特開 2024-138455 基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024138455

(43)【公開日】2024-10-08

(54)【発明の名称】基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241001BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】有

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024111738

(22)【出願日】2024-07-11

(62)【分割の表示】P 2022500224の分割

【原出願日】2020-10-07

(31)【優先権主張番号】16/789,814

(32)【優先日】2020-02-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】517340611

【氏名又は名称】カワサキロボティクス（ユーエスエー），インク．

(74)【代理人】

【識別番号】110000556

【氏名又は名称】弁理士法人有古特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】吉田 雅也

(72)【発明者】

【氏名】バロアニー， アビッシュ アショック

(72)【発明者】

【氏名】ゼン， ミン

(72)【発明者】

【氏名】ジェイパラン， サイモン

(72)【発明者】

【氏名】中原 一

(57)【要約】      （修正有）

【課題】コンパクトな基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法を提供する。
【解決手段】チャンバ３及び搬送チャンバを備える板処理設備１００において、搬送チャンバの搬送室に設置されている基板搬送装置１は、基板Ｗを保持するハンド１２と、ハンド１２を移動させるアーム１１とを備えるロボット１０と、ハンド１２の移動経路を設定し、ハンド１２が移動経路上を目標位置に向かって移動するようにアーム１１を制御するロボット制御装置１５と、所定の確認位置に位置するハンド１２に保持された基板Ｗを撮影可能に配置されているカメラ６と、を備え、ロボット制御装置１５は、確認位置を通るように移動経路を設定し、ハンド１２が確認位置に位置したときにカメラ６が撮影した画像を取得し、画像に写されている基板Ｗと所定の環境との距離を算出し、距離に基づいて基板Ｗの基準位置からの位置ずれ量を算出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板搬送装置であって、
基板を保持するハンドと、前記ハンドを移動させるアームとを備えるロボットと、
前記ハンドの移動経路を設定し、前記ハンドが前記移動経路上を目標位置に向かって移動するように前記アームを制御するロボット制御装置と、
前記基板搬送装置及び前記基板を取り巻く所定の環境と、所定の確認位置に位置する前記ハンドに保持された前記基板とを撮影可能に配置されているカメラと、を備え、
前記ロボット制御装置は、前記確認位置を通るように前記移動経路を設定し、前記ハンドが前記確認位置に位置したときに前記カメラが撮影した画像を取得し、前記画像に写されている前記基板と前記所定の環境との距離を算出し、前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの前記基板の径方向への位置ずれ量を算出し、
前記環境は、前記移動経路上を移動する前記基板が通過する基板処理設備のゲートの開口周縁である、基板搬送装置。

【請求項2】

前記ロボット制御装置は、前記位置ずれ量に基づいて前記目標位置を補正する、請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記ハンドは、前記基準位置からの位置ずれ方向への位置ずれを許容し、
前記ロボット制御装置は、前記画像に写されている前記位置ずれ方向における前記基板の一対の端部と前記環境との一対の間隙の寸法に基づいて、前記基板の前記基準位置からの位置ずれ量を算出する、請求項１又は２に記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記基準位置は、前記確認位置において、一対の間隙の寸法が互いに等しくなる位置である、請求項３に記載の基板搬送装置。

【請求項5】

所定の確認位置を通るように移動経路を設定し、
基板を保持する基板搬送装置のハンドであって、前記移動経路上を移動するハンドが前記確認位置に位置したときにカメラが撮影した画像を取得し、
前記画像に写されている前記基板と前記移動経路上を移動する前記基板が通過する基板処理設備のゲートの開口周縁との距離を算出し、
前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの前記基板の径方向への位置ずれ量を算出する、基板位置ずれ測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から基板の自動位置合せ装置が知られている。例えば特許文献１の基板の自動位置合せ装置は、２つのセンサーと２つの光源と基板を搬送する搬送チャックとを備えている。センサーと光源は、基板を挟んで上下に、且つ基板の搬送方向に関して対称となる位置で、基板の周縁部が２つのセンサーと光源間を横切るように設置されている。そして、搬送チャックが基板を吸引止着して移動させ、２つのセンサが遮光されたときのセンサー出力に基づいて基板の中心位置を算出し、その上で基板の基準点座標からのずれ量を算出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６３－９４６５３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特開昭６３－９４６５３号公報に記載の自動位置合せ装置は、位置ずれ量を算出するにあたり、基板を搬送方向に向けて一直線に大きく動かす必要があり、装置が大型化しやすいという問題があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するため、本発明のある態様に係る基板搬送装置は、基板を保持するハンドと、前記ハンドを移動させるアームとを備えるロボットと、前記ハンドの移動経路を設定し、前記ハンドが前記移動経路上を目標位置に向かって移動するように前記アームを制御するロボット制御装置と、所定の確認位置に位置する前記ハンドに保持された前記基板を撮影可能に配置されているカメラと、を備え、前記ロボット制御装置は、前記確認位置を通るように前記移動経路を設定し、前記ハンドが前記確認位置に位置したときに前記カメラが撮影した画像を取得し、前記画像に写されている前記基板と所定の環境との距離を算出し、前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの位置ずれ量を算出する。

