特開 2024-134653 天井搬送車

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024134653

(43)【公開日】2024-10-04

(54)【発明の名称】天井搬送車

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20240927BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240927BHJP

【ＦＩ】

B65G1/00 501C

H01L21/68 A

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023044955

(22)【出願日】2023-03-22

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(72)【発明者】

【氏名】小林 誠

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022EE05

3F022JJ08

3F022KK11

3F022MM67

5F131AA02

5F131CA09

5F131CA53

5F131DA05

5F131DA22

5F131DB12

5F131DC06

5F131GA14

5F131GA73

5F131KA02

5F131KA15

5F131KA44

5F131KA53

5F131KB32

5F131KB45

(57)【要約】

【課題】容器の蓋の落下を効果的に防止することができる天井搬送車を提供する。
【解決手段】軌道Ｒに沿って走行し、蓋１１０が着脱可能に設けられた容器１００を収容空間ＡＳ内で吊り下げた状態で搬送する天井搬送車１であって、蓋１１０を走行方向に交差する幅方向に配置させた状態で容器１００を保持する保持部８と、第１位置Ｐ１から蓋１１０の前面側の第２位置Ｐ２に進出することで蓋１１０が落下することを防止する可動式の第１蓋落下防止部材５０と、収容空間ＡＳに収容された容器１００に取り付けられている蓋１１０の上端部に対向するように配置される第２蓋落下防止部材１２と、を備え、第１蓋落下防止部材５０は、第２蓋落下防止部材１２よりも下方に配置されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

軌道に沿って走行し、蓋が着脱可能に設けられた容器を収容空間内で吊り下げた状態で搬送する天井搬送車であって、
前記蓋を走行方向に交差する幅方向に配置させた状態で前記容器を保持する保持部と、
所定の第１位置から前記蓋の前面側の第２位置に進出することで前記蓋が落下することを防止する可動式の第１蓋落下防止部材と、
前記収容空間に収容された前記容器に取り付けられている前記蓋の上端部に対向するように配置される第２蓋落下防止部材と、
を備え、
前記第１蓋落下防止部材は、前記第２蓋落下防止部材よりも下方に配置されている、天井搬送車。

【請求項2】

前記第１蓋落下防止部材は、前記第１位置と前記第２位置との間を、鉛直方向を回動軸として水平面に沿って回動可能に設けられている、
請求項１に記載の天井搬送車。

【請求項3】

前記保持部に保持された前記容器の落下を防止する可動式の容器落下防止部材を更に備え、
前記容器落下防止部材は、前記収容空間への前記容器の移動軌跡に干渉しない退避位置と、前記収容空間に収容された前記容器の下側に進出して前記容器を防止する容器落下防止位置との間を移動可能であり、
前記第１位置から前記第２位置へ前記第１蓋落下防止部材の進出動作に連動して前記容器落下防止部材が進出し、前記第２位置から前記第１位置へ前記第１蓋落下防止部材の退避動作に連動して前記容器落下防止位置から前記退避位置への前記容器落下防止部材が退避する、
請求項１に記載の天井搬送車。

【請求項4】

前記第２蓋落下防止部材は、下端に向かうにつれて前記蓋との間の距離が大きくなる呼び込み部を備える、
請求項１に記載の天井搬送車。

【請求項5】

光を用いて前記蓋の脱離を検出する検出部を更に備え、
前記検出部は、前記蓋の下端付近と上端付近とを通過するように前記光を照射する、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の天井搬送車。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、天井搬送車に関する。

【背景技術】

【0002】

ＦＯＵＰなどの容器を搬送する天井搬送車において、容器の蓋の落下を防止する蓋落下防止部材が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の蓋落下防止部材は、蓋の下方に対向して設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許６７７７１６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の蓋落下防止部材では、例えば、搬送する容器のサイズが大きい場合に、その容器の蓋の落下を防止することが困難となる可能性がある。

【0005】

本発明は、容器の蓋の落下を効果的に防止することができる天井搬送車を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の態様に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行し、蓋が着脱可能に設けられた容器を収容空間内で吊り下げた状態で搬送する天井搬送車であって、蓋を走行方向に交差する幅方向に配置させた状態で容器を保持する保持部と、第１位置から蓋の前面側の第２位置に進出することで蓋が落下することを防止する可動式の第１蓋落下防止部材と、収容空間に収容された容器に取り付けられている蓋の上端部に対向するように配置される第２蓋落下防止部材と、を備え、第１蓋落下防止部材は、第２蓋落下防止部材よりも下方に配置されている。

