(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024137933
(43)【公開日】2024-10-07
(54)【発明の名称】センサシート
(51)【国際特許分類】
G01L 1/14 20060101AFI20240927BHJP
【ＦＩ】
G01L1/14 J
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024047351
(22)【出願日】2024-03-22
(31)【優先権主張番号】P 2023048568
(32)【優先日】2023-03-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000219602
【氏名又は名称】住友理工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000648
【氏名又は名称】弁理士法人あいち国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】那須 将樹
(72)【発明者】
【氏名】大森 翔
(72)【発明者】
【氏名】早川 知範
(72)【発明者】
【氏名】中野 克彦
(72)【発明者】
【氏名】吉田 哲也
(57)【要約】
【課題】電気抵抗値の変化が抑制されたセンサシートを提供する。
【解決手段】第一面２７および第二面２８を有する絶縁シート２４と、前記絶縁シート２４の前記第一面２７側に配置され、導電布からなる第一電極シート２５と、前記絶縁シート２４の前記第一面２７と前記第一電極シート２５の内面とを接合する第一接合部３６と、前記第一電極シート２５の外面に配置されて、前記第一電極シート２５の前記外面を保護する第一保護部６１と、を備える、センサシート。
【選択図】図４
【解決手段】第一面２７および第二面２８を有する絶縁シート２４と、前記絶縁シート２４の前記第一面２７側に配置され、導電布からなる第一電極シート２５と、前記絶縁シート２４の前記第一面２７と前記第一電極シート２５の内面とを接合する第一接合部３６と、前記第一電極シート２５の外面に配置されて、前記第一電極シート２５の前記外面を保護する第一保護部６１と、を備える、センサシート。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第一面および第二面を有する絶縁シートと、
前記絶縁シートの前記第一面側に配置され、導電布からなる第一電極シートと、
前記絶縁シートの前記第一面と前記第一電極シートの内面とを接合する接合部と、
前記第一電極シートの外面に配置されて、前記第一電極シートの前記外面を保護する保護部と、を備える、センサシート。
前記絶縁シートの前記第一面側に配置され、導電布からなる第一電極シートと、
前記絶縁シートの前記第一面と前記第一電極シートの内面とを接合する接合部と、
前記第一電極シートの外面に配置されて、前記第一電極シートの前記外面を保護する保護部と、を備える、センサシート。
【請求項2】
前記保護部は、樹脂材料を含んで構成される、請求項１に記載のセンサシート。
【請求項3】
前記保護部は、前記第一電極シートの前記外面を覆う層状に形成されている、請求項１または２に記載のセンサシート。
【請求項4】
前記導電布は、複数のフィラメント集合体が織られており、
前記保護部は、前記フィラメント集合体の外周に形成されている、請求項３に記載のセンサシート。
前記保護部は、前記フィラメント集合体の外周に形成されている、請求項３に記載のセンサシート。
【請求項5】
前記接合部は、前記絶縁シートと前記第一電極シートとの間に介在している、請求項３に記載のセンサシート。
【請求項6】
前記接合部は、前記第一電極シートの前記外面に露出した露出接合部を備え、
前記露出接合部が前記保護部を兼ねる、請求項１または２に記載のセンサシート。
前記露出接合部が前記保護部を兼ねる、請求項１または２に記載のセンサシート。
【請求項7】
前記絶縁シートと前記第一電極シートとが直接に接触することにより、前記絶縁シートと前記第一電極シートとの間に前記接合部が介在しない直接領域が形成されている、請求項６に記載のセンサシート。
【請求項8】
前記第一電極シートを構成する前記導電布は、複数のフィラメント集合体が織られており、
前記フィラメント集合体は複数のフィラメントを備え、
前記導電布は、前記複数のフィラメント集合体の間に開口する開口部を備え、
前記接合部は、前記開口部内に侵入する侵入接合部を備え、
前記侵入接合部が、前記保護部と連続している、請求項６に記載のセンサシート。
前記フィラメント集合体は複数のフィラメントを備え、
前記導電布は、前記複数のフィラメント集合体の間に開口する開口部を備え、
前記接合部は、前記開口部内に侵入する侵入接合部を備え、
前記侵入接合部が、前記保護部と連続している、請求項６に記載のセンサシート。
【請求項9】
前記開口部の開口面積の、前記第一電極シートの面積に対する割合である開口率が３％以上である、請求項８に記載のセンサシート。
【請求項10】
前記接合部は、前記絶縁シートと前記第一電極シートとの間に介在している、請求項６に記載のセンサシート。
【請求項11】
前記絶縁シートは、発泡エラストマー製である、請求項１または２に記載のセンサシート。
【請求項12】
前記導電布は、複数のフィラメント集合体が織られており、
前記フィラメント集合体は、複数のフィラメントと、前記フィラメントの表面の少なくとも一部に形成されたメッキ層と、を備える、請求項１または２に記載のセンサシート。
前記フィラメント集合体は、複数のフィラメントと、前記フィラメントの表面の少なくとも一部に形成されたメッキ層と、を備える、請求項１または２に記載のセンサシート。
【請求項13】
前記メッキ層は、前記複数のフィラメントの各フィラメントの表面に形成されている、請求項１２に記載のセンサシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、センサシートに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、誘電体層と、誘電体層の第一面に配置される第一電極シートと、を備えたセンサシートが開示されている。センサシートは、例えば、車両のステアリングホイールに取付けられて、乗員がステアリングホイールに接触したか否かを検知する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－６８４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１記載のセンサシートでは、センサの検知精度の信頼性に課題がある。例えばステアリングホイールにセンサシートを組付ける場合、センサシートを引っ張って伸ばしながらステアリングホイールに巻付けるため、第一電極シートに負荷が加わることによって第一電極シートの導電経路が損傷し、第一電極シートの電気抵抗値が変化するという課題がある。
【0005】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、電気抵抗値の変化が抑制されたセンサシートを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様は、
第一面および第二面を有する絶縁シートと、
前記絶縁シートの前記第一面側に配置され、導電布からなる第一電極シートと、
前記絶縁シートの前記第一面と前記第一電極シートの内面とを接合する接合部と、
前記第一電極シートの外面に配置されて、前記第一電極シートの前記外面を保護する保護部と、を備える、センサシートにある。
第一面および第二面を有する絶縁シートと、
前記絶縁シートの前記第一面側に配置され、導電布からなる第一電極シートと、
前記絶縁シートの前記第一面と前記第一電極シートの内面とを接合する接合部と、
前記第一電極シートの外面に配置されて、前記第一電極シートの前記外面を保護する保護部と、を備える、センサシートにある。
【発明の効果】
【0007】
本発明の一態様によれば、第一電極シートが保護部により外力から保護されるので、第一電極シートの導電経路が損傷を受けることを抑制できる。これにより、センサシートの電気抵抗値の変化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】実施形態１のセンサシートが取付けられたステアリングホイールを示す正面図である。
【図3】実施形態１のセンサシートを示す平面図である。
【図5】（ａ）は実施例１の第一電極シートを示す一部拡大平面図であり、（ｂ）は実施例１の第二電極シートを示す一部拡大平面図である。
【図7】（ａ）は実施例２の第一電極シートを示す一部拡大平面図であり、（ｂ）は実施例２の第二電極シートを示す一部拡大平面図である。
【図8】第一電極シートに対する引張試験における、応力と、歪みとの関係を示すグラフである。
【図9】センサシートに対する引張試験における、応力と、歪みとの関係を示すグラフである。
【図10】実施例２について、（ａ）は伸長率０％における第一電極シートの一部拡大平面図であり、（ｂ）は伸長率１０％における第一電極シートの一部拡大平面図であり、（ｃ）は伸長率２０％における第一電極シートの一部拡大平面図であり、（ｄ）は伸長率３０％における第一電極シートの一部拡大平面図である。
【図11】センサシートの、直流抵抗値変化率と、歪みとの関係を示すグラフである。
【図12】センサシートに、１０％伸長引張試験を繰返した場合における、直流抵抗値変化率と、繰り返し回数との関係を示すグラフである。
【図13】センサシートに、２０％伸長引張試験を繰返した場合における、直流抵抗値変化率と、繰り返し回数との関係を示すグラフである。
【図14】（ａ）は実施形態１の変形例の第一電極シートを示す一部拡大平面図であり、（ｂ）は実施形態１の変形例の第二電極シートを示す一部拡大平面図である。
【図16】実施形態１の変形例に引張り試験を実施した場合における、第一電極シートを示す一部拡大平面図である。
