特開 2024-134207 液体吐出ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024134207

(43)【公開日】2024-10-03

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240926BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20240926BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20240926BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 605

B41J2/18

B41J2/14 305

B41J2/16 503

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023044400

(22)【出願日】2023-03-20

(71)【出願人】

【識別番号】000005267

【氏名又は名称】ブラザー工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000556

【氏名又は名称】弁理士法人有古特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】神▲崎▼ 章太郎

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA24

2C056EA26

2C056FA04

2C056FA10

2C056FA13

2C056HA05

2C056KB16

2C056KC02

2C057AF93

2C057AG30

2C057AG32

2C057AG33

2C057AN01

2C057AN05

2C057AP25

2C057AP31

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】 絞り路の通流抵抗について設定値からのズレを抑制すると共に、使用プレート数を削減して製造コストが高くなることを抑制できる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドが備える個別流路は、上流端が供給マニホールドに接続される供給絞り路、および、下流端が帰還マニホールドに接続される帰還絞り路を有し、１枚の帰還絞りプレートと、少なくとも１枚の帰還マニホールドプレートとを含み、帰還絞りプレートには帰還絞り路を構成する貫通溝が形成され、帰還マニホールドプレートには帰還マニホールドを構成する貫通口が形成されており、帰還絞りプレートと帰還マニホールドプレートとが直接貼りあわされて貫通溝と貫通口とが連通している。
【選択図】 図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のプレートが積層された積層体を成し、
前記積層体の内部に、ノズルを有する複数の個別流路と、前記個別流路に液体を供給する供給マニホールドと、前記ノズルから吐出されなかった液体が前記個別流路から戻される帰還マニホールドと、を備え、
前記個別流路は、上流端が前記供給マニホールドに接続される供給絞り路、および、下流端が前記帰還マニホールドに接続される帰還絞り路を有し、
前記複数のプレートは、１枚の帰還絞りプレートと、少なくとも１枚の帰還マニホールドプレートとを含み、
前記帰還絞りプレートには前記帰還絞り路を構成する貫通溝が形成され、前記帰還マニホールドプレートには前記帰還マニホールドを構成する貫通口が形成されており、
前記帰還絞りプレートと前記帰還マニホールドプレートとが直接貼りあわされて前記貫通溝と前記貫通口とが連通している、
液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記複数のプレートは、１枚の供給絞りプレートと、少なくとも１枚の供給マニホールドプレートとを含み、
前記供給絞りプレートには前記供給絞り路を構成する貫通溝が形成され、前記供給マニホールドプレートには前記供給マニホールドを構成する貫通口が形成されており、
前記供給絞りプレートと前記供給マニホールドプレートとが直接貼りあわされて前記貫通溝と前記貫通口とが連通している、
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記帰還絞り路は、上流端および下流端に、前記上流端と前記下流端との間の中間部分よりも前記プレートの積層方向から見て流路幅の寸法が大きい拡大部を有し、前記帰還絞り路は前記拡大部にて前記帰還マニホールドと連通している、
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記帰還絞りプレートの一方の面および他方の面における前記帰還絞り路の前記中間部分に対応する開口の全面が、前記帰還絞りプレートの前記一方の面および前記他方の面に貼り合わせられる前記プレートにより塞がれている、
請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記帰還絞り路が有する前記拡大部は、前記帰還絞りプレートを貫通して形成されている、
請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記帰還絞りプレートおよび前記供給絞りプレートのうち少なくとも一方は、厚み寸法が５０μｍ以下である、
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記帰還マニホールドは第１方向に沿って長寸を成し、前記帰還絞り路は前記第１方向に直交する第２方向に対して傾斜して延びている、
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記供給マニホールドは第１方向に沿って長寸を成し、前記供給絞り路は前記第１方向に直交する第２方向に対して傾斜して延びている、
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記帰還絞りプレートの一方の面および他方の面に貼り合わせられる前記プレートにおいて、前記帰還絞り路が有する前記貫通溝の開口に対応する部分には、前記開口を幅方向に横断するような接着剤がない、
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記供給絞りプレートの一方の面および他方の面に貼り合わせられる前記プレートにおいて、前記供給絞り路が有する前記貫通溝の開口に対応する部分には、前記開口を幅方向に横断するような接着剤がない、
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、インクなどの液体を媒体に向けて吐出する液体吐出ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出ヘッドとして、内部の液体を循環させる構成を備えたものが知られている。例えば特許文献１，２の液体吐出ヘッドは、液体を循環させる構成として、供給マニホールド、供給絞り路、ノズル、帰還絞り路、および帰還マニホールドを含む流路を備えている。このうち供給絞り路および帰還絞り路は、流路の他の部分よりも断面積が小さくて通流抵抗が高くなっている。従って、この通流抵抗を適宜設定することで、ノズル近傍の液体を所望の圧力とすることができ、液体の吐出の安定化を図ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２３－０１４７４４号公報

