(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024134406
(43)【公開日】2024-10-03
(54)【発明の名称】磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置
(51)【国際特許分類】
G01N 27/72 20060101AFI20240926BHJP
【ＦＩ】
G01N27/72
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023044692
(22)【出願日】2023-03-20
(71)【出願人】
【識別番号】000000099
【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩ
(71)【出願人】
【識別番号】304028726
【氏名又は名称】国立大学法人 大分大学
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100170818
【弁理士】
【氏名又は名称】小松 秀輝
(72)【発明者】
【氏名】酒井 泰二
(72)【発明者】
【氏名】野瀬 裕之
(72)【発明者】
【氏名】中居 真之介
(72)【発明者】
【氏名】後藤 雄治
【テーマコード（参考）】
2G053
【Ｆターム（参考）】
2G053AA19
2G053AA20
2G053AB22
2G053BA03
2G053BC14
2G053CA05
2G053CB24
2G053CC04
(57)【要約】
【課題】試験体が使用に適するか否かを簡便に検査すること。
【解決手段】磁気特性検査方法は、磁気特性が許容範囲内である基準体９１Ａの基準体端面９１ｔに、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体９２の試験体端面９２ｔを所定の隙間Ｃをもって対面させる実配置ステップＳ１４と、基準体９１Ａ及び試験体９２に、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔと試験体９２の試験体端面９２ｔとを通る磁束Ｍ１を磁束印加ユニット２から与える実印加ステップＳ１５と、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップＳ１６と、を有する。
【選択図】図４
【解決手段】磁気特性検査方法は、磁気特性が許容範囲内である基準体９１Ａの基準体端面９１ｔに、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体９２の試験体端面９２ｔを所定の隙間Ｃをもって対面させる実配置ステップＳ１４と、基準体９１Ａ及び試験体９２に、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔと試験体９２の試験体端面９２ｔとを通る磁束Ｍ１を磁束印加ユニット２から与える実印加ステップＳ１５と、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップＳ１６と、を有する。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
磁気特性が許容範囲内である第１基準体の端面に、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体の端面を所定の隙間をもって対面させる実配置ステップと、
前記第１基準体及び前記試験体に、前記第１基準体の端面と前記試験体の端面とを通る磁束を磁束印加ユニットから与える実印加ステップと、
前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップと、を有する、磁気特性検査方法。
前記第１基準体及び前記試験体に、前記第１基準体の端面と前記試験体の端面とを通る磁束を磁束印加ユニットから与える実印加ステップと、
前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップと、を有する、磁気特性検査方法。
【請求項2】
前記第１基準体の端面に、磁気特性が許容範囲内である前記第１基準体とは別の第２基準体の端面を所定の隙間をもって対面させる予備配置ステップと、
前記第１基準体及び前記第２基準体に、前記第１基準体の端面と前記第２基準体の端面とを通る磁束を前記磁束印加ユニットから与える予備印加ステップと、
前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する予備漏れ磁束密度を得る予備計測ステップと、
前記実漏れ磁束密度と前記予備漏れ磁束密度との差分が、閾値より小さい場合に、前記試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有する、請求項１に記載の磁気特性検査方法。
前記第１基準体及び前記第２基準体に、前記第１基準体の端面と前記第２基準体の端面とを通る磁束を前記磁束印加ユニットから与える予備印加ステップと、
前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する予備漏れ磁束密度を得る予備計測ステップと、
前記実漏れ磁束密度と前記予備漏れ磁束密度との差分が、閾値より小さい場合に、前記試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有する、請求項１に記載の磁気特性検査方法。
【請求項3】
前記磁束印加ユニットは、第１起磁力発生部と第２起磁力発生部とを有し、
前記実印加ステップ及び前記予備印加ステップにおいて、前記第１起磁力発生部が発生する起磁力は、前記第２起磁力発生部が発生する起磁力と、等しい、請求項２に記載の磁気特性検査方法。
前記実印加ステップ及び前記予備印加ステップにおいて、前記第１起磁力発生部が発生する起磁力は、前記第２起磁力発生部が発生する起磁力と、等しい、請求項２に記載の磁気特性検査方法。
【請求項4】
前記磁束印加ユニットは、第１起磁力発生部と第２起磁力発生部とを有し、
前記実印加ステップ及び前記予備印加ステップにおいて、前記第１起磁力発生部が発生する起磁力は、前記第２起磁力発生部が発生する起磁力と、異なる、請求項２に記載の磁気特性検査方法。
前記実印加ステップ及び前記予備印加ステップにおいて、前記第１起磁力発生部が発生する起磁力は、前記第２起磁力発生部が発生する起磁力と、異なる、請求項２に記載の磁気特性検査方法。
【請求項5】
前記磁束印加ユニットは、第１起磁力発生部と第２起磁力発生部とを有し、
前記実印加ステップは、
前記第１起磁力発生部から第１起磁力を発生させるとともに、前記第２起磁力発生部から第２起磁力を発生させる第１印加ステップと、
前記第１起磁力発生部から前記第２起磁力を発生させるとともに、前記第２起磁力発生部から前記第１起磁力を発生させる第２印加ステップと、を含み、
前記実計測ステップは、
前記第１印加ステップを実行した後に、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップと、
