知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024137423
(43)【公開日】2024-10-07
(54)【発明の名称】部品圧着装置および部品圧着方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/60 20060101AFI20240927BHJP
H05K 13/04 20060101ALI20240927BHJP
【ＦＩ】
H01L21/60 311R
H05K13/04 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023048945
(22)【出願日】2023-03-24
(71)【出願人】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100109210
【弁理士】
【氏名又は名称】新居 広守
(74)【代理人】
【識別番号】100137235
【弁理士】
【氏名又は名称】寺谷 英作
(74)【代理人】
【識別番号】100131417
【弁理士】
【氏名又は名称】道坂 伸一
(72)【発明者】
【氏名】辻澤 孝文
【テーマコード（参考）】
5E353
5F044
【Ｆターム（参考）】
5E353BC02
5E353JJ60
5E353MM08
5E353NN18
5E353QQ11
5E353QQ30
5F044KK01
5F044LL09
5F044PP11
(57)【要約】
【課題】歩留まりの低下を抑えることができる部品圧着装置を提供する。
【解決手段】部品圧着装置１は、筐体７と、筐体７内に配置され、部品５を基板３に圧着するための動作を行う第１狭域可動部１１１と、筐体７内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、そのパーティクルに関する測定値を出力する第１パーティクルセンサ１２１と、第１パーティクルセンサ１２１から出力される測定値に基づいて、第１狭域可動部１１１の動作の速度を制御する制御部１５０とを備える。
【選択図】図５
【解決手段】部品圧着装置１は、筐体７と、筐体７内に配置され、部品５を基板３に圧着するための動作を行う第１狭域可動部１１１と、筐体７内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、そのパーティクルに関する測定値を出力する第１パーティクルセンサ１２１と、第１パーティクルセンサ１２１から出力される測定値に基づいて、第１狭域可動部１１１の動作の速度を制御する制御部１５０とを備える。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
筐体と、
前記筐体内に配置され、部品を基板に圧着するための動作を行う可動部と、
前記筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する測定値を出力するパーティクルセンサと、
前記パーティクルセンサから出力される前記測定値に基づいて、前記可動部の動作の速度を制御する制御部と、
を備える部品圧着装置。
前記筐体内に配置され、部品を基板に圧着するための動作を行う可動部と、
前記筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する測定値を出力するパーティクルセンサと、
前記パーティクルセンサから出力される前記測定値に基づいて、前記可動部の動作の速度を制御する制御部と、
を備える部品圧着装置。
【請求項2】
前記測定値は、前記パーティクルの数が多いほど大きい値を示し、
前記可動部の動作モードには、
通常モードと、前記通常モードよりも前記可動部の最高速度が遅い低速モードとがあり、
前記制御部は、
前記可動部を前記通常モードで制御している場合に、前記測定値が第１閾値よりも大きくなったときには、前記動作モードを前記通常モードから前記低速モードに切り替える、
請求項１に記載の部品圧着装置。
前記可動部の動作モードには、
通常モードと、前記通常モードよりも前記可動部の最高速度が遅い低速モードとがあり、
前記制御部は、
前記可動部を前記通常モードで制御している場合に、前記測定値が第１閾値よりも大きくなったときには、前記動作モードを前記通常モードから前記低速モードに切り替える、
請求項１に記載の部品圧着装置。
【請求項3】
前記制御部は、
前記可動部を前記低速モードで制御している場合に、前記測定値が第２閾値以下になったときには、前記動作モードを前記低速モードから前記通常モードに切り替え、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも小さい、
請求項２に記載の部品圧着装置。
前記可動部を前記低速モードで制御している場合に、前記測定値が第２閾値以下になったときには、前記動作モードを前記低速モードから前記通常モードに切り替え、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも小さい、
請求項２に記載の部品圧着装置。
【請求項4】
前記制御部は、
前記可動部を前記通常モードあるいは前記低速モードで制御している場合に、前記測定値が第３閾値よりも大きくなったときには、前記可動部を停止させ、
前記第３閾値は前記第１閾値よりも大きい、
請求項２または３に記載の部品圧着装置。
前記可動部を前記通常モードあるいは前記低速モードで制御している場合に、前記測定値が第３閾値よりも大きくなったときには、前記可動部を停止させ、
前記第３閾値は前記第１閾値よりも大きい、
請求項２または３に記載の部品圧着装置。
【請求項5】
前記可動部は、
前記筐体内に設けられる第１作業エリアと第２作業エリアとの間を移動する広域可動部と、
前記第１作業エリア内でのみ動作する第１狭域可動部と、
前記第２作業エリア内でのみ動作する第２狭域可動部と、を含み、
前記パーティクルセンサは、
前記第１作業エリアのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する第１測定値を出力する第１パーティクルセンサと、
前記第２作業エリアのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する第２測定値を出力する第２パーティクルセンサと、を含み、
前記可動部の動作モードには、
通常モードと、前記通常モードよりも前記可動部の最高速度が遅い低速モードとがあり、
前記制御部は、
（１）前記第１測定値に基づいて、前記第１狭域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替え、
（２）前記第２測定値に基づいて、前記第２狭域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替え、
（３）前記第１測定値および前記第２測定値に基づいて、前記広域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替える、
請求項１に記載の部品圧着装置。
前記筐体内に設けられる第１作業エリアと第２作業エリアとの間を移動する広域可動部と、
前記第１作業エリア内でのみ動作する第１狭域可動部と、
前記第２作業エリア内でのみ動作する第２狭域可動部と、を含み、
前記パーティクルセンサは、
前記第１作業エリアのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する第１測定値を出力する第１パーティクルセンサと、
前記第２作業エリアのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する第２測定値を出力する第２パーティクルセンサと、を含み、
前記可動部の動作モードには、
通常モードと、前記通常モードよりも前記可動部の最高速度が遅い低速モードとがあり、
前記制御部は、
（１）前記第１測定値に基づいて、前記第１狭域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替え、
（２）前記第２測定値に基づいて、前記第２狭域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替え、
（３）前記第１測定値および前記第２測定値に基づいて、前記広域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替える、
請求項１に記載の部品圧着装置。
【請求項6】
筐体内に配置される可動部が、部品を基板に圧着するための動作を行う動作工程と、
パーティクルセンサが前記筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する測定値を出力する測定工程と、
前記パーティクルセンサから出力される前記測定値に基づいて、前記可動部の動作の速度を制御する制御工程と、
を含む部品圧着方法。
パーティクルセンサが前記筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する測定値を出力する測定工程と、
前記パーティクルセンサから出力される前記測定値に基づいて、前記可動部の動作の速度を制御する制御工程と、
を含む部品圧着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、基板に部品を圧着する部品圧着装置などに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、液晶パネルなどのパネルに電子部品（以下、単に「部品」と呼称する）を圧着する部品圧着装置が提供されている。特許文献１では、このような部品圧着装置が液晶ドライバ実装機として開示されている。この液晶ドライバ実装機は、液晶パネルの端部に、異方性導電部材であるＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）を介して部品を圧着する。つまり、その液晶パネルの端部には、接着部材としてＡＣＦが貼り付けられている。液晶ドライバ実装機は、液晶パネルのそのＡＣＦが貼り付けられている部分に部品を搭載して、その部品を液晶パネルに圧着する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００５－３１７７８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上記特許文献１の液晶ドライバ実装機では、歩留まりが低下する可能性があるという課題がある。
