特開 2024-13462 エキシマランプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024013462

(43)【公開日】2024-02-01

(54)【発明の名称】エキシマランプ

(51)【国際特許分類】

   H01J 65/00 20060101AFI20240125BHJP

【ＦＩ】

H01J65/00 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022115559

(22)【出願日】2022-07-20

(71)【出願人】

【識別番号】000128496

【氏名又は名称】株式会社オーク製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100156199

【弁理士】

【氏名又は名称】神崎 真

(74)【代理人】

【識別番号】100124497

【弁理士】

【氏名又は名称】小倉 洋樹

(72)【発明者】

【氏名】藤森 昭芳

(72)【発明者】

【氏名】本多 友彦

(57)【要約】

【課題】始動補助用の放電空間の形成の有無に関係なく、ランプの点灯始動性を向上させる。
【解決手段】エキシマランプ１０は、内側電極３０を覆う誘電体５０と、放電容器２０の外側に配置される外側電極４０とを備え、誘電体５０は、放電容器２０のランプ軸方向に沿って同軸配置され、放電容器２０の封止部２１と溶着している。内側電極３０の封止部反対側の端部には、誘電体５０に覆われず、放電容器２０内に露出する露出部３５が設けられている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電ガスが封入された放電容器と、
前記放電容器の内側にランプ軸方向に沿って配設された内側電極と、
前記放電容器と封止部で溶着し、前記内側電極を覆う誘電体と、
前記放電容器の外側に配設される外側電極とを備え、
前記内側電極の前記封止部とは反対側の端部に、前記誘電体に覆われず、前記放電容器内に露出する露出部が設けられていることを特徴とするエキシマランプ。

【請求項2】

前記内側電極が、箔状部分と、前記箔状部分と電気的に接続された棒状部分とを有し、
前記棒状部分の一部が、前記露出部として前記誘電体に覆われず、前記放電容器内に露出していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項3】

前記内側電極の棒状部分の露出部が、前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外で、前記放電容器内に露出していることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。

【請求項4】

前記内側電極の箔状部分の露出部側端部が、前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外に位置することを特徴とする請求項３に記載のエキシマランプ。

【請求項5】

前記外側電極の露出部側端部が、前記外側電極と前記内側電極の箔状部分とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外に位置することを特徴とする請求項３に記載のエキシマランプ。

【請求項6】

前記露出部が、前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外で、前記放電容器内に露出していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項7】

前記内側電極が箔状部分を有し、
前記誘電体のランプ軸方向に沿った一部を前記箔状部分と封着することで補助放電空間が形成され、
前記補助放電空間が、前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外に形成されていることを特徴とする請求項６に記載のエキシマランプ。

【請求項8】

前記放電容器の前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間よりも露出部側に、前記放電容器の前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間の内径よりも小さい内径の小径部が設けられ、
前記露出部の少なくとも一部が、前記小径部内に位置することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のエキシマランプ。

【請求項9】

前記誘電体の露出部側端部が、前記小径部内に位置することを特徴とする請求項８に記載のエキシマランプ。

【請求項10】

前記誘電体の露出部側端部が、前記外側電極と前記内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設外に位置することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のエキシマランプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エキシマランプに関し、特に、放電の構成に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、二重管構造のエキシマランプでは、箔状の内側電極を被覆する誘電体を放電管内に配置し、放電管の外表面に設けられた外側電極と内側電極との間に電圧を印加する（特許文献１参照）。これによって、誘電体と放電管との間に形成された放電空間から紫外線などのエキシマ光が放射される。

【0003】

また、高出力のエキシマランプを確実に点灯するため、放電開始電圧よりも低い電圧で放電する始動補助機能を備えたエキシマランプが知られている（特許文献２参照）。そこでは、二重管構造ランプの内側管内に、始動電圧の低いガスを封入した始動補助用の放電空間が、ランプ軸方向に沿って形成されている。始動補助用の放電空間から放射された紫外光が主放電空間のガスに照射することによって、主放電空間で放電が生じる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－３８６５８号公報

