特開 2024-134564 リニアモータ、対基板作業機及びリニアモータの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024134564

(43)【公開日】2024-10-04

(54)【発明の名称】リニアモータ、対基板作業機及びリニアモータの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/03 20060101AFI20240927BHJP

   H05K 13/04 20060101ALN20240927BHJP

【ＦＩ】

H02K41/03 A

H05K13/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023044815

(22)【出願日】2023-03-21

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】篭嶋 裕之

(72)【発明者】

【氏名】加藤 進一

(72)【発明者】

【氏名】岩島 賢史

【テーマコード（参考）】

5E353

5H641

【Ｆターム（参考）】

5E353JJ26

5E353QQ30

5H641BB06

5H641BB15

5H641BB16

5H641GG03

5H641GG04

5H641GG10

5H641HH02

5H641HH08

5H641JA09

(57)【要約】

【課題】走行時の振動を低減できるリニアモータ、対基板作業機及びリニアモータの製造方法を提供すること。
【解決手段】本開示のリニアモータは、複数の固定子磁石を有する固定子と、固定子磁石との間で磁気吸引力を発生させる可動子磁石を有し、磁気吸引力に基づく推進力により走行する可動子と、を備える。複数の固定子磁石、及び、複数の可動子磁石の少なくとも一方は、可動子の走行時における磁気吸引力及び推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置される。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の固定子磁石を有する固定子と、
前記固定子磁石との間で磁気吸引力を発生させる可動子磁石を有し、前記磁気吸引力に基づく推進力により走行する可動子と、
を備え、
複数の前記固定子磁石、及び、複数の前記可動子磁石の少なくとも一方は、
前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置される、リニアモータ。

【請求項2】

複数の前記固定子磁石、及び、複数の前記可動子磁石の少なくとも一方は、
前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分のうち、力の振幅のピークが発生した位置の周波数成分を抑制する不等ピッチで配置される、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項3】

複数の前記固定子磁石、及び、複数の前記可動子磁石の少なくとも一方は、
前記少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分のうち、力の振幅が最も大きい周波数成分を抑制する不等ピッチで配置される、請求項２に記載のリニアモータ。

【請求項4】

複数の前記固定子磁石は、
前記可動子の移動方向に並んで配置される、第１固定子磁石、第２固定子磁石、第３固定子磁石、第４固定子磁石を含み、
前記第１固定子磁石、前記第２固定子磁石、前記第３固定子磁石、及び前記第４固定子磁石は、
この順番に繰り返し並んで配置され、
前記第１固定子磁石は、
前記第３固定子磁石と同極であり、
前記第２固定子磁石は、
前記第１固定子磁石とは異なる極性で、且つ、前記第４固定子磁石と同極であり、
前記第２固定子磁石は、
第１幅を間に設けて前記第１固定子磁石の隣に配置され、
前記第３固定子磁石は、
第２幅を間に設けて前記第２固定子磁石の隣に配置され、
前記第４固定子磁石は、
第３幅を間に設けて前記第３固定子磁石の隣に配置され、
前記第１固定子磁石は、
第４幅を間に設けて前記第４固定子磁石の隣に配置され、
前記第１幅は、
前記第３幅と略同一であり、
前記第２幅は、
前記第１幅に比べて大きく、
前記第４幅は、
前記第１幅に比べて小さい、請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ。

【請求項5】

前記第１幅、前記第２幅、及び前記第４幅は、
前記第１幅と前記第２幅との差が、前記第４幅と前記第１幅との差に略等しい、
関係にある、請求項４に記載のリニアモータ。

【請求項6】

複数の前記固定子磁石は、
前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置され、
仮に、複数の前記固定子磁石を略等ピッチで配置した場合の前記推進力を第１推進力とした場合、
複数の前記固定子磁石を不等ピッチで配置した場合の前記推進力は、
前記第１推進力と略同一である、請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ。

【請求項7】

複数の前記固定子磁石は、
前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置され、
複数の前記可動子磁石は、
前記可動子の移動方向に並んで配置され、略一定のピッチで配置される、請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ。

【請求項8】

請求項１又は請求項２に記載のリニアモータと、
前記リニアモータを支持し、基板を搬送する搬送口が形成されたベースと、
前記可動子に搭載され、前記可動子の移動に合わせて移動し、前記基板に対する作業を実行する作業部と、
を備える、対基板作業機。

【請求項9】

複数の前記固定子磁石、及び、複数の前記可動子磁石の少なくとも一方は、
前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分のうち、力の振幅が最も大きい周波数成分を抑制する不等ピッチで配置され、
力の振幅が最も大きい前記周波数成分の周波数は、
前記ベースをモーダル解析した場合に前記搬送口に発生する振動に含まれる周波数成分のうち、振幅のピークが発生した位置の周波数と略同一である、請求項８に記載の対基板作業機。

【請求項10】

前記固定子は、
前記可動子の移動方向に延び、複数の前記固定子磁石を収容するレール部を有し、
前記ベースは、
前記可動子の移動方向における中央に前記搬送口が形成され、前記移動方向における両側で前記レール部を下方から支持し、
前記搬送口の上部は、
前記レール部によって閉塞される、請求項８に記載の対基板作業機。

【請求項11】

前記リニアモータとして、第１リニアモータと、第２リニアモータを備え、
前記ベースは、
前記第１リニアモータを支持し、前記基板を搬送する第１搬送口と、
前記第２リニアモータを支持し、前記基板を搬送する第２搬送口と、
が形成され、
前記作業部は、
前記第１リニアモータ及び前記第２リニアモータの各々の前記可動子の両方に搭載され、２つの前記可動子の移動に合わせて移動し、
前記第１リニアモータ及び前記第２リニアモータの各々の複数の前記固定子磁石は、
互いに同じ不等ピッチで配置される、請求項８に記載の対基板作業機。

【請求項12】

複数の固定子磁石を有する固定子と、
前記固定子磁石との間で磁気吸引力を発生させる可動子磁石を有し、前記磁気吸引力に基づく推進力により走行する可動子と、
を備えるリニアモータの製造方法であって、
複数の前記固定子磁石、及び、複数の前記可動子磁石の少なくとも一方を、前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置する、リニアモータの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、固定子の固定子磁石と、可動子の可動子磁石を備えるリニアモータ、対基板作業機及びリニアモータの製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、固定子磁石と、可動子磁石とを用いて推進力を発生させ可動子を移動させるリニアモータが種々提案されている。例えば、下記特許文献１のリニアモータは、複数の磁石を有する固定子と、複数のコイルを有する可動子を備えている。固定子には、可動子の移動方向に沿って、磁極の異なる磁石が交互に配列されている。可動子には、移動方向に沿って多数のコイルが配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平０７－１４３７２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記した特許文献１に示されるような固定子と可動子を備えるリニアモータでは、動作に伴う磁気吸引力や推進力の増減が発生する虞がある。その結果、磁気吸引力等の増減が装置の振動を招くことが問題となる。

