特開 2024-137071 液体吐出ヘッドの液体循環装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024137071

(43)【公開日】2024-10-07

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドの液体循環装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/18 20060101AFI20240927BHJP

   B41J 2/175 20060101ALI20240927BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20240927BHJP

【ＦＩ】

B41J2/18

B41J2/175 501

B41J2/14 603

B41J2/14 605

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023048437

(22)【出願日】2023-03-24

(71)【出願人】

【識別番号】324006865

【氏名又は名称】理想テクノロジーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003362

【氏名又は名称】弁理士法人ｉ．ＰＡＲＴＮＥＲＳ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】仁田 昇

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA26

2C056FA13

2C056HA05

2C056KA01

2C056KB16

2C057AF71

2C057AG12

2C057AG30

2C057AG44

2C057AG68

2C057AN05

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】      （修正有）

【課題】液体の循環流の形成と液体の吐出を正常に行う液体吐出ヘッドの液体循環装置を提供する。
【解決手段】液体循環装置は、液体吐出ヘッド、上流側液体流路、下流側液体流路、圧力調整部、循環路、およびポンプを備える。液体吐出ヘッドは、ノズルに連通する圧力室、圧力室の液体流入口に連通する上流側液体マニホールド、上流側液体マニホールドに連通する上流側ポート、圧力室の液体流出口に連通する下流側液体マニホールド、下流側液体マニホールドに連通する下流側ポートを備える。圧力調整部は、下流側液体流路側に設ける。ポンプは、循環路に設ける。液体は、上流側液体流路から液体吐出ヘッドに供給し、液体吐出ヘッドから排出される液体は、下流側液体流路、圧力調整部、循環路を介して上流側液体流路に循環させる。圧力室の液体流出口から圧力調整部までの流路抵抗は、上流側液体流路の入口から圧力室の液体流入口までの流路抵抗よりも小さい。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ノズルに連通する圧力室、前記圧力室の液体流入口に連通する上流側液体マニホールド、前記上流側液体マニホールドに連通する上流側ポート、前記圧力室の液体流出口に連通する下流側液体マニホールド、前記下流側液体マニホールドに連通する下流側ポートを備える液体吐出ヘッドと、
前記上流側ポートに接続した上流側液体流路と、
前記下流側ポートに接続した下流側液体流路と、
前記下流側液体流路側に設けた圧力調整部と、
前記上流側液体流路と前記下流側液体流路を接続する循環路と、
前記循環路に設けたポンプと、を備え、
前記液体は、前記上流側液体流路から前記液体吐出ヘッドに供給し、前記液体吐出ヘッドから排出される前記液体は、前記下流側液体流路、前記圧力調整部、前記循環路を介して前記上流側液体流路に循環させ、
前記圧力室の液体流出口から前記圧力調整部までの流路抵抗は、前記上流側液体流路の入口から前記圧力室の液体流入口までの流路抵抗よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドの液体循環装置。

【請求項2】

前記圧力室の前記液体流入口と前記上流側液体流路の入口の間にリストリクタと前記ノズルを有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの液体循環装置。

【請求項3】

前記ノズルから前記液体を吐出しないときの前記液体の循環流量は、前記液体吐出ヘッドの最大吐出流量以上であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの液体循環装置。

【請求項4】

前記リストリクタから前記圧力室へ流れる前記液体の流量は、前記ノズルから吐出する前記液体の流量が多いほど低下することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの液体循環装置。

【請求項5】

前記上流側液体マニホールドには、前記上流側ポートと吐出チャネルの距離が近い場所ほど流体抵抗が大きい抵抗部材を設けることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの液体循環装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッドの液体循環装置に関する。

【背景技術】

【0002】

所定量の液体を所定の位置に供給する液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えばインクジェットプリンタ、３Ｄプリンタ、分注装置などに搭載する。インクジェットプリンタは、インクの液滴をインクジェットヘッドから吐出して、記録媒体の表面に画像等を形成する。３Ｄプリンタは、造形材の液滴を造形材吐出ヘッドから吐出し、硬化させて、三次元造形物を形成する。分注装置は、試料の液滴を吐出して複数の容器等へ所定量供給する。

【0003】

液体吐出ヘッドは、液体を吐出するチャネルを複数有している。各チャネルは、液体を吐出するノズル、ノズルに連通する圧力室、圧力室の容積を変化させるアクチュエータを備える。液体吐出ヘッドは、複数のチャネルの中から液体を吐出するチャネルを選択し、選択したチャネルのアクチュエータに駆動信号を与えて液体を吐出させる。液体は、圧力室に液体流入口と液体流出口を設けて循環供給する。液体吐出ヘッドに液体を循環供給する装置は、ノズル近傍の液体の圧力を安定にするのが難しい。ノズル近傍の液体の圧力が安定しないと、液体を正常に吐出できないことがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１－５１１６９号公報

【特許文献2】特開２０１４－７９８９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明が解決しようとする課題は、液体の循環流の形成と液体の吐出を正常に行うことのできる液体吐出ヘッドの液体循環装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の実施形態の液体吐出ヘッドの液体循環装置は、液体吐出ヘッド、上流側液体流路、下流側液体流路、圧力調整部、循環路、およびポンプを備える。液体吐出ヘッドは、ノズルに連通する圧力室、前記圧力室の液体流入口に連通する上流側液体マニホールド、前記上流側液体マニホールドに連通する上流側ポート、前記圧力室の液体流出口に連通する下流側液体マニホールド、前記下流側液体マニホールドに連通する下流側ポートを備える。上流側液体流路は、前記上流側ポートに接続する。下流側液体流路は、前記下流側ポートに接続する。圧力調整部は、前記下流側液体流路側に設ける。循環路は、前記上流側液体流路と前記下流側液体流路を接続する。ポンプは、前記循環路に設ける。前記液体は、前記上流側液体流路から前記液体吐出ヘッドに供給し、前記液体吐出ヘッドから排出される前記液体は、前記下流側液体流路、前記圧力調整部、前記循環路を介して前記上流側液体流路に循環させる。前記圧力室の液体流出口から前記圧力調整部までの流路抵抗は、前記上流側液体流路の入口から前記圧力室の液体流入口までの流路抵抗よりも小さい。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実施形態に従うインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの全体構成図である。