【特許文献2】特開２０１７－４７０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

始動補助用の放電空間の形成の有無に関係なく、ランプの点灯始動性を向上させる放電特性を備えたエキシマランプを提供することが求められる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のエキシマランプは、放電ガスが封入された放電容器と、放電容器の内側にランプ軸方向に沿って配設された内側電極と、放電容器と封止部で溶着し、内側電極を覆う誘電体と、放電容器の外側に配設される外側電極とを備える。

【0007】

放電容器、内側電極、誘電体、外側電極の形状、配置などの構成は様々である。例えば、放電容器は筒状容器として構成可能である。内側電極の形状は、両端の間に渡って同一形状、あるいは、異なる形状で繋がるように構成することも可能である。誘電体は、放電空間の領域等に応じてその延在する長さを定めればよい。外側電極は、放電容器外表面上に設置することが可能であり、あるいは外表面から所定間隔空けて設置することも可能である。

【0008】

本発明では、内側電極の封止部とは反対側の端部に、誘電体に覆われず、放電容器内に露出する部分（ここでは、露出部という）が設けられている。例えば、内側電極において、電源部と接続する給電線と接続する端部とは反対側の端部に、露出部を設けることが可能である。露出部を設けることによって、放電容器内において、点灯始動時における電界集中（電界強度分布）および放電集中が生じる空間領域と、定格点灯時における電界集中および放電集中が生じる空間領域を形成することが可能である。

【0009】

例えば、誘電体によって覆われる内側電極の形状などを適宜構成することにより、露出部に相当する空間領域（ここでは、露出領域という）と、定格点灯時において放電が支配的になる空間領域（ここでは、放電領域あるいは主放電領域という）との間に、電界集中が生じにくく、電界強度が抑えられる空間領域（ここでは、離隔領域という）を形成することも可能である。なお、露出領域、放電領域、離隔領域は、放電状態に関する特性や機能性などに関して規定される領域であって、上述した本発明の構成によって必然的にそのような領域が定まるものでもなく、権利範囲を限定する意図はない。

【0010】

内側電極の構成は様々であり、全体的に同一形状の電極構造であってもよく、異なる電極形状部分をもつように構成してもよい。いずれの形態においても、露出部が、外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向に沿った区間（以下、ランプ軸方向配設区間という）外で、放電容器内に露出するように構成することが可能である。ここで、「ランプ軸方向配設区間」は、放電容器の筒状部（径一定部分）の少なくとも一部に定められる区間として定義される。例えば、筒状部全体の区間として構成することも可能である。

【0011】

また、誘電体の露出部側端部は、外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設外に位置するように構成することが可能である。

【0012】

例えば、内側電極は、箔状部分と、箔状部分と電気的に接続された棒状部分とを設ける構成にすることが可能である。棒状部分の一部が、露出部として誘電体に覆われず、放電容器内に露出するように構成することができる。

【0013】

内側電極の棒状部分の露出部が、外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外で、放電容器内に露出している。

【0014】

内側電極の箔状部分の露出部側端部は、外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外に位置するように構成することが可能である。また、外側電極の露出部側端部は、外側電極と内側電極の箔状部分とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外に位置するように構成することが可能である。

【0015】

内側電極に箔状部分を設ける場合、誘電体のランプ軸方向に沿った一部を箔状部分と封着することで補助放電空間を形成することが可能である。補助放電空間は、外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間外に形成することができる。

【0016】

放電容器の構成としては、放電容器の外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間よりも露出部側に、放電容器の外側電極と内側電極とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間の内径よりも小さい内径の小径部を設けることができる。この場合、露出部の少なくとも一部が、小径部内に位置するように構成することができる。例えば、誘電体の露出部側端部が、小径部内に位置するように構成してもよい。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、始動補助用の放電空間の形成の有無に関係なく、ランプの点灯始動性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】第１の実施形態であるエキシマランプの側面側から見た概略的断面図である。

