特開 2024-137701 熱処理炉および摺動ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024137701

(43)【公開日】2024-10-07

(54)【発明の名称】熱処理炉および摺動ユニット

(51)【国際特許分類】

   F27D 3/02 20060101AFI20240927BHJP

   F27B 9/22 20060101ALI20240927BHJP

【ＦＩ】

F27D3/02

F27B9/22

【審査請求】未請求

【請求項の数】37

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024002402

(22)【出願日】2024-01-11

(31)【優先権主張番号】P 2023045190

(32)【優先日】2023-03-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000004064

【氏名又は名称】日本碍子株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】591076109

【氏名又は名称】エヌジーケイ・キルンテック株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000237868

【氏名又は名称】エヌジーケイ・アドレック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山口 実

(72)【発明者】

【氏名】古宮山 常夫

(72)【発明者】

【氏名】小牧 毅史

(72)【発明者】

【氏名】岩田 晃和

(72)【発明者】

【氏名】成宮 一哉

【テーマコード（参考）】

4K050

4K055

【Ｆターム（参考）】

4K050AA02

4K050CA13

4K050CF03

4K050CG02

4K050CG18

4K050DA03

4K055AA05

4K055AA06

4K055AA07

4K055AA08

4K055CA04

4K055CA09

4K055CA10

4K055DA03

4K055HA12

(57)【要約】

【課題】上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる技術を開示する。
【解決手段】熱処理炉は、搬入口および搬出口を備える炉体と、炉体の内部に配置される下板部材と、下板部材上に配置され、複数の被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で複数の被処理物を載置可能である上板部材と、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれており、下板部材に取り付けられている中間部材と、搬入口から搬出口に向かって前方向に上板部材を押圧するプッシャと、を備えている。上板部材は、下板部材上を前方向に移動する。上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗は、上板部材と下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被処理物を熱処理する熱処理炉であって、
搬入口と、搬出口と、を備える炉体と、
前記炉体の内部に配置される下板部材と、
前記下板部材上に配置され、複数の前記被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で前記複数の被処理物を載置可能である上板部材と、
前記上下方向に前記下板部材と前記上板部材との間に挟まれており、前記下板部材に取り付けられている中間部材と、
前記搬入口から前記搬出口に向かって前方向に前記上板部材を押圧するプッシャと、を備えており、
前記上板部材は、前記下板部材上を前記前方向に移動し、
前記上板部材と前記中間部材との間に作用する摺動抵抗は、前記上板部材と前記下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい、熱処理炉。

【請求項2】

前記上板部材に対する前記中間部材の動摩擦係数は、０．５以下である、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項3】

前記下板部材は、
前記上板部材と対向する第１対向面と、
前記第１対向面から凹む凹部と、を備えており、
前記中間部材は、
前記凹部に受け入れられる被受入部と、
前記第１対向面よりも前記上板部材側に突出している突出部と、を備えている、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項4】

前記突出部は、後端の角部に配置されている面取り部を備えている、請求項３に記載の熱処理炉。

【請求項5】

前記面取り部の前記前方向における長さは、前記面取り部の前記上下方向における長さの３倍以上かつ２０倍以下である、請求項４に記載の熱処理炉。

【請求項6】

前記被受入部の前記前方向における長さは、前記凹部の前記前方向における長さよりも小さい、請求項３に記載の熱処理炉。

【請求項7】

前記凹部の前記前方向における前記長さから前記被受入部の前記前方向における前記長さを減算した長さは、前記凹部の前記前方向における前記長さの２％以下である、請求項６に記載の熱処理炉。

【請求項8】

前記突出部は、前記上板部材と対向する第２対向面を備えており、
前記第２対向面の算術平均粗さは、１０マイクロメートル以下である、請求項３に記載の熱処理炉。

【請求項9】

前記中間部材の気孔率は、１％以下である、請求項１から８のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項10】

前記中間部材の前記気孔率は、前記上板部材の気孔率と前記下板部材の気孔率のそれぞれよりも小さい、請求項９に記載の熱処理炉。

【請求項11】

前記中間部材の曲げ強度は、１５０ＭＰａ以上かつ４００ＭＰａ以下である、請求項１０に記載の熱処理炉。

【請求項12】

前記上下方向に前記下板部材と前記上板部材との間に挟まれている複数の前記中間部材を備えており、
前記複数の中間部材は、前記前方向に並んでいる、請求項１から８のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項13】

前記中間部材は、遷移金属または貧金属を含むセラミックスからなる、請求項１から８のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項14】

前記セラミックスは、前記遷移金属を含む非酸化物系セラミックスを備える、請求項１３に記載の熱処理炉。

【請求項15】

前記非酸化物系セラミックスは、ＴｉＢ_２、ＴｉＣＮ、またはＭｏＳｉ_２である、請求項１４に記載の熱処理炉。

【請求項16】

前記セラミックスは、前記遷移金属または前記貧金属を含む酸化物系セラミックスを備える、請求項１３に記載の熱処理炉。

【請求項17】

前記酸化物系セラミックスは、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、またはＡｌ_６Ｏ_１３Ｓｉ_２である、請求項１６に記載の熱処理炉。

【請求項18】

被処理物を熱処理する熱処理炉であって、
搬入口と、搬出口と、を備える炉体と、
前記炉体の内部に配置される下板部材と、
前記下板部材上に配置され、複数の前記被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で前記複数の被処理物を載置可能である上板部材と、
前記上下方向に前記下板部材と前記上板部材との間に挟まれており、前記上板部材に取り付けられている中間部材と、
前記搬入口から前記搬出口に向かって前方向に前記上板部材を押圧するプッシャと、を備えており、
前記上板部材は、前記下板部材上を前記前方向に移動し、
前記下板部材と前記中間部材との間に作用する摺動抵抗は、前記下板部材と前記上板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい、熱処理炉。

【請求項19】

前記下板部材に対する前記中間部材の動摩擦係数は、０．５以下である、請求項１８に記載の熱処理炉。

【請求項20】

前記上板部材は、
前記下板部材と対向する第１対向面と、
前記第１対向面から凹む凹部と、を備えており、
前記中間部材は、
前記凹部に受け入れられる被受入部と、
前記第１対向面よりも前記下板部材側に突出している突出部と、を備えている、請求項１８に記載の熱処理炉。

【請求項21】

前記突出部は、前端の角部に配置されている面取り部を備えている、請求項２０に記載の熱処理炉。

【請求項22】

前記面取り部の前記前方向における長さは、前記面取り部の前記上下方向における長さの３倍以上かつ２０倍以下である、請求項２１に記載の熱処理炉。

【請求項23】

前記被受入部の前記前方向における長さは、前記凹部の前記前方向における長さよりも小さい、請求項２０に記載の熱処理炉。

【請求項24】

前記凹部の前記前方向における前記長さから前記被受入部の前記前方向における前記長さを減算した長さは、前記凹部の前記前方向における前記長さの２％以下である、請求項２３に記載の熱処理炉。

【請求項25】

前記突出部は、前記下板部材と対向する第２対向面を備えており、
前記第２対向面の算術平均粗さは、１０マイクロメートル以下である、請求項２０に記載の熱処理炉。

【請求項26】

前記中間部材は、接着剤を介して前記上板部材に取り付けられている、請求項１８から２５のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項27】

前記中間部材の気孔率は、１％以下である、請求項１８から２５のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項28】

