特開 2024-136146 ガラス振動子の製造方法および溶融成形装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024136146

(43)【公開日】2024-10-04

(54)【発明の名称】ガラス振動子の製造方法および溶融成形装置

(51)【国際特許分類】

   C03B 23/035 20060101AFI20240927BHJP

【ＦＩ】

C03B23/035

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023047141

(22)【出願日】2023-03-23

(71)【出願人】

【識別番号】000003609

【氏名又は名称】株式会社豊田中央研究所

(71)【出願人】

【識別番号】520124752

【氏名又は名称】株式会社ミライズテクノロジーズ

(71)【出願人】

【識別番号】000003207

【氏名又は名称】トヨタ自動車株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】島岡 敬一

(72)【発明者】

【氏名】藤塚 徳夫

(72)【発明者】

【氏名】明石 照久

(72)【発明者】

【氏名】後藤 勝昭

(72)【発明者】

【氏名】吉田 貴彦

【テーマコード（参考）】

4G015

【Ｆターム（参考）】

4G015AA13

4G015AB02

4G015AB03

4G015AB05

4G015AB10

(57)【要約】

【課題】ガラス振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】溶融成形型は、平坦な表面と、表面の一部に形成されている穴部と、穴部の底面から上方へ延びている支柱と、を備えている。ガラス振動子の製造方法は、溶融成形型の表面に、穴部を覆うとともに支柱上面から離間するように板状の被加工材料を配置する配置工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、穴部に第１の負圧を発生させる第１負圧発生工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、第１負圧発生工程の後に、被加工材料の上面を加熱手段で加熱する加熱工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、加熱工程により被加工材料が変形して支柱上面に接触したことによる、支柱上面の瞬間的な温度上昇を検出する検出工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、温度上昇が検出されたことに応じて、穴部の負圧を第１の負圧からさらに負側に大きくする第２負圧発生工程を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

溶融成形型を用いたガラス振動子の製造方法であって、
前記溶融成形型は、平坦な表面と、前記表面の一部に形成されている穴部と、前記穴部の底面から上方へ延びている支柱と、を備えており、
前記支柱の支柱上面は、前記溶融成形型の前記表面よりも低い位置に存在しており、
ガラス振動子の製造方法は、
前記溶融成形型の前記表面に、前記穴部を覆うとともに前記支柱上面から離間するように板状の被加工材料を配置する配置工程と、
前記穴部に第１の負圧を発生させる第１負圧発生工程と、
前記第１負圧発生工程の後に、前記被加工材料の上面を加熱手段で加熱する加熱工程と、
前記加熱工程により前記被加工材料が変形して前記支柱上面に接触したことによる、前記支柱上面の瞬間的な温度上昇を検出する検出工程と、
前記温度上昇が検出されたことに応じて、前記穴部の負圧を前記第１の負圧からさらに負側に大きくする第２負圧発生工程と、
を備える、ガラス振動子の製造方法。

【請求項2】

前記第２負圧発生工程は、前記温度上昇が検出された直後、または、前記温度上昇が検出されてから第１所定時間の経過後に行われる、請求項１に記載のガラス振動子の製造方法。

【請求項3】

前記加熱工程では、前記加熱手段を前記支柱に所定速度で近づけており、
前記温度上昇が検出された直後、または、前記温度上昇が検出されてから第２所定時間の経過後に、前記加熱手段の移動を停止する工程をさらに備える、請求項１に記載のガラス振動子の製造方法。

【請求項4】

前記加熱手段は、燃料ガスを用いて火炎を生成する装置であり、
前記温度上昇が検出されることに応じて、前記燃料ガスの供給量を変化させる工程をさらに備える、請求項１に記載のガラス振動子の製造方法。