【0006】

この構成によれば、確認位置において基板の位置ずれを測定することができ、基板の位置ずれを補償することができる基板搬送装置をコンパクトにすることができる。

【発明の効果】

【0007】

本発明は、基板搬送装置をコンパクトにすることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施の形態に係る基板搬送装置を備える基板処理設備の構成例を示す斜視図である。

【図2】図１の基板処理設備の構成例を示す平面図である。

【図3】図１の基板処理設備の動作例を示す平面図であり、ハンドが確認位置に位置する状態を示す図である。

【図4】図１の基板処理設備の動作例を示す図であり、確認位置に位置するハンドをカメラが撮影した画像を示す図である。

【図5】図１の基板処理設備の動作例を示す平面図であり、ハンドの移動経路を修正した状態を示す図である。

【図6】図１の基板搬送装置の変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施の形態によって本発明が限定されるものではない。また、以下では、全ての図を通じて、同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。

【0010】

図１は、実施の形態に係る基板搬送装置１を備える基板処理設備１００の構成例を示す斜視図である。図２は、基板処理設備１００の構成例を示す平面図である。

【0011】

図１及び図２に示すように、基板処理設備１００は、基板Ｗに熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及び平坦化処理等の各種プロセス処理を施すための設備である。本実施の形態において、基板Ｗは半導体ウェハでありシリコンウェハ、サファイヤ（単結晶アルミナ）ウェハ、その他の各種のウェハが例示される。なお、基板Ｗは、ガラス基板であってもよく、ガラスウェハとしては、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板が例示される。

【0012】

そして、基板処理設備１００は、チャンバ３、及び搬送チャンバ４を備え、チャンバ３は搬送チャンバ４にゲート５を介して接続されている。搬送チャンバ４の搬送室４１には基板搬送装置１が設置されている。基板Ｗは、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称されるキャリア１１０に複数収容された状態で基板処理設備１００に搬送され、搬送チャンバ４に接続される。そして、基板搬送装置１が、キャリア１１０に収容された基板Ｗを取り出し、搬送チャンバ４の搬送室４１を介して、チャンバ３の部屋３１の基板載置位置Ｐｐに移送する。基板載置位置Ｐｐには、例えば、基板Ｗを載置するためのステージ３２が設けられている。部屋３１は、例えば、基板Ｗに各種プロセス処理を施すための処理室、或いは、更に別のチャンバ３に基板Ｗを搬送するための搬送室である。そして、搬送チャンバ４からチャンバ３に搬入される基板Ｗは、チャンバ３の部屋３１と搬送チャンバ４の搬送室４１との間に設けられているゲート５の開口５１を通る。ゲート５は、部屋３１及び搬送室４１を区画している。開口５１は、部屋３１及び搬送室４１に向かって開口し、部屋３１と搬送室４１とを接続する通路である。この開口５１の開口周縁５２は、例えば略横長四角形に形成されており、開口５１は、基板Ｗの径よりも大きい幅寸法を有する。また、基板載置位置Ｐｐは、平面視において、ゲート５から部屋３１の奥行き方向に延びる直線上に位置決めされている。これによって、基板Ｗをゲート５（具体的には後述する確認位置Ｐｘ）から真っ直ぐ挿入することによって、基板Ｗを基板載置位置Ｐｐに位置させることができる。

【0013】

そして、基板載置位置Ｐｐに移送した基板Ｗは、チャンバ３等において、予め定める処理を施される。そして、基板搬送装置１によって、基板載置位置Ｐｐからキャリア１１０に移送され、キャリア１１０に再度収容される。これらの過程における基板Ｗへのパーティクルの付着等を防ぐため、基板処理設備１００は、部屋３１及び搬送室４１のクリーン度を高く保つための図示しない装置を含む。また、ゲート５は、チャンバ３側のクリーン度を高く保つための隔壁として機能する。

【0014】

基板搬送装置１は、基板Ｗを搬送する装置であり、ロボット１０と、ロボット制御装置１５と、カメラ６とを含む。

【0015】

ロボット１０は、例えばスカラ型の水平多関節ロボットである。ロボット１０は、アーム１１によって、３次元的に、すなわち、互いに直交する３軸方向に移動される。ロボット１０は、搬送室４１に設置されている基台１４と、アーム１１と、ハンド１２と、アーム駆動部１３とを含む。