前記中間部材の前記気孔率は、前記上板部材の気孔率と前記下板部材の気孔率のそれぞれよりも小さい、請求項２７に記載の熱処理炉。

【請求項29】

前記中間部材の曲げ強度は、１５０ＭＰａ以上かつ４００ＭＰａ以下である、請求項２８に記載の熱処理炉。

【請求項30】

前記上下方向に前記下板部材と前記上板部材との間に挟まれている複数の前記中間部材を備えており、
前記複数の中間部材は、前記前方向に並んでいる、請求項１８から２５のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項31】

前記中間部材は、遷移金属または貧金属を含むセラミックスからなる、請求項１８から２５のいずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項32】

前記セラミックスは、前記遷移金属を含む非酸化物系セラミックスを備える、請求項３１に記載の熱処理炉。

【請求項33】

前記非酸化物系セラミックスは、ＴｉＢ_２、ＴｉＣＮ、またはＭｏＳｉ_２である、請求項３２に記載の熱処理炉。

【請求項34】

前記セラミックスは、前記遷移金属または前記貧金属を含む酸化物系セラミックスを備える、請求項３１に記載の熱処理炉。

【請求項35】

前記酸化物系セラミックスは、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、またはＡｌ_６Ｏ_１３Ｓｉ_２である、請求項３４に記載の熱処理炉。

【請求項36】

高温条件下で使用される摺動ユニットであって、
下板部材と、
前記下板部材上に配置されている上板部材と、
上下方向に前記下板部材と前記上板部材との間に挟まれており、前記下板部材に取り付けられている中間部材と、を備えており、
前記上板部材は、前記下板部材上を前方向に移動し、
前記上板部材と前記中間部材との間に作用する摺動抵抗は、前記上板部材と前記下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい、摺動ユニット。

【請求項37】

高温条件下で使用される摺動ユニットであって、
下板部材と、
前記下板部材上に配置されている上板部材と、
上下方向に前記下板部材と前記上板部材との間に挟まれており、前記上板部材に取り付けられている中間部材と、を備えており、
前記上板部材は、前記下板部材上を前方向に移動し、
前記下板部材と前記中間部材との間に作用する摺動抵抗は、前記下板部材と前記上板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい、摺動ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書に開示する技術は、熱処理炉および摺動ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、被処理物を熱処理する熱処理炉が開示されている。この熱処理炉では、複数の被処理物が、上下方向に積み重ねられた状態で上板部材に載置されている。上板部材は、複数の被処理物が載置された状態でプッシャにより押圧されることにより、炉体の内部を搬送口から搬出口に向かって前方向に移動する。上板部材は、炉体の内部を移動しているとき、下板部材上を移動する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特表２０２０－５３５３７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のような熱処理炉では、上板部材が下板部材上を移動しやすいことが望まれる。

【0005】

本明細書は、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる技術を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書に開示する技術の第１の態様では、熱処理炉は、被処理物を熱処理する。熱処理炉は、搬入口および搬出口を備える炉体と、炉体の内部に配置される下板部材と、下板部材上に配置され、複数の被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で複数の被処理物を載置可能である上板部材と、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれており、下板部材に取り付けられている中間部材と、搬入口から搬出口に向かって前方向に上板部材を押圧するプッシャと、を備えている。上板部材は、下板部材上を前方向に移動する。上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗は、上板部材と下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。

【0007】

上記の構成によれば、上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗が上板部材と下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さいため、熱処理炉が中間部材を備えていない構成と比較して、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0008】

また、本明細書に開示する技術の第１８の態様では、熱処理炉は、被処理物を熱処理する。熱処理炉は、搬入口および搬出口を備える炉体と、炉体の内部に配置される下板部材と、下板部材上に配置され、複数の被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で複数の被処理物を載置可能である上板部材と、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれており、上板部材に取り付けられている中間部材と、搬入口から搬出口に向かって前方向に上板部材を押圧するプッシャと、を備えている。上板部材は、下板部材上を前方向に移動する。下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗は、下板部材と上板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。

【0009】

上記の構成によれば、下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗が下板部材と上板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さいため、熱処理炉が中間部材を備えていない構成と比較して、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0010】

また、本明細書に開示する技術の第３６の態様では、摺動ユニットは、高温条件下で使用される。摺動ユニットは、下板部材と、下板部材上に配置されている上板部材と、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれており、下板部材に取り付けられている中間部材と、を備えている。上板部材は、下板部材上を前方向に移動する。上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗は、上板部材と下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。

【0011】

上記の構成によれば、上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗が上板部材と下板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さいため、摺動ユニットが中間部材を備えていない構成と比較して、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0012】

また、本明細書に開示する技術の第３７の態様では、摺動ユニットは、高温条件下で使用される。摺動ユニットは、下板部材と、下板部材上に配置されている上板部材と、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれており、上板部材に取り付けられている中間部材と、を備えている。上板部材は、下板部材上を前方向に移動する。下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗は、下板部材と上板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。

【0013】

上記の構成によれば、下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗が下板部材と上板部材との間に作用する摺動抵抗よりも小さいため、摺動ユニットが中間部材を備えていない構成と比較して、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１実施例の熱処理炉の概略断面図である。

【図2】図１のII－II線における熱処理炉の概略断面図である。

【図3】第１実施例の被処理物と摺動ユニットの側面図である。

【図4】第１実施例の摺動ユニットの断面図である。

【図5】第１実施例の摺動ユニットの上面図である。

【図6】第１実施例の変形例の摺動ユニットの上面図である。

【図7】第１実施例の摺動ユニットの拡大断面図である。

【図8】第１実施例の変形例の摺動ユニットの断面図である。

【図9】第１実施例の変形例の下板部材と中間部材の断面図である。

【図10】第１実施例の変形例の下板部材と中間部材の断面図である。

【図11】第１実施例の変形例の摺動ユニットの上面図である。

【図12】第２実施例の摺動ユニットの断面図である。

【図13】第２実施例の上板部材と中間部材の下面図である。

【図14】第２実施例の摺動ユニットの拡大断面図である。

【図15】第３実施例の摺動ユニットの上面図である。

【図16】第３実施例の変形例の摺動ユニットの上面図である。

【図17】第４実施例の上板部材と中間部材の下面図である。

【図18】第４実施例の変形例の上板部材と中間部材の下面図である。

【図19】第５実施例の摺動ユニットの上面図である。

【図20】第５実施例の変形例の摺動ユニットの上面図である。

【0015】

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。

【0016】

本明細書に開示する技術の第２の態様では、上記の第１の態様において、上板部材に対する中間部材の動摩擦係数は、０．５以下である。上記の構成によれば、上板部材が下板部材をより移動し易くすることができる。

【0017】

本明細書に開示する技術の第３の態様では、上記の第１または第２の態様において、下板部材は、上板部材と対向する第１対向面と、第１対向面から凹む凹部と、を備えている。中間部材は、凹部に受け入れられる被受入部と、第１対向面よりも上板部材側に突出している突出部と、を備えている。上記の構成によれば、簡素な構成により、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0018】

本明細書に開示する技術の第４の態様では、上記の第３の態様において、突出部は、後端の角部に配置されている面取り部を備えている。上記の構成によれば、上板部材は、突出部の後端から前端に向かって下板部材上を移動する。面取り部が突出部の後端に配置されているため、上板部材が突出部の後端に引っかかることを抑制することができる。これにより、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0019】

本明細書に開示する技術の第５の態様では、上記の第４の態様において、面取り部の前方向における長さは、面取り部の上下方向における長さの３倍以上かつ２０倍以下である。上記の構成によれば、上板部材が突出部の後端に引っかかることをより抑制することができる。これにより、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0020】