【図18】実施形態２に係るセンサシートを示す一部拡大断面図である。
【図20】実施形態３に係るセンサシートを示す一部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
（実施形態１）
１．１．センサシートの概要
センサシートは、静電型であり、例えば、電極間の静電容量の変化を利用して、電位を有する導電体の接触または接近を検出するセンサとして機能する。センサシートに、電位を有する導電体が接触または接近すると、電極間の静電容量が変化し、変化した電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、導電体の接触または接近を検出する。
１．１．センサシートの概要
センサシートは、静電型であり、例えば、電極間の静電容量の変化を利用して、電位を有する導電体の接触または接近を検出するセンサとして機能する。センサシートに、電位を有する導電体が接触または接近すると、電極間の静電容量が変化し、変化した電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、導電体の接触または接近を検出する。
【0010】
センサシートは、例えば車両のステアリングホイールに取付けられて、乗員の手（指、手の平、手の甲等）がステアリングホイールに接触または接近したか否かを検出する。
【0011】
１．２．ステアリングホイール１０の全体構成
まず、ステアリングホイール１０の構造について図１～図２を参照して説明する。ステアリングホイール１０は、図１に示すように、コア部１１と、リング部１２と、コア部１１とリング部１２とを接続する複数（本実施形態では３つ）の接続部１３とを備える。
まず、ステアリングホイール１０の構造について図１～図２を参照して説明する。ステアリングホイール１０は、図１に示すように、コア部１１と、リング部１２と、コア部１１とリング部１２とを接続する複数（本実施形態では３つ）の接続部１３とを備える。
【0012】
リング部１２は、円形リング形状に形成されている。ただし、リング部１２は、円形に限られず、任意の形状に形成することができる。リング部１２の軸直角断面形状は、図２に示すように、例えば、円形状に形成されている。
【0013】
【0014】
リング部１２は、芯体１６、樹脂内層材１７、センサシート１８、および表皮材１９を備える。芯体１６は、リング部１２の中心部を構成し、リング部１２の形状に対応する形状に形成されている。つまり、芯体１６は、円形リング形状に形成され、円形状の軸直角断面を有している。ここで、芯体１６の軸直角断面形状は、円形状に限られることなく、楕円形状、卵形状、Ｕ字状、Ｃ字状、多角形状等、任意の形状とすることができる。本形態の芯体１６は、アルミニウム、マグネシウム等の金属により形成されており、導電性を有する。芯体１６の材質は、金属以外の材料を適用することができる。
【0015】
樹脂内層材１７は、芯体１６の外面において、芯体１６のリング形状の全周に亘って、且つ、芯体１６の円断面形状の全周に亘って被覆する。本形態においては、樹脂内層材１７の軸直角断面は円形状に形成されている。仮に、芯体１６がＵ字状の軸直角断面を有する場合には、樹脂内層材１７は、芯体１６の軸直角断面における径方向外側に加えて、芯体１６のＵ字状の凹所にも充填される。樹脂内層材１７は、芯体１６の外面側に射出成形により成形されており、芯体１６の外面に直接的に接合されている。樹脂内層材１７の軸直角断面形状は、円形状に限られることなく、卵形状、楕円形状、多角形状等、任意の形状とすることができる。樹脂内層材１７は、例えば、発泡樹脂により成形されている。樹脂内層材１７は、例えば、発泡ウレタン樹脂を用いる。なお、樹脂内層材１７は、非発泡樹脂を用いることもできる。
【0016】
樹脂内層材１７の外面には、センサシート１８が巻き付けられている。センサシート１８は、樹脂内層材１７に巻き付けられた状態でＣ字状をなしている。センサシート１８については、後に詳述する。
【0017】
表皮材１９は、センサシート１８の外面（センサシート１８における樹脂内層材１７とは反対側の面）において、センサシート１８のリング形状の全周に亘って被覆する。つまり、表皮材１９は、後述するように、第一電極シート２５が絶縁シート２４の第一面２７側に露出している場合には、第一電極シート２５の被覆材としても機能する。表皮材１９は、射出成形により成形されており、センサシート１８の外面側に巻き付けられてセンサシート１８の外面に接合されている。表皮材１９は、例えば、ウレタン樹脂により成形されている。表皮材１９の外面は、意匠面を構成する。表皮材１９の材質は特に限定されず、例えば、非発泡ウレタン樹脂、または、僅かに発泡させたウレタン樹脂を用いることが好ましい。
【0018】
表皮材１９の別の形態として、表皮材１９に皮革や布を用い、センサシート１８の外面側に巻き付けられてセンサシート１８の外面に接合される構成としても良い。表皮材１９とセンサシート１８との接合には、粘着材や接着剤を用い、さらに、表皮材１９を縫製してステアリングホイールの周囲を被覆する構成としても良い。また、表皮材１９の外面は、意匠面を構成する。表皮材１９の材質は特に限定されず、革製（天然皮革、合成皮革など）、布・ゴム・樹脂製等の任意の材料を選択できるが、表皮材１９は、革製（天然皮革、合成皮革など）が好ましい。
【0019】
１．４．センサシート１８の全体構成
実施形態１のセンサシート１８の全体構成について、図３～図４を参照して説明する。図３に示すように、センサシート１８は、全体として、長手方向Ｘに長尺な形状に形成されている。センサシート１８は、全体として長方形状に形成されたシート本体部２０を備える。シート本体部２０は、長手方向Ｘに沿ってのびる一対の長側縁２０ａと、長手方向Ｘに交差する方向にのびる一対の短側縁２０ｂと、を備える。なお、以下の説明において、矢線Ｘはセンサシート１８の長手方向を示し、矢線Ｙは長手方向と交差する交差方向を示し、矢線Ｚはセンサシート１８の厚さ方向を示す。
実施形態１のセンサシート１８の全体構成について、図３～図４を参照して説明する。図３に示すように、センサシート１８は、全体として、長手方向Ｘに長尺な形状に形成されている。センサシート１８は、全体として長方形状に形成されたシート本体部２０を備える。シート本体部２０は、長手方向Ｘに沿ってのびる一対の長側縁２０ａと、長手方向Ｘに交差する方向にのびる一対の短側縁２０ｂと、を備える。なお、以下の説明において、矢線Ｘはセンサシート１８の長手方向を示し、矢線Ｙは長手方向と交差する交差方向を示し、矢線Ｚはセンサシート１８の厚さ方向を示す。
【0020】
シート本体部２０の一対の長側縁２０ａには、長手方向Ｘと交差する交差方向Ｙについて内方に凹んだシート凹部２１が形成されている。シート凹部２１は、シート本体部２０の一対の長側縁２０ａのうち交差方向Ｙについて重なる領域を含む位置に形成されている。ただし、シート凹部２１は、一対の長側縁２０ａの一方にのみ形成される構成としてもよい。
【0021】
１つの長側縁２０ａには、複数（本形態では４つ）のシート凹部２１が間隔を空けて形成されている。ただし、１つの長側縁２０ａに一つのシート凹部２１が形成されても良い。また、１つの長側縁２０ａに２つ～３つまたは５つ以上のシート凹部２１が形成されても良い。
【0022】
シート本体部２０の一対の長側縁２０ａの一方には、シート本体部２０の、長手方向Ｘの両端部寄りの位置に、一方の長側縁２０ａから、長手方向Ｘと交差する方向に延長するシート延長部２２が形成されている。
【0023】
図４に、センサシート１８の断面図を示す。センサシート１８は、絶縁シート２４と、第一電極シート２５と、第二電極シート２６と、を備える。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、導電性を有するとともに、層状に形成されている。
【0024】
第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７側に配置されている。詳細には、第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７に積層されている。第一電極シート２５は、絶縁シート２４よりもやや小さな相似形に形成されている。これにより、絶縁シート２４の第一面２７の端縁部は、第一電極シート２５の端縁部から露出している。
【0025】
図３に示すように、第一電極シート２５のうち、センサシート１８のシート凹部２１に対応する位置には、交差方向Ｙについて内方に凹んだ凹部３０が形成されている。第一電極シート２５のうち、センサシート１８のシート延長部２２に対応する位置には、第一電極シート２５の長手方向Ｘに沿う長側縁から、長手方向Ｘと交差する延長方向Ｅ１に延長する延長部３１ａと、延長方向Ｅ２に延長する延長部３１ｂとが形成されている。延長部３１ａ，３１ｂには、電線３２の端部から露出する芯線３２ａが接続されている。芯線３２ａと延長部３１ａ，３１ｂとは、はんだ付け、ロウ付け、超音波溶着等の公知の手法により電気的に接続されている。以下の説明において、延長部３１ａと延長部３１ｂとを区別しないで記載する場合には、延長部３１と記載する場合がある。
【0026】
図４に示すように、第二電極シート２６は、絶縁シート２４の第二面２８側に配置されている。詳細には、第二電極シート２６は、絶縁シート２４の第二面２８に積層されている。第二電極シート２６は、絶縁シート２４よりもやや小さな相似形に形成されている。これにより、絶縁シート２４の第二面２８の端縁部は、第二電極シート２６の端縁部から露出している。
【0027】
第一電極シート２５と第二電極シート２６とは、同形同大であってもよいし、一方が他方よりもやや大きな相似形であってもよい。本形態においては、第一電極シート２５と第二電極シート２６は、略同一の構成を有する。
【0028】
なお、第二電極シート２６は、第一電極シート２５と略同一の構成を有するので、以下の説明において、重複する記載を省略する場合がある。
【0029】
