特開 2024-134639 液体タンク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024134639

(43)【公開日】2024-10-04

(54)【発明の名称】液体タンク

(51)【国際特許分類】

   B65D 90/00 20060101AFI20240927BHJP

   B65D 90/22 20060101ALI20240927BHJP

   B65D 90/04 20060101ALI20240927BHJP

   H05F 3/02 20060101ALI20240927BHJP

【ＦＩ】

B65D90/00 H

B65D90/22 Z

B65D90/04 B

H05F3/02 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023044931

(22)【出願日】2023-03-22

(71)【出願人】

【識別番号】596054652

【氏名又は名称】ニッシンコーポレーション株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100154014

【弁理士】

【氏名又は名称】正木 裕士

(74)【代理人】

【識別番号】100154520

【弁理士】

【氏名又は名称】三上 祐子

(72)【発明者】

【氏名】川田 敦

(72)【発明者】

【氏名】仲川 宗一

【テーマコード（参考）】

3E170

5G067

【Ｆターム（参考）】

3E170AA03

3E170AB01

3E170BA10

3E170DA01

3E170GB01

3E170GB04

3E170MA02

3E170VA20

5G067AA32

5G067DA02

(57)【要約】

【課題】適切な静電気対策を施すことによって、樹脂材料による形成を可能にする液体タンクを提供する。
【解決手段】サイフォン管４は、液体タンク本体内に収容されている液体をサイフォン管４内に吸引する吸引部４０を備えている。そして、サイフォン管４内に吸引した液体Ｌは、サイフォン管４の上面４ａから排出される。さらに、サイフォン管４の吸引部４０には、第１アース線６が設けられている。そしてさらに、サイフォン管４の上面４ａと第２給排ホースＨ２との間には、第２アース線７が設けられている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体が収容される液体タンク本体と、
前記液体タンク本体内に設けられると共に、鉛直上下方向に延びて設けられているサイフォン管と、
前記サイフォン管から排出された液体を所定の場所に排液する排液管と、を有し、
前記サイフォン管は、
前記液体タンク本体内に収容されている前記液体を前記サイフォン管内に吸引する吸引部と、
前記サイフォン管内に吸引した液体を前記サイフォン管外に排出する排出部と、を有し、
前記吸引部には、第１アース線が設けられ、
前記排出部と前記排液管との間には、第２アース線が設けられてなる液体タンク。

【請求項2】

前記第１アース線と、前記第２アース線とは連なって設けられてなる請求項１に記載の液体タンク。

【請求項3】

前記吸引部は、先端がベルマウス形状に形成されてなる請求項１又は２に記載の液体タンク。

【請求項4】

フッ素樹脂にてライニングが施されている鉄芯が、前記吸引部の上部側で、且つ、前記サイフォン管の外周面に設けられてなり、
前記吸引部と前記鉄芯とを繋ぐ第３アース線が設けられてなる請求項１又は２に記載の液体タンク。

【請求項5】

液体が収容される液体タンク本体と、
前記液体タンク本体内に設けられると共に、鉛直上下方向に延びて設けられているサイフォン管と、
前記サイフォン管から排出された液体を所定の場所に排液する排液管と、を有し、
前記サイフォン管は、
前記液体タンク本体内に収容されている前記液体を前記サイフォン管内に吸引する吸引部と、
前記サイフォン管内に吸引した液体を前記サイフォン管外に排出する排出部と、を有し、
フッ素樹脂にてライニングが施されている鉄芯が、前記吸引部の上部側で、且つ、前記サイフォン管の外周面に設けられてなり、
前記吸引部と前記鉄芯とを繋ぐアース線が設けられてなる液体タンク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体タンクに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、半導体高純度薬品等の液体は、生産工場にて液体タンクに充填され、この液体タンクに形成された充填・取出用の口栓部に蓋を取り付けた状態で出荷されている。このような液体タンク内に収容された液体を取り出す手法としては、容器内部に窒素等の気体を導入することにより、その気体圧力により液体を容器外へ送り出すサイフォン管方式が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２－５９９９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記のような液体タンクは、金属で形成されていることから、液体タンク内に充填されている液体によって、金属成分が液体に溶出してしまう恐れがあるという問題があった。