前記第２印加ステップを実行した後に、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップと、を含み、
前記第１実漏れ磁束密度と前記第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、前記試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有する、請求項１に記載の磁気特性検査方法。
前記実印加ステップは、
前記第１起磁力発生部から第１起磁力を発生させるとともに、前記第２起磁力発生部から第２起磁力を発生させる第１印加ステップと、
前記第１起磁力発生部から前記第２起磁力を発生させるとともに、前記第２起磁力発生部から前記第１起磁力を発生させる第２印加ステップと、を含み、
前記実計測ステップは、
前記第１印加ステップを実行した後に、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップと、
前記第２印加ステップを実行した後に、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップと、を含み、
前記第１実漏れ磁束密度と前記第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、前記試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有する、請求項１に記載の磁気特性検査方法。
【請求項6】
前記実印加ステップは、
前記基準体及び前記試験体に対する前記磁束印加ユニットの位置が第１位置である状態で、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップと、
前記基準体及び前記試験体に対する前記磁束印加ユニットの位置が前記第１位置とは異なる第２位置である状態で、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップと、
前記第１実漏れ磁束密度と前記第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、前記試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有する、請求項１に記載の磁気特性検査方法。
前記基準体及び前記試験体に対する前記磁束印加ユニットの位置が第１位置である状態で、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップと、
前記基準体及び前記試験体に対する前記磁束印加ユニットの位置が前記第１位置とは異なる第２位置である状態で、前記隙間から漏れる漏れ磁束に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップと、
前記第１実漏れ磁束密度と前記第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、前記試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有する、請求項１に記載の磁気特性検査方法。
【請求項7】
磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体の主面に対面する第１磁束付与部と、
磁気特性が許容範囲内である第１基準体であって、前記第１基準体の端面が前記試験体の端面に対して所定の隙間をもって配置される前記第１基準体に対面する第２磁束付与部と、
前記第１磁束付与部及び前記第２磁束付与部を通過する磁束を発生させる起磁力発生部と、
前記第１磁束付与部と前記第２磁束付与部との間に配置されて、前記隙間から漏れる漏れ磁束を計測する漏れ磁束計測部と、を備える、磁気特性検査装置。
磁気特性が許容範囲内である第１基準体であって、前記第１基準体の端面が前記試験体の端面に対して所定の隙間をもって配置される前記第１基準体に対面する第２磁束付与部と、
前記第１磁束付与部及び前記第２磁束付与部を通過する磁束を発生させる起磁力発生部と、
前記第１磁束付与部と前記第２磁束付与部との間に配置されて、前記隙間から漏れる漏れ磁束を計測する漏れ磁束計測部と、を備える、磁気特性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
材料特性の一例として、磁気特性が例示できる。非特許文献１～３は、材料の磁気特性を評価する手法を開示する。例えば、非特許文献１、２は、いわゆるＫｅｒｒ効果を利用した局所的な磁気特性の評価手法を提案する。また、非特許文献３は、放射光光電子顕微鏡に関する技術を開示する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0003】
【非特許文献1】中川剛志、横山利彦、“X線磁気円二色性、磁気光学Kerr効果による磁性超薄膜のスピン再配列相転移”、表面科学 特集「放射光表面科学部特集」、日本、日本表面真空学会、２００６年、Vol. 27、No. 5、p.272―277。
【非特許文献2】竹澤昌晃、”磁気光学顕微鏡とその応用”、IEEJ Trans. FM、日本、The Institute of Electrical and Electronics Engineers of Japan、２００９年、Vol. 129、No. 9、p.565―568。
【非特許文献3】小野寛太、尾嶋正治、”放射光光電子顕微鏡を用いたナノ構造のイメージング”、日本放射光学会誌、日本、日本放射光学、２００５年、Vol. 18、No. 3、p.176―185。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
金属製の部品を加工した結果、加工後の金属部品における磁気特性が変化することがある。磁気特性の態様によっては、加工後の金属部品は使用に適さないこともあり得る。そこで、非特許文献１～３が開示する手法を用いて、金属材料の磁気特性を評価することも考えられる。しかし、これらの手法は、製造現場では利用し難い。そこで、製造現場において、加工後の金属部品が使用に適するか否かを簡便に検査できる技術が望まれていた。
【0005】
そこで、本発明は、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一形態である磁気特性検査方法は、磁気特性が許容範囲内である第１基準体の端面に、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体の端面を所定の隙間をもって対面させる実配置ステップと、第１基準体及び試験体に、第１基準体の端面と試験体の端面とを通る磁束を磁束印加ユニットから与える実印加ステップと、隙間から漏れる漏れ磁束に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップと、を有する。
【0007】