【請求項5】

平坦な表面と、前記表面の一部に形成されている穴部と、前記穴部の底面から上方へ延びている支柱と、を備える溶融成形型であって、前記支柱の支柱上面が前記表面よりも低い位置に存在しており、前記穴部を覆うとともに前記支柱上面から離間するように板状の被加工材料を前記表面に配置することが可能に構成されている、前記溶融成形型と、
前記支柱上面の温度を計測可能に構成されている温度計と、
前記被加工材料が配置されている状態の前記穴部を加熱することが可能に構成されている加熱手段と、
前記被加工材料が配置されている状態の前記穴部に負圧を発生させることが可能に構成されている穴部負圧発生手段と、
を備える溶融成形装置であって、
前記温度計は、前記加熱手段により前記被加工材料が変形して前記支柱上面に接触したことによる、前記支柱上面の瞬間的な温度上昇を検出可能に構成されており、
前記穴部負圧発生手段は、前記温度上昇が前記温度計で検出されたことに応じて、前記穴部の負圧をさらに負側に大きくすることが可能に構成されている、
溶融成形装置。

【請求項6】

前記穴部負圧発生手段は、前記温度上昇が前記温度計で検出された直後、または、前記温度上昇が前記温度計で検出されてから第１所定時間の経過後に、前記穴部の負圧をさらに負側に大きくすることが可能に構成されている、請求項５に記載の溶融成形装置。

【請求項7】

前記加熱手段は、前記支柱に近づく方向に所定速度で移動可能に構成されており、
前記加熱手段は、前記温度上昇が前記温度計で検出された直後、または、前記温度上昇が前記温度計で検出されてから第２所定時間の経過後に、移動を停止することが可能に構成されている、請求項５に記載の溶融成形装置。

【請求項8】

前記加熱手段は、燃料ガスを用いて火炎を生成する装置であり、
前記加熱手段は、前記温度計で温度上昇が検出されることに応じて、前記燃料ガスの供給量を変化させることが可能に構成されている、請求項５に記載の溶融成形装置。

【請求項9】

前記溶融成形型の外周を取り囲む壁部をさらに備え、
前記壁部の上端は、前記溶融成形型の前記表面よりも上方に位置している、請求項５に記載の溶融成形装置。

【請求項10】

前記溶融成形型の裏面側に配置されており、一定温度を維持することが可能に構成されているヒートシンクをさらに備える、請求項５に記載の溶融成形装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、ガラス振動子の製造方法および溶融成形装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、高精度化が可能であるジャイロとして、溶融シリカ製振動子を用いたBird-bath Resonator Gyroscope (BRG)が開示されている。具体的には、上面の一部に穴部が形成されている溶融成形型を準備する。穴部の内部には、穴部の底面から上方へ延びている支柱が備えられている。穴部を塞ぐように被加工材料（例：石英板）を配置し、穴部の内部を減圧しながら、被加工材料の上面を加熱手段で加熱する。負圧と大気圧との差圧による分布荷重によって、軟化した被加工材料を、穴部の内部に入り込むように溶融変形させることができる。これにより、支柱を中心軸とした半球形状のガラス振動子を作製することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１８／０７９１２９号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

加熱手段による入熱分布の揺らぎにより、被加工材料の温度上昇分布にばらつきが発生する場合がある。この場合、局所的に軟化温度に到達した箇所から溶融成形が開始されてしまう。その結果、ガラス振動子の形状が非対称になってしまう。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書が開示するガラス振動子の製造方法は、溶融成形型を用いたガラス振動子の製造方法である。溶融成形型は、平坦な表面と、表面の一部に形成されている穴部と、穴部の底面から上方へ延びている支柱と、を備えている。支柱の支柱上面は、溶融成形型の表面よりも低い位置に存在している。ガラス振動子の製造方法は、溶融成形型の表面に、穴部を覆うとともに支柱上面から離間するように板状の被加工材料を配置する配置工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、穴部に第１の負圧を発生させる第１負圧発生工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、第１負圧発生工程の後に、被加工材料の上面を加熱手段で加熱する加熱工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、加熱工程により被加工材料が変形して支柱上面に接触したことによる、支柱上面の瞬間的な温度上昇を検出する検出工程を備える。ガラス振動子の製造方法は、温度上昇が検出されたことに応じて、穴部の負圧を第１の負圧からさらに負側に大きくする第２負圧発生工程を備える。