【発明の効果】

【0007】

上記態様に係る天井搬送車によれば、蓋の上部側及び下部側に蓋落下防止部材が対向するため、蓋の落下を効果的に防止することができる。

【0008】

また、上記態様の天井搬送車において、第１蓋落下防止部材は、第１位置と第２位置との間を、鉛直方向を回動軸として水平面に沿って回動可能に設けられてもよい。このような構成によれば、第１蓋落下防止部材と容器との衝突を抑制することができる。

【0009】

また、上記態様の天井搬送車において、保持部に保持された容器の落下を防止する可動式の容器落下防止部材を更に備え、容器落下防止部材は、収容空間への容器の移動軌跡に干渉しない退避位置と、収容空間に収容された容器の下側に進出して容器を防止する容器落下防止位置との間を移動可能であり、第１位置から第２位置へ第１蓋落下防止部材の進出動作に連動して容器落下防止部材が進出し、第２位置から第１位置へ第１蓋落下防止部材の退避動作に連動して容器落下防止位置から退避位置への容器落下防止部材が退避してもよい。このような構成によれば、天井搬送車は、容器の落下を防止することができる。

【0010】

また、上記態様の天井搬送車において、第２蓋落下防止部材は、下端に向かうにつれて蓋との間の距離が大きくなる呼び込み部を備えてもよい。このような構成によれば、天井搬送車によって保持された容器を上昇させる際に、第２蓋落下防止部材の端と容器との衝突を防止することができる。

【0011】

また、上記態様の天井搬送車において、光を用いて蓋の脱離を検出する検出部を更に備え、検出部は、蓋の下端付近と上端付近とを通過するように光を照射してもよい。このような構成によれば、容器から蓋の上端及び下端のいずれかが外れ始めても、その蓋が外れたことを検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本実施形態に係る天井搬送車の概略構成図である。

【図2】本実施形態に係る天井搬送車を－Ｘ方向側から見た概念図である。

【図3】本実施形態に係る閉状態の容器落下防止ユニットの斜視図である。

【図4】本実施形態に係る閉状態の容器落下防止ユニットを下から見た図である。

【図5】本実施形態に係る閉状態での１容器落下防止部材の斜視図である。

【図6】本実施形態に係る開状態の容器落下防止ユニットの斜視図である。

【図7】本実施形態に係る開状態の容器落下防止ユニットを下から見た図である。

【図8】本実施形態に係る開状態での１容器落下防止部材の斜視図である。

【図9】本実施形態に係る閉状態の２つの容器落下防止ユニットを下から見た図である。

【図10】本実施形態に係る開状態の２つの容器落下防止ユニットを下から見た図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定しない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、図面において、同一又は類似の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省く場合がある。また、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されるなど、実際の製品とは、形状、寸法が異なる場合がある。

【0014】

図面において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する場合がある。ＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面における一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向とは反対の方向が－方向であるとして説明する。

【0015】

図１は、本実施形態に係る天井搬送車１を－Ｙ方向側から見た概念図である。図２は、本実施形態に係る天井搬送車１を－Ｘ方向側から見た概念図である。なお、図２に示す天井搬送車１は、説明の便宜上、一部の構成が省略されている。

【0016】

天井搬送車１は、クリーンルームの天井などの床面より高い位置に設けられる軌道Ｒに沿って走行し、容器１００を収容空間ＡＳ内で吊り下げた状態で搬送する。天井搬送車１は、例えば、処理装置と容器保管装置との間、あるいは２つの処理装置の間などにおいて、容器１００の搬送に用いられる。なお、図１におけるＸ方向は、天井搬送車１の走行方向である。また、図１におけるＺ方向は、天井搬送車１の鉛直方向である。図１におけるＹ方向は、天井搬送車１の幅方向である。

【0017】

処理装置は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などであり、デバイス（例、半導体デバイス）を製造する過程で各種処理を施す。上記容器保管装置は、例えば、容器１００を搬送する搬送経路に配置され、容器１００を一時的に保管する。上記容器保管装置は、例えば、天井の近傍に配置される。容器１００は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウエハ又はレチクルなどを収容する。

【0018】

容器１００は、半導体ウエハなどの被収容物を容器１００の内部へ搬入するための開口１０１を備える。開口１０１は、鉛直方向と平行に配置される。容器１００は、開口１０１が幅方向（図１では－Ｙ方向）に向くように収容空間ＡＳ内に配置される。蓋１１０は、開口１０１を塞ぐように、容器１００に着脱可能に設けられる。蓋１１０の着脱機構は、任意の構成が適用されるが、例えば、着脱用の吸盤で蓋１１０を吸着させる構成を適用可能である。容器１００は、例えば、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）、ＳＭＩＦ Ｐｏｄ、又はレチクルＰｏｄである。