この検査方法では、基準体と試験体との隙間から漏れる漏れ磁束を用いて、試験体の磁気特性を評価する。従って、基準体と試験体との隙間から漏れる漏れ磁束の計測によって、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0008】
一形態の磁気特性検査方法は、第１基準体の端面に、磁気特性が許容範囲内である第１基準体とは別の第２基準体の端面を所定の隙間をもって対面させる予備配置ステップと、第１基準体及び第２基準体に、第１基準体の端面と第２基準体の端面とを通る磁束を磁束印加ユニットから与える予備印加ステップと、隙間から漏れる漏れ磁束に関する予備漏れ磁束密度を得る予備計測ステップと、実漏れ磁束密度と予備漏れ磁束密度との差分が、閾値より小さい場合に、試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有してもよい。この方法によれば、実漏れ磁束密度と予備漏れ磁束密度との比較によって、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0009】
一形態の磁気特性検査方法において、磁束印加ユニットは、第１起磁力発生部と第２起磁力発生部とを有し、実印加ステップ及び予備印加ステップにおいて、第１起磁力発生部が発生する起磁力は、第２起磁力発生部が発生する起磁力と、等しくてもよい。この方法によれば、簡易な手法で試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0010】
一形態の磁気特性検査方法において、磁束印加ユニットは、第１起磁力発生部と第２起磁力発生部とを有し、実印加ステップ及び予備印加ステップにおいて、第１起磁力発生部が発生する起磁力は、第２起磁力発生部が発生する起磁力と、異なってもよい。この方法によっても、簡易な手法で試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0011】
一形態の磁気特性検査方法において、磁束印加ユニットは、第１起磁力発生部と第２起磁力発生部とを有し、実印加ステップは、第１起磁力発生部から第１起磁力を発生させるとともに、第２起磁力発生部から第２起磁力を発生させる第１印加ステップと、第１起磁力発生部から第２起磁力を発生させるとともに、第２起磁力発生部から第１起磁力を発生させる第２印加ステップと、を含み、実計測ステップは、第１印加ステップを実行した後に、隙間から漏れる漏れ磁束に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップと、第２印加ステップを実行した後に、隙間から漏れる漏れ磁束に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップと、を含み、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有してもよい。この方法によれば、予備漏れ磁束密度を事前に取得することなく、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0012】
一形態の磁気特性検査方法において、実印加ステップは、基準体及び試験体に対する磁束印加ユニットの位置が第１位置である状態で、隙間から漏れる漏れ磁束に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップと、基準体及び試験体に対する磁束印加ユニットの位置が第１位置とは異なる第２位置である状態で、隙間から漏れる漏れ磁束に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップと、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、試験体の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップと、をさらに有してもよい。この方法によっても、予備漏れ磁束密度を事前に取得することなく、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0013】
本発明の別の形態である磁気特性検査装置は、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体の主面に対面する第１磁束付与部と、磁気特性が許容範囲内である第１基準体であって、第１基準体の端面が試験体の端面に対して所定の隙間をもって配置される第１基準体に対面する第２磁束付与部と、第１磁束付与部及び第２磁束付与部を通過する磁束を発生させる起磁力発生部と、第１磁束付与部及び第２磁束付与部を通過する磁束を発生させる起磁力発生部と、第１磁束付与部と第２磁束付与部との間に配置されて、隙間から漏れる漏れ磁束を計測する漏れ磁束計測部と、を備える。この装置によれば、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、試験体が使用に適するか否かを簡便に検査できる磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施するための形態を詳細に説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0017】
＜第１実施形態＞
図１は、磁気特性検査装置１を用いて磁気特性の検査を行っている様子を示す。基準体９１Ａは、磁気特性が許容可能であることが明らかなものである。一方、試験体９２は、磁気特性が許容できるか否かが不明なものである。磁気特性検査装置１は、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを検査する。
図１は、磁気特性検査装置１を用いて磁気特性の検査を行っている様子を示す。基準体９１Ａは、磁気特性が許容可能であることが明らかなものである。一方、試験体９２は、磁気特性が許容できるか否かが不明なものである。磁気特性検査装置１は、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを検査する。
【0018】
試験体９２の例示は、軟磁性材料からなる金属部品である。このような金属部品として、例えば、積層構造を有するモータステータのための電磁鋼板からなる部品が挙げられる。このような部品は、打抜き加工によって形成されることがある。打抜き加工に起因して、切断面の近傍に残留応力が発生すると、切断面の近傍に許容できない程度に磁気特性が変化した領域が生じることがある。許容できない程度に磁気特性が変化した領域を、以下の説明では、「劣化領域」と称する。
【0019】
機械加工による加工ひずみは、局所的な磁気特性の変化を生じさせる。局所的な磁気特性は、モータの性能に影響を及ぼすことがある。従って、加工によって生じる磁気特性の変化が、許容できるものであるか否かを部品の段階で検査することができれば、許容できない部品を組み立て対象から除外することが可能になる。その結果、所望のモータ性能を発揮できるモータステータを得ることができる。
【0020】