【0005】

本開示は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、走行時の振動を低減できるリニアモータ、対基板作業機及びリニアモータの製造方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、複数の固定子磁石を有する固定子と、前記固定子磁石との間で磁気吸引力を発生させる可動子磁石を有し、前記磁気吸引力に基づく推進力により走行する可動子と、を備え、複数の前記固定子磁石、及び、複数の前記可動子磁石の少なくとも一方は、前記可動子の走行時における前記磁気吸引力及び前記推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置される、リニアモータを開示する。

【0007】

また、本明細書に開示される内容は、リニアモータとしての実施に限らず、リニアモータを備える対基板作業機、リニアモータの製造方法として実施例しても極めて有益である。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、複数の固定子磁石を、不等ピッチで配置することで、磁気吸引力及び推進力の少なくとも一方に含まれる周波数成分を抑制することができる。その結果、可動子の走行時の振動を低減することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本実施例の部品装着装置を示す斜視図である。

【図2】部品装着装置のブロック図である。

【図3】デバイスエリアに作業ヘッドを配置した状態を示す斜視図である。

【図4】基板エリアに作業ヘッドを配置した状態を示す斜視図である。

【図5】Ｘ方向移動装置の構成の一部を示す平面図である。

【図6】Ｙ方向から見たリニアモータの構成を示す模式図である。

【図7】磁石の配置を説明するための図である。

【図8】作業ヘッドをＸ方向移動装置によってＸ方向に移動させた場合の可動子に発生する吸引力方向の電磁力を磁気解析した結果であり、等ピッチ、不等ピッチの各場合のグラフである。

【図9】作業ヘッドをＸ方向移動装置によってＸ方向へ移動させた場合の可動子に発生する推進力方向の電磁力を磁気解析した結果であり、等ピッチ、不等ピッチの各場合のグラフである。

【図10】作業ヘッドをＸ方向移動装置によりＸ方向へ実際に移動させた場合に測定した走行音の周波数特性を示すグラフである。

【図11】ベースのモーダル解析の結果を説明するための模式図、及びグラフである。

【図12】別例のリニアモータを示す図である。

【図13】別例のリニアモータを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

（１．部品装着機１０の構成）
以下、本開示に係わるリニアモータを実施するための一実施例として、図１に示す部品装着機１０について、図を参照しつつ詳しく説明する。図１は、部品装着機１０の斜視図を示している。図２は、部品装着機１０のブロック図を示している。尚、図１、図２は、部品装着機１０の構成を簡略化して図示している。

【0011】

図１及び図２に示すように、部品装着機１０は、基板１１に対する部品の装着作業を実行するための装置であり、ベース１２、１台の作業ヘッド１３、移動装置１５、制御装置１７（図２参照）を備え、装置カバー１４によって上方を覆われている。部品装着機１０は、基板搬送保持装置２０（図２参照）によって基板１１を搬送するとともに、所定の作業位置において、基板１１を固定的に保持し、作業ヘッド１３による部品の装着作業を実施する。尚、以下の説明において、基板１１の搬送方向をＹ方向と称し、Ｙ方向に直角な水平の方向をＸ方向と称し、Ｘ方向及びＹ方向に直角な鉛直方向をＺ方向と称する。また、図１は、ＸＹ方向へ移動する１台の作業ヘッド１３を破線で示している。また、部品装着機１０は、２以上の複数台の作業ヘッド１３を備えても良い。

【0012】

ベース１２は、部品装着機１０を設置する生産工場等の設置面に配置されおり、複数の脚部によって立設している。ベース１２は、作業ヘッド１３、移動装置１５を支持している。ベース１２は、Ｙ方向に搬送される基板１１を生産ラインの下流側の装置との間で受け渡さすための搬送口１２Ａと、上流側の装置との間で受け渡たすための搬送口１２Ｂ（図３、図４参照）が形成されている。尚、図１は、一対の搬送口１２Ａ，１２Ｂのうち、一方側の搬送口１２Ａのみを図示している。部品装着機１０は、搬送口１２Ｂを通じて上流側装置から基板１１を搬入し、基板１１に対する装着作業を実行した後、搬送口１２Ａを通じて下流側の装置へ基板１１を搬出する。

【0013】

作業ヘッド１３は、吸着ノズル（図示略）を有し、吸着ノズルによって部品を吸着保持する。移動装置１５は、ベース１２によって支持されており、一対のＸ方向移動装置１８と、Ｙ方向移動装置１９を有している。移動装置１５は、ＸＹロボット型の移動装置である。一対のＸ方向移動装置１８の各々は、Ｘ方向に沿ったＸ軸ガイドレール２１と、Ｘ軸ガイドレール２１に沿って移動するＸスライド２２とを備えている。Ｙ方向移動装置１９は、Ｙ方向の両端を、一対のＸスライド２２のそれぞれによって支持されている。Ｘ軸ガイドレール２１及びＸスライド２２は、リニアモータを構成しており、制御装置１７の制御に基づいてＸスライド２２をＸ軸ガイドレール２１に沿って移動させる。これにより、一対のＸ方向移動装置１８は、Ｙ方向移動装置１９をＸ方向の任意の位置へ移動させることができる。尚、リニアモータの構成の詳細については、後述する。また、一対のＸ方向移動装置１８の一方には、作業ヘッド１３を制御装置１７に接続するケーブル等を保護する保護部材２３が設けられている。

【0014】

また、Ｙ方向移動装置１９は、Ｙ方向に沿ったＹ軸ガイドレール２５と、Ｙ軸ガイドレール２５に沿って移動するＹスライド２６と、保護部材２７を備えている。Ｙ軸ガイドレール２５及びＹスライド２６は、リニアモータを構成しており、制御装置１７の制御に基づいてＹスライド２６をＹ軸ガイドレール２５に沿って移動させる。また、保護部材２７は、作業ヘッド１３を制御装置１７に接続するケーブル等を保護するものである。

【0015】

作業ヘッド１３は、Ｙスライド２６に取り付けられている。従って、作業ヘッド１３は、Ｘ方向移動装置１８及びＹ方向移動装置１９を駆動することで、ＸＹ方向の任意の位置に移動可能となっている。作業ヘッド１３は、図３に示すデバイスエリアと、図４に示す基板エリアとで移動が可能となっている。尚、図３及び図４は、図１に示す装置カバー１４等の図示を省略し、図１とは反対側の作業ヘッド１３側から見た斜視図を示している。部品装着機１０は、部品を供給する部品供給装置２９（図２参照）を備えている。部品供給装置２９は、例えば、Ｘ方向におけるベース１２の一端に装着される複数の供給装置を備えている。ここでいう供給装置とは、テープフィーダやトレイ型供給装置などの部品を供給する装置である。部品装着機１０は、部品供給装置２９から供給された部品を作業ヘッド１３の吸着ノズルで吸着し、基板１１に装着する。部品としては、電子回路部品、太陽電池の構成部品，パワーモジュールの構成部品等が挙げられる。