【図2】第１の実施形態であるエキシマランプの変形例を示した概略的断面図である。

【図3】第２の実施形態であるエキシマランプの概略的断面図である。

【図4】第２の実施形態であるエキシマランプの変形例を示した図である。

【図5】第３の実施形態であるエキシマランプを示した概略的断面図である。

【図6】第３の実施形態であるエキシマランプの変形例を示した概略的断面図である。

【図7】第４の実施形態であるエキシマランプの概略的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

【0020】

図１は、第１の実施形態であるエキシマランプの側面側から見た概略的断面図である。

【0021】

エキシマランプ１０は、石英ガラスなどの誘電材料から成る断面略円筒状の放電容器２０を備える。放電容器２０内には、ランプ軸（管軸）Ｃ方向に沿って延びる電極（以下、内側電極という）３０が設けられ、放電容器２０の外表面２０Ｓには、内側電極３０とランプ径方向に沿って対向する電極（以下、外側電極という）４０が配設されている。

【0022】

内側電極３０は、ランプ軸Ｃに沿って延びる柱状の誘電体５０に被覆されている。誘電体５０は、放電容器２０に対して同軸的に配置されている。また、内側電極３０は、その幅方向と厚さ方向の中心位置をランプ軸Ｃに合わせるように、放電容器２０に対して同軸的に配置されている。なお、内側電極３０を誘電体５０に埋設するように構成してもよい。

【0023】

放電容器２０の一方の端部２０Ｔ１には、誘電体５０が放電容器２０と一体的に加熱溶着した封止部２１が形成されている。そして、放電容器２０内部には、誘電体５０との放電容器２０の内周面との間に空間Ｓ１が形成されている（以下では、放電状態にならない空間部分を含め、便宜上、放電空間あるいは主放電空間という）。放電空間Ｓ１には、キセノンガスなどの希ガス、または希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが、放電ガスとして封入されている。放電ガスの封入圧（常温）は、例えば５ｋＰａ～１５０ｋＰａに定められている。

【0024】

外側電極４０は、ここでは、導電性の金属からなる線状の電極部を放電容器２０の外表面２０Ｓに沿って巻き付けて配設した構成であり、ランプ軸Ｃに沿って所定間隔で離間するように螺旋状に巻かれている。なお、線状以外の電極形状にすることも可能である。あるいは、放電容器２０の外表面２０Ｓに配置せず、ランプ径方向に沿って外表面２０Ｓから離間させた位置に配置させてもよい。

【0025】

放電容器２０の他方の端部２０Ｔ２には、放電空間Ｓ１を囲む内径一定部分（以下、筒状部という）２０Ｔ０からランプ軸Ｃに沿って突出する突起状部分（以下、小径部という）２２が設けられている。小径部２２の径（内径）Ｄは、ランプ製造の過程で形成され、放電容器の筒状部２０Ｔ０の径（内径）Ｄ０よりも小さい。ここでは、放電容器２０の外側管の先端側を加熱変形して縮径し、放電容器２０よりも小径のチップ管を溶着させることで、小径部２２を一体的に成形している。

【0026】

放電容器の筒状部２０Ｔ０の少なくとも一部であって、外側電極４０がランプ軸方向に沿って配設される区間（以下、ランプ軸方向配設区間という）Ｌは、ここでは筒状部２０Ｔ０のランプ軸方向に沿った範囲内、すなわち、放電容器２０の外径が先細くなる両端部２０Ｔ１、２０Ｔ２の間のランプ軸方向範囲に定められている。内側電極３０の封止部側端部３０Ｔ１と接続される給電線７０は、外部に設置された電源部（図示せず）と接続し、電力が給電線７０を介してエキシマランプ１０に供給される。

