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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024134598
(43)【公開日】2024-10-04
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および、製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240927BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20240927BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 607
B41J2/14 301
B41J2/16 503
B41J2/14 613
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023044870
(22)【出願日】2023-03-22
(71)【出願人】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000028
【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】玉井 捷太郎
(72)【発明者】
【氏名】山▲崎▼ 壮輔
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF21
2C057AF71
2C057AG14
2C057AG44
2C057AN01
2C057AP25
2C057AQ02
2C057BA04
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】圧力室ごとに液体の吐出特性にばらつきを抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッドにおいて、流路基板と圧力室基板とは接着剤によって接合されている。圧力室基板は、振動板が存在する側の面に形成された開口であって、振動板の少なくとも一部を圧力室空間に露出させる第１開口と、流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、圧力室空間を流路基板に形成された流路につなぐ第２開口と、圧力室空間を区画する内壁部であって、第１開口と第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、壁部に形成され、流路基板から振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、壁部に形成され、第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、長手方向において少なくとも１つの凹部と第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凹部と、を有する。
【選択図】図６
【解決手段】液体吐出ヘッドにおいて、流路基板と圧力室基板とは接着剤によって接合されている。圧力室基板は、振動板が存在する側の面に形成された開口であって、振動板の少なくとも一部を圧力室空間に露出させる第１開口と、流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、圧力室空間を流路基板に形成された流路につなぐ第２開口と、圧力室空間を区画する内壁部であって、第１開口と第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、壁部に形成され、流路基板から振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、壁部に形成され、第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、長手方向において少なくとも１つの凹部と第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凹部と、を有する。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体吐出ヘッドであって、
液体をノズルに導く流路を形成する１つ以上の空間を有する流路基板と、
前記流路基板の前記空間に接続される１つ以上の圧力室空間を有する圧力室基板と、
前記圧力室空間と重なる位置に配置された振動板と、
前記振動板を振動させて前記圧力室空間の内部の前記液体に圧力を付与する圧電素子と、
を備え、
前記流路基板と、前記圧力室基板と、前記振動板と、前記圧電素子とがこの順で積層されており、
前記流路基板と、前記圧力室基板と、は接着剤によって接合されており、
前記圧力室基板は、
前記振動板が存在する側の面に形成された開口であって、前記振動板の少なくとも一部を前記圧力室空間に露出させる第１開口と、
前記流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、前記圧力室空間を前記流路基板に形成された前記流路につなぐ第２開口と、
前記圧力室空間を区画する内壁部であって、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、
前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記流路基板から前記振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、
前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、前記圧力室空間の長手方向と積層方向とに平行な平面で切断した断面で前記圧力室空間を見たときに、前記長手方向において前記少なくとも１つの凹部と前記第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凸部と、
を有する、
液体吐出ヘッド。
液体をノズルに導く流路を形成する１つ以上の空間を有する流路基板と、
前記流路基板の前記空間に接続される１つ以上の圧力室空間を有する圧力室基板と、
前記圧力室空間と重なる位置に配置された振動板と、
前記振動板を振動させて前記圧力室空間の内部の前記液体に圧力を付与する圧電素子と、
を備え、
前記流路基板と、前記圧力室基板と、前記振動板と、前記圧電素子とがこの順で積層されており、
前記流路基板と、前記圧力室基板と、は接着剤によって接合されており、
前記圧力室基板は、
前記振動板が存在する側の面に形成された開口であって、前記振動板の少なくとも一部を前記圧力室空間に露出させる第１開口と、
前記流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、前記圧力室空間を前記流路基板に形成された前記流路につなぐ第２開口と、
前記圧力室空間を区画する内壁部であって、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、
前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記流路基板から前記振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、
前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、前記圧力室空間の長手方向と積層方向とに平行な平面で切断した断面で前記圧力室空間を見たときに、前記長手方向において前記少なくとも１つの凹部と前記第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凸部と、
を有する、
液体吐出ヘッド。
【請求項2】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記流路基板には、前記圧力室空間へ前記液体を導入する流路と、前記圧力室空間から前記液体を排出する流路とのうち少なくとも一方が形成されており、少なくとも一方の流路は前記第２開口につながっている、
