特開 2024-133851 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024133851

(43)【公開日】2024-10-03

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/18 20180101AFI20240926BHJP

   G01N 23/04 20180101ALI20240926BHJP

   G21K 1/00 20060101ALI20240926BHJP

   G01T 7/00 20060101ALI20240926BHJP

   G01T 1/20 20060101ALN20240926BHJP

【ＦＩ】

G01N23/18

G01N23/04

G21K1/00 X

G01T7/00 A

G01T1/20 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023043846

(22)【出願日】2023-03-20

(71)【出願人】

【識別番号】000147833

【氏名又は名称】株式会社イシダ

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(72)【発明者】

【氏名】冨永 浩太

【テーマコード（参考）】

2G001

2G188

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA08

2G001HA13

2G001JA09

2G001KA03

2G001MA04

2G001PA11

2G001QA01

2G001SA04

2G001SA14

2G188AA25

2G188BB02

2G188CC22

2G188DD11

2G188DD17

2G188DD30

2G188GG09

(57)【要約】

【課題】Ｘ線の漏洩をより確実に防止できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、Ｘ線検出部７を収容する筐体９の下部９ｃと、Ｘ線検出部７の検出結果に基づき物品Ｇの検査を行う制御部１０と、を備える。搬送部５は、Ｘ線照射部６からＸ線検出部７に至るＸ線を通過させる通過領域Ｘを挟んで並設された一対の搬送ユニット２０，３０を有する。通過領域ＸとＸ線検出部７との間にはプレート部材５４が設けられており、プレート部材５４は、筐体９の一部である第３壁部９３に取り付けられる。プレート部材５４の表面５４ｃは第３壁部９３の上面９３ａより低い位置に位置する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される前記物品に電磁波を照射する照射部と、
前記照射部から照射され前記物品を透過した前記電磁波を検出する検出部と、
前記検出部を収容する筐体と、
前記検出部の検出結果に基づき前記物品の検査を行う検査部と、を備え、
前記搬送部は、前記照射部から前記検出部に至る前記電磁波を通過させる通過領域を挟んで並設された一対の搬送ユニットを有し、
前記通過領域と前記検出部との間にはプレート部材が設けられており、
前記プレート部材は、前記筐体の一部である壁部に取り付けられ、前記プレート部材の表面は前記壁部の上面より低い位置に位置する、Ｘ線検査装置。

【請求項2】

前記筐体の前記壁部は、前記通過領域と前記検出部との間に位置する開口を有し、
前記プレート部材は、前記開口に嵌り込むと共に前記表面を含む突出板部と、前記突出板部から張り出すと共に前記壁部の裏面に対面するベース板部とを有し、
前記ベース板部に対して前記突出板部が突出する高さは、前記開口の周囲における前記壁部の厚みより小さい、請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記ベース板部と前記壁部の裏面との間には弾性部材が介在する、請求項２に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記通過領域とプレート部材の間であって前記通過領域の側方には遮蔽ブロックが設けられている、請求項１～３の何れか一項に記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、特許文献１に記載されるように、Ｘ線通過領域を挟んで並設された一対の搬送ユニットを有するＸ線検査装置が知られている。この装置では、Ｘ線照射部が一対の搬送ユニットの一方（上方）に設けられ、Ｘ線検出部が一対の搬送ユニットの他方（下方）に設けられている。Ｘ線照射部から照射されたＸ線が、物品を透過し、Ｘ線通過領域を通過してＸ線検出部に入射する。Ｘ線は、光に変換され、さらに電気信号に変換されて、制御部においてＸ線透過画像が生成される。特許文献２に記載された装置においても、上流側コンベアと下流側コンベアの間に隙間が設けられており、隙間の上にＸ線源があり、隙間の下に検出部がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１５５５６１号公報