【0005】

そこで、さらなる高純度化が求められている半導体製造の分野においては、金属に代え、耐薬品性に優れたフッ素樹脂等の樹脂材料による形成が望まれていた。

【0006】

しかしながら、フッ素樹脂等の樹脂材料は絶縁性材料であるため、帯電性を有することから、絶縁性材料と液体タンク中に収容された液体との間で摩擦が起こる場合、静電気が発生し、液体の引火の問題が生じるという問題があった。そのため、フッ素樹脂等の樹脂材料による形成が非常に困難であるという問題があった。

【0007】

そこで、本発明は、上記問題に鑑み、適切な静電気対策を施すことによって、樹脂材料による形成を可能にする液体タンクを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記本発明の目的は、以下の手段によって達成される。なお、括弧内は、後述する実施形態の参照符号を付したものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。

【0009】

請求項１の発明によれば、液体（Ｌ）が収容される液体タンク本体（２）と、
前記液体タンク本体（２）内に設けられると共に、鉛直上下方向に延びて設けられているサイフォン管（４）と、
前記サイフォン管（４）から排出された液体（Ｌ）を所定の場所（例えば、クリーンブースＣＢ）に排液する排液管（第２給排ホースＨ２）と、を有し、
前記サイフォン管（４）は、
前記液体タンク本体（２）内に収容されている前記液体（Ｌ）を前記サイフォン管（４）内に吸引する吸引部（４０）と、
前記サイフォン管（４）内に吸引した液体（Ｌ）を前記サイフォン管（４）外に排出する排出部（サイフォン管４の上面４ａ）と、を有し、
前記吸引部（４０）には、第１アース線（６）が設けられ、
前記排出部（サイフォン管４の上面４ａ）と前記排液管（第２給排ホースＨ２）との間には、第２アース線（７）が設けられてなることを特徴としている。

【0010】

請求項２の発明によれば、上記請求項１に記載の液体タンク（１）において、前記第１アース線（６）と、前記第２アース線（７）とは連なって設けられてなることを特徴としている。

【0011】

請求項３の発明によれば、上記請求項１又は２に記載の液体タンク（１）において、前記吸引部（４０）は、先端（先端面４０ｂ）がベルマウス形状に形成されてなることを特徴としている。

【0012】

請求項４の発明によれば、上記請求項１又は２に記載の液体タンク（１）において、フッ素樹脂にてライニング（Ｆ７）が施されている鉄芯（１２）が、前記吸引部（４０）の上部側で、且つ、前記サイフォン管（４）の外周面に設けられてなり、
前記吸引部（４０）と前記鉄芯（１２）とを繋ぐ第３アース線（１０）が設けられてなることを特徴としている。

【0013】

請求項５の発明によれば、液体（Ｌ）が収容される液体タンク本体（２）と、
前記液体タンク本体（２）内に設けられると共に、鉛直上下方向に延びて設けられているサイフォン管（４）と、
前記サイフォン管（４）から排出された液体（Ｌ）を所定の場所（例えば、クリーンブースＣＢ）に排液する排液管（第２給排ホースＨ２）と、を有し、
前記サイフォン管（４）は、
前記液体タンク本体（２）内に収容されている前記液体（Ｌ）を前記サイフォン管（４）内に吸引する吸引部（４０）と、
前記サイフォン管（４）内に吸引した液体（Ｌ）を前記サイフォン管（４）外に排出する排出部（サイフォン管４の上面４ａ）と、を有し、
フッ素樹脂にてライニング（Ｆ７）が施されている鉄芯（１２）が、前記吸引部（４０）の上部側で、且つ、前記サイフォン管（４）の外周面に設けられてなり、
前記吸引部（４０）と前記鉄芯（１２）とを繋ぐアース線（第３アース線１０）が設けられてなることを特徴としている。

【発明の効果】

【0014】

次に、本発明の効果について、図面の参照符号を付して説明する。なお、括弧内は、後述する実施形態の参照符号を付したものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。

