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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024135624
(43)【公開日】2024-10-04
(54)【発明の名称】検出システム
(51)【国際特許分類】
G01N 21/88 20060101AFI20240927BHJP
【ＦＩ】
G01N21/88 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023046408
(22)【出願日】2023-03-23
(71)【出願人】
【識別番号】000000941
【氏名又は名称】株式会社カネカ
(74)【代理人】
【識別番号】100100480
【弁理士】
【氏名又は名称】藤田 隆
(72)【発明者】
【氏名】三浦 光
【テーマコード（参考）】
2G051
【Ｆターム（参考）】
2G051AA73
2G051AB20
2G051BA20
2G051BB09
2G051CB01
2G051CC07
(57)【要約】
【課題】より簡易に検出対象の検出が可能な検出システムを提供する。
【解決手段】板状のワークを載置する載置部と、載置部とワークを挟んで対向する検出部を有し、載置部を検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向のワークの第１端部を検出する、検出システムにおいて、検出部は、ワークを載置部に載置した状態において、交差方向に載置部とワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、載置部及びワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、拡散光源部側から載置部に向かって延び、かつ交差方向におけるワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える構成とする。
【選択図】図６
【解決手段】板状のワークを載置する載置部と、載置部とワークを挟んで対向する検出部を有し、載置部を検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向のワークの第１端部を検出する、検出システムにおいて、検出部は、ワークを載置部に載置した状態において、交差方向に載置部とワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、載置部及びワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、拡散光源部側から載置部に向かって延び、かつ交差方向におけるワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える構成とする。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
板状のワークを載置する載置部と、前記載置部と前記ワークを挟んで対向する検出部を有し、前記載置部を前記検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向の前記ワークの第１端部を検出する、検出システムであって、
前記検出部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向に前記載置部と前記ワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、前記載置部及び前記ワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延び、かつ前記交差方向における前記ワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える、検出システム。
前記検出部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向に前記載置部と前記ワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、前記載置部及び前記ワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延び、かつ前記交差方向における前記ワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える、検出システム。
【請求項2】
前記検出部は、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第２遮光部を有し、
前記第２遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向における前記ワークの第１端部とは反対側の第２端部の近傍に設けられている、請求項１に記載の検出システム。
前記第２遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向における前記ワークの第１端部とは反対側の第２端部の近傍に設けられている、請求項１に記載の検出システム。
【請求項3】