【0005】
そこで、本開示では、歩留まりの低下を抑えることができる部品圧着装置などを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係る部品圧着装置は、筐体と、前記筐体内に配置され、部品を基板に圧着するための動作を行う可動部と、前記筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する測定値を出力するパーティクルセンサと、前記パーティクルセンサから出力される前記測定値に基づいて、前記可動部の動作の速度を制御する制御部と、を備える。
【0007】
なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。また、記録媒体は、非一時的な記録媒体であってもよい。
【発明の効果】
【0008】
本開示の部品圧着装置は、歩留まりの低下を抑えることができる。
【0009】
本開示の一態様における更なる利点および効果は、明細書および図面から明らかにされる。かかる利点および／または効果は、いくつかの実施の形態並びに明細書および図面に記載された構成によって提供されるが、必ずしも全ての構成が必要とはされない。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
（本開示の基礎となった知見）
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した上記特許文献１の液晶ドライバ実装機に関し、以下の課題が生じることを見出した。
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した上記特許文献１の液晶ドライバ実装機に関し、以下の課題が生じることを見出した。
【0012】
上記特許文献１の液晶ドライバ実装機は、ＡＣＦを基板に貼り付けるＡＣＦ貼付装置と、ＡＣＦを介して部品を基板に仮圧着する仮圧着装置と、その仮圧着された部品に対する本圧着を行う部品実装機とを備える。そして、液晶ドライバ実装機は、これらのＡＣＦ貼付装置、仮圧着装置および部品実装機による作業によって、基板に１以上の部品が実装された実装基板を生産する。
【0013】
ここで、これらのＡＣＦ貼付装置、仮圧着装置および部品実装機は、液晶ドライバ実装機の筐体によって覆われている。この筐体内では、ＡＣＦ貼付装置、仮圧着装置および部品実装機が作業を行うことによって、パーティクルが舞い上がる場合がある。パーティクルは、小片、粉塵などの粒子である。このようなパーティクルが基板と部品との接合部位に付着すると、実装不良を引き起こし、実装基板が不良品として生産されてしまう。その結果、実装基板の歩留まりが低下する。
【0014】
そこで、筐体内を換気する機構をその筐体に取り付けることが考えられる。その換気によって、その筐体内で舞い上がるパーティクルを筐体の外部に排出することができる。
【0015】
しかしながら、その換気だけでは、パーティクルに起因する実装基板の歩留まりの低下を十分に抑えることが難しい。
【0016】
このような課題を解決するために、本開示の第１態様に係る部品圧着装置は、筐体と、前記筐体内に配置され、部品を基板に圧着するための動作を行う可動部と、前記筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する測定値を出力するパーティクルセンサと、前記パーティクルセンサから出力される前記測定値に基づいて、前記可動部の動作の速度を制御する制御部と、を備える。なお、パーティクルに関する測定値の一例は、パーティクルの数である。
【0017】
これにより、可動部の動作の速度が測定値に基づいて制御されるため、例えば、筐体内に漂うパーティクルの数が多い場合には、その可動部の動作を遅くすることができる。なお、可動部は、機械的に動く機構であればどのようなものであってもよい。その結果、例えば、筐体内におけるパーティクルの舞い上がりを抑えることができる。したがって、例えば、基板、または、その基板に貼り付けられるＡＣＦにパーティクルが付着することを困難にすることができる。また、基板への圧着のために供給される部品にパーティクルが付着することを困難にすることができる。また、基板に部品が仮圧着または本圧着されるときに、その基板と部品との接合部位にパーティクルが付着することを困難にすることができる。したがって、そのようなパーティクルの付着によって実装基板が不良品として生産されることを抑制することができ、実装基板の歩留まりの低下を抑えることができる。さらに、筐体内に漂うパーティクルの数が多い場合には、その可動部の動作を停止させることなく、遅い速度でその可動部を動作させ続けることができる。その結果、部品圧着装置の稼働率の低下を抑制することができ、生産効率の向上を図ることができる。
【0018】
また、第１態様に従属する第２態様に係る部品圧着装置では、前記測定値は、前記パーティクルの数が多いほど大きい値を示し、前記可動部の動作モードには、通常モードと、前記通常モードよりも前記可動部の最高速度が遅い低速モードとがあり、前記制御部は、前記可動部を前記通常モードで制御している場合に、前記測定値が第１閾値よりも大きくなったときには、前記動作モードを前記通常モードから前記低速モードに切り替えてもよい。
【0019】
これにより、低速モードでは、通常モードよりも最高速度が遅いため、効果的に実装基板の歩留まりの低下を抑えながら、生産効率の向上を図ることができる。
【0020】
また、第２態様に従属する第３態様に係る部品圧着装置では、前記制御部は、前記可動部を前記低速モードで制御している場合に、前記測定値が第２閾値以下になったときには、前記動作モードを前記低速モードから前記通常モードに切り替え、前記第２閾値は前記第１閾値よりも小さくてもよい。
【0021】
これにより、測定値が第１閾値よりも小さい第２閾値になったときに、動作モードが低速モードから通常モードに切り替えられるため、その切り替えのための測定値のマージンを広くすることができる。つまり、測定値が第１閾値よりも大きくなって動作モードが通常モードから低速モードに切り替えられた直後に、その測定値が第１閾値以下になっても、第２閾値以下でなければ、動作モードは切り替えられず、低速モードに維持される。その結果、動作モードの切り替えが頻繁に発生することを抑えることができ、可動部の動作を安定させることができる。
【0022】
また、第２態様または第３態様に従属する第４態様に係る部品圧着装置では、前記制御部は、前記可動部を前記通常モードあるいは前記低速モードで制御している場合に、前記測定値が第３閾値よりも大きくなったときには、前記可動部を停止させ、前記第３閾値は前記第１閾値よりも大きくてもよい。
【0023】
これにより、測定値が第３閾値よりも大きくなったときには、すなわち、筐体内に漂うパーティクルの数が非常に多い場合には、その可動部が停止するため、不良品の生産を高い確度で抑制することができる。
【0024】
また、第１態様から第４態様の何れか１つに従属する第５態様に係る部品圧着装置では、前記可動部は、前記筐体内に設けられる第１作業エリアと第２作業エリアとの間を移動する広域可動部と、前記第１作業エリア内でのみ動作する第１狭域可動部と、前記第２作業エリア内でのみ動作する第２狭域可動部と、を含み、前記パーティクルセンサは、前記第１作業エリアのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する第１測定値を出力する第１パーティクルセンサと、前記第２作業エリアのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、前記パーティクルに関する第２測定値を出力する第２パーティクルセンサと、を含み、前記可動部の動作モードには、通常モードと、前記通常モードよりも前記可動部の最高速度が遅い低速モードとがあり、前記制御部は、（１）前記第１測定値に基づいて、前記第１狭域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替え、（２）前記第２測定値に基づいて、前記第２狭域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替え、（３）前記第１測定値および前記第２測定値に基づいて、前記広域可動部の動作モードを、前記通常モードと前記低速モードとに切り替えてもよい。
【0025】
これにより、第１狭域可動部の動作モードは、その第１狭域可動部が動作する第１作業エリアで測定された第１測定値に基づいて切り替えられる。したがって、第１作業エリアにおける、第１狭域可動部の動作に起因する実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、かつ、稼働率の低下を抑制することができる。同様に、第２狭域可動部の動作モードは、その第２狭域可動部が動作する第２作業エリアで測定された第２測定値に基づいて切り替えられる。したがって、第２作業エリアにおける、第２狭域可動部の動作に起因する実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、かつ、稼働率の低下を抑制することができる。さらに、広域可動部の動作モードは、その広域可動部が移動する第１作業エリアおよび第２作業エリアで測定された第１測定値および第２測定値に基づいて切り替えられる。つまり、広域可動部の動作モードは、第１測定値のみに基づいて、あるいは、第２測定値のみに基づいて、切り替えられず、第１測定値および第２測定値に基づいて切り替えられる。したがって、第１測定値が大きくても第２測定値が小さい場合、あるいは、第２測定値が大きくても第１測定値が小さい場合には、広域可動部の動作モードを通常モードに維持することができる。その結果、第１狭域可動部および第２狭域可動部の一方の狭域可動部の動作モードのみが、低速モードに切り替えられた場合でも、他方の狭域可動部および広域可動部のそれぞれの動作モードは通常モードに維持される。したがって、一方の狭域可動部の動作の速度によって他方の狭域可動部が受ける影響を抑えることができ、他方の狭域可動部のスループットまたは稼働率の低下を抑止することができる。
【0026】
以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【0027】
なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。
【0028】
【0029】