【0019】

天井搬送車１は、例えば、走行駆動部２と、連結部３ａと、支持部３ｂと、本体部４とを備える。

【0020】

走行駆動部２は、天井搬送車１を走行させるための駆動力を発生させる。走行駆動部２は、例えば、車輪、リニアモータ又は回転モータ、ロータリーエンコーダ又はリニアエンコーダなどを有する。車輪は、軌道Ｒに接するように配置され、走行駆動部２の駆動力により回転駆動する。なお、走行駆動部２は、ロータリーエンコーダ又はリニアエンコーダにより検出された車輪の回転数などの検出結果に基づいてリニアモータ又は回転モータを制御し、天井搬送車１の速度あるいは停止位置の制御を行う。

【0021】

連結部３ａは、走行駆動部２と支持部３ｂとを連結する。例えば、連結部３ａは、一端が走行駆動部２に接続されており、他端が支持部３ｂに接続されている。支持部３ｂは、水平面に沿って配置され、本体部４を支持する。

【0022】

本体部４は、連結部３ａを介して走行駆動部２に連結されており、軌道Ｒに沿って走行する。本体部４は、水平駆動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、保持部８と、カバー９ａ，カバー９ｂと、容器落下防止機構１０と、第１蓋落下防止機構１１と、第２蓋落下防止部材１２と、検出部１３とを備える。

【0023】

水平駆動部５は、連結部３ａの他端に接続されている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び保持部８を水平面内おける幅方向に移動させる。回転駆動部６は、電動モータなどを有し、水平面内で昇降駆動部７及び保持部８を回転させる。昇降駆動部７は、例えば天井搬送車１に設けられた制御部（図示せず）によって制御され、所定の速度で保持部８を降下又は上昇させたり、保持部８を目標の高さに保持したりする。昇降駆動部７は、例えばホイストである。昇降駆動部７は、例えばワイヤ、ロープ又はベルトなどの吊り下げ部材７１を繰り出すことにより保持部８を下降させ、吊り下げ部材７１を巻き取ることにより保持部８を上昇させる。

【0024】

保持部８は、容器１００を保持する。例えば、保持部８が、容器１００のフランジ部を把持することにより、容器１００を吊り下げて保持する。なお、保持部８が容器１００を把持する方法は、特に限定されないが、上から容器１００を把持してもよいし、左右から挟み込むことで容器１００を把持してもよい。保持部８は、例えば、水平方向に移動可能な複数の爪部を有するチャックである。保持部８は、爪部を容器１００のフランジ部の下方に進入させ、保持部８を上昇させることにより容器１００を吊り下げて保持する。保持部８は、吊り下げ部材７１と接続されている。保持部８は、吊り下げ部材７１を介して昇降駆動部７から吊り下げられ、昇降駆動部７により昇降する。

【0025】

上述の水平駆動部５、回転駆動部６、及び昇降駆動部７は、天井搬送車１に支持されており、天井搬送車１と一体となって走行方向に移動する。水平駆動部５、回転駆動部６、及び昇降駆動部７の－Ｘ側の側方にはカバー９ａが設けられており、＋Ｘ側の側方にはカバー９ｂが設けられている。カバー９ａ及びカバー９ｂは、それぞれ、支持部３ｂに固定されており、その支持部３ｂから－Ｚ方向に向けて延びて配置される。一対のカバー９ａ，９ｂは、保持部８が上昇端まで上昇した状態において保持部８の下方に、容器１００が収容される空間、すなわち収容空間ＡＳを形成する。

【0026】

容器落下防止機構１０は、容器１００の落下を防止する。容器落下防止機構１０は、２つの容器落下防止ユニット２０ａ，２０ｂを備える。容器落下防止ユニット２０ａは、カバー９ａ内に設けられている。容器落下防止ユニット２０ｂは、カバー９ｂ内に設けられている。容器落下防止ユニット２０ａ及び容器落下防止ユニット２０ｂは、左右対称の構成であり、基本的な構成が同じである。ただし、容器落下防止ユニット２０ａの各構成部と、容器落下防止ユニット２０ｂの各構成部とを区別する目的として、容器落下防止ユニット２０ａの各構成部の符号の末尾に添え字「ａ」を付し、容器落下防止ユニット２０ｂの各構成部の符号の末尾に添え字「ｂ」を付して説明する場合がある。なお、容器落下防止ユニット２０ａと容器落下防止ユニット２０ｂとを区別しない場合には、「容器落下防止ユニット２０」と称する場合がある。