液体吐出ヘッド。
前記流路基板には、前記圧力室空間へ前記液体を導入する流路と、前記圧力室空間から前記液体を排出する流路とのうち少なくとも一方が形成されており、少なくとも一方の流路は前記第２開口につながっている、
液体吐出ヘッド。
【請求項3】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記流路基板には、前記ノズルが形成されており、前記ノズルは前記第１開口につながっている、
液体吐出ヘッド。
前記流路基板には、前記ノズルが形成されており、前記ノズルは前記第１開口につながっている、
液体吐出ヘッド。
【請求項4】
請求項２または３に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記少なくとも１つの壁部は、第１傾斜面と、第２傾斜面とを含み、
前記少なくとも１つの凹部は、第１凹部と、第２凹部とを含み、
前記少なくとも１つの凸部は、第１凸部と、第２凸部とを含み、
前記平行な平面で切断した前記断面で前記圧力室空間を見たときに、
前記第１傾斜面は、前記圧力室空間の前記長手方向の両端のうち一方の端において、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ傾斜面であり、
前記第１凹部および前記第１凸部は、前記第１傾斜面に配置され、
前記第２傾斜面は、前記圧力室空間の前記長手方向の両端のうち他方の端において、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ傾斜面であり、
前記第２凹部および前記第２凸部は、前記第２傾斜面に配置されている、
液体吐出ヘッド。
前記少なくとも１つの壁部は、第１傾斜面と、第２傾斜面とを含み、
前記少なくとも１つの凹部は、第１凹部と、第２凹部とを含み、
前記少なくとも１つの凸部は、第１凸部と、第２凸部とを含み、
前記平行な平面で切断した前記断面で前記圧力室空間を見たときに、
前記第１傾斜面は、前記圧力室空間の前記長手方向の両端のうち一方の端において、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ傾斜面であり、
前記第１凹部および前記第１凸部は、前記第１傾斜面に配置され、
前記第２傾斜面は、前記圧力室空間の前記長手方向の両端のうち他方の端において、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ傾斜面であり、
前記第２凹部および前記第２凸部は、前記第２傾斜面に配置されている、
液体吐出ヘッド。
【請求項5】
請求項４に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記圧力室基板は、
前記圧力室空間に接続され、前記圧力室空間に前記液体を導入する導入路であって、前記積層方向に見たときに、前記長手方向と交差する短手方向における長さが、前記圧力室空間の前記短手方向の長さより小さい導入路をさらに備え、
前記導入路は、前記平行な平面で切断した前記断面で前記圧力室空間を見たときに、前前記長手方向において前記第１凹部および前記第２凹部にくらべて前記第１開口により近い位置にある、
液体吐出ヘッド。
前記圧力室基板は、
前記圧力室空間に接続され、前記圧力室空間に前記液体を導入する導入路であって、前記積層方向に見たときに、前記長手方向と交差する短手方向における長さが、前記圧力室空間の前記短手方向の長さより小さい導入路をさらに備え、
前記導入路は、前記平行な平面で切断した前記断面で前記圧力室空間を見たときに、前前記長手方向において前記第１凹部および前記第２凹部にくらべて前記第１開口により近い位置にある、
液体吐出ヘッド。
【請求項6】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記振動板の前記圧力室基板と対向する側とは逆の側の面であって、前記第１凹部および前記第２凹部と重なる領域に保護基板が積層されており、
前記保護基板は、前記振動板のうち前記圧力室空間と向かい合う部分の一部には積層されていない、
液体吐出ヘッド。
前記振動板の前記圧力室基板と対向する側とは逆の側の面であって、前記第１凹部および前記第２凹部と重なる領域に保護基板が積層されており、
前記保護基板は、前記振動板のうち前記圧力室空間と向かい合う部分の一部には積層されていない、
液体吐出ヘッド。
【請求項7】
請求項６に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記圧力室基板はシリコン単結晶基板により形成されている、
液体吐出ヘッド。
前記圧力室基板はシリコン単結晶基板により形成されている、
液体吐出ヘッド。
【請求項8】
圧電デバイスの製造方法であって、
前記圧電デバイスは、第１基板と、第２基板と、振動板と、圧電素子と、がこの順で積層されており、
前記製造方法は、
前記第２基板の一方の面に前記振動板としての可撓性の膜を成膜する工程と、
前記可撓性の膜の上に前記圧電素子を形成する工程と、
前記第２基板に空間を形成する工程であって、
前記第２基板の前記一方の面に位置する第１開口と、
前記第２基板の他方の面に位置する第２開口と、
前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ壁部であって、少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの凹部より前記第２開口から遠い位置に少なくとも１つの凸部と、を備える壁部と、
を形成する、
工程と、
前記第２開口を上にして配置した前記第２基板の前記他方の面に、前記第１基板を接着剤で接着する工程と、
を含む製造方法。
前記圧電デバイスは、第１基板と、第２基板と、振動板と、圧電素子と、がこの順で積層されており、
前記製造方法は、
前記第２基板の一方の面に前記振動板としての可撓性の膜を成膜する工程と、
前記可撓性の膜の上に前記圧電素子を形成する工程と、
前記第２基板に空間を形成する工程であって、
前記第２基板の前記一方の面に位置する第１開口と、
前記第２基板の他方の面に位置する第２開口と、
前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ壁部であって、少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの凹部より前記第２開口から遠い位置に少なくとも１つの凸部と、を備える壁部と、
を形成する、
工程と、
前記第２開口を上にして配置した前記第２基板の前記他方の面に、前記第１基板を接着剤で接着する工程と、
を含む製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体吐出ヘッド、および、製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、液体吐出装置の吐出ヘッドにおいて、圧力室の一方の開口面を塞ぐ振動板にクラック等の損傷が発生するのを抑制する技術が記載されている。
【0003】