本実施の形態における部品圧着装置１は、液晶パネル、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネルなどの基板３に部品５を圧着することによって、フラットディスプレイパネルなどの実装基板を製品として生産する装置である。なお、部品５は、例えば駆動回路などの電子部品である。具体的な一例では、部品５は、ＩＣ（Integrated Circuit）チップ、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）、ＣＯＦ（Chip on Film）、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などである。
【0030】
このような部品圧着装置１は、図１に示すように、貼着部２０と、仮圧着部３０と、本圧着部４０と、部品供給部５０とを有する。貼着部２０、仮圧着部３０および本圧着部４０はこの順で連結され、部品供給部５０は仮圧着部３０に連結されている。
【0031】
貼着部２０は、他の装置などから搬入された例えば矩形状の基板３を受け取り、その基板３の周縁にある複数の電極部４のそれぞれに、接着部材であるＡＣＦを貼着する。言い換えれば、貼着部２０は、基板３の電極部４にＡＣＦを貼り付ける。そして、貼着部２０は、そのＡＣＦが貼着された基板３を、仮圧着部３０に搬出する。なお、複数の電極部４のそれぞれは、例えば、複数の電極から構成されている。
【0032】
部品供給部５０は、仮圧着部３０に部品５を供給する。仮圧着部３０は、貼着部２０から搬出された基板３を受け取り、その基板３のＡＣＦが貼着されている部位に、部品供給部５０から供給された部品５を搭載して仮圧着する。そして、仮圧着部３０は、その部品５が仮圧着された基板３を、本圧着部４０に搬出する。
【0033】
本圧着部４０は、仮圧着部３０から搬出された基板３を受け取り、その基板３に仮圧着された部品５に対して本圧着を行う。この本圧着は、熱圧着とも呼ばれる。そして、本圧着部４０は、その本圧着が行われた基板３を、他の装置などに搬出する。
【0034】
このように、部品圧着装置１は、搬入された基板３の周縁に設けられた複数の電極部４のそれぞれに部品５を圧着し、部品５が圧着された基板３を実装基板として搬出する。
【0035】
ここで、本実施の形態における部品圧着装置１は、第１パーティクルセンサ１２１、第２パーティクルセンサ１２２、第３パーティクルセンサ１２３、および第４パーティクルセンサ１２４を備える。これらのパーティクルセンサはそれぞれ、部品圧着装置１の筐体内のエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、そのパーティクルに関する測定値を出力する。具体的には、第１パーティクルセンサ１２１は、貼着部２０に備えられ、その貼着部２０において舞い上がるパーティクルに関する測定を行う。第２パーティクルセンサ１２２は、仮圧着部３０に備えられ、その仮圧着部３０において舞い上がるパーティクルに関する測定を行う。第３パーティクルセンサ１２３は、本圧着部４０に備えられ、その本圧着部４０において舞い上がるパーティクルに関する測定を行う。第４パーティクルセンサ１２４は、部品供給部５０に備えられ、その部品供給部５０において舞い上がるパーティクルに関する測定を行う。
【0036】
本実施の形態では、パーティクルに関する測定は、パーティクルの数の測定であって、測定値は、そのパーティクルの数である。つまり、測定値は、パーティクルの数が多いほど大きい値を示す。しかし、パーティクルに関する測定は、これに限定されることなく、パーティクルのサイズの測定であってもよい。この場合、測定値は、パーティクルのサイズである。あるいは、パーティクルに関する測定では、所定のサイズごとに、そのサイズを有するパーティクルの数が測定されてもよい。例えば、直径が１μｍを有するパーティクルの数、および、直径０．３μｍを有するパーティクルの数が測定されてもよい。
【0037】
［部品圧着装置の詳細構成］
図２は、本実施の形態における部品圧着装置１の平面図である。具体的には、図２は、部品圧着装置１を上方から見た構成を示す。なお、本実施の形態において、基板３の搬送方向、すなわち左右方向をＸ軸方向と称し、鉛直方向、すなわち上下方向をＺ軸方向と称し、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に垂直な方向、すなわち奥行き方向をＹ軸方向と称す。また、Ｘ軸方向の負側および正側は、基板３の搬送方向の上流側および下流側にそれぞれ相当し、Ｚ軸方向の負側および正側は、鉛直方向の下側および上側にそれぞれ相当し、Ｙ軸方向の負側および正側は、奥行き方向の手前側および奥側、または、前側および後側にそれぞれ相当する。なお、図２では、説明の簡略化のために、上述の各パーティクルセンサは省略されている。
図２は、本実施の形態における部品圧着装置１の平面図である。具体的には、図２は、部品圧着装置１を上方から見た構成を示す。なお、本実施の形態において、基板３の搬送方向、すなわち左右方向をＸ軸方向と称し、鉛直方向、すなわち上下方向をＺ軸方向と称し、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に垂直な方向、すなわち奥行き方向をＹ軸方向と称す。また、Ｘ軸方向の負側および正側は、基板３の搬送方向の上流側および下流側にそれぞれ相当し、Ｚ軸方向の負側および正側は、鉛直方向の下側および上側にそれぞれ相当し、Ｙ軸方向の負側および正側は、奥行き方向の手前側および奥側、または、前側および後側にそれぞれ相当する。なお、図２では、説明の簡略化のために、上述の各パーティクルセンサは省略されている。
【0038】
貼着部２０は、上述のように、基板３の電極部４にＡＣＦを貼着する貼着作業を行う。このような貼着部２０は、それぞれ基台１ａ上に配置されている基板移動機構２１と、貼着機構２２と、搬送機構６２Ａとを備える。
【0039】
基板移動機構２１は、基板３を移動させる機構であって、基板３を保持するステージ２３を有する。ステージ２３の上面には、複数の吸着孔２３ａが設けられている。基板移動機構２１は、そのステージ２３上に載置された基板３をその複数の吸着孔２３ａによって真空吸着して保持する。そして、基板移動機構２１は、基板３を吸着保持するステージ２３を水平面内（具体的には、Ｘ軸方向およびＹ軸方向）で移動させ、上下方向（すなわちＺ軸方向）に昇降させるとともにＺ軸回りに回転させる。
【0040】
貼着機構２２は、基台１ａの上方に、Ｘ軸方向に並んだ例えば２つの貼着ヘッドを備えている。各貼着ヘッドは、ＡＣＦを供給する供給部と、ＡＣＦを基板３に貼着するための貼着ツールとを備えている。２つの貼着ヘッドのそれぞれは、基板３上の電極部４に対応する位置にＡＣＦを貼着する。
【0041】
搬送機構６２Ａは、基台１ａのＸ軸方向にわたって延びた移動ベース６１上に配置されている。搬送機構６２Ａは、基部６３と、２つのアームユニット６４とを備える。基部６３は、移動ベース６１上をＸ軸方向に自在に移動する。２つのアームユニット６４は、基部６３上にＸ軸方向に並んで設けられている。アームユニット６４は、基板３を上方から真空吸着する。このような搬送機構６２Ａは、貼着部２０のステージ２３に載置された基板３を受け取り、仮圧着部３０のステージ３７に受け渡す。
【0042】
部品供給部５０は、仮圧着部３０の奥側（すなわちＹ軸方向正側）に設けられ、仮圧着部３０に部品５を供給する部品供給作業を行う。例えば、部品供給部５０は、それぞれ基台１ｂ上に配置されている供給リール５１と、打ち抜き部５２と、可動ステージ５３と、レール５４とを備える。供給リール５１には、ＴＣＰなどのテープが巻き付けられている。可動ステージ５３は、レール５４に沿って移動する。このような部品供給部５０は、打ち抜き部５２によってテープから部品５を打ち抜き、その部品５を可動ステージ５３に載置して仮圧着部３０に順次供給する。
【0043】
仮圧着部３０は、基板３のＡＣＦが貼着された領域（すなわち圧着対象部位）に部品５を搭載して仮圧着する仮圧着作業を行う。仮圧着部３０は、それぞれ基台１ａ上に配置されている基板移動機構３１と、部品搭載機構３２と、部品移送機構３５と、搬送機構６２Ｂとを備える。
【0044】
基板移動機構３１は、貼着部２０の基板移動機構２１と同様の構造を有する。具体的には、基板移動機構３１は、基板３を保持するステージ３７を有する。ステージ３７の上面には、複数の吸着孔３７ａが設けられている。基板移動機構３１は、そのステージ３７上に載置された基板３をその複数の吸着孔３７ａによって真空吸着して保持する。また、基板移動機構３１は、基板３を吸着保持するステージ３７を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにＺ軸回りに回転させる機能を備える。基板移動機構３１は、そのステージ３７の移動および回転によって、吸着保持されている基板３のＡＣＦが貼着された領域を、部品搭載機構３２のバックアップステージ３６の上方に位置させる。
【0045】
部品移送機構３５は、部品供給部５０から供給される部品５を、部品搭載機構３２に含まれる圧着ツール３４側に移動させる。
【0046】
部品搭載機構３２は、基台１ａ上に設けられ、圧着ツール３４とバックアップステージ３６とを備える。バックアップステージ３６は、ステージ３７に保持されている基板３の縁部を下方から支持する。なお、この縁部には、基板３においてＡＣＦが貼着されている圧着対象部位が含まれている。圧着ツール３４は、部品５を保持し、バックアップステージ３６によって支持されている基板３の上面に部品５を圧着する。つまり、圧着ツール３４は、基板３の圧着対象部位に部品５を圧着する。具体的には、圧着ツール３４は、Ｚ軸方向に昇降し、部品移送機構３５によって移動された部品５を上方から吸着（つまり、ピックアップ）する。そして、圧着ツール３４は、吸着した部品５をＡＣＦ上に搭載して基板３ごとバックアップステージ３６に押し付けることで、基板３に部品５を仮圧着する。
【0047】
搬送機構６２Ｂは、搬送機構６２Ａと同様の構成を有し、移動ベース６１上に配置される。このような搬送機構６２Ｂは、仮圧着部３０のステージ３７に載置された基板３を受け取り、本圧着部４０のステージ４９に受け渡す。
【0048】
本圧着部４０は、仮圧着部３０によって基板３に仮圧着された部品５を基板３に本圧着（つまり、熱圧着）する本圧着作業を行う。こうすることで、基板３に形成された電極部４と部品５とはＡＣＦを介して電気的に接続される。このような本圧着部４０は、基板移動機構４１と、圧着機構４２と、搬送機構６２Ｃとを備える。