絶縁シート２４は、可撓性を有し、かつ、面方向に伸長可能に構成されている。絶縁シート２４は、例えば発泡性樹脂を主成分として含んで形成されても良いし、エラストマーを主成分として含んで形成されても良い。従って、絶縁シート２４は、柔軟である。
【0030】
絶縁シート２４が発泡性樹脂を主成分として含んで形成される場合、絶縁シート２４は、例えば、樹脂またはエラストマーの発泡体から製造することができる。エラストマーには、架橋ゴムおよび熱可塑性エラストマーが含まれる。例えば、ウレタンフォームの他、ポリスチレンフォーム、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフォーム、ポリオレフィン発泡体、ＥＶＡ（エチレン－酢酸ビニル共重合体）フォーム、ＰＥＴフォーム、フェノールフォーム、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）フォーム、シリコーンフォーム、ポリ塩化ビニルフォーム、アクリルフォーム、ポリイミドフォーム、ポリ乳酸系樹脂発泡体、メラミンフォーム、ポリメタクリルイミドフォーム、フッ素樹脂フォームなどが挙げられる。
【0031】
絶縁シート２４が、例えば、熱可塑性材料、特に熱可塑性エラストマーを主成分として含んで形成されている場合、絶縁シート２４は、熱可塑性エラストマー自身により形成されるようにしても良いし、熱可塑性エラストマーを素材として加熱することによって架橋されたエラストマーを主成分として形成されるようにしても良い。
【0032】
また、絶縁シート２４は、熱可塑性エラストマー以外のゴム、樹脂、他の材料などを含んでいても良い。例えば、絶縁シート２４がエチレン－プロピレンゴム（ＥＰＭ、ＥＰＤＭ）などのゴムを含む場合には、絶縁シート２４の柔軟性が向上する。絶縁シート２４の柔軟性を向上させるという観点から、絶縁シート２４に可塑剤などの柔軟性付与成分を含有させてもよい。さらに、絶縁シート２４は、反応硬化性エラストマー、熱硬化性エラストマーを主成分として構成されるようにしても良い。
【0033】
さらに、絶縁シート２４は、熱伝導性の良好な材料が好適である。そこで、絶縁シート２４は、熱伝導率の高い熱可塑性エラストマーを用いるようにしても良いし、熱伝導率を高めることができるフィラーを含有させるようにしても良い。また、絶縁シート２４は微細な空気層を有する発泡構造を有する構成としても良い。さらに、絶縁シート２４はパーフォレーション(ミシン目に代表される規則的な物理孔)やスリット(切り込み、切り欠き)を有する構成としても良い。
【0034】
第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７、すなわち絶縁シート２４の上面（図４の上面）側に配置されており、第二電極シート２６は、絶縁シート２４の第二面２８、すなわち絶縁シート２４の下面（図４の下面）側に配置されている。少なくとも第一電極シート２５は、検出用電極を構成する。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、導電性を有する。さらに、第一電極シート２５および第二電極シート２６は、柔軟である。つまり、第一電極シート２５および第二電極シート２６は、可撓性を有し、かつ、面方向に伸長可能に構成されている。
【0035】
１．５．第一電極シート２５および第二電極シート２６と、絶縁シート２４と、の接合構造
図４に示すように、絶縁シート２４の第一面２７側には、絶縁シート２４と第一電極シート２５との間に介在する第一接合部３６によって、絶縁シート２４と第一電極シート２５が接合されている。第一接合部３６を構成する材料は特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン粘着剤、ウレタン粘着剤、ゴム系粘着剤等、任意の材料から適宜に選択できる。また、図４に示すように、絶縁シート２４の第二面２８側には、絶縁シート２４と第二電極シート２６との間に介在する第二接合部３７によって、絶縁シート２４と第二電極シート２６が接合されている。第二接合部３７を構成する材料は第一接合部３６と同じなので、重複する説明を省略する。
図４に示すように、絶縁シート２４の第一面２７側には、絶縁シート２４と第一電極シート２５との間に介在する第一接合部３６によって、絶縁シート２４と第一電極シート２５が接合されている。第一接合部３６を構成する材料は特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン粘着剤、ウレタン粘着剤、ゴム系粘着剤等、任意の材料から適宜に選択できる。また、図４に示すように、絶縁シート２４の第二面２８側には、絶縁シート２４と第二電極シート２６との間に介在する第二接合部３７によって、絶縁シート２４と第二電極シート２６が接合されている。第二接合部３７を構成する材料は第一接合部３６と同じなので、重複する説明を省略する。
【0036】
１．６．保護部６０
図４に示すように、第一電極シート２５の表面（外面）には、第一保護部６１が配置されている。第一保護部６１は、第一電極シート２５の表面を層状に覆って形成されている。また、第二電極シート２６の表面（外面）には、第二保護部６２が配置されている。第二保護部６２は、第二電極シート２６の表面を層状に覆って形成されている。以下の記載において、第一保護部６１と第二保護部６２とを区別しない場合、保護部６０と記載する場合がある。
図４に示すように、第一電極シート２５の表面（外面）には、第一保護部６１が配置されている。第一保護部６１は、第一電極シート２５の表面を層状に覆って形成されている。また、第二電極シート２６の表面（外面）には、第二保護部６２が配置されている。第二保護部６２は、第二電極シート２６の表面を層状に覆って形成されている。以下の記載において、第一保護部６１と第二保護部６２とを区別しない場合、保護部６０と記載する場合がある。
【0037】
保護部６０は樹脂材料またはゴム材料を含んで構成される。保護部６０を形成する材料は特に限定されず、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン６、ナイロン６，６等のポリアミド、ポリウレタン、シリコーンポリマーなど、任意の材料を適宜に選択できるが、アクリル系材料、ウレタン系材料、シリコーン系材料が好適である。
【0038】
保護部６０は、樹脂材料の他に、酸化防止剤等の添加材を含んでも良いし、フィラー等を含んでも良い。
【0039】
第一電極シート２５に配置される第一保護部６１と、第二電極シート２６に配置される第二保護部６２とは、同じ材料により形成されてもよいし、異なる材料により形成されても良い。
【0040】
第一電極シート２５と、第一保護部６１とは、第一保護部６１の有する粘着性によって第一電極シート２５と一体化される構成としても良い。また、第一電極シート２５に、第一保護部６１を熱融着することにより、第一電極シート２５と第一保護部６１とを一体化する構成としても良い。また、第一電極シート２５と、第一保護部６１とを接着剤で接着することによって一体化する構成としても良い。接着剤は、公知の接着剤でも良いし、上記した第一接合部３６を構成する材料と同じ材料を適用しても良い。
【0041】
第二電極シート２６と第二保護部６２とを一体化する構成については、第一電極シート２５と第一保護部６１とを一体化する構成と同じでも良いし、異なっていても良い。
【0042】
１．７．電極シートの構成
第一電極シート２５および第二電極シート２６について説明する。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、導電性を備えた導電布である。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、導電性を有しつつ、柔軟性を有する。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、長手方向Ｘおよび交差方向Ｙへの伸縮性を有する。
第一電極シート２５および第二電極シート２６について説明する。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、導電性を備えた導電布である。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、導電性を有しつつ、柔軟性を有する。第一電極シート２５および第二電極シート２６は、長手方向Ｘおよび交差方向Ｙへの伸縮性を有する。
【0043】
図５に示すように、第一電極シート２５および第二電極シート２６は、複数のフィラメント集合体７２が織られた導電布である。フィラメント集合体７２は、複数のフィラメント７１と、フィラメント７１の表面の少なくとも一部に形成されたメッキ層３３と、を備える。
【0044】
図５（ａ）～図５（ｂ）に示すように、第一電極シート２５および第二電極シート２６は、複数の無撚糸束線７４が織られた基布にメッキ層３３を形成することにより製造される。各無撚糸束線７４は、複数のフィラメント７１が撚られてない状態でまとめられて形成されている。
【0045】
フィラメント７１を構成する樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン６、ナイロン６，６等のポリアミドを例示することができる。ただし、フィラメント７１を構成する樹脂は上記に限られず、任意の樹脂を適宜に選択できる。第二電極シート２６も同様の構成を備える。
【0046】
メッキ層３３は、複数のフィラメント集合体７２が織られた基布の表面に形成される。メッキ層３３を形成する手法は特に限定されず、例えば、電解メッキでも良いし、無電解メッキでも良いし、無電解メッキを実施した後に電解メッキを実施しても良いし、電解メッキを実施した後に無電解メッキを実施しても良く、任意の手法を適宜に選択できる。
【0047】