【0006】

上記の構成によると、第１の負圧によって被加工材料を溶融成形型の表面に吸着固定することができる。そして、加熱工程により被加工材料が変形して支柱上面に接触したことを、支柱上面の瞬間的な温度上昇によって検出することができる。このとき、比較的小さい第１の負圧を用いているため、局所的に軟化温度に到達した箇所が発生した場合においても、溶融変形が開始することを抑制できる。これにより、変形開始させずに、加工領域全体を加熱することができる。そして、加工領域の全体が軟化温度に到達してから、第１の負圧からさらに負側に大きくすることで、加工領域の全体を一様に溶融変形開始させることができる。これにより、高い対称性を有するガラス振動子を作製することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実施例１の溶融成形装置１の断面概略図である。

【図2】実施例１の溶融成形装置１の上面図である。

【図3】実施例１のガラス振動子の製造工程を説明するフロー図である。

【図4】実施例１のガラス振動子の製造工程を説明するタイミングチャートである。

【図5】石英板３０の中央部が支柱上面ＴＳに接触した状態を示す概略図である。

【図6】溶融変形後した状態を示す概略図である。

【図7】第１変形例のタイミングチャートである。

【図8】第２変形例のタイミングチャートである。

【図9】第３変形例のタイミングチャートである。

【発明を実施するための形態】

【実施例0008】

図１に、溶融成形装置１の断面概略図を示す。図２に、溶融成形装置１の上面図を示す。図１は、図２のI－I線における断面図に対応している。なお図２では、バーナ５０、放射温度計６０、電動ステージ４５の記載を省略している。溶融成形装置１は、プレート１０、成形型２０、石英板３０、ヒートシンク４０、電動ステージ４５、バーナ５０、放射温度計６０、制御部７０、穴部負圧発生手段８１、を主に備える。

【0009】

成形型２０は、石英板３０を溶融変形させて半球形状の振動子を成形するための型である。成形型２０の材料をグラファイトとした。本実施例では、成形型２０は、中心軸ＣＡを備えた円板形状である。成形型２０は、下面２０ｒ、表面２０ｓ、穴部２０ｈ、支柱２０ｐ、貫通孔２０ｅ、を備える。下面２０ｒおよび表面２０ｓは、中心軸ＣＡに垂直な平坦面である。表面２０ｓは、下面２０ｒと平行である。表面２０ｓの一部には、穴部２０ｈが形成されている。穴部２０ｈは、石英板３０が溶融変形するための変形空間である。本実施例では、穴部２０ｈは、中心軸ＣＡを中心とした円筒状にくり抜かれた形状を有している。穴部２０ｈは、底面２０ｂを備えている。底面２０ｂには、下面２０ｒに貫通している複数の貫通孔２０ｅが形成されている。貫通孔２０ｅは第１連絡孔１０ｃ１に連通している。

【0010】

穴部２０ｈの中央には、底面２０ｂから垂直上方に伸びている支柱２０ｐが配置されている。支柱２０ｐは、中心軸ＣＡを中心軸とする円柱であり、中心軸ＣＡ周りに回転対称な形状を備えている。支柱２０ｐは、支柱上面ＴＳを備えている。支柱上面ＴＳは、支柱２０ｐの上端に位置しており、中心軸ＣＡに垂直な面である。支柱上面ＴＳは、成形型２０の表面２０ｓよりも低い位置に存在している。これにより、石英板３０の下面と支柱上面ＴＳとの間には、ギャップＧＡ１が形成されている（図１参照）。ギャップＧＡ１は任意の値でよく、例えば１００～５００μｍである。