【図2】上記インクジェットヘッドの斜視図である。

【図3】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図4】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図5】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した平面図である。

【図6】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した斜視図である。

【図7】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図8】上記インクジェットヘッドのヘッド部内の斜視図である。

【図9】上記インクジェットヘッドがインクの吐出に利用する１／４波長液柱共鳴の説明図である。

【図10】上記インクジェットヘッドのインク循環装置の全体構成図である。

【図11】上記インクジェットヘッドの駆動回路である。

【図12】上記インクジェットヘッドのアクチュエータに与える駆動波形である。

【図13】上記駆動波形を与えたアクチュエータの動作説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、実施形態に従う液体吐出ヘッドの液体循環装置について、添付図面を参照しながら詳述する。なお、各図において、同一構成は同一の符号を付している。

【0009】

実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した画像形成装置の一例として、記録媒体に画像を印刷するインクジェットプリンタ１０を説明する。図１は、インクジェットプリンタ１０の概略構成を示す。インクジェットプリンタ１０は、筐体１１の内部に、記録媒体の一例であるシートＳを収納するカセット１２、シートＳの上流搬送路１３、カセット１２内から取り出したシートＳを搬送する搬送ベルト１４、搬送ベルト１４上のシートＳに向けてインクの液滴を吐出する複数のインクジェットヘッド１００～１０３、シートＳの下流搬送路１５、排出トレイ１６、及び制御基板１７を配置する。ユーザーインターフェイスである操作部１８は、筐体１１の上部側に配置する。

【0010】

シートＳに印刷する画像データは、例えば外部接続機器であるコンピュータ２００で生成する。コンピュータ２００で生成した画像データは、ケーブル２０１、コネクタ２０２，２０３を通してインクジェットプリンタ１０の制御基板１７に送る。

【0011】

ピックアップローラ２０４は、カセット１２からシートＳを一枚ずつ上流搬送路１３へ供給する。上流搬送路１３は、送りローラ対１３１、１３２と、シート案内板１３３、１３４で構成する。シートＳは、上流搬送路１３を経由して、搬送ベルト１４の上面に送る。図中の矢印１０４は、カセット１２から搬送ベルト１４へのシートＳの搬送経路を示す。

【0012】

搬送ベルト１４は、表面に多数の貫通孔を形成した網状の無端ベルトである。駆動ローラ１４１、従動ローラ１４２，１４３の３本のローラは、搬送ベルト１４を回転自在に支持する。モータ２０５は、駆動ローラ１４１を回転することによって搬送ベルト１４を回転させる。モータ２０５は、駆動装置の一例である。図中１０５は、搬送ベルト１４の回転方向を示す。搬送ベルト１４の裏面側に、負圧容器２０６を配置する。負圧容器２０６は、減圧用のファン２０７と連結する。ファン２０７は、形成する気流によって負圧容器２０６内を負圧にし、搬送ベルト１４の上面にシートＳを吸着保持させる。図中１０６は、気流の流れを示す。

【0013】

液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッド１００～１０３は、搬送ベルト１４上に吸着保持したシートＳに対して、例えば１ｍｍの僅かな隙間を介して対向するように配置する。インクジェットヘッド１００～１０３は、シートＳに向けてインクの液滴を夫々吐出する。インクジェットヘッド１００～１０３は、下方をシートＳが通過する際に画像を印刷する。各インクジェットヘッド１００～１０３は、吐出するインクの色が異なることを除けば、同じ構造である。インクの色は、例えば、シアン，マゼンタ，イエロー，ブラックである。

【0014】

各インクジェットヘッド１００～１０３へのインクの供給は、各インク循環装置３４１～３４４によってそれぞれ循環供給する。インク循環装置３４１～３４４の詳しい構成は後述する（図１０参照）。図１では、作図の便宜上、インク循環装置３４１～３４４をそれぞれ破線枠で図示している。

【0015】

画像形成後、搬送ベルト１４から下流搬送路１５へシートＳを送る。下流搬送路１５は、送りローラ対１５１，１５２，１５３，１５４と、シートＳの搬送経路を規定するシート案内板１５５，１５６で構成する。シートＳは、下流搬送路１５を経由し、排出口１５７から排出トレイ１６へ送る。図中矢印１０７は、シートＳの搬送経路を示す。

【0016】

続いて、インクジェットヘッド１００～１０３の構成について説明する。以下は、図２～図８を参照しながら、インクジェットヘッド１００について説明しているが、インクジェットヘッド１０１～１０３もインクジェットヘッド１００と同じ構造である。

【0017】

図２に示すように、インクジェットヘッド１００は、液体吐出部の一例であるヘッド部２を備える。ヘッド部２は、フィルム配線基板の一例であるフレキシブルプリント配線板２１と接続する。フレキシブルプリント配線板２１は、中継基板の一例であるプリント基板２２と接続する。ヘッド部２は、ノズル部の一例であるノズルプレート２３を備える。ヘッド部２は、図１のインク循環装置３４１からのインク供給路３１１、及びヘッド部２内を循環したインクをインク循環装置３４１に戻すインク排出路３３１を夫々接続している。

【0018】

インクを吐出する各吐出チャネルのノズル２４は、ノズルプレート２３の第１の方向の例えばＸ方向に沿って配列する。ノズル密度は、例えば１５０～１２００ｄｐｉの範囲内に設定する。ノズル２４は、一列に限らず、複数列であってもよい。ヘッド部２の詳しい構成は、後述する。

【0019】

フレキシブルプリント配線板２１は、例えばポリイミドなどの合成樹脂フィルムを用いたフレキシブルなプリント配線基板である。フレキシブルプリント配線板２１は、ドライバチップである駆動用のＩＣ（Integrated Circuit）２５を搭載している（以下、駆動ＩＣと称す）。プリント基板２２は、ガラス繊維入りのエポキシ樹脂層と銅配線層を多重に積層した硬質のスルーホール基板である。インクジェットヘッド１００の制御部としての駆動ＩＣ２５は、インクジェットプリンタ１０の制御部としてのＣＰＵを備えた制御基板１７からプリント基板２２を介して送られてくるデータを一時的に格納し、所定のタイミングでインクを吐出するよう各吐出チャネルに駆動信号を与える。