【0016】

デバイスエリアは、例えば、作業ヘッド１３の移動範囲のうち、Ｘ方向の外側（端部又はそれに近い範囲）であり、部品供給装置２９（図２参照）から作業ヘッド１３へ部品を供給するエリアである。基板エリアは、作業ヘッド１３の移動範囲のうち、Ｘ方向の中央となる範囲であり、基板搬送保持装置２０（図２参照）によって所定の作業位置まで搬送された基板１１（図１参照）に対して作業ヘッド１３により部品の装着を実行するエリアである。作業ヘッド１３は、デバイスエリア及び基板エリアの各々において、Ｘ方向及びＹ方向の任意の位置に移動可能となっている。また、作業ヘッド１３は、Ｙスライド２６に対し着脱可能に装着され、交換可能となっている。また、部品装着機１０は、作業ヘッド１３を上下方向に移動させるＺ方向移動装置（図示略）を有し、Ｚ方向移動装置によって作業ヘッド１３を上下方向に移動させることができる。

【0017】

また、図２に示すように、部品装着機１０の制御装置１７は、コントローラ３１、複数の駆動回路３２を備えている。複数の駆動回路３２は、上記した基板搬送保持装置２０、移動装置１５、作業ヘッド１３、部品供給装置２９に接続されている。コントローラ３１は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路３２に接続されている。これにより、コントローラ３１は、基板搬送保持装置２０、移動装置１５、部品供給装置２９等の動作を、制御可能となっている。本実施例の部品装着機１０は、上述した構成により基板１１に対して部品の装着作業を実行する。具体的には、制御装置１７は、基板搬送保持装置２０を制御して基板１１を所定の作業位置まで搬送させ、基板搬送保持装置２０により基板１１を固定的に保持する。制御装置１７は、部品供給装置２９を制御し、所定の供給位置に部品を供給させる。制御装置１７は、Ｘ方向移動装置１８及びＹ方向移動装置１９を制御して作業ヘッド１３を供給位置へ移動させ部品を吸着ノズルによって吸着保持させる。制御装置１７は、Ｘ方向移動装置１８及びＹ方向移動装置１９を制御して作業ヘッド１３を基板１１の位置まで移動させ、基板１１に部品を装着させる。これにより、基板１１に対する部品の装着作業を行なうことができる。

【0018】

（２．リニアモータの構成）
次に、上記した部品装着機１０のＸ方向移動装置１８やＹ方向移動装置１９に用いられるリニアモータの構成について説明する。以下の説明では、リニアモータの構成の説明として、Ｘ方向移動装置１８の構成について説明する。尚、Ｙ方向移動装置１９についても、Ｘ方向移動装置１８と同様に、後述するリニアモータ４０の磁石４４の配置等を採用することで、同様の効果を奏する。

【0019】

図５は、一対のＸ方向移動装置１８のうち、一方（例えば、図１の左側）のＸ方向移動装置１８の構成の一部を示している。図５に示すように、Ｘ方向移動装置１８は、リニアモータ４０を有している。リニアモータ４０は、Ｘ軸ガイドレール２１に設けられた固定子４１と、Ｘスライド２２に設けられた可動子４２を有している。図６は、Ｙ方向から見たリニアモータ４０の構成を示す模式図である。尚、一対のＸ方向移動装置１８のうち、もう一方（図１の右側）のＸ方向移動装置１８についても左側のＸ方向移動装置１８と同様の構成となっている。

【0020】

図５及び図６に示すように、本実施例のリニアモータ４０は、例えば、ムービングコイル方式の所謂Ｆ型（フラット型、対向型とも言い得る）のリニアモータである。リニアモータ４０は、固定子４１に対して可動子４２をＸ方向へスライド移動させることで、Ｙ方向移動装置１９をＸ方向へ移動させる。

【0021】

固定子４１は、レール部４３と、複数の磁石４４を有している。レール部４３は、Ｘ方向に延びる枠形状をなしている。複数の磁石４４の各々は、例えば、Ｙ方向に延びる長方形の板状をなし、レール部４３の枠内に配置（収容）されている。レール部４３は、例えば、収容した磁石４４を露出させる開口を上部に形成され、Ｘ方向に垂直な平面で切断した断面形状が略Ｕ字形状をなしている。レール部４３は、Ｘ方向と平行な溝を構成し、その溝内に複数の磁石４４を収容している。複数の磁石４４は、Ｘ方向に沿って、即ち、可動子４２の移動方向に沿って不等なピッチ４５で並んで配置されている。複数の磁石４４は、互いに同一形状をなし、Ｘ方向に沿って不等な間隔に並んでいる。ピッチ４５の詳細については後述する。また、図５及び図６は、図面が煩雑となるのを避けるため、ピッチ４５を同一ピッチで図示しているが、実際には、後述する図７に示すように、数ｍｍ単位等で不等なピッチ４５（第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄ）となっている。尚、複数の磁石４４は、互いに異なる形状でも良い。

【0022】

図３及び図４に示すように、ベース１２は、Ｙ方向の両端であって、Ｘ方向、即ち、可動子４２の移動方向における中央の上部に搬送口１２Ａ，１２Ｂがそれぞれ形成されている。ベース１２は、Ｘ方向における両側でレール部４３を下方から支持している。搬送口１２Ａ，１２Ｂの各々の上部は、Ｘ軸ガイドレール２１のレール部４３（固定子４１）によって閉塞されている。従って、一対のＸ方向移動装置１８のレール部４３は、搬送口１２Ａ，１２Ｂの各々において、Ｘ方向の両側を支えられるようにして橋のように渡されている。また、例えば、Ｘ方向に沿った搬送口１２Ａ，１２Ｂの幅１６（図３参照）は、Ｘ方向において搬送口１２Ａ，１２Ｂの両側に設けられたベース１２（レール部４３を支持する部分）のＸ方向に沿った幅２４（図３参照）と略同一となっている。このため、幅１６は、ベース１２のＸ方向に沿った両端の長さを３等分した長さと略同一である。

【0023】

複数の磁石４４の各々は、Ｚ方向で可動子４２と対向する上面においてＮ極、Ｓ極が交互に現れるように、Ｘ方向において隣り合うものが互いに異なる極性（Ｎ極及びＳ極）となっている。換言すれば、複数の磁石４４は、Ｘ方向に沿って交互に異なる極性となるように配置されている。複数の磁石４４の上面は、例えば、Ｘ方向及びＹ方向に平行な平面に沿って、同一平面上に位置している。尚、図５、図６、及び後述する図７は、説明の便宜上、極性の異なる磁石４４を、ハッチングを付して区別できるように図示している。例えば、Ｎ極にハッチングを付している。

【0024】

図５及び図６に示すように、可動子４２は、ケース４７と、コア４８と、コイル４９を有している。ケース４７は、例えば、Ｘ方向に長い箱形形状をなしており、Ｙ方向移動装置１９の下部を支持している。ケース４７内には、コア４８及びコイル４９が配置されている。コア４８は、例えば、電磁鋼板を積層して形成され、基部４８Ａ（図６参照）と、複数の被巻回部４８Ｂを有している。尚、コア４８は、積層体に限定されず、鉄粉等の磁性紛体を焼結等によって固めて形成した成型体でも良い。