【0011】

プレート１０は、成形型２０を設置するためのステンレス製の台である。プレート１０は、成形型２０を冷却する機能を備えている。プレート１０の表面１０ｓには、第１連絡孔１０ｃ１が形成されている。第１連絡孔１０ｃ１は、貫通孔２０ｅに対応した位置に配置されており、貫通孔２０ｅと接続されている。第１連絡孔１０ｃ１は、第１連絡路１０ｐ１を介して穴部負圧発生手段８１に接続されている。穴部負圧発生手段８１は、穴部２０ｈに負圧を発生させることが可能な手段である。穴部負圧発生手段８１は、例えば真空ポンプであってもよい。

【0012】

ヒートシンク４０は、プレート１０の下面１０ｒと接触している。ヒートシンク４０の内部には、循環配管４１が配置されている。循環配管４１は、チラー設備４２に接続されている。循環配管４１には、チラー設備４２によって室温以上に恒温化された冷媒が循環している。これによりヒートシンク４０は、工程中に一定の温度を保ち続ける。石英板３０の加工中における、成形型２０からプレート１０への放熱性能の変動を抑制することができる。すなわちヒートシンク４０は、プレート１０を介して成形型２０の温度を調整することが可能に構成されている。これにより、火炎で加熱された成形型２０からのプレート１０への熱伝達（排熱）の再現性を高めることができる。従って、季節変動などの環境変化に関わらず、ガラス振動子の加工再現性を高めることが可能となる。

【0013】

電動ステージ４５上には、ヒートシンク４０、プレート１０、成形型２０が載置されている。電動ステージ４５は、ｘ，ｙ方向（水平方向）に移動可能に構成されている。

【0014】

成形型２０の表面２０ｓには、穴部２０ｈを覆うように、石英板３０が配置されている。石英板３０は、ガラス振動子を形成するための被加工材料である。石英板３０の厚さは、例えば１００μｍ以下である。本実施例では石英板３０は円形であるが、正方形や正六角形や正八角形であってもよい。

【0015】

バーナ５０は、火炎により石英板３０を加熱する手段である。バーナ５０は、上下方向（±ｚ方向）に移動する可動機構５３に固定されている。これによりバーナ５０は、中心軸ＣＡに沿って上下に移動可能である。バーナ５０は、予混合室５０ｃを備えている。予混合室５０ｃには、ガス供給設備５１からガス流量調整器５２を介して、燃料ガスＧ１および酸素ガスＧ２が供給される。予混合室５０ｃによって燃料ガスＧ１および酸素ガスＧ２を予め混合した上で燃焼させることができるため、安定した火炎を発生させることが可能となる。

【0016】

放射温度計６０は、非接触式の温度計である。放射温度計６０は、成形型２０の上方に、不図示の固定器具によって配置されている。放射温度計６０の焦点を支柱２０ｐの支柱上面ＴＳに当てることによって、支柱上面ＴＳの表面温度を非接触で測定できる。

【0017】

衝立１１は、プレート１０の表面１０ｓに、成形型２０の外周を取り囲むように配置されている。衝立１１は、ステンレス製の円筒形状の壁部である。衝立１１の上端１１ｕは、成形型２０の表面２０ｓよりも上方側（＋ｚ方向側）に位置している。これにより、気流の外乱を遮断することができるため、火炎の揺らぎを抑制することが可能となる。火炎によって加熱された石英板３０の温度分布を、中心軸ＣＡと中心とした点対称とすることができるため、高対称なガラス振動子を再現性良く製造することが可能となる。また衝立１１は成形型２０とは接触していない。これにより、衝立１１が成形型２０を冷却するフィンとして機能してしまうことがない。

【0018】

制御部７０は、穴部負圧発生手段８１、可動機構５３、ガス流量調整器５２、放射温度計６０、チラー設備４２に接続されており、これらの機器から各種情報を取得するとともに、これらの機器を制御する。制御部７０は、例えばＰＣであってもよい。