基布の表面に形成されるメッキ層３３を構成する金属としては、銅、ニッケル、スズ、半田等、任意の金属または合金を適宜に選択できる。基布の表面に形成されるメッキ層３３は、１つの金属種により構成されても良いし、複数の金属種により構成されても良い。例えば、基布の表面に銅のみをメッキしてもよいし、基布の表面にニッケルのみをメッキしてもよいし、基布の表面に銅からなる銅メッキ層を形成し、この銅メッキ層の表面にニッケルからなるニッケルメッキ層を形成しても良い。基布の表面に形成されるメッキ層３３は、電解メッキにより形成してもよいし、無電解メッキにより形成しても良い。第二電極シート２６も同様の構成を備える。
【0048】
図５（ａ）に示すように、第一電極シート２５は、複数のフィラメント集合体７２の間に開口する第一開口部３４ａを備える。第一開口部３４ａは第一電極シート２５を貫通している。第一電極シート２５に形成された第一開口部３４ａの開口面積の、第一電極シート２５の面積に対する割合である第一開口率は、１％以上４０％以下である。
【0049】
図５（ｂ）に示すように、第二電極シート２６は、複数のフィラメント集合体７２の間に開口する第二開口部３４ｂを備える。第二開口部３４ｂは第二電極シート２６を貫通している。第二電極シート２６に形成された第二開口部３４ｂの開口面積の、第二電極シート２６の面積に対する割合である第二開口率は、１％以上４０％以下である。
【0050】
１．８．実施例およびサンプル
１．８．１．実施例１およびサンプル１
（実施例１およびサンプル１）
図５～図６を参照して、実施例１について説明する。図５（ａ）に示すように、実施例１に係る第一電極シート２５は、複数のフィラメント集合体７２が織られた導電布である。複数のフィラメント集合体７２は、複数のフィラメント７１が撚られていない状態でまとめられた無撚糸束線７４と、無撚糸束線７４の表面の少なくとも一部に形成されたメッキ層３３と、を備える。フィラメント集合体７２は、第一電極シート２５の厚み方向に扁平な形状に形成されている。ただし、第一電極シート２５と、第二電極シート２６は、略同一の構成を備えるので、特に言及する場合を除いて重複する説明を省略する。
１．８．１．実施例１およびサンプル１
（実施例１およびサンプル１）
図５～図６を参照して、実施例１について説明する。図５（ａ）に示すように、実施例１に係る第一電極シート２５は、複数のフィラメント集合体７２が織られた導電布である。複数のフィラメント集合体７２は、複数のフィラメント７１が撚られていない状態でまとめられた無撚糸束線７４と、無撚糸束線７４の表面の少なくとも一部に形成されたメッキ層３３と、を備える。フィラメント集合体７２は、第一電極シート２５の厚み方向に扁平な形状に形成されている。ただし、第一電極シート２５と、第二電極シート２６は、略同一の構成を備えるので、特に言及する場合を除いて重複する説明を省略する。
【0051】
本実施例１に係る第一電極シート２５は、複数のフィラメント７１が撚られていない状態でまとめられた経糸フィラメント集合体７２ａと、複数のフィラメント７１が撚られていない状態でまとめられた緯糸フィラメント集合体７２ｂと、を織ることにより基布を形成し、この基布の表面にメッキ層３３を形成することにより形成される。ただし、第一電極シート２５の製造方法は上記の方法に限定されない。
【0052】
図５（ａ）に示すように、本形態の第一電極シート２５は、複数の経糸フィラメント集合体７２ａと、複数の緯糸フィラメント集合体７２ｂと、を備える。第一電極シート２５は、複数のフィラメント集合体７２の間に開口する第一開口部３４ａを備える。第一開口部３４ａは第一電極シート２５を貫通している。本実施例１における、第一電極シート２５に形成された第一開口部３４ａの開口面積の、第一電極シート２５の面積に対する割合である開口率は、約３％である。なお、本開口率は、第一電極シート２５の対象領域に形成された複数の第一開口部３４ａの開口面積の合計の、第一電極シート２５の対象領域の面積に対する割合である。本開口率は、例えば、第一電極シート２５において１０ｍｍ×１０ｍｍの対象領域を特定し、対象領域内の第一開口部３４ａの面積を合計し、合計面積を対象領域の面積で除算して算出する。
【0053】
図５（ｂ）に示すように、本形態の第二電極シート２６は、複数の経糸フィラメント集合体７２ａと、複数の緯糸フィラメント集合体７２ｂと、を備える。本形態の第二電極シート２６は、複数のフィラメント集合体７２の間に開口する第二開口部３４ｂを備える。第二開口部３４ｂは第二電極シート２６を貫通している。本実施例１における、第二電極シート２６に形成された第二開口部３４ｂの開口面積の、本形態の第二電極シート２６の面積に対する割合である開口率は、約３％である。
【0054】
第一電極シート２５を構成するフィラメント集合体７２に含まれるフィラメント７１の本数は特に制限されない。本形態に係るフィラメント集合体７２は７５本のフィラメント７１を備えるが、任意の本数とすることができる。また、第二電極シート２６についても、第一電極シート２５と同様である。
【0055】
図６に示すように、フィラメント集合体７２を構成する無撚糸束線７４の表面の少なくとも一部には、メッキ層３３が形成されている。経糸フィラメント集合体７２ａのメッキ層３３と、緯糸フィラメント集合体７２ｂのメッキ層３３とが接触することにより、経糸フィラメント集合体７２ａと緯糸フィラメント集合体７２ｂとが電気的に接続される。
【0056】
図５（ａ）に示すように、複数の経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向Ｓと、第一電極シート２５の長手方向Ｘと、が交差して配置されている。また、複数の緯糸フィラメント集合体７２ｂの長手方向Ｔと、第一電極シート２５の長手方向Ｘと、が交差して配置されている。詳細には、複数の経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向Ｓは、第一電極シート２５の長手方向Ｘに対して、鋭角の角度が実質的に４５°である。また、複数の緯糸フィラメント集合体７２ｂの長手方向Ｔは、第一電極シート２５ａの長手方向Ｘに対して、鋭角の角度が実質的に４５°である。角度が実質的に４５°であるということは、４５°である場合を含むとともに、実質的に４５°であると認定できる場合も含む。なお、第二電極シート２６についても、第一電極シート２５と同様の構成を備えるので、重複する説明を省略する。
【0057】
第一電極シート２５の長手方向Ｘに対して、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向Ｓが平行な場合（鋭角の角度が実質的に０°の場合）、第一電極シート２５を方向Ｘに平行に伸張すると、経糸フィラメント集合体７２ａそのものを引き延ばすこととなり、大きな荷重が必要である。
【0058】
一方、第一電極シート２５の長手方向Ｘに対して、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向Ｓが斜め４５°に傾斜している場合（鋭角の角度が実質的に４５°の場合）、第一電極シート２５を方向Ｘに平行に伸張すると、経糸フィラメント集合体７２ａと緯糸フィラメント集合体７２ｂで構成される正方形または長方形の格子（第一開口部３４ａ）が菱形形状に変形することとなり、経糸フィラメント集合体７２ａまたは緯糸フィラメント集合体７２ｂそのものを引き延ばすことにならないため、大きな荷重を必要としない。すなわち、鋭角の角度が実質的に４５°になっている場合には、構造的な柔軟性が付与される。さらに、開口率が高いほど、正方形または長方形の格子が菱形形状に変形しやすくなり、構造的な柔軟性が損なわれにくい。第二電極シート２６についても、第一電極シート２５と同様なので、重複する説明を省略する。
【0059】
ただし、複数の経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向Ｓは、第一電極シート２５の長手方向Ｘに対して、鋭角の角度が４５°と異なる角度であっても良い。また、複数の緯糸フィラメント集合体７２ｂの長手方向Ｔは、第一電極シート２５の長手方向Ｘに対して、鋭角の角度が４５°と異なる角度であっても良い。
【0060】
経糸フィラメント集合体７２ａを構成する複数のフィラメント７１の本数と、緯糸フィラメント集合体７２ｂを構成する複数のフィラメント７１の本数は、同じであっても良いし、異なっていても良い。本実施例１においては、経糸フィラメント集合体７２ａを構成する複数のフィラメント７１の本数と、緯糸フィラメント集合体７２ｂを構成する複数のフィラメント７１の本数は、実質的に同じに設定されている。実質的に同じとは、同じである場合を含むとともに、同じでない場合であっても実質的に同じと認定しうる場合も含む。緯糸フィラメント集合体７２ｂにおいても、上記と同様であるので、重複する説明を省略する。本実施例１においては、フィラメント７１の本数は７５本に設定されている。ただし、フィラメント７１の本数は上記の本数に限定されない。
【0061】
図６に示すように、経糸フィラメント集合体７２ａを構成する複数のフィラメント７１の少なくとも一部には、メッキ層３３が形成されている。例えば、経糸フィラメント集合体７２ａの外面に露出するフィラメント７１の表面には、メッキ層３３が形成されている。経糸フィラメント集合体７２ａの内部に位置するフィラメント７１のうち一部のフィラメント７１の表面にはメッキ層３３が形成されていない。メッキ層３３が形成されていない部分においては、フィラメント７１の表面が露出している。緯糸フィラメント集合体７２ｂにおいても、上記と同様であるので、重複する説明を省略する。ただし、複数のフィラメント７１を構成する各フィラメントの表面にメッキ層３３が形成されていても良い。
【0062】
経糸フィラメント集合体７２ａと、緯糸フィラメント集合体７２ｂとが互いに対向して交差する部分においては、一部にメッキ層３３が形成されるとともに、メッキ層３３が形成されていない部分においては、フィラメント７１の表面が露出している。経糸フィラメント集合体７２ａと、緯糸フィラメント集合体７２ｂとが互いに対向して交差する部分のうち、外部に露出する部分寄りの領域にメッキ層３３が形成されており、内部寄りの部分においてメッキ層３３が形成されていない。なお、緯糸フィラメント集合体７２ｂについても、経糸フィラメント集合体７２ａと同様の構成を備えるので、重複する説明を省略する。