図２（ａ）に示すように、基準体９１Ａは、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔが別の基準体９１Ｂの基準体端面９１ｔに対面するように配置されている。図２（ａ）に示す別の基準体９１Ｂは、劣化領域が存在しないものであると仮定する。基準体９１Ａと別の基準体９１Ｂとの間には、わずかな隙間Ｃが設けられている。つまり、基準体９１Ａは、別の基準体９１Ｂに対して直接に接触していない。
【0021】
このように配置された基準体９１Ａ及び別の基準体９１Ｂに磁束印加ユニット２から磁束Ｍ１を与える。磁束Ｍ１は、閉じた経路を構成する。磁束Ｍ１は、磁束印加ユニット２の第１磁束付与面２１０ｓから別の基準体９１Ｂの基準体主面９１ａに至る。磁束Ｍ１は、別の基準体端面９１ｔから隙間Ｃを通過して基準体端面９１ｔに至る。磁束Ｍ１は、基準体主面９１ａから磁束印加ユニット２の第２磁束付与面２１０ｔに至る。
【0022】
ここで、磁束Ｍ１は、隙間Ｃからその一部が漏れることがある。隙間Ｃから漏れる漏れ磁束を漏れ磁束Ｍ２と称する。漏れ磁束Ｍ２は、基準体９１Ａと基準体９１Ｂとの間に存在する隙間Ｃの見かけの透磁率の影響を受ける。基準体９１Ａ及び基準体９１Ｂは、金属である。一方、隙間Ｃには空気が存在する。従って、透磁率は、基準体９１Ａと基準体９１Ｂより隙間Ｃのほうが小さい。
【0023】
図２（ｂ）に示す試験体９２は、劣化領域９２ｓが存在するものであると仮定する。劣化領域９２ｓは、試験体端面９２ｔの近傍に存在する。このような劣化領域９２ｓは、試験体端面９２ｔが打ち抜き加工やせん断加工により形成されることにより発生することがある。
【0024】
劣化領域９２ｓでは、劣化領域９２ｓではない領域に比べて透磁率が低くなる傾向がある。そうすると、図２（ｂ）に示す構成の試験体９２と基準体９１Ａとの間の見かけの透磁率は、図２（ａ）に示す構成の見かけの透磁率よりも小さくなる。その結果、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２が多くなる。この漏れ磁束Ｍ２の相違は、試験体端面９２ｔ近傍の領域に発生する残留応力に起因すると考えられる。磁気特性検査装置１及び磁気特性検査方法は、この漏れ磁束を計測することによって、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを判定する。
【0025】
以下、漏れ磁束の計測によって、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを検査する方法を詳細に説明する。
【0026】
図３のグラフは、第１コイル２１１（第１起磁力発生部）が発生する起磁力と、第２コイル２１２（第２起磁力発生部）が発生する起磁力との比率と、漏れ磁束密度との関係を示す。図３の縦軸は、正規化された漏れ磁束密度を示す。図３の横軸において、例えば横軸の右端の数値「０：１０」は、第１コイル２１１の起磁力が「１０」であり、第２コイル２１２の起磁力が「０」であることを示す。なお、起磁力を示す数値は正規化された値である。また、横軸の中央の数値「５：５」は、第１コイル２１１の起磁力と、第２コイル２１２の起磁力とが等しいことを示す。
【0027】
図３のグラフＧ３ａは、基準体９１Ａ（第１基準体）に、劣化領域９２ｓが存在しない別の基準体９１Ｂ（第２基準体）を突き合せたときに得られる漏れ磁束Ｍ２の磁束密度を示す。漏れ磁束密度は、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とが等しいときに最も小さくなる（符号Ｐ３１参照）。縦軸の漏れ磁束密度は、この時の値を基準として正規化したものである。そして、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とに偏りが生じると、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度が次第に増加する。
【0028】
図３のグラフＧ３ｂは、基準体９１Ａに、劣化領域９２ｓが存在する試験体９２を突き合せたときに得られる漏れ磁束Ｍ２の磁束密度を示す。グラフＧ３ａと同様に、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度は、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とが等しいときに最も小さくなる（符号Ｐ３２参照）。そして、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とに偏りが生じると、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度が次第に増加することもグラフＧ３ａと同様である。
【0029】
その一方で、２つの注目すべき点がある。第１に、劣化領域９２ｓが存在する試験体９２を突き合せたときに得られる漏れ磁束Ｍ２の磁束密度は、劣化領域９２ｓが存在しない別の基準体９１Ｂ（第２基準体）を突き合せたときに得られる漏れ磁束Ｍ２の磁束密度よりも大きいということである。例えば、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とが等しいときの漏れ磁束Ｍ２の磁束密度（Ｐ３１、Ｐ３２）比較すると、劣化領域９２ｓが存在する試験体９２を突き合せたときに得られる漏れ磁束Ｍ２の磁束密度（Ｐ３２）が大きいことは明らかである。この相違は、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とを異ならせたとき（Ｐ３３、Ｐ３４）でも同様に生じる。
【0030】
第１実施形態の磁気特性検査方法は、この漏れ磁束Ｍ２の磁束密度の相違を利用する。第１実施形態の磁気特性検査方法は、磁気特性が許容できるか否かが不明である試験体９２を配置して得る実漏れ磁束密度を計測するだけで、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを判定することができる。その一方で、第１実施形態の磁気特性検査方法は、実漏れ磁束密度を判定するための基準情報が必要である。これは、実漏れ磁束密度の計測とは別に、あらかじめ取得されている。
【0031】
第２に、起磁力の比率を反転させた状態に注目する。例えば、グラフＧ３ａの符号Ｐ３５、Ｐ３６を見る。符号Ｐ３５は、起磁力の比率が１０：０であるときの磁束密度である。符号Ｐ３６は、起磁力の比率が０：１０であるときの磁束密度である。符号Ｐ３５が示す磁束密度は、符号Ｐ３６が示す磁束密度と等しい。つまり、劣化領域９２ｓが存在しない別の基準体９１Ｂを突き合せたときには、起磁力の比率を反転させた場合に、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度に有意な相違が現れない。
【0032】
その一方で、グラフＧ３ｂの符号Ｐ３７、Ｐ３８を見る。符号Ｐ３７は、起磁力の比率が１０：０であるときの磁束密度である。符号Ｐ３８は、起磁力の比率が０：１０であるときの磁束密度である。符号Ｐ３８が示す磁束密度は、符号Ｐ３７が示す磁束密度と異なる。より詳細には、符号Ｐ３８が示す磁束密度は、符号Ｐ３７が示す磁束密度より大きい。つまり、劣化領域９２ｓが存在する試験体９２を突き合せたときには、起磁力の比率を反転させた場合に、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度に有意な相違が現れる。