【特許文献2】特開２０１９－７８５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の装置において、搬送ユニットはコンベア等からなるが、その下には隙間が存在する。例えば、Ｘ線検出部を収容する筐体とコンベアとの間に隙間が存在する。隙間からＸ線が漏れることを防止するため、搬送ユニットには、Ｘ線通過領域の近傍に遮蔽部材等が設けられる。特許文献２の装置においても、複数の遮蔽部材が設けられる。

【0005】

一方、Ｘ線通過領域とＸ線検出部との間に、Ｘ線検出部Ｘ線の透過を許容しつつ、例えば装置内部の防水性を高める等の目的で、プレート部材が設けられることがある。プレート部材の表面でＸ線が散乱すると、散乱Ｘ線が遮蔽部材と他の部材との間の僅かな隙間を抜けて漏洩する虞がある。

【0006】

本発明は、Ｘ線の漏洩をより確実に防止できるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明の一態様に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部により搬送される物品に電磁波を照射する照射部と、照射部から照射され物品を透過した電磁波を検出する検出部と、検出部を収容する筐体と、検出部の検出結果に基づき物品の検査を行う検査部と、を備える。搬送部は、照射部から検出部に至る電磁波を通過させる通過領域を挟んで並設された一対の搬送ユニットを有し、通過領域と検出部との間にはプレート部材が設けられており、プレート部材は、筐体の一部である壁部に取り付けられ、プレート部材の表面は壁部の上面より低い位置に位置する。

【0008】

このＸ線検査装置によれば、一対の搬送ユニットの間の通過領域と、検出部との間にはプレート部材が設けられている。プレート部材の表面が筐体の壁部の上面よりも低い位置に位置するため、当該表面で散乱したＸ線は、壁部の厚みが露出した部分（段差部）により阻止されて、更なる外部への漏洩は低減される。よって、Ｘ線の漏洩をより確実に防止できる。

【0009】

（２）上記（１）に係るＸ線検査装置では、筐体の壁部は、通過領域と検出部との間に位置する開口を有し、プレート部材は、開口に嵌り込むと共に表面を含む突出板部と、突出板部から張り出すと共に壁部の裏面に対面するベース板部とを有し、ベース板部に対して突出板部が突出する高さは、開口の周囲における壁部の厚みより小さくてもよい。この場合、ベース板部が壁部の裏面に当接したとしても（又は当接しそうなくらい近づいたとしても）、突出板部の表面は、壁部の上面よりも低い位置に確実に位置する。

【0010】

（３）上記（２）に係るＸ線検査装置では、ベース板部と壁部の裏面との間には弾性部材が介在してもよい。弾性部材は、例えば、プレート部材と壁部との間で密閉性を高める等の役割を果たす。弾性部材が介在する分、突出板部の表面は、壁部の上面よりも更に低い位置に位置する。

【0011】

（４）上記（１）～（３）の何れか１つに係るＸ線検査装置では、通過領域とプレート部材の間であって通過領域の側方には遮蔽ブロックが設けられていてもよい。この場合、上記の段差部に加えて遮蔽ブロックがＸ線を遮蔽する。よって、Ｘ線の漏洩対策がより万全となる。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、Ｘ線の漏洩をより確実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の正面図である。

【図2】図２は、図１のＸ線検査装置の斜視図である。

【図3】図３は、図１中の搬送部の平面図である。

【図4】図４は、通過領域を通る鉛直面でＸ線検査装置を切断した断面図である。

【図5】図５は、搬送部の下方に設けられた壁部、遮蔽ブロック及びプレート部材を示す断面図である。

【図6】図６は、図５の分解断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0015】

図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス（筐体）４と、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部（報知部）８と、制御部１０と、を備えている。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア２０ａによってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ｇは、搬出コンベア３０ａによってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベア３０ａの下流に配置された振分装置（図示省略）よって生産ライン外に振り分けられる。Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。

【0016】

装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられている。シールドボックス４は、外部へのＸ線の漏洩を防止する。シールドボックス４の内部には、Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア２０ａから搬入口４ａを介して検査領域Ｒに搬入される。検査後の物品Ｇは、検査領域Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベア３０ａに搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（図示省略）が設けられている。