【0063】
本実施形態１においては、フィラメント７１を構成する樹脂は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）であり、フィラメント７１の直径は約１０μｍである。メッキ層３３を構成する金属は、３層構造に形成されており、最外層がＮｉとされ、中間層がＣｕとされ、最内層(フィラメント７１側)がＮｉとされる。経糸フィラメント集合体７２ａの直径は約１８５μｍであり、緯糸フィラメント集合体７２ｂの直径は約１８５μｍである。
【0064】
図４に示すように、上記した第一電極シート２５を、絶縁シート２４の第一面２７に、第一接合部３６を介して接合する。また、第一電極シート２５と同様の構成を備えた第二電極シート２６を、絶縁シート２４の第二面２８に、第二接合部３７を介して接合する。絶縁シート２４は、エーテル系ポリウレタン発泡体である。第一接合部３６は、ノガワケミカル社製、アクリル系粘着剤である。第一接合部３６の厚さは５０μｍである。第一接合部３６と第二接合部３７とは同一なので重複する説明を省略する。
【0065】
第一電極シート２５の外面に第一保護部６１の表面に第一保護部６１を配置して一体化する。第一電極シート２５と第一保護部６１とは、アクリル系粘着剤により一体化される。第一保護部６１を構成する樹脂はアクリル系粘着剤である。第一保護部６１の厚さは約５０～１００μｍである。第一保護部６１と第二保護部６２とは同一なので重複する説明を省略する。
【0066】
このようにして、実施例１の第一電極シート２５および第二電極シート２６に係るセンサシート１８のサンプル１を作製する。
【0067】
１．８．２．実施例２およびサンプル２
（実施例２）
続いて、図７（ａ）～図７（ｂ）を参照して、実施例２に係る第一電極シート２５ａおよび第二電極シート２６ａの構成について説明する。本実施例２に係る第一電極シート２５ａは、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数と、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数と、が異なる。本実施例２においては、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数が、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数よりも多い。ただし、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数が、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数より少ない構成としても良い。
（実施例２）
続いて、図７（ａ）～図７（ｂ）を参照して、実施例２に係る第一電極シート２５ａおよび第二電極シート２６ａの構成について説明する。本実施例２に係る第一電極シート２５ａは、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数と、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数と、が異なる。本実施例２においては、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数が、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数よりも多い。ただし、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数が、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数より少ない構成としても良い。
【0068】
本実施例２においては、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数は、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数の約２倍に設定されている。本実施例２においては、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数は約８０本に設定され、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１の本数は約４０本に設定されている。ただし、経糸フィラメント集合体７２ａａを構成するフィラメント７１ａの本数は、緯糸フィラメント集合体７２ｂａを構成するフィラメント７１ａの本数の差異は、上記に限られない。
【0069】
本実施例２に係る第一電極シート２５ａに形成された第一開口部３４ａの開口面積の、第一電極シート２５ａの面積に対する割合である開口率は、約１０％である。また、第二電極シート２６ａに形成された第二開口部３４ｂの開口面積の、第二電極シート２６ａの面積に対する割合である開口率は、約１０％である。
【0070】
第二電極シート２６ａは、第一電極シート２５ａと同様の構成なので、重複する説明を省略する。
【0071】
本実施例２においては、フィラメント７１ａを構成する樹脂は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）であり、フィラメント７１ａの直径は約１０μｍである。メッキ層３３を構成する金属は、単層構造を備え、Ｎｉ単層とされる。経糸フィラメント集合体７２ａの直径は約１８０μｍであり、緯糸フィラメント集合体７２ｂの直径は約９０μｍである。
【0072】
上記以外の構成は実施例１と同様なので、重複する説明を省略する。
【0073】
また、本実施例２においては、絶縁シート２４は、エーテル系ポリウレタン発泡体である。第一接合部３６は、アクリル系粘着剤である。第一接合部３６の厚さは約５０μｍである。第一接合部３６と第二接合部３７とは同一なので重複する説明を省略する。
第一電極シート２５ａの外面に第一保護部６１の表面に第一保護部６１を配置して一体化する。第一電極シート２５ａと第一保護部６１とは、アクリル系粘着剤により一体化される。第一保護部６１を構成する樹脂はアクリル系粘着剤である。第一保護部６１の厚さは約５０～１００μｍである。第一保護部６１と第二保護部６２とは同一なので重複する説明を省略する。
第一電極シート２５ａの外面に第一保護部６１の表面に第一保護部６１を配置して一体化する。第一電極シート２５ａと第一保護部６１とは、アクリル系粘着剤により一体化される。第一保護部６１を構成する樹脂はアクリル系粘着剤である。第一保護部６１の厚さは約５０～１００μｍである。第一保護部６１と第二保護部６２とは同一なので重複する説明を省略する。
【0074】
上記以外は、サンプル１と同様にして、実施例２の第一電極シート２５ａおよび第二電極シート２６ａに係るセンサシート１８のサンプル２を作製する。サンプル１と重複する説明は省略する。
【0075】
１．８．３．第一電極シートの引張試験
次に、図８を参照して、第一電極シートに対して実施した引張試験について説明する。実施例１～２に係る第一電極シートを、１５０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出して試験片を作製した。第一電極シートの厚みは、実施例１～２でそれぞれ異なるが、約０．１ｍｍである。試験片の長手方向と、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。
次に、図８を参照して、第一電極シートに対して実施した引張試験について説明する。実施例１～２に係る第一電極シートを、１５０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出して試験片を作製した。第一電極シートの厚みは、実施例１～２でそれぞれ異なるが、約０．１ｍｍである。試験片の長手方向と、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。
【0076】
試験片を、一対のチャックにより把持する。一対のチャック間距離は７０ｍｍである。試験片を１ｍｍ／ｓｅｃの引張速度で引張試験を実施し、荷重を試験片の断面積で除することにより応力を算出する。引張試験機は、島津製作所製、ＡＧＳ-Ｘ １ｋＮである。引張試験は、歪みが０～２０％の範囲で実施する。図８に、応力の、歪みに対する変化を示すグラフを示す。
【0077】
実施例１および実施例２は、歪みが０～２０％の領域において、応力は、緩やかに、単調に増加した。実施例および実施例２は、引張試験における応力―歪み曲線において、歪みが０．５～１０％の区間に極大値を示す降伏点を有しない。
【0078】
実施例１は、歪みが５％のときに約１．４ＭＰａの応力を示し、歪みが２０％のときに約７．５ＭＰａの応力を示す。実施例２は、歪みが５％のときに約０．９ＭＰａの応力を示し、歪みが２０％のときに約５．９ＭＰａの応力を示す。実施例１および実施例２に係る第一電極シート２５，２５ａは、歪みが０～５％における応力の最大値が３ＭＰａ以下であり、歪みが０～２０％における応力の最大値が１５ＭＰａ以下である。
【0079】
１．８．４．センサシートの引張試験
次に、センサシートに対して実施した引張試験について説明する。サンプル１～２に係るセンサシートを、９０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出すことにより試験片を作製する。センサシートの厚みは、実施例１～２でそれぞれ異なるが、約１ｍｍである。試験片の長手方向と、第一電極シートおよび第二電極シートを構成する経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