【0033】
第２実施形態の磁気特性検査方法は、この漏れ磁束Ｍ２の相違を利用する。第１実施形態の磁気特性検査方法は、基準情報が必要であった。第２実施形態の磁気特性検査方法は、基準情報との比較が不要であるので、事前に基準情報を取得する必要がない。その一方で、第２実施磁気特性検査方法は、少なくとも２回の実漏れ磁束密度の計測を行う必要がある。
【0034】
再び図１を参照する。磁気特性検査装置１は、磁束印加ユニット２と、漏れ磁束計測ユニット３（漏れ磁束計測部）と、コントローラ４と、を有する。磁束印加ユニット２は、試験体９２及び基準体９１Ａに磁束Ｍ１を与える。漏れ磁束計測ユニット３は、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度の大きさを得る。コントローラ４は、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度を利用して、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを判定する。また、コントローラ４は、磁束印加ユニット２の動作を制御する。
【0035】
なお、磁気特性検査装置１は、コントローラ４を省略することもできる。つまり、検査を行う作業者が磁束印加ユニット２の各種設定を行うとともに、漏れ磁束計測ユニット３の値を読み取る。そして、読み取った値を作業者自身が処理することにより、試験体９２における磁気特性が許容可能なものであるか否かを判定してもよい。
【0036】
磁束印加ユニット２は、磁化器２１と、第１電源２２と、第２電源２３と、を有する。磁化器２１は、正面視してＵ字形状を呈する。磁化器２１は、ヨーク２１０と、第１コイル２１１と、第２コイル２１２と、を有する。ヨーク２１０の第１端部２１０ａは、第１磁束付与面２１０ｓ（第１磁束付与部）を含む。例えば、第１磁束付与面２１０ｓは、試験体主面９２ａに対面するように配置される。第１端部２１０ａには、第１コイル２１１が設けられている。ヨーク２１０の第２端部２１０ｂは、第２磁束付与面２１０ｔ（第２磁束付与部）を含む。例えば、第２磁束付与面２１０ｔは、基準体主面９１ａに対面するように配置される。第２端部２１０ｂには、第２コイル２１２が設けられている。つまり図２におけるｚ方向（試験体を載置する面に対する鉛直方向）から見た上面視において、本実施形態の第１磁束付与面２１０ｓと第２磁束付与面２１０ｔとの間に隙間Ｃがある。また本実施形態においては、第１コイル２１１と第２コイル２１２との間に隙間Ｃがある。
【0037】
第１電源２２は、第１コイル２１１に直流電流を与える。第１電源２２は、コントローラ４の制御信号Ｄ２２に応じて電流の大きさを変更することができる。また、第１電源２２は、作業者の操作に応じて電流の大きさを変更することもできる。第２電源２３は、第２コイル２１２に直流電流を与える。第２電源２３も、コントローラ４の制御信号Ｄ２３に応じて電流の大きさを変更することができる。第２電源２３のそのほかの構成は第１電源２２と同じであるから詳細な説明は省略する。
【0038】
漏れ磁束計測ユニット３は、漏れ磁束Ｍ２の磁束密度に応じたデータＤ３を出力する。漏れ磁束計測ユニット３は、ホール素子３１と、ガウスメータ３２と、を有する。ホール素子３１は、第１磁束付与面２１０ｓと第２磁束付与面２１０ｔとの間に配置されている。さらに、ホール素子３１は、隙間Ｃの直上に配置されている。ガウスメータ３２は、ホール素子３１からの信号を受けて、漏れ磁束密度を示すデータＤ３をコントローラ４に渡す。
【0039】
磁気特性検査装置１が実施する検査では、第１磁束付与面２１０ｓから試験体主面９２ａまでの距離と、第２磁束付与面２１０ｔから基準体主面９１ａまでの距離と、を維持することが望ましい。一例として、第１磁束付与面２１０ｓから試験体主面９２ａまでの距離は、０．１ｍｍ程度である。そこで、例えば、第１磁束付与面２１０ｓと試験体主面９２ａとの間及び第２磁束付与面２１０ｔと基準体主面９１ａとの間にシート５１を配置してもよい。また、このシート５１は非磁性の絶縁体であっても良い。シート５１は、第１磁束付与面２１０ｓに接するとともに試験体主面９２ａに接する。同様にシート５１は、第２磁束付与面２１０ｔに接するとともに基準体主面９１ａに接する。このようなシート５１によれば、第１磁束付与面２１０ｓから試験体主面９２ａまでの距離及び第２磁束付与面２１０ｔから基準体主面９１ａまでの距離を容易に維持することができる。
【0040】
磁気特性検査装置１が実施する検査では、試験体端面９２ｔと基準体端面９１ｔとの隙間Ｃの距離を維持することも望まれる。試験体端面９２ｔと基準体端面９１ｔとの隙間Ｃの距離は、一例として０．１ｍｍである。そこで、必要に応じて試験体端面９２ｔと基準体端面９１ｔとの隙間Ｃにもシート５２を配置してもよい。また、このシート５２は非磁性の絶縁体であっても良い。
【0041】
次に、図４のフロー図を参照しながら、第１実施形態の磁気特性検査方法について説明する。
【0042】
はじめに、基準情報を取得する。基準情報の取得は、以下のステップＳ１１～Ｓ１３を実行する。まず、基準体９１Ａと、別の基準体９１Ｂとを突き合せる（Ｓ１１）。次に、所定の比率の起磁力を発生する（Ｓ１２）。例えば、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とが等しくなる比率（図３における横軸５：５）に設定してもよい。例えば、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とが異なる比率（図３における横軸８：２）に設定してもよい。次に、予備漏れ磁束密度の値を得る（Ｓ１３）。この値は、基準情報としての基準漏れ磁束密度として扱ってよい。なお、ステップＳ１３であるとき、磁束印加ユニット２は、試験体９２及び基準体９１Ａに対して移動させない。つまり、ステップＳ１３であるとき、磁束印加ユニット２は、静止させる。
【0043】
次に、試験体９２の検査を行う。試験体９２の検査は、以下のステップＳ１４～Ｓ１７を実行する。まず、基準体９１Ａと試験体９２とを突き合せる（Ｓ１４）。次に、所定の比率の起磁力を発生する（Ｓ１５）。ステップＳ１５における比率は、前述のステップＳ１２において採用した比率と同であるように設定する。例えば、ステップＳ１２において比率を「５：５」とした場合には、ステップＳ１５における比率も「５：５」とする。次に、実漏れ磁束密度の値を得る（Ｓ１６）。なお、ステップＳ１３と同様に、ステップＳ１６であるとき、磁束印加ユニット２は、試験体９２及び基準体９１Ａに対して移動させない。
【0044】