【特許文献2】特開２０２１－０８８１１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の場合、供給絞り路（４２）および帰還絞り路（４５）は何れも、プレート（２９，２１）に形成された有底の溝により実現されている。一般的に、特許文献１のように複数のプレートの積層体から成る液体吐出ヘッドの場合、各プレートにおける溝の形成にはエッチングが用いられ、特許文献１の絞り路のように有底の溝にはハーフエッチングが用いられる。しかしながら、ハーフエッチングは、エッチング条件のぶれが、溝の幅方向および深さ方向の誤差を招来する。従って、絞り路における通流抵抗が設定値から大きく異なってしまう可能性がある。

【0005】

また、特許文献２の場合、供給絞り路はハーフエッチングにより形成されているため、特許文献１と同様の課題が生じる。一方、帰還絞り路はプレートを貫通するフルエッチングで形成されているが、その場合、帰還絞り路の開口面を覆うべく、帰還絞り路と帰還マニホールドとの間に１枚のプレート（１０９）が介在する構成となっている。そのため、液体吐出ヘッドの製造コストが高くなってしまう。

【0006】

そこで本開示は、絞り路の通流抵抗について設定値からのズレを抑制すると共に、使用プレート数を削減して製造コストが高くなることを抑制できる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の第１の態様に係る液体吐出ヘッドは、複数のプレートが積層された積層体を成し、前記積層体の内部に、ノズルを有する複数の個別流路と、前記個別流路に液体を供給する供給マニホールドと、前記ノズルから吐出されなかった液体が前記個別流路から戻される帰還マニホールドと、を備え、前記個別流路は、上流端が前記供給マニホールドに接続される供給絞り路、および、下流端が前記帰還マニホールドに接続される帰還絞り路を有し、前記複数のプレートは、１枚の帰還絞りプレートと、少なくとも１枚の帰還マニホールドプレートとを含み、前記帰還絞りプレートには前記帰還絞り路を構成する貫通溝が形成され、前記帰還マニホールドプレートには前記帰還マニホールドを構成する貫通口が形成されており、前記帰還絞りプレートと前記帰還マニホールドプレートとが直接貼りあわされて前記貫通溝と前記貫通口とが連通している。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、帰還絞り路を例えばフルエッチングにより貫通溝として形成するので、少なくとも深さ方向の寸法誤差が生じず、設定値に対する通流抵抗の誤差を抑制することができる。また、帰還絞りプレートと帰還マニホールドプレートとを直接貼り合わせるため、帰還絞り路と帰還マニホールドとの間に別のプレートが介在することがなく、プレート数を少なくして製造コストの向上を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本開示に係る液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置の概略構成を示す平面図である。

【図2】図２は、液体吐出ヘッドの断面図である。

【図3】図３は、帰還絞り路の詳細構成を説明するための模式図である。

【図4】図４は、帰還絞り路の変形例を説明するための図面である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本開示に係る実施の形態を、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下では、全ての図面を通じて同一又は対応する要素には同一の参照符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、本開示は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、および、変更が可能である。

【0011】

（液体吐出装置の構成）
図１は、本開示に係る液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１の平面図である。この液体吐出装置１は、例えばインク等の液体を液体吐出ヘッド１０から吐出して、被記録媒体上に文字や画像などを形成（印刷）するものである。以下では、このような液体吐出装置１として、インクジェットプリンタを例にした場合について述べるが、液体吐出装置１の取りうる態様はこれに限定されない。

【0012】

図１に示すように、液体吐出装置１はラインヘッド方式を採用しており、搬送方向に搬送される用紙等の被記録媒体Ｍ上に、固定的に設けられたヘッドユニット１１からインクを吐出して画像を形成する。このような液体吐出装置１は、ヘッドユニット１１に加え、プラテン１２、搬送装置１３、タンク１４、および、制御装置１５を備えている。なお、液体吐出装置１は、ラインヘッド方式ではなくシリアルヘッド方式を採用してもよい。