次に、センサシートに対して実施した引張試験について説明する。サンプル１～２に係るセンサシートを、９０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出すことにより試験片を作製する。センサシートの厚みは、実施例１～２でそれぞれ異なるが、約１ｍｍである。試験片の長手方向と、第一電極シートおよび第二電極シートを構成する経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
【0080】
第一電極シートの長手方向の一方の端部に電線を接続し、直流電源と接続する。第一電極シートの長手方向の他方の端部に電線を接続し、電圧計測器と接続する。
【0081】
試験片を、一対のチャックにより把持する。一対のチャック間距離は５０ｍｍである。試験片を１ｍｍ／ｓｅｃの引張速度で引張試験を実施し、荷重を試験片の断面積で除することにより応力を算出する。また、引張試験の実施中に、直流電源の電圧と、センサシートの電圧降下から、センサシートの直流抵抗値（電気抵抗値の一例）を算出する。
【0082】
図９に、センサシートに実施した引張試験における、応力―歪み曲線を示す。図９には、歪みが０～２０％の領域のグラフを示す。サンプル１～２の応力は、歪みが０～２０％の領域において単調に増加した。サンプル１およびサンプル２は、引張試験における応力―歪み曲線において、歪みが０．５～１０％の区間に極大値を示す降伏点を有しない。
【0083】
サンプル１は、歪みが５％のときに約０．５ＭＰａの応力を示し、歪みが２０％のときに、応力の最大値である約２．６ＭＰaを示す。サンプル２は、歪みが５％のときに約０．３ＭＰａの応力を示し、歪みが２０％のときに、応力の最大値である約１．５ＭＰaを示す。サンプル１およびサンプル２は、応力―歪み曲線において、歪みが０～５％における応力の最大値が０．５ＭＰａ以下であり、歪みが０～２０％における応力の最大値が３ＭＰａ以下である。
【0084】
サンプル１およびサンプル２は、応力―歪み曲線において、歪みが０～５％における応力が０．５ＭＰａ以下であり、歪みが０～２０％における応力の最大値が３ＭＰａ以下である。
【0085】
サンプル１およびサンプル２に引張り力が印加されると、第一電極シートの第一開口部３４ａが、引張方向に伸長し、引張方向と交差する方向について縮む。図１０に、サンプル２を例にして、第一開口部３４ａが変形する状態を示す。図１０（ａ）に示すように、伸長率０％の状態では、第一開口部３４ａが開口しているが、伸長率が１０％（図１０（ｂ）参照）、２０％（図１０（ｃ）参照）、３０％（図１０（ｄ）参照）と大きくなるにつれ、導電布の繊維の間の隙間が減少し、伸長率３０％の状態で、第一開口部３４ａがほとんど消失していく。このような繊維形状の変化によって、たやすく伸張できるため、伸張時に発生する応力が小さいと考えられる。すなわち、第一開口部３４ａの存在が、この繊維の構造的な伸縮柔軟性の発現に寄与していると考えられる。上記の構成は、第二電極シートについても同様であるので、説明を省略する。なお、サンプル１についても同様なので、説明を省略する。
【0086】
サンプル１およびサンプル２においては、引張り力がセンサシートに印加された場合、第一開口部３４ａが徐々に変形することにより、引張り力が吸収されたと考えられる。これにより、経糸フィラメント集合体７２ａと緯糸フィラメント集合体７２ｂとが交差する部分において、経糸フィラメント集合体７２ａと緯糸フィラメント集合体７２ｂとの相対的な位置が大きく変化しないので、経糸フィラメント集合体７２ａと緯糸フィラメント集合体７２ｂとの電気的な接続状態が維持されると考えられる。これによりサンプル１およびサンプル２においては、引張り力がセンサシートに印加された場合でも、直流抵抗値がほとんど変化しないと考えられる。
【0087】
１．８．５．センサシートの直流抵抗値変化率
次に、センサシートに対して、直流抵抗値変化率を測定した。センサシートを、９０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出して試験片を作製した。試験片の長手方向と、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
次に、センサシートに対して、直流抵抗値変化率を測定した。センサシートを、９０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出して試験片を作製した。試験片の長手方向と、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
【0088】
試験片を、一対のチャックにより把持する。一対のチャック間距離は５０ｍｍである。試験片を１ｍｍ／ｓｅｃの引張速度で引張試験を実施する。第一電極シートの両端部にそれぞれ電線を接続し、両電線間の直流抵抗値を測定した。このときの直流抵抗値について、下記の式（１）に基づいて、直流抵抗値変化率を算出する。直流抵抗値の測定は、ＫＥＩＴＨＬＥＹ社製、デジタルマルチメーター ２０００シリーズを用いる。上記の試験を、サンプル１～２について実施する。
【0089】
【数1】
【0090】
図１０は、直流抵抗値変化率の、歪みに対する変化を示すグラフである。サンプル１の直流抵抗値変化率は、歪みが０～約２％の区間で増加し、歪みが約２％の状態において、直流抵抗率変化率は約５％となった。その後、約２～約５％の区間で減少し、直流抵抗率変化率は約０％となった。その後、歪みが約２５％以上で、直流抵抗値変化率は緩やかに増加し、直流抵抗値変化率は、歪みが３０％において約７％となった。このように、サンプル１の直流抵抗値変化率は、歪みが０～３０％の区間において１０％以下であった。
【0091】
サンプル２の直流抵抗値変化率は、歪みが０～約３％の区間で増加し、歪みが約３％の状態において、直流抵抗率変化率は約１０％となった。その後、約３～約５％の区間で減少し、直流抵抗率変化率は約０％となった。その後、歪みが３０％においても直流抵抗値変化率は約０％であった。このように、サンプル２の直流抵抗値変化率は、歪みが０～３０％の区間において１０％以下であった。
【0092】
１．８．６．１０％伸長時におけるセンサシートの直流抵抗値変化率
次に、センサシートに対して、１０％伸長時における直流抵抗値変化率を測定した。センサシートを、９０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出して試験片を作製した。試験片の長手方向と、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
次に、センサシートに対して、１０％伸長時における直流抵抗値変化率を測定した。センサシートを、９０ｍｍ×２０ｍｍの短冊状に切出して試験片を作製した。試験片の長手方向と、経糸フィラメント集合体７２ａの長手方向とのなす角度は、４５°に設定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
【0093】
試験片を、一対のチャックにより把持する。一対のチャック間距離は５０ｍｍである。試験片を１ｍｍ／ｓｅｃの引張速度で引張試験を実施する。第一電極シートの両端部にそれぞれ電線を接続し、両電線間の直流抵抗値を測定した。このときの直流抵抗値について、下記の式（１）に基づいて、直流抵抗値変化率を算出する。直流抵抗値の測定は、ＫＥＩＴＨＬＥＹ社製、デジタルマルチメーター ２０００シリーズを用いる。上記の試験を、サンプル１～２について実施する。
【0094】
上記したセンサシートの直流抵抗値変化率の測定に際して、センサシートを、センサシートに引張り力を加える前の状態における基準長さ（５０ｍｍ）に対して、１０％伸長させた後、基準長さに戻し、再び１０％伸長させる試験を所定回数繰返す。本試験での繰り返し回数は、１回、５回、１０回である。このときの直流抵抗値について、上記の式（１）に基づいて、直流抵抗値変化率を算出する。上記の試験を、サンプル１～２について実施する。
【0095】
図１２に、伸張試験の繰返し回数と、直流抵抗値変化率との関係に係るグラフを示す。サンプル１は、初回測定時の直流抵抗値変化率は約０％であった。その後、繰返し回数が増加するにつれて、１回繰返し時は約３６％、５回繰返し時は約約４８％、１０回繰返し時は約約５７％と、直流抵抗値変化率は増加した。１０回繰返し時において、サンプル１の直流抵抗率変化率は６０％以下であった。
【0096】
サンプル２は、初回測定時の直流抵抗率変化率は約１４％であり、サンプル１よりも大きかったが、１回繰返し時は約９％、５回繰返し時は約１５％と、繰返し回数が増加しても直流抵抗値変化率はあまり増加しなかった。１０回繰返し時は約３０％であった。１０回繰返し時において、サンプル２の直流抵抗値変化率は５０％以下であった。上記のように、サンプル１および２に係るセンサシートは、１０％伸長試験を繰返した場合でも、直流抵抗値の変化が小さいことが分かった。
【0097】
１．８．７．２０％伸長時におけるセンサシートの直流抵抗値変化率
続いて、サンプル１～２について、センサシートを２０％伸長した場合における直流抵抗値変化率を測定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
続いて、サンプル１～２について、センサシートを２０％伸長した場合における直流抵抗値変化率を測定する。なお、本試験では、上述したサンプル１～２の構成からそれぞれ第一保護部６１と第二保護部６２を除外した構成を試験片として用いた。
【0098】
図１３に、伸張試験の繰返し回数と、直流抵抗値変化率との関係に係るグラフを示す。サンプル１は、初回測定時の直流抵抗値変化率は約０％であった。その後、１回繰返し時は約３５％、５回繰返し時は約９１％と、繰返し回数が増加するにつれて、直流抵抗値変化率は増加した。１０回繰返し時において、直流抵抗値変化率は約１３７％であった。
【0099】
サンプル２は、初回測定時の直流抵抗率変化率は、約１０％と、サンプル１よりも大きかったが、１回繰返し時は約２７％、５回繰返し時は約３２％と、繰返し回数が増加しても直流抵抗値変化率はあまり増加しなかった。１０回繰返し時において、サンプル２の直流抵抗値変化率は約５５％であった。上記のように、サンプル１および２に係るセンサシートは、２０％伸長試験を繰返した場合でも、直流抵抗値の変化が小さいことが分かった。