本明細書に開示する技術の第６の態様では、上記の第３から第５の態様のいずれか１つにおいて、被受入部の前方向における長さは、凹部の前方向における長さよりも小さい。被受入部の前方向における長さが凹部の前方向における長さと同一である構成では、中間部材の熱膨張率が下板部材の熱膨張率よりも大きいとき、中間部材が下板部材と比較して大きく膨張しようとしても、下板部材は中間部材と同様には前後方向に膨張することができない。これにより、中間部材の被受入部と下板部材の凹部との間に熱応力が発生し、中間部材と下板部材が破損することがある。上記の構成によれば、中間部材は下板部材よりも大きく膨張することができ、中間部材と下板部材との間に発生する熱応力を小さくすることができる。これにより、中間部材と下板部材が破損することを抑制することができる。

【0021】

本明細書に開示する技術の第７の態様では、上記の第６の態様において、凹部の前方向における長さから被受入部の前方向における長さを減算した長さは、凹部の前方向における長さの２％以下である。凹部の前方向における長さから被受入部の前方向における長さを減算した長さが凹部の前方向における長さの２％よりも大きい構成では、中間部材の膨張に伴う中間部材の破損を抑制することができる。一方、凹部に比較的に大きな隙間が形成されていると、中間部材の前方向における長さを比較的に短く設定したことになる。荷重を受ける中間部材の面積が小さくなることにより、中間部材が摩耗し易くなる。上記の構成によれば、中間部材の膨張に伴う中間部材の破損を抑制しつつ、凹部の前方向における長さから被受入部の前方向における長さを減算した長さが凹部の前方向における長さの２％よりも大きい構成と比較して、中間部材が摩耗することを抑制することができる。

【0022】

本明細書に開示する技術の第８の態様では、上記の第３から第７の態様のいずれか１つにおいて、突出部は、上板部材と対向する第２対向面を備えている。第２対向面の算術平均粗さは、１０マイクロメートル以下である。上記の構成によれば、上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗をより小さくすることができる。これにより、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0023】

本明細書に開示する技術の第９の態様では、上記の第１から第８の態様のいずれか１つにおいて、中間部材の気孔率は、１％以下である。上記の構成によれば、中間部材の気孔率が１％以下であることにより、中間部材の表面に気孔が形成され難くなる。このため、中間部材の表面が平滑な状態に維持される。これにより、上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗をより小さくすることができる。

【0024】

本明細書に開示する技術の第１０の態様では、上記の第９の態様において、中間部材の気孔率は、上板部材の気孔率と下板部材の気孔率のそれぞれよりも小さい。上記の構成によれば、上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗をより小さくすることができ、中間部材が摩耗することを抑制することができる。

【0025】

本明細書に開示する技術の第１１の態様では、上記の第１０の態様において、中間部材の曲げ強度は、１５０ＭＰａ以上かつ４００ＭＰａ以下である。上記の構成によれば、上板部材の重量により、中間部材が破損することを抑制することができる。

【0026】

本明細書に開示する技術の第１２の態様では、上記の第１から第１１の態様のいずれか１つにおいて、熱処理炉は、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれている複数の前記中間部材を備えている。複数の中間部材は、前方向に並んでいる。上記の構成によれば、１個の細長い中間部材が使用される場合と比較して、中間部材に作用する曲げ応力を小さくすることができる。

【0027】

本明細書に開示する技術の第１３の態様では、上記の第１から第１２の態様のいずれか１つにおいて、中間部材は、遷移金属または貧金属を含むセラミックスからなる。上記の構成によれば、中間部材がセラミックス以外である構成と比較して、中間部材の耐熱性が高い。これにより、高温条件下で使用される熱処理炉において、中間部材が熱により破損することを抑制することができる。

【0028】

本明細書に開示する技術の第１４の態様では、上記の第１３の態様において、セラミックスは、遷移金属を含む非酸化物系セラミックスを備える。上記の構成によれば、中間部材が熱により破損することを抑制しつつ、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0029】

本明細書に開示する技術の第１５の態様では、上記の第１４の態様において、非酸化物系セラミックスは、ＴｉＢ_２、ＴｉＣＮ、またはＭｏＳｉ_２である。上記の構成によれば、中間部材の硬度を高くすることができるとともに、中間部材が熱により破損することをより抑制することができる。また、中間部材の摩擦係数を小さくすることができ、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0030】

本明細書に開示する技術の第１６の態様では、上記の第１３の態様において、セラミックスは、遷移金属または貧金属を含む酸化物系セラミックスを備える。上記の構成によれば、中間部材の硬度を高くすることができるとともに、中間部材が熱により破損することを抑制することができる。また、中間部材の動摩擦係数を小さくすることができ、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0031】

本明細書に開示する技術の第１７の態様では、上記の第１６の態様において、酸化物系セラミックスは、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、またはＡｌ_６Ｏ_１３Ｓｉ_２である。上記の構成によれば、中間部材の硬度をより高くすることができるとともに、中間部材が熱により破損することをより抑制することができる。また、上板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗を小さくすることができ、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0032】

本明細書に開示する技術の第１９の態様では、上記の第１８の態様において、下板部材に対する中間部材の動摩擦係数は、０．５以下である。上記の構成によれば、上板部材が下板部材をより移動し易くすることができる。

【0033】

本明細書に開示する技術の第２０の態様では、上記の第１８または第１９の態様において、上板部材は、下板部材と対向する第１対向面と、第１対向面から凹む凹部と、を備えている。中間部材は、凹部に受け入れられる被受入部と、第１対向面よりも下板部材側に突出している突出部と、を備えている。上記の構成によれば、簡素な構成により、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0034】

本明細書に開示する技術の第２１の態様では、上記の第２０の態様において、突出部は、前端の角部に配置されている面取り部を備えている。上記の構成によれば、上板部材は、下板部材が突出部の前端から後端に向かって移動するように、下板部材上を移動する。面取り部が突出部の前端に配置されているため、下板部材が突出部の前端に引っかかることを抑制することができる。これにより、上板部材が下板部材上を移動し易くすることができる。

【0035】

本明細書に開示する技術の第２２の態様では、上記の第２１の態様において、面取り部の前方向における長さは、面取り部の上下方向における長さの３倍以上かつ２０倍以下である。上記の構成によれば、下板部材が突出部の前端に引っかかることをより抑制することができる。これにより、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0036】

本明細書に開示する技術の第２３の態様では、上記の第２０から第２２の態様のいずれか１つにおいて、被受入部の前方向における長さは、凹部の前方向における長さよりも小さい。被受入部の前方向における長さが凹部の前方向における長さと同一である構成では、中間部材の熱膨張率が上板部材の熱膨張率よりも大きいとき、中間部材が上板部材と比較して大きく膨張しようとしても、上板部材は中間部材と同様には前後方向に膨張することができない。これにより、中間部材の被受入部と上板部材の凹部との間に熱応力が発生し、中間部材と上板部材が破損することがある。上記の構成によれば、中間部材は、上板部材よりも大きく膨張することができ、中間部材と上板部材との間に発生する熱応力を小さくすることができる。これにより、中間部材と上板部材が破損することを抑制することができる。

【0037】

本明細書に開示する技術の第２４の態様では、上記の第２３の態様において、凹部の前方向における長さから被受入部の前方向における長さを減算した長さは、凹部の前方向における長さの２％以下である。上記の構成によれば、凹部の前方向における長さから被受入部の前方向における長さを減算した長さが凹部の前方向における長さの２％よりも大きい構成では、中間部材の膨張に伴う中間部材の破損を抑制することができる。一方、凹部に比較的に大きな隙間が形成されていると、中間部材の前方向における長さを比較的に短く設定したことになる。荷重を受ける中間部材の面積が小さくなることにより、中間部材が摩耗し易くなる。上記の構成によれば、中間部材の膨張に伴う中間部材の破損を抑制しつつ、凹部の前方向における長さから被受入部の前方向における長さを減算した長さが凹部の前方向における長さの２％よりも大きい構成と比較して、中間部材が摩耗することを抑制することができる。