【0013】

ヘッドユニット１１は、搬送方向に直交する直交方向に長寸のヘッドホルダ２０を有し、このヘッドホルダ２０に複数の液体吐出ヘッド１０が搭載されている。例えば、複数の液体吐出ヘッド１０は、１つずつ、搬送方向の上流側と下流側とにずらして、直交方向に並べられており、換言すれば、いわゆる千鳥状に配置されている。

【0014】

プラテン１２は、例えば平坦な矩形の板状部材であり、ヘッドユニット１１に対向して位置している。また、プラテン１２はヘッドユニット１１よりも直交方向の寸法が長く、ヘッドユニット１１からの吐出インクの全着弾領域はプラテン１２の上面領域内に位置している。このプラテン１２は、所定の搬送方向に沿って搬送されてくる被記録媒体Ｍをその上面で支持する。これにより、ヘッドユニット１１と被記録媒体Ｍとの距離が規定される。

【0015】

搬送装置１３は、２対の搬送ローラ対２１，２２および搬送モータを有している。一方の搬送ローラ対２１は、プラテン１２に対して搬送方向の上流側に位置し、上下に対を成す駆動ローラおよび従動ローラで構成されている。駆動ローラは搬送モータにより駆動され、従動ローラとの間で被記録媒体Ｍを挟持すると共に、プラテン１２上へ向かって被記録媒体Ｍを搬送方向の下流側へ搬送する。他方の搬送ローラ対２２は、プラテン１２に対して搬送方向の下流側に位置し、上下に対を成す駆動ローラおよび従動ローラで構成されている。駆動ローラは搬送モータにより駆動され、従動ローラとの間で被記録媒体Ｍを挟持すると共に、プラテン１２上から被記録媒体Ｍを搬送方向の下流側へ搬送する。

【0016】

タンク１４は、インクの種類の応じた数が備えられている。例えば、液体吐出装置１がカラー画像を形成するプリンタである場合、シアン、マゼンダ、イエロー、および、ブラックの各色のインクを貯留する計４以上のタンクが備えられている。各タンク１４は供給チューブ２３によりヘッドユニット１１に接続されており、供給チューブ２３を介してタンク１４から液体吐出ヘッド１０へインクが送られる。

【0017】

制御装置１５は、液体吐出装置１が備える各部の駆動要素の動作を制御する。例えば、制御装置１５は、外部から印刷ジョブの実行指令を受け付けると、搬送装置１３によってプラテン１２上に被記録媒体Ｍを搬送する。被記録媒体Ｍがプラテン１２上の所定位置に到達すると、ジョブ中の画像データに基づいて液体吐出ヘッド１０からインクを吐出し、被記録媒体Ｍ上に画像を形成する。画像が形成された被記録媒体Ｍは、搬送装置１３により搬送されて、液体吐出装置１から排出される。

【0018】

（液体吐出ヘッドの構成）
図２は、液体吐出ヘッド１０の構成を示す断面図である液体吐出ヘッド１０は、流路部３０とこれに積層された駆動部５０とを有している。以下で説明するように、流路部３０には、長寸の供給マニホールド３４および帰還マニホールド３６が形成され、両者間が個別流路４０によって接続されている。なお、以下の説明では、マニホールド３４，３６が延びる方向を第１方向という。また、第１方向に直交する方向を第２方向、第１方向および第２方向の両方に直交する方向を第３方向といい、第３方向は、流路部３０および駆動部５０の積層方向に一致する。そして、第３方向において、流路部３０に対して駆動部５０が位置する方向を上方、その反対を下方とする。

【0019】

流路部３０は、複数のプレート３ａ～３ｊがこの順で上から下へ第３方向に積層された積層体を成している。このうちプレート３ａは、駆動部５０の下面に接続される圧力室プレートを成し、圧力室３１を形成する貫通口が形成されている。この貫通口は、プレート３ａを上下方向からエッチングするフルエッチングにより形成している。

【0020】

プレート３ｂは供給絞りプレートを成し、供給絞り路３２を形成する貫通溝が形成されている。また、このプレート３ｂには、ディセンダ３３を形成する貫通孔も形成されている。これらの貫通溝および貫通孔は、プレート３ｂを上下方向からエッチングするフルエッチングにより形成している。