【0025】

基部４８Ａは、例えば、Ｚ方向から見た場合に、Ｘ方向に長い平板状をなしており、下面に複数（本実施例では９つ）の被巻回部４８Ｂが設けられている。複数の被巻回部４８Ｂの各々は、基部４８Ａの下面から下方に突出し、Ｘ方向に薄く、Ｙ方向に長い板状をなしている。複数の被巻回部４８Ｂの各々には、コイル４９が巻き付けられている。被巻回部４８Ｂに巻き付けられたコイル４９は、Ｚ方向において、磁石４４と対向する位置に配置されている。例えば、被巻回部４８Ｂ及びコイル４９は、ケース４７の下面から露出しており、Ｚ方向において、下方の磁石４４と所定の隙間５２（図６参照）を間に設けて対向して配置されている。尚、図５は、ケース４７の一部（上面など）を省略して図示している。また、図５は、被巻回部４８Ｂ及びコイル４９の位置で切断した状態を示している。

【0026】

また、Ｘ方向移動装置１８は、コイル４９に電力を供給する給電レール部５１を有している。給電レール部５１は、Ｘ軸ガイドレール２１の側方（例えば、Ｙ方向の内側）において、Ｘ方向に沿って配設されている。可動子４２のコイル４９は、給電部５３を介して給電レール部５１に電気的に接続されている。給電部５３は、可動子４２のスライド移動において、給電レール部５１に摺動して電力を受電し、コイル４９に電力を供給する。尚、コイル４９へ電力を供給する方法は、給電レール部５１及び給電部５３を用いる方法に限らない。例えば、Ｘ方向移動装置１８は、レール部４３から非接触給電によりコイル４９へ電力を供給しても良い。

【0027】

制御装置１７は、駆動電力として、複数のコイル４９の各々に三相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の交流の電力を供給する。９つの被巻回部４８Ｂに巻き付けられたコイル４９の各々には、例えば、図６に示すように、Ｘ方向に並ぶ順番に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各相（各相３つずつ）の交流電力が供給される。被巻回部４８Ｂ及びコイル４９は、交流電力の通電に応じて磁界を発生させ（Ｎ極及びＳ極を誘起され）、固定子４１の磁石４４との間に磁気吸引力、磁気反発力、推進力を発生させる。従って、被巻回部４８Ｂ及びコイル４９は、コイル４９に電力を供給されることで、可動子磁石として機能する。可動子４２は、被巻回部４８Ｂ及びコイル４９と、磁石４４との間に生じる磁気吸引力及び磁気反発力に基づく推進力によりＸ方向へ移動する。制御装置１７は、コイル４９に通電する三相の交流の電圧や電流を制御することで、コイル４９によって形成する磁界、即ち、可動子４２を移動させる方向や速度を制御する。

【0028】

例えば、各相の３つのコイル４９は、互いに並列に接続され、各相の交流電圧が印加される。また、複数の被巻回部４８Ｂの各々は、Ｘ方向に沿って、同じピッチ５５で並んで配置されている。具体的には、例えば、各相のコイル４９は、複数の被巻回部４８Ｂの各々において、同一の巻数で巻き付けられている。複数の被巻回部４８ＢのＸ方向における幅６１は、互いに同一となっている。また、Ｘ方向における隣り合う２つのコイル４９間の距離６２は、全て同一となっている。従って、Ｘ方向において、任意の相のコイル４９及び被巻回部４８Ｂから、隣に配置された別の相のコイル４９及び被巻回部４８Ｂまでの距離であるピッチ５５は、全て同一となっている。

【0029】

尚、上記した可動子４２の構成は、一例である。ピッチ５５、幅６１、距離６２の少なくとも１つを、相や被巻回部４８Ｂの位置によって異なる値としても良い。例えば、Ｘ方向における内側のピッチ５５を広くし、外側のピッチ５５を狭くしても良い。これにより、Ｘ方向の外側の磁束密度を高くし、磁界の強度をより均一にできる。あるいは、ピッチ５５は、後述する磁石４４のピッチ４５と同じ不等ピッチでも良い。この場合、逆に、ピッチ４５を等ピッチとしても良い。また、複数のコイル４９の巻数を、相や被巻回部４８Ｂの位置によって異なる巻数としても良い。例えば、Ｘ方向の外側のコイル４９の巻数を内側のコイル４９の巻数よりも多くしても良い。これにより、Ｘ方向の外側の巻数を多くして端部側の磁界の強さを強くし、全体として磁界の強度をより均一にできる。また、コイル４９の線径を、相や被巻回部４８Ｂの位置で異なる太さとしても良い。例えば、Ｘ方向における両端の各々に設けられた一対の被巻回部４８Ｂ（図６の最も左のＵ相及び最も右のＷ相）に巻き付けられたコイル４９を構成している巻線の線径のみを、他の被巻回部４８Ｂのコイル４９の線径に比べて太くしても良い。これにより、Ｘ方向の端部のコイル４９は、線径を相対的に太くされることで、抵抗値が下がり、電流がより多く流れる。その結果、端部のコイル４９が発生させる磁界の強度を相対的に大きくできる。可動子４２の全体において、複数のコイル４９及びコア４８が発生させる磁界の強度をより均一にし、推力リップルを抑制できる。

【0030】

ここで、リニアモータは、動作に伴う磁気吸引力や推進力の増減が発生し、装置の振動や騒音を招く恐れがある。振動や騒音の対策方法として、固定子４１の取り付け面の剛性を向上させる方法や、スライド機構の剛性を向上させる方法を採用した場合、製造コストの増加や、重量の増加を招く恐れがある。また、固定子４１側の磁石４４を、可動子４２側の磁石（被巻回部４８Ｂやコイル４９）に対して傾ける（角度を付けた状態で配置する）方法を採用した場合や、固定子４１と可動子４２の間の隙間５２を広げる方法を採用した場合、リニアモータ４０の効率の低下を招く恐れがある。

【0031】

そこで、本実施例のリニアモータ４０では、可動子４２の走行時における磁気吸引力（磁気反発力）及び推進力の変動に含まれる周波数成分に基づいて、図７に示す不等なピッチ４５（後述する第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄ）で磁石４４を配置している。ここで、本開示において、推進力とは、例えば、可動子４２を移動させる力、即ち、可動子４２に対してＸ方向と平行な方向に作用する力である。従って、推進力の方向である推進力方向とは、Ｘ方向と平行な前後方向である。また、磁気吸引力とは、可動子４２を固定子４１に引き付ける力、即ち、可動子４２に対してＺ方向と平行な下方に作用する力である。また、磁気反発力とは、可動子４２を固定子４１から離す力、即ち、可動子４２に対してＺ方向と平行な上方に作用する力である。磁気吸引力及び磁気反発力は、推進力方向に直交する方向に作用する力であり、互いに反対方向に作用する正負の関係の力である。このため、以下の説明では、磁気反発力を含めて磁気吸引力と記載する場合がある。従って、磁気吸引力が作用する方向である吸引力方向とは、Ｚ方向と平行な上下方向である。