【0100】
１．９．実施形態１の変形例
図１４～図１６を参照して、実施形態１の変形例について説明する。本変形例は、第一電極シート２５ｃ、および第二電極シート２６ｃの構成が実施例１と異なる。図１４（ａ）に示すように、本変形例の第一電極シート２５ｃは、複数の経糸４１と、複数の緯糸４２と、を備える。第一電極シート２５ｃは、経糸４１と、複数の緯糸４２とが織られることにより形成される。経糸４１は１本のフィラメント７１と、フィラメント７１の表面に形成されたメッキ層３３と、により構成され、緯糸４２は１本のフィラメント７１と、フィラメント７１の表面に形成されたメッキ層３３と、により構成されている。
図１４～図１６を参照して、実施形態１の変形例について説明する。本変形例は、第一電極シート２５ｃ、および第二電極シート２６ｃの構成が実施例１と異なる。図１４（ａ）に示すように、本変形例の第一電極シート２５ｃは、複数の経糸４１と、複数の緯糸４２と、を備える。第一電極シート２５ｃは、経糸４１と、複数の緯糸４２とが織られることにより形成される。経糸４１は１本のフィラメント７１と、フィラメント７１の表面に形成されたメッキ層３３と、により構成され、緯糸４２は１本のフィラメント７１と、フィラメント７１の表面に形成されたメッキ層３３と、により構成されている。
【0101】
第一電極シート２５ｃは、複数の経糸４１のうち隣り合う２つの経糸４１と、複数の緯糸４２のうち隣り合う２つの緯糸４２と、の間に開口する第一開口部３４ａを備える。第一開口部３４ａは第一電極シート２５ｃを貫通している。本変形例における、第一電極シート２５ｃに形成された第一開口部３４ａの開口面積の、第一電極シート２５ｃの面積に対する割合である開口率は、約６３％である。
【0102】
図１４（ｂ）に示すように、本変形例の第二電極シート２６ｃは、複数の経糸４１と、複数の緯糸４２と、を備える。第二電極シート２６ｃは、経糸４１と、複数の緯糸４２とが織られることにより形成される。経糸４１は１本のフィラメント７１により構成され、緯糸４２は１本のフィラメント７１により構成されている。
【0103】
第二電極シート２６ｃは、複数の経糸４１のうち隣り合う２つの経糸４１と、複数の緯糸４２のうち隣り合う２つの緯糸４２と、の間に開口する第二開口部３４ｂを備える。本変形例における、第二電極シート２６ｃに形成された第二開口部３４ｂの開口面積の、第二電極シート２６ｃの面積に対する割合である開口率は、約６３％である。
【0104】
図１４（ａ）に示すように、本変形例に係る複数の経糸４１同士の間隔は実質的に等間隔に配置されている。ただし、実質的に等間隔とは、等間隔である場合を含むとともに、等間隔でない場合であっても、実質的に等間隔であると認定できる場合も含む。また、複数の経糸４１同士の間隔は異なっていても良い。
【0105】
また、本変形例に係る複数の緯糸４２同士の間隔は実質的に等間隔に配置されている。ただし、実質的に等間隔とは、等間隔である場合を含むとともに、等間隔でない場合であっても、実質的に等間隔であると認定できる場合も含む。また、複数の緯糸４２同士の間隔は異なっていても良い。
【0106】
図１４（ｂ）に示すように、第二電極シート２６の構成は第一電極シート２５と同様なので、重複する説明を省略する。
【0107】
図１５に示すように、経糸４１の少なくとも一部には、メッキ層３３が形成されている。経糸４１の全表面にメッキ層３３が形成されていても良いし、経糸４１の表面の一部にメッキ層３３が形成されていても良い。
【0108】
また、緯糸４２の少なくとも一部には、メッキ層３３が形成されている。緯糸４２の全表面にメッキ層３３が形成されていても良いし、緯糸４２の表面の一部にメッキ層３３が形成されていても良い。
【0109】
本変形例においては、経糸４１の表面に形成されたメッキ層３３と、緯糸４２の表面に形成されたメッキ層３３とが接触することにより、経糸４１と緯糸４２とが電気的に接続される。
【0110】
本変形例に引張り力が印加されると、第一電極シート２５ｃの第一開口部３４ａが、引張方向に伸長し、引張方向と交差する方向について縮む。図１６に、本変形例において、第一開口部３４ａが変形する状態を示す。これにより、引張り力が吸収されるので、応力の変化が小さいと考えられる。なお、第二電極シート２６ｃについても同様なので、重複する説明を省略する。
【0111】
上記以外の構成は実施例１と同様なので、重複する説明を省略する。
【0112】
１．１０．本実施形態の作用効果
続いて、本実施形態の作用効果について説明する。本形態に係るセンサシート１８は、第一面２７および第二面２８を有する絶縁シート２４と、絶縁シート２４の第一面２７側に配置され、導電布からなる第一電極シート２５と、絶縁シート２４の第一面２７と第一電極シート２５の内面とを接合する第一接合部３６と、第一電極シート２５の外面に配置されて、第一電極シート２５の外面を保護する第一保護部６１と、を備える。
続いて、本実施形態の作用効果について説明する。本形態に係るセンサシート１８は、第一面２７および第二面２８を有する絶縁シート２４と、絶縁シート２４の第一面２７側に配置され、導電布からなる第一電極シート２５と、絶縁シート２４の第一面２７と第一電極シート２５の内面とを接合する第一接合部３６と、第一電極シート２５の外面に配置されて、第一電極シート２５の外面を保護する第一保護部６１と、を備える。
【0113】
本形態によれば、第一電極シート２５が第一保護部６１により外力から保護されるので、第一電極シート２５の導電経路が損傷を受けることを抑制できる。これにより、センサシート１８の電気抵抗値の変化を抑制することができる。
【0114】
また、本形態に係るセンサシート１８は、絶縁シート２４の第二面２８側に配置され、導電布からなる第二電極シート２６と、絶縁シート２４の第二面２８と第二電極シート２６の内面とを接合する第二接合部３７と、第二電極シート２６の外面に配置されて、第二電極シート２６の外面を保護する第二保護部６２と、を備える。
【0115】
本形態によれば、第二電極シート２６が第二保護部６２により外力から保護されるので、第二電極シート２６の導電経路が損傷を受けることを抑制できる。これにより、センサシート１８のシールド性能が低下することを抑制できる。
【0116】
本形態に係る第一保護部６１および第二保護部６２は、樹脂材料を含んで構成される。これにより、第一保護部６１および第二保護部６２の強度を向上させる。また、第一電極シート２５の表面に第一保護部６１を配置する作業を容易に行うことができるとともに、第二電極シート２６の表面に第二保護部６２を配置する作業を容易に行うことができる。
【0117】
本形態に係る第一保護部６１は、第一電極シート２５の外面を覆う層状に形成されている。これにより、第一電極シート２５の外面を確実に覆うことができるので、第一電極シート２５をより一層保護することができる。この結果、センサシート１８の電気抵抗値が変化することをさらに抑制できる。
【0118】
また、第二保護部６２は、第二電極シート２６の外面を覆う層状に形成されている。これにより、第二電極シート２６の外面を確実に覆うことができるので、第二電極シート２６をより一層保護することができる。この結果、センサシート１８のシールド性能をさらに向上させることができる。
【0119】
本形態に係る第一電極シート２５を構成する導電布は、複数のフィラメント集合体７２が織られている。第一保護部６１は、フィラメント集合体７２の外周に形成されている。これにより、第一保護部６１によりフィラメント集合体７２を保護することができので、センサシート１８の電気抵抗値が変化することをさらに抑制できる。
【0120】
本形態に係る第一接合部３６は、絶縁シート２４と、第一電極シート２５との間に介在している。これにより、絶縁シート２４と、第一電極シート２５と、を確実に接合することができる。
【0121】
本形態に係る第一電極シート２５を構成する導電布は、複数のフィラメント集合体７２が織られており、フィラメント集合体７２は複数のフィラメント７１を備える。導電布は、複数のフィラメント集合体７２の間に開口する第一開口部３４ａを備える。第一開口部３４ａの開口面積の、第一電極シート２５の面積に対する割合である開口率は３％以上である。これにより、第一電極シート２５に外力が加えられた場合に、第一開口部３４ａが変形することにより、外力を吸収することができる。これにより、第一電極シート２５に過度の大きな応力が加わることを抑制できるので、第一電極シート２５の導電経路が破損することを抑制できる。この結果、センサシート１８の電気的抵抗値が変化することを抑制できる。
【0122】
本形態に係る絶縁シート２４は、発泡エラストマー製である。これにより、絶縁シート２４の柔軟性を向上させることができる。この結果、センサシート１８に外力が加えられた場合に、絶縁シート２４が変形することにより外力を吸収することができる。これにより、第一電極シート２５に過度の大きな応力が加わることを抑制できるので、第一電極シート２５の導電経路が破損することを抑制できる。この結果、センサシート１８の電気的抵抗値が変化することを抑制できる。
【0123】
本形態に係る導電布は、複数のフィラメント集合体７２が織られており、フィラメント集合体７２は、複数のフィラメント７１と、フィラメント７１の表面の少なくとも一部に形成されたメッキ層３３と、を備える。複数のフィラメント７１の表面に形成されたメッキ層３３が互いに接触することにより、複数のフィラメント７１が電気的に接続される。これにより、第一電極シート２５の導通経路が形成される。
【0124】
メッキ層３３は、複数のフィラメント７１の各フィラメント７１の表面に形成されている。これにより、センサシート１８に外力が加えられて、複数のフィラメント７１の相対的な位置が変動した場合でも、各フィラメント７１の表面に形成されたメッキ層３３によって、導通経路が形成されやすくなっている。この結果、センサシート１８の電気的抵抗値が変化することを抑制できる。