【0015】

請求項１の発明によれば、吸引部（４０）には、第１アース線（６）が設けられ、排出部（サイフォン管４の上面４ａ）と排液管（第２給排ホースＨ２）との間には、第２アース線（７）が設けられている。これにより、液体タンク本体（２）内に収容されている液体（Ｌ）を吸引したことにより発生する静電気の値を大幅に減少させることができる。また、請求項５の発明によれば、吸引部（４０）と鉄芯（１２）とを繋ぐアース線（第３アース線（１０））が設けられている。これにより、液体タンク本体（２）内に収容されている液体（Ｌ）を吸引したことにより発生する静電気の値を大幅に減少させることができる。

【0016】

したがって、請求項１又は５の発明によれば、適切な静電気対策を施すことによって、樹脂材料による形成を可能にすることができる。

【0017】

請求項２の発明によれば、第１アース線（６）と第２アース線（７）の配置が容易となる。

【0018】

請求項３の発明によれば、液体タンク本体（２）内に収容されている液体（Ｌ）をサイフォン管（４）内に吸引する際の入口が広くなるため、気液混合した乱流を低減させることができ、これによって、液体（Ｌ）の帯電率を降下させることができる。

【0019】

請求項４の発明によれば、吸引部（４０）と鉄芯（１２）とを繋ぐ第３アース線（１０）を設けることにより、吸引部（４０）側で液体（Ｌ）の帯電率が大幅に上昇したとしても、確実に、吸引部（４０）側における液体（Ｌ）の帯電率を降下させることができる。これにより、吸引部（４０）側にて発生した静電気の値をさらに大幅に減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係る液体タンクの配置状態を説明する説明図である。

【図2】同実施形態に係るサイフォン管を蓋部に設置すると共に、サイフォン管に第２給排ホースを設置する状態を示す縦断面図である。

【図3】同実施形態に係るアース線取付板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図である。

【図4】同実施形態に係る吸引部の縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明に係る液体タンクの一実施形態を、図面を参照して具体的に説明する。なお、以下の説明において、上下左右の方向を示す場合は、図示正面から見た場合の上下左右をいうものとする。

【0022】

＜液体タンクの概要の説明＞
本実施形態に係る液体タンクは、静電気対策を施すことによって、樹脂材料による形成を可能にするものであって、具体的には、図１に示すように、液体タンク１は、液体タンク本体２と、蓋部３と、サイフォン管４と、で主に構成されている。以下、各構成について詳しく説明することとする。

【0023】

＜液体タンク本体の説明＞
液体タンク本体２は、ＳＵＳ３０４の如きステンレス鋼製等で形成され、図１に示すように、上面２ａが開放され、下面２ｂが閉止されている内部に空洞を有する縦長円筒状に形成されている。そして、図１に示すように、下面２ｂ中央部には、凹部２０が一体的に設けられている。また、図１に示すように、上面２ａには周方向に円形状のフランジ部２１が一体的に突出して設けられている。

【0024】

ところで、このように構成される液体タンク本体２内には、図１に示すように、半導体高純度薬品等の液体Ｌが充填されて収容される。そして、図１に示す液体タンク本体２の内周壁面は、液体Ｌと接触することから、凹部２０も含め、金属成分が液体Ｌに溶出しないように、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の如き熱可塑性フッ素樹脂にて厚み２～３ｍｍ程度のライニングＦ１が施されている。

【0025】

＜蓋部の説明＞
蓋部３は、図１に示すように、液体タンク本体２の上面２ａを閉止することができるもので、ＳＵＳ３０４の如きステンレス鋼製等で形成され、円形状に形成されている。より詳しくは、図２に示すように、蓋部３は、第１蓋部３０と、第１蓋部３０の上面３０ａに一体的に設けられている第２蓋部３１と、で構成されている。第１蓋部３０は、円形状（図２では断面視横長矩形状）に形成されており、第２蓋部３１は、第１蓋部３０よりも横幅の短い円形状（図２では断面視矩形状）に形成されている。そして、このような第１蓋部３０及び第２蓋部３１の中央部分には、図２に示すように、上下方向に貫通している貫通孔３２が設けられている。

【0026】

かくして、このように構成される蓋部３の第１蓋部３０は、図１に示すように、フランジ部２１の上面に載置できるようになっており、図１に示すボルトＢ１にて、フランジ部２１と連結固定できるようになっている。これにより、蓋部３にて、液体タンク本体２の上面２ａを閉止できるようになっている。