【0021】

プレート３ｃ，３ｄは供給マニホールドプレートを成し、供給マニホールド３４を形成する貫通口が形成されている。この貫通口は、第１方向に長寸の大開口を成している。また、これらのプレート３ｃ，３ｄには、ディセンダ３３を形成する貫通孔も形成されている。これらの貫通口および貫通孔は、プレート３ｃ，３ｄを上下方向からエッチングするフルエッチングにより形成している。

【0022】

プレート３ｅ，３ｆはダンパプレートを成している。プレート３ｅにおいて、第３方向から見て供給マニホールド３４に対応する部分は、下面側がハーフエッチングされることでその他の部分よりも肉厚寸法が小さい薄肉部分となっており、可撓性が高くなっている。また、プレート３ｆにおいて、第３方向から見て後述の帰還マニホールド３６に対応する部分は、下面側がハーフエッチングされることでその他の部分よりも肉厚寸法が小さい薄肉部分となっており、可撓性が高くなっている。なお、プレート３ｅの薄肉部分とプレート３ｆの薄肉部分との間の空間は、ダンパ空間３５を成している。また、これらのプレート３ｅ，３ｆには、ディセンダ３３を形成する貫通孔も形成されている。これらの貫通孔は、プレート３ｅ，３ｆを上下方向からエッチングするフルエッチングにより形成している。一方で、上記薄肉部分は、プレート３ｅ，３ｆを下方から途中まで（貫通させないように）エッチングするハーフエッチングにより形成している。

【0023】

プレート３ｇ，３ｈは帰還マニホールドプレートを成し、帰還マニホールド３６を形成する貫通口が形成されている。この貫通口は、供給マニホールド３４を形成する貫通口と同様に、第１方向に長寸の大開口を成している。また、これらのプレート３ｇ，３ｈには、ディセンダ３３を形成する貫通孔も形成されている。これらの貫通口および貫通孔は、プレート３ｇ，３ｈを上下方向からエッチングするフルエッチングにより形成している。

【0024】

プレート３ｉは帰還絞りプレートを成し、帰還絞り路３７を形成する貫通溝が形成されている。また、このプレート３ｉには、ディセンダ３３を形成する貫通孔も形成されている。これらの貫通溝および貫通孔は、プレート３ｉを上下方向からエッチングするフルエッチングにより形成している。

【0025】

プレート３ｊはノズルプレートを成し、ノズル３８を形成する貫通孔が形成されている。この貫通孔は、プレート３ｊを上方から下方へ向けてエッチングするフルエッチングにより形成している。

【0026】

流路部３０は、上記のようなプレート３ａ～３ｊが積層されて構成されている。すなわち、隣接するプレート同士は接着剤により互いに直接的に接続されている。例えば、プレート３ｂ（供給絞りプレート）の下面と、プレート３ｃ（上側に供給マニホールドプレート）の上面とは、接着剤を介して直接的に貼りあわされている。これにより、供給絞り路３２を形成する貫通溝と、供給マニホールド３４を形成する貫通口とが連通している。同様に、プレート３ｈ（下側に帰還マニホールドプレート）の下面と、プレート３ｉ（帰還絞りプレート）の上面とは、接着剤を介して直接的に貼りあわされている。これにより、帰還絞り路３７を形成する貫通溝と、帰還マニホールド３６を形成する貫通口とが連通している。

【0027】

流路部３０を成す積層体の内部には、供給マニホールド３４、帰還マニホールド３６、および、個別流路４０が形成される。個別流路４０は、インクの流れる方向に沿って、供給絞り路３２、圧力室３１、ディセンダ３３、ノズル３８、および、帰還絞り路３７の各部分流路を有し、供給マニホールド３４と帰還マニホールド３６との間をつないでいる。

【0028】

すなわち、供給絞り路３２は、その上流端が供給マニホールド３４に接続され、下流端が圧力室３１の上流端に接続される。圧力室３１の下流端は第１方向へ延びるディセンダ３３の上流端に接続され、ディセンダ３３の下流端はノズル３８に接続されると共に、帰還絞り路３７の上流端にも接続される。そして、帰還絞り路３７の下流端は帰還マニホールド３６に接続される。そして、供給マニホールド３４内のインクは、供給絞り路３２から個別流路４０へインクが供給され、個別流路４０内のインクはノズル３８から吐出される。また、ノズル３８から吐出されなかったインクは、帰還絞り路３７から帰還マニホールド３６へ戻される。