【0049】
基板移動機構４１は、貼着部２０の基板移動機構２１と同様の構造を有する。具体的には、基板移動機構４１は、ステージ４９を有する。ステージ４９の上面には、複数の吸着孔４９ａが設けられている。基板移動機構４１は、そのステージ４９上に載置された基板３をその複数の吸着孔４９ａによって真空吸着して保持する。また、基板移動機構４１は、基板３を吸着保持するステージ４９を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにＺ軸回りに回転させる機能を備える。基板移動機構４１は、そのステージ４９の移動および回転によって、吸着保持されている基板３の部品５が仮圧着された領域を、圧着機構４２の圧着支持部４６の上方に位置させる。
【0050】
圧着機構４２は、圧着ツール４３および圧着支持部４６を備え、例えば約２００℃に加熱された圧着ツール４３で基板３の部品５を圧着支持部４６側に押圧する。これにより、部品５は本圧着され、基板３に形成された電極部４と部品５とはＡＣＦを介して電気的に接続される。
【0051】
搬送機構６２Ｃは、搬送機構６２Ａと同様の構成を有し、移動ベース６１上に配置される。このような搬送機構６２Ｃは、本圧着部４０のステージ４９に載置された基板３を受け取り、部品圧着装置１の外部にある装置などに受け渡す。
【0052】
図３は、部品圧着装置１の外観の一例を示す斜視図である。
【0053】
部品圧着装置１は、筐体７を備える。筐体７は、図２に示す貼着部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、および部品供給部５０を収容する。また、このような筐体７には、複数の吸気部７１と、複数の排気部７２とが取り付けられている。例えば、その複数の吸気部７１は、筐体７の上部に取り付けられ、複数の排気部７２は、筐体７の側部に取り付けられている。より具体的な一例では、１つの吸気部７１が、筐体７における貼着部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、および部品供給部５０のそれぞれの上方の部位に取り付けられている。また、例えば、複数の排気部７２が、筐体７における貼着部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、および部品供給部５０のそれぞれの側方の部位に取り付けられている。
【0054】
吸気部７１は、モータと、そのモータによって回動するファンと、例えばＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタなどのフィルタとを備える。モータによって回動するファンは、部品圧着装置１の周囲、すなわち筐体７の外部にあるエアをその筐体７の内部に供給する。このとき、その外部のエアは、フィルタを通過して筐体７の内部に送り込まれる。その結果、外部のエアに含まれる粉塵などのパーティクルはそのフィルタによって取り除かれる。したがって、その外部のエアは、浄化され、清浄エアとして筐体７の内部に供給される。
【0055】
排気部７２は、吸気部７１と同様、モータと、そのモータによって回動するファンとを備える。モータによって回動するファンは、筐体７の内部にあるエアをその筐体７の外部に排出する。このようなエアの排出、すなわち排気によって、そのエアに含まれているパーティクルも筐体７の外部に排出される。
【0056】
［パーティクルに関する制御］
図４は、部品圧着装置１の仮圧着部３０が有するパーティクルに関連する各構成要素の配置例を示す図である。
図４は、部品圧着装置１の仮圧着部３０が有するパーティクルに関連する各構成要素の配置例を示す図である。
【0057】
基板移動機構３１に含まれるステージ３７は、そのステージ３７に載置されている基板３を保持しながら移動することによって、基板３の縁部をバックアップステージ３６上に配置する。その結果、バックアップステージ３６は、その基板３の縁部を下方から支持する。そして、部品５を保持する圧着ツール３４は、その部品５を基板３の縁部にある圧着対象部位に搭載し、さらに、その部品５を基板３と共にバックアップステージ３６に押し付ける。これにより、部品５が基板３の圧着対象部位に圧着される。
【0058】
ここで、吸気部７１は、筐体７の外部にあるエアをその筐体７の内部に供給する。このとき、上述のように、外部のエアに含まれるパーティクルは、吸気部７１内のＨＥＰＡフィルタによって取り除かれる。したがって、筐体７内にある作業部１１０には、清浄エアが供給される。なお、作業部１１０は、圧着ツール３４と、バックアップステージ３６と、ステージ３７を具備する基板移動機構３１と含む構成要素群からなる。また、排気部７２は、筐体７の内部にあるエアをその筐体７の外部に排出する。したがって、例えば、作業部１１０の周囲でパーティクルが舞い上がることによって、その周囲のエアにパーティクルが含まれている場合であっても、そのようなパーティクルを含むエアは、排気部７２によって筐体７の外部に排出される。
【0059】
また、本実施の形態では、第２パーティクルセンサ１２２は、図４に示すように、作業部１１０の周囲にあるエアに含まれるパーティクルの数を測定する。具体的には、第２パーティクルセンサ１２２は、作業部１１０の周囲に配置されている吸気口８１から配管８２を介して、その作業部１１０の周囲にあるエアを取り込み、そのエアに含まれるパーティクルの数を測定する。なお、そのパーティクルは、粒子または小片とも呼ばれる。例えば、第２パーティクルセンサ１２２は、その筐体７内の単位体積あたりのエアに含まれるパーティクルの数を測定する。単位体積は、例えば１立方フィートであってもよく、１立方メートルであってもよい。また、測定されるパーティクルの直径または最大幅は、例えば０．５μｍ以上であってもよく、０．５μｍ以下であってもよく、そのパーティクルのサイズは限定されない。そして、第２パーティクルセンサ１２２は、その測定されたパーティクルの数である測定値を示すセンシング信号を後述の制御部に出力する。制御部は、そのセンシング信号を受信し、そのセンシング信号によって示される測定値に基づいて、作業部１１０を制御する。
【0060】
図５は、本実施の形態における部品圧着装置１のパーティクルに関連する構成の一例を示すブロック図である。
【0061】
本実施の形態における貼着部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、および部品供給部５０は、筐体７内における第１作業エリア２０ａ、第２作業エリア３０ａ、第３作業エリア４０ａ、および第４作業エリア５０ａにそれぞれ配置されている。
【0062】
第１作業エリア２０ａには、第１狭域可動部１１１、第１パーティクルセンサ１２１、および第１エア制御機構１３１が配置されている。つまり、第１作業エリア２０ａに配置されている貼着部２０が、第１狭域可動部１１１、第１パーティクルセンサ１２１、および第１エア制御機構１３１を備える。第１狭域可動部１１１は、第１作業エリア２０ａ内でのみ動作する機構であって、例えば、基板移動機構２１である。第１エア制御機構１３１は、筐体７の貼着部２０に対応する部位にそれぞれ取り付けられている吸気部７１および複数の排気部７２を含む機構である。
【0063】
第２作業エリア３０ａには、第２狭域可動部１１２、第２パーティクルセンサ１２２、および第２エア制御機構１３２が配置されている。つまり、第２作業エリア３０ａに配置されている仮圧着部３０が、第２狭域可動部１１２、第２パーティクルセンサ１２２、および第２エア制御機構１３２を備える。第２狭域可動部１１２は、第２作業エリア３０ａ内でのみ動作する機構であって、例えば、基板移動機構３１である。第２エア制御機構１３２は、筐体７の仮圧着部３０に対応する部位にそれぞれ取り付けられている吸気部７１および複数の排気部７２を含む機構である。
【0064】
第３作業エリア４０ａには、第３狭域可動部１１３、第３パーティクルセンサ１２３、および第３エア制御機構１３３が配置されている。つまり、第３作業エリア４０ａに配置されている本圧着部４０が、第３狭域可動部１１３、第３パーティクルセンサ１２３、および第３エア制御機構１３３を備える。第３狭域可動部１１３は、第３作業エリア４０ａ内でのみ動作する機構であって、例えば、基板移動機構４１である。第３エア制御機構１３３は、筐体７の本圧着部４０に対応する部位にそれぞれ取り付けられている吸気部７１および複数の排気部７２を含む機構である。
【0065】
第４作業エリア５０ａには、第４狭域可動部１１４、第４パーティクルセンサ１２４、および第４エア制御機構１３４が配置されている。つまり、第４作業エリア５０ａに配置されている部品供給部５０が、第４狭域可動部１１４、第４パーティクルセンサ１２４、および第４エア制御機構１３４を備える。第４狭域可動部１１４は、第４作業エリア５０ａ内でのみ動作する機構であって、例えば、可動ステージ５３である。第４エア制御機構１３４は、筐体７の部品供給部５０に対応する部位にそれぞれ取り付けられている吸気部７１および複数の排気部７２を含む機構である。
【0066】
また、部品圧着装置１は、第１広域可動部１４１、第２広域可動部１４２、および第３広域可動部１４３を備える。第１広域可動部１４１は、第１作業エリア２０ａおよび第２作業エリア３０ａにおいて動作する機構であって、例えば、搬送機構６２Ａである。つまり、第１広域可動部１４１は、第１作業エリア２０ａと第２作業エリア３０ａとの間を移動する。第２広域可動部１４２は、第２作業エリア３０ａおよび第３作業エリア４０ａにおいて動作する機構であって、例えば、搬送機構６２Ｂである。つまり、第２広域可動部１４２は、第２作業エリア３０ａと第３作業エリア４０ａとの間を移動する。第３広域可動部１４３は、第４作業エリア５０ａおよび第２作業エリア３０ａにおいて動作する機構であって、例えば、部品移送機構３５である。つまり、第３広域可動部１４３は、第４作業エリア５０ａと第２作業エリア３０ａとの間を移動する。
【0067】