具体的には、振動板の圧力室基板側の面に、圧力室の開口面積より大きい面積を有する凹部が形成される。振動板と圧力室基板とが積層された状態で、振動板の圧力室基板側の面に形成された凹部のうち、圧力室基板における圧力室を区画する隔壁と重なる部分に切欠部が形成される。切欠部が形成されるのは、振動板における可撓領域の周縁部である。切欠部には、連通基板と圧力室基板とを接着する接着剤の一部が、圧力室の内壁を通じて流れ込み硬化している。このようにして、振動板の可撓領域の周辺が接着剤により補強されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－８０９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載の技術においては、接着剤が、振動板の可撓領域の周縁部だけでなく、振動板の可撓領域にまで到達することがある。接着剤が振動板の可撓領域に付着して硬化すると、液体吐出の際に振動板の可撓領域が十分に撓むことができず、液体の吐出特性の低下につながる。振動板の可撓領域への接着剤の付着量のばらつきにより、圧力室ごとに液体の吐出特性にばらつきが生じる。この結果、液体吐出装置ごとの画質にバラツキが生じるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、 液体吐出ヘッドであって、液体をノズルに導く流路を形成する１つ以上の空間を有する流路基板と、前記流路基板の前記空間に接続される１つ以上の圧力室空間を有する圧力室基板と、前記圧力室空間と重なる位置に配置された振動板と、前記振動板を振動させて前記圧力室空間の内部の前記液体に圧力を付与する圧電素子と、を備え、前記流路基板と、前記圧力室基板と、前記振動板と、前記圧電素子とがこの順で積層されており、前記流路基板と、前記圧力室基板と、は接着剤によって接合されており、前記圧力室基板は、前記振動板が存在する側の面に形成された開口であって、前記振動板の少なくとも一部を前記圧力室空間に露出させる第１開口と、前記流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、前記圧力室空間を前記流路基板に形成された前記流路につなぐ第２開口と、前記圧力室空間を区画する内壁部であって、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記流路基板から前記振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、前記圧力室空間の長手方向と積層方向とに平行な平面で切断した断面で前記圧力室空間を見たときに、前記長手方向において前記少なくとも１つの凹部と前記第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凸部と、を有する。
【0007】
本開示の第２の形態によれば、圧電デバイスの製造方法が提供される。前記圧電デバイスは、第１基板と、第２基板と、振動板と、圧電素子と、がこの順で積層されており、前記製造方法は、前記第２基板の一方の面に前記振動板としての可撓性の膜を成膜する工程と、前記可撓性の膜の上に前記圧電素子を形成する工程と、前記第２基板に空間を形成する工程であって、前記第２基板の前記一方の面に位置する第１開口と、前記第２基板の他方の面に位置する第２開口と、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ壁部であって、少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの凹部より前記第２開口から遠い位置に少なくとも１つの凸部と、を備える壁部と、を形成する、工程と、前記第２開口を上にして配置した前記第２基板の前記他方の面に、前記第１基板を接着剤で接着する工程と、を含む。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】液体吐出装置の概略構成を示す模式図である。
【図2】液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図5】ヘッド本体およびケース部材の構成の拡大図である。
【図6】圧力室基板の個別流路の形状についての説明図である。
【図7】本実施形態における形状の個別流路を有することの利点についての説明図である。
【図8】連通基板を有しない液体吐出ヘッドのヘッド本体およびケース部材の構成の拡大図である。
【図9】他の実施形態３にかかる圧力室基板に形成された個別流路の形状についての説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
Ａ．実施形態：
図１は、液体吐出ヘッド１００を備える液体吐出装置３００の概略構成を示す模式図である。図１において、理解を容易にするためＸＹＺ直交座標系を設定する。Ｘ軸およびＹ軸は水平面に沿っており、Ｚ軸は鉛直方向に沿っている。なお、液体吐出装置３００の載置方向によってはこの限りではない。直交とは、９０°±１０°の範囲を含む。図２以降の図面においても同様にＸＹＺ直交座標系が設定されている。
図１は、液体吐出ヘッド１００を備える液体吐出装置３００の概略構成を示す模式図である。図１において、理解を容易にするためＸＹＺ直交座標系を設定する。Ｘ軸およびＹ軸は水平面に沿っており、Ｚ軸は鉛直方向に沿っている。なお、液体吐出装置３００の載置方向によってはこの限りではない。直交とは、９０°±１０°の範囲を含む。図２以降の図面においても同様にＸＹＺ直交座標系が設定されている。
【0010】
液体吐出装置３００は、液体の一例としてインクを吐出することによって媒体である印刷用紙Ｐ上に画像を印刷するインクジェットプリンターである。液体吐出装置３００が液体を吐出する対象である媒体は、印刷用紙Ｐではなく、プラスチック、フィルム、繊維、布帛、皮革、金属、ガラス、木材、セラミックス等であってもよい。
【0011】
液体吐出装置３００は、液体を吐出する液体吐出ヘッド１００と、液体容器３１０と、ヘッド移動機構３２０と、搬送機構３３０と、制御部５００とを備える。
【0012】
液体吐出ヘッド１００は、液体を吐出する複数のノズル２１を有し、液体容器３１０から供給された液体を印刷用紙Ｐ上に吐出する。複数のノズル２１は、Ｙ軸方向に沿って配列されている。液体容器３１０は、液体吐出ヘッド１００から吐出される液体を貯留する。液体容器３１０が貯留する液体は、樹脂製のチューブ３１２を介して液体吐出ヘッド１００に供給される。液体容器３１０は、例えば、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パックである。
【0013】
ヘッド移動機構３２０は、液体吐出ヘッド１００を搭載するキャリッジ３２２と、キャリッジ３２２が固定されている駆動ベルト３２４と、駆動ベルト３２４を主走査方向に往復移動させる移動用モーター３２６およびプーリー３２７とを備える。移動用モーター３２６が、駆動ベルト３２４を主走査方向に往復移動することにより、キャリッジ３２２および液体吐出ヘッド１００が主走査方向に往復移動する。主走査方向は＋Ｘ方向および－Ｘ方向である。副走査方向は、主走査方向と交差する方向であり、＋Ｙ方向および－Ｙ方向である。図示する例においては、液体がノズル２１から＋Ｚ方向に吐出される。
【0014】
搬送機構３３０は、３つの搬送ローラー３３２と、搬送ローラー３３２が装着された搬送ロッド３３４と、搬送用モーター３３６とを備える。搬送用モーター３３６が、搬送ロッド３３４を回転駆動することにより、印刷用紙Ｐは副走査方向に搬送される。
【0015】
制御部５００は、ＣＰＵとメモリーとを備えるコンピューターであり、液体吐出装置３００全体を制御する。例えば、制御部５００は、キャリッジ３２２の主走査方向に沿った往復動作、印刷用紙Ｐの副走査方向に沿った搬送動作、液体吐出ヘッド１００の吐出動作を制御する。
【0016】
図２は、液体吐出ヘッド１００の構成を示す分解斜視図である。図３は、図２における液体吐出ヘッド１００のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。図３において、説明の便宜上、仮想的な中心面Ｏを設定する。中心面Ｏは、Ｙ軸およびＺ軸に平行な平面であり、ノズル列Ｌ１とノズル列Ｌ２とからの距離が等しい平面である。ノズル列Ｌ１は、Ｙ軸方向に沿って配置された複数のノズル２１を含む。ノズル列Ｌ２も同様である。液体吐出ヘッド１００のヘッド本体およびケース部材４０の構成は、中心面Ｏに対して＋Ｘ方向と－Ｘ方向とにおいて、その構成が共通している。
【0017】
図２、図３に示すように、液体吐出ヘッド１００は、圧力室基板１０と、連通基板１５と、ノズル基板２０と、保護基板３０と、ケース部材４０と、アクチュエーター１５０と、振動板１８０と、配線基板２００とを備える。これらの積層部材が積層されることで、液体吐出ヘッド１００が形成される。液体吐出ヘッド１００を形成する積層部材が積層される方向を積層方向ともよぶ。本実施形態において積層方向はＺ軸方向と一致する。あらかじめ決められた基準位置に対して、＋Ｚ方向側を「下側」とも呼び、－Ｚ方向側を「上側」ともよぶ。
【0018】