【0027】

一方、図１に示すように、蓋部３の第１蓋部３０の左側面３０ｂ側には、第１給排ホースＨ１が接続されている。この第１給排ホースＨ１は、図１に示すように、半導体の製造設備にあるクリーンブースＣＢ側にある供給バルブＶ１、又は、排気バルブＶ２の何れかに接続されるものである。第１給排ホースＨ１が、供給バルブＶ１に接続されていた場合、供給バルブＶ１を介して窒素などの気体が、第１給排ホースＨ１を通って、液体タンク本体２内に給気されるようになっている。これにより、液体タンク本体２内が加圧されることとなる。また、第１給排ホースＨ１が、排気バルブＶ２に接続されていた場合、第１給排ホースＨ１及び排気バルブＶ２を介して窒素などの気体が、液体タンク本体２外に排気できるようになっている。なお、液体Ｌと接触する可能性のある蓋部３の内周壁面、すなわち、図２に示すように、第１蓋部３０の内壁面３０ｃ及び第２蓋部３１の内壁面３１ａにも、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の如き熱可塑性フッ素樹脂にて厚み２～３ｍｍ程度のライニングＦ２が施されている。

【0028】

＜サイフォン管の説明＞
サイフォン管４は、図１に示すように、液体タンク本体２の上面２ａから、液体タンク本体２の凹部２０内まで上下方向、即ち、鉛直上下方向に延びて、液体タンク本体２内に配置されている。より詳しく説明すると、図２に示すように、サイフォン管４は、上面４ａ及び下面４ｂが開放され、内部に空洞を有する細長円筒状に形成されている。そして、このサイフォン管４は、図２に示すように、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）又はＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）等の如き熱可塑性フッ素樹脂にて形成されている。なお、サイフォン管４が熱可塑性フッ素樹脂にて形成されているのは、液体Ｌに接触するためである。

【0029】

一方、図２に示すように、サイフォン管４の下面４ｂには、吸引部４０が取り付け固定されている。この吸引部４０は、ＳＵＳ３０４の如きステンレス鋼製等で形成され、図４に示すように、基端面４０ａ及び先端面４０ｂが開放され、内部に空洞を有する短い筒状に形成されている。そして、この吸引部４０は、図４に示すように、先端面４０ｂがベルマウス形状に加工されている。

【0030】

かくして、このような吸引部４０を、図２に示すように、サイフォン管４の下面４ｂに取り付け固定するにあたっては、サイフォン管４の下面４ｂを熱加工し、吸引部４０をそのサイフォン管４の下面４ｂに挿入する。そして、図２に示すビスＢ４にて、吸引部４０を、サイフォン管４の下面４ｂに取り付け固定する。これにより、サイフォン管４の下面４ｂに、吸引部４０を取り付け固定することができる。

【0031】

一方、図２に示すように、サイフォン管４の上面４ａには周方向に断面視凸状のフランジ部４１が一体的に突出して設けられている。なお、図２に示すように、フランジ部４１の下面４１ａには、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の如き熱可塑性フッ素樹脂にて厚み２～３ｍｍ程度のライニングＦ４が施されている。

【0032】

かくして、上記のように構成されるサイフォン管４を、図１に示すように、液体タンク本体２内に配置するにあたっては、図２に示す貫通孔３２内に挿入する。そして、サイフォン管４の上面４ａに一体的に突出して設けられているフランジ部４１を、図２に示す第２蓋部３１の上面３１ｂに載置する。この状態で、図２に示すボルトＢ２にて、フランジ部４１と第２蓋部３１を連結固定することによって、サイフォン管４を、図１に示すように、液体タンク本体２内に配置することができる。

【0033】

一方、図２に示すように、フランジ部４１の上面４１ｂには、パッキン５が一対、載置されるようになっている。そして、図２に示すように、このような一対のパッキン５を挟み込むようにして、第２給排ホースＨ２の下面Ｈ２ａの周方向に一体的に突出して設けられている円形状のフランジ部Ｈ２ｂがフランジ部４１の上面４１ｂに載置される。この状態で、図２に示すボルトＢ３にて、フランジ部Ｈ２ｂとフランジ部４１を連結固定することによって、図１に示すように、フランジ部Ｈ２ｂとフランジ部４１と連結固定できるようになっている。