このように、本実施の形態における部品圧着装置１は、それぞれ筐体７内に配置され、部品５を基板３に圧着するための動作を行う第１狭域可動部１１１、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４を備える。同様に、部品圧着装置１は、それぞれ筐体７内に配置され、部品５を基板３に圧着するための動作を行う第１広域可動部１４１、第２広域可動部１４２、および第３広域可動部１４３を備える。なお、本実施の形態では、第１狭域可動部１１１、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４のそれぞれは、狭域可動部と総称される。また、第１広域可動部１４１、第２広域可動部１４２、および第３広域可動部１４３のそれぞれは、広域可動部と総称される。さらに、狭域可動部および広域可動部のそれぞれは、可動部と総称される。なお、可動部の動作は、可動部自体の移動であってもよく、可動部に具備される構成要素の移動であってもよい。また、可動部は、第１狭域可動部１１１、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４と、第１広域可動部１４１、第２広域可動部１４２、および第３広域可動部１４３とを備えているとも言える。
【0068】
また、本実施の形態における部品圧着装置１は、制御部１５０を備える。この制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１、第２パーティクルセンサ１２２、第３パーティクルセンサ１２３、および第４パーティクルセンサ１２４のそれぞれから出力されるセンシング信号を取得する。そして、制御部１５０は、それらのセンシング信号によって示される測定値に基づいて、第１狭域可動部１１１、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４のそれぞれの動作の速度を制御する。具体的には、制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１の測定値に基づいて、第１狭域可動部１１１の動作の速度を制御し、第２パーティクルセンサ１２２の測定値に基づいて、第２狭域可動部１１２の動作の速度を制御する。同様に、制御部１５０は、第３パーティクルセンサ１２３の測定値に基づいて、第３狭域可動部１１３の動作の速度を制御し、第４パーティクルセンサ１２４の測定値に基づいて、第４狭域可動部１１４の動作の速度を制御する。
【0069】
さらに、制御部１５０は、それらのセンシング信号によって示される測定値に基づいて、第１広域可動部１４１、第２広域可動部１４２、および第３広域可動部１４３のそれぞれの動作の速度を制御する。具体的には、制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１の測定値と、第２パーティクルセンサ１２２の測定値とに基づいて、第１広域可動部１４１の動作の速度を制御する。また、制御部１５０は、第２パーティクルセンサ１２２の測定値と、第３パーティクルセンサ１２３の測定値とに基づいて、第２広域可動部１４２の動作の速度を制御する。また、制御部１５０は、第４パーティクルセンサ１２４の測定値と、第２パーティクルセンサ１２２の測定値とに基づいて、第３広域可動部１４３の動作の速度を制御する。
【0070】
このように、本実施の形態における制御部１５０は、各パーティクルセンサから出力される測定値に基づいて、各可動部の動作の速度を制御する。
【0071】
図６Ａは、第１狭域可動部１１１の動作モードを説明するための図である。なお、図６Ａのグラフの縦軸は、第１狭域可動部１１１の動作速度を示し、横軸は、第１狭域可動部１１１の移動方向に沿う各位置を示す。なお、動作速度は、第１狭域可動部１１１の移動速度であるとも言える。
【0072】
第１狭域可動部１１１の動作モードには、通常モード、低速モード、および停止モードがある。制御部１５０は、これらの動作モードを切り替え、切り替えられた動作モードで第１狭域可動部１１１の動作速度を制御する。
【0073】
通常モードでは、第１狭域可動部１１１は、例えば位置ａから位置ｂまで、最高速度ｖ１で移動する。低速モードでは、第１狭域可動部１１１は、例えば位置ａから位置ｂまで、最高速度ｖ２で移動する。その最高速度ｖ２は、最高速度ｖ１よりも遅い。つまり、低速モードにおける第１狭域可動部１１１の最高速度は、通常モードよりも遅い。また、停止モードでは、第１狭域可動部１１１は停止する。つまり、停止モードでは、第１狭域可動部１１１の動作速度は０である。制御部１５０は、このような動作モードにしたがって第１狭域可動部１１１を移動または動作させる。
【0074】
図６Ｂは、第１狭域可動部１１１の動作モードの切り替えを説明するための図である。なお、図６Ｂのグラフは、第１パーティクルセンサ１２１の測定値と時間との関係を示す。具体的には、図６Ｂのグラフの縦軸は、第１パーティクルセンサ１２１から出力されるセンシング信号によって示される測定値を示す。この測定値は、第１作業エリア２０ａのエアに含まれるパーティクルの数である。図６Ｂのグラフの横軸は、時間を示す。
【0075】
例えば、測定値は、図６Ｂに示すように、時刻ｔ０から時刻ｔ２過ぎまで上昇し、その後、減少する。制御部１５０は、時刻ｔ０から時刻ｔ１の直前までは、その測定値が第１閾値以下であるため、第１狭域可動部１１１を通常モードで制御する。そして、制御部１５０は、時刻ｔ１において測定値が第１閾値よりも大きくなると、第１狭域可動部１１１の動作モードを、通常モードから低速モードに切り替える。つまり、制御部１５０は、第１狭域可動部１１１の動作を遅くする。その後、制御部１５０は、時刻ｔ２において測定値が第３閾値よりも大きくなると、第１狭域可動部１１１の動作モードを、低速モードから停止モードに切り替える。つまり、制御部１５０は、第１狭域可動部１１１を停止させる。なお、第３閾値は、第１閾値よりも大きい値である。
【0076】
そして、制御部１５０は、時刻ｔ３において測定値が第１閾値以下になると、第１狭域可動部１１１の動作モードを、停止モードから低速モードに切り替える。つまり、制御部１５０は、停止してる第１狭域可動部１１１をゆっくり動かす。さらに、制御部１５０は、時刻ｔ４において測定値が第２閾値以下になると、第１狭域可動部１１１の動作モードを、低速モードから通常モードに切り替える。つまり、制御部１５０は、第１狭域可動部１１１の動作を速くする。なお、第２閾値は、第１閾値よりも小さい値である。なお、停止モードから低速モードに切り替わる閾値は、第１閾値と同じでなくてもよい。
【0077】
また、本実施の形態では、制御部１５０は、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４のそれぞれも、第１狭域可動部１１１と同様、図６Ａに示す各動作モードで制御してもよい。さらに、制御部１５０は、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４のそれぞれの動作モードを、第１狭域可動部１１１と同様、図６Ｂに示す例のように切り替えてもよい。
【0078】
具体的には、制御部１５０は、第１狭域可動部１１１、第２狭域可動部１１２、第３狭域可動部１１３、および第４狭域可動部１１４のそれぞれの動作モードを、その狭域可動部が動作する作業エリアの測定値に基づいて切り替える。例えば、第１作業エリア２０ａの第１パーティクルセンサ１２１が測定値として第１測定値を出力し、第２作業エリア３０ａの第２パーティクルセンサ１２２が測定値として第２測定値を出力する。この場合、制御部１５０は、第１測定値に基づいて、第１狭域可動部１１１の動作モードを、通常モードと低速モードと停止モードとに切り替える。そして、制御部１５０は、第２測定値に基づいて、第２狭域可動部１１２の動作モードを、通常モードと低速モードと停止モードとに切り替える。
【0079】
図７は、第１作業エリア２０ａ、第２作業エリア３０ａ、および第３作業エリア４０ａのそれぞれにおける狭域可動部の動作モードの切り替え例を示す図である。なお、図７の（ａ）のグラフは、第１作業エリア２０ａにおける第１パーティクルセンサ１２１の測定値と時間との関係を示す。図７の（ｂ）のグラフは、第２作業エリア３０ａにおける第２パーティクルセンサ１２２の測定値と時間との関係を示す。図７の（ｃ）のグラフは、第３作業エリア４０ａにおける第３パーティクルセンサ１２３の測定値と時間との関係を示す。
【0080】
図７の（ｂ）および（ｃ）に示すように、第２作業エリア３０ａおよび第３作業エリア４０ａのそれぞれでは、時刻ｔ１０～ｔ１３まで測定値は、第１閾値以下である。したがって、制御部１５０は、時刻ｔ１０～ｔ１３まで、第２作業エリア３０ａの第２狭域可動部１１２と、第３作業エリア４０ａの第３狭域可動部１１３とを、通常モードで制御する。一方、図７の（ａ）に示すように、第１作業エリア２０ａのみ、時刻ｔ１０から時刻ｔ１１の直前まで、測定値は第１閾値以下であるが、時刻ｔ１１にその測定値が第１閾値よりも大きくなり、時刻ｔ１２にその測定値が第２閾値以下になる。この場合、制御部１５０は、時刻ｔ１１から時刻ｔ１２の直前までの間では、第２作業エリア３０ａおよび第３作業エリア４０ａの各狭域可動部を通常モードで制御しながら、第１作業エリア２０ａの第１狭域可動部１１１のみ低速モードで制御する。
【0081】
図８Ａは、制御部１５０が第１狭域可動部１１１を制御する処理動作を示すフローチャートである。
【0082】
まず、制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１からセンシング信号を取得する。つまり、制御部１５０は、そのセンシング信号によって示される測定値を取得する（ステップＳ１１）。次に、制御部１５０は、その測定値が第２閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１２）。ここで、制御部１５０は、測定値が第２閾値以下ではないと判定すると（ステップＳ１２のＮｏ）、ステップＳ１１からの処理を繰り返し実行する。一方、制御部１５０は、測定値が第２閾値以下であると判定すると（ステップＳ１２のＹｅｓ）、通常モードによる第１狭域可動部１１１の制御を開始する（ステップＳ１３）。なお、制御部１５０は、ステップＳ１１の前に低速モードでの第１狭域可動部１１１の制御を開始し、その後、ステップＳ１１およびステップＳ１２を実行して、測定値が第２閾値以下であると判定された場合に通常モードでの第１狭域可動部１１１の制御を開始してもよい。
【0083】
次に、制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１からセンシング信号を取得することによって、そのセンシング信号によって示される測定値を取得する（ステップＳ１４）。そして、制御部１５０は、現在の第１狭域可動部１１１の動作モードが停止モードであるか否かを判定する（ステップＳ１５）。ここで、制御部１５０は、その動作モードが停止モードであると判定すると（ステップＳ１５のＹｅｓ）、さらに、ステップＳ１４で取得された測定値が第１閾値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１６）。制御部１５０は、動作モードが停止モードであるときに、測定値が第１閾値よりも大きいと判定すると（ステップＳ１６のＹｅｓ）、その停止モードを維持する（ステップＳ１７）。一方、制御部１５０は、動作モードが停止モードであるときに、測定値が第１閾値以下であると判定すると（ステップＳ１６のＮｏ）、その動作モードを低速モードに切り替える（ステップＳ１８）。