圧力室基板１０は、連通基板１５の上側の面に接着剤により固定されている。圧力室基板１０は、シリコン単結晶基板により形成されている。あるいは、圧力室基板１０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）等の金属、ジルコニア（ＺｒＯ２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等のセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミン酸（ＬａＡｌＯ３）等の酸化物材料によって形成されてもよい。圧力室基板１０には、ノズル２１にそれぞれ対応する個別流路Ｕ１が形成されている。個別流路Ｕ１には、連通基板１５に形成されたインク供給路１６から液体が流入する。
【0019】
図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ断面図である。なお、図４においてケース部材４０の図示を省略している。図４において、ノズル２１の位置を破線で示す。個別流路Ｕ１は、第１連通流路１１、圧力室１２、導入路１３、第２連通流路１４を含む。インク供給路１６から流入した液体は、第１連通流路１１、導入路１３、圧力室１２、第２連通流路１４を、この順で通過する。平面視において、個別流路Ｕ１は、Ｘ軸方向の長さがＹ軸方向の長さより長く、くびれを有する略平行四辺形状に形成されている。本明細書において、「平面視」とは、積層方向に沿って対象物を見た状態を意味する。なお、個別流路Ｕ１の平面視における形状は、図４に示す例に限られない。
【0020】
第１連通流路１１は、圧力室１２および導入路１３の上流に設けられた流路である。後述するインク供給路１６から流れ込んだ液体は、第１連通流路１１を通り、導入路１３に流れ込む。複数の圧力室１２は、複数のノズル２１に対応して個別にＹ軸方向に沿って配列されている。圧力室１２は、アクチュエーター１５０の駆動により、液体に圧力を付与するための空間である。
【0021】
導入路１３は、圧力室１２の上流に設けられた流路である。導入路１３は、第１連通流路１１と圧力室１２と接続する。短手方向（Ｙ軸方向）の導入路１３の長さ、即ち幅は、圧力室１２のＹ軸方向の長さより小さく設定されている。導入路１３の流路を絞ることにより、圧力室１２内の液体が、後述する第１共通液室１７、第２共通液室１８、および、液室部４２が形成する共通液室部へ逆流することが抑制される。第２連通流路１４は、圧力室１２の下流に設けられた流路である。圧力室１２を通過した液体は、第２連通流路１４を通り、後述するノズル連通口１９に流れこむ。本実施形態における個別流路Ｕ１の内部の形状の詳細については後述する。
【0022】
連通基板１５は、図２に示すように、ノズル基板２０の上側の面に接着剤により固定されている。連通基板１５は、例えば、シリコン単結晶基板によって形成される。
【0023】
図４に示すように、連通基板１５には、インク供給路１６と、第１共通液室１７と、第２共通液室１８と、ノズル連通口１９とが形成されている。連通基板１５を流路基板ともよぶ。インク供給路１６は、連通基板１５をＺ軸方向に貫通する貫通孔であり、第２共通液室１８と圧力室基板１０に形成された個別流路Ｕ１とを接続する。インク供給路１６は個別流路Ｕ１へ液体を導入する流路である。第１共通液室１７は、連通基板１５をＺ軸方向に貫通する貫通孔として形成されている。第２共通液室１８は、連通基板１５の下面に設けられた凹部として形成されている。第１共通液室１７と第２共通液室１８とは、後述するケース部材４０に形成された液室部４２とともに、液体の流路の一部を構成する。第１共通液室１７、第２共通液室１８、および、液室部４２は、ノズル２１に供給される液体を貯留する共通液室部を形成する。ノズル連通口１９は、連通基板１５をＺ軸方向に貫通する貫通孔であり、圧力室基板１０に形成された個別流路Ｕ１とノズル２１とを接続する。ノズル連通口１９は個別流路Ｕ１から液体を排出する流路である。連通基板１５には、ノズル２１の数に対応する数のノズル連通口１９が形成されている。
【0024】
図２に示すように、ノズル基板２０は、連通基板１５の下側の面に接着剤により固定されている。ノズル基板２０は、例えば、シリコン単結晶基板により形成される。ノズル基板２０には複数のノズル２１が形成されている。
【0025】
図３に示すように、保護基板３０は、振動板１８０の上側の面に接着剤により固定されている。保護基板３０を形成する材料は圧力室基板１０と同様である。保護基板３０は、アクチュエーター１５０を保護するとともに、圧力室基板１０および振動板１８０の強度を補強するために設けられている。
【0026】
保護基板３０には、凹部３３と、貫通孔３９と、が形成されている。凹部３３は－Ｚ側に開口している凹部である。このため、保護基板３０は、振動板１８０のうち圧力室１２と向かい合う部分の一部には積層されていない。凹部３３は液体の流路と接続されていないため、凹部３３には液体が流通しない。貫通孔３９は、配線基板２００が挿入されるための保護基板３０をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。
【0027】
図２に示すように、ケース部材４０は、連通基板１５の上に配置されている。ケース部材４０は、例えば、樹脂材料によって形成される。図３に示すように、ケース部材４０は、液室部４２と、接続口４３と、２つの液体流通口４４とを有する。液室部４２は、連通基板１５に形成された第１共通液室１７および第２共通液室１８とともに液体の流路の一部を構成する。接続口４３は、ケース部材４０をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。接続口４３には配線基板２００が差し込まれる。液体流通口４４は、ケース部材４０をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。液体流通口４４から液体が液体吐出ヘッド１００内部に流入する。
【0028】
図５は、図３における液体吐出ヘッド１００のヘッド本体およびケース部材４０の構成の拡大図である。ヘッド本体は、圧力室基板１０と連通基板１５とノズル基板２０と振動板１８０とを含む。図５に示すように、アクチュエーター１５０は、保護基板３０に形成された凹部３３の内部において振動板１８０上に配置されている。アクチュエーター１５０は、振動板１８０を振動させて圧力室１２内の液体に圧力を付与する。圧力室１２内の液体に圧力が付与されると、ノズル連通口１９を介してノズル２１から液体が吐出される。アクチュエーター１５０は、圧電素子１６０と、配線１７０とを有する。
【0029】
圧電素子１６０は、複数の第１電極１６１と、第２電極１６３と、圧電体１６５とを有する。第１電極１６１と圧電体１６５と第２電極１６３とは積層方向に沿ってこの順で積層されている。第１電極１６１は、積層方向に見たときに、振動板１８０の上側の面において対応する圧力室１２に重なる位置に配置されている。第２電極１６３は、複数の第１電極１６１に共通の電極であるため、複数の第１電極１６１すべてと重なる範囲にわたって配置されている。第１電極１６１と第２電極１６３とは、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のような各種金属、ニッケル酸ランタン（ＬａＮｉＯ３）等の導電性金属酸化物によって形成される。圧電体１６５は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成される。第１電極１６１は配線１７０を介して、後述する駆動回路２０１に電気的に接続される。第２電極１６３は不図示の配線を介して駆動回路２０１に電気的に接続される。
【0030】
振動板１８０は、積層方向に見たときに、複数の圧力室１２と重なる位置において圧力室基板１０の上に積層されている。振動板１８０は、可撓層１８１と、保護層１８３とを有する。可撓層１８１は圧力室基板１０上に成膜される。可撓層１８１は、例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）によって形成される。保護層１８３は可撓層１８１上に成膜される。保護層１８３は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）によって形成される絶縁膜である。なお、振動板１８０の少なくとも一部は、圧力室基板１０と共通の基板によって構成してもよい。例えば、圧力室基板１０を構成するシリコン単結晶基板の表面を熱酸化することによって、可撓層１８１を構成する二酸化シリコンを成膜することも可能である。なお、こうした場合においても、便宜上、圧力室基板１０において圧力室１２が開口すると表現する。