【0034】

かくして、この状態で、窒素等の気体を、図１に示す第１給排ホースＨ１から液体タンク本体２内に供給すれば、液体タンク本体２内が加圧され、サイフォンの原理によって、液体タンク本体２内に収容されている液体Ｌが、図２に示す、サイフォン管４の吸引部４０から吸引される。そして、その吸引された液体Ｌは、サイフォン管４内を通って、図２に示す、上面４ａから排出され、さらに、その液体Ｌは、パッキン５の貫通孔５ａを通って、第２給排ホースＨ２内に流れることとなる。この第２給排ホースＨ２は、図１に示すように、クリーンブースＣＢ側にある排液バルブＶ３、又は、給液バルブＶ４の何れかに接続されるもので、排液バルブＶ３に接続されていた場合、第２給排ホースＨ２内に流れた液体Ｌは、排液バルブＶ３を介してクリーンブースＣＢ側に排液されることとなる。なお、第２給排ホースＨ２が給液バルブＶ４に接続されていた場合、給液バルブＶ４を介して第２給排ホースＨ２から、液体Ｌをサイフォン管４内に供給することができる。これにより、液体タンク本体２内に液体Ｌを外部（本実施形態においては、クリーンブースＣＢ側）から供給することもできる。なお、液体タンク本体２内に液体Ｌを供給する際、第１給排ホースＨ１は、排気バルブＶ２に接続されており、第１給排ホースＨ１及び排気バルブＶ２を介して窒素などの気体が、液体タンク本体２外に排気されることとなる。

【0035】

ところで、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の如き熱可塑性フッ素樹脂は、金属成分が液体Ｌに溶出しないようにすることができるものの、絶縁性材料であるため、帯電性を有している。そのため、上記説明したように液体タンク本体２内の液体Ｌを外部（本実施形態においては、クリーンブースＣＢ側）に排出すると、熱可塑性フッ素樹脂と液体Ｌとの間で摩擦が起こり、これによって、静電気が発生し、ライニング面にスパークによるピンホール（孔）が生じる場合や、液体Ｌが有機溶剤の場合、液体Ｌの引火の問題が生じることとなる。

【0036】

そこで、本発明者は、次の通り予備試験を行った。すなわち、サイフォン管４内に電圧をかけて、スパーク、又は、外部に放電するか確認を行った。その結果、約２４０００Ｖで外部に放電が認められ、最終的に、ライニングにピンホールが発生した（孔が開いた）。かくして、本発明者は、この結果を受けて、サイフォン管４の内側に発生する静電気の電位を約２４０００Ｖ以下に抑えれば、静電気のスパークは防げるとの考えに至った。

【0037】

また、本発明者は、さらに鋭意研究を重ねた結果、液体タンク本体２内に収容されている液体Ｌを吸引し終わって、液体タンク本体２に給気された気体と入れ替わる際、急激に帯電率が上昇し、静電気の値が大幅に上昇することが分かった。これは、吸引部４０にて、液体タンク本体２内に収容されている液体Ｌを吸引する際、吸引部４０の先端面４０ｂ（図２参照）と凹部２０（図１参照）との間で気液混合した乱流が発生していることが原因と考えられる。

【0038】

そこで、上記の点を踏まえ、本実施形態においては、サイフォン管４の吸引部４０側に図２に示す第１アース線６を設け、サイフォン管４の上面４ａと第２給排ホースＨ２との間に第２アース線７を設けるようにしている。この点、以下、詳しく説明することとする。

【0039】

＜アース線の説明＞
第１アース線６は、図２に示すように、サイフォン管４及び吸引部４０の内部を通って、先端面４０ｂから出て、サイフォン管４の外周面側に位置するように配置される。そして、図２に示すように、この第１アース線６の先端部６ａには、第１端子８ａが取り付け固定されている。