【0017】

搬送部５は、シールドボックス４内に配置されている。搬送部５は、搬入口４ａから検査領域Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。

【0018】

装置本体２は、例えばＸ線等の電磁波を遮蔽可能な材料からなる筐体９を有する。図２に示されるように、筐体９は、前面に表示操作部８が設けられた上部９ａと、上下方向に延びる背部９ｂと、背部９ｂから前方に突出する下部９ｃとを含む。搬送方向Ａの下流側から見て、上部９ａの第１壁部９１、背部９ｂの第２壁部９２及び下部９ｃの第３壁部９３は前方に開放するＵ字状をなし（図４参照）、これらの壁部に囲まれた空間内に、搬入コンベア２０ａ及び搬出コンベア３０ａのうちの通過領域Ｘ（後述する）の近傍部分が配置されている。シールドボックス４の前面は、メンテナンス時等に開閉される遮蔽カバー４ｃによって覆われている。

【0019】

図１及び図４に示されるように、Ｘ線照射部６は、例えば、筐体９の上部９ａ内に配置されている。Ｘ線照射部６は、搬送部５によって搬送される物品ＧにＸ線（電磁波）を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を出射するＸ線管と、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。

【0020】

Ｘ線検出部７は、筐体９の下部９ｃ内に配置されている。Ｘ線検出部７は、Ｘ線照射部６により照射され物品Ｇを透過したＸ線を検出する。Ｘ線検出部７は、例えば、ラインセンサとして構成されている。具体的には、Ｘ線検出部７は、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数のフォトダイオードと、各フォトダイオードに対してＸ線入射側に配置されたシンチレータと、を有している。この場合、Ｘ線検出部７では、シンチレータに入射したＸ線が光に変換され、各フォトダイオードに入射した光が電気信号に変換される。

【0021】

図１及び図２に示されるように、表示操作部８は、筐体９の上部９ａに設けられ、前方を向いている。表示操作部８は、各種情報を表示する（すなわち、オペレータに運転状態を報知する）と共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。表示操作部８は、Ｘ線検査装置１における各種の異常を報知する。筐体９の上部９ａ上には、同じく報知部として機能する報知灯１１が立設されている。

【0022】

制御部１０は、装置本体２内に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部１０には、Ｘ線検出部７から出力されてＡ／Ｄ変換された信号が入力される。制御部１０は、Ｘ線検出部７から出力された信号に基づいて物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査を行う検査部として機能する。

【0023】

図３に示されるように、搬送部５は、一対の搬送ユニット２０，３０と、Ｘ線遮蔽ユニット４０と、を有している。一対の搬送ユニット２０，３０は、Ｘ線照射部６からＸ線検出部７に至るＸ線（図１参照）の通過領域Ｘを挟んで並設されている。これにより、Ｘ線の検出感度の向上や、搬送部５のメンテナンス性の向上が図られている。なお、通過領域Ｘは、方向Ｂに沿って延在している。方向Ｂは、搬送部５の搬送する第１方向（すなわち、搬送方向Ａ）及びＸ線照射部６とＸ線検出部７とが対向する第２方向（図１参照）の両方向に交差する第３方向である。

【0024】

搬送方向Ａにおける上流側に配置された搬送ユニット２０は、フレーム２１と、複数の搬送ローラ２２，２３と、搬送ベルト２４と、を有している。フレーム２１は、モータボックス２６を介して装置本体２（シールドボックス４）に取り付けられている。各搬送ローラ２２，２３は、フレーム２１によって回転可能に支持されている。一例として、搬送方向Ａにおける上流側に配置された搬送ローラ２３は駆動ローラであり、搬送方向Ａにおける下流側に配置された搬送ローラ２２は従動ローラである。搬送ベルト２４は、無端ベルトであり、複数の搬送ローラ２２，２３に架けられている。