【0027】

以下に、容器落下防止ユニット２０の構成例について説明する。容器落下防止ユニット２０は、閉状態と開状態とのいずれかの状態に制御される。閉状態とは、容器１００を収容空間ＡＳに収容可能な状態である。開状態とは、収容空間ＡＳに収容された容器１００の落下を防止している状態である。図３は、閉状態の容器落下防止ユニット２０の斜視図であって、上面側から見た図である。図４は、閉状態の容器落下防止ユニット２０を下面側から見た図である。図５は、閉状態の容器落下防止ユニット２０における第２容器落下防止部材４１の拡大図である。図６は、開状態の容器落下防止ユニット２０の斜視図であって、上面側から見た図である。図７は、開状態の容器落下防止ユニット２０を下面側から見た図である。図８は、開状態の容器落下防止ユニット２０における第２容器落下防止部材４１の拡大図である。なお、図３～図８に示す容器落下防止ユニット２０は、一例として、容器落下防止ユニット２０ｂの構成を示している。

【0028】

容器落下防止ユニット２０は、２つの支持部材３０（３０１，３０２）と、基台３１と、駆動部３２と、駆動軸３３と、第１歯車部材３４と、リンク機構３５と、回転軸３６と、第１容器落下防止部材３７と、第２歯車部材３８と、第３歯車部材４０と、第２容器落下防止部材４１と、２つの揺れ防止部材４２，４３と、を備える。

【0029】

２つの支持部材３０１，３０２は、基台３１を支持する。支持部材３０１，３０２は、カバー９内のＹ方向に沿って配置されている。また、支持部材３０１，３０２は、支持部３ｂから－Ｚ方向に向けて延びて配置される。支持部材３０１は、一端が支持部３ｂに固定されており、他端が基台３１の一端に固定されている。支持部材３０２は、一端が支持部３ｂに固定されており、他端が基台３１の他端に固定されている。

【0030】

基台３１は、Ｙ方向に延びた板状の部材であって、水平面に沿って配置される。駆動部３２は、基台３１の上面に固定されている。駆動部３２は、例えば電動モータであって、天井搬送車１の制御部（図示せず）によって駆動部３２の駆動軸３３が回転する。駆動軸３３には、歯車が形成されている。

【0031】

第１歯車部材３４は、駆動軸３３の歯車に係合するように設けられている。第１歯車部材３４は、基台３１の下面に突出する回転軸３４１を有する。第１歯車部材３４の回転に伴って回転軸３４１が回転する。

【0032】

リンク機構３５は、第１リンク３５１及び第２リンク３５２を備える。第１リンク３５１の一端は、固定部材３４２を介して回転軸３４１に固定されている。また、第１リンク３５１の他端は、回転軸３６に固定されている。回転軸３６は、基台３１の下面の一端側に設けられた固定部材２００において、水平方向に回転可能に取り付けられている。

【0033】

第２リンク３５２の一端は、固定部材３４２を介して回転軸３４１に固定されている。また、第２リンク３５２の他端は、第２歯車部材３８の回転軸３８１に固定されている。第２歯車部材３８は、基台３１の下面の他端側に設けられた固定部材２１０において、水平方向に回転可能に取り付けられている。

【0034】

第３歯車部材４０は、第２歯車部材３８の歯車に係合するように設けられている。第３歯車部材４０は、例えば、固定部材２１０において、水平方向に回転可能に取り付けられている。第３歯車部材４０は、回転軸４１０を有する。第３歯車部材４０の回転に伴って回転軸４１０が回転する。

【0035】

第１容器落下防止部材３７は、収容空間ＡＳにおいて保持部８に保持された容器１００の下面の下方に配置されることで、容器１００の落下を防止する。第１容器落下防止部材３７は、可動式である。具体的には、第１容器落下防止部材３７は、回転軸３６に固定されており、回転軸３６の回転に伴って水平方向に回動する。第１容器落下防止部材３７は、収容空間ＡＳへの容器１００の移動軌跡に干渉しない退避位置ＣＬ１（図３～図５）と、収容空間ＡＳに収容された容器１００の下側に進出して容器１００を防止する容器落下防止位置ＯＰ１（図６～図８）との間を水平方向に回動可能である。第１容器落下防止部材３７は、例えば、板状部材であり、アルミニウム等の材料により形成されている。図３～図５に示した退避位置ＣＬ１は、例えば、第１容器落下防止部材３７が基台３１の下方に位置し、カバー９内に収容された状態である。