次に、実漏れ磁束密度と基準漏れ磁束密度との差分が、閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ１７）。差分が閾値より小さい場合（Ｓ１７：ＹＥＳ）には、試験体９２における磁気特性が許容できるものであるから、試験体９２は使用できると判定する（Ｓ１８）。差分が閾値より大きい場合（Ｓ１７：ＮＯ）には、試験体９２における磁気特性が許容できないものであるから、試験体９２は使用できないと判定と判定する（Ｓ１９）。
【0045】
なお、上記のステップＳ１１～Ｓ１７は、ひとつの試験体９２について、磁束を与える場所を変えながら複数回実施してもよい。
【0046】
＜作用効果＞
磁気特性検査方法は、磁気特性が許容範囲内である基準体９１Ａの基準体端面９１ｔに、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体９２の試験体端面９２ｔを所定の隙間Ｃをもって対面させる実配置ステップＳ１４と、基準体９１Ａ及び試験体９２に、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔと試験体９２の試験体端面９２ｔとを通る磁束Ｍ１を磁束印加ユニット２から与える実印加ステップＳ１５と、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップＳ１６と、を有する。
磁気特性検査方法は、磁気特性が許容範囲内である基準体９１Ａの基準体端面９１ｔに、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体９２の試験体端面９２ｔを所定の隙間Ｃをもって対面させる実配置ステップＳ１４と、基準体９１Ａ及び試験体９２に、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔと試験体９２の試験体端面９２ｔとを通る磁束Ｍ１を磁束印加ユニット２から与える実印加ステップＳ１５と、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する実漏れ磁束密度を得る実計測ステップＳ１６と、を有する。
【0047】
この検査方法では、基準体９１Ａと試験体９２との隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２を用いて、試験体９２の磁気特性が許容できるか否かを検査する。従って、基準体９１Ａと試験体９２との隙間から漏れる漏れ磁束Ｍ２の計測によって、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0048】
磁気特性検査方法は、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔに、磁気特性が許容範囲内である基準体９１Ａとは別の基準体９１Ｂの基準体端面９１ｔを所定の隙間Ｃをもって対面させる予備配置ステップＳ１１と、基準体９１Ａ、９１Ｂに、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔと別の基準体９１Ｂの基準体端面９１ｔとを通る磁束Ｍ１を磁束印加ユニット２から与える予備印加ステップＳ１２と、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する予備漏れ磁束密度を得る予備計測ステップＳ１３と、実漏れ磁束密度と予備漏れ磁束密度との差分が、閾値より小さい場合に、試験体９２の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップＳ１７と、をさらに有する。この方法によれば、実漏れ磁束密度と予備漏れ磁束密度との比較によって、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0049】
磁束印加ユニット２は、第１コイル２１１と第２コイル２１２とを有する。実印加ステップＳ１５及び予備印加ステップＳ１２において、第１コイル２１１が発生する起磁力は、第２コイル２１２が発生する起磁力と、等しくてもよい。また、第１コイル２１１が発生する起磁力は、第２コイル２１２が発生する起磁力と、異なってもよい。この方法によれば、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0050】
磁気特性検査装置１は、磁気特性が許容範囲内であるか否か不明である試験体９２の試験体主面９２ａに対面する第１磁束付与面２１０ｓと、磁気特性が許容範囲内である基準体９１Ａであって、基準体９１Ａの基準体端面９１ｔが試験体９２の試験体端面９２ｔに対して所定の隙間Ｃをもって配置される基準体９１Ａに対面する第２磁束付与面２１０ｔと、第１磁束付与面２１０ｓ及び第２磁束付与面２１０ｔを通過する磁束Ｍ１を発生させる第１コイル２１１及び第２コイル２１２と、第１磁束付与面２１０ｓと第２磁束付与面２１０ｔとの間に配置されて、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２を計測する漏れ磁束計測ユニット３と、を備える。磁気特性検査装置１によれば、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0051】
＜第２実施形態＞
次に、図５のフロー図を参照しながら第２実施形態の磁気特性検査方法について説明する。なお、第２実施形態の磁気特性検査方法に用いる磁気特性検査装置１は、第１実施形態のものと同じである。従って、磁気特性検査装置１の詳細な説明は省略する。
次に、図５のフロー図を参照しながら第２実施形態の磁気特性検査方法について説明する。なお、第２実施形態の磁気特性検査方法に用いる磁気特性検査装置１は、第１実施形態のものと同じである。従って、磁気特性検査装置１の詳細な説明は省略する。
【0052】
まず、基準体９１Ａと試験体９２とを突き合せる（Ｓ２１）。次に、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力との比率が第１比率（例えば１：９）であるように設定し、磁束を発生する（Ｓ２２）。そして、第１実漏れ磁束密度（図６の符号Ｐ６１参照）を取得する（Ｓ２３）。次に、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力との比率が第２比率（例えば９：１）であるように設定し、磁束を発生する（Ｓ２４）。そして、第２実漏れ磁束密度（図６の符号Ｐ６２参照）を取得する（Ｓ２５）。
【0053】
なお、ステップＳ２３、Ｓ２５であるとき、磁束印加ユニット２は、試験体９２及び基準体９１Ａに対して移動させない。つまり、ステップＳ２３、Ｓ２５であるとき、磁束印加ユニット２は、静止させる。
【0054】
そして、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度の差分（図６の符号Ｄ６１参照）が、閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ２７）。差分が閾値より小さい場合（Ｓ２７：ＹＥＳ）には、試験体９２における磁気特性が許容できるものであるから、試験体９２は使用できると判定する（Ｓ２８）。差分が閾値より大きい場合（Ｓ２７：ＮＯ、符号Ｄ６１）には、試験体９２における磁気特性が許容できないものであるから、試験体９２は使用できないと判定と判定する（Ｓ２９）。