【0084】
また、制御部１５０は、ステップＳ１５において、現在の第１狭域可動部１１１の動作モードが停止モードではないと判定すると（ステップＳ１５のＮｏ）、ステップＳ１４で取得された測定値が第３閾値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１９）。ここで、制御部１５０は、測定値が第３閾値よりも大きいと判定すると（ステップＳ１９のＹｅｓ）、第１狭域可動部１１１の動作モードを停止モードに切り替える（ステップＳ２０）。一方、制御部１５０は、測定値が第３閾値以下であると判定すると（ステップＳ１９のＮｏ）、通常／低速モード切替処理を実行する（ステップＳ２１）。
【0085】
制御部１５０は、ステップＳ１７、Ｓ１８、Ｓ２０、またはＳ２１の処理を実行すると、処理動作を終了するか否かを判定し（ステップＳ２２）、終了しないと判定すると（ステップＳ２２のＮｏ）、ステップＳ１４からの処理を繰り返し実行する。
【0086】
【0087】
まず、制御部１５０は、現在の第１狭域可動部１１１の動作モードが通常モードであるか否かを判定する（ステップＳ２１１）。このときには、図８ＡのステップＳ１５において既に、その動作モードは、停止モードではないと判定されているため、ステップＳ２１１では、その動作モードが通常モードであるか、低速モードであるかが判定される。
【0088】
ここで、制御部１５０は、動作モードが通常モードであると判定すると（ステップＳ２１１のＹｅｓ）、さらに、図８ＡのステップＳ１４で取得された測定値が第１閾値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ２１２）。制御部１５０は、測定値が第１閾値よりも大きいと判定すると（ステップＳ２１２のＹｅｓ）、第１狭域可動部１１１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替える（ステップＳ２１３）。一方、制御部１５０は、測定値が第１閾値以下であると判定すると（ステップＳ２１２のＮｏ）、第１狭域可動部１１１の動作モードを通常モードに維持する（ステップＳ２１４）。
【0089】
また、制御部１５０は、動作モードが通常モードではないと判定すると、すなわち、動作モードが低速モードであると判定すると（ステップＳ２１１のＮｏ）、さらに、図８ＡのステップＳ１４で取得された測定値が第２閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２１５）。制御部１５０は、測定値が第２閾値以下であると判定すると（ステップＳ２１５のＹｅｓ）、第１狭域可動部１１１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替える（ステップＳ２１６）。一方、制御部１５０は、測定値が第２閾値以下ではないと判定すると（ステップＳ２１５のＮｏ）、第１狭域可動部１１１の動作モードを低速モードに維持する（ステップＳ２１７）。
【0090】
このように、本実施の形態における制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１から出力される測定値に基づいて、第１狭域可動部１１１の動作の速度を制御する。これにより、第１狭域可動部１１１の動作の速度が測定値に基づいて制御されるため、例えば、筐体７内に漂うパーティクルの数が多い場合には、その第１狭域可動部１１１の動作を遅くすることができる。その結果、例えば、筐体７内におけるパーティクルの舞い上がりを抑えることができる。したがって、基板３、または、その基板３に貼り付けられるＡＣＦにパーティクルが付着することを困難にすることができる。さらに、そのようなパーティクルの付着によって実装基板が不良品として生産されることを抑制することができ、実装基板の歩留まりの低下を抑えることができる。さらに、筐体７内に漂うパーティクルの数が多い場合には、その第１狭域可動部１１１の動作を停止させることなく、低速モード、すなわち遅い速度で第１狭域可動部１１１を動作させ続けることができる。その結果、部品圧着装置１の稼働率の低下を抑制することができ、生産効率の向上を図ることができる。
【0091】
なお、上述の例では、第１狭域可動部１１１が制御されるが、第４狭域可動部１１４も同様に制御されてもよい。この場合には、基板３への圧着のために供給される部品５にパーティクルが付着することを困難にすることができる。また、第２狭域可動部１１２または第３狭域可動部１１３も同様に制御されてもよい。この場合には、基板３に部品５が仮圧着または本圧着されるときに、その基板３と部品５との接合部位にパーティクルが付着することを困難にすることができる。
【0092】
また、本実施の形態における制御部１５０は、第１狭域可動部１１１を通常モードで制御している場合に、第１パーティクルセンサ１２１の測定値が第１閾値よりも大きくなったときには、第１狭域可動部１１１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替える。これにより、低速モードでは、通常モードよりも最高速度が遅いため、効果的に実装基板の歩留まりの低下を抑えながら、生産効率の向上を図ることができる。
【0093】
また、本実施の形態における制御部１５０は、第１狭域可動部１１１を低速モードで制御している場合に、第１パーティクルセンサ１２１の測定値が第２閾値以下になったときには、第１狭域可動部１１１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替える。これにより、測定値が第１閾値よりも小さい第２閾値になったときに、動作モードが低速モードから通常モードに切り替えられるため、その切り替えのための測定値のマージンを広くすることができる。つまり、測定値が第１閾値よりも大きくなって動作モードが通常モードから低速モードに切り替えられた直後に、その測定値が第１閾値以下になっても、第２閾値以下でなければ、動作モードは切り替えられず、低速モードに維持される。その結果、動作モードの切り替えが頻繁に発生することを抑えることができ、第１狭域可動部１１１の動作を安定させることができる。
【0094】
また、本実施の形態における制御部１５０は、第１狭域可動部１１１を通常モードあるいは低速モードで制御している場合に、第１パーティクルセンサ１２１の測定値が第３閾値よりも大きくなったときには、第１狭域可動部１１１を停止させる。つまり、第１狭域可動部１１１の動作モードが、通常モードあるいは低速モードから停止モードに切り替えられる。これにより、測定値が第３閾値よりも大きくなったときには、すなわち、筐体７内に漂うパーティクルの数が非常に多い場合には、第１狭域可動部１１１が停止するため、不良品の生産を高い確度で抑制することができる。
【0095】
一方、第１広域可動部１４１、第２広域可動部１４２および第３広域可動部１４３のそれぞれについては、制御部１５０は、その広域可動部が移動する複数の作業エリアの測定値に基づいて、その広域可動部の動作モードを切り替える。
【0096】
図９は、第１作業エリア２０ａと第２作業エリア３０ａとの間を移動する第１広域可動部１４１の動作モードの切り替え例を示す図である。なお、図９の（ａ）のグラフは、第１作業エリア２０ａにおける第１パーティクルセンサ１２１の測定値と時間との関係を示す。図９の（ｂ）のグラフは、第２作業エリア３０ａにおける第２パーティクルセンサ１２２の測定値と時間との関係を示す。
【0097】
時刻ｔ２０から時刻ｔ２１の直前まで、図９の（ｂ）に示す第２作業エリア３０ａの測定値は、第１閾値よりも大きいが、図９の（ａ）に示す第１作業エリア２０ａの測定値は、第１閾値以下である。したがって、制御部１５０は、時刻ｔ２０から時刻ｔ２１の直前まで、第１広域可動部１４１を通常モードで制御する。そして、制御部１５０は、時刻ｔ２１に、第１作業エリア２０ａおよび第２作業エリア３０ａのそれぞれの測定値が第１閾値よりも大きくなると、第１広域可動部１４１の動作モードを、通常モードから低速モードに切り替える。その後、時刻ｔ２２に、第１作業エリア２０ａの測定値が第１閾値よりも大きい状況で、第２作業エリア３０ａの測定値のみが、第２閾値以下になる。このとき、制御部１５０は、第１広域可動部１４１の動作モードを、低速モードから通常モードに切り替える。
【0098】
つまり、制御部１５０は、第１広域可動部１４１を通常モードで制御しているときに、第１広域可動部１４１が移動する全ての作業エリアの測定値が第１閾値よりも大きくなると、その第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替える。また、制御部１５０は、第１広域可動部１４１を低速モードで制御しているときに、その全ての作業エリアのうちの１つの作業エリアの測定値でも、第２閾値以下になると、その第１広域可動部１４１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替える。なお、図９に示す例では、全ての作業エリアは、２つの作業エリア（すなわち第１作業エリア２０ａおよび第２作業エリア３０ａ）であるが、第１広域可動部１４１が３つ以上の作業エリアで動作する場合には、３つ以上の作業エリアであってもよい。また、第２広域可動部１４２および第３広域可動部１４３についても、第１広域可動部１４１と同様に制御されてもよい。
【0099】
図１０Ａは、制御部１５０が第１広域可動部１４１を制御する処理動作を示すフローチャートである。
【0100】
まず、制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１および第２パーティクルセンサ１２２のそれぞれからセンシング信号を取得する。つまり、制御部１５０は、それらのセンシング信号によって示される第１測定値および第２測定値を取得する（ステップＳ３１）。
【0101】