【0036】

第２容器落下防止部材４１は、収容空間ＡＳにおいて保持部８に保持された容器１００の下面の下方に配置されることで、容器１００の落下を防止する。第２容器落下防止部材４１は、可動式である。具体的には、第２容器落下防止部材４１は、回転軸４１０に固定されており、回転軸４１０の回転に伴って水平方向に回動する。第２容器落下防止部材４１は、収容空間ＡＳへの容器１００の移動軌跡に干渉しない退避位置ＣＬ２（図３～図５）と、収容空間ＡＳに収容された容器１００の下側に進出して容器１００を防止する容器落下防止位置ＯＰ２（図６～図８）との間を水平方向に回動可能である。第２容器落下防止部材４１は、例えば、板状部材であり、アルミニウム等の材料により形成されている。図３～図５に示した退避位置ＣＬ２は、例えば、第２容器落下防止部材４１が基台３１の下方に位置し、カバー９内に収容された状態である。

【0037】

第２容器落下防止部材４１は、突出部６０を有する。突出部６０は、例えば、第２容器落下防止部材４１の縁の一部において＋Ｚ方向に突出して設けられる。突出部６０は、後述する第１蓋落下防止部材５０の回動動作において、第１蓋落下防止部材５０を第２位置Ｐ２に案内する。換言すると、突出部６０は、第１蓋落下防止部材５０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に回動する回動動作において、第１蓋落下防止部材５０の移動を第２位置Ｐ２までに規制する。

【0038】

ここで、駆動軸３３の回転は、第１リンク３５１によって回転軸３６に伝達され、回転軸３６に固定されている第１容器落下防止部材３７を回動させる。また、駆動軸３３の回転は、第２リンク３５２及び第２歯車部材３８によって第３歯車部材４０に伝達され、第３歯車部材４０の回転軸４１０に固定されている第２容器落下防止部材４１を回動させる。これにより、第１容器落下防止部材３７の回動動作と、第２容器落下防止部材４１の回動動作とは連動している。すなわち、第１容器落下防止部材３７が退避位置ＣＬ１から容器落下防止位置ＯＰ１に進出すると、第２容器落下防止部材４１も同様に退避位置ＣＬ２から容器落下防止位置ＯＰ２に進出する。また、第１容器落下防止部材３７が容器落下防止位置ＯＰ１から退避位置ＣＬ１に退避すると、第２容器落下防止部材４１も同様に容器落下防止位置ＯＰ２から退避位置ＣＬ２に退避する。

【0039】

容器落下防止ユニット２０が閉状態である場合とは、第１容器落下防止部材３７が退避位置ＣＬ１であり、かつ第２容器落下防止部材４１が退避位置ＣＬ２である状態を示す。容器落下防止ユニット２０が開状態である場合とは、第１容器落下防止部材３７が容器落下防止位置ＯＰ１であり、かつ第２容器落下防止部材４１が容器落下防止位置ＯＰ２である状態を示す。

【0040】

２つの揺れ防止部材４２，４３は、容器１００の側面に接触支持して、走行時における保持部８に保持された容器１００の揺れを抑制する。揺れ防止部材４２は、回転軸３６に固定されており、回転軸３６の回転に伴って水平方向に回動する。

【0041】

揺れ防止部材４２は、容器１００の側面９０から離反した位置に配置される退避位置ＣＬ３（図３～図５）と、容器１００の側面に接触配置される進出位置ＯＰ３（図６～図８）との間で移動可能に設けられている。第１容器落下防止部材３７が退避位置ＣＬ１から容器落下防止位置ＯＰ１に進出すると、揺れ防止部材４２も同様に退避位置ＣＬ３から進出位置ＯＰ３に進出する。第１容器落下防止部材３７が容器落下防止位置ＯＰ１から退避位置ＣＬ１に退避すると、揺れ防止部材４２も同様に進出位置ＯＰ３から退避位置ＣＬ３に退避する。

【0042】

揺れ防止部材４３は、回転軸４１０に固定されており、回転軸４１０の回転に伴って水平方向に回動する。揺れ防止部材４３は、容器１００の側面９０から離反した位置に配置される退避位置ＣＬ４（図３～図５）と、容器１００の側面に接触配置される進出位置ＯＰ４（図６～図８）との間で移動可能に設けられている。第２容器落下防止部材４１が退避位置ＣＬ２から容器落下防止位置ＯＰ２に進出すると、揺れ防止部材４３も同様に退避位置ＣＬ４から進出位置ＯＰ４に進出する。第２容器落下防止部材４１が容器落下防止位置ＯＰ２から退避位置ＣＬ２に退避すると、揺れ防止部材４２も同様に進出位置ＯＰ４から退避位置ＣＬ４に退避する。