前記検出部は、前記交差方向において、前記第１遮光部と前記第２遮光部の間に前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第３遮光部を備える、請求項２に記載の検出システム。
【請求項4】
前記拡散光源部は、前記交差方向に延び、線状又は帯状に発光可能な発光領域を有し、
前記第１遮光部の少なくとも一部は、前記載置部側からみて前記発光領域の前記交差方向における中間部と重なる位置に設けられている、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
前記第１遮光部の少なくとも一部は、前記載置部側からみて前記発光領域の前記交差方向における中間部と重なる位置に設けられている、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項5】
前記第１遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記ワークの第１端部よりも前記交差方向の内側に位置している、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項6】
前記ワークは、前記撮像部と対向する被撮像面と、前記第１端部が属する第１端面を有し、
前記移動方向から視たときに、前記被撮像面と前記第１端面でなす角部と、前記第１遮光部の延び方向の先端面と前記交差方向の内側面でなす角部とを結んだ直線は、前記被撮像面に対する角度が４５度以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
前記移動方向から視たときに、前記被撮像面と前記第１端面でなす角部と、前記第１遮光部の延び方向の先端面と前記交差方向の内側面でなす角部とを結んだ直線は、前記被撮像面に対する角度が４５度以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項7】
前記第１遮光部の延び方向の先端部と前記ワークとの最短距離は、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項8】
前記ワークは、平均厚みが０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、製品の検査等に用いられる検出システムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、製品の検査において、カメラでワークの画像を撮影し、画像を解析して製品の不具合を検出する方法が知られている。
【0003】
例えば、特許文献１には、シャドウマスクの表孔の形状欠陥を検査する表面欠陥の検査方法が開示されている。この表面欠陥の検査方法では、シャドウマスクを試料とし、線状照明手段が照射する拡散光によって反射明視野照明し、線状領域撮像手段によって試料面の検査領域を撮影して撮影画像を得る。そして、得られた撮影画像の画像データを画像処理し、撮影画像からシャドウマスクの表孔部形状不良を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０００－２５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ここで、従来の検査装置、検出システムでは、微細な凹凸のある製品（ワーク）であり、平面的に広範囲に広がる製品の検査において、装置を大がかりなものにすることなく、より簡易な構造の装置で検出対象を検出したいという欲求があった。すなわち、多数の照明手段を設ける等することなく、簡易な構造の装置で検出対象を検出したいという欲求である。
また、従来の検査装置、検出システムでは、微細な凹凸のある製品であり、平面的に広範囲に広がる製品の検査において、制御を複雑化することなく、検出対象を検出したいという欲求があった。すなわち、それぞれ異なる角度から何度も対象部分を撮影する等の制御を行うことなく、簡易な制御で検出対象を検出したいという欲求である。
また、従来の検査装置、検出システムでは、微細な凹凸のある製品であり、平面的に広範囲に広がる製品の検査において、制御を複雑化することなく、検出対象を検出したいという欲求があった。すなわち、それぞれ異なる角度から何度も対象部分を撮影する等の制御を行うことなく、簡易な制御で検出対象を検出したいという欲求である。
【0006】
そこで本発明は、簡易に検出対象の正確な検出が可能な検出システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するための本発明の一つの様相は、板状のワークを載置する載置部と、前記載置部と前記ワークを挟んで対向する検出部を有し、前記載置部を前記検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向の前記ワークの第１端部を検出する、検出システムであって、前記検出部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向に前記載置部と前記ワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、前記載置部及び前記ワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延び、かつ前記交差方向における前記ワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える、検出システムである。