【0031】
図３に示すように、配線基板２００には駆動回路２０１が設けられている。駆動回路２０１は、制御部５００から供給される制御信号に基づいて、アクチュエーター１５０を駆動するための駆動信号を生成する。
【0032】
続いて、本実施形態における個別流路Ｕ１の内部の形状の詳細については説明する。個別流路Ｕ１を圧力室空間ともよぶ。
【0033】
図６は、圧力室基板１０に形成された個別流路Ｕ１の形状についての説明図である。図６において連通基板１５の図示を省略している。また、保護基板３０、圧電素子１６０、配線１７０、振動板１８０を破線で表している。個別流路Ｕ１のうち、圧力室基板１０に形成された貫通孔は、第１開口１０ａと、第２開口１０ｂと、傾斜面１０ｃと、傾斜面１０ｄと、凹部１０ｅと、凸部１０ｆと、凹部１０ｇと、凸部１０ｈとを含む。傾斜面１０ｃを第１傾斜面ともよぶ。傾斜面１０ｄを第２傾斜面ともよぶ。凹部１０ｅを第１凹部ともよぶ。凹部１０ｇを第２凹部ともよぶ。凸部１０ｆを第１凸部ともよぶ。凸部１０ｈを第２凸部ともよぶ。
【0034】
第１開口１０ａは、圧力室基板１０の上側の面に形成された開口である。第１開口１０ａは、圧力室基板１０に積層された振動板１８０の少なくとも一部を個別流路Ｕ１に露出させる開口である。第１開口１０ａは、積層方向に見たときに、圧力室１２および導入路１３が占める領域に重なる。
【0035】
第２開口１０ｂは、圧力室基板１０の下側の面に形成された開口である。図５に示すように、第２開口１０ｂは、圧力室基板１０と連通基板１５とが積層された状態において、個別流路Ｕ１を連通基板１５に形成された流路につなぐ開口である。図６に示すように、第２開口１０ｂの開口面積は、第１開口１０ａの開口面積より大きく設定されている。積層方向に見たときに、第２開口１０ｂは、第１開口１０ａを包含する。このため、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部は傾斜面となる。
【0036】
傾斜面１０ｃは、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち一方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部である。傾斜面１０ｃを壁部ともよぶ。傾斜面１０ｃは、個別流路Ｕ１を区画する内壁部の一部を構成する。傾斜面１０ｄは、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち他方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部である。傾斜面１０ｄを壁部ともよぶ。傾斜面１０ｄは、個別流路Ｕ１を区画する内壁部の一部を構成する。
【0037】
傾斜面１０ｃの振動板１８０に対する傾きθ１と、傾斜面１０ｄの振動板１８０に対する傾きθ２とはそれぞれ９０度未満となるように設定されている。実施形態においては、傾きθ１および傾きθ２は、４５度である。
【0038】
凸部１０ｆおよび凹部１０ｅは、傾斜面１０ｃに形成されている。凸部１０ｆは、振動板１８０から連通基板１５に向かう方向、即ち、＋Ｚ方向に突出する。凹部１０ｅは、連通基板１５から振動板１８０に向かう方向、即ち、－Ｚ方向にくぼんでいる。連通基板１５から振動板１８０に向かう方向を第１方向ともよぶ。凸部１０ｈおよび凹部１０ｇは、傾斜面１０ｄに形成されている。凸部１０ｈは、振動板１８０から連通基板１５に向かう方向、即ち、＋Ｚ方向に突出する。凹部１０ｇは、連通基板１５から振動板１８０に向かう方向、即ち、－Ｚ方向にくぼんでいる。
【0039】
凸部１０ｆは、積層方向において凹部１０ｅに対して第１開口１０ａ側にある。別の言い方をすると、凸部１０ｆは、個別流路Ｕ１が延びる長手方向（Ｘ軸方向）と積層方向（Ｚ軸方向）とに平行なＸＺ平面で切断した断面で個別流路Ｕ１を見たときに、凹部１０ｅより第１開口１０ａに近い位置にある。凸部１０ｈは、積層方向において凹部１０ｇに対して第１開口１０ａ側にある。別の言い方をすると、凸部１０ｈは、ＸＺ平面で切断した断面で個別流路Ｕ１を見たときに、凹部１０ｇより第１開口１０ａに近い位置にある。
【0040】
以下、振動板１８０、圧力室基板１０、および、連通基板１５を積層する工程を含む、圧電デバイスの製造方法を説明する。圧電デバイスは、液体吐出ヘッド１００の部品であり、圧電素子１６０が駆動することにより、振動板１８０を振動させ、圧力室空間内に貯留された液体に圧力を付与する。
【0041】
圧力室基板１０を第２基板ともよぶ。連通基板１５を第１基板ともよぶ。まず、圧力室基板１０の一方の面に振動板１８０の一部を構成する可撓層１８１が成膜される。次に、可撓層１８１の上に保護層１８３が成膜される。続いて、保護層１８３の上に圧電素子１６０が形成される。続いて、圧力室基板１０の他方の面に、個別流路Ｕ１を構成する空間を形成するためのマスクが形成される。マスクを介して、圧力室基板１０がエッチングされることにより、個別流路Ｕ１を構成する空間が形成される。ここで、エッチングは、等方性エッチング、異方性エッチングを含む。この結果、圧力室基板１０の一方の面であって振動板１８０が設けられている側の面に第１開口１０ａが形成される。圧力室基板１０の他方の面の第２開口１０ｂが形成される。
【0042】
その後、圧力室基板１０に連通基板１５を接着する。圧力室基板１０に連通基板１５を接着する際には、まず、圧力室基板１０が第２開口１０ｂ側を上にした状態で配置される。圧力室基板１０の第２開口１０ｂ側の面に接着剤が塗布される。圧力室基板１０の上に連通基板１５が配置される。このようにして、圧力室基板１０と連通基板１５とが接着材で接着される。その後、連通基板１５にノズル基板２０が積層される。このようにして、圧電デバイスが製造される。
【0043】
圧力室基板１０に連通基板１５を接着する際には、接着材の一部が、圧力室基板１０と連通基板１５とが接する面からはみ出すことがある。圧力室基板１０が、第２開口１０ｂ側を上にした状態で、連通基板１５の下に配置されているため、はみ出した接着材が、個別流路Ｕ１を区画する内壁を伝い、振動板１８０に到達することがある。振動板１８０に付着した接着剤が硬化すると、液体吐出の際に振動板１８０の可撓領域が十分に撓むことができない。振動板１８０の可撓領域への接着剤の付着量のばらつきにより、圧力室ごとに液体の吐出特性にばらつきが生じる。この結果、液体吐出装置３００ごとの画質にバラツキが生じる。
【0044】
図７は、本実施形態における液体吐出ヘッド１００が上述の形状の個別流路Ｕ１を有することの利点についての説明図である。図７に示す例では、個別流路Ｕ１を区画する内壁部の一部が傾斜面として形成されていない。一方、本実施形態においては、連通基板１５と重なる側の面に形成された第２開口１０ｂと振動板１８０と重なる側の面に形成された第１開口１０ａとをつなぐ内壁が、振動板１８０に対して傾いた傾斜面１０ｃ、１０ｄとして形成される。図７に示すような態様にくらべ、図６に示す本実施形態にかかる態様では、連通基板１５と圧力室基板１０とを接着する接着剤が個別流路Ｕ１を区画する内壁を伝って振動板１８０に到達するまでの距離を長くすることができる。よって、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
【0045】
さらに、傾斜面１０ｃに凹部１０ｅと凸部１０ｆとが設けられ、傾斜面１０ｄに凹部１０ｇと凸部１０ｈとが設けられる。このため、連通基板１５と圧力室基板１０とを接着する接着剤の一部が圧力室空間内に流れ込んだ場合に、接着剤が凹部１０ｅ、凹部１０ｇに保持される。よって、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
【0046】