【0019】

（ガラス振動子の製造工程）
図３のフロー図を用いて、ガラス振動子の製造工程を説明する。また図４に、タイミングチャートを示す。図４（Ａ）の縦軸は、穴部２０ｈの圧力である。図４（Ｂ）の縦軸は、バーナ５０の先端５０ｓと石英板３０の表面との距離である。図４（Ｃ）の縦軸は、支柱上面ＴＳの表面温度である。

【0020】

ステップＳ１０において、制御部７０は、チラー設備４２によって４０℃に制御された冷媒を、ヒートシンク４０の循環配管４１に供給し循環させる。ステップＳ２０において、プレート１０の表面１０ｓに、成形型２０を設置する。

【0021】

ステップＳ３０において、成形型２０の表面２０ｓに石英板３０を配置する。このとき、中心軸ＣＡと石英板３０の中心とが一致するように位置決めする。石英板３０の下面と支柱上面ＴＳとの間には、ギャップＧＡ１が存在している。ステップＳ３５において、プレート１０の表面１０ｓに、衝立１１を設置する。

【0022】

ステップＳ４０において、制御部７０は、穴部負圧発生手段８１を動作させる（図４、時刻ｔ１参照）。これにより、第１連絡孔１０ｃ１および貫通孔２０ｅを介して、穴部２０ｈが第１の負圧ＮＰ１とされる。本実施例では、第１の負圧ＮＰ１は１０ｋＰａの負圧とした。ステップＳ５０において制御部７０は、放射温度計６０によって、支柱２０ｐの支柱上面ＴＳの温度測定を開始する。

【0023】

ステップＳ６０において、制御部７０は、バーナ５０に着火する（図４、時刻ｔ２参照）。具体的には、ガス供給設備５１から提供される燃料ガスＧ１および酸素ガスＧ２の流量を、ガス流量調整器５２によって制御する。そして火炎が安定するまで待機する。本実施例では、着火後、プロパンの燃料ガスＧ１を流量１０００ｓｃｃｍ、酸素ガスＧ２を流量５０００ｓｃｃｍに調節した。これにより、図１に示す状態となる。なお、時刻ｔ２においてバーナ５０は、初期位置に位置している。初期位置におけるバーナ５０の先端５０ｓと石英板３０の表面との距離は、初期距離Ｌ０である（図１参照）。

【0024】

ステップＳ７０において制御部７０は、可動機構５３を制御することで、バーナ５０を一定速度で下降させる（図４、時刻ｔ２－ｔ４参照）。これにより、火炎による石英板３０の加熱が行われる。本実施例では、バーナ５０を５０ｍｍ／秒の速度で下降させた。

【0025】

ステップＳ８０において制御部７０は、放射温度計６０によって、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇が検出されたか否かを判断する。瞬間的な温度上昇について説明する。加熱初期状態では、支柱２０ｐの上面と石英板３０の下面との間には、ギャップＧＡ１が形成されており、接触していない。よって石英板３０から支柱２０ｐへは、熱伝導経路が形成されない。そのため石英板３０の温度分布は、中心である支柱２０ｐの近傍領域が最も高く、支柱２０ｐの外周方向に離れるほど低下する分布となる。そして石英板３０の中心が最初に軟化温度に到達し、溶融変形が開始される。そのため図５に示すように、石英板３０の中央部が支柱上面ＴＳに接触する。石英板３０の中央部に蓄積されていた熱が、接触により支柱２０ｐへ排熱されるため、支柱上面ＴＳの温度が瞬間的に上昇する（図４（Ｃ）、領域Ａ１参照）。また石英板３０の中央部の温度が急激に低下し、石英板３０中央部近傍の変形が停止する。以上説明したように、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇を検出することで、石英板３０が変形開始したことを検出することができる。