【0029】

なお、供給マニホールド３４および帰還マニホールド３６に対し、個別流路４０は複数設けられている。そして、各個別流路４０が有するノズル３８は、供給マニホールド３４および帰還マニホールド３６が延びる第１方向に沿って列状に配置されてノズル列を形成している。本実施の形態では、このノズル列が延びる第１方向は、図１における直交方向と一致している。

【0030】

また、上述した各プレート３ａ～３ｊの素材および厚み寸法は特に限定されない。例えば本実施の形態では、各プレート３ａ～３ｊの素材として、アルミニウム合金やステンレス鋼など、ウェットエッチングにより開口や凹部を形成可能なものを用いることができる。また、厚み寸法も適宜設定可能であって、例えば、供給絞りプレートを成すプレート３ｂおよび帰還絞りプレートを成すプレート３ｉのうち少なくとも一方は、５０μｍ以下の厚みとすることができる。他のプレートについても、必要とされる剛性や形成する開口または凹部の容量等を考慮して、適宜寸法を選択できる。

【0031】

一方、駆動部５０は、流路部３０の圧力室３１内のインクに、ノズル３８から吐出するための吐出圧力を付与するアクチュエータである。この駆動部５０は、図２に示すように、圧電セラミックス層５ａ、共通電極５ｂ、圧電セラミックス層５ｃ、および、個別電極５ｄが、この順で第３方向の下方から上方へ積層された構成となっている。このうち最も下に位置する圧電セラミックス層５ａは、流路部３０のプレート３ａの上面に接続されている。

【0032】

圧電セラミックス層５ａ、共通電極５ｂ、および、圧電セラミックス層５ｂは、流路部３０の上面における全ての圧力室３１を含む範囲をまとめて覆う面積を有している。一方、個別電極５ｄは、個別流路４０ごとに設けられており、より具体的には、各個別流路４０を構成する圧力室３１に対応する位置に配置されている。

【0033】

このような駆動部５０では、個々の圧力室３１の上方に位置する部分、すなわち、圧電セラミックス層５ａ、共通電極５ｂ、および、圧電セラミックス層５ｂの各部分、並びに、対応する１つの個別電極５ｄによって、変位部５１が形成されている。そして、共通電極５ｂと個別電極５ｄとの間に所定の駆動電圧が付与されると、変位部５１内の圧電セラミックス層５ａ，５ｃが変形して、圧力室３１内のインクに吐出圧力が付与される。

【0034】

（帰還絞り路の詳細構成）
図３は、帰還絞り路３７の詳細構成を説明するための模式図であり、紙面の上から順にプレート３ｈ，３ｉ，３ｊの互いに対応する部分領域を、第３方向から見たときの構成を示している。

【0035】

図３に示すように、帰還マニホールドプレートを成すプレート３ｈには、ディセンダ３３を成す貫通孔である開口３３ｈと、帰還マニホールド３６を成す貫通口である開口３６ｈとが形成されている。帰還絞りプレートを成すプレート３ｉには、ディセンダ３３を成す貫通孔である開口３３ｉと、帰還絞り路３７を成す貫通溝である開口３７ｉとが形成されている。また、ノズルプレートを成すプレート３ｊには、ノズル３８を成す貫通孔である開口３８ｊが形成されている。なお、図３では、プレート３ｈ，３ｊに、プレート３ｈ～３ｊが貼り合わせられたときの帰還絞り路３７の位置を二点鎖線で示している。

【0036】

ここで、帰還絞り路３７を成す開口３７ｉは、帰還マニホールド３６の延びる第１方向に直交する第２方向に沿ってほぼ平行に延びている。そして、図３に示すように、帰還絞り路３７は、インクの流れる方向の上流端部分３７ａと、下流端部分３７ｃと、これらの間の中間部分３７ｂとを有している。このうち上流端部分３７ａおよび下流端部分３７ｃは、積層方向である第３方向に沿って見たときに、中間部分３７ｂよりも流路幅の寸法（すなわち、帰還絞り路３７の延びる方向に直交する方向の寸法）が大きくなっている。

【0037】

このように、帰還絞り路３７において、上流端部分３７ａおよび下流端部分３７ｃは流路断面積が大きい拡大部を成し、中間部分３７ｂは上流端部分３７ａおよび下流端部分３７ｃより流路断面積が小さい狭小部を成している。なお、これらの拡大部および狭小部は、フルエッチングによりプレート３ｉを貫通して形成されている。

