供することである。

【0016】

一具体的な実施形態において、前記取付構造は、前記第１挟持アームと前記第２挟持アームとの間に配置された当接部をさらに備える。

【0017】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム及び前記第２挟持アームと前記ガスディフューザーとの接触面積は、前記当接部と前記ガスディフューザーとの接触面積より小さい。

【0018】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム、前記第２挟持アーム、及び前記ガスディフューザーは、少なくとも１つの排水口を画成する。

【0019】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アームと前記第２挟持アームにより画定される上部内径は、下部内径より小さい。

【0020】

一具体的な実施形態において、前記ガスディフューザーの直径は、前記第１挟持アームと第２挟持アームにより画定される下部内径より小さい。

【0021】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム及び第２挟持アームの上端は、前記少なくとも１つのガスディフューザーに直接接触し、前記第１挟持アーム及び第２挟持アームの下端と前記少なくとも１つのガスディフューザーとの間に隙間がある。

【0022】

一具体的な実施形態において、前記第１挟持アーム又は前記第２挟持アームは、前記内壁から延びる支持部と、前記支持部から延びる挟持部とをさらに備え、前記支持部の機械的強度は、前記挟持部より大きい。

【0023】

一具体的な実施形態において、前記挟持部は、弾性を有し、前記支持部の厚さは前記挟持部より大きい。

【0024】

一具体的な実施形態において、前記取付構造は、ロボットアーム先端の動作範囲外に設けられる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明の第１の実施形態に係るガスディフューザー取付構造を備えた基板キャリアを概略的に示す正面図である。

【図2】図１内のＡ－Ａ線に沿った断面上面図である。

【図3A】本発明の第１の実施形態に係る基板キャリアの取付構造の拡大図である。

【図3B】本発明の第１の実施形態に係る基板キャリアの取付構造の拡大立体図である。

【図3C】本発明の第１の実施形態に係る基板キャリアの取付構造の正面図である。

【図3D】本発明の第１の実施形態に係る基板キャリアの取付構造でガスディフューザーを挟持している状態を示す正面図である。

【図4】本発明の第２の実施形態に係る基板キャリアの取付構造の拡大上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

図１を参照すると、図１は、本発明の第１の実施形態に係るガスディフューザー取付構造１１を備えた基板キャリア１００を示す。基板キャリア１００は、少なくとも１つの取付構造１１と、筐体１３とを備える。筐体１３は、内壁１３２を有し、ウエハ格納空間１３１を画定し、取付構造１１は筐体１３の前側開口に対向する後側内壁１３２に一体的に成形され、少なくとも１つのガスディフューザー３１を保持するために用いられる。本発明の基板キャリア１００は、ウエハ支持体１７と、チャック１９とをさらに備え、ウエハ支持体１７はウエハ格納空間１３１内に設けられ、図２に示すようにウエハ４１を載置するために用いられる。

【0027】

図２を参照すると、図２は、図１内のＡ－Ａ線に沿った断面図である。取付構造１１は、筐体１３の内壁１３２から一体的に延び、ロボットアーム先端の動作範囲１３３外に位置し、ガスディフューザー３１を基板キャリア１００に取り付けた時、ガスディフューザー３１がロボットアーム先端の動作範囲１３３外に位置し、格納されているウエハ４１と接触しないことで、ガスディフューザー３１とロボットアームとの衝突の危険性が低減される。

【0028】

図３Ａ～３Ｂを参照すると、本発明の取付構造１１は、筐体１３の内壁１３２からそれぞれ一体的に延びる第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３とを備える。本実施例において、取付構造１１及び筐体１３は、同じ素材で作られる。他の可能な実施形態において、取付構造１１の一部及び筐体１３は、同じ素材で作られ、取付構造１１の別の部分及び筐体１３は異なる素材で作られる。取付構造１１は、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３を介してガスディフューザー３１を保持又は挟持する。取付構造１１は、第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３との間に形成され、ガスディフューザー３１に当接することで、ガスディフューザー３１の安定性を高める当接部１１５をさらに備える。また、当接部１１５とガスディフューザー３１との接触面積は、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３とガスディフューザー３１との間のそれぞれの接触面積より小さく、取付構造１１とガスディフューザー３１との間の接触面積を減らす。当接部１１５の接触面は、ガスディフューザー３１へのスリキズを避けるために凸曲面であることが好ましい。