なお、ここでいう「第１端部の近傍」とは、平面視において交差方向で第１端部と近い位置であり、同平面視において第１端部との距離が１０ｍｍ未満とする。
なお、ここでいう「第１端部の近傍」とは、平面視において交差方向で第１端部と近い位置であり、同平面視において第１端部との距離が１０ｍｍ未満とする。
【0008】
本様相によれば、第１端部及びその周辺を撮像して画像を得るとき、得られた画像の解析の妨げとなる影の形成を防止（抑制）できるので、多数の照明手段を設けたり、異なる角度から何度も同じ場所を撮影したりすることなく、正確な検出が可能となる。すなわち、装置の構造と制御を複雑化することなく、簡易に検出対象の正確な検出が可能となる。
【0009】
好ましい様相は、前記検出部は、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第２遮光部を有し、前記第２遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向における前記ワークの第１端部とは反対側の第２端部の近傍に設けられている。
なお、ここでいう「第２端部の近傍」とは、平面視において交差方向で第２端部と近い位置であり、同平面視において第２端部との距離が１０ｍｍ未満とする。
なお、ここでいう「第２端部の近傍」とは、平面視において交差方向で第２端部と近い位置であり、同平面視において第２端部との距離が１０ｍｍ未満とする。
【0010】
係る様相によると、第２端部及びその周辺を撮像する際においても、解析の妨げとなる影の形成を防止（抑制）できるので、多数の照明手段を設けたり、異なる角度から何度も同じ場所を撮影したりすることなく、正確な検出が可能となる。
【0011】
好ましい様相は、前記検出部は、前記交差方向において、前記第１遮光部と前記第２遮光部の間に前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第３遮光部を備える。
【0012】
係る様相によると、被撮像面に凹凸があり、平面的な広がりの大きいワークの各部を撮像する際においても、解析の妨げとなる影の形成を防止（抑制）できる。このため、多数の照明手段を設けたり、異なる角度から何度も同じ場所を撮影したりすることなく、正確な検出が可能となる。
【0013】
好ましい様相は、前記拡散光源部は、前記交差方向に延び、線状又は帯状に発光可能な発光領域を有し、前記第１遮光部の少なくとも一部は、前記載置部側からみて前記発光領域の前記交差方向における中間部と重なる位置に設けられている。
なお、ここでいう「中間部」とは、端部以外の部分であって端部間の部分（端部と端部の間の部分）をいう。
なお、ここでいう「中間部」とは、端部以外の部分であって端部間の部分（端部と端部の間の部分）をいう。
【0014】
好ましい様相は、前記第１遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記ワークの第１端部よりも前記交差方向の内側に位置している。
【0015】
好ましい様相は、前記ワークは、前記撮像部と対向する被撮像面と、前記第１端部が属する第１端面を有し、前記移動方向から視たときに、前記被撮像面と前記第１端面でなす角部と、前記第１遮光部の延び方向の先端面と前記交差方向の内側面でなす角部とを結んだ直線は、前記被撮像面に対する角度が４５度以下である。
【0016】
好ましい様相は、前記第１遮光部の延び方向の先端部と前記ワークとの最短距離は、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。
【0017】
これらの様相によると、第１端部及びその周辺を撮像するとき、より正確な検出が可能となる。
【0018】
好ましい様相は、前記ワークは、平均厚みが０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。
【発明の効果】
【0019】
本発明は、簡易に検出対象の正確な検出が可能な検出システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明の実施形態に係る検出システムを示す斜視図である。
【図5】検出システムによって検出対象を検出する際の遮光壁部とセルストリングの位置関係を示す図であり、遮光壁部を透過して遮光壁部及びセルストリングを示す平面図であって、一部を拡大して示す。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【0022】
本発明の実施形態に係る検出システム１は、図１で示されるように、センサ部材２（検出部）と、搬送装置３を有しており、センサ部材２によってセルストリング４（ワーク）の各部を検出する（詳しくは後述する）。
【0023】
センサ部材２は、図２、図３で示されるように、筐体部１０と、光源部１１（拡散光源部）と、撮像部１２と、遮光壁部１３を有している。言い換えると、センサ部材２は、筐体部１０、光源部１１、撮像部１２を含んで構成されるセンサ部材本体部２ａに対し、遮光壁部１３を取り付けて形成されている。