なお、第１測定値は、第１パーティクルセンサ１２１のセンシング信号によって示される測定値であり、第１作業エリア２０ａの測定値である。つまり、第１パーティクルセンサ１２１は、第１作業エリア２０ａのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、そのパーティクルに関する第１測定値を出力している。また、第２測定値は、第２パーティクルセンサ１２２のセンシング信号によって示される測定値であり、第２作業エリア３０ａの測定値である。つまり、第２パーティクルセンサ１２２は、第２作業エリア３０ａのエアに含まれるパーティクルに関する測定を行い、そのパーティクルに関する第２測定値を出力している。
【0102】
次に、制御部１５０は、ステップＳ３１で取得された第１測定値および第２測定値が第１条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ３２）。第１条件は、「第１測定値が第２閾値ｔｈ２ａ以下であって、かつ、第２測定値が第２閾値ｔｈ２ｂ以下である」という条件である。第２閾値ｔｈ２ａは、第１作業エリア２０ａの第２閾値であり、第２閾値ｔｈ２ｂは、第２作業エリア３０ａの第２閾値である。また、第２閾値ｔｈ２ａと第２閾値ｔｈ２ｂとは、同じ値であってもよく、互に異なる値であってもよい。
【0103】
ここで、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第１条件を満たさないと判定すると（ステップＳ３２のＮｏ）、ステップＳ３１からの処理を繰り返し実行する。例えば、第１測定値が第２閾値ｔｈ２ａよりも大きい場合、または、第２測定値が第２閾値ｔｈ２ｂよりも大きい場合、制御部１５０は、ステップＳ３１からの処理を繰り返し実行する。あるいは、第１測定値が第２閾値ｔｈ２ａよりも大きく、かつ、第２測定値も第２閾値ｔｈ２ｂよりも大きい場合、制御部１５０は、ステップＳ３１からの処理を繰り返し実行する。
【0104】
一方、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第１条件を満たすと判定すると（ステップＳ３２のＹｅｓ）、通常モードによる第１広域可動部１４１の制御を開始する（ステップＳ３３）。
【0105】
次に、制御部１５０は、第１パーティクルセンサ１２１および第２パーティクルセンサ１２２のそれぞれからセンシング信号を取得することによって、それらのセンシング信号によって示される第１測定値および第２測定値を取得する（ステップＳ３４）。そして、制御部１５０は、現在の第１広域可動部１４１の動作モードが停止モードであるか否かを判定する（ステップＳ３５）。ここで、制御部１５０は、その動作モードが停止モードであると判定すると（ステップＳ３５のＹｅｓ）、さらに、ステップＳ３４で取得された第１測定値および第２測定値が第２条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ３６）。その第２条件は、「第１測定値が第１閾値ｔｈ１ａよりも大きく、かつ、第２測定値が第１閾値ｔｈ１ｂよりも大きい」という条件である。第１閾値ｔｈ１ａは、第１作業エリア２０ａの第１閾値であり、第１閾値ｔｈ１ｂは、第２作業エリア３０ａの第１閾値である。また、第１閾値ｔｈ１ａと第１閾値ｔｈ１ｂとは、同じ値であってもよく、互に異なる値であってもよい。
【0106】
制御部１５０は、動作モードが停止モードであるときに、第１測定値および第２測定値が第２条件を満たすと判定すると（ステップＳ３６のＹｅｓ）、その停止モードを維持する（ステップＳ３７）。一方、制御部１５０は、動作モードが停止モードであるときに、第１測定値および第２測定値が第２条件を満たさないと判定すると（ステップＳ３６のＮｏ）、その動作モードを低速モードに切り替える（ステップＳ３８）。
【0107】
また、制御部１５０は、ステップＳ３５において、現在の第１広域可動部１４１の動作モードが停止モードではないと判定する（ステップＳ３５のＮｏ）、ステップＳ３４で取得された第１測定値および第２測定値が第３条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ３９）。その第３条件は、「第１測定値が第３閾値ｔｈ３ａよりも大きく、かつ、第２測定値が第３閾値ｔｈ３ｂよりも大きい」という条件である。第３閾値ｔｈ３ａは、第１作業エリア２０ａの第３閾値であり、第３閾値ｔｈ３ｂは、第２作業エリア３０ａの第３閾値である。また、第３閾値ｔｈ３ａと第３閾値ｔｈ３ｂとは、同じ値であってもよく、互に異なる値であってもよい。
【0108】
ここで、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第３条件を満たすと判定すると（ステップＳ３９のＹｅｓ）、第１広域可動部１４１の動作モードを停止モードに切り替える（ステップＳ４０）。一方、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第３条件を満たさない判定すると（ステップＳ３９のＮｏ）、通常／低速モード切替処理を実行する（ステップＳ４１）。
【0109】
制御部１５０は、ステップＳ３７、Ｓ３８、Ｓ４０、またはＳ４１の処理を実行すると、処理動作を終了するか否かを判定し（ステップＳ４２）、終了しないと判定すると（ステップＳ４２のＮｏ）、ステップＳ３４からの処理を繰り返し実行する。
【0110】
図１０Ｂは、制御部１５０による第１広域可動部１４１に対する通常／低速モード切替処理の一例を示すフローチャートである。つまり、図１０Ｂは、図１０ＡのステップＳ４１の処理を詳細に示すフローチャートである。
【0111】
まず、制御部１５０は、現在の第１広域可動部１４１の動作モードが通常モードであるか否かを判定する（ステップＳ４１１）。このときには、図１０ＡのステップＳ３５において既に、その動作モードは、停止モードではないと判定されているため、ステップＳ４１１では、その動作モードが通常モードであるか、低速モードであるかが判定される。
【0112】
ここで、制御部１５０は、動作モードが通常モードであると判定すると（ステップＳ４１１のＹｅｓ）、さらに、図１０ＡのステップＳ３４で取得された第１測定値および第２測定値が上述の第２条件を満たしているか否かを判定する（ステップＳ４１２）。なお、その第２条件は、「第１測定値が第１閾値ｔｈ１ａよりも大きく、かつ、第２測定値が第１閾値ｔｈ１ｂよりも大きい」という条件である。制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第２条件を満たすと判定すると（ステップＳ４１２のＹｅｓ）、動作モードを通常モードから低速モードに切り替える（ステップＳ４１３）。一方、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第２条件を満たさないと判定すると（ステップＳ４１２のＮｏ）、動作モードを通常モードに維持する（ステップＳ４１４）。
【0113】
また、制御部１５０は、動作モードが通常モードではないと判定すると、すなわち、動作モードが低速モードであると判定すると（ステップＳ４１１のＮｏ）、さらに、図１０ＡのステップＳ３４で取得された第１測定値および第２測定値が第４条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ４１５）。第４条件は、「第１測定値が第２閾値ｔｈ２ａよりも大きく、かつ、第２測定値が第２閾値ｔｈ２ｂよりも大きい」という条件である。制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第４条件を満たすと判定すると（ステップＳ４１５のＹｅｓ）、動作モードを低速モードに維持する（ステップＳ４１６）。一方、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第４条件を満たさないと判定すると（ステップＳ４１５のＮｏ）、動作モードを低速モードから通常モードに切り替える（ステップＳ４１７）。つまり、第１測定値および第２測定値のうちの一方でも第２閾値以下になれば、動作モードが低速モードから通常モードに切り替えられる。
【0114】
このように、本実施の形態では、第１狭域可動部１１１の動作モードは、その第１狭域可動部１１１が動作する第１作業エリア２０ａで測定された第１測定値に基づいて切り替えられる。したがって、第１作業エリア２０ａにおける、第１狭域可動部１１１の動作に起因する実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、かつ、稼働率の低下を抑制することができる。同様に、第２狭域可動部１１２の動作モードは、その第２狭域可動部１１２が動作する第２作業エリア３０ａで測定された第２測定値に基づいて切り替えられる。したがって、第２作業エリア３０ａにおける、第２狭域可動部１１２の動作に起因する実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、かつ、稼働率の低下を抑制することができる。また、本実施の形態における制御部１５０は、第１測定値および第２測定値に基づいて、第１広域可動部１４１の動作モードを、通常モードと低速モードとに切り替える。つまり、第１広域可動部１４１の動作モードは、その第１広域可動部１４１が移動する第１作業エリア２０ａおよび第２作業エリア３０ａで測定された第１測定値および第２測定値に基づいて切り替えられる。このように、第１広域可動部１４１の動作モードは、第１測定値のみに基づいて、あるいは、第２測定値のみに基づいて、切り替えられず、第１測定値および第２測定値に基づいて切り替えられる。したがって、第１測定値が大きくても第２測定値が小さい場合、あるいは、第２測定値が大きくても第１測定値が小さい場合には、第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードに維持することができる。その結果、第１狭域可動部１１１および第２狭域可動部１１２の一方の狭域可動部の動作モードのみが、低速モードに切り替えられた場合でも、他方の狭域可動部および第１広域可動部１４１のそれぞれの動作モードは通常モードに維持される。したがって、一方の狭域可動部の動作の速度によって他方の狭域可動部が受ける影響を抑えることができ、他方の狭域可動部のスループットまたは稼働率の低下を抑止することができる。
【0115】
以上、一つまたは複数の態様に係る部品圧着装置について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を上記実施の形態に施したものも、本開示の範囲内に含まれてもよい。
【0116】