【0038】

本明細書に開示する技術の第２５の態様では、上記の第２０から第２４の態様のいずれか１つにおいて、突出部は、下板部材と対向する第２対向面を備えている。第２対向面の算術平均粗さは、１０マイクロメートル以下である。上記の構成によれば、下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗をより小さくすることができる。これにより、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0039】

本明細書に開示する技術の第２６の態様では、上記の第１８から第２５の態様のいずれか１つにおいて、中間部材は、接着剤を介して上板部材に取り付けられている。上記の構成によれば、簡素な構成により、中間部材を上板部材に取り付けることができる。

【0040】

本明細書に開示する技術の第２７の態様では、上記の第１８から第２６の態様のいずれか１つにおいて、中間部材の気孔率は、１％以下である。上記の構成によれば、第９の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0041】

本明細書に開示する技術の第２８の態様では、上記の第２７の態様において、中間部材の気孔率は、上板部材の気孔率と下板部材の気孔率のそれぞれよりも小さい。上記の構成によれば、下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗をより小さくすることができ、中間部材が摩耗することを抑制することができる。

【0042】

本明細書に開示する技術の第２９の態様では、上記の第２８の態様において、中間部材の曲げ強度は、１５０ＭＰａ以上かつ４００ＭＰａ以下である。上記の構成によれば、第１１の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0043】

本明細書に開示する技術の第３０の態様では、上記の第１８から第２９の態様のいずれか１つにおいて、熱処理炉は、上下方向に下板部材と上板部材との間に挟まれている複数の中間部材を備えている。複数の中間部材は、前方向に並んでいる。上記の構成によれば、第１２の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0044】

本明細書に開示する技術の第３１の態様では、上記の第１８から第３０の態様のいずれか１つにおいて、中間部材は、遷移金属または貧金属を含むセラミックスからなる。上記の構成によれば、第１３の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0045】

本明細書に開示する技術の第３２の態様では、上記の第３１の態様において、セラミックスは、遷移金属を含む非酸化物系セラミックスを備える。上記の構成によれば、第１４の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0046】

本明細書に開示する技術の第３３の態様では、上記の第３２の態様において、非酸化物系セラミックスは、ＴｉＢ_２、ＴｉＣＮ、またはＭｏＳｉ_２である。上記の構成によれば、第１５の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0047】

本明細書に開示する技術の第３４の態様では、上記の第３１の態様において、セラミックスは、遷移金属または貧金属を含む酸化物系セラミックスを備える。上記の構成によれば、第１６の態様による効果と同様の効果を奏することができる。

【0048】

本明細書に開示する技術の第３５の態様では、上記の第３４の態様において、酸化物系セラミックスは、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、またはＡｌ_６Ｏ_１３Ｓｉ_２である。上記の構成によれば、中間部材の硬度をより高くすることができるとともに、中間部材が熱により破損することをより抑制することができる。また、下板部材と中間部材との間に作用する摺動抵抗を小さくすることができ、上板部材が下板部材上をより移動し易くすることができる。

【0049】

（第１実施例）
図１に示す第１実施例の熱処理炉１０は、被処理物２を熱処理する。被処理物２は、匣鉢４と被処理物本体（図示省略）とを含む。匣鉢４は、略直方体形状の箱形状を有する。被処理物本体は、匣鉢４に収容されている。被処理物本体は、例えば、セラミックコンデンサの原料、および、リチウムイオン電池の正極材と負極材である。以下では、熱処理炉１０の長手方向を前後方向と呼び、前後方向に直交する方向を左右方向と呼び、前後方向と左右方向に直交する方向を上下方向と呼ぶ。

【0050】

熱処理炉１０は、炉体１２と、複数のヒータ１４と、摺動ユニット１６と、プッシャ１８と、搬送ローラ２０と、を備えている。

【0051】

炉体１２は、前後方向に延びる略直方体形状の断熱構造体である。炉体１２は、天井壁２４と、底壁２６と、炉入口壁２８と、炉出口壁３０と、側壁３２、３４と、を備えている。天井壁２４と、底壁２６と、炉入口壁２８と、炉出口壁３０と、側壁３２、３４は、炉体１２の内部空間３６を画定している。天井壁２４と底壁２６は、前後方向に延びている。天井壁２４は、底壁２６よりも上側に配置されている。炉入口壁２８は、天井壁２４の後端と底壁２６の後端に接続されている。炉入口壁２８は、炉入口壁２８を前後方向に貫通する搬入口２８ａを有する。内部空間３６は、搬入口２８ａを介して炉体１２の外部と連通している。炉出口壁３０は、天井壁２４の前端と底壁２６の前端に接続されている。炉出口壁３０は、炉出口壁３０を前後方向に貫通する搬出口３０ａを有する。内部空間３６は、搬出口３０ａを介して炉体１２の外部と連通している。搬出口３０ａは、搬入口２８ａと前後方向に対向している。図２に示すように、側壁３２、３４は、左右方向に離れて配置されている。側壁３２、３４は、天井壁２４と、底壁２６と、炉入口壁２８（図１参照）と、炉出口壁３０（図１参照）に接続されている。

【0052】

図１に示すように、炉体１２は、複数の隔壁４０をさらに備えている。複数の隔壁４０は、前後方向に並んでいる。複数の隔壁４０は、天井壁２４から下方向に延びている。複数の隔壁４０は、内部空間３６を複数の空間に分割している。

【0053】

内部空間３６は、熱処理空間４２と、冷却空間４４と、を備えている。熱処理空間４２は、天井壁２４と、底壁２６と、炉入口壁２８と、側壁３２、３４と、冷却空間４４との境界に配置される隔壁４０により画定されている。熱処理空間４２は、炉体１２の後部に配置されている。熱処理空間４２には、複数のヒータ１４が配置されている。複数のヒータ１４は、前後方向に並んで配置されている。複数のヒータ１４が発熱すると、熱処理空間４２が加熱される。これにより、熱処理空間４２内の被処理物２が加熱される。熱処理空間４２の温度は、例えば、５００度以上、好ましくは６００度以上、より好ましくは７００度以上である。また、熱処理空間４２の温度は、例えば、１５００度以下、好ましくは１４００度以下、より好ましくは１３００度以下である。

【0054】

冷却空間４４は、炉体１２の前部に配置されている。冷却空間４４は、天井壁２４と、底壁２６と、炉出口壁３０と、側壁３２、３４と、熱処理空間４２との境界に配置される隔壁４０により画定されている。冷却空間４４には、冷却パイプ（図示省略）が配置されている。水または空気が冷却パイプ内を循環することにより、冷却空間４４が冷却される。これにより、冷却空間４４内の被処理物２が冷却される。

【0055】

摺動ユニット１６は、複数の被処理物２といった重量物を高温条件下で搬送する（摺動する）ときに摺動抵抗を小さくするために使用される。摺動ユニット１６は、複数の下板部材５０と、複数のガイド部材５２（図２参照）と、複数の上板部材５４と、複数の中間部材５６（図３参照）と、を備えている。複数の下板部材５０は、熱処理空間４２に配置されている。下板部材５０は、前後方向に延びる板形状を有している。下板部材５０は、セラミックスからなる。複数の下板部材５０は、前後方向に並んで配置されている。図３に示すように、複数の下板部材５０は、左右方向にも並んで配置されている。下板部材５０は、上面６０を備えている。下板部材５０は、上面６０が上下方向に直交するように、即ち、前後方向と左右方向に沿う平面上に位置するように配置されている。複数の下板部材５０は、上面６０が同一平面上に位置するように配置されている。