【0032】

図８は、作業ヘッド１３をＸ方向移動装置１８によってＸ方向に移動させた場合の可動子４２に発生する吸引力方向の電磁力を磁気解析（シミュレーション）した結果を示している。例えば、図８は、Ｚ方向の下方に作用する電磁力（磁気吸引力）を正として示している。作業ヘッド１３の移動速度としては、例えば、実際に基板１１に対する作業を実行する場合の移動速度（平均速度など）を採用した。図８の上のグラフは、磁石４４を等ピッチ、即ち、全てのピッチ４５を同一にして配置した場合の磁気解析の結果を示している。また、下のグラフは、本実施例の不等なピッチ４５、即ち、上記した図７に示す第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄで磁石４４を配置した場合の磁気解析の結果を示している。また、図８の大きいグラフの横軸は、時間（秒）を、縦軸は、その時間に発生した電磁力の変動の大きさ（Ｎ）を示している。

【0033】

また、図８の大きいグラフ内に示す小さいグラフは、大きいグラフに示す力の変動に含まれる周波数成分を示している。例えば、磁気吸引力の変動に含まれる周波数成分をフーリエ解析によって解析した結果であり、横軸は、周波数（Ｈｚ）を、縦軸は、その周波数における波形の振幅の大きさ［Ｎ］を示している。図８の上のグラフに示すように、等ピッチで配置した場合の磁気吸引力の変動には、各周波数の成分が含まれている。小さいグラフに示すように、含まれている周波数成分のうち、約２００Ｈｚの周波数成分の振幅が最も大きくなっている。

【0034】

また、図９は、作業ヘッド１３をＸ方向移動装置１８によってＸ方向へ移動させた場合の可動子４２に発生する推進力方向の電磁力を磁気解析（シミュレーション）した結果を示している。作業ヘッド１３の移動速度は、例えば、図８と同様に実際の装着時の速度である。図９の上のグラフは、図８と同様に等ピッチの場合を、下のグラフは、本実施例の不等なピッチ４５の場合の磁気解析結果を示している。尚、図９の大小のグラフの関係は、図８と同様であるため、その説明を省略する。図９の上のグラフに示すように、等ピッチで配置した場合の推進力についても、含まれている周波数成分のうち、約２００Ｈｚの周波数成分の振幅が最も大きくなっている。即ち、本実施例の部品装着機１０の構成では、磁気吸引力及び推進力ともに装着作業の動作時に発生する力の変動における主要な周波数（振幅が最大の周波数）が、２００Ｈｚとなっている。この２００Ｈｚは、固定子４１の磁石４４のピッチ４５等に起因している。そこで、本実施例では、ピッチ４５を不等ピッチとすることで、推進力を維持して移動速度を維持しつつ、振動や騒音を低減することが可能となっている。

【0035】

さらに、図１０は、作業ヘッド１３をＸ方向移動装置１８によりＸ方向へ実際に移動させた場合に測定した走行音の周波数特性を示している。走行音の測定は、図３に示すデバイスエリアと、図４に示す基板エリアのそれぞれを対象に、騒音計を用いて測定した。図１０の実線のグラフは、デバイスエリアの測定結果を、一点鎖線のグラフは、基板エリアの測定結果を示している。また、図１０の横軸は、走行音に含まれる周波数（周波数成分）を示しており、縦軸は、その周波数における音のレベル（大きさ）を［ｄＢ］で示している。

【0036】

図１０は、測定した走行音を周波数解析することで、リニアモータ４０から発生する走行音の周波数の特性を示している。図１０に示すように、基板エリアの走行音は、２００Ｈｚ付近において音レベルが最も大きくなっている。換言すれば、基板エリアの走行音が大きくなる原因として、２００Ｈｚ付近の成分によるものが考えられる。上記したように、本実施例のＸスライド２２は、基板エリア（搬送口１２Ａ，１２Ｂ）においてレール部４３をベース１２によって橋のように支持されている（図３及び図４参照）。このため、走行時に特定の周波数（例えば、２００Ｈｚ）を成分とする振動や騒音が発生する可能性がある。

【0037】

また、図１１は、本実施例のベース１２をモーダル解析した結果を示している。図１１に示すように、搬送口１２Ａ，１２Ｂに複数（例えば、各６個の合計１２個）のセンサ６７（振動センサなど）を取り付け、Ｘ方向やＹ方向にハンマリング（ハンマによる加振）を実施し、ベース１２の特徴的な振動数（共振振動数、固有振動数など）を測定した。図１１の左側の模式図は、ハンマリング前の状態を示しており、右側の模式図は、Ｘ方向（可動子４２の移動方向）に加振した時に搬送口１２Ａ，１２Ｂ（基板エリア）に発生した振動の様子を示している。右側の模式図に示すように、移動方向の振動が発生した場合に、移動方向（Ｘ方向）の中央部分（搬送口１２Ａ，１２Ｂの中央上部となるレール部４３）に強い振動が発生している。この固有振動を解析したところ、図１１のグラフに示すように、約２１０Ｈｚの周波数で振幅がピーク６９となり大きくなっている。従って、磁気解析、走行音の解析、モーダル解析の３つの異なる解析を実施し全てが略同一の周波数（２００Ｈｚ近傍の周波数）が原因であることが判明した。これは、図３及び図４に示すように、基板１１が通過可能な穴（搬送口１２Ａ，１２Ｂ）をベース１２に確保したことで、レール部４３（リニアモータ４０）の搬送口１２Ａ，１２Ｂにおける剛性が、他のベース１２で支持されている部分の剛性に比べて低下したことが一つの要因と考えられる。

【0038】

そこで、本開示の発明者らは、この約２００Ｈｚの周波数成分を対象（低減するターゲット）として設定し、その周波数成に起因した振動・騒音を低減するように、磁石４４のピッチ４５について鋭意検討した。その結果、図７に示す不等な第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄを導き出すことに成功した。従って、本実施例のリニアモータ４０では、可動子４２の走行時における磁気吸引力及び推進力の変動に含まれる周波数成分に基づいて、図７に示す不等な第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄで磁石４４を配置している。

【0039】

図７は、磁石４４の配置を示している。以下の説明では、図７に示すように、Ｘ方向における一方側（図７の左側）から他方側（図７の右側）へ並ぶ順に複数の磁石４４の各々を、第１磁石４４Ａ、第２磁石４４Ｂ、第３磁石４４Ｃ、第４磁石４４Ｄ、と称して説明する。また、第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄを総称する場合は、磁石４４と記載する。後述する第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄについても同様である。第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄは、Ｘ方向において、この順番に繰り返し並んで配置されている。第１磁石４４Ａは、第３磁石４４Ｃと同極（例えば、Ｎ極）である。Ｘ方向における第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄの幅６４は、互いに同一となっている。磁石４４の幅６４は、例えば、数十ｍｍである。