【0024】
筐体部１０は、下方側（図２の上側）が開放された箱状の部材である。
本実施形態のセンサ部材２は、筐体部１０内に光源部１１と、撮像部１２と、遮光壁部１３の一部とが収容されている。すなわち、筐体部１０は、光源部１１、撮像部１２、遮光壁部１３それぞれの少なくとも一部を収容する収容空間を有する。
本実施形態のセンサ部材２は、筐体部１０内に光源部１１と、撮像部１２と、遮光壁部１３の一部とが収容されている。すなわち、筐体部１０は、光源部１１、撮像部１２、遮光壁部１３それぞれの少なくとも一部を収容する収容空間を有する。
【0025】
光源部１１は、図２で示されるように、全体の外形が略円柱状となる部分であり、センサ部材２の長手方向に延びている。この光源部１１は、図２、図４で示されるように、発光素子２０と、レンズ２１を有する。本実施形態では、発光素子２０として板状のＬＥＤ（長方形平板状のＬＥＤチップ）を採用している。
そして、発光素子２０が発光すると、点光源たる発光素子２０の光がレンズ２１を通過し、拡散光としてセンサ部材２の下方側に照射される。すなわち、光源部１１は、センサ部材２の下方側に拡散光を照射する光源（照明）である。
そして、発光素子２０が発光すると、点光源たる発光素子２０の光がレンズ２１を通過し、拡散光としてセンサ部材２の下方側に照射される。すなわち、光源部１１は、センサ部材２の下方側に拡散光を照射する光源（照明）である。
【0026】
ここで、本実施形態の光源部１１は、図２で示されるように、複数の発光素子２０を有しており、複数の発光素子２０は、光源部１１の長手方向で間隔を空けて並んだ状態となるようにそれぞれ配されている。なお、作図の都合上、一部の発光素子２０のみに符号を付し、他への符号を省略する。また、以下の説明においても、同様のものが複数存在する場合、必要に応じて符号を省略する。
以上のことから、光源部１１は、レンズ２１の外表面が発光する領域（発光する部分）となる。つまり、本実施形態の光源部１１は、検査対象物（ワーク）を照明するためのライン状（線状、又は帯状）の光源であり、センサ部材２の長手方向に延びたライン状の発光領域を有する。
以上のことから、光源部１１は、レンズ２１の外表面が発光する領域（発光する部分）となる。つまり、本実施形態の光源部１１は、検査対象物（ワーク）を照明するためのライン状（線状、又は帯状）の光源であり、センサ部材２の長手方向に延びたライン状の発光領域を有する。
【0027】
本実施形態のセンサ部材２は、図２、図３、図４で示されるように、２つの光源部１１を有する。２つの光源部１１は、センサ部材２の幅方向で離れた位置にそれぞれ配されており、互いに平行となるように延びている。
そして、図４で示されるように、一方の光源部１１に属する発光素子２０と、他方の光源部１１に属する発光素子２０とは、いずれもセンサ部材２の幅方向における中心側が高位置となり、同幅方向における外側端部側に向かうにつれて高さが低くなるように傾斜した姿勢で配される。つまり、発光素子２０は、斜め下方側に光を照射するように傾けて配されており、詳細には、センサ部材２の幅方向における中心側であり、且つ、下方側に向かって光を照射するように傾けて配されている。
そして、図４で示されるように、一方の光源部１１に属する発光素子２０と、他方の光源部１１に属する発光素子２０とは、いずれもセンサ部材２の幅方向における中心側が高位置となり、同幅方向における外側端部側に向かうにつれて高さが低くなるように傾斜した姿勢で配される。つまり、発光素子２０は、斜め下方側に光を照射するように傾けて配されており、詳細には、センサ部材２の幅方向における中心側であり、且つ、下方側に向かって光を照射するように傾けて配されている。
【0028】
なお、一方の光源部１１に属する発光素子２０の傾斜方向は、センサ部材２の幅方向における片側端部に向かうにつれて上り勾配となる方向となる。対して、他方の光源部１１に属する発光素子２０の傾斜方向は、センサ部材２の幅方向における片側端部に向かうにつれて下り勾配となる方向となる。つまり、一方の光源部１１に属する発光素子２０と、他方の光源部１１に属する発光素子２０とは、それぞれ傾斜方向が異なる。
【0029】
撮像部１２は、入射される光に基づいて検査対象物の撮影を行う部分である。
詳細に説明すると、撮像部１２は、図４で示されるように、検査対象物からの光が入射される部分である入光部１２ａと、受光部１２ｂを有する。入光部１２ａは、受光レンズ等によって形成される結像光学系であり、検査対象物からの光を結像する。受光部１２ｂは、受光素子を有し、入光部１２ａにより結像された光を受光し、光電変換して電気信号として出力する。
つまり、照明された検査対象物からの光は、入光部１２ａにより受光部１２ｂへと導かれ、受光部１２ｂの受光面で受光され、受光に応じた信号が出力される。そして、受光部１２ｂからの出力信号に基づいて、検査対象物の画像を得ることができる。本実施形態のセンサ部材２は、撮像部１２が外部の解析用装置（図示しない）に信号を出力することで、検査対象物の画像が得られる。