【0056】

ガイド部材５２は、前後方向に延びる略直方体形状を有する。ガイド部材５２は、セラミックスからなる。図２に示すように、複数のガイド部材５２は、左右方向に離れて配置されている。本実施例では、左右方向に隣接するガイド部材５２の間には、６個の下板部材５０が配置されている。ガイド部材５２は、上面６２を備えている。ガイド部材５２は、上面６２が上下方向に直交するように配置されている。複数のガイド部材５２は、上面６２が同一平面上に位置するように配置されている。ガイド部材５２の上面６２は、下板部材５０の上面６０よりも上側に配置されている。

【0057】

上板部材５４は、搬送板に対応する。上板部材５４は、平板形状を有している。上板部材５４は、セラミックスからなる。上板部材５４は、上面６４を備えている。上板部材５４は、上面６４に複数の被処理物２を載置可能である。上板部材５４は、上面６４の単位面積１ｍ^２あたりに、６００ｋｇ以上の被処理物２を載置可能である。複数の（本実施例では６個の）被処理物２は、上面６４に上下方向に積み重ねられている。また、図３に示すように、複数の被処理物２は、１個の上板部材５４の上面６４に左右方向に複数列に（本実施例では２列に）並んでいる。変形例では、複数の被処理物２は、１個の上板部材５４の上面６４に前後方向に複数列に並んでいてもよい。複数の被処理物２は、上面６４に載置されている。

【0058】

上板部材５４は、下板部材５０上に配置されている。上板部材５４は、下板部材５０の上面６０と上下方向に対向している。上板部材５４は、中間部材５６を介して下板部材５０に支持されている。複数の（本実施例では２個）上板部材５４は、左右方向に隣接するガイド部材５２の間に配置されている。２個の上板部材５４の左右方向の幅の合計は、左右方向に隣接するガイド部材５２の間の間隔よりも僅かに小さい。２個の上板部材５４において、一方の上板部材５４は、一方のガイド部材５２に右側から当接しており、他方の上板部材５４は、他方のガイド部材５２に左側から当接している。上板部材５４は、プッシャ１８（図１参照）に押圧されることにより、炉体１２の内部空間３６を前方向に移動する。上板部材５４が熱処理空間４２内を移動するときには、被処理物２は、熱処理される。また、上板部材５４が冷却空間４４内を移動するときには、被処理物２は、冷却される。上板部材５４は、ガイド部材５２により前方向に案内されながら、下板部材５０上を移動する。

【0059】

図３に示すように、中間部材５６は、上下方向に下板部材５０と上板部材５４との間に挟まれている。中間部材５６は、略直方体形状を有する。中間部材５６は、下板部材５０に取り付けられている。中間部材５６は、下板部材５０に支持されている。上板部材５４は、中間部材５６と接触しながら下板部材５０上を移動する。

【0060】

図１に示すように、プッシャ１８は、搬入口２８ａの近傍において、熱処理炉１０の外部に配置されている。プッシャ１８は、上板部材５４を前方向に押圧するように構成されている。本実施例では、プッシャ１８は、左右方向に並ぶ６個の上板部材５４を同時に前方向に押圧する。これにより、６個の上板部材５４は、搬入口２８ａから内部空間３６内に移動し、内部空間３６内の複数の上板部材５４は、６個の上板部材５４の移動により前方向に押し出される。プッシャ１８による上板部材５４の押圧が繰り返されることにより、上板部材５４は、搬入口２８ａから内部空間３６内に搬入され、熱処理空間４２と冷却空間４４を順番に通過した後、搬出口３０ａから炉体１２の外部に搬出される。なお、プッシャ１８の構成はよく知られているため、その詳細な構成の説明は省略する。

【0061】

複数の搬送ローラ２０は、冷却空間４４に配置されている。搬送ローラ２０は、例えば、金属材料またはセラミックスからなる。複数の搬送ローラ２０は、前後方向に間隔を有して配置されている。搬送ローラ２０の両端は、回転可能に側壁３２、３４に支持されている。複数の搬送ローラ２０は、プッシャ１８により上板部材５４が前方向に押圧されると、上板部材５４との間に作用する摩擦により回転する。上板部材５４は、冷却空間４４内で、複数の搬送ローラ２０上を前方向に移動する。

【0062】

図４に示すように、１個の下板部材５０は、複数の（本実施例では３個の）凹部７０を備えている。凹部７０は、下板部材５０の上面６０から下方向に凹んでいる。３個の凹部７０は、前後方向に離れて配置されている。３個の凹部７０は、前後方向に一列に並んでいる。下板部材５０を前後方向と上下方向に沿う平面で切断したとき、凹部７０は、前後方向に延びる略長方形状を有する。また、図５に示すように、最も前側に位置する凹部７０は、下板部材５０の前面から離れており、最も後側に位置する凹部７０は、下板部材５０の後面から離れている。最も前側に位置する凹部７０と下板部材５０の前面との間の長さと、最も後側に位置する凹部７０と下板部材５０の後面との間の長さのそれぞれは、５ｍｍ以上、好ましくは１０ｍｍ以上である。また、凹部７０は、下板部材５０の左面と右面のそれぞれから離れている。凹部７０と下板部材５０の左面との間の長さと、凹部７０と下板部材５０の右面との間の長さのそれぞれは、例えば、５ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下である。下板部材５０を下方向に見たとき、凹部７０は、前後方向に延びる略長方形状を有する。複数の凹部７０の前後方向の幅の合計は、例えば、下板部材５０の前後方向の幅の５０％以上かつ９５％以下である。なお、前後方向に並ぶ凹部７０の個数は、３個に限られず、例えば、２個であってもよく、４個以上であってもよい。また、変形例では、図６に示すように、１個の下板部材５０は、１個の凹部７０のみを備えていてもよい。このとき、凹部７０は、前後方向に細長い形状を有している。また、凹部７０の前後方向の幅は、下板部材５０の前後方向の幅よりも僅かに短い。

【0063】

図４に示すように、複数の（本実施例では３個の）中間部材５６が、１個の下板部材５０に取り付けられている。下板部材５０に取り付けられる中間部材５６の個数は、１個の下板部材５０が備えている凹部７０の個数と同一である。中間部材５６は、凹部７０内で下板部材５０に支持されている。３個の中間部材５６は、前後方向に一列に並んでいる。複数の中間部材５６の前後方向の幅の合計は、例えば、下板部材５０の前後方向の幅の５０％以上かつ９５％以下である。なお、前後方向に並ぶ中間部材５６の個数は、３個に限られず、例えば、２個であってもよく、４個以上であってもよい。また、変形例では、図６に示すように、１個の中間部材５６のみが１個の下板部材５０に取り付けられていてもよい。このとき、中間部材５６は、前後方向に細長い板形状を有している。また、中間部材５６の前後方向の幅は、下板部材５０の前後方向の幅よりも僅かに短い。

【0064】

中間部材５６は、セラミックスからなる。中間部材５６のセラミックスの種類は、下板部材５０のセラミックスの種類と、上板部材５４のセラミックスの種類のそれぞれと異なる。中間部材５６のセラミックスは、遷移金属または貧金属を含む。中間部材５６のセラミックスは、例えば、遷移金属を含む非酸化物系セラミックスを備えている。遷移金属を含む非酸化物系セラミックスは、例えば、ＴｉＢ_２、ＴｉＣＮ、またはＭｏＳｉ_２である。また、中間部材５６のセラミックスは、例えば、遷移金属または貧金属を含む酸化物系セラミックスを備えている。遷移金属または貧金属を含む酸化物系セラミックスは、例えば、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、またはＡｌ_６Ｏ_１３Ｓｉ_２である。これにより、中間部材５６の硬度を高くすることができる。また、中間部材５６の耐熱性と耐摩耗性を維持しつつ、上板部材５４と中間部材５６との間に作用する摺動抵抗を低くすることができる。