【0055】
＜作用効果＞
第２実施形態の磁気特性検査方法において、実印加ステップＳ２０Ａは、第１コイル２１１から第１起磁力を発生させるとともに、第２コイル２１２から第２起磁力を発生させる第１印加ステップＳ２２と、第１コイル２１１から第２起磁力を発生させるとともに、第２コイル２１２から第１起磁力を発生させる第２印加ステップＳ２４と、を含む。実計測ステップＳ２０Ｂは、第１印加ステップＳ２２を実行した後に、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップＳ２３と、第２印加ステップＳ２４を実行した後に、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップＳ２５と、を含む。第２実施形態の磁気特性検査方法は、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、試験体９２の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップＳ２７と、を有する。この方法によれば、予備漏れ磁束密度を事前に取得することなく、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
第２実施形態の磁気特性検査方法において、実印加ステップＳ２０Ａは、第１コイル２１１から第１起磁力を発生させるとともに、第２コイル２１２から第２起磁力を発生させる第１印加ステップＳ２２と、第１コイル２１１から第２起磁力を発生させるとともに、第２コイル２１２から第１起磁力を発生させる第２印加ステップＳ２４と、を含む。実計測ステップＳ２０Ｂは、第１印加ステップＳ２２を実行した後に、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップＳ２３と、第２印加ステップＳ２４を実行した後に、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップＳ２５と、を含む。第２実施形態の磁気特性検査方法は、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、試験体９２の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップＳ２７と、を有する。この方法によれば、予備漏れ磁束密度を事前に取得することなく、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0056】
＜第３実施形態＞
ところで、第２実施形態の磁気特性検査方法では、隙間Ｃを通過する磁束Ｍ１を第１状態と第２状態とするものであった。この第１状態から第２状態への切り替えは、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とを入れ替えることによって実現した。この第１状態から第２状態への切り替えは、別の方法によっても実現できる。具体的には、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力との比率は維持した状態で、試験体９２及び基準体９１Ａに対する磁束印加ユニット２の相対的な位置を変えることである。このような検査方法を、第３実施形態の磁気特性検査方法として、図７を参照しながら説明する。
ところで、第２実施形態の磁気特性検査方法では、隙間Ｃを通過する磁束Ｍ１を第１状態と第２状態とするものであった。この第１状態から第２状態への切り替えは、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力とを入れ替えることによって実現した。この第１状態から第２状態への切り替えは、別の方法によっても実現できる。具体的には、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力との比率は維持した状態で、試験体９２及び基準体９１Ａに対する磁束印加ユニット２の相対的な位置を変えることである。このような検査方法を、第３実施形態の磁気特性検査方法として、図７を参照しながら説明する。
【0057】
まず、基準体９１Ａと試験体９２とを突き合せる（Ｓ３０）。次に、磁束印加ユニット２を第１位置Ｌ１に配置する（Ｓ３１）。図８（ａ）に示すように、隙間Ｃの直上に磁束印加ユニット２を配置した位置を、基準位置Ｌと定義する。第１位置Ｌ１とは、例えば、図８（ｂ）に示すように、基準位置Ｌから試験体９２側へ磁束印加ユニット２を偏らせて配置した位置をいう。基準位置Ｌから試験体９２側へ磁束印加ユニット２を偏らせることを、説明の便宜上、正の方向へずらすとも称する。そして、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力との比率が等しくなるように設定し、磁束を発生する（Ｓ３２）。そして、第１実漏れ磁束密度（図９の符号Ｐ９１参照）を取得する（Ｓ３３）。
【0058】
次に、磁束印加ユニット２を第２位置Ｌ２に配置する（Ｓ３４）。第２位置Ｌ２とは、例えば、図８（ｃ）に示すように、基準位置Ｌから基準体９１Ａ側へ磁束印加ユニット２を偏らせて配置した位置をいう。基準位置Ｌから基準体９１Ａ側へ磁束印加ユニット２を偏らせることを、説明の便宜上、負の方向へずらすとも称する。そして、第１コイル２１１の起磁力と第２コイル２１２の起磁力との比率が等しくなるように設定し、磁束を発生する（Ｓ３５）。そして、第２実漏れ磁束密度（図９の符号Ｐ９２参照）を取得する（Ｓ３６）。
【0059】
つまり、第１実漏れ磁束密度を取得するとき（Ｓ３３）から、第２実漏れ磁束密度を取得するとき（Ｓ３６）までの間に、磁束印加ユニット２を試験体９２及び基準体９１Ａに対して移動させる。この移動は、例えば、移動ユニット７によってなされてもよい。
【0060】
そして、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度の差分（図９の符号Ｄ９１参照）が、閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ３７）。閾値より小さい場合（Ｓ３７：ＹＥＳ）には、試験体９２における磁気特性が許容できるものであるから、試験体９２は使用できると判定する（Ｓ３８）。閾値より大きい場合（Ｓ３７：ＮＯ、符号Ｄ９１参照）には、試験体９２における磁気特性が許容できないものであるから、試験体９２は使用できないと判定する（Ｓ３８）。
【0061】
なお、上記の説明では、第１実漏れ磁束密度を取得するとき（Ｓ３３）と、第２実漏れ磁束密度を取得するとき（Ｓ３６）は、磁束印加ユニット２を試験体９２及び基準体９１Ａに対して静止させていた。例えば、磁束印加ユニット２を第１位置Ｌ１から第２位置Ｌ２に移動させながら、漏れ磁束密度を計測してもよい。この場合には、図９に示すグラフＧ９ａを得ることができる。このグラフＧ９ａからも、第１実漏れ磁束密度及び第２実漏れ磁束密度に対応する値が得られるので、上記の判定ステップＳ３７と同様の処理によって、試験体９２における磁気特性が許容できるか否かを判定することができる。