【0020】

図３～図７は、ヘッド部２の部分断面図である。ノズルプレート２３は、圧力室基板３の枠の部分および圧力室３１の隔壁を形成する部分（図４、図５参照）の一面に接合する。振動板３０は、ノズルプレート２３とは反対側の圧力室３１の隔壁を形成する部分の一面に接合する。ノズルプレート２３は、例えばポリイミドなどの樹脂又はステンレスなどの金属で形成した矩形状のプレートである。振動板３０は、外力を加えたときに変形する可撓性を有する。振動板３０は、例えばニッケルやステンレスなどの金属で形成した例えば４μｍ～８μｍの薄板状のプレートである。振動板３０の材質は、ポリイミドフィルムなど、金属以外でもよい。ノズルプレート２３、振動板３０、及び圧力室基板３の隔壁の部分で囲われた空間（図６，図７参照）は、各吐出チャネルの圧力室３１を形成する。

【0021】

狭窄路であるリストリクタ４は、ノズル２４の内側開口と対向する位置に配置する。リストリクタ４の一面には、ノズル背面のインクの流路４１となる凹状の溝を形成している。以下、この流路をリストリクタ流路と称す。リストリクタ流路４１は、第２の方向の例えばＹ方向に直線状に形成するのが好ましい。リストリクタ流路４１は、吐出チャネルごとに形成する。なお、リストリクタ流路４１の断面形状は、矩形が好ましいが（図６，図７参照）、半円形など他の形状でもよい。リストリクタ４は、圧力室基板３に一体的に形成してもよく、個別に形成して圧力室基板３の隔壁の部分に接合してもよい。圧力室基板３及びリストリクタ４の材質は、例えばステンレスなどの金属である。

【0022】

各吐出チャネルのリストリクタ流路４１の一端側は、第１の共通インク室としてのインク供給マニホールド４２に共通接続する。さらにインク供給マニホールド４２は、インク供給路３１１に接続する。なお、図３におけるリストリクタ流路４１の一端側からリストリクタ４の端面に沿ってＺ方向に伸びる流路の部分は、マニホールドに代えて吐出チャネルごとに独立した溝状の流路で形成してもよい。一方、リストリクタ流路４１の他端側は、吐出チャネルごとに圧力室３１と連通する。

【0023】

圧力室３１は、リストリクタ流路４１と同様、Ｙ方向に直線状に形成するのが好ましい。各吐出チャネルの圧力室３１の他端側の開口は、第２の共通インク室としてのインク排出マニホールド４３と共通連通する。インク排出マニホールド４３は、圧力室３１に比べて容量が大きく、圧力室３１の他端の開口を液柱共鳴の解放端にしている。一方、圧力室３１の一端側はリストリクタ流路４１と連通しているが、リストリクタ流路４１の断面積を圧力室３１の断面積よりも小さくして狭窄部にしている。そのため実質的に圧力室３１の一端側は閉端になっており、詳しくは後述する１／４波長液柱共鳴を利用してインクを吐出することができる。リストリクタ流路４１の断面積は、圧力室３１の断面積の２分の１以下が好ましい。

【0024】

インク供給マニホールド４２から供給するインクは、各吐出チャネルのリストリクタ流路４１および圧力室３１を介して、インク排出マニホールド４３から排出される。すなわち、リストリクタ流路４１と圧力室３１は、インクの循環流を形成する系路の一部を構成している。インク供給マニホールド４２側のリストリクタ流路４１の開口が液体流入口であり、インク排出マニホールド４３側の圧力室３１の開口が液体流出口である。循環流の流速は、リストリクタ流路４１の断面積を圧力室３１の断面積よりも小さくしているので、リストリクタ流路４１の流速の方が圧力室３１の流速よりも速い。

【0025】

リストリクタ流路４１と圧力室３１の境界、すなわち圧力室３１側のリストリクタ４の端面は、ノズルプレート２３側から振動板３０側に向かって外方に傾斜する斜面４４が好ましい。傾斜角θは、例えば４５度～８５度である。加えて、リストリクタ流路４１と圧力室３１は、ノズルプレート２３の一面に沿って直線状につながっているのが好ましい（図３，図５参照）。これらはいずれもインクの循環流を流れ易くするためである。循環流の流れ方向は、リストリクタ流路４１から圧力室３１の順が好ましい。

【0026】

各吐出チャネルのアクチュエータ５は、振動板３０を挟んで圧力室３１と対向する位置に配列している（図３，図６参照）。各アクチュエータ５は、Ｚ方向における振動板３０とは反対側の一面を支持基板３２にそれぞれ接合することによって固定している。

【0027】

圧電アクチュエータの一例であるアクチュエータ５は、例えばピエゾ素子などの圧電体５１、第１の内部電極５２、及び第２の内部電極５３を交互に層状に積層して形成した積層型圧電アクチュエータである。各圧電体５１は、分極方向が例えばＺ方向において互いに逆向きに配置し、ｄ３３モードで変形させる。第１の内部電極５２と第２の内部電極５３は、圧電体５１の主面にそれぞれ形成した導電膜である。第１の内部電極５２は、それぞれＹ方向におけるアクチュエータ５の一方の端面まで形成し、この端面に形成した第１の外部電極５４に接続する。第２の内部電極５３は、それぞれＹ方向におけるアクチュエータ５の他方の端面まで形成し、この端面に形成した第２の外部電極５５に接続する。ダミー層５８は、圧電体５１と同材料である。但し、ダミー層５８は、内部電極を設けず、電界が印加されないので変形しない。ダミー層５８は、アクチュエータ５を支持基板３２に固定するベースとなり、あるいは組立中や組立後の精度を出すために研磨する研磨代となる。

【0028】

複数の圧電体５１を積層したアクチュエータ５は、一例として、薄板状に加工した各圧電体５１の主面に第１の内部電極５２と第２の内部電極５３をそれぞれ成膜する。そして圧電体５１同士を積層し焼成して一体にする。その後、第１の外部電極５４と第２の外部電極５５を成膜する。その後、圧電体５１を着分極する。圧電体５１は、チタン酸ジルコン酸鉛 (ＰＺＴ)などの鉛含有圧電材料、或いはニオブ酸ナトリウムカリウムなどの鉛非含有圧電材料で形成する。第１の内部電極５２と第２の内部電極５３は、銀パラジウムなどの焼成可能な導電性材料で成膜する。第１の外部電極５４と第２の外部電極５５は、メッキ法やスパッタ法など既知の方法で、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕなどで成膜する。