【0040】

第２磁石４４Ｂは、第１磁石４４Ａとは異なる極性（例えば、Ｓ極）で、且つ、第４磁石４４Ｄと同極である。第２磁石４４Ｂは、第１幅６５Ａを間に設けて第１磁石４４Ａの隣に配置されている。第３磁石４４Ｃは、第２幅６５Ｂを間に設けて第２磁石４４Ｂの隣に配置されている。第４磁石４４Ｄは、第３幅６５Ｃを間に設けて第３磁石４４Ｃの隣に配置されている。そして、第１磁石４４Ａは、第４幅６５Ｄを間に設けて第４磁石４４Ｄの隣に配置されている。第１幅６５Ａは、第３幅６５Ｃと同一である。第１幅６５Ａ及び第３幅６５Ｃは、例えば、数ｍｍである。また、第２幅６５Ｂは、第１幅６５Ａに比べて大きくなっている。第４幅６５Ｄは、第１幅６５Ａに比べて小さくなっている。そして、第１幅６５Ａ（第３幅６５Ｃ）と第２幅６５Ｂとの差（第２幅６５Ｂから第１幅６５Ａを減算した値）が、第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａとの差（第１幅６５Ａから第４幅６５Ｄを減算した値）と同一となっている。第１幅６５Ａ（第３幅６５Ｃ）と第２幅６５Ｂとの差は、例えば、０．数ｍｍ（＝第２幅６５Ｂ－第１幅６５Ａ）である。

【0041】

尚、上記した各長さや幅の数値・単位は、一例であり、リニアモータ４０が備える各装置の大きさ、構造等に応じて適宜変更される。また、第１幅６５Ａは、第３幅６５Ｃと略同一でも良い。また、第１幅６５Ａ（第３幅６５Ｃ）と第２幅６５Ｂとの差は、第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａとの差と略同一でも良い。本開示において略同一とは、例えば、同一ではないものの、同一とした場合と同等の効果（振動を低減する効果など）を図れる範囲の差（微細な差）を含む概念である。従って、略同一には、製造上の精度の誤差の範囲だけでなく、効果として同等の効果を奏する範囲を含んでいる。他の幅（第１ピッチ４５Ａと第３ピッチ４５Ｃなど）の同一、略同一についても同様である。また、上記した磁石４４の配置は一例である。例えば、第１幅６５Ａ（第３幅６５Ｃ）と第２幅６５Ｂとの差が、第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａとの差と異なっていても良い。

【0042】

従って、第１磁石４４Ａのピッチ４５である第１ピッチ４５Ａと、第３磁石４４Ｃのピッチ４５である第３ピッチ４５Ｃとは同一である。第１ピッチ４５Ａは、第１磁石４４Ａの幅６４に第１幅６５Ａを加算した幅である。同様に、第３ピッチ４５Ｃは、第３磁石４４Ｃの幅６４に第３幅６５Ｃを加算した幅である。第２ピッチ４５Ｂ及び第４ピッチ４５Ｄの定義も同様である。従って、第２磁石４４Ｂのピッチ４５である第２ピッチ４５Ｂは、第１ピッチ４５Ａに比べて大きい。具体的には、上記した第１幅６５Ａと第２幅６５Ｂとの差だけ、第２ピッチ４５Ｂが第１ピッチ４５Ａに比べて大きくなっている。また、第４磁石４４Ｄのピッチ４５である第４ピッチ４５Ｄは、第１ピッチ４５Ａに比べて小さい。具体的には、上記した第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａとの差だけ、第４ピッチ４５Ｄが第１ピッチ４５Ａに比べて小さくなっている。このため、ピッチ４５の関係は、第２ピッチ４５Ｂ＞第１ピッチ４５Ａ＝第３ピッチ４５Ｃ＞第４ピッチ４５Ｄとなっている。

【0043】

このような第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄとすることで、図８の下の図に示すように、約２００Ｈｚの成分は、吸引力方向で約４４％も低減することができた。また、図９の下の図に示すように、推進力方向では、約２００Ｈｚの成分を約４０％も低減することができた。約２００Ｈｚの振動成分を低減させることでベース１２の基板エリアの振動を大幅に低減できる。さらに、図９に示すように、推進力全体としては、変更前の等ピッチの状態と略同一の推進力を維持できた。最も振幅の大きい約２００Ｈｚに起因した振動・騒音を抑制できただけでなく、必要な推進力を確保することができている。

【0044】

従って、本実施例の第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄは、可動子４２の走行時における磁気吸引力及び推進力の変動に含まれる周波数成分のうち、力の振幅のピークが発生した位置の周波数成分を抑制する不等ピッチで配置されている。これにより、特定のピークが発生している周波数成分を対象として振動・騒音の抑制を図ることができる。装置の構造等に起因した特有の固有振動や特定の音を抑制することができる。本実施例であれば、上記した通り搬送口１２Ａ，１２Ｂの構造に起因した振動や、基板エリアに発生する騒音について、約２００Ｈｚの振動や音を抑制できる。尚、本実施例では、図８に示す磁気吸引力と、図９に示す推進力の両方を対象として、力の振幅のピークが発生した位置の周波数成分を抑制する不等ピッチとしたが、２つの力のうち、少なくとも一方を対象とした不等ピッチとしても良い。例えば、２つの力のうち、振幅がより大きい力を対象に絞って、その最大振幅の周波数を対象に磁石４４を不等ピッチとしても良い。

【0045】

また、第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄは、磁気吸引力及び推進力の変動に含まれる周波数成分のうち、力の振幅が最も大きい周波数成分（本実施例では２００Ｈｚの成分）を抑制する不等ピッチで配置されている。これにより、振動や騒音を発生させている周波数として、最も影響が大きい周波数を抑制し、振動や騒音を効果的に抑制できる。尚、ピッチ４５を、力の振幅が最も大きい周波数成分を対象として設定しなくとも良い。例えば、ピッチ４５を、磁気吸引力や推進力の変動に含まれる周波数成分のうち、力の振幅が２番目に大きい周波数成分を対象として設定しても良い。

【0046】

また、図７に示す第２幅６５Ｂが、第１幅６５Ａに比べて大きく、第４幅６５Ｄが、第１幅６５Ａに比べて小さくなっている。このように交互にピッチ４５を変更することで、不等ピッチによる可動子４２の可動子磁石（三相のコイル４９）に対する磁気的な不平衡を低減することができる。即ち、不等ピッチとして振動や騒音の低減を図りつつ、可動子４２との磁気的なバランスを維持することで、結果として推進力を維持できる。尚、図７に示すピッチ４５は、一例である。可動子４２の走行時における磁気吸引力及び推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づいて不等なピッチ４５を適宜設定しても良い。このため、リニアモータ４０やそれを支持するベース１２等の構造・特徴に起因した振動等を抑制するピッチ４５としても良い。周波数成分に基づく不等ピッチであれば、第２幅６５Ｂ及び第４幅６５Ｄの両方が、第１幅６５Ａに比べて小さくとも良く、第２幅６５Ｂ及び第４幅６５Ｄの両方が、第１幅６５Ａに比べて大きくとも良い。また、第２幅６５Ｂ又は第４幅６５Ｄの一方が第１幅６５Ａと同一でも良い。