詳細に説明すると、撮像部１２は、図４で示されるように、検査対象物からの光が入射される部分である入光部１２ａと、受光部１２ｂを有する。入光部１２ａは、受光レンズ等によって形成される結像光学系であり、検査対象物からの光を結像する。受光部１２ｂは、受光素子を有し、入光部１２ａにより結像された光を受光し、光電変換して電気信号として出力する。
つまり、照明された検査対象物からの光は、入光部１２ａにより受光部１２ｂへと導かれ、受光部１２ｂの受光面で受光され、受光に応じた信号が出力される。そして、受光部１２ｂからの出力信号に基づいて、検査対象物の画像を得ることができる。本実施形態のセンサ部材２は、撮像部１２が外部の解析用装置（図示しない）に信号を出力することで、検査対象物の画像が得られる。
【0030】
本実施形態のセンサ部材２は、撮像部１２の一部（入光部１２ａの一部）が２つの光源部１１の間に位置しており、撮像部１２の一部とそれぞれの光源部１１の間に上方に向かって延びる溝部２５が形成されている。
【0031】
遮光壁部１３は、図２、図３で示されるように、上下方向に延びる立板状の部材である。詳細には、遮光壁部１３は、図４で示されるように、厚さ方向を視線方向とした平面視において、略Ｌ字状を呈する立板状の部材である。すなわち、遮光壁部１３は、略長方形立板状の遮光壁本体部３０と、遮光壁本体部３０の一部からさらに上方に延びる上方延設部３１が一体となって形成されている。
【0032】
遮光壁部１３は、端面の一部に湾曲面部３２を有する。湾曲面部３２は、遮光壁部１３の厚さ方向を視線方向とした平面視において、円弧状に延びる部分である。詳細には、湾曲面部３２は、上方延設部３１の側方から遮光壁本体部３０の上方に至るまでの部分に形成されている。
【0033】
本実施形態の遮光壁部１３は、上方延設部３１が溝部２５に入り込んだ状態で配されている。このとき、湾曲面部３２は、光源部１１の外表面に沿って延びており、光源部１１の外表面と対向している。本実施形態では、湾曲面部３２が光源部１１の外表面と接触しているが、これらは微細な隙間を空けて離間対向していてもよい。
【0034】
本実施形態の遮光壁部１３は、一部が筐体部１０内に位置し、他部が筐体部１０、光源部１１、及び撮像部１２の下端よりも下方に位置する。一部がセンサ部材本体部２ａ内に位置し、他部がセンサ部材本体部２ａの下側に位置する。
【0035】
本実施形態では、図２、図３で示されるように、センサ部材２が複数の遮光壁部１３を有しており、複数の遮光壁部１３は、平面視で行列状に並んだ状態で配される。
詳細には、センサ部材２の幅方向で２つの遮光壁部１３が並んでおり、このセンサ部材２の幅方向で並ぶ２つの遮光壁部１３の組が、センサ部材２の長手方向で間隔を空けて並んだ状態となっている。特に限定されるものではないが、本実施形態では、２つの遮光壁部１３の組が５組配されており、これら５組のそれぞれがセンサ部材２の長手方向で間隔を空けて並んでいる。
詳細には、センサ部材２の幅方向で２つの遮光壁部１３が並んでおり、このセンサ部材２の幅方向で並ぶ２つの遮光壁部１３の組が、センサ部材２の長手方向で間隔を空けて並んだ状態となっている。特に限定されるものではないが、本実施形態では、２つの遮光壁部１３の組が５組配されており、これら５組のそれぞれがセンサ部材２の長手方向で間隔を空けて並んでいる。
【0036】
ここで、組をなす２つの遮光壁部１３（以下、遮光壁形成部とも称す）は、図４で示されるように、センサ部材２の幅方向の中心部分が欠落した一連の壁を形成する。すなわち、遮光壁形成部は、センサ部材本体部２ａの幅方向における片側端部よりも外側に離れた位置から、同幅方向における他方側端部よりも逆方向の外側に離れた位置に至るまでの部分に、中途部分で断続して延びる遮光壁を形成する。そして、本実施形態では、下方からみた平面視において、遮光壁形成部の欠落部分（組をなす２つの遮光壁部１３の間）に、撮像部１２（入光部１２ａ）の一部が位置している。
【0037】
搬送装置３は、平板状の搬送台部３ａ（載置部）と、レール部（図示しない）を有しており、搬送台部３ａがレール部上を移動する。
【0038】
セルストリング４は、図１で示されるように、複数の薄板状の太陽電池セル３５を連結して形成される太陽電池セル３５の連結体である。本実施形態のセルストリング４は、隣り合う太陽電池セル３５の一部同士が重なるように、複数の太陽電池セル３５が並べられて形成される。
したがって、セルストリング４は、隣り合う太陽電池セル３５の重なり部分の厚さが他の部分よりも厚くなる。ここでセルストリング４は、平均厚みが０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下となるように形成することが好ましく、本実施形態のセルストリング４は、平均厚みが０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下となるように形成されている。
したがって、セルストリング４は、隣り合う太陽電池セル３５の重なり部分の厚さが他の部分よりも厚くなる。ここでセルストリング４は、平均厚みが０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下となるように形成することが好ましく、本実施形態のセルストリング４は、平均厚みが０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下となるように形成されている。