【0026】

時刻ｔ３において石英板３０の変形開始が検知されると（Ｓ８０：ＹＥＳ）、ステップＳ８５へ進む。ステップＳ８５において制御部７０は、石英板３０の変形開始が検出されてから第２所定時間ＰＴ２の経過後に、バーナ５０の下降を停止する（図４、時刻ｔ４、矢印Ｙ１参照）。これにより、バーナ５０と石英板３０との距離を、変形開始距離Ｌ１からさらに所定距離ＰＬだけ近づけた距離Ｌ２にすることができる（図４（Ｂ）参照）。本実施例では、第２所定時間ＰＴ２を３秒、所定距離ＰＬを１５０ｍｍとした。

【0027】

ステップＳ９０において、制御部７０は、石英板３０の変形開始が検出されてから第１所定時間ＰＴ１の経過後に、穴部２０ｈの負圧を、第１の負圧ＮＰ１からさらに負側に大きくする（図４、時刻ｔ５、矢印Ｙ２参照）。具体的には、第２の負圧ＮＰ２に到達するまで、一定の速度で真空引きを行う。本実施例では、第１所定時間ＰＴ１を１０秒、第２の負圧ＮＰ２を７５ｋＰａの負圧とし、１０ｋＰａ／秒の速度で真空引きを行った。これにより、火炎からの入熱、および、穴部２０ｈに発生した負圧と大気圧との差圧による分布荷重によって、穴部２０ｈに入り込むように石英板３０を溶融変形させることができる。これにより、図６に示すように、石英板３０を所望の形状に溶融変形させることができる。

【0028】

ステップＳ１００において、制御部７０は、穴部２０ｈの負圧が第２の負圧ＮＰ２（７５ｋＰａ）に到達したか否かを判断する。時刻ｔ６において、第２の負圧ＮＰ２に到達したことが検知されると（Ｓ１００：ＹＥＳ）、ステップＳ１１０へ進む。

【0029】

ステップＳ１１０において制御部７０は、第２の負圧ＮＰ２に到達してから第３所定時間ＰＴ３の経過後に、バーナ５０を上昇開始させる（図４、時刻ｔ７参照）。本実施例では、第３所定時間ＰＴ３を１０秒とし、バーナ５０の上昇速度を２００ｍｍ／秒とした。時刻ｔ８において、バーナ５０が初期位置まで上昇すると、バーナ５０の移動を停止するとともに火炎を消火する。

【0030】

ステップＳ１２０において制御部７０は、火炎を消火してから第４所定時間ＰＴ４の経過後に、穴部負圧発生手段８１による真空引きを停止する（図４、時刻ｔ９参照）。これにより、穴部２０ｈが大気開放される。本実施例では、第４所定時間ＰＴ４を３秒とした。ステップＳ１３０において、溶融成形された石英板３０を成形型２０から取り外す。これにより、ガラス振動子が完成する。

【0031】

（効果）
バーナ５０による入熱分布の揺らぎにより、石英板３０の温度上昇分布にばらつきが発生する場合がある。この場合、局所的に軟化温度に到達した箇所から溶融成形が開始されてしまう。その結果、ガラス振動子の形状が非対称になってしまう。本実施例の技術によると、第１の負圧ＮＰ１によって石英板３０を成形型２０の表面２０ｓに吸着固定することができる（ステップＳ４０）。そして、加熱工程により石英板３０が変形して支柱上面ＴＳに接触したことを、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇によって検出することができる（ステップＳ８０）。このとき、第２の負圧ＮＰ２よりも小さい第１の負圧ＮＰ１を用いているため、局所的に軟化温度に到達した箇所が発生した場合においても、溶融変形が開始することを抑制できる。これにより、変形開始させずに、石英板３０の加工領域全体を加熱することができる。そして、支柱２０ｐを中心とした同心円状に均一に軟化温度まで加熱してから、第２の負圧ＮＰ２を印加することで、加工領域の全体を一様に溶融変形開始させることができる。穴部２０ｈ上の石英板３０の何れの場所においても、同時に溶融変形を開始させることができる。従って、中心軸ＣＡに対して高い対称性形状を有するガラス振動子を、高い再現性で加工することができる。本技術で製造された高対称性形状を有するガラス振動子は、振動ロスの少ない高いＱ値を有するため、高精度のジャイロセンサを作製することが可能となる。