【0043】

次に、第１蓋落下防止機構１１について説明する。第１蓋落下防止機構１１は、第１蓋落下防止部材５０と、回転軸５１と、ガイド部５２とを備える。第１蓋落下防止部材５０は、蓋１１０の正面に配置されることで、保持部８に保持された容器１００から蓋１１０が落下することを防止する。第１蓋落下防止部材５０は、可動式であって、第１位置Ｐ１（図３～図５）から蓋１１０の前面側の第２位置Ｐ２（図６～図８）に進出することで蓋１１０が落下することを防止する。

【0044】

第１蓋落下防止部材５０は、第２容器落下防止部材４１に対して、鉛直方向に延びる回転軸５１を中心として水平方向に回動可能に設けられている。回転軸５１は、第２容器落下防止部材４１の回転軸であり、第２容器落下防止部材４１に取り付けられている。第１蓋落下防止部材５０は、回転軸５１を中心とし、蓋１１０の正面から退避した位置に配置される第１位置Ｐ１と、蓋１１０の正面に配置される第２位置Ｐ２との間で、容器１００の正面及び容器１００の側面に沿って回動可能である。この第１蓋落下防止部材５０の回動動作は、第２容器落下防止部材４１の回動動作と連動する。

【0045】

第１蓋落下防止部材５０は、例えば、ステンレススチール等の板状の材料により形成されている。第１蓋落下防止部材５０は、第１蓋落下防止部材５０の長手方向に沿って形成された孔部５０Ｈを有する。これにより、第１蓋落下防止部材５０の重量を軽量化することができる。

【0046】

ガイド部５２は、ブラケット２２０によって支持部材３０２の下端部に固定されている。ガイド部５２は、第１蓋落下防止部材５０の回動動作を案内する。例えば、ガイド部５２は、第１蓋落下防止部材５０を挟み込む２つのローラ５２１，５２２を有する。ガイド部５２は、２つのローラ５２１，５２２で第１蓋落下防止部材５０を挟み込むことで、第１蓋落下防止部材５０の姿勢を所定姿勢に保持させながら、第１蓋落下防止部材５０の回動動作を可能とする。

【0047】

第２蓋落下防止部材１２は、収容空間ＡＳに収容された容器１００に取り付けられている蓋１１０の上端部に対向するように配置される。第２蓋落下防止部材１２は、蓋１１０の上端部、すなわち、蓋１１０の上端部の正面側（－Ｙ方向）に配置されることで、保持部８に保持された容器１００から蓋１１０が外れて落下することを防止する。第２蓋落下防止部材１２の上端は、例えば、昇降駆動部７の下部に固定されている。第２蓋落下防止部材１２は、容器１００が可動範囲内で最も上昇した状態で、蓋１１０の上端部に対向する位置に配置される。容器１００が可動範囲内で最も上昇した状態とは、保持部８で保持された容器１００が収容空間ＡＳに収容された状態である。

【0048】

第２蓋落下防止部材１２は、下端に向かうにつれて蓋１１０との間の距離が大きくなる呼び込み部１２１を備えている。これにより、保持部８によって保持された容器１００を上昇させる際に、第２蓋落下防止部材１２の下端と容器１００との衝突を防止することができる。

【0049】

検出部１３は、光を用いて容器１００からの蓋１１０の脱離を検出する。検出部１３は、蓋１１０の下端付近と上端付近とを通過するように光を照射する。例えば、検出部１３は、光電センサやレーザセンサを備える。検出部１３は、例えば、光を照射する照射部１３１と、その照射部１３１から照射された光を受光する受光部１３２とを備える。蓋１１０が容器１００から外れた場合には、その蓋１１０によって光が遮られ、受光部１３２は、当該光を受光することができない。そのため、検出部１３は、受光部１３２にて光が受光されなくなった場合に、容器１００からの蓋１１０の脱離を検出する。