従って、接着剤が振動板１８０の可撓領域に付着し、硬化する可能性を低減でき、液体吐出装置３００ごとの画質にバラツキの発生を抑制できる。仮に、接着剤の一部が振動板１８０に到達するとしても、本実施形態にかかる態様では、図７に示すような態様に比べ、振動板１８０に付着する接着材の量を低減できる。よって、振動板１８０の可撓領域において、接着剤が付着する範囲を従来の態様より小さくすることができる。
【0047】
また、図６に示すように、個別流路Ｕ１が延びる長手方向（Ｘ軸方向）と積層方向（Ｚ軸方向）とに平行なＸＺ平面で切断した断面で個別流路Ｕ１を見たときに、振動板１８０の圧力室基板１０と対向する側とは逆の側の面、即ち、上側の面であって、凹部１０ｅと重なる領域に保護基板３０が積層されている。また、振動板１８０の上側の面であって、凹部１０ｇと重なる領域にも保護基板３０が積層されている。圧力室基板１０の凹部１０ｅおよび凹部１０ｇが形成されている領域は、局所的に厚みが薄くなっている。さらに、圧力室基板１０はシリコン単結晶基板により形成されている。このため、応力集中により凹部１０ｅ、凹部１０ｇが形成されている領域の強度が、その他の領域に比べて低下することが想定される。当該領域に重なる範囲に保護基板３０が重ねられることにより、当該領域の強度を補強できる。
【0048】
また、図６に示すように、導入路１３は、積層方向において、凹部１０ｇおよび凸部１０ｈに対して第１開口１０ａの側にある。別の言い方をすると、導入路１３は、個別流路Ｕ１が延びる長手方向（Ｘ軸方向）と積層方向（Ｚ軸方向）とに平行なＸＺ平面で切断した断面で個別流路Ｕ１を見たときに、凹部１０ｇおよび凸部１０ｈにくらべて第１開口１０ａにより近い位置、すなわち、凹部１０ｇおよび凸部１０ｈより第２開口１０ｂから遠い位置にある。導入路１３の幅は、圧力室１２の幅より狭く設定されている。このため、接着剤の一部が導入路１３に干渉すると、液体の円滑な流通が妨げられる。上述した構成により、連通基板１５と圧力室基板１０とを接着する接着剤の一部が、導入路１３に干渉することを抑制できる。
【0049】
Ｂ．他の実施形態：
Ｂ１．他の実施形態１：
図８は、連通基板１５を有しない液体吐出ヘッド１００のヘッド本体およびケース部材４０の構成の拡大図である。上述の実施形態においては、ノズル基板２０と、圧力室基板１０との間に、連通基板１５が設けられている例を説明した（図５を参照）。しかしながら、液体吐出ヘッド１００は連通基板１５を有していなくてもよい。図８に示すように、ノズル基板２０の上側に圧力室基板１０が積層される。圧力室基板１０には、個別流路Ｕ１に加えて、個別流路Ｕ１と、ケース部材４０の液室部４２とを接続するため、Ｘ軸方向に沿った流路５１が形成される。ケース部材４０には、個別流路Ｕ１と液室部４２とを接続するため、流路５１に接続する流路５３が形成される。
Ｂ１．他の実施形態１：
図８は、連通基板１５を有しない液体吐出ヘッド１００のヘッド本体およびケース部材４０の構成の拡大図である。上述の実施形態においては、ノズル基板２０と、圧力室基板１０との間に、連通基板１５が設けられている例を説明した（図５を参照）。しかしながら、液体吐出ヘッド１００は連通基板１５を有していなくてもよい。図８に示すように、ノズル基板２０の上側に圧力室基板１０が積層される。圧力室基板１０には、個別流路Ｕ１に加えて、個別流路Ｕ１と、ケース部材４０の液室部４２とを接続するため、Ｘ軸方向に沿った流路５１が形成される。ケース部材４０には、個別流路Ｕ１と液室部４２とを接続するため、流路５１に接続する流路５３が形成される。
【0050】
Ｂ２．他の実施形態２：
上述の実施形態においては傾斜面１０ｃおよび１０ｄそれぞれに凹部と凸部とが形成されている例を説明した。しかしながら、傾斜面１０ｃおよび１０ｄのいずれかにのみ凹部と凸部とが形成されていてもよい。この場合も、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
上述の実施形態においては傾斜面１０ｃおよび１０ｄそれぞれに凹部と凸部とが形成されている例を説明した。しかしながら、傾斜面１０ｃおよび１０ｄのいずれかにのみ凹部と凸部とが形成されていてもよい。この場合も、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
【0051】
また、あるいは、傾斜面１０ｃおよび傾斜面１０ｄには、それぞれ凹部が形成されており、凸部が形成されていなくてもよい。あるいは、傾斜面１０ｃおよび傾斜面１０ｄには、それぞれ凸部が形成されており、凹部が形成されていなくてもよい。この場合も、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
【0052】
Ｂ３．他の実施形態３：
図９は、他の実施形態３にかかる圧力室基板１０に形成された個別流路Ｕ１の形状についての説明図である。図９において連通基板１５の図示を省略している。上述の実施形態において、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち一方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部が傾斜面１０ｃとして形成される例を説明した。しかしながら、図９に示すように、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち一方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部は傾斜面として形成されていなくてもよい。同様に、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち他方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部も傾斜面として形成されていなくてもよい。他の実施形態３においても、連通基板１５と圧力室基板１０とを接着する接着剤の一部が圧力室空間内に流れ込んだ場合に、接着剤が凹部１０ｅ、凹部１０ｇに保持される。よって、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
図９は、他の実施形態３にかかる圧力室基板１０に形成された個別流路Ｕ１の形状についての説明図である。図９において連通基板１５の図示を省略している。上述の実施形態において、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち一方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部が傾斜面１０ｃとして形成される例を説明した。しかしながら、図９に示すように、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち一方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部は傾斜面として形成されていなくてもよい。同様に、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうち他方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部も傾斜面として形成されていなくてもよい。他の実施形態３においても、連通基板１５と圧力室基板１０とを接着する接着剤の一部が圧力室空間内に流れ込んだ場合に、接着剤が凹部１０ｅ、凹部１０ｇに保持される。よって、接着剤が振動板１８０に到達することを抑制でき、接着剤が振動板１８０に到達する可能性を低減できる。
【0053】
あるいは、個別流路Ｕ１のＸ軸方向の両端のうちの一方の端において、第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部が傾斜面として形成され、他方の端において第１開口１０ａと第２開口１０ｂとをつなぐ壁部が傾斜面として形成されていなくてもよい。
【0054】
Ｂ４．他の実施形態４：
上述の実施形態においては、圧力室基板１０に形成された貫通孔が、２つの傾斜面１０ｃおよび１０ｄを含む例を説明した。しかしながら、圧力室基板１０に形成された貫通孔が、傾斜面１０ｃおよび１０ｄのうち一方のみを含んでいてもよい。この場合、一方の傾斜面に凹部と凸部とが形成される。