【0047】

さらに、第１幅６５Ａと第２幅６５Ｂとの差が、第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａとの差と等しくなっている。これにより、不等ピッチによる可動子４２の可動子磁石に対する磁気的な不平衡をより低減できる。尚、第１幅６５Ａと第２幅６５Ｂとの差が、第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａとの差と異なっていても良い。

【0048】

また、上記したように、仮に、複数の磁石４４を略等ピッチで配置した場合の推進力を第１推進力とした場合、複数の磁石４４を不等ピッチで配置した場合の推進力は、第１推進力と略同一となっている。例えば、図９では、推進力方向の電磁力が全体として若干だけ下がっているものの、図８に示す磁気吸引力が維持されることで、可動子４２を移動させる力は、不等ピッチとした場合にも、等ピッチの場合と同等の力（所望の速度やトルク）を得ることができている。即ち、略同一と言えるほど、移動に必要な推進力を確保できている。これにより、必要な推進力を維持しつつ、振動や騒音を抑制できる。

【0049】

また、複数の被巻回部４８Ｂ及びコイル４９は、図６に示すように、可動子４２の移動方向に並んで配置され、略一定のピッチ５５で配置されている。これにより、固定子４１の不等ピッチに対し、可動子４２を等ピッチとすることで、磁気的な不平衡の発生を抑制できる。

【0050】

また、ベース１２は、リニアモータ４０を支持し、基板１１を搬送する搬送口１２Ａ，１２Ｂが形成されている（図３、図４参照）。作業ヘッド１３は、可動子４２に搭載され、可動子４２の移動に合わせて移動し、基板１１に対する装着作業を実行する。このような構成では、作業ヘッド１３の移動にともなって、搬送口１２Ａ，１２Ｂにおいて特定の周波数成分の振動や騒音が発生する。このため、上記した特定の周波数成分を対象として磁石４４を不等ピッチとすることは、搬送口１２Ａ，１２Ｂを形成したベース１２でリニアモータ４０を支持する部品装着機１０において極めて有効である。

【0051】

また、上記したように、磁気吸引力及び推進力の変動における振幅が最も大きい周波数成分の周波数が、ベース１２をモーダル解析した場合に搬送口１２Ａ，１２Ｂに発生する振動に含まれる周波数成分のうち、振幅のピークが発生した位置の周波数と略同一である（図１１参照）。これにより、可動子４２の磁気吸引力及び推進力の変動に含まれる振幅が最も大きい周波数成分と、作業ヘッド１３の移動によって搬送口１２Ａ，１２Ｂに発生する力の変動に含まれる振幅が最も大きい周波数成分とをまとめて抑制することができる。影響が大きい最大振幅の周波数を揃えることで、不等ピッチによる抑制効果をより発揮させることができる。

【0052】

また、ベース１２は、可動子４２の移動方向における中央に搬送口１２Ａ，１２Ｂが形成され、移動方向における両側でレール部４３を下方から支持している。搬送口１２Ａ，１２Ｂの上部は、レール部４３によって閉塞されている。これにより、基板１１を搬入・搬出するのに必要な開口の大きさを確保するとともに、レール部４３を搬送口１２Ａ，１２Ｂの一部として流用することで、装置の小型化を図ることができる。そして、この橋を渡すような構造において、磁石４４を不等ピッチとし、特有の振動等を抑制できる。

【0053】

また、一対のＸ方向移動装置１８の両方は、図５に示すように、同じ態様で第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄで第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄが配置されている。このため、２つのリニアモータ４０が同一構成となっている。従って、部品装着機１０は、リニアモータ４０として、一対のＸ方向移動装置１８のそれぞれにリニアモータ４０（本開示の第１リニアモータ、第２リニアモータの一例）を備えている。ベース１２は、各リニアモータ４０を支持し、基板１１を搬送する搬送口１２Ａ，１２Ｂ（本開示の第１搬送口、第２搬送口の一例）がそれぞれ形成されている。作業ヘッド１３は、２つのリニアモータ４０の各々の可動子４２の両方に搭載され、２つの可動子４２の移動に合わせてＸ方向へ移動する。そして、２つのリニアモータ４０の各々が有する複数の第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄは、２つのリニアモータ４０で互いに同じ不等ピッチの第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄで配置されている。これにより、一対のＸ方向移動装置１８の両方で作業ヘッド１３を支える構成において、磁気吸引力及び推進力に含まれる特定の周波数成分を両方のＸ方向移動装置１８で抑制できる。従って、一対のＸ方向移動装置１８で、可動子４２を安定して走行させることができる。尚、一対のＸ方向移動装置１８は、互いに異なるピッチ４５でも良い。また、Ｙ方向移動装置１９のリニアモータについても、図５に示すリニアモータ４０（Ｘ方向移動装置１８）と同様の不等ピッチの構成を採用することで、振動及び騒音の低減を図ることができる。

【0054】

（３．リニアモータ４０の製造方法）
次に、上記した構成のリニアモータ４０の製造方法について説明する。まず、例えば、上記した通り、磁気解析、走行音解析、モーダル解析によって振動・騒音の主な原因となる周波数、即ち、対象の周波数を設定する。磁石４４を不等ピッチとしながら、対象となる周波数の低減状況や騒音を確認する。この際、可動子４２の可動子磁石を等ピッチで維持する。例えば、第１幅６５Ａと第３幅６５Ｃを同一としたまま、第２幅６５Ｂを第１幅６５Ａに比べて所定幅だけ大きくし、その増加分の所定幅だけ第４幅６５Ｄを第１幅６５Ａに比べて小さくする。そして、第１幅６５Ａと第２幅６５Ｂの差を、第４幅６５Ｄと第１幅６５Ａの差と等しい状態で、二つの差を同様に増減させつつ、対象の周波数成分の低減状態を確認する。これにより、対象の周波数成分が最も抑制できる不等ピッチを導き出すことができる。確認した不等な第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄで磁石４４を並べてレール部４３に収納することで、振動・騒音を低減できるリニアモータ４０を製造できる。

【0055】

因みに、上記実施例において、部品装着機１０は、本開示の対基板作業機の一例である。搬送口１２Ａ，１２Ｂは、第１搬送口、第２搬送口の一例である。作業ヘッド１３は、作業部の一例である。磁石４４は、固定子磁石、第１～第４固定子磁石の一例である。第１磁石４４Ａは、本開示の固定子磁石、第１固定子磁石の一例である。第２磁石４４Ｂは、本開示の固定子磁石、第２固定子磁石の一例である。第３磁石４４Ｃは、本開示の固定子磁石、第３固定子磁石の一例である。第４磁石４４Ｄは、本開示の固定子磁石、第４固定子磁石の一例である。被巻回部４８Ｂ及びコイル４９は、可動子磁石の一例である。一対のＸ方向移動装置１８のそれぞれに設けられたリニアモータ８１は、第１リニアモータ、第２リニアモータの一例である。Ｘ方向は、移動方向の一例である。