【0065】

中間部材５６の気孔率は、下板部材５０の気孔率と上板部材５４の気孔率のそれぞれよりも小さい。本明細書では、気孔率とは、見かけ気孔率のことをいう。見かけ気孔率は、部材の外部と連通する孔の合計の体積を、孔を含む部材の体積で除算した値に、１００を乗算することにより算出される。また、中間部材５６の気孔率は、例えば、１％以下、好ましくは０．５％以下、より好ましくは０．１％以下である。これにより、中間部材５６の表面に気孔が形成され難くなり、中間部材５６の表面を平滑な状態に維持することができる。また、中間部材５６の強度を高めることができる。

【0066】

中間部材５６の曲げ強度は、下板部材５０の曲げ強度と上板部材５４の曲げ強度よりも大きい。本明細書では、曲げ強度は、４点曲げ強度のことをいう。部材の４点曲げ強度は、部材の両端近傍を下側から支持した状態で、部材の中央近傍の２箇所を上側から下方向に押圧し、部材が破損したときの荷重を用いて算出される。中間部材５６の曲げ強度は、例えば、１５０ＭＰａ（１５０×１０^６Ｎ／ｍ^２）以上、好ましくは２００ＭＰａ（２００×１０^６Ｎ／ｍ^２）以上、より好ましくは、２５０ＭＰａ（２５０×１０^６Ｎ／ｍ^２）以上である。また、中間部材５６の曲げ強度は、例えば、４００ＭＰａ（４００×１０^６Ｎ／ｍ^２）以下であり、好ましくは３５０ＭＰａ（３５０×１０^６Ｎ／ｍ^２）以下であり、より好ましくは３００ＭＰａ（３００×１０^６Ｎ／ｍ^２）以下である。これにより、中間部材５６が上板部材５４の重量と上板部材５４上に載置される複数の被処理物２の重量により破損することを抑制することができる。例えば、中間部材５６の曲げ強度は、１５０ＭＰａ以上かつ４００ＭＰａ以下であり、２００ＭＰａ以上かつ３５０ＭＰａ以下であり、２５０ＭＰａ以上かつ３００ＭＰａ以下である。

【0067】

図７に示すように、中間部材５６は、被受入部７４と、突出部７６と、を備えている。被受入部７４は、凹部７０に受け入れられている。被受入部７４は、凹部７０内に配置されている。被受入部７４は、凹部７０の形状に対応する形状を有する。被受入部７４の上下方向の長さは、例えば、５ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下である。被受入部７４の前後方向の長さＬ１は、凹部７０の前後方向の長さＬ２よりも短い。このため、前後方向において、凹部７０内には、空隙７８が形成される。空隙７８が形成されることにより、中間部材５６の熱膨張率が下板部材５０の熱膨張率よりも大きいときでも、被受入部７４が凹部７０内で下板部材５０よりも大きく前後方向に熱膨張することができる。この結果、中間部材５６が熱膨張により下板部材５０に押し付けられることを抑制することができ、中間部材５６と下板部材５０との間に発生する熱応力を小さくすることができる。これにより、中間部材５６と下板部材５０が破損することを抑制することができる。空隙７８の前後方向の長さＬ３は、長さＬ１から長さＬ２を減算した値と同一である。長さＬ３は、長さＬ２の２％以下であり、好ましくは長さＬ２の１％以下であり、より好ましくは長さＬ２の０．５％以下である。これにより、熱膨張による中間部材５６と下板部材５０の破損を抑制することができる。また、荷重を受ける中間部材５６の面積が小さくなることを抑制することができ、中間部材５６が摩耗することを抑制することができる。

【0068】

図４に示すように、突出部７６は、被受入部７４の上端に接続されている。突出部７６は、被受入部７４から上方向に突出している。突出部７６は、下板部材５０の上面６０よりも上板部材５４側に突出している。突出部７６は、下板部材５０の外部に配置されている。突出部７６は、略直方体形状を有する。突出部７６の上下方向の長さは、例えば、５ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下である。突出部７６の上下方向の長さは、被受入部７４の上下方向の長さと略同一である。図７に示すように、突出部７６の前後方向の長さＬ４は、被受入部７４の前後方向の長さＬ１の長さと略同一である。変形例では、図８に示すように、長さＬ４は、長さＬ１よりも長くてもよい。このとき、突出部７６の下面の一部は、下板部材５０の上面６０と当接している。

【0069】

図７に示すように、突出部７６は、上面８０を備えている。上面８０は、中間部材５６の上面に対応する。上面８０は、上板部材５４と上下方向に対向している。上面８０は、上板部材５４と面で当接する。上板部材５４は、上面８０上を前方向に摺動する。上面８０は、研磨されていてもよく、研磨されていなくてもよい。上面８０の算術平均粗さは、例えば、１０マイクロメートル以下、好ましくは５マイクロメートル以下、より好ましくは２マイクロメートル以下である。これにより、上板部材５４は、上面８０上をスムースに摺動することができる。なお、上面８０の算術平均粗さは、１マイクロメートル以下であってもよい。

【0070】

上板部材５４に対する中間部材５６の上面８０の動摩擦係数は、例えば、０．５以下、好ましくは０．４以下、より好ましくは０．３５以下である。これにより、上板部材５４は、上面８０上をスムースに摺動することができる。なお、上板部材５４に対する中間部材５６の上面８０の動摩擦係数は、０．３以下であってもよい。

【0071】

上板部材５４と中間部材５６との間に作用する摺動抵抗は、上板部材５４と下板部材５０との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。これにより、中間部材５６が上板部材５４と下板部材５０との間に挟まれていない構成と比較して、上板部材５４はスムースに前方向に移動することができる。

【0072】

図７に示すように、突出部７６は、面取り部８２を備えている。面取り部８２は、突出部７６の後端に位置する角部８４に配置されている。面取り部８２は、突出部７６の後端をＣ面取りすることにより形成される。変形例では、面取り部８２は、突出部７６の後端をＲ面取りすることにより形成されてもよい。面取り部８２は、上面８０に接続されている。面取り部８２の前後方向の長さＬ５は、例えば、１０ｍｍから２０ｍｍである。面取り部８２の上下方向の長さＬ６は、例えば、１ｍｍから３ｍｍである。長さＬ５は、長さＬ６の３倍以上、好ましくは長さＬ６の５倍以上である。また、長さＬ５は、長さＬ６の２０倍以下、好ましくは長さＬ６の１０倍以下である。面取り部８２により、上板部材５４は、突出部７６の角部８４に引っかかることなく、突出部７６の上面８０上を前方向に摺動することができる。例えば、長さＬ５は、長さＬ６の３倍以上かつ２０倍以下であり、長さＬ６の５倍以上かつ１０倍以下である。また、長さＬ５は、突出部７６の前後方向の長さＬ４の５％以上、好ましくは１５％以上である。長さＬ６は、突出部７６の上下方向の長さＬ７の５０％以下である。