【0062】
＜作用効果＞
実印加ステップＳ３０Ａは、基準体９１Ａ及び試験体９２に対する磁束印加ユニット２の位置が第１位置Ｌ１である状態で、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップＳ３３と、基準体９１Ａ及び試験体９２に対する磁束印加ユニット２の位置が第１位置Ｌ１とは異なる第２位置Ｌ２である状態で、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップＳ３６と、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、試験体９２の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップＳ３７と、を有する。この方法によっても、予備漏れ磁束密度を事前に取得することなく、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
実印加ステップＳ３０Ａは、基準体９１Ａ及び試験体９２に対する磁束印加ユニット２の位置が第１位置Ｌ１である状態で、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第１実漏れ磁束密度を得る第１実漏れ磁束密度取得ステップＳ３３と、基準体９１Ａ及び試験体９２に対する磁束印加ユニット２の位置が第１位置Ｌ１とは異なる第２位置Ｌ２である状態で、隙間Ｃから漏れる漏れ磁束Ｍ２に関する第２実漏れ磁束密度を得る第２実漏れ磁束密度取得ステップＳ３６と、第１実漏れ磁束密度と第２実漏れ磁束密度との差分が閾値より小さい場合に、試験体９２の磁気特性が許容範囲内であると判定する判定ステップＳ３７と、を有する。この方法によっても、予備漏れ磁束密度を事前に取得することなく、試験体９２が使用に適するか否かを簡便に検査できる。
【0063】
＜変形例＞
以上、磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置の例示について説明した。磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置は、上記の例示に限定されることなく様々な形態で実施してよい。
以上、磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置の例示について説明した。磁気特性検査方法及び磁気特性検査装置は、上記の例示に限定されることなく様々な形態で実施してよい。
【0064】
図１０（ａ）は、第１変形例の磁気特性検査装置１Ａを示す。磁気特性検査装置１Ａは、磁束印加ユニット２Ａが備えるコイル２１３が一つである点で、第１実施形態の磁気特性検査装置１と異なる。そのほかの構成要素は、第１実施形態の磁気特性検査装置１と同様である。第１変形例の磁気特性検査装置１Ａは、試験体９２側の起磁力と、基準体９１Ａ側の起磁力とに偏りを設けることができない。つまり、第１変形例の磁気特性検査装置１Ａは、図３における比率が「５：５」である起磁力を発生することができる。従って、第１変形例の磁気特性検査装置１Ａは、第１実施形態の磁気特性検査方法において、起磁力の比率を「５：５」とする方法に用いることができる。また、第１変形例の磁気特性検査装置１Ａは、第３実施形態の磁気特性検査方法に用いることもできる。
【0065】
なお、磁束印加ユニット２Ａは、磁束を発生させることができればよい。従って、磁束の発生源は、コイルである必要はない。例えば、磁束印加ユニット２Ａは、コイル２１３に変えて永久磁石を備えてもよい。この構成によれば、コイル２１３に電流を与えるための電源２４を省略することができる。
【0066】
図１０（ｂ）は、第２変形例の磁気特性検査装置１Ｂを示す。前述したように、磁束の発生源は、コイルである必要はない。そこで、第２変形例の磁気特性検査装置１Ｂの磁束印加ユニット２Ｂは、第１実施形態の磁気特性検査装置１の第１コイル２１１に代えて第１永久磁石２１１Ｍを備えており、第２コイル２１２に代えて第２永久磁石２１２Ｍを備えている。第２変形例の磁気特性検査装置１Ｂは、第１永久磁石２１１Ｍ及び第２永久磁石２１２Ｍを備えるので、互いに起磁力の異なる永久磁石を用いることにより、起磁力の比率を任意の値に設定することもできる。
【0067】
つまり、起磁力が等しい永久磁石を用いた場合には、第２変形例の磁気特性検査装置１Ｂは、第１実施形態の磁気特性検査方法において、起磁力の比率を「５：５」とする方法に用いることができる。また、第２変形例の磁気特性検査装置１Ｂは、第３実施形態の磁気特性検査方法に用いることもできる。
【0068】
一方、起磁力が異なる永久磁石を用いた場合には、第２変形例の磁気特性検査装置１Ｂは、第１実施形態の磁気特性検査方法において、起磁力の比率を例えば「８：２」とする方法に用いることができる。また、２回の計測において、起磁力が互いに異なる第１永久磁石２１１Ｍと第２永久磁石２１２Ｍを入れ替えることにより、第２実施形態の磁気特性検査方法に用いることもできる。
【符号の説明】
【0069】
１，１Ａ，１Ｂ 磁気特性検査装置
２，２Ａ，２Ｂ 磁束印加ユニット
２１０ ヨーク
２１０ｓ 第１磁束付与面（第１磁束付与部）
２１０ｔ 第２磁束付与面（第２磁束付与部）
２１１ 第１コイル（第１起磁力発生部）
２１２ 第２コイル（第２起磁力発生部）
３ 漏れ磁束計測ユニット（漏れ磁束計測部）
４ コントローラ
５１，５２ シート
９１Ａ 基準体（第１基準体）
９１Ｂ 基準体（第２基準体）
９２ 試験体
Ｃ 隙間
Ｌ 基準位置
Ｌ１ 第１位置
Ｌ２ 第２位置
Ｍ１ 磁束
Ｍ２ 漏れ磁束
Ｓ１１ 予備配置ステップ
Ｓ１２ 予備印加ステップ
Ｓ１３ 予備計測ステップ
Ｓ１４ 実配置ステップ
Ｓ１５，Ｓ２０Ａ，Ｓ３０Ａ 実印加ステップ
Ｓ１６，Ｓ２０Ｂ 実計測ステップ
Ｓ１７，Ｓ２７，Ｓ３７ 判定ステップ
Ｓ２２ 第１印加ステップ
Ｓ２３，Ｓ２５，Ｓ３３，Ｓ３６ 漏れ磁束密度取得ステップ
Ｓ２４ 第２印加ステップ
２，２Ａ，２Ｂ 磁束印加ユニット
２１０ ヨーク
２１０ｓ 第１磁束付与面（第１磁束付与部）
２１０ｔ 第２磁束付与面（第２磁束付与部）
２１１ 第１コイル（第１起磁力発生部）
２１２ 第２コイル（第２起磁力発生部）
３ 漏れ磁束計測ユニット（漏れ磁束計測部）
４ コントローラ
５１，５２ シート
９１Ａ 基準体（第１基準体）
９１Ｂ 基準体（第２基準体）
９２ 試験体
Ｃ 隙間
Ｌ 基準位置
Ｌ１ 第１位置
Ｌ２ 第２位置
Ｍ１ 磁束
Ｍ２ 漏れ磁束
Ｓ１１ 予備配置ステップ
Ｓ１２ 予備印加ステップ
Ｓ１３ 予備計測ステップ
Ｓ１４ 実配置ステップ
Ｓ１５，Ｓ２０Ａ，Ｓ３０Ａ 実印加ステップ
Ｓ１６，Ｓ２０Ｂ 実計測ステップ
Ｓ１７，Ｓ２７，Ｓ３７ 判定ステップ
Ｓ２２ 第１印加ステップ
Ｓ２３，Ｓ２５，Ｓ３３，Ｓ３６ 漏れ磁束密度取得ステップ
Ｓ２４ 第２印加ステップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】