【0039】
それぞれの太陽電池セル３５は、バックコンタクト型の太陽電池であって、一方の主面が受光面であり、他方の主面が裏面となっている。そして、裏面は、配線等に起因する微細な凹凸が形成された凹凸面（詳細な図示を省略する）となっている。
【0040】
続いて、本実施形態の検出システム１がセルストリング４の各部を検出する（セルストリング４の不具合を検出する）際の動作について説明する。
セルストリング４の各部を検出する際には、セルストリング４は、図１で示されるように、搬送台部３ａ上に載置される。なお、セルストリング４は、それぞれの太陽電池セル３５の裏面が上方を向く姿勢（センサ部材２側を向く姿勢）で配されている。
そして、セルストリング４が載置された搬送台部３ａを走行させる。すなわち、搬送台部３ａを水平方向に移動させ、センサ部材２に対して相対移動させる。ここで、平面視で搬送台部３ａの移動方向と平行な方向を第１方向Ｘ１とし、上下方向及び第１方向Ｘ１と直交する方向を第２方向Ｚ１とする。したがって、第２方向Ｚ１は、搬送台部３ａの移動方向と交差する方向（交差方向）でもある。
セルストリング４の各部を検出する際には、セルストリング４は、図１で示されるように、搬送台部３ａ上に載置される。なお、セルストリング４は、それぞれの太陽電池セル３５の裏面が上方を向く姿勢（センサ部材２側を向く姿勢）で配されている。
そして、セルストリング４が載置された搬送台部３ａを走行させる。すなわち、搬送台部３ａを水平方向に移動させ、センサ部材２に対して相対移動させる。ここで、平面視で搬送台部３ａの移動方向と平行な方向を第１方向Ｘ１とし、上下方向及び第１方向Ｘ１と直交する方向を第２方向Ｚ１とする。したがって、第２方向Ｚ１は、搬送台部３ａの移動方向と交差する方向（交差方向）でもある。
【0041】
本実施形態では、センサ部材２は、搬送台部３ａが移動する位置よりも上方に配されている。また、センサ部材２は、長手方向が第２方向Ｚ１と同方向となり、幅方向が第１方向Ｘ１と同方向となるように配されている。したがって、センサ部材２の光源部１１と、撮像部１２と、遮光壁部１３（図２、図３参照）は、セルストリング４を挟んで搬送台部３ａと対向する位置に配される。
【0042】
また、本実施形態では、セルストリング４は、平面視において長手方向が第１方向Ｘ１と同方向となり、幅方向が第２方向Ｚ１と同方向となるように配されている。なお、セルストリング４に属する太陽電池セル３５は、平面視において長手方向が第２方向Ｚ１と同方向となり、幅方向が第１方向Ｘ１と同方向となるように配された状態となっている。
【0043】
そして、セルストリング４の各部を検出する際には、セルストリング４が載置された搬送台部３ａの少なくとも一部が、搬送台部３ａの移動方向の上流側からセンサ部材２の下側を経て、移動方向の下流側まで移動する。このことにより、セルストリング４の各部が順次センサ部材２の下側を通過していく。そして、セルストリング４の各部がセンサ部材２の下側を通過する際、セルストリング４のそれぞれの部分を撮像部１２（図２等参照）が撮影し、セルストリング４のそれぞれの部分の画像が得られる（セルストリング４のそれぞれの部分が検出される）。そして、得られた画像を解析することで、セルストリング４の不具合の検出を行う。
すなわち、セルストリング４の裏面（セルストリング４に属するそれぞれの太陽電池セル３５の裏面）の所定の部分が、撮像部１２と対向する位置に配され、撮像部１２によって撮影される被撮像面となる。
すなわち、セルストリング４の裏面（セルストリング４に属するそれぞれの太陽電池セル３５の裏面）の所定の部分が、撮像部１２と対向する位置に配され、撮像部１２によって撮影される被撮像面となる。
【0044】
ここで、本実施形態のセンサ部材２は、上記したように複数の遮光壁部１３を有している。複数の遮光壁部１３は、詳細には、図５で示されるように、第１遮光壁部１３ａ（第１遮光部）、第２遮光壁部１３ｂ（第２遮光部）、第３遮光壁部１３ｃ（第３遮光部）から構成されている。
【0045】
第１遮光壁部１３ａは、撮影時におけるセルストリング４の幅方向の片側端部であり、第２方向Ｚ１における一方側の端部である第１端部４ａの近傍に設けられた遮光壁部１３である。なお、ここでいう「第１端部４ａの近傍」とは、平面視における第１端部４ａからの距離Ｌ１が１０ｍｍ未満であり、本実施形態では、３ｍｍ未満としている。
本実施形態の第１遮光壁部１３ａは、複数の遮光壁部１３のうち、平面視で最も第１端部４ａに近接する位置に設けられた遮光壁部１３でもある。
本実施形態の第１遮光壁部１３ａは、複数の遮光壁部１３のうち、平面視で最も第１端部４ａに近接する位置に設けられた遮光壁部１３でもある。
【0046】
第２遮光壁部１３ｂは、撮影時におけるセルストリング４の幅方向の他方側端部であり、第２方向Ｚ１における他方側の端部である第２端部４ｂの近傍に設けられた遮光壁部１３である。なお、ここでいう「第２端部４ｂの近傍」とは、平面視における第２端部４ｂからの距離Ｌ２が１０ｍｍ未満であり、本実施形態では、３ｍｍ未満としている。
本実施形態の第２遮光壁部１３ｂは、複数の遮光壁部１３のうち、平面視で最も第２端部４ｂに近接する位置に設けられた遮光壁部１３でもある。