【0016】

ハンド１２は、パッシブハンドであり、ブレード２３と、ブレード２３の基端部に連なるリスト２４とを含む。ブレード２３は、全体として平板状であり、アーム１１によって、上面が水平を保つように保持される。そして、ブレード２３は、上面に設けられた３つのパッド２３ａを介してその上に載置された基板Ｗを摩擦力によって保持する。なお、ハンド１２は、パッシブハンドに限られるものではなく、基板Ｗをベルヌーイハンド等のワークを吸引保持する吸着ハンドや、基板Ｗのエッジを把持するエッジグリップハンドであってもよい。

【0017】

アーム１１は、複数の関節を含む多関節構造であり、基端部が基台１４と連結され、先端部がリスト２４と連結されている。アーム１１は、基端部から先端部に向かう方向に関節を介して順次連結される複数のリンク（昇降軸２０、下アーム２１、上アーム２２）を備える。

【0018】

昇降軸２０は、基台１４に対して上下方向に移動可能に接続されている。下アーム２１は、基端部が昇降軸２０の上端に関節を介して上下方向に延びる回動軸線周りに回動可能に連結されている。上アーム２２は、基端部が下アーム２１の先端部に関節を介して上下方向に延びる回動軸線周りに回動可能に連結されている。そして、リスト２４は、基端部が上アーム２２の先端部に関節を介して上下方向に延びる回動軸線周りに回動可能に連結されている。

【0019】

アーム駆動部１３は、下アーム２１、上アーム２２及びブレード２３を関節において回動させてハンド１２を水平方向に移動させる機構である。また、アーム駆動部１３は、昇降軸２０を昇降させることによってアーム１１全体を上下方向に移動させ、ハンド１２を上下方向に移動させる機構である。

【0020】

ロボット制御装置１５は、所定の動作プログラムにしたがって、指示点Ｐの移動経路Ｔを設定する。本実施の形態において、移動経路Ｔは、ハンド１２がキャリア１１０において搬送対象の基板Ｗを取り上げる動作を行うための経路を含み、その後、指示点Ｐが確認位置Ｐｘを通り、目標位置Ｐｙに至る経路である。指示点Ｐは、例えば、ブレード２３の３つのパッド２３ａが位置する点によって規定される円の中心軸上に設定される。確認位置Ｐｘは、例えば、開口５１の中央に設定される。なお、この確認位置Ｐｘにおいて、ハンド１２は、目標位置Ｐｙに向かって延びる姿勢をとってもよい。目標位置Ｐｙは、基板載置位置Ｐｐの中心に設定され、この位置において、ハンド１２は、確認位置Ｐｘにおける姿勢が維持される。そして、ロボット制御装置１５は、ハンド１２の指示点Ｐが移動経路Ｔ上を目標位置Ｐｙに向かって移動するようにアーム１１を制御する。なお、移動経路Ｔに係る情報には、ハンド１２の位置の変位を規定する情報だけでなく、ハンド１２の姿勢の変位を規定する情報も含まれる。確認位置Ｐｘ及び目標位置Ｐｙについても同様に、ハンド１２の姿勢を規定する情報を含む。そして、ロボット制御装置１５は、移動経路Ｔを修正することができるように構成されている。

【0021】

ロボット制御装置１５は、例えば、それぞれ、ＣＰＵ等の演算器を有する制御部と、ＲＯＭ及びＲＡＭ等のメモリを有する記憶部とを備えている。制御部は、集中制御する単独の制御器で構成されていてもよく、互いに協働して分散制御する複数の制御器で構成されてもよい。記憶部には、移動経路Ｔを生成するプログラムが格納され、演算器が当該プログラムを実行することにより、ハンド１２の位置及び姿勢を制御する。

【0022】

カメラ６は、例えば、対象物を立体的に撮像することができるステレオビデオカメラである。カメラ６は、基板Ｗの位置ずれを検知するために用いられる。また、カメラ６は、確認位置Ｐｘに位置するハンド１２に保持された基板Ｗを撮影可能に配置されている。本実施の形態において、カメラ６は、ゲート５の搬送室４１側の側面の開口５１の下方にあたる位置に取り付けられ、確認位置Ｐｘに位置するハンド１２に保持された基板Ｗと開口５１とを同時に撮影することができるようになっている。そして、カメラ６は、視野に開口５１の開口周縁５２を含むように斜め上方に向けられている。これによって、撮影した画像Ｇに映り込む基板Ｗの表面の反射光を抑制することができ、画像処理を精確に行うことができる。また、カメラ６を基板Ｗの下面側に位置させることによって、基板Ｗの上面へのパーティクルの付着を防止することができる。そして、カメラ６が撮影した画像Ｇは、ロボット制御装置１５に入力される。なお、カメラ６は、基板Ｗの位置ずれを検知する目的以外の目的にも用いられる汎用のカメラであってもよい。また、カメラ６は対象物を立体的に撮像することができるステレオビデオカメラであるので、カメラ６と基板Ｗとの距離を取得することができる。

【0023】

［動作例］
次に、基板搬送装置１の動作例を説明する。

【0024】

図２に示すように、まず、ロボット制御装置１