【0029】

各アクチュエータ５の第１の外部電極５４は、フレキシブルプリント配線板２１の個別配線５６にそれぞれ接続する（図３参照）。フレキシブルプリント配線板２１は、基材となる樹脂フィルム２６，個別配線５６，絶縁フィルム２７で構成する。フレキシブルプリント配線板２１は、個別配線５６が第１の外部電極５４と接触するように配置し、例えばＮＣＦ（Non-Conductive Film）などによって固定する。或いはハンダなどによって固定してもよい。変形例として、個別配線５６を振動板３０の表面に形成してヘッド部２から引き出してもよい。

【0030】

一方、各吐出チャネルの第２の外部電極５５は、図６に示すように、例えばダミー層５８の部分を利用して各アクチュエータ５の第２の外部電極５５同士をつなげて共通電極とする。共通電極とした第２の外部電極５５は、図示を省略するが、例えば支持基板３２のＸ方向における端の部分から引き出して、例えばフレキシブルプリント配線板２１に形成した共通配線に接続する。変形例として、個別配線５６を振動板３０の表面に形成してヘッド部２から引き出してもよい。

【0031】

なお、各吐出チャネルのアクチュエータ５の間には、溝を介して支柱を配置してもよい。支柱は、駆動用のアクチュエータ５と同様に形成したダミーのアクチュエータで構成してよい。すなわち、共通の圧電体５１、第１の内部電極５２、及び第２の内部電極５３を用いて一括で形成し、溝を形成することでアクチュエータ５と支柱とに分ける。支柱は、例えば隣接する圧力室３１間の隔壁にあたる位置に配置する。勿論、支柱は、ダミーのアクチュエータで形成するのに代えて、別の部材で形成してもよい。例えば支持基板３２に支柱を形成してもよい。

【0032】

図８は、ヘッド部２内のインク供給マニホールド４２とインク排出マニホールド４３の斜視図である。図８（ｂ）に示すように、インク供給マニホールド４２は、インク供給路３１１を天井部の中央に接続し、インク供給路３１１に向かって山形となるように天井面を傾斜させている。インク供給マニホールド４２は上流側液体マニホールドの一例である。インク供給マニホールド４２とインク供給路３１１の接続点が上流側ポートである。さらにインク供給マニホールド４２内には、インクが全吐出チャネルに向かって拡がって流れるように、複数のガイド板４５を内部に設けている。複数のガイド板４５は、吐出チャネル間で流量が偏らないように、中央は間隔を密にし、端部に向かうにつれて間隔が拡がる配置が好ましい。すなわち、インク供給マニホールド４２内に、上流側ポートと吐出チャネルの距離が近い場所ほど流体抵抗が大きい抵抗部材を設けている。インク供給マニホールド４２は、下部側の開口を介して各吐出チャネルのリストリクタ流路４１と共通接続する。

【0033】

図８（ｃ）に示すように、インク排出マニホールド４３も同様に、インク排出路３３１を天井部の中央に接続し、インク排出路３３１に向かって山形となるように天井面を傾斜させている。インク排出マニホールド４３は下流側液体マニホールドの一例である。インク排出マニホールド４３とインク排出路３３１の接続点が下流側ポートである。インク排出マニホールド４３内を圧力ダンパー室にするダンパーフィルム４６は、インク排出マニホールド４３の例えば片方の内側面に配置する。ダンパーフィルム４６は可撓性を有し、圧力変動を吸収する。圧力ダンパー室は、急激な圧力変動が発生した場合の備えとして設けるのが好ましい。インク排出マニホールド４３を圧力ダンパー室と兼用するのが好ましいが、循環流の下流側であれば圧力ダンパー室を別に設けてもよい。インク排出マニホールド４３は、下部側の開口を介して各吐出チャネルの圧力室３１と共通接続する。

【0034】

インク排出路３３１は、インク供給路３１１よりも太くして循環流の流路抵抗を少なくする。インク排出マニホールド４３とインク排出路３３１の接続点である下流側ポートの開口も、インク供給マニホールド４２とインク供給路３１１の接続点である上流側ポートの開口よりも大きくして循環流の流体抵抗を小さくする。さらに、インク排出マニホールド４３の容積も、インク供給マニホールド４２の容積よりも大きくして循環流の流体抵抗を小さくする。これらはいずれも詳しくは後述する下流側流路の圧力を一定に制御するのに有効である。

【0035】

続いて、インクジェットヘッド１００がインクの吐出に利用する１／４波長液柱共鳴について説明する。図９（ａ）は、圧力室３１内の１／４波長液柱共鳴を図示している。破線が圧力振幅であり、一点破線が流速振幅である。比較のため、図９（ｂ）に、インクの吐出に１／２波長液柱共鳴を利用する圧力室６を図示している。破線が圧力振幅であり、一点破線が流速振幅である。図９（ｂ）に示すように、インクの吐出に１／２波長液柱共鳴を利用する圧力室６は、両端を完全に開放する為、圧力室６を経由してインクを循環させるインク循環式ヘッドに非常に適している。上流側の共通インク室から圧力室６に流入するインクは、障害物なくノズル６１の背後を通過してそのまま下流側の共通インク室に流出する。１／２波長液柱共鳴管は、中央が圧力振幅最大となるので、ノズル６１は、液柱共鳴管である圧力室６の中央に配置する。原理的には圧力室中央の圧力を上げるために圧力室６の流入口と流出口のインクの流れを制限する必要はない。

【0036】

加えて、圧力室６の流入口から流出口へ向かうインクの循環流は、液柱共鳴によるインクの吐出動作に影響を及ぼさないので、インクを循環させることの利点を最大限に得ることができる。具体的には、沈降性成分（例えば顔料）の滞留を防ぐ、溶剤の揮発による粘度増加を緩和する、気泡を排出する、温度を均一化する、洗浄を容易にするなどである。