本実施形態の第２遮光壁部１３ｂは、複数の遮光壁部１３のうち、平面視で最も第２端部４ｂに近接する位置に設けられた遮光壁部１３でもある。
【0047】
第３遮光壁部１３ｃは、センサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）において、第１遮光壁部１３ａと第２遮光壁部１３ｂの間に位置する遮光壁部１３である。本実施形態では、一つの第１遮光壁部１３ａと一つの第２遮光壁部１３ｂの間に、複数の第３遮光壁部１３ｃが間隔を空けて並んだ状態となるように配されている。
【0048】
また、本実施形態では、図３で示されるように、第１遮光壁部１３ａは、平面視において、光源部１１の一部と重なるように配されている。より詳細には、第１遮光壁部１３ａは、光源部１１の中間部、すなわち、光源部１１の長手方向の端部から離れた部分と重なるように配されている。
同様に、第２遮光壁部１３ｂ、第３遮光壁部１３ｃもまた、光源部１１の中間部と重なるように配されている。
すなわち、第１遮光壁部１３ａ、第２遮光壁部１３ｂ、第３遮光壁部１３ｃは、少なくとも一部が、光源部１１の一部（中間部）と重なるように配されている。
同様に、第２遮光壁部１３ｂ、第３遮光壁部１３ｃもまた、光源部１１の中間部と重なるように配されている。
すなわち、第１遮光壁部１３ａ、第２遮光壁部１３ｂ、第３遮光壁部１３ｃは、少なくとも一部が、光源部１１の一部（中間部）と重なるように配されている。
【0049】
さらに、本実施形態の第１遮光壁部１３ａは、図６で示されるように、セルストリング４の各部を検出する際に、セルストリング４の第１端部４ａよりもセンサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）で内側に位置するように配される。
このとき、光源部１１（図３参照）の一部は、セルストリング４の第１端部４ａよりもセンサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）で外側に位置し、他部はセルストリング４の第１端部４ａよりも同長手方向で内側に位置した状態となる。すなわち、光源部１１は、セルストリング４の第１端部４ａよりも第２方向Ｚ１で外側に位置する搬送台部３ａの上面の上方から、第１端部４ａの上方を経て、セルストリング４の上方に至る部分に亘って延びている。
このとき、光源部１１（図３参照）の一部は、セルストリング４の第１端部４ａよりもセンサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）で外側に位置し、他部はセルストリング４の第１端部４ａよりも同長手方向で内側に位置した状態となる。すなわち、光源部１１は、セルストリング４の第１端部４ａよりも第２方向Ｚ１で外側に位置する搬送台部３ａの上面の上方から、第１端部４ａの上方を経て、セルストリング４の上方に至る部分に亘って延びている。
【0050】
そして、詳細な図示を省略するが、第２遮光壁部１３ｂもまた、セルストリング４の不具合を検出する際に、セルストリング４の第２端部４ｂよりもセンサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）で内側に位置するように配される（図５等参照）。
同様に、光源部１１（図３参照）の一部は、セルストリング４の第２端部４ｂよりもセンサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）で外側に位置し、他部はセルストリング４の第２端部４ｂよりも同長手方向で内側に位置した状態となる。
同様に、光源部１１（図３参照）の一部は、セルストリング４の第２端部４ｂよりもセンサ部材２の長手方向（第２方向Ｚ１）で外側に位置し、他部はセルストリング４の第２端部４ｂよりも同長手方向で内側に位置した状態となる。
【0051】
ここで、セルストリング４の被撮像面（セルストリング４の裏面であってセンサ部材２と対向する面）と、セルストリング４の第１端部４ａ側の端面である第１端面でなす角部を第１角部４０とする。さらに、第１遮光壁部１３ａの下面（下端面であり、延び方向の先端面）と、第１遮光壁部１３ａの第２方向Ｚ１における内側面でなす角部を第２角部４５とする。このとき、本実施形態では、第１方向Ｘ１（図６の手前奥方向、図１参照）を視線方向とした平面視において、第１角部４０と第２角部４５とを結んだ直線（仮想線）と、セルストリング４の被撮像面のなす角θ１を４５度以下となるようにしている。
【0052】
さらに、本実施形態では、第１遮光壁部１３ａの下面、すなわち、第１遮光壁部１３ａの延び方向の先端面（先端部）と、セルストリング４との最短距離Ｌ３が０ｍｍ以上１０ｍｍ以下となることが好ましい。本実施形態では、０ｍｍ以上３ｍｍ以下となるようにしている。
【0053】
以上のことから、本実施形態の検出システム１によると、図７、図８で示されるように、セルストリング４のエッジ部分（平面視における縁部分）の近傍に形成される影に起因して、得られた画像の解析が困難となるという問題の発生を防止（抑制）できる。
【0054】