【0050】

一例として、照射部１３１から照射される光（図１に示す一点鎖線）は、例えば、蓋１１０の前面から所定距離だけ－Ｙ方向に離れたＸＺ平面上であって、かつ、－Ｙ方向から見た場合に左下から右上にかけての対角方向又はその逆の対角方向に向けて照射される。なお、照射部１３１から照射される光は、例えば、蓋１１０の前面から所定距離だけ－Ｙ方向に離れたＸＺ平面上であって、かつ、＋Ｙ方向から見た場合に右下から左上にかけての対角方向又はその逆の対角方向に向けて照射されてもよい。これにより、検出部１３は、蓋１１０の上下端のいずれかが容器１００から外れ始めても、その蓋が外れたことを検出することができる。なお、検出部１３は、一例として光を用いて容器１００からの蓋１１０の脱離を検出するが、これに限定されず、容器１００からの蓋１１０の脱離を検出するものではあれば特に限定されない。例えば、検出部１３は、リミットセンサ又は近接センサであってもよい。

【0051】

以下に、天井搬送車１が容器１００を収容空間ＡＳに収容する動作の流れについて説明する。天井搬送車１が容器１００を収容空間ＡＳに収容する場合には、まず、天井搬送車１は、軌道Ｒに沿って走行し、軌道Ｒの所定位置で停止する。この際、天井搬送車１は、容器１００を保持していない。天井搬送車１が容器１００を保持していない場合には、図９に例示するように、容器落下防止ユニット２０ａの第１容器落下防止部材３７ａと容器落下防止ユニット２０ｂの第１容器落下防止部材３７ｂとがともに退避位置ＣＬ１に位置し、容器落下防止ユニット２０ａの第２容器落下防止部材４１ａと容器落下防止ユニット２０ｂの第２容器落下防止部材４１ｂがともに退避位置ＣＬ２に位置している。

【0052】

第１蓋落下防止部材５０は、第２蓋落下防止部材１２よりも下方に配置されており、第２容器落下防止部材４１に回動可能に設けられている。そのため、第２容器落下防止部材４１が退避位置ＣＬ２に位置している場合には、第１蓋落下防止部材５０ａ，５０ｂは、第１位置Ｐ１に位置している。すなわち、天井搬送車１が容器１００を保持していない場合には、容器落下防止ユニット２０ａ及び容器落下防止ユニット２０ｂのそれぞれにおいて、第１容器落下防止部材３７が退避位置ＣＬ１に位置し、第２容器落下防止部材４１が退避位置ＣＬ２に位置し、第１蓋落下防止部材５０ａ，５０ｂが第１位置Ｐ１に位置している。したがって、この場合には、本体部４による収容空間ＡＳへの容器１００の収容が阻害する部材がなく、収容空間ＡＳへの容器１００の収容が可能な状態となる。

【0053】

天井搬送車１は、軌道Ｒの所定位置において、昇降駆動部７により保持部８を下降させる。そして、天井搬送車１は、保持部８により容器１００を保持させる。なお、天井搬送車１は、軌道Ｒの所定位置において、水平駆動部５により保持部８を水平面内おける幅方向に移動させ、その後に、昇降駆動部７により保持部８を下降させてもよい。また、天井搬送車１は、適宜、回転駆動部６により昇降駆動部７及び保持部８を回転させてもよい。

【0054】

保持部８が容器１００を保持した後、天井搬送車１は、昇降駆動部７により保持部８を上昇させ、容器１００を収容空間ＡＳに収容する。この場合において、第２蓋落下防止部材１２に呼び込み部１２１が形成されているため、第２蓋落下防止部材１２の端と容器１００との衝突を防止することができる。

【0055】

なお、天井搬送車１は、昇降駆動部７により上昇させた保持部８を、回転機構１９により保持部８を回転させたり、水平駆動部５により保持部８を水平面内おける幅方向に移動させたりして、容器１００を収容空間ＡＳに収容してもよい。容器１００が収容空間ＡＳに収容されると、その容器１００の蓋１１０の上端部に第２蓋落下防止部材１２が対向するように配置された状態となる。

【0056】

天井搬送車１は、容器１００を収容空間ＡＳに収容すると、駆動部３２を駆動させて駆動軸３３を第１方向に回転させる。これにより、図１０に例示するように、容器落下防止ユニット２０ａ及び容器落下防止ユニット２０ｂが開状態に移行する。具体的には、駆動軸３３が所定方向に回転すると、第１リンク３５１によって回転軸３６に伝達され、回転軸３６に固定されている第１容器落下防止部材３７が容器落下防止位置ＯＰ１まで回動する。また、駆動軸３３が所定方向に回転すると、その回転が第２リンク３５２及び第２歯車部材３８によって第３歯車部材４０に伝達され、第３歯車部材４０の回転軸４１０に固定されている第２容器落下防止部材４１が容器落下防止位置ＯＰ２まで回動する。