【0125】
（実施形態２）
次に、図１７～図１８を参照して、実施形態２について説明する。図１７に示すように、本形態に係る第一接合部３６は、第一電極シート２５の外面に露出した第一露出接合部３６ａを備える。第一露出接合部３６ａは、第一電極シート２５の外面に層状に形成されている。第一露出接合部３６ａは、第一電極シート２５を保護する第一保護部６１を兼ねる。これにより、第一接合部３６の他に、別途、第一保護部６１を第一電極シート２５に配置して固定する場合に比べて、センサシート１８の製造工程を簡略化できる。
次に、図１７～図１８を参照して、実施形態２について説明する。図１７に示すように、本形態に係る第一接合部３６は、第一電極シート２５の外面に露出した第一露出接合部３６ａを備える。第一露出接合部３６ａは、第一電極シート２５の外面に層状に形成されている。第一露出接合部３６ａは、第一電極シート２５を保護する第一保護部６１を兼ねる。これにより、第一接合部３６の他に、別途、第一保護部６１を第一電極シート２５に配置して固定する場合に比べて、センサシート１８の製造工程を簡略化できる。
【0126】
図１８に示すように、第一電極シート２５は、第一開口部３４ａを備える。第一開口部３４ａの内部に、第一接合部３６が侵入している。第一接合部３６のうち第一開口部３４ａ内に侵入した部分は、第一侵入接合部３６ｂとされる。第一侵入接合部３６ｂは、第一電極シート２５を貫通して、第一露出接合部３６ａと連続している。上記したように、第一露出接合部３６ａは第一保護部６１を兼ねるので、第一侵入接合部３６ｂは、第一保護部６１と連続している。
【0127】
本形態によれば、第一電極シート２５の第一開口部３４ａ内に第一接合部３６を侵入させて第一侵入接合部３６ｂとし、第一露出接合部３６ａと第一侵入接合部３６ｂとを連続的な形状とすることができる。これにより、絶縁シート２４の第一面２７に第一接合部３６を積層し、この第一接合部３６の上に第一電極シート２５を配置し、第一電極シート２５を絶縁シート２４に向けて押圧すると、第一電極シート２５の第一開口部３４ａ内に第一侵入接合部３６ｂが侵入し、さらに第一電極シート２５を覆うことにより第一露出接合部３６ａを形成し、この第一露出接合部３６ａを、第一電極シート２５を保護する第一保護部６１とすることができる。
【0128】
本形態に係る第一開口部３４ａの開口率は３％以上であるので、第一接合部３６を、容易に第一開口部３４ａ内に侵入させることができる。これにより、本形態に係るセンサシート１８を容易に製造することができる。なお、第一開口部３４ａの開口率は、好ましくは５％以上、より好ましくは１０％以上とすることで、第一接合部３６を、より容易に第一開口部３４ａ内に侵入させることができる。
【0129】
また、図１７に示すように、本形態に係る第二接合部３７は、第二電極シート２６の外面に露出した第二露出接合部３７ａを備える。第二露出接合部３７ａは、第二電極シート２６の外面に層状に形成されている。第二露出接合部３７ａは、第二電極シート２６を保護する第二保護部６２を兼ねる。第二接合部３７、および第二電極シート２６に係る構成は、第一接合部３６、および第一電極シート２５に係る構成と同一なので、重複する説明を省略する。
【0130】
なお、実施形態２以降において用いた符号のうち、既出の実施形態において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、既出の実施形態におけるものと同様の構成要素等を表す。
【0131】
（実施形態３）
次に、図１９～図２０を参照して、実施形態３について説明する。図１９に示すように、本形態に係る第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７に配置されている。第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７と全面にわたって接触していても良いし、部分的に接触していても良い。これにより、絶縁シート２４と第一電極シート２５とが直接に接触することにより、絶縁シート２４と第一電極シート２５との間に第一接合部３６が介在しない第一直接領域３８が形成されている（図２０参照）。
次に、図１９～図２０を参照して、実施形態３について説明する。図１９に示すように、本形態に係る第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７に配置されている。第一電極シート２５は、絶縁シート２４の第一面２７と全面にわたって接触していても良いし、部分的に接触していても良い。これにより、絶縁シート２４と第一電極シート２５とが直接に接触することにより、絶縁シート２４と第一電極シート２５との間に第一接合部３６が介在しない第一直接領域３８が形成されている（図２０参照）。
【0132】
第一接合部３６は、第一電極シート２５の外面に配置されている。これにより、第一接合部３６のうち、第一電極シート２５の外面に露出した部分は第一露出接合部３６ｃとされる。第一露出接合部３６ｃは、第一電極シート２５の外面に層状に形成されている。第一露出接合部３６ｃは、第一電極シート２５を保護する第一保護部６１ａを兼ねる。
【0133】
図２０に示すように、第一電極シート２５は、第一開口部３４ａを備える。第一開口部３４ａの内部に、第一接合部３６が侵入している。第一接合部３６のうち第一開口部３４ａ内に侵入した部分は、第一侵入接合部３６ｄとされる。第一侵入接合部３６ｄは、第一電極シート２５を貫通して、第一露出接合部３６ｃと連続している。上記したように、第一露出接合部３６ｃは第一保護部６１ａを兼ねるので、第一侵入接合部３６ｄは、第一保護部６１ａと連続している。
【0134】
本形態によれば、第一電極シート２５の第一開口部３４ａ内に第一接合部３６を侵入させて第一侵入接合部３６ｄとし、第一露出接合部３６ｃと第一侵入接合部３６ｄとを連続的な形状とすることができる。これにより、絶縁シート２４の第一面２７に第一接合部３６を積層し、この第一接合部３６の外面に第一電極シート２５を配置し、第一電極シート２５を絶縁シート２４に向けて押圧すると、第一電極シート２５の第一開口部３４ａ内に第一侵入接合部３６ｄが侵入し、さらに第一電極シート２５を覆うことにより第一露出接合部３６ｃを形成し、この第一露出接合部３６ｃを、第一電極シート２５を保護する第一保護部６１ａとすることができる。
【0135】
また、図１９に示すように、本形態に係る第二電極シート２６は、絶縁シート２４の第二面２８に配置されている。第二電極シート２６は、絶縁シート２４の第二面２８と全面にわたって接触していても良いし、部分的に接触していても良い。これにより、絶縁シート２４と第二電極シート２６とが直接に接触することにより、絶縁シート２４と第二電極シート２６との間に第二接合部３７が介在しない第二直接領域３９が形成されている。
【0136】
第二接合部３７は、第二電極シート２６の外面に配置されている。これにより、第二接合部３７のうち、第二電極シート２６の外面に露出した部分は第二露出接合部３７ｃとされる。第二露出接合部３７ｃは、第二電極シート２６の外面に層状に形成されている。第二露出接合部３７ｃは、第二電極シート２６を保護する第二保護部６２ａを兼ねる。第二接合部３７、および第二電極シート２６に係る構成は、第一接合部３６、および第一電極シート２５に係る構成と同一なので、重複する説明を省略する。
【0137】
上記以外は実施形態２と同様なので、重複する説明を省略する。
【0138】
本形態によれば、絶縁シート２４の第一面２７の上に第一電極シート２５を載置し、第一電極シート２５の上に、層状に形成された第一接合部３６を載置する。次に、第一接合部３６を絶縁シート２４に向けて押圧する。すると、第一接合部３６は、第一電極シート２５の第一開口部３４ａ内に侵入して第一侵入接合部３６ｄとなる。第一侵入接合部３６ｄは、第一開口部３４ａ内において、絶縁シート２４の第一面２７と接触している。第一開口部３４ａ内の第一侵入接合部３６ｄにより、絶縁シート２４と、第一電極シート２５とが接合される。なお、第二接合部３７、および第二電極シート２６に係る作用効果は、第一接合部３６、および第一電極シート２５に係る作用効果と同一なので、重複する説明を省略する。
【0139】
（実施形態４）
次に、図２１を参照して、実施形態４について説明する。図２１に示すように、本形態に係るセンサシート１８は、絶縁シート２４の第二面２８側に、第二電極シート２６が配置されていない点で、実施形態１と異なる。上記以外は実施形態１と同様なので、重複する説明を省略する。
次に、図２１を参照して、実施形態４について説明する。図２１に示すように、本形態に係るセンサシート１８は、絶縁シート２４の第二面２８側に、第二電極シート２６が配置されていない点で、実施形態１と異なる。上記以外は実施形態１と同様なので、重複する説明を省略する。
【0140】
また、詳細に図示しないが、実施形態２および実施形態３に係るセンサシート１８についても、絶縁シート２４の第二面２８側に、第二電極シート２６を配置しない構成としても良い。
【0141】
本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の実施形態に適用することが可能である。
【符号の説明】
【0142】
１８：センサシート、２４：絶縁シート、２５，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ：第一電極シート、２６，２６ａ，２６ｂ，２６ｃ：第二電極シート、２７：第一面、２８：第二面、３３：メッキ層、３４ａ：第一開口部、３４ｂ：第二開口部、３６：第一接合部、３６ａ，３６ｃ：第一露出接合部、３６ｂ，３６ｄ：第一侵入接合部、３７：第二接合部、３７ａ：第二露出接合部、３８：第一直接領域、３９：第二直接領域、６０：保護部、６１，６１ａ：第一保護部、６２，６２ａ：第二保護部、７１，７１ａ：フィラメント、７２：フィラメント集合体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】