【0027】

高周波（例えば、数ｋＨｚ～数十ＭＨｚの範囲）および高電圧（例えば、数ｋＶ～十数ｋＶp-p(peak to peak)の範囲）が内側電極３０、外側電極４０に対して印加されることにより、エキシマ光が放電空間Ｓ１から放射される。ここでは、エキシマランプ１０からオゾンを生成可能な波長の紫外線（例えば、波長１７２ｎｍ）が放電容器２０外へ放射されるように、放電ガスが放電容器２０内に封入されている。したがって、エキシマランプ１０は、オゾン発生による除菌、消臭などを行うオゾン発生装置として適用することが可能であり、また、除菌、消臭などを目的として、対象物に対して紫外線を直接照射する紫外線照射装置に適用することができる。

【0028】

図１に示すように、内側電極３０は、管径方向（以下、ランプ径方向ともいう）に沿った幅を有する箔状の電極部分（以下、箔状部分という）３２と、ランプ軸Ｃに沿って延びる棒状の電極部分（以下、棒状部分という）３４から構成されている。ここでは、金属の箔状部分３２と棒状部分３４とが直接接続しているが、導電性部材を間に介在させてもよい。上述したランプ軸方向配設区間Ｌは、棒状部分３４を含めて内側電極３０と外側電極４０とがランプ径方向に沿って対向する区間を表す。

【0029】

箔状部分３２は、ランプ軸Ｃに沿ってその全体が誘電体５０に被覆されている。棒状部分３４は、一方の端部が箔状部分３２の端部３２Ｔと接続し、他方の端部がランプ軸Ｃに沿って小径部２２側へ延びている。誘電体５０は、その端部５０Ｔがランプ軸方向配設区間Ｌの位置に合わせた軸方向長さを有し、棒状部分３４の小径部２２側の一部は、誘電体５０に覆われておらず、放電容器２０内で露出している（以下、棒状部分３４の露出している部分を露出部３５とする）。

【0030】

このような内側電極３０と誘電体５０の構成により、放電容器２０に対して３つの空間領域を規定することができる。まず、内側電極３０と外側電極４０とがランプ径方向に沿って対向して配置されるランプ軸方向配設区間Ｌにおいて、内側電極３０の箔状部分３２と外側電極４０とがランプ径方向に沿って対向する空間領域Ｍ１を、ここでは“放電領域”（以下、主放電領域ともいう）と定める。

【0031】

一方、棒状部分３４の露出部３５が露出している空間領域Ｍ２を、ここでは“露出領域”と定める。露出領域Ｍ２では、外側電極４０と露出部３５とが対向する位置関係になっておらず、露出部３５の一部は、小径部２２の空間領域２２Ｗに収まる。そして、放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２の間に介在する空間領域Ｍ３を、ここでは“離隔領域”と定める。

【0032】

誘電体５０に覆われていない露出部３５は、内側電極３０の一部として構成され、電界集中が生じ、電界強度が高い領域として露出領域Ｍ２を形成している。そのため、点灯開始電圧を低下させる機能を有し、点灯性（始動性）が向上する。一方で、露出部３５は誘電体５０に覆われていないことから、ランプ点灯中、タングステンなど内側電極３０の電極材料がスパッタリング（溶融、蒸発）されやすい。しかし、棒状部分３４の露出部３５は円柱形状であるため、箔状部分３２のナイフエッジ状部分と比べて電界集中が抑えられ、スパッタリングを抑えることができる。箔状部分３２の幅方向長さと比べて径の小さい円柱形状であるため、箔状部分３２を露出させた場合と比べて電界集中が生じにくい。

【0033】

しかしながら、露出領域Ｍ２は、放電領域Ｍ１から離れた空間領域として定められ、また、離隔領域Ｍ３がその間に介在している。放電領域Ｍ１は、内側電極３０の箔状部分３２と外側電極４０とがランプ径方向に沿って対向して配置される軸方向配設区間Ｌに応じた空間領域であり、箔状部分３２のランプ軸に沿った両縁は縁に行くほど薄くなるナイフエッジ状に形成され、その幅方向長さは、円柱形状である棒状部分３４の径と比べて大きい。そのため、ナイフエッジ状部分において電界集中が生じ、電界強度が高い領域が放電領域Ｍ１に形成され、ランプの点灯始動後の安定（定格）点灯の放電空間Ｓ１では、露出領域Ｍ２での放電集中は抑制され、放電領域Ｍ１における放電が支配的となる。