【0037】

しかしながらこの形式のサイドシューター型のインクジェットヘッドは、ノズル６１に形成されるインクのメニスカスＭの復元力によるメニスカス振動に対する制動が効かない。そのためインクを連続して吐出する高速追従性が良くないという問題がある。インクを連続して吐出すると、図９（ｂ）に示すようにメニスカスＭが次第に外側に移動又は膨らんでしまい、後続のインクの吐出に影響を及ぼすなどの問題である。その対策として、図９（ｃ）に示すように圧力室６の流入口と流出口にリストリクタ６２，６３を設けて、ノズル６１に形成されるメニスカスＭの復元力とインクの質量との共鳴によって起きるメニスカス振動を適正に制動するという方法がある。

【0038】

但し、圧力室６の流入口と流出口にリストリクタ６２，６３を設けると、圧力室６の両端が液柱共鳴の解放端でなくなる。そのため、図９（ｃ）に示す圧力室６の共鳴原理は、液柱共鳴型ではなく、リストリクタ６２，６３内のインク質量と圧力室６の容積とが共鳴するヘルムホルツ共鳴型と言える。加えて、インクの循環流は、圧力室６の流入口と流出口の２か所でリストリクタ６２，６３を通過しなくてはならない。インクを吐出しないときのノズル背圧は、流入口と流出口のリストリクタ６２，６３の抵抗比で決まる圧力となるため、リストリクタ６２，６３を高精度に作成しなければノズル背圧を適正値（例えば、－１ｋＰａ）に保てない。また、気泡やインク中の沈降性成分などが下流側のリストリクタ６３の手前に滞留してしまう問題も発生し易い。

【0039】

これに対し、インクの吐出に１／４波長液柱共鳴を利用するインクジェットヘッド１００は、圧力室３１を開放可能でインク循環に適した構造である液柱共鳴管を利用しながら、高速吐出追従性の課題を解決するものである。すなわち、図９（ａ）に示すように、圧力室３１の一端側を実質的に閉じ、他端側を開放することによって、圧力室３１を１／４波長液柱共鳴管とする。さらに液柱共鳴管の閉端にリストリクタ流路４１を設け、リストリクタ流路４１の途中にノズル２４を配置する。

【0040】

圧力室３１は、それ自身が循環流の抵抗とならないように、リストリクタ流路４１よりも断面積を大きくしている。リストリクタ流路４１は、ノズル２４に形成されるメニスカスＭの復元力とインクの質量とによって生じる、印刷ドット間の時間間隔よりも長周期の共鳴（メニスカス振動）を制動するために設けているので、印刷ドット間の時間間隔よりも短周期の圧力室３１に生じる液柱共鳴に対する制動効果を有しない方が望ましいからである。リストリクタ流路４１は、液柱共鳴管の閉端に設けているので、液柱共鳴を制動しない。このように図９（ａ）の構成は、構造的に液柱共鳴が制動されることはなく、後述する駆動波形のダンピングパルスなどで制動する。

【0041】

ノズル２４の位置をリストリクタ流路４１のＹ方向のどの位置に配置するかによってメニスカスＭの復元力によるメニスカス振動の制動を調整することができる。すなわち、リストリクタ流路４１内でノズル２４を圧力室３１に近づければメニスカス振動が現れ、圧力室３１よりも遠ざければメニスカス振動は制動される。ノズル２４から圧力室３１の閉端までの流路抵抗は、ノズル２４から上流側のインク供給マニホールド４２までの流路抵抗よりも十分小さい。ノズル２４から圧力室３１の閉端までの流路抵抗は、圧力室３１の閉端から下流側のインク排出マニホールド４３までの流路抵抗よりも大きい。よって、メニスカス振動の制動作用は、リストリクタ流路４１のノズル２４から圧力室３１の閉端までの流路抵抗に支配される。

【0042】

例えばインクの粘度が低くメニスカス振動の制動を大きくする方向に調整したいときは、ノズル位置を圧力室３１から遠ざけるようにすれば、リストリクタ流路４１のノズル２４から圧力室３１の閉端までの流路抵抗が大きくなるため、メニスカス振動の制動は強くなる。反対に、例えばインクの粘度が高くメニスカス振動の制動を小さくする方向に調整したいときは、ノズル位置を圧力室３１に近づけるようにすればリストリクタ流路４１のノズル２４から圧力室３１の閉端までの流路抵抗が小さくなるため、メニスカス振動の制動は弱くなる。ノズル２４がリストリクタ流路４１と圧力室３１の境界にあるとメニスカス振動が制動されないが、インク粘度が高く、連続吐出する駆動周波数が低ければそれでも十分である。

【0043】

このように、ノズル２４をリストリクタ流路４１のどの位置に配置するかによって、メニスカス振動の制動の強さを選ぶことができる。ノズル２４の位置を変えるにはノズルプレート２３の取り付け位置をずらすか、またはノズル穴を開ける位置を変えればよい。ノズル穴をレーザー加工によって開けている場合は、レーザーを当てる位置を変えるだけで済む。ノズル位置を変更してもノズルプレート２３以外には影響は無く、他の部分の設計や製造に影響しない。

【0044】

続いて、インクジェットヘッド１００にインクを循環供給するインク循環装置３４１について、図１０を参照しながら説明する。インク循環装置３４１は、液体吐出ヘッドの液体循環装置の一例である。なお、インクジェットヘッド１０１～１０３にインクを循環供給するインク循環装置３４２～３４４も、インク循環装置３４１と同様の構成である。図１０に示すように、インク循環装置３４１は、インクタンク３１５、インクポンプ３２１、インクフィルタＦ１、インクジェットヘッド１００のヘッド部２、及びこれらを接続するインク供給路３１１とインク排出路３３１によって構成している。さらにインク供給路３１１とインク排出路３３１には、エアバルブＶ１，Ｖ２とエアフィルタＦ２，Ｆ３を夫々設けている。