【0073】

被受入部７４の形状と突出部７６の形状のそれぞれは、上記の形状に限られない。例えば、図９に示すように、中間部材５６を上下方向と左右方向に沿う平面で切断したとき、被受入部７４は、略台形形状を有しており、突出部７６は、略長方形状を有していてもよい。この場合、中間部材５６を上下方向と左右方向に沿う平面で切断したとき、下板部材５０の凹部７０は、被受入部７４の形状に対応する形状（即ち、略台形形状）を有する。中間部材５６は、下板部材５０に対して中間部材５６を前後方向に相対的に移動させることにより、下板部材５０に取り付けられる。また、図１０に示すように、中間部材５６を上下方向と左右方向に沿う平面で切断したとき、被受入部７４は、略台形形状を有しており、突出部７６は、略半円形状を有していてもよい。この場合、中間部材５６を上下方向と左右方向に沿う平面で切断したとき、下板部材５０の凹部７０は、被受入部７４の形状に対応する形状（即ち、略半円形状）を有する。中間部材５６は、下板部材５０に対して中間部材５６を前後方向に相対的に移動させることにより、下板部材５０に取り付けられる。さらに、図１１に示すように、被受入部７４と突出部７６のそれぞれは、略円柱形状を有していてもよい。図１１では、被受入部７４が破線により図示されている。この場合、被受入部７４の外周面の直径は、突出部７６の外周面の直径よりも小さい。また、下板部材５０の凹部７０は、被受入部７４の形状に対応する形状（即ち、略円柱形状）を有している。中間部材５６は、中間部材５６を下板部材５０の凹部７０に上側から差し込むことにより、下板部材５０に取り付けられる。

【0074】

第１実施例において、下板部材５０の上面６０は、「第１対向面」の一例である。突出部７６の上面８０は、「第２対向面」の一例である。

【0075】

（第２実施例）
第２実施例を説明する。第２実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第２実施例では、図１２に示すように、中間部材５６は、上板部材５４に取り付けられている。第２実施例の中間部材５６の材質と気孔率と曲げ強度のそれぞれは、第１実施例の中間部材５６の材質と気孔率と曲げ強度のそれぞれと略同一である。下板部材５０は、凹部７０を備えていない。

【0076】

図１３に示すように、１個の上板部材５４は、複数の（本実施例では９個の）凹部１７０を備えている。凹部１７０は、上板部材５４の下面１７２から上方向に凹んでいる。なお、下面１７２は、下板部材５０の上面６０（図１２参照）と対向している。３個の凹部１７０は、前後方向に離れて配置されている。３個の凹部１７０は、前後方向に一列に並んでいる。また、３個の凹部１７０からなる群が、左右方向に離れて配置されている。最も前側に位置する凹部１７０は、上板部材５４の前面から離れており、最も後側に位置する凹部１７０は、上板部材５４の後面から離れている。最も前側に位置する凹部１７０と上板部材５４の前面との間の長さと、最も後側に位置する凹部１７０と上板部材５４の後面との間の長さのぞれぞれは、５ｍｍ以上、好ましくは１０ｍｍ以上である。また、最も左側に位置する凹部１７０は、上板部材５４の左面から離れており、最も右側に位置する凹部１７０は、上板部材５４の右面から離れている。最も左側に位置する凹部１７０と上板部材５４の左面との間の長さと、最も右側に位置する凹部７０と下板部材５０の右面との間の長さのそれぞれは、例えば、５ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下である。凹部１７０の形状は、第１実施例の凹部７０の形状と略同一であり、凹部１７０の寸法は、第１実施例の凹部７０の寸法と略同一である。複数の凹部１７０の前後方向の幅の合計は、例えば、上板部材５４の前後方向の幅の５０％以上かつ９５％％以下である。前後方向に並ぶ凹部１７０の個数と、左右方向に並ぶ凹部１７０の個数のそれぞれは、３個に限られず、例えば、２個以下であってもよく、４個以上であってもよい。

【0077】

複数の（本実施例では９個の）中間部材５６が、１個の上板部材５４に取り付けられている。上板部材５４に取り付けられる中間部材５６の個数は、１個の上板部材５４が備えている凹部１７０の個数と同一である。中間部材５６は、接着剤を介して上板部材５４に取り付けられている。３個の中間部材５６は、前後方向に離れて配置されている。３個の中間部材５６は、前後方向に一列に並んでいる。また、３個の中間部材５６からなる群が、左右方向に離れて配置されている。複数の中間部材５６の前後方向の幅の合計は、例えば、上板部材５４の前後方向の幅の５０％以上かつ９５％以下である。なお、前後方向に並ぶ中間部材５６の個数と、左右方向に並ぶ中間部材５６の個数のそれぞれは、３個に限られず、例えば、２個以下であってもよく、４個以上であってもよい。

【0078】

図１４に示すように、中間部材５６の被受入部７４は、凹部１７０に受け入れられている。被受入部７４は、凹部１７０の形状に対応する形状を有する。被受入部７４の前後方向の長さＬ１は、凹部１７０の前後方向の長さＬ１２よりも短い。なお、凹部１７０の前後方向の長さＬ１２は、第１実施例の凹部７０の前後方向の長さＬ２と略同一である。このため、前後方向において、凹部１７０内には、空隙１７８が形成される。このため、中間部材５６の熱膨張率が上板部材５４の熱膨張率よりも大きいときでも、被受入部７４が上板部材５４よりも凹部１７０内で前後方向に熱膨張することができる。この結果、中間部材５６が熱膨張により上板部材５４に押し付けられることを抑制することができ、中間部材５６と上板部材５４との間に発生する熱応力を小さくすることができる。これにより、中間部材５６と上板部材５４が破損することを抑制することができる。空隙１７８の前後方向の長さＬ１３は、長さＬ１から長さＬ１２を減算した値と同一である。長さＬ１３は、第１実施例の空隙７８の前後方向の長さＬ３と略同一である。長さＬ１３は、長さＬ１２の２％以下であり、好ましくは長さＬ１２の１％以下であり、より好ましくは長さＬ１２の０．５％以下である。これにより、熱膨張による中間部材５６と上板部材５４の破損を抑制することができる。また、荷重を受ける中間部材５６の面積が小さくなることを抑制することができ、中間部材５６が摩耗することを抑制することができる。

【0079】

中間部材５６の突出部７６は、被受入部７４の下端に接続されている。突出部７６は、被受入部７４から下方向に突出している。突出部７６は、上板部材５４の下面１７２よりも下板部材５０（図１２参照）側に突出している。突出部７６は、上板部材５４の外部に配置されている。突出部７６の前後方向の長さＬ４は、被受入部７４の前後方向の長さＬ１の長さと略同一である。変形例では、長さＬ４は、長さＬ１よりも長くてもよい。即ち、中間部材５６の形状は、図８に示される中間部材５６の形状と略同一である。このとき、突出部７６の上面の一部は、上板部材５４の下面１７２と当接している。

【0080】

突出部７６は、下面１８０を備えている。下面１８０は、中間部材５６の下面に対応する。下面１８０は、下板部材５０と上下方向に対向している。下面１８０は、下板部材５０と面で当接する。中間部材５６は、下板部材５０の上面６０上を前方向に摺動する。下面１８０は、研磨されていてもよく、研磨されていなくてもよい。下面１８０の算術平均粗さは、例えば、１０マイクロメートル以下、好ましくは５マイクロメートル以下、より好ましくは２マイクロメートル以下である。これにより、中間部材５６は、下板部材５０の上面６０上をスムースに摺動することができる。なお、下面１８０の算術平均粗さは、１マイクロメートル以下であってもよい。

【0081】

下板部材５０に対する中間部材５６の下面１８０の動摩擦係数は、例えば、０．５以下、好ましくは０．４以下、より好ましくは０．３５以下である。これにより、中間部材５６は、下板部材５０の上面６０上をスムースに摺動することができる。なお、下板部材５０に対する中間部材５６の下面１８０の動摩擦係数は、０．３以下であってもよい。