【0025】

搬送方向Ａにおける下流側に配置された搬送ユニット３０は、フレーム３１と、複数の搬送ローラ３２，３３と、搬送ベルト３４と、を有している。フレーム３１は、モータボックス３６を介して装置本体２（シールドボックス４）に取り付けられている。各搬送ローラ３２，３３は、フレーム２１によって回転可能に支持されている。一例として、搬送方向Ａにおける下流側に配置された搬送ローラ３２は駆動ローラであり、搬送方向Ａにおける上流側に配置された搬送ローラ３３は従動ローラである。搬送ベルト３４は、無端ベルトであり、複数の搬送ローラ３２，３３に架けられている。

【0026】

Ｘ線遮蔽ユニット４０は、第１Ｘ線遮蔽部材４１と、第２Ｘ線遮蔽部材４２と、を有している。第１Ｘ線遮蔽部材４１及び第２Ｘ線遮蔽部材４２は、それぞれ、金属からなる板材によって形成されている。第１Ｘ線遮蔽部材４１は、搬送ユニット２０のフレーム２１に取り付けられている。第１Ｘ線遮蔽部材４１は、方向Ｂにおける通過領域Ｘの一方の端部Ｘ１においてＸ線を遮蔽する。第２Ｘ線遮蔽部材４２は、搬送ユニット３０のフレーム３１に取り付けられている。第２Ｘ線遮蔽部材４２は、方向Ｂにおける通過領域Ｘの他方の端部Ｘ２においてＸ線を遮蔽する。

【0027】

制御部１０は、例えばＸ線検査装置１の起動時に、Ｘ線を照射するようにＸ線照射部６を制御し、Ｘ線検出部７から出力された信号に基づいてＸ線透過画像を生成する。そして、制御部１０は、生成したＸ線透過画像に基づいて、一対の搬送ユニット２０，３０のそれぞれが装着されているか否かを判定する。

【0028】

例えば、搬送ユニット２０が装着されており、搬送ユニット３０が装着されていない場合には、通過領域Ｘの端部Ｘ１においては第１Ｘ線遮蔽部材４１によってＸ線が遮蔽され、通過領域Ｘの端部Ｘ２においてはＸ線が遮蔽されないから、制御部１０は、生成したＸ線透過画像に基づいて、搬送ユニット２０が装着されており、搬送ユニット３０が装着されていないと判定することができる。また、搬送ユニット３０が装着されており、搬送ユニット２０が装着されていない場合には、通過領域Ｘの端部Ｘ２においては第２Ｘ線遮蔽部材４２によってＸ線が遮蔽され、通過領域Ｘの端部Ｘ１においてはＸ線が遮蔽されないから、制御部１０は、生成したＸ線透過画像に基づいて、搬送ユニット３０が装着されており、搬送ユニット２０が装着されていないと判定することができる。

【0029】

更に、一対の搬送ユニット２０，３０がいずれも装着されている場合には、通過領域Ｘの端部Ｘ１においては第１Ｘ線遮蔽部材４１によってＸ線が遮蔽され、通過領域Ｘの端部Ｘ２においては第２Ｘ線遮蔽部材４２によってＸ線が遮蔽されるから、制御部１０は、生成したＸ線透過画像に基づいて、一対の搬送ユニット２０，３０がいずれも装着されていると判定することができる。また、一対の搬送ユニット２０，３０がいずれも装着されていない場合には、通過領域Ｘの両方の端部Ｘ１，Ｘ２においてＸ線が遮蔽されないから、制御部１０は、生成したＸ線透過画像に基づいて、一対の搬送ユニット２０，３０がいずれも装着されていないと判定することができる。