【0045】

図１０のインクジェットヘッド１００のインク循環装置３４１は、インクを初期充填する際、最初にエアバルブＶ２を閉じエアバルブＶ１を開いて、インクポンプ３２１で上流側流路からインクを供給する。インクは、上流側ポート（ＩＮ）を介してヘッド部２に流入し、リストリクタ流路４１と圧力室３１を通過する。下流側ポート（ＯＵＴ）を介してヘッド部２から排出されるインクは、下流側流路を介してインクタンク３１５に戻る。下流側流路にインクが充填されたらエアバルブＶ１を閉じエアバルブＶ２を開くと、ノズル背圧は－ρｇｈよりΔPだけ大きな－ρｇｈ＋ΔPに圧力制御される。ΔPは、ノズル２４から下流側ポート（ＯＵＴ）までの圧力損失による分で、この圧力損失はノズル２４がリストリクタ流路４１の圧力室３１の閉端から遠い位置にあるほど、またインクポンプ３２１が流すインクの流量が大きいほど、大きくなる。高低差ｈは、例えば－ρｇｈ＋ΔP＝－１ｋＰａとなるように設定する。ΔPが大きいと、所望のノズル背圧になるように高低差hを設定しようとするとき、タンク３１５を低く設定しなければならず、その結果、インク排出路３３１が長くなり過ぎる場合がある。インク排出路３３１が長くなり過ぎると太い流路を使ったとしても流路抵抗による圧力変動が無視できず、また流路をインクで満たすために多くのインクを消費する。インク排出路３３１が長くなり過ぎないようにするため、エアフィルタＦ３の大気解放側を大気解放する代わりに、図示しない圧力－Ｐ１の気圧制御タンク（例えば、減圧タンク）に接続してもよい。その場合は－ρｇｈ＋ΔP－Ｐ１＝－１ｋＰａとなるように高低差ｈと圧力－Ｐ１を設定する。すなわち、インクジェットヘッド１００のインク循環装置３４１は、ノズル２４よりも下流側に圧力調整部を有する。圧力調整部は、共通インク室であるインク排出マニホールド４３の圧力を所定圧力に制御する。さらにインク排出マニホールド４３が圧力ダンパー室を兼ねる場合は、圧力ダンパー室の圧力の変動を抑える。なお、エアバルブＶ１を閉じエアバルブＶ２を開くタイミングは、時間で制御するか、又はインクタンク３１５に液面センサーなどを設置して制御すればよい。

【0046】

ここで、上流端から下流端まで所定の流路抵抗を持つ系にインクを流そうとしたとき、流量は上流端と下流端の圧力差に比例するので、所望の流量を得るために上流端の圧力を上げるか或いは下流端の圧力を下げるかを選択することができる。しかし、インクの圧力を下げることはインクの圧力を上げることに比べて困難で弊害が多い。一つの理由は、空気はインクに比べて小さな隙間を通過しやすいから、高圧側でインクを漏らさないようにすることよりも低圧側で空気を漏らさないようにすることの方が困難だからである。別の理由は、高圧側は圧力の上限が無いのに対し、低圧側は真空以下にはできないという制約があるからである。

【0047】

一方で、ノズル背圧はノズル２４に適正なメニスカスＭが形成されるように、適正な圧力としたい。例えば大気圧に対して－０．５ｋＰａ～－３ｋＰａ、好ましくは－１ｋＰａである。そして下流側の圧力をなるべく下げずにノズル背圧を適正に保つには、ノズル２４より上流側の流路抵抗を大きく、ノズル２４より下流側の流路抵抗を小さく設定することが望ましい。

【0048】

ノズル２４からインクを吐出するとき、ノズル２４から吐出されるインクの流量は、循環流の上流側流量と循環流の下流側流量の差である。ノズル２４から吐出されるインクの流量は、印字内容によって変化するが、ノズル背圧の変化は小さいことが望ましい。ノズル背圧は、［圧力＋インクの高さｈによる単位体積あたり位置エネルギー］が規定される場所から循環路中のノズル分岐に至る流路抵抗に流量を掛けた分だけ大きい、又は小さい値である。［圧力＋インクの高さｈによる単位体積あたり位置エネルギー］が規定される場所が上流側と下流側の両方にあれば、ノズル２４から吐出されるインクの流量変化によるノズル背圧の圧力変化の大きさは、循環流の上流側の流路抵抗と循環流の下流側の流路抵抗の並列抵抗によって決まる。

【0049】

すなわちノズル２４から吐出されるインクの流量変化に伴うノズル背圧の圧力変化を抑えるためには、循環流の上流側の流路抵抗と循環流の下流側の流路抵抗の並列抵抗を小さくすればよい。並列抵抗であるから一方の抵抗を小さくすれば他方の抵抗の大きさの影響は小さくなる。すなわち、下流側の流路抵抗を小さく保つことによって、上流側の流路抵抗が大きくても、ノズル２４から吐出されるインクの流量変化に伴うノズル背圧の圧力変化を抑えることができる。このため、流路抵抗を増加させるインクフィルタＦ１を循環流の上流側に配置可能となる。循環流の上流側にインクフィルタＦ１を配置することは、ヘッド部２内に異物や気泡を流し込まないためにも重要である。

【0050】

さらに、上流側の流路抵抗を大きくしてもよいので上流側の流路を狭くすることができる。一般に狭い流路から広い流路へ向かう流れは、逆の場合に比べてインク充填時に空気を残し難い。また一般的なインクジェットインクは、直径４ｍｍ以下の流路には重力方向に関わらず充填し易く、逆に直径４ｍｍよりも大きな断面を持ち重力方向に様々な方向を向いている流路には空気の残留なくインクを充填することが困難である。このことからも、インクの充填し易さという点で、上流側の流路を相対的に狭くできることは有利である。

【0051】

下流側流路中の僅かな気泡は、その気泡による重力減少分、圧力が変化するだけで済む。一方で、上流側の流れの経路上に少しでも気泡が残っていると、その気泡が偶発的にヘッド部２内に流入したときインクの不吐出を起こす場合がある。よって、信頼性の高い印字を行う為には、上流側の経路上の気泡は排除しなくてはならない。

【0052】

上述のように、ヘッド部２は、インクをリストリクタ４側から流入させ、インク排出マニホールド４３に排出して循環させる。すなわち、リストリクタ４側をインクの流れの上流側とする。上述の理由により、インクフィルタＦ１は、上流側の流路に設ける。上流側は流量一定とするのが望ましく、上流側の流路抵抗は大きくてよいからである。従って、インク供給路３１１についても、インク排出路３３１よりも細くしてよい。一例として、インク供給路３１１は直径３ｍｍのチューブとし、インク排出路３３１は直径６ｍｍのチューブとする。この場合、上流側ポートの開口は直径３ｍｍ、下流側ポートの開口は直径６ｍｍである。上流側を流量一定にすれば、このように断面積の小さい流路を採用できるので、インクジェットヘッド１００のヘッド部２にインクを充填し易く気泡が残りにくい。