上述の実施形態においては、圧力室基板１０に形成された貫通孔が、２つの傾斜面１０ｃおよび１０ｄを含む例を説明した。しかしながら、圧力室基板１０に形成された貫通孔が、傾斜面１０ｃおよび１０ｄのうち一方のみを含んでいてもよい。この場合、一方の傾斜面に凹部と凸部とが形成される。
【0055】
Ｂ５．他の実施形態５：
実施形態においては、図６に示すように、傾斜面１０ｃの振動板１８０に対する傾きθ１と、傾斜面１０ｄの振動板１８０に対する傾きθ２と、がいずれも４５度である例を説明した。しかしながら、これに限られない。傾きθ１および傾きθ２は、それぞれ異なる角度に設定されていてもよい。また、好ましくは、傾きθ１およびθ２はそれぞれ１０度から６０度の範囲に設定される。より好ましくは、傾きθ１およびθ２はそれぞれ４５度から５０度の範囲に設定される。
実施形態においては、図６に示すように、傾斜面１０ｃの振動板１８０に対する傾きθ１と、傾斜面１０ｄの振動板１８０に対する傾きθ２と、がいずれも４５度である例を説明した。しかしながら、これに限られない。傾きθ１および傾きθ２は、それぞれ異なる角度に設定されていてもよい。また、好ましくは、傾きθ１およびθ２はそれぞれ１０度から６０度の範囲に設定される。より好ましくは、傾きθ１およびθ２はそれぞれ４５度から５０度の範囲に設定される。
【0056】
Ｂ６．他の実施形態６：
実施形態においては、図６に示すように、第１開口１０ａは、積層方向に見たときに、圧力室１２および導入路１３が占める領域に重なる例を説明した。しかしながら、第１開口１０ａは、積層方向に見たときに、少なくとも圧力室１２が占める領域に重なっていればよい。圧電素子１６０の駆動により圧力室１２内の液体に圧力が十分に付与されるためである。
実施形態においては、図６に示すように、第１開口１０ａは、積層方向に見たときに、圧力室１２および導入路１３が占める領域に重なる例を説明した。しかしながら、第１開口１０ａは、積層方向に見たときに、少なくとも圧力室１２が占める領域に重なっていればよい。圧電素子１６０の駆動により圧力室１２内の液体に圧力が十分に付与されるためである。
【0057】
Ｂ７．他の実施形態７：
実施形態においては、個別流路Ｕ１が延びる長手方向（Ｘ軸方向）の両端のうち一方の端に設けられた傾斜面１０ｃに凹部１０ｅおよび凸部１０ｆが設けられ、長手方向の両端の内の他方の端に設けられた傾斜面１０ｄに凹部１０ｇおよび凸部１０ｈが設けられる例を説明した。個別流路Ｕ１の短手方向の一方の端と他方の端とには、凹部および凸部を設けていない。接着剤の大部分は、図４に示すように、長手方向（Ｘ軸方向）の一方の端にある鋭角部分Ｐ１および長手方向の他方の端にある鋭角部分Ｐ２から圧力室空間内に流れ込む傾向がある。このため、実施形態においては、個別流路Ｕ１の短手方向の一方の端と他方の端とには、凹部および凸部を設けていない。これにより、凹部および凸部の形成に要する手間を簡略化できる。
実施形態においては、個別流路Ｕ１が延びる長手方向（Ｘ軸方向）の両端のうち一方の端に設けられた傾斜面１０ｃに凹部１０ｅおよび凸部１０ｆが設けられ、長手方向の両端の内の他方の端に設けられた傾斜面１０ｄに凹部１０ｇおよび凸部１０ｈが設けられる例を説明した。個別流路Ｕ１の短手方向の一方の端と他方の端とには、凹部および凸部を設けていない。接着剤の大部分は、図４に示すように、長手方向（Ｘ軸方向）の一方の端にある鋭角部分Ｐ１および長手方向の他方の端にある鋭角部分Ｐ２から圧力室空間内に流れ込む傾向がある。このため、実施形態においては、個別流路Ｕ１の短手方向の一方の端と他方の端とには、凹部および凸部を設けていない。これにより、凹部および凸部の形成に要する手間を簡略化できる。
【0058】
Ｂ８．他の実施形態８：
実施形態においては、連通基板１５には、個別流路Ｕ１に液体を導入するインク供給路１６と、個別流路Ｕ１から液体を排出するノズル連通口１９とが設けられる例を説明した。しかしながら、連通基板１５には、いずれか一方だけが形成されていてもよい。
実施形態においては、連通基板１５には、個別流路Ｕ１に液体を導入するインク供給路１６と、個別流路Ｕ１から液体を排出するノズル連通口１９とが設けられる例を説明した。しかしながら、連通基板１５には、いずれか一方だけが形成されていてもよい。
【0059】
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替え、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【0060】
Ｃ．他の形態：
（１）本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体をノズルに導く流路を形成する１つ以上の空間を有する流路基板と、前記流路基板の前記空間に接続される１つ以上の圧力室空間を有する圧力室基板と、前記圧力室空間と重なる位置に配置された振動板と、前記振動板を振動させて前記圧力室空間の内部の前記液体に圧力を付与する圧電素子と、を備え、前記流路基板と、前記圧力室基板と、前記振動板と、前記圧電素子とがこの順で積層されており、前記流路基板と、前記圧力室基板と、は接着剤によって接合されており、前記圧力室基板は、前記振動板が存在する側の面に形成された開口であって、前記振動板の少なくとも一部を前記圧力室空間に露出させる第１開口と、前記流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、前記圧力室空間を前記流路基板に形成された前記流路につなぐ第２開口と、前記圧力室空間を区画する内壁部であって、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記流路基板から前記振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、前記圧力室空間の長手方向と積層方向とに平行な平面で切断した断面で前記圧力室空間を見たときに、前記長手方向において前記少なくとも１つの凹部と前記第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凸部と、を有する。
上記の形態によれば、液体吐出ヘッドは、第２開口と第１開口とをつなぐ壁部に、凹部と、長手方向において凹部と第１開口との間に配置されている凸部とを備える。このため、流路基板と圧力室基板とを接着する接着剤の一部が圧力室空間内に流れ込んだ場合に接着剤が凹部に保持される。よって、接着剤が振動板に到達することを抑制できる。従って、接着剤が振動板の可撓領域に付着し、硬化する可能性を低減でき、液体吐出装置ごとの画質にバラツキの発生を抑制できる。
（１）本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体をノズルに導く流路を形成する１つ以上の空間を有する流路基板と、前記流路基板の前記空間に接続される１つ以上の圧力室空間を有する圧力室基板と、前記圧力室空間と重なる位置に配置された振動板と、前記振動板を振動させて前記圧力室空間の内部の前記液体に圧力を付与する圧電素子と、を備え、前記流路基板と、前記圧力室基板と、前記振動板と、前記圧電素子とがこの順で積層されており、前記流路基板と、前記圧力室基板と、は接着剤によって接合されており、前記圧力室基板は、前記振動板が存在する側の面に形成された開口であって、前記振動板の少なくとも一部を前記圧力室空間に露出させる第１開口と、前記流路基板が存在する側の面に形成された他の開口であって、前記圧力室空間を前記流路基板に形成された前記流路につなぐ第２開口と、前記圧力室空間を区画する内壁部であって、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ少なくとも１つの壁部と、前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記流路基板から前記振動板に向かう第１方向にくぼむ少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの壁部に形成され、前記第１方向とは逆の方向に突出する凸部であって、前記圧力室空間の長手方向と積層方向とに平行な平面で切断した断面で前記圧力室空間を見たときに、前記長手方向において前記少なくとも１つの凹部と前記第１開口との間に配置されている少なくとも１つの凸部と、を有する。