【0030】

制御部１０は、一対の搬送ユニット２０，３０のうちの少なくとも１つが装着されていないと判定した場合に、Ｘ線の照射を停止するようにＸ線照射部６を制御する。また、制御部１０は、上述した判定の結果を表示するように表示操作部８を制御する。特に、制御部１０は、一対の搬送ユニット２０，３０のうちの少なくとも１つが装着されていないと判定した場合に、装着されていない搬送ユニット（搬送ユニット２０のみか、搬送ユニット３０のみか、或いは搬送ユニット２０，３０の両方か）を特定して表示するように表示操作部８を制御する。

【0031】

続いて、図４、図５及び図６を参照して、一対の搬送ユニット２０，３０間に形成された通過領域Ｘより下方、すなわち通過領域ＸとＸ線検出部７との間に設けられたＸ線（電磁波）の遮蔽に係る構成について説明する。図４に示されるように、筐体９の下部９ｃは、Ｘ線検出部７を収容する。下部９ｃのうち搬送部５に対面する壁部である第３壁部９３には、Ｘ線を透過させるよう方向Ｂに延びる開口９３ｅが形成されている。なお、図４では、Ｘ線照射部６、搬送ユニット２０（搬送部５）、第３壁部９３の開口９３ｅ、及びＸ線検出部７の位置関係をわかりやすくするため、後述するプレート部材５４等からなる開口９３ｅの閉鎖構造の図示は省略されている。

【0032】

図５及び図６に示されるように、通過領域ＸとＸ線検出部７（下部９ｃ内で通過領域Ｘの下方に配置されている）との間にはプレート部材５４が設けられている。プレート部材５４は、Ｘ線等の電磁波を透過可能な材料からなる。プレート部材５４は、例えばカーボンプレートである。なお、プレート部材５４は、例えば樹脂製等であってもよい。上記開口９３ｅは、通過領域ＸとＸ線検出部７との間に位置する。プレート部材５４は、開口９３ｅよりも大きな矩形平板状のベース板部５４ａと、ベース板部５４ａから突出し開口９３ｅ内に嵌り込む矩形の突出板部５４ｂとを含む。プレート部材５４は、Ｘ線の透過を許容すると共に、例えばメンテナンス時において洗浄水等が下部９ｃに入り込むことを防止する。突出板部５４ｂは、平面視において開口９３ｅよりも僅かに小さな長方形状を呈する。プレート部材５４のベース板部５４ａは第３壁部９３の裏面９３ｂに対面しており、ベース板部５４ａと第３壁部９３の裏面９３ｂとの間には例えばガスケット（弾性部材）５７が介在する。ガスケット５７は、プレート部材５４による（下部９ｃにおける）防水性及び防塵性を高める。

【0033】

プレート部材５４及びガスケット５７は、これらの下に配置された矩形板状の押さえ部材５６及び複数の締結部材５９によって第３壁部９３に固定される。締結部材５９の締結力により、ガスケット５７は厚み方向に圧縮される。通過領域ＸとＸ線検出部７とを結ぶ平面を含むＸ線の照射領域には、これらの部材には開口が設けられるか、又は部材の厚みが薄くされている。プレート部材５４の中央部の裏面には、方向Ｂに延びる座ぐり部５４ｆが形成されており、上面に薄肉部５４ｇが残されている。また押さえ部材５６の中央部には、方向Ｂに延びる開口５６ｅが形成されている。

【0034】

さらに、通過領域Ｘとプレート部材５４の間であって通過領域Ｘの両側方（図５に示す左右の両側方）には、一対の遮蔽ブロック５２，５３が設けられている。遮蔽ブロック５２及び遮蔽ブロック５３は、それぞれ、搬送ローラ２２と第３壁部９３との間、及び、搬送ローラ３２と第３壁部９３との間において方向Ｂに延びる。遮蔽ブロック５２，５３は、方向Ｂの両端部の位置において取付ねじ５５によって搬送ユニット２０，３０に固定されている。遮蔽ブロック５２，５３は、方向Ｂの両端部に設けられた端部ブロック５２ａ，５３ａと、開口９３ｅの搬送方向Ａに交差する一対の縁部（方向Ｂに延びる縁部）に沿って延在する遮蔽壁５２ｂ，５３ａとを含む。これらは、搬送ユニット２０，３０と第３壁部９３との間に形成された隙間Ｃにおいて、通過領域Ｘと開口９３ｅとの間（プレート部材５４のプレート部材５４との間）の空間を可能な限り遮蔽している。