【0056】

（４．効果）
上記した本実施例では、以下の効果を奏する。
本実施例の一態様では、第１～第４磁石４４Ａ～４４Ｄは、可動子４２の走行時における磁気吸引力及び推進力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置されている。これにより、磁気吸引力及び推進力に含まれる特定の周波数成分を抑制でき、可動子４２の走行時の振動を低減できる。

【0057】

（５．その他）
尚、本願は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。
例えば、上記実施例では、本開示のリニアモータとして、コイル４９を可動子４２に取り付ける、所謂ムービングコイル方式のリニアモータ４０を採用したが、可動子４２に磁石４４を取り付けた所謂ムービングマグネット方式のリニアモータでも良い。この場合、固定子４１側のコイル４９を、上記実施例の第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄのように不等ピッチとしても良い。
また、上記実施例の被巻回部４８Ｂやコイル４９の数は一例であり、適宜変更可能である。
また、上記実施例では、固定子磁石である磁石４４の第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄを不等ピッチとしたが、可動子４２のコイル４９（被巻回部４８Ｂ）のピッチ５５を、磁気吸引力、推進力に基づいて不等ピッチとしても良い。また、第１～第４ピッチ４５Ａ～４５Ｄとピッチ５５の両方を不等ピッチとしても良い。従って、本開示の内容は、複数の固定子磁石、及び、複数の可動子磁石の少なくとも一方を、可動子の走行時における磁気吸引力及び推進力のうち、少なくとも一方の力の変動に含まれる周波数成分に基づく不等ピッチで配置しても良い。

【0058】

また、上記実施例では、本開示のリニアモータ４０として、Ｆ型のリニアモータを採用したが、これに限らない。本開示のリニアモータ４０としては、例えば、図１２に示す所謂Ｔ型のリニアモータ７１や図１３に示すシャフト型のリニアモータ８１を採用できる。尚、以下の説明では、上記した実施例と同様の構成については同一符号を付し、その説明を適宜省略する。

【0059】

図１２に示すように、リニアモータ７１は、Ｘ方向に延びる固定子７２と、キャリア７３を有している。キャリア７３は、本開示の可動子の一例である。固定子７２は、Ｙ方向で対向する一対の側壁７４を有する。尚、図１２は、一対の側壁７４のうち、手前側の側壁７４の図示を省略している。一対の側壁７４は、Ｘ方向に延び、Ｙ方向の内側に複数の磁石４４が配置されている。また、キャリア７３には、Ｙ方向の両側であって、磁石４４と対向する位置に、複数組の被巻回部４８Ｂ及びコイル４９が設けられている。複数組の被巻回部４８Ｂ及びコイル４９は、Ｘ方向に並んで配置されている。リニアモータ７１は、例えば、複数のコイル４９の各々に三相交流電力を供給することで、キャリア７３をＸ方向に移動させる。このようなＴ型のリニアモータ７１においても、Ｘ方向に並ぶ複数の磁石４４のピッチ４５を上記した実施例のように不等ピッチとしても良い。これにより、推進力を維持しつつ、振動・騒音を抑制できる。

【0060】

図１３は、シャフト型（円筒型とも言い得る）のリニアモータ８１の断面を示している。図１３に示すように、リニアモータ８１は、シャフト状の固定子８２を備えている。固定子８２には、軸方向に並ぶ複数の磁石８３が設けられている。複数の磁石８３は、スペーサ８４を間に挟んで配置され、Ｎ極とＳ極の磁束を交互に発生する構成となっている。固定子８２の外側には、可動子８６が軸方向（図１３の左右方向）に可動可能に設けられている。可動子８６には、複数組の被巻回部４８Ｂ及びコイル４９が軸方向に並んで設けられている。リニアモータ８１は、例えば、可動子８６に設けた磁気センサ（図示略）で固定子８２の磁極の位置を検出してコイル４９への通電を切り換えることで可動子８６を固定子８２に沿って直線駆動する。このようなシャフト型のリニアモータ８１においても、軸方向に並ぶ複数組の磁石８３及びスペーサ８４を調整し、磁石８３のピッチ４５を上記した実施例のように不等ピッチとしても良い。これにより、推進力を維持しつつ、振動・騒音を抑制できる。

【0061】

上記実施例では、本開示の対基板作業機として、基板１１に部品を実装する部品装着機１０を採用したが、これに限らない。本開示の対基板作業機としては、基板１１にクリームはんだを塗布するスクリーン印刷機、基板１１に装着された電子部品を検査する検査装置、基板１１に塗布されたクリームはんだを加熱して溶融させるリフロー炉など、基板１１に各種の作業を実行する作業機を採用できる。このような各対基板作業機においてもリニアモータを搭載する場合、本開示の不等ピッチのリニアモータを採用することで、振動や騒音を低減できる。

【0062】

尚、本開示の内容は、請求項に記載の従属関係に限定されない。例えば、請求項４において「請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ」を「請求項１から請求項３の何れか１項に記載のリニアモータ」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。また、例えば、請求項６において「請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ」を「請求項１から請求項５の何れか１項に記載のリニアモータ」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。また、例えば、請求項７において「請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ」を「請求項１から請求項６の何れか１項に記載のリニアモータ」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。また、例えば、請求項８において「請求項１又は請求項２に記載のリニアモータを備える対基板作業機」を「請求項１から請求項７の何れか１項に記載のリニアモータを備える対基板作業機」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。また、例えば、請求項１０において「請求項８に記載の対基板作業機」を「請求項１又は請求項９に記載の対基板作業機」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。

【符号の説明】

【0063】

１０ 部品装着機（対基板作業機）、１１ 基板、１２ ベース、１２Ａ，１２Ｂ 搬送口（第１搬送口、第２搬送口）、１３ 作業ヘッド（作業部）、４０，７１，８１ リニアモータ（第１リニアモータ、第２リニアモータ）、４３ レール部、４４，８３ 磁石（固定子磁石、第１～第４固定子磁石）、４４Ａ 第１磁石（固定子磁石、第１固定子磁石）、４４Ｂ 第２磁石（固定子磁石、第２固定子磁石）、４４Ｃ 第３磁石（固定子磁石、第３固定子磁石）、４４Ｄ 第４磁石（固定子磁石、第４固定子磁石）、４１，７２，８２ 固定子、４２，８６ 可動子、４５ ピッチ、４５Ａ～４５Ｄ 第１～第４ピッチ（ピッチ）、４８Ｂ 被巻回部（可動子磁石）、４９ コイル（可動子磁石）、５５ ピッチ、６５Ａ 第１幅、６５Ｂ 第２幅、６５Ｃ 第３幅、６５Ｄ 第４幅、７３ キャリア（可動子）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】