【0053】

上流側の流量は、インクジェットヘッド１００のインク最大吐出流量の１倍以上とするのが望ましい。インク最大吐出流量は、すべての吐出チャネルからインクを吐出したときの総流量である。リストリクタ流路４１を流れるインクの流量は、吐出するインクの流量が多いほど低下する。そのため、仮に上流側の流量がインク最大吐出流量よりも小さいと、吐出するインクの一部は下流側から吸うことになる。下流側のインクはインクフィルタＦ１を通過した直後のインクではないので、パーティクルの観点からノズル背面のインクの流路４１に流入させることは望ましくない。そのために上流側の流量を、インクの最大吐出流量の１倍以上にして、インク最大吐出流量でインクを吐出したとしても上流側からインクを供給できるようにする。

【0054】

上流側の共通インク室であるインク供給マニホールド４２は、所定流量に制御するのに対し、下流側の共通インク室であるインク排出マニホールド４３は、所定圧力に制御する。インク排出マニホールド４３の圧力をＰｍ（負圧）、インク排出マニホールド４３からノズル背面までのリストリクタ流路４１の流路抵抗をＲ、ノズル背面よりも上流側から流入するインクの流量をＱｕ、ノズル２４から吐出するインクの流量をＱｎ、ノズル背面よりも下流側に流れるインクの流量をＱｄとすると、Ｑｄ＝Ｑｕ－Ｑｎである。ノズル背圧Ｐｎは、Ｐｎ＝Ｐｍ＋ＲＱｄである。

【0055】

インクを吐出しないとき、すなわちＱｎ＝０のときノズル背圧は絶対値の最も小さい負圧となり、このときＰｎ＝Ｐｍ＋ＲＱｕとなる。このインクを吐出しないときのノズル背圧Ｐｎを、例えば－１ｋＰａの負圧に設定する。一方、圧力室３１の圧力の定常値を例えば－５ｋＰａに設定する。仮にこの負圧がそのままノズル背面に伝わると、メニスカスＭを維持しきれずに、メニスカスＭが壊れてノズル２４から空気を引き込んでしまう。そこでノズル２４と圧力室３１の間のリストリクタ４の流路抵抗を利用して、ノズル背面の圧力を圧力室３１の圧力に対して正圧側にシフトさせる。インクを吐出しないときのノズル２４と圧力室３１の間の流路抵抗に流量を掛けた値ＲＱｕ＝ＲＱｄが例えば４ｋＰａとなるように流路抵抗Ｒを設定すれば、ノズル背面の圧力は－５ｋＰａ＋４ｋＰａ＝－１ｋＰａの適正負圧となって、ノズル２４に凹型のメニスカスＭが形成される。インクを吐出しない間は、この状態が保たれる。

【0056】

インクを吐出するときは、吐出したインクの流量分Ｑｎだけ、ノズル背面から下流側に流れる流量Ｑｄが減少する。そうするとノズル背面と圧力室３１の圧力差が減少し、ノズル背圧はＲＱｎだけ負圧側にシフトする。仮に、インク吐出最大流量のときに下流側の流量Ｑｄが０（ゼロ）となるよう上流側の流量Ｑｕを設定した場合、インク吐出最大流量で吐出したときのノズル背面の定常圧力は－５ｋＰａとなる。すなわちインクの吐出量が多いほどノズル背圧Ｐｎが負圧側にシフトし、連続吐出に因るメニスカスＭの盛り上がりを起き難くできる。リストリクタ４は、インク供給マニホールド４２とノズル２４の間にあるので、連続吐出している吐出チャネルの負圧が増大してもそれが吐出していない吐出チャネルに影響を及ぼすことが少ない。

【0057】

ノズル２４よりも下流側の流量は、上流側の流量から吐出流量を引いた値となるので、一定ではなく印字内容によって変化する。すなわち、吐出しないとき最大流量となり、インク最大吐出流量で吐出したとき最小流量となる。下流側は、上流側のように流量一定にするのではなく、流量変化に対する圧力変化が小さくなるように構成する。そのため、上述のように下流側の流路、ポート、マニホールドを上流側の流路、ポート、マニホールドよりも大きくすることで、流量変化に伴う圧力変化を抑える。さらにインク排出マニホールド４３の一面をダンパーフィルム４６で構成して下流側の急激な圧力変化を抑える。下流側には流路抵抗を増やすインクフィルタなどを設けないようにする。ノズル２４よりも下流側は、断面積の大きな流路が要求されるので小さな気泡が残りやすいが、圧力一定に制御することを目的としているので小さな気泡があっても悪影響はない。またインクの流れが下流に向かっているので、その小さな気泡が圧力室３１へ混入する恐れも少ない。

【0058】

仮にリストリクタ４とノズル２４の間に圧力室３１があると流量変化時のノズル背圧の変化が遅れるためメニスカスＭの盛り上がりを防ぐ作用に遅れが生じ、また吐出終了後流量が減ったときに負圧の変化が間に合わずノズル２４から空気を引き込んでしまう。これに対し本実施形態のリストリクタ４はノズル２４と圧力室３１の間にある為、流量変化に対する反応が速く、吐出流量が増大、減少したときに効果的にノズル背圧を増加、減少させることができる。

【0059】

次にインクを吐出する駆動系について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、インクジェットヘッド１００の駆動回路である。図１１に示すように、各吐出チャネル（＃１ｃｈ～＃ｎｃｈ）のアクチュエータ５は、第１の外部電極５４に接続した個別配線５６を介して駆動ＩＣ２５の駆動ドライバＤの出力端子にそれぞれ接続する。第１の外部電極５４と個別配線５６の接続点がアクチュエータ５の個別端子である。一方、各アクチュエータ５の第２の外部電極５５は、共通配線５７を介して例えばグランド（ＧＮＤ）などの共通電位に接続する。第２の外部電極５５と共通配線５７の接続点がアクチュエータ５のコモン端子である。