【0035】

図５に示されるように、プレート部材５４は、筐体９の一部である第３壁部９３に取り付けられている。ここで、図６に示されるように、ベース板部５４ａに対して突出板部５４ｂが突出する高さＨは、開口９３ｅの周囲における第３壁部９３の厚みＴより小さい。突出板部５４ｂの表面５４ｃは、第３壁部９３の上面９３ａより低い位置に位置している。すなわち、突出板部５４ｂの表面５４ｃは、第３壁部９３の上面９３ａより下がって（引っ込んで）おり、開口９３ｅの周面としての第３壁部９３の厚みの一部が露出している。

【0036】

本実施形態のＸ線検査装置１によれば、一対の搬送ユニット２０，３０の間の通過領域ＸとＸ線検出部７との間にはプレート部材５４が設けられている。プレート部材５４の表面５４ｃが第３壁部９３の上面９３ａよりも低い位置に位置するため、当該表面５４ｃで散乱したＸ線は、第３壁部９３の厚みが露出した部分（段差部）により阻止されて、更なる外部への漏洩は低減される。よって、Ｘ線の漏洩をより確実に防止できる。特に、カーボンプレートの表面ではＸ線が散乱しやすく、散乱したＸ線が（例えば遮蔽ブロック５２，５３と第３壁部９３の間の間隙を介して）隙間Ｃの方へと漏洩する可能性があるが、上記作用効果により、Ｘ線の外部への漏洩は低減される。

【0037】

ベース板部５４ａに対して突出板部５４ｂが突出する高さＨは、開口９３ｅの周囲における第３壁部９３の厚みＴより小さい。これにより、ベース板部５４ａが第３壁部９３の裏面９３ｂに限りなく近づいた場合でも、突出板部５４ｂの表面５４ｃは、第３壁部９３の上面９３ａよりも低い位置に確実に位置する。

【0038】

ガスケット５７は、例えば、プレート部材５４と第３壁部９３との間で密閉性を高める等の役割を果たす。ガスケット５７が介在する分、突出板部５４ｂの表面５４ｃは、第３壁部９３の上面９３ａよりも更に低い位置に位置する。すなわち、上記した段差部（第３壁部９３の厚みの一部）の露出面積が大きくなる。

【0039】

また上記の段差部に加えて、遮蔽ブロック５２，５３がＸ線を遮蔽する。よって、Ｘ線の漏洩対策がより万全となる。

【0040】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。例えば、ガスケット５７等の弾性部材（介在部材）が省略されてもよい。プレート部材５４が、上記とは別の形状を有してもよい。座ぐり部５４ｆが形成されなくてもよい。プレート部材が、例えば開口９３ｅに嵌り込む単一のブロック状をなしてもよい。プレート部材が、例えば第３壁部９３の裏面９３ｂに対面する単一の平板状をなしてもよい。

【0041】

照射部により照射され、検出部によって検出される電磁波はＸ線に限られない。

【符号の説明】

【0042】

１…Ｘ線検査装置、４…シールドボックス、５…搬送部、６…Ｘ線照射部（照射部）、７…Ｘ線検出部（検出部）、８…表示操作部（報知部）、９…筐体、１０…制御部（検査部）、２０，３０…搬送ユニット（一対の搬送ユニット）、５２，５３…遮蔽ブロック、５４…プレート部材、５４ａ…ベース板部、５４ｂ…突出板部、５４ｃ…表面、５７…ガスケット（弾性部材）、９３…第３壁部（壁部）、９３ａ…上面、９３ｅ…開口、Ｈ…高さ、Ｔ…厚み。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】