【0057】

第２容器落下防止部材４１ａが容器落下防止位置ＯＰ２まで回動すると、第１蓋落下防止部材５０ａは、第２容器落下防止部材４１ａの回動動作に連動して、第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ回動する。また、第２容器落下防止部材４１ｂが容器落下防止位置ＯＰ２まで回動すると、第１蓋落下防止部材５０ｂは、第２容器落下防止部材４１ｂの回動動作に連動して、第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ回動する。これにより、収容空間ＡＳに収容された蓋１１０の上端部の正面側に固定式の第２蓋落下防止部材１２が対向するように配置され、蓋１１０の下端部の正面側に、可動式の第１蓋落下防止部材５０が対向するように配置される。したがって、容器１００における蓋１１０の落下を効果的に防止することができる。

【0058】

ところで、天井搬送車１と処理装置との間でクリアランスを確保するために、各落下防止部材を容器１００に近づけて配置したい場合が考えられる。その際には、上昇している容器１００と蓋落下防止部材との衝突も考慮しなければならない。容器１００が上側の第２蓋落下防止部材１２に対向する場合には、容器１００が十分に減速しているため、上側の第２蓋落下防止部材１２を蓋１１０に近づけて配置しても衝突のリスクは小さい。したがって、第２蓋落下防止部材１２は、固定式である。

【0059】

一方、容器１００が下側の第１蓋落下防止部材５０に対向する時には、容器１００が十分に減速していないため、下側の第１蓋落下防止部材５０を蓋１１０に近づけて配置すると衝突してしまう場合がある。そのため、本実施形態では、下側の第１蓋落下防止部材５０は、容器１００の上昇が停止してから進出する可動式とすることで、容器１００と第１蓋落下防止部材５０との衝突を抑制している。

【0060】

上記実施形態は、以下の構成を開示する。
（構成１）
軌道Ｒに沿って走行し、蓋１１０が着脱可能に設けられた容器１００を収容空間ＡＳ内で吊り下げた状態で搬送する天井搬送車１であって、
蓋１１０を走行方向に交差する幅方向に配置させた状態で容器１００を保持する保持部８と、
第１位置Ｐ１から蓋１１０の前面側の第２位置Ｐ２に進出することで蓋１１０が落下することを防止する可動式の第１蓋落下防止部材５０と、
収容空間ＡＳに収容された容器１００に取り付けられている蓋１１０の上端部に対向するように配置される第２蓋落下防止部材１２と、
を備え、第１蓋落下防止部材５０は、第２蓋落下防止部材１２よりも下方に配置されている、天井搬送車１。
（構成２）
第１蓋落下防止部材５０は、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間を、鉛直方向を回動軸として水平面に沿って回動可能に設けられている、
構成１に記載の天井搬送車１。
（構成３）
保持部８に保持された容器１００の落下を防止する可動式の容器落下防止部材（３７，４１）を更に備え、
容器落下防止部材（３７，４１）は、収容空間ＡＳへの容器１００の移動軌跡に干渉しない退避位置と、収容空間ＡＳに収容された容器の下側に進出して容器を防止する容器落下防止位置との間を移動可能であり、
第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２への第１蓋落下防止部材５０の進出動作に連動して容器落下防止部材（３７，４１）が進出し、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１への第１蓋落下防止部材５０の退避動作に連動して容器落下防止位置から退避位置への容器落下防止部材（３７，４１）が退避する、
構成１又は構成２に記載の天井搬送車１。
（構成４）
第２蓋落下防止部材１２は、下端に向かうにつれて蓋１１０との間の距離が大きくなる呼び込み部１２１を備える、
構成１から構成３のいずれかに記載の天井搬送車１。
（構成５）
光を用いて蓋１１０の脱離を検出する検出部１３を更に備え、
検出部１３は、蓋１１０の下端付近と上端付近とを通過するように光を照射する、
構成１から構成５のいずれかに記載の天井搬送車１。

【0061】

上述した実施形態等で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述した実施形態等で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、本実施形態において示した各手順の実行順序は、前の手順の結果を後の手順で用いない限り、任意の順序で実現可能である。また、上述した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。

【符号の説明】

【0062】

１・・・天井搬送車
８・・・保持部
１１・・・第１蓋落下防止機構
１２・・・第２蓋落下防止部材
１３・・・検出部
５０・・・第１蓋落下防止部材
１００・・・容器
１１０・・・蓋
１２０・・・呼び込み部
ＡＳ・・・収容空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】