【0034】

離隔領域Ｍ３は、外側電極４０と棒状部分３４とがランプ径方向に沿って対向する空間領域であるが、棒状部分３４は、箔状部分３２のようにナイフエッジ状部分が形成されず、箔状部分３２の幅方向長さと比べて径の小さい円柱形状になっている。そのため、放電領域Ｍ１と比べて電界集中が生じにくい。また、露出領域Ｍ２の露出部３５と同じ円柱形状であるが、離隔領域Ｍ３では、誘電体で覆われているため、露出領域Ｍ２と比べて電界集中が生じにくい。そのため、電界強度が高い領域が形成されず、離隔領域Ｍ３での放電集中は抑制される。

【0035】

このような電界強度の高い領域がそれぞれ形成される放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２との間に、電界強度が低い領域が形成される離隔領域Ｍ３を介在させることにより、ランプの点灯始動後の安定（定格）点灯中、露出領域Ｍ２において放電が支配的となる放電集中が発生すことを確実に抑えることができる。その結果、安定点灯中、棒状部分３４の溶融、蒸発が抑制され、黒化成分が付着し、遮光膜が放電容器２０内面に形成されることで照度低下が生じるのを抑えることができる。

【0036】

さらに、誘電体５０は、その端部５０Ｔが外側電極４０の端部４０Ｔ、すなわちランプ軸方向配設区間Ｌに合わせた位置になるように、ランプ軸Ｃ方向に沿って延びている。露出部３５は、ランプ軸方向配設区間Ｌから外れた露出領域Ｍ２に配置され、外側電極４０とランプ径方向に沿って対向しない。このような誘電体５０の配置によって、露出領域Ｍ２での電界集中が抑えられ、スパッタリングを抑えることができる。

【0037】

エキシマランプ１０を長時間点灯させた場合、内側電極３０の電極素材の特性などによって、ある程度のスパッタリングは避けられない場合もある。しかしながら、上述したように、小径部２２が放電容器２０の端部２０Ｔ２側に設けられ、露出部３５の一部が小径部２２の形成する空間領域２２Ｗに収まっている。空間領域２２Ｗは放電領域Ｍ１よりも低温となるため、仮に黒化成分が露出部３５から蒸発しても、その多くは小径部２２の内面に付着することになる。そのため、放電容器２０において安定した放電が生じる放電領域Ｍ１に対し、遮光膜が放電容器２０内面に形成されるのを防ぐことができる。

【0038】

なお、放電領域Ｍ１、露出領域Ｍ２、離隔領域Ｍ３は、厳密にその境界ラインを定めるものではなく、境界ライン付近において空間領域特性、機能性が混在する状態もあり得る。

【0039】

図２は、第１の実施形態の変形例であるエキシマランプを示した概略的断面図である。ここでは、誘電体５０の端部５０Ｔが、ランプ軸方向配設区間Ｌよりも封止部２１側に位置する。露出部３５の一部は、外側電極４０とランプ径方向に沿って向かい合うので、露出領域Ｍ２には、電界強度が図１に示したエキシマランプ１０と比べて高い領域が形成される。しかしながら、放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２との間に離隔領域Ｍ３を設けているため、露出部３５におけるスパッタリングによる黒化成分が放電領域Ｍ１を囲む放電容器２０の内面に付着するのを抑制することができる。