詳細に説明すると、図７（ａ）で示されるように、遮光壁部１３を設けないセンサの場合、セルストリング４の第２方向Ｚ１における端部から離れた位置から、照明として拡散光が照射される。すなわち、セルストリング４の第２方向Ｚ１における端部から斜め上方（第２方向Ｚ１の内側上方）に大きく離れた位置から、同端部に向かって、照明光の角度が水平面に対して鋭角となるように光が照射される。このことにより、セルストリング４の第２方向Ｚ１における端部と隣接する位置であり、第２方向Ｚ１の外側に隣接する位置（図中の符号Ｓで示す位置）に影が形成されてしまう（図８（ａ）参照）。
対して、上記した検出システム１では、図７（ｂ）で示されるように、遮光壁部１３によって、各部から照射される拡散光において一部の方向成分を有する光を遮光する。このことにより、上記した位置、すなわち、セルストリング４の第２方向Ｚ１における端部と隣接する位置であり、第２方向Ｚ１の外側に隣接する位置での影の形成を防止、又は、抑制できる。つまり、そもそも影が出来ない、又は、出来難い状態であり、影が出来たとしても影の大きさが小さい、及び／又は、影が薄い状態とすることができる。
対して、上記した検出システム１では、図７（ｂ）で示されるように、遮光壁部１３によって、各部から照射される拡散光において一部の方向成分を有する光を遮光する。このことにより、上記した位置、すなわち、セルストリング４の第２方向Ｚ１における端部と隣接する位置であり、第２方向Ｚ１の外側に隣接する位置での影の形成を防止、又は、抑制できる。つまり、そもそも影が出来ない、又は、出来難い状態であり、影が出来たとしても影の大きさが小さい、及び／又は、影が薄い状態とすることができる。
【0055】
このことにより、図８（ｂ）で示されるように、セルストリング４のエッジ部分（平面視における縁部分）の近傍を鮮明に撮影（検出）することが可能となり、正確な画像解析が可能となる。
例えば、複数の太陽電池セル３５を連結するとき、一つの太陽電池セル３５が規定位置よりもセルストリング４の幅方向でずれた位置に配されたまま連結されてしまったとする。この場合、セルストリング４のエッジ部分（平面視における縁部分）の各部の画像を解析することで、このような位置ずれ（不具合）を検出できる。本実施形態では、上記したように、セルストリング４のエッジ部分の各部を撮影（検出）するとき、エッジ部分の周辺に影（大きな影や濃い影）が形成されないので、位置ずれしたエッジ部分を正確に検出できる。
例えば、複数の太陽電池セル３５を連結するとき、一つの太陽電池セル３５が規定位置よりもセルストリング４の幅方向でずれた位置に配されたまま連結されてしまったとする。この場合、セルストリング４のエッジ部分（平面視における縁部分）の各部の画像を解析することで、このような位置ずれ（不具合）を検出できる。本実施形態では、上記したように、セルストリング４のエッジ部分の各部を撮影（検出）するとき、エッジ部分の周辺に影（大きな影や濃い影）が形成されないので、位置ずれしたエッジ部分を正確に検出できる。
【0056】
上記した実施形態では、センサ部材２を移動させず、セルストリング４を載置した搬送台部３ａを走行させ、搬送台部３ａをセンサ部材２に対して相対移動させた例について説明した。しかしながら、本発明はこれに限るものではない。
例えば、センサ部材２を移動させると共に、搬送台部３ａを走行させない構成とし、搬送台部３ａをセンサ部材２に対して相対移動させてもよい。また、センサ部材２と搬送台部３ａの双方を移動させてもよい。
例えば、センサ部材２を移動させると共に、搬送台部３ａを走行させない構成とし、搬送台部３ａをセンサ部材２に対して相対移動させてもよい。また、センサ部材２と搬送台部３ａの双方を移動させてもよい。
【0057】
上記した実施形態では、下側からみた平面視（下面視）において、遮光壁部１３の一部がセンサ部材本体部２ａの縁端（幅方向における片側端部）よりも外側に位置する例について説明した。しかしながら、本発明はこれに限るものではない。遮光壁部１３は、平面視において、全体がセンサ部材本体部２ａと重なる位置に配されていてもよい。言い換えると、遮光壁部１３は、平面視において、全体がセンサ部材本体部２ａの縁端よりも内側に位置していてもよい。
遮光壁部１３は、センサ部材本体部２ａの幅方向における外側端部が、同幅方向において、発光素子２０、又は、レンズ２１の横断面の中心（断面円の中心点）よりも外側に位置していればよい。
遮光壁部１３は、センサ部材本体部２ａの幅方向における外側端部が、同幅方向において、発光素子２０、又は、レンズ２１の横断面の中心（断面円の中心点）よりも外側に位置していればよい。
【符号の説明】
【0058】
１ 検出システム
２ センサ部材（検出部）
３ａ 搬送台部（載置部）
４ セルストリング（ワーク）
４ａ 第１端部
４ｂ 第２端部
１１ 光源部（拡散光源部）
１２ 撮像部
１３ 遮光壁部
１３ａ 第１遮光壁部（第１遮光部）
１３ｂ 第２遮光壁部（第２遮光部）
１３ｃ 第３遮光壁部（第３遮光部）
４０ 第１角部（角部）
４５ 第２角部（角部）
２ センサ部材（検出部）
３ａ 搬送台部（載置部）
４ セルストリング（ワーク）
４ａ 第１端部
４ｂ 第２端部
１１ 光源部（拡散光源部）
１２ 撮像部
１３ 遮光壁部
１３ａ 第１遮光壁部（第１遮光部）
１３ｂ 第２遮光壁部（第２遮光部）
１３ｃ 第３遮光壁部（第３遮光部）
４０ 第１角部（角部）
４５ 第２角部（角部）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