【0029】

本発明の実施例形態において、第１挟持アーム１１１は、第１挟持部１１１１と、第１支持部１１１３とをさらに備え、第２挟持アーム１１３は第２挟持部１１３１と、第２支持部１１３３とをさらに備える。第１支持部１１１３及び第２支持部１１３３は、それぞれ内壁１３２から延在し、挟持強度及び安定性を提供するために適切な厚さを有するようにそれぞれ構成される。第１挟持部１１１１は、第１支持部１１１３から延在し、第２挟持部１１３１は第２支持部１１３３から延在する。第１挟持部１１１１及び第２挟持部１１３１の末端は、開口部を画定し、ガスディフューザー３１が第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３との間に画定された設置空間に入ることが可能になることで、第１挟持部１１１１及び第２挟持部１１３１をガスディフューザー３１に接触させる。第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３は、弾性を有し、ガスディフューザー３１の輪郭及び受けた力に応じて適切に変形することができ、ガスディフューザー３１の組み付けを容易にする。基板キャリア１００が工場内で移動又は使用される時、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３は、空気充填時ガスディフューザー３１により発生する振動を吸収し、緩和させることができる。

【0030】

さらに言えば、第１支持部１１１３の機械的強度は、第１挟持部１１１１の機械的強度よりも大きく、第２支持部１１３３の機械的強度は第２挟持部１１３１の機械的強度よりも大きく、第１支持部１１１３或いは第２支持部１１３３に高い機械的強度を持たせることにより、変形又は破断を避ける。換言すれば、第１支持部１１１３及び第２支持部１１３３は、第１挟持部１１１１及び第２挟持部１１３１よりも強い変形若しくは曲げに抵抗する能力を有する。本発明の実施形態において、図３Ａに示すように、第１支持部１１１３の断面厚さ１１１３Ａは、第１挟持部１１１１の断面厚さ１１１１Ａより大きく、第２支持部１１３３の断面厚さ１１３３Ａは第２挟持部１１３１の断面厚さ１１３１Ａより大きい。

【0031】

ガスディフューザー３１を基板キャリア１００に取り付けるとき、ガスディフューザー３１の一端は、基板キャリア底部の結合部１３５に位置決めする。例えば結合部１３５は、筐体１３の底部に位置し、ガスディフューザー３１の底部を収容するためのユニオンであり、且つ結合部１３５はガスディフューザー３１と結合部１３５との間に気密を形成するためのシール手段を有する。代替的に、結合部１３５は、筐体１３の底部に位置する連結用受座であり、ガスディフューザー３１の底部が連結用受座に嵌着されることができる。ガスディフューザー３１の管体は、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３で保持される。第１挟持部１１１１及び第２挟持部１１３１の適切な変形を介して第１挟持部１１１１と第２挟持部１１３１との間の開口を制御することで、ガスディフューザー３１の管体を第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３との間の設置空間に挿入し、機械的強度の高い第１支持部１１１３又は第２支持部１１３３により機械的強度を与え、組み付け時取付構造１１の破断を避けることができる。

【0032】

取付構造１１の第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３との間に少なくとも１つの排水口１１７がさらに画定され、これによりガスディフューザー３１が筐体１３上に装着されたとき、筐体１３後側の洗浄液をドレインして排水機能を実現する。本発明の実施形態において、ガスディフューザー３１が筐体１３内に装着されたとき，第１挟持アーム１１１と当接部１１５との間に排水口１１７が画定され、第２挟持アーム１１３と当接部１１５との間に別の排水口１１７が画定される。

【0033】

図３Ｃ～図３Ｄを参照すると、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３は、ガスディフューザー３１が通過できる前記開口部、上開口部及び下開口部を画定し、上開口部は下開口部よりもわずかに小さい。図３Ｃに示すように、第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３の上端が厚く、下端が薄いことで、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３はガスディフューザー３１に部分的に直接接触されることができ、ガスディフューザー３１との間に微小隙間が部分的に形成され、且つ第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３の一部はガスディフューザー３１と面接触していないことで、取付構造１１とガスディフューザー３１との間の接触面積を減少させて、発塵を低減する。具体的に言えば、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３の上端は、ガスディフューザー３１に直接接触し、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３の下端はガスディフューザー３１に接触しない。第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３の下端がガスディフューザー３１に接触しないようにすることで、摩擦による塵埃がガスディフューザー３１と第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３との間に堆積するのを防ぐことができる。

【0034】

さらに、取付構造１１にガスディフューザー３１が取り付けられていないとき、上開口部は、上部内径ｄ１を有し、下開口部は下部内径ｄ２を有し、第１挟持アーム１１１と第２挟持アーム１１３の内径長さは上部内径ｄ１から下部内径ｄ２まで徐々に増加し、上部内径ｄ１は下部内径ｄ２より小さく、上部内径ｄ１はガスディフューザー直径ｄよりわずかに小さくて、取付構造１１がガスディフューザー３１を安定的に保持できことを確保し、下部内径ｄ２はガスディフューザー直径ｄより大きいため、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３の下方とガスディフューザー３１の表面との間には隙間が存在して、発塵を低減する。なお、第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３をガスディフューザー３１に部分的に接触させるために他の手段を使用することもできる。例えば第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３は、異なる厚さを有してもよく、或いは第１挟持アーム１１１及び第２挟持アーム１１３は起伏のある表面を有してもよい。