【0060】

駆動ＩＣ２５は、アクチュエータ５に与える駆動電圧Ｖ１の電源７及び駆動電圧Ｖ２の電源７０を接続する。電源７及び電源７０は、正極を駆動ＩＣ２５に接続し、負極をグランド（ＧＮＤ）に接続する。駆動ＩＣ２５は、インクジェットプリンタ１０の制御部である制御基板１７（図１参照）から送られてくるプリントデータの信号線と接続する。プリントデータは、制御信号の一例である。

【0061】

続いて、図１２及び図１３を参照しながらインク吐出動作について説明する。駆動ＩＣ２５の各駆動ドライバＤは、駆動電圧Ｖ１，Ｖ２及びグランド（ＧＮＤ）を使って、各アクチュエータ５の個別端子に駆動波形を与える。電圧Ｖ１は例えば２０Ｖである。電圧Ｖ２は例えば１０Ｖである。グランド（ＧＮＤ）は例えば０Ｖである。どのアクチュエータ５を駆動させるかは、例えばプリントデータに基づく。図１２は、アクチュエータ５に与える駆動波形の一例である。

【0062】

上述のインク循環装置３４１でインクの循環流を形成した状態でアクチュエータ５を駆動させる場合、図１２に示すように、個別端子に電圧Ｖ２を与えて待機状態とする。電圧Ｖ２を与えると、圧電体５１の分極軸の向きに電界が印加され、図１３（ａ）に示すように、アクチュエータ５が積層方向（Ｚ方向）に伸長して圧力室３１の容積が縮小した状態になる。これはインク吐出のタイミングに先立って行っておく。その後、インクの吐出タイミング（図１２の時刻ｔ１）で最初に個別端子の電位をグランド（ＧＮＤ）に下げることで、図１３（ｂ）に示すように、伸長していたアクチュエータ５が元に戻り、すなわち相対的に収縮し、圧力室３１の容積が相対的に拡張する。

【0063】

そして例えばヘッド部２の圧力振動周期の１／２の時間経過後、図１２の時刻ｔ２において個別端子に電圧Ｖ２を与えると、図１３（ｃ）に示すように、アクチュエータ５が積層方向（Ｚ方向）に伸長して相対的に圧力室３１の容積が縮小し、上述の１／４波長液柱共鳴によりノズル２４からインクの液滴Ｒが吐出する。そして例えばヘッド部２の圧力振動周期の１／２の時間経過後、図１２の時刻ｔ３において個別端子に電圧Ｖ１を与え、所定時間後の時刻ｔ４で電圧Ｖ２に戻す。その際のアクチュエータ５の伸長（図１３（ｄ））と復帰（図１３（ａ））によって圧力室３１の容積を縮小、復帰させ、この動作によって残留振動を減衰させる。このようにアクチュエータ５の積層方向の縦振動に合わせて圧力室３１の容積が変わり、１／４波長液柱共鳴によりインクを吐出することができる。

【0064】

以上説明したように、上述のいずれかの実施形態によれば、インクの循環流の形成とインクの吐出を正常に行うことのできるインクジェットヘッド１００のインク循環装置を提供することが可能である。

【0065】

なお、アクチュエータ５は、複数の圧電体５１を積層した積層型に限らない。圧電体５１が単一層のアクチュエータであってもよい。また、駆動電圧を印加したときのアクチュエータの動作は、縦振動に限らない。さらに、ドロップオンデマンド・ピエゾ方式に限らず、コンティニアス方式に適用してもよい。

【0066】

上述の実施形態では、インクジェットプリンタ１０のインクジェットヘッド１００を液体吐出ヘッドの一例として説明したが、液体吐出ヘッドは、３Ｄプリンタの造形材吐出ヘッド、分注装置の試料吐出ヘッドであってもよい。

【0067】

本実施形態の液体吐出ヘッドは、以下の様に表すことができる。
（１）ノズルに連通する圧力室、前記圧力室の液体流入口に連通する上流側液体マニホールド、前記上流側液体マニホールドに連通する上流側ポート、前記圧力室の液体流出口に連通する下流側液体マニホールド、前記下流側液体マニホールドに連通する下流側ポートを備える液体吐出ヘッドと、
前記上流側ポートに接続した上流側液体流路と、
前記下流側ポートに接続した下流側液体流路と、
前記下流側液体流路側に設けた圧力調整部と、
前記上流側液体流路と前記下流側液体流路を接続する循環路と、
前記循環路に設けたポンプと、を備え、
前記液体は、前記上流側液体流路から前記液体吐出ヘッドに供給し、前記液体吐出ヘッドから排出される前記液体は、前記下流側液体流路、前記圧力調整部、前記循環路を介して前記上流側液体流路に循環させ、
前記圧力室の液体流出口から前記圧力調整部までの流路抵抗は、前記上流側液体流路の入口から前記圧力室の液体流入口までの流路抵抗よりも小さい液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（２）前記圧力室の前記液体流入口と前記上流側液体流路の入口の間にリストリクタと前記ノズルを有する液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（３）前記ノズルから前記液体を吐出しないときの前記液体の循環流量は、前記液体吐出ヘッドの最大吐出流量以上である液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（４）前記リストリクタから前記圧力室へ流れる前記液体の流量は、前記ノズルから吐出する前記液体の流量が多いほど低下する液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（５）前記上流側液体マニホールドには、前記上流側ポートと吐出チャンネルの距離が近い場所ほど流体抵抗が大きい抵抗部材を設ける液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（６）前記上流側液体流路から前記上流側液体マニホールドまでの間の経路にフィルタを設ける液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（７）前記ノズルよりも上流側の循環流は、前記ポンプによって所定の流量に制御し、前記下流側液体マニホールドは、前記圧力調整部によって所定の圧力に制御する液体吐出ヘッドの液体循環装置。
（８）前記下流側液体マニホールドは、圧力ダンパー室を兼ねる液体吐出ヘッドの液体循環装

【0068】

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0069】

１０ インクジェットプリンタ
１００～１０３ インクジェットヘッド
２ ヘッド部
２４ ノズル
２５ 駆動ＩＣ
３１ 圧力室
３１１ インク供給路
３３１ インク排出路
３２１ インクポンプ
３４１～３４４ インク循環装置
４ リストリクタ
４１ リストリクタ流路
４２ インク供給マニホールド
４３ インク排出マニホールド
５ アクチュエータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】