例えば、上記実施の形態の図１０Ａおよび図１０Ｂの例では、制御部１５０は、第１広域可動部１４１を通常モードで制御している場合に、第１測定値および第２測定値が第１閾値よりも大きくなると、第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替える。つまり、制御部１５０は、第１測定値が第１閾値ｔｈ１ａよりも大きく、かつ、第２測定値が第１閾値ｔｈ１ｂよりも大きくなると、第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替える。しかし、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値のうちの何れか一方の測定値が第１閾値よりも大きくなると、第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替えてもよい。つまり、制御部１５０は、第１測定値が第１閾値ｔｈ１ａよりも大きくなると、あるいは、第２測定値が第１閾値ｔｈ１ｂよりも大きくなると、第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替えてもよい。このように、制御部１５０は、第１広域可動部１４１を通常モードで制御しているときに、第１広域可動部１４１が移動する全ての作業エリアの測定値のうちの１つでも第１閾値よりも大きくなると、その第１広域可動部１４１の動作モードを通常モードから低速モードに切り替えてもよい。なお、全ての作業エリアは３つ以上の作業エリアであってもよい。
【0117】
また、上記実施の形態の図１０Ａおよび図１０Ｂの例では、制御部１５０は、第１広域可動部１４１を低速モードで制御している場合に、第１測定値および第２測定値のうちの何れか一方の測定値が第２閾値以下になると、第１広域可動部１４１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替える。つまり、制御部１５０は、第１測定値が第２閾値ｔｈ２ａ以下になると、あるいは、第２測定値が第２閾値ｔｈ２ｂ以下になると、第１広域可動部１４１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替える。しかし、制御部１５０は、第１測定値および第２測定値が第２閾値以下になると、第１広域可動部１４１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替えてもよい。つまり、制御部１５０は、第１測定値が第２閾値ｔｈ２ａ以下で、かつ、第２測定値が第２閾値ｔｈ２ｂ以下になると、第１広域可動部１４１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替えてもよい。このように、制御部１５０は、第１広域可動部１４１を低速モードで制御しているときに、第１広域可動部１４１が移動する全ての作業エリアの測定値が第２閾値以下になると、その第１広域可動部１４１の動作モードを低速モードから通常モードに切り替えてもよい。なお、全ての作業エリアは３つ以上の作業エリアであってもよい。
【0118】
また、上記実施の形態の図１０Ａおよび図１０Ｂの例に用いられる第１閾値ｔｈ１ａは、第１狭域可動部１１１の制御に用いられる第１閾値と同じであってもよく、異なっていてもよい。同様に、第１閾値ｔｈ１ｂは、第２狭域可動部１１２の制御に用いられる第１閾値と同じであってもよく、異なっていてもよい。さらに、上記実施の形態の図１０Ａおよび図１０Ｂの例に用いられる第２閾値ｔｈ２ａは、第１狭域可動部１１１の制御に用いられる第２閾値と同じであってもよく、異なっていてもよい。同様に、第２閾値ｔｈ２ｂは、第２狭域可動部１１２の制御に用いられる第２閾値と同じであってもよく、異なっていてもよい。さらに、上記実施の形態の図１０Ａおよび図１０Ｂの例に用いられる第３閾値ｔｈ３ａは、第１狭域可動部１１１の制御に用いられる第３閾値と同じであってもよく、異なっていてもよい。同様に、第３閾値ｔｈ３ｂは、第２狭域可動部１１２の制御に用いられる第３閾値と同じであってもよく、異なっていてもよい。
【0119】
また、部品圧着装置１が備える各可動部の通常モードの最高速度は、互に異なっていてもよく、同じであってもよい。同様に、各可動部の低速モードの最高速度は、互に異なっていてもよく、同じであってもよい。また、第１閾値、第２閾値、および第３閾値のそれぞれは、第１作業エリア２０ａ、第２作業エリア３０ａ、第３作業エリア４０ａ、および第４作業エリア５０ａにおいて同一であってもよく、作業エリアごとに異なっていてもよい。
【0120】
また、上記実施の形態において、４つの狭域可動部は、基板移動機構２１、基板移動機構３１、基板移動機構４１、および可動ステージ５３であるが、これらに限定されることなく、作業エリア内でのみ動作する機構でれば、どのような機構であってもよい。また、３つの広域可動部は、搬送機構６２Ａ、搬送機構６２Ｂ、および部品移送機構３５であるが、これらに限定されることなく、複数の作業エリア間を移動する機構でれば、どのような機構であってもよい。
【0121】
また、上記実施の形態の図４の例では、第２パーティクルセンサ１２２は、作業部１１０の周囲に配置されている吸気口８１から配管８２を介して、その作業部１１０の周囲にあるエアを取り込むが、そのエアを直接取り込んでもよい。この場合、第２パーティクルセンサ１２２は、作業部１１０に近い位置に取り付けられる。そして、第２パーティクルセンサ１２２は、吸気口８１および配管８２を介することなく、その作業部１１０の周囲のエアを直接的に取り込み、その取り込まれたエアに含まれるパーティクルの数を測定する。第１パーティクルセンサ１２１、第３パーティクルセンサ１２３、および第４パーティクルセンサ１２４のそれぞれも、第２パーティクルセンサ１２２と同様に、そのパーティクルセンサが配置されている作業エリアのエアを取り込んでもよい。
【0122】
また、上記実施の形態では、基板３は液晶パネルであって、その液晶パネルに部品５が仮圧着および本圧着されるが、基板３は液晶パネル以外の基板であってもよい。
【0123】
また、上記実施の形態における部品供給部５０は、ＴＣＰなどのテープから打ち抜かれた部品５を仮圧着部３０に供給するが、トレイなどによってＩＣなどの部品５を仮圧着部３０に供給してもよい。
【0124】
また、上記実施の形態では、部品圧着装置１は、第１エア制御機構１３１、第２エア制御機構１３２、第３エア制御機構１３３、および第４エア制御機構１３４を備えているが、これらのエア制御機構を備えていなくてもよい。
【0125】
また、制御部１５０は、１つまたは複数の電子回路またはプロセッサで構成されてもよい。１つまたは複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。１つまたは複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ（Integrated Circuit）またはＬＳＩ（Large Scale Integration）等が含まれてもよい。ＩＣまたはＬＳＩは、１つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣまたはＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、または、ＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）も同じ目的で使うことができる。
【産業上の利用可能性】
【0126】
本開示は、例えば液晶ディスプレイなどを生産する部品圧着装置に利用可能である。
【符号の説明】
【0127】
１ 部品圧着装置
１ａ、１ｂ 基台
３ 基板
４ 電極部
５ 部品
７ 筐体
２０ 貼着部
２０ａ 第１作業エリア
２１ 基板移動機構
２２ 貼着機構
２３ ステージ
２３ａ 吸着孔
３０ 仮圧着部
３０ａ 第２作業エリア
３１ 基板移動機構
３２ 部品搭載機構
３４ 圧着ツール
３５ 部品移送機構
３６ バックアップステージ
３７ ステージ
３７ａ 吸着孔
４０ 本圧着部
４０ａ 第３作業エリア
４１ 基板移動機構
４２ 圧着機構
４３ 圧着ツール
４６ 圧着支持部
４９ ステージ
４９ａ 吸着孔
５０ 部品供給部
５０ａ 第４作業エリア
５１ 供給リール
５２ 打ち抜き部
５３ 可動ステージ
５４ レール
６１ 移動ベース
６２Ａ 搬送機構
６２Ｂ 搬送機構
６２Ｃ 搬送機構
６３ 基部
６４ アームユニット
７１ 吸気部
７２ 排気部
８１ 吸気口
８２ 配管
１１０ 作業部
１１１ 第１狭域可動部
１１２ 第２狭域可動部
１１３ 第３狭域可動部
１１４ 第４狭域可動部
１２１ 第１パーティクルセンサ
１２２ 第２パーティクルセンサ
１２３ 第３パーティクルセンサ
１２４ 第４パーティクルセンサ
１３１ 第１エア制御機構
１３２ 第２エア制御機構
１３３ 第３エア制御機構
１３４ 第４エア制御機構
１４１ 第１広域可動部
１４２ 第２広域可動部
１４３ 第３広域可動部
１５０ 制御部
１ａ、１ｂ 基台
３ 基板
４ 電極部
５ 部品
７ 筐体
２０ 貼着部
２０ａ 第１作業エリア
２１ 基板移動機構
２２ 貼着機構
２３ ステージ
２３ａ 吸着孔
３０ 仮圧着部
３０ａ 第２作業エリア
３１ 基板移動機構
３２ 部品搭載機構
３４ 圧着ツール
３５ 部品移送機構
３６ バックアップステージ
３７ ステージ
３７ａ 吸着孔
４０ 本圧着部
４０ａ 第３作業エリア
４１ 基板移動機構
４２ 圧着機構
４３ 圧着ツール
４６ 圧着支持部
４９ ステージ
４９ａ 吸着孔
５０ 部品供給部
５０ａ 第４作業エリア
５１ 供給リール
５２ 打ち抜き部
５３ 可動ステージ
５４ レール
６１ 移動ベース
６２Ａ 搬送機構
６２Ｂ 搬送機構
６２Ｃ 搬送機構
６３ 基部
６４ アームユニット
７１ 吸気部
７２ 排気部
８１ 吸気口
８２ 配管
１１０ 作業部
１１１ 第１狭域可動部
１１２ 第２狭域可動部
１１３ 第３狭域可動部
１１４ 第４狭域可動部
１２１ 第１パーティクルセンサ
１２２ 第２パーティクルセンサ
１２３ 第３パーティクルセンサ
１２４ 第４パーティクルセンサ
１３１ 第１エア制御機構
１３２ 第２エア制御機構
１３３ 第３エア制御機構
１３４ 第４エア制御機構
１４１ 第１広域可動部
１４２ 第２広域可動部
１４３ 第３広域可動部
１５０ 制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10A】
【図10B】