【0082】

下板部材５０と中間部材５６との間に作用する摺動抵抗は、上板部材５４と下板部材５０との間に作用する摺動抵抗よりも小さい。これにより、中間部材５６が上板部材５４と下板部材５０との間に挟まれていない構成と比較して、中間部材５６は上板部材５４とともにスムースに前方向に移動することができる。

【0083】

突出部７６は、面取り部１８２を備えている。面取り部１８２は、突出部７６の前端に位置する角部１８４に配置されている。面取り部１８２は、突出部７６の前端をＣ面取りすることにより形成される。変形例では、面取り部１８２は、突出部７６の前端をＲ面取りすることにより形成されてもよい。面取り部１８２は、下面１８０に接続されている。面取り部１８２の前後方向の長さＬ１５は、例えば、１０ｍｍから２０ｍｍである。面取り部１８２の上下方向の長さＬ１６は、例えば、１ｍｍから３ｍｍである。長さＬ１５は、長さＬ１６の３倍以上、好ましくは長さＬ１６の５倍以上である。また、長さＬ１５は、長さＬ１６の２０倍以下、好ましくは長さＬ１６の１０倍以下である。面取り部１８２により、中間部材５６は、下板部材５０が突出部７６の角部１８４に引っかかることなく、下板部材５０の上面６０上を前方向に摺動することができる。例えば、長さＬ１５は、長さＬ１６の３倍以上かつ２０倍以下であり、長さＬ１６の５倍以上かつ１０倍以下である。また、長さＬ１５は、突出部７６の前後方向の長さＬ４の５％以上、好ましくは１５％以上である。長さＬ１６は、突出部７６の上下方向の長さＬ７の５０％以下である。

【0084】

被受入部７４の形状と突出部７６の形状のそれぞれは、上記の形状に限られない。例えば、中間部材５６を上下方向と左右方向に沿う平面で切断したとき、被受入部７４は、略台形形状を有しており、突出部７６は、略長方形状を有していてもよい。即ち、中間部材５６の形状は、図９に示される中間部材５６の形状と略同一であってもよい。中間部材５６は、上板部材５４に対して中間部材５６を前後方向に相対的に移動させることにより、上板部材５４に取り付けられる。また、中間部材５６を上下方向と左右方向に沿う平面で切断したとき、被受入部７４は、略台形形状を有しており、突出部７６は、略半円形状を有していてもよい。即ち、中間部材５６の形状は、図１０に示される中間部材５６の形状と略同一であってもよい。中間部材５６は、上板部材５４に対して中間部材５６を前後方向に相対的に移動させることにより、上板部材５４に取り付けられる。さらに、被受入部７４と突出部７６のそれぞれは、略円柱形状を有していてもよい。即ち、中間部材５６の形状は、図１１に示される中間部材５６の形状と略同一であってもよい。中間部材５６は、中間部材５６を上板部材５４の凹部１７０に下側から差し込むことにより、上板部材５４に取り付けられる。

【0085】

第２実施例において、上板部材５４の下面１７２は、「第１対向面」の一例である。突出部７６の下面１８０は、「第２対向面」の一例である。

【0086】

（第３実施例）
第３実施例を説明する。第３実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。図１５に示すように、複数の中間部材５６のそれぞれは、尖部３５６を備えている。尖部３５６は、中間部材５６の後端に位置している。尖部３５６は、平面視すると尖った形状を有する。尖部３５６の左右方向の幅は、前方向に向かうにつれて徐々に大きくなる。尖部３５６の左面と右面との間の角度Ａ１が小さい構成では、尖部３５６が破損し易くなり、角度Ａ１が大きい構成では、摩耗粉等の異物が尖部３５６に沿って移動しくなる。このため、例えば、角度Ａ１が６０度以上であることにより、尖部３５６が破損することが抑制される。また、角度Ａ１が１２０度以下であることにより、摩耗粉等の異物が、尖部３５６に沿って前方向に移動し易くなり、異物が尖部３５６、即ち、中間部材５６の後端に溜まることが抑制される。角度Ａ１は、例えば、６０度以上かつ９０度以下であってもよい。

【0087】

変形例では、図１６に示すように、１個の中間部材５６のみが１個の下板部材５０に取り付けられている構成において、尖部３５６が、中間部材５６の後端に位置していてもよい。

【0088】

（第４実施例）
第４実施例を説明する。第４実施例では、第２実施例と異なる点のみ説明する。図１７に示すように、複数の中間部材５６のそれぞれは、尖部４５６を備えている。尖部４５６は、中間部材５６の前端に位置している。尖部４５６は、平面視すると尖った形状を有する。尖部４５６の左右方向の幅は、後方向に向かうにつれて徐々に大きくなる。尖部４５６の左面と右面との間の角度Ａ２が小さい構成では、尖部４５６が破損し易くなり、角度Ａ２が大きい構成では、摩耗粉等の異物が尖部４５６に沿って移動し易くなる。このため、例えば、角度Ａ２が６０度以上であることにより、尖部４５６が破損することが抑制される。また、角度Ａ２が１２０度以下であることにより、摩耗粉等の異物が、尖部４５６に沿って後方向に移動し易くなり、異物が尖部４５６、即ち、中間部材５６の前端に溜まることが抑制される。角度Ａ２は、例えば、６０度以上かつ９０度以下であってもよい。

【0089】

変形例では、図１８に示すように、３個の中間部材５６が、左右方向に並んだ状態で上板部材５４に取り付けられている構成において、尖部４５６が、各中間部材５６の前端に位置していてもよい。

【0090】

（第５実施例）
第５実施例を説明する。第５実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。図１９に示すように、複数の中間部材５６のそれぞれは、テーパ部５５６を備えている。テーパ部５５６は、中間部材５６の前端に位置している。中間部材５６を上側から見たときに、テーパ部５５６は、略台形形状を有する。テーパ部５５６の左右方向の幅は、後方向に向かうにつれて徐々に大きくなる。テーパ部５５６のテーパ角Ａ３は、テーパ部５５６の左面と右面との間の角度の半分の角度である。テーパ角Ａ３は、例えば、１０度以上かつ４５度以下である。テーパ角Ａ３が１０度以上であることにより、中間部材５６の上面上の摩耗粉等の異物が中間部材５６の上面から中間部材５６の右側と左側に脱落し易くなる。テーパ角Ａ３が４５度以下であることにより、テーパ角Ａ３が４５度を超える構成と比較してテーパ部５５６の前後方向の長さが長くなることから、異物が中間部材５６の上面から脱落し易くなる。

【0091】

変形例では、図２０に示すように、１個の中間部材５６のみが１個の下板部材５０に取り付けられている構成において、テーパ部５５６が、中間部材５６の前端に位置していてもよい。

【0092】

（変形例）
一実施形態では、複数の中間部材５６は、１個の凹部７０、１７０に配置されていてもよい。この場合、複数の中間部材５６は、互いに前後方向に当接していてもよい。

【0093】

以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【符号の説明】

【0094】

２ ：被処理物
１０ ：熱処理炉
１２ ：炉体
１６ ：摺動ユニット
１８ ：プッシャ
２８ａ ：搬入口
３０ａ ：搬出口
４２ ：熱処理空間
５０ ：下板部材
５２ ：ガイド部材
５４ ：上板部材
５６ ：中間部材
６０、６２、６４、８０：上面
７０、１７０：凹部
７４ ：被受入部
７６ ：突出部
７８、１７８：空隙
８２、１８２：面取り部
８４、１８４：角部
１７２、１８０：下面
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１５、Ｌ１６：長さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】