【0038】

そして、帰還絞り路３７は、一方の拡大部である上流端部分３７ａを介してディセンダ３３と連通する。すなわち、プレート３ｉにおいて、ディセンダ３３を成す開口３３ｉと、帰還絞り路３７を成す開口３７ｉとは、帰還絞り路３７の拡大部である上流端部分３７ａを介して接続されている。なお、図３の例では、上流端部分３７ａとディセンダ３３を成す開口３３ｉとは、第１方向の寸法が同一になっている。また、帰還絞り路３７は、他方の拡大部を成す下流側端部３７ｃにおいて帰還マニホールド３６と連通する。すなわち、プレート３ｈ，３ｉが貼り合わされると、帰還絞り路３７の下流端部分３７ｃの少なくとも一部が、帰還マニホールド３６を成す開口３６ｈの範囲に重複する。

【0039】

また、帰還絞り路３７の狭小部である中間部分３７ｂの上下の開口は、プレート３ｉに貼り合わせられるプレート３ｈ，３ｊにより、その開口の全面が塞がれる。具体的に説明すると、図３のプレート３ｈに二点鎖線で示すように、プレート３ｈ，３ｉを貼り合わせたとき、プレート３ｈにおいて中間部分３７ｂに対応する位置には開口が形成されておらず、プレート３ｈの下面により、中間部分３７ｂの上側の開口は全面的に塞がれる。

【0040】

同様に、図３のプレート３ｊに二点鎖線で示すように、プレート３ｉ，３ｊを貼り合わせたとき、プレート３ｊにおいて中間部分３７ｂに対応する位置には開口が形成されていない。従って、プレート３ｊの上面により、中間部分３７ｂの下側の開口は全面的に塞がれる。

【0041】

（作用および効果）
以上に説明したように、液体吐出ヘッド１０は、帰還絞りプレートを成す１枚のプレート３ｉと、帰還マニホールドプレートを成す少なくとも１枚（ここでは、２枚）のプレート３ｇ，３ｈとを含む。そして、プレート３ｉには帰還絞り路３７を構成する貫通溝（開口３７ｉ）が形成され、プレート３ｈには帰還マニホールド３６を構成する貫通口（３６ｈ）が形成されており、プレート３ｉとプレート３ｈとが直接貼りあわされて貫通溝と前記貫通口とが連通している。

【0042】

この場合、帰還絞り路３７を例えばフルエッチングにより貫通溝として形成するので、少なくとも深さ方向の寸法誤差が生じず、設定値に対する通流抵抗の誤差を抑制することができる。また、プレート３ｈ，３ｉを直接貼り合わせるため、帰還絞り路３７と帰還マニホールド３６との間に別のプレートが介在しない。従って、プレート数を少なくして製造コストの向上を抑制することができる。

【0043】

上記では帰還絞り路３７について詳述したが、絞り路とマニホールドとの連通態様は、供給絞り路３２についても同様に構成されている。すなわち、上述したように液体吐出ヘッド１０の流路部３０は、供給絞りプレート３ｂを成す１枚の供給絞りプレートと、供給マニホールドプレートを成す少なくとも１枚（ここでは、２枚）のプレート３ｃ，３ｄとを含み、プレート３ｂには供給絞り路３２を構成する貫通溝が形成され、プレート３ｃ，３ｄには供給マニホールド３４を構成する貫通口が形成されている。そして、プレート３ｂ，３ｃを直接貼りあわせて貫通溝と貫通口とが連通されている。

【0044】

従って、供給絞り路３２をフルエッチングにより貫通溝として形成することで、少なくとも深さ方向の寸法誤差が生じず、設定値に対する通流抵抗の誤差を抑制することができる。また、プレート３ｂ，３ｃを直接貼り合わせるため、供給絞り路３２と供給マニホールド３４との間に別のプレートが介在しない。従って、プレート数を少なくして製造コストの向上を抑制することができる。

【0045】

なお、絞り路とマニホールドとの連通態様について、供給側と帰還側とを同様の構成にした場合を説明したが、これに限られない。例えば、供給側のみ上記態様を採用してもよいし、帰還側のみ上記態様を採用してもよい。

【0046】

また、帰還絞り路３７は、狭小部および拡大部を有し、拡大部を成す下流端部分３７ｃにて帰還マニホールド３６と連通している。これにより、プレート３ｈ，３ｉを貼り合わせたときに位置ずれが生じても、これが帰還絞り路の流路抵抗（絞り抵抗）に与える影響を抑制できる。