【0040】

かくして、この第１端子８ａは、図４に示す吸引部４０の基端面４０ａ側右側面に、左右方向に貫通して設けられているビス取付孔４０ｃ側に配置され、図２に示すビスＢ４を用いて、吸引部４０に取り付け固定される。これにより、第１アース線６の位置がサイフォン管４の外周面側に固定されることとなる。このようにすれば、液体Ｌを吸引することによって吸引部４０側にて発生した静電気が、第１アース線６によって第１端子８ａに流れ、そして、この第１端子８ａに流れた静電気は、ビスＢ４を通って吸引部４０に流れることとなる。そのため、吸引部４０側における液体Ｌの帯電率が降下することとなるから、吸引部４０側にて発生した静電気の値を大幅に減少させることができる。また、第１アース線６の位置をサイフォン管４の外周面側に固定させておけば、固定部品によって静電気の流れの抵抗を生んでしまう事態を低減させることができる。

【0041】

他方、第１アース線６は、図２に示すように、サイフォン管４の上面４ａ側まで延びて、第１アース線６の基端部６ｂが、第２アース線７の先端部７ａに連通して設けられる。そして、図２に示すように、この第２アース線７の基端部７ｂには、第２端子８ｂが取り付け固定され、この第２端子８ｂは、アース線取付板９にビスＢ５を用いて取り付け固定される。この点、より詳しく説明すると、アース線取付板９は、ＳＵＳ３０４の如きステンレス鋼製等で形成され、図３（ａ）に示すように、平面視円形状の本体９０と、本体９０に一体的に設けられている平面視矩形状の支持部９１と、で構成されている。この本体９０は、図３（ａ）に示すように中央部分に円形状の貫通孔９０ａが、図３（ｂ）に示すように上下方向に貫通して設けられている。そして、この貫通孔９０ａが形成されている位置に、図３（ａ）に示すように虫眼鏡状の取付部９０ｂが本体９０に一体的に設けられ、この取付部９０ｂは、図３（ｂ）に示すように、図示上方向に折り曲げられて形成されている。なお、この取付部９０ｂには、図３に示すように、円形状の取付孔９０ｂ１が貫通して設けられている。

【0042】

一方、図３に示すように、支持部９１の基端部９１ａ側には、円形状の貫通孔９１ｂが上下方向に貫通して設けられている。

【0043】

かくして、このように構成されるアース線取付板９の取付孔９０ｂ１の位置に第２端子８ｂが配置され、図２に示すビスＢ５を用いて、アース線取付板９に取り付け固定される。そして、このアース線取付板９は、図２に示すように、一対のパッキン５の間に挟み込まれ、この状態の一対のパッキン５を挟み込むようにして、第２給排ホースＨ２の下面Ｈ２ａの周方向に一体的に突出して設けられている円形状のフランジ部Ｈ２ｂがフランジ部４１の上面４１ｂに載置される。この状態で、図２に示すボルトＢ３にて、フランジ部Ｈ２ｂとフランジ部４１を連結固定することによって、図１に示すように、フランジ部Ｈ２ｂとフランジ部４１と連結固定できるようになっている。これにより、第２アース線７は、サイフォン管４の上面４ａと第２給排ホースＨ２との間に位置が固定されることとなる。

【0044】

かくして、このようにすれば、サイフォン管４内で発生した静電気が、第２アース線７によって第２端子８ｂに流れ、そして、この第２端子８ｂに流れた静電気は、ビスＢ５を通ってアース線取付板９に流れることとなる。そのため、サイフォン管４内における液体Ｌの帯電率が降下することとなるから、サイフォン管４内にて発生した静電気の値を大幅に減少させることができる。

【0045】

かくして、上記説明したように、サイフォン管４の吸引部４０側に図２に示す第１アース線６を設け、サイフォン管４の上面４ａと第２給排ホースＨ２との間に第２アース線７を設けるようにすれば、サイフォン管４の吸引部４０側及びサイフォン管４内に発生する静電気の値を大幅に減少させることができる。そのため、サイフォン管４の内側に発生する静電気を充分に除電することが可能となる。