【0035】

当接部１１５は、ガスディフューザー３１と部分的又は完全に直接接触することができる。当接部１１５は、ガスディフューザー３１と完全に接触できることで、ガスディフューザー３１の保持の安定性を確保し、若しくは当接部１１５は、ガスディフューザー３１と部分的に接触でき、例えば上端部のみがガスディフューザー３１と直接接触し、下端部とガスディフューザー３１の表面との間に隙間があることで、当接部１１５とガスディフューザー３１との間の接触面積を減らして、発塵を低減する。

【0036】

図４を参照すると、図４は、本発明の第２の実施形態に係る取付構造の断面図であり、構造及び特徴は、基本的に本出願の第１の実施形態と同じであり、相違点は楕円形の断面を有するガスディフューザー３１’を挟持できることであるが、他の構造及び特徴は第１の実施形態に開示されている内容と組み合わせるか、置換することができる。

【0037】

具体的に言えば、本発明の第２の実施形態は、ガスディフューザー３１’の取付構造を備えた基板キャリア１００の取付構造１１は、筐体２３の内壁２３２に形成され、楕円形の断面を有するガスディフューザー３１’を保持又は挟持するための第１挟持アーム２１１と、第２挟持アーム２１３とを備える。具体的に言えば、第１挟持アーム２１１及び第２挟持アーム２１３は、楕円形のガスディフューザー３１’上の長軸に対応する両側を挟持するように構成される。他の可能な実施形態において、第１挟持アーム２１１及び第２挟持アーム２１３は、少なくとも１つの断面形状のガスディフューザー又は１つの形状であるが異なる方位のガスディフューザー３１を挟持することができるように構成され得る。取付構造は、ガスディフューザー３１’に当接するための当接部２１５をさらに備える。

【0038】

ガスディフューザー３１’が基板キャリア１００に装着されるとき，ガスディフューザー３１’は、基板キャリア１００の底部の筐体結合部２３５に位置決めされ、第１挟持アーム２１１と第２挟持アーム２１３とにより保持或いは挟持し、並びに当接部２１５により当接され、この時第１挟持アーム２１１と当接部２１５との間及び第２挟持アーム２１３と当接部２１５との間には排水口２１７がそれぞれ画定され、洗浄液をドレインして排水機能を実現する。

【0039】

取付構造１１は、筐体２３の内壁２３２から延在して、ガスディフューザー３１’が基板キャリア１００ に取り付けられたとき、ロボットアーム先端の動作範囲１３３外にあり、格納されているウエハ４１と接触しないようにして、ガスディフューザー３１’とロボットアームとの衝突の危険性が低減される。

【0040】

本発明の第１の実施形態と第２の実施形態の取付構造は、ケーシングと一体的に成形される。製造プロセス中に、同じセットの金型について金型の入れ子（ｍｏｌｄ ｉｎｓｅｒｔ）及びアングルリフター（ａｎｇｌｅ ｌｉｆｔｅｒ）の構造を交換して、異なる形状のガスディフューザーを挟持するのに適した取付構造を製造でき、例えば取付構造は断面が円形、楕円形或いはその他の任意の断面形状を有するガスディフューザーを挟持して、筐体の製造コストを削減し、製造の利便性を高めることができる。

【符号の説明】

【0041】

１００ 基板キャリア
１１ 取付構造
１１１ 第１挟持アーム
１１１１ 第１挟持部
１１１１Ａ 第１挟持部の断面厚さ
１１１３ 第１支持部
１１１３Ａ 第１支持部の断面厚さ
１１３ 第２挟持アーム
１１３１ 第２挟持部
１１３１Ａ 第２挟持部の断面厚さ
１１３３ 第２支持部
１１３３Ａ 第２支持部の断面厚さ
１１５ 当接部
１１７ 排水口
１３ 筐体
１３１ ウエハ格納空間
１３２ 内壁
１３３ 動作範囲
１３５ 結合部
１７ ウエハ支持体
１９ チャック
２１１ 第１挟持アーム
２１３ 第２挟持アーム
２１５ 当接部
２１７ 排水口
２３ 筐体
２３２ 内壁
２３５ 結合部
３１、３１’ ガスディフューザー
４１ ウエハ
ｄ１ 上部内径
ｄ２ 下部内径
ｄ ガスディフューザーの直径

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図4】