【0047】

また、帰還絞り路３７において狭小部を成す中間部分３７ｂは、上側の開口および下側の開口の何れもが、上下のプレート３ｈ，３ｊによって全面的に塞がれている。これにより、プレート３ｈ～３ｊを貼り合わせたときに位置ずれが生じても、帰還絞り路３７の狭小部（中間部分３７ｂ）の流路断面積が変化しないため、安定した絞り抵抗値を実現できる。

【0048】

また、本実施の形態では、供給絞りプレートを成すプレート３ｂおよび帰還絞りプレートを成すプレート３ｉは、何れも厚み寸法が５０μｍ以下となっている。これにより、フルエッチングで各絞り路３２，３７を形成するにあたり、幅寸法の小さい貫通溝を形成することができ、大きな絞り抵抗を有する絞り路３２，３７を容易に作成できる。

【0049】

なお、本実施の形態に係る液体吐出ヘッド１０では、帰還絞りプレートを成すプレート３ｉの上下の面に貼り合わせられるプレート３ｈ，３ｊにおいて、帰還絞り路３７を形成する開口３７ｉに対応する部分には、この開口３７ｉを幅方向に横断するような接着剤がない。同様に、供給絞りプレートを成すプレート３ｂの上下の面に貼り合わせられるプレート３ａ，３ｃにおいて、供給絞り路３２の開口に対応する部分には、この開口を幅方向に横断するような接着剤がない。

【0050】

これにより、各絞り路３２，３７の流路断面積が、各絞り路３２，３７にはみ出してきたプレート間の接着用の接着剤により変化してしまうのを抑制できる。その結果、各絞り路３２，３７において、安定した絞り抵抗値を実現することができる。

【0051】

（変形例）
図４は、帰還絞り路の変形例を説明するための図面であり、帰還絞りプレートおよびその直上の帰還マニホールドプレートを示している。ここで、帰還マニホールドプレートを成すプレート３ｈは、図３に示したプレート３ｈと同一である。一方、図４に示す帰還絞りプレートを成すプレート３ｉ’は、図３のプレート３ｉとは異なっている。

【0052】

すなわち、図４のプレート３ｉ’の場合、帰還絞り路３７’は、帰還マニホールド３６が延びる第１方向に直交する第２方向に対し、傾斜して延びている。具体的には、帰還絞り路３７’を成す貫通溝である開口３７ｉ’は、拡大部を成す上流端部分３７ａ’および下流端部分３７ｃ’と、その間に位置して狭小部を成す中間部分３７ｂ’とを有している。そして、上流端部分３７ａ’と下流端部分３７ｃ’とは第１方向に離れて位置し、その間を、第１方向および第２方向の何れに対しても傾斜する傾斜方向へ延びる中間部分３７ｂ’が接続している。

【0053】

なお、上流端部分３７ａ’とディセンダ３３との連通態様、および、下流端部分３７ｃ’と帰還マニホールド３６との連通態様は、図３で説明したのと同じである。

【0054】

このような変形例に係る帰還絞り路３７’の場合、狭小部を成す中間部分３７ｂ’が傾斜方向に延びている。これにより、図３の帰還絞り路３７の中間部分３７に比べて、中間部分３７ｂ’は長寸になる。その結果、大きい絞り抵抗値を安定的に実現することができる。また、ディセンダ３３と帰還マニホールド３６との第２方向の距離が短い場合であっても、帰還絞り路３７’を第２方向に対して斜めに延ばした構成とすることで、帰還絞り路３７’を長寸にして大きな流路抵抗を得ることができる。

【0055】

なお、上記では帰還絞り路３７の変形例として帰還絞り路３７’について説明したが、供給絞り路３２についても、中間部分を傾斜方向の延ばした同様の態様の変形例を採用することができる。

【産業上の利用可能性】

【0056】

本開示は、インクなどの液体を媒体に向けて吐出する液体吐出ヘッドに適用することができる。

【符号の説明】

【0057】

１ 液体吐出装置
３ａ～３ｊ プレート
１０ 液体吐出ヘッド
３２ 供給絞り路
３４ 供給マニホールド
３６ 帰還マニホールド
３７ 帰還絞り路
３７ａ 上流端部分（拡大部）
３７ｂ 中間部分
３７ｃ 下流端部分（拡大部）
３８ ノズル
４０ 個別流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】