【0046】

したがって、以上説明した本実施形態によれば、適切な静電気対策を施すことによって、樹脂材料による形成を可能にすることができる。

【0047】

ところで、上記のような静電気対策でも十分であるが、本実施形態においては、さらなる静電気対策を施している。すなわち、吸引部４０にて、液体タンク本体２内に収容されている液体Ｌを吸引する際、特に、吸引部４０側で液体Ｌの帯電率が上昇することが考えられる。そのため、本実施形態においては、第１アース線６に加え、図２に示すように、第３アース線１０を設けている。この第３アース線１０は、図２に示すように、先端部１０ａが第３端子８ｃに取り付け固定され、この第３端子８ｃは、図２に示すビスＢ４を用いて、吸引部４０に取り付け固定される。そしてさらに、この第３アース線１０は、図２に示すように、図示上方向に延びて、基端部１０ｂが、外周面がＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の如き熱可塑性フッ素樹脂にて厚み２～３ｍｍ程度のライニングＦ６が施された固定部１１に取り付け固定されている。

【0048】

ところで、この固定部１１は、図２に示すように鉄芯１２に取り付け固定されている。この鉄芯１２は、ＳＵＳ３０４の如きステンレス鋼製等で形成され、図２に示すように、断面視細長矩形状に形成されると共に、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の如き熱可塑性フッ素樹脂にて厚み２～３ｍｍ程度のライニングＦ７が施されている。かくして、このような鉄芯１２は、図２に示すように、吸引部４０よりも上部側に位置し、フランジ部４１の下面４１ａまで延びて、サイフォン管４の外周面に固定配置されている。これにより、第１アース線６によって第１端子８ａに流れた静電気は、ビスＢ４を通って吸引部４０に流れる一方で、第３アース線１０によって固定部１１に流れ、さらに、固定部１１に流れた静電気は、鉄芯１２を通ってフランジ部４１に流れることとなる。

【0049】

かくして、このようにすれば、吸引部４０側で液体Ｌの帯電率が大幅に上昇したとしても、確実に、吸引部４０側における液体Ｌの帯電率を降下させることができるため、吸引部４０側にて発生した静電気の値をさらに大幅に減少させることができる。

【0050】

＜変形例の説明＞
なお、本実施形態において示した形状等はあくまで一例であり、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。例えば、本実施形態においては、液体タンク１の形状は、あくまで一例であり、サイフォンの原理を利用できる方式であれば、どのような形状でも良い。

【0051】

また、本実施形態においては、第１アース線６，第２アース線７，第３アース線１０を全て用いる例を示したが、それに限らず、サイフォン管４の内側に発生する静電気の電位を充分に除電することが可能であれば、第１アース線６及び第２アース線７だけでも良く、又、第３アース線１０だけで足りるような場合は、第３アース線１０だけでも良い。なお、第３アース線１０だけの場合は、アース線取付板９は不要である。

【0052】

また、本実施形態においては、吸引部４０の先端面４０ｂをベルマウス形状に加工する例を示したが、それに限らず、どのような形状でも良い。しかしながら、ベルマウス形状に加工するのが好ましい。ベルマウス形状にすると、液体タンク本体２内に収容されている液体Ｌをサイフォン管４内に吸引する際の入口が広いため、気液混合した乱流を低減させることができ、これによって、液体Ｌの帯電率が降下することができるためである。

【0053】

また、本実施形態においては、サイフォン管４の下面４ｂに吸引部４０を設ける例を示したが、それに限らず、吸引部４０を設けられない場合、サイフォン管４の下面４ｂを伸ばすようにしても良い。この際、吸引部は、サイフォン管４の下面４ｂとなり、アース線を固定するため、第３アース線１０は必須となる。

【0054】

また、本実施形態においては、第１アース線６と第２アース線７を連通させる例を示したが、それに限らず、連通させなくとも良い。しかしながら、連通させた方が好ましい。第１アース線６及び第２アース線７の配置が容易となるためである。

【符号の説明】

【0055】

１ 液体タンク
２ 液体タンク本体
４ サイフォン管
４ａ 上面（排出部）
４０ 吸引部
４０ｂ 先端面（先端）
６ 第１アース線
７ 第２アース線
１０ 第３アース線（アース線）
１２ 鉄芯
Ｌ 液体
ＣＢ クリーンブース（所定の場所）
Ｈ２ 第２給排ホース（排液管）
Ｆ７ ライニング

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】