【0040】

図３は、第２の実施形態であるエキシマランプの概略的断面図である。第２の実施形態のエキシマランプ２００では、誘電体５０の端部５０Ｔが、ランプ軸方向配設区間Ｌよりも小径部２２側に位置し、外側電極４０は、内側電極３０の箔状部分３２との間でランプ径方向に沿って対向している。離隔領域Ｍ３における内側電極３０の棒状部分３４は、外側電極４０とランプ径方向に沿って対向していないので、露出領域Ｍ２には、電界強度が図１に示したエキシマランプ１０と比べて低い領域が形成される。そのため、離隔領域Ｍ３を放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２との間に介在させる構成がより効果的となって、露出部３５におけるスパッタリングによる黒化成分が放電領域Ｍ１を囲む放電容器２０の内面に付着するのを確実に抑えることができる。

【0041】

図４は、第２の実施形態であるエキシマランプの変形例を示した図である。図４に示すエキシマランプ３００では、外側電極４０の長さ、すなわちランプ軸方向配設区間Ｌが、放電容器２０のランプ軸方向長さの半分ほどであり、放電容器２０の中央部から小径部２２付近に渡って離隔領域Ｍ３が定められる。図３に示したエキシマランプ２００と比べて放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２との間隔が大きく確保されるため、スパッタリングによる黒化成分が放電領域Ｍ１を囲む放電容器２０の内面に付着するのをより効果的に抑えることができる。

【0042】

図５は、第３の実施形態であるエキシマランプを示した概略的断面図である。第３の実施形態であるエキシマランプ４００では、内側電極３０の箔状部分３２の端部３２Ｔと誘電体５０の端部５０Ｔとがランプ軸に沿って略同じ位置に配置され、棒状部分３４全体は、略露出部３５に相当する。ランプ軸方向配設区間Ｌも、内側電極３０の箔状部分３２の端部３２Ｔ近くまでカバーし、放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２との間に介在する離隔領域Ｍ３は、第１、第２の実施形態と比べて小さい。

【0043】

しかしながら、誘電体５０の端部５０Ｔが小径部２２と接近し、露出部３５の大部分は、小径部２２の形成する空間領域２２Ｗに入り込んでいる。したがって、ランプ点灯始動後、露出部３５から溶融、蒸発する電極材料は、小径部２２の内面に付着し、放電領域Ｍ１を囲む放電容器２０の内面に付着するのを防ぐことができる。

【0044】

図６は、第３の実施形態であるエキシマランプの変形例を示した概略的断面図である。図６では、誘電体５０の端部５０Ｔは、ランプ軸方向配設区間Ｌよりも小径部２２側に位置し、離隔領域Ｍ３に位置する箔状部分３２と棒状部分３４の一部は、誘電体５０によって覆われている。そして、棒状部分３４の露出部３５は、小径部２２の形成する空間領域２２Ｗに収まる。

【0045】

このように、離隔領域Ｍ３の一部が、小径部２２の形成する空間領域２２Ｗに存在するため、露出部３５から溶融、蒸発する電極材料を、より確実に小径部２２の内面に付着させることができる。

【0046】

図７は、第４の実施形態であるエキシマランプの概略的断面図である。図７では、内側電極３０と誘電体５０との間の一部に、点灯始動補助用の放電空間（以下、補助放電空間という）Ｓ２が形成されている。

【0047】

図４に示したエキシマランプ３００と同様、ランプ軸方向配設区間Ｌは、放電容器２０の中央部から左側に定められている。一方、放電容器２０の中央部から小径部２２側には、誘電体５０と内側電極３０とが部分的に封着していない。これによって、補助放電空間Ｓ２が形成される。

【0048】

このような補助放電空間Ｓ２を形成することにより、主放電空間Ｓ１の放電領域Ｍ１と露出領域Ｍ２との間の離隔領域Ｍ３が広くても、点灯始動性を向上させることができる。

【符号の説明】

【0049】

１０ エキシマランプ
２０ 放電容器
３０ 内側電極
３２ 箔状部分
３４ 棒状部分
３５ 露出部
４０ 外側電極
５０ 誘電体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】