【0032】

ガラス振動子の溶融成形においては、様々な製造パラメータにばらつきが存在する。例えば、火炎の揺らぎによる入熱量ばらつき、石英板３０の厚さの面内ばらつきやロット間ばらつき、環境ばらつき（気温、湿度）、などである。これらの製造パラメータばらつきの影響により、石英板３０の温度分布や温度上昇傾きもばらついてしまうため、ガラス振動子の加工形状の再現性が低くなる問題があった。本実施例の技術では、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇を検出することで、石英板３０の変形開始時点を検出することができる（ステップＳ８０）。すなわち、製造パラメータがばらつく場合においても、変形開始という一定状態が発生した時点を検出することができる。そして、変形開始時点を基準として加熱時間や入熱量を制御できるため、製造パラメータのばらつきの影響を抑制することができる。ガラス振動子の加工形状の再現性を高めることが可能となる。

【0033】

石英板３０の変形開始が検出されてから、第１所定時間ＰＴ１（１０秒）が経過するまで、穴部２０ｈの圧力を第１の負圧ＮＰ１に維持することができる（ステップＳ９０）。これにより、第１所定時間ＰＴ１の間、石英板３０を変形させずに加熱することができる。よって石英板３０を、支柱２０ｐを中心とした同心円状に、均一加熱することが可能となる。

【0034】

石英板３０の変形開始が検出されてから、第２所定時間ＰＴ２（３秒）が経過するまで、バーナ５０の下降状態を維持することができる（ステップＳ８５）。第２所定時間ＰＴ２を大きくするほど、バーナ５０と石英板３０との距離を小さくすることができるため、石英板３０への入熱量を大きくすることができる。その結果、石英板３０の下方側への変形量を大きくできるため、完成したガラス振動子の高さを高くすることが可能となる。

【実施例0035】

実施例２では、バーナ５０の下降を停止するタイミング（ステップＳ８５）や、第１の負圧ＮＰ１からさらに負側に大きくするタイミング（ステップＳ９０）の様々な変形例について説明する。

【0036】

図７に、第１変形例のタイミングチャートを示す。図７の内容は、実施例１の図４の内容と同様である。同一部位には同一符号を付すことで、説明を省略する。第１変形例では、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇を検出（Ｓ８０）した直後に、バーナ５０の下降を停止（Ｓ８５）する（矢印Ｙ１１参照）。また同時に、穴部２０ｈの負圧を、第１の負圧ＮＰ１からさらに負側に大きくする（Ｓ９０）（矢印Ｙ１２参照）。これによっても、ガラス振動子の加工形状の再現性を高めることが可能となる。

【0037】

図８に、第２変形例のタイミングチャートを示す。第２変形例では、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇を検出（Ｓ８０）した直後に、バーナ５０の下降を停止（Ｓ８５）する（矢印Ｙ２１参照）。そして、温度上昇を検出（Ｓ８０）してから第１所定時間ＰＴ１の経過後に、穴部２０ｈの負圧を、第１の負圧ＮＰ１からさらに負側に大きくする（Ｓ９０）（矢印Ｙ２２参照）。これにより、第１所定時間ＰＴ１の間、石英板３０を変形させずに加熱することができる。

【0038】

図９に、第３変形例のタイミングチャートを示す。第３変形例では、支柱上面ＴＳの瞬間的な温度上昇を検出（Ｓ８０）した直後に、穴部２０ｈの負圧を、第１の負圧ＮＰ１からさらに負側に大きくする（Ｓ９０）（矢印Ｙ３２参照）。そして、温度上昇を検出（Ｓ８０）してから第２所定時間ＰＴ２の経過後に、バーナ５０の下降を停止（Ｓ８５）する（矢印Ｙ３１参照）。これにより、石英板３０への入熱量を大きくすることができる。