上記の形態によれば、液体吐出ヘッドは、第２開口と第１開口とをつなぐ壁部に、凹部と、長手方向において凹部と第１開口との間に配置されている凸部とを備える。このため、流路基板と圧力室基板とを接着する接着剤の一部が圧力室空間内に流れ込んだ場合に接着剤が凹部に保持される。よって、接着剤が振動板に到達することを抑制できる。従って、接着剤が振動板の可撓領域に付着し、硬化する可能性を低減でき、液体吐出装置ごとの画質にバラツキの発生を抑制できる。
【0061】
（２）上記形態において、前記流路基板には、前記圧力室空間へ前記液体を導入する流路と、前記圧力室空間から前記液体を排出する流路とのうち少なくとも一方が形成されており、少なくとも一方の流路は前記第２開口につながっていてもよい。
【0062】
（３）上記形態において、前記流路基板には、前記ノズルが形成されており、前記ノズルは前記第１開口につながっていてもよい。
【0063】
（４）上記形態において、前記少なくとも１つの壁部は、第１傾斜面と、第２傾斜面とを含み、前記少なくとも１つの凹部は、第１凹部と、第２凹部とを含み、前記少なくとも１つの凸部は、第１凸部と、第２凸部とを含み、前記平行な平面で切断した前記断面で前記圧力室空間を見たときに、前記第１傾斜面は、前記圧力室空間の前記長手方向の両端のうち一方の端において、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ傾斜面であり、前記第１凹部および前記第１凸部は、前記第１傾斜面に配置され、前記第２傾斜面は、前記圧力室空間の前記長手方向の両端のうち他方の端において、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ傾斜面であり、前記第２凹部および前記第２凸部は、前記第２傾斜面に配置されていてもよい。
【0064】
（５）上記形態において、前記圧力室基板は、前記圧力室空間に接続され、前記圧力室空間に前記液体を導入する導入路であって、前記積層方向に見たときに、前記長手方向と交差する短手方向における長さが、前記圧力室空間の前記短手方向の長さより小さい導入路をさらに備え、前記導入路は、前記平行な平面で切断した前記断面で前記圧力室空間を見たときに、前前記長手方向において前記第１凹部および前記第２凹部にくらべて前記第１開口により近い位置にあってもよい。
上記形態によれば、導入路が、第１凹部および第２凹部にくらべて第１開口により近い位置にあるので、流路基板が接着される面に形成された第２開口から接着剤の一部が、導入路に干渉することを抑制できる。
上記形態によれば、導入路が、第１凹部および第２凹部にくらべて第１開口により近い位置にあるので、流路基板が接着される面に形成された第２開口から接着剤の一部が、導入路に干渉することを抑制できる。
【0065】
（６）上記形態において、前記振動板の前記圧力室基板と対向する側とは逆の側の面であって、前記第１凹部および前記第２凹部と重なる領域に保護基板が積層されており、前記保護基板は、前記振動板のうち前記圧力室空間と向かい合う部分の一部には積層されていなくてもよい。
上記形態によれば、圧力室基板に凹部を形成した位置に保護基板が重ねられることにより、圧力室基板において凹部を形成した部分の強度を補強できる。
上記形態によれば、圧力室基板に凹部を形成した位置に保護基板が重ねられることにより、圧力室基板において凹部を形成した部分の強度を補強できる。
【0066】
（７）上記形態において、前記圧力室基板はシリコン単結晶基板により形成されていてもよい。
【0067】
（８）本開示の第２の形態によれば、圧電デバイスの製造方法が提供される。前記圧電デバイスは、第１基板と、第２基板と、振動板と、圧電素子と、がこの順で積層されており、前記製造方法は、前記第２基板の一方の面に前記振動板としての可撓性の膜を成膜する工程と、前記可撓性の膜の上に前記圧電素子を形成する工程と、前記第２基板に空間を形成する工程であって、前記第２基板の前記一方の面に位置する第１開口と、前記第２基板の他方の面に位置する第２開口と、前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ壁部であって、少なくとも１つの凹部と、前記少なくとも１つの凹部より前記第２開口から遠い位置に少なくとも１つの凸部と、を備える壁部と、を形成する、工程と、前記第２開口を上にして配置した前記第２基板の前記他方の面に、前記第１基板を接着剤で接着する工程と、を含む。
上記の形態によれば、第１基板と重なる側の面の第２開口と、振動板と重なる側の面の第１開口と、をつなぐ内壁が振動板に対して傾いた傾斜面として形成される。これにより、第２基板の上に第１基板を接着する際に、第１基板と第２基板とを接着する接着剤が空間を区画する内壁を伝って振動板に到達するまでの距離を、第２開口と第１開口とをつなぐ内壁を傾斜面として形成しない態様にくらべて、長くすることができる。よって、接着剤が振動板に到達することを抑制できる。さらに、第１基板において、第２開口と第１開口とをつなぐ傾斜面に、第１基板が存在する側の面に形成された第２開口に近い位置に凹部と、凹部より第２開口から遠い位置に凸部とが形成される。このため、第１基板と第２基板とを接着する接着剤の一部が室空間内に流れ込んだ場合に接着剤が凹部に保持される。よって、接着剤が振動板に到達することを抑制できる。従って、接着剤が振動板の可撓領域に付着し、硬化する可能性を低減できる。圧電デバイスごとの動作のバラツキの発生を抑制できる。
上記の形態によれば、第１基板と重なる側の面の第２開口と、振動板と重なる側の面の第１開口と、をつなぐ内壁が振動板に対して傾いた傾斜面として形成される。これにより、第２基板の上に第１基板を接着する際に、第１基板と第２基板とを接着する接着剤が空間を区画する内壁を伝って振動板に到達するまでの距離を、第２開口と第１開口とをつなぐ内壁を傾斜面として形成しない態様にくらべて、長くすることができる。よって、接着剤が振動板に到達することを抑制できる。さらに、第１基板において、第２開口と第１開口とをつなぐ傾斜面に、第１基板が存在する側の面に形成された第２開口に近い位置に凹部と、凹部より第２開口から遠い位置に凸部とが形成される。このため、第１基板と第２基板とを接着する接着剤の一部が室空間内に流れ込んだ場合に接着剤が凹部に保持される。よって、接着剤が振動板に到達することを抑制できる。従って、接着剤が振動板の可撓領域に付着し、硬化する可能性を低減できる。圧電デバイスごとの動作のバラツキの発生を抑制できる。
【0068】
本開示は、上述した液体吐出装置としての形態に限らず、液体吐出システム、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。
【符号の説明】
【0069】
１０…圧力室基板、１０ａ…第１開口、１０ｂ…第２開口、１０ｃ…傾斜面、１０ｄ…傾斜面、１０ｅ…凹部、１０ｆ…凸部、１０ｇ…凹部、１０ｈ…凸部、１１…第１連通流路、１２…圧力室、１３…導入路、１４…第２連通流路、１５…連通基板、１６…インク供給路、１７…第１共通液室、１８…第２共通液室、１９…ノズル連通口、２０…ノズル基板、２１…ノズル、３０…保護基板、３３…凹部、３９…貫通孔、４０…ケース部材、４２…液室部、４３…接続口、４４…液体流通口、５１…流路、５３…流路、１００…液体吐出ヘッド、１５０…アクチュエーター、１６０…圧電素子、１６１…第１電極、１６３…第２電極、１６５…圧電体、１７０…配線、１８０…振動板、１８１…可撓層、１８３…保護層、２００…配線基板、２０１…駆動回路、３００…液体吐出装置、３１０…液体容器、３１２…チューブ、３２０…ヘッド移動機構、３２２…キャリッジ、３２４…駆動ベルト、３２６…移動用モーター、３２７…プーリー、３３０…搬送機構、３３２…搬送ローラー、３３４…搬送ロッド、３３６…搬送用モーター、５００…制御部、Ｌ１…ノズル列、Ｌ２…ノズル列、Ｏ…中心面、Ｐ…印刷用紙、Ｐ１…鋭角部分、Ｐ２…鋭角部分、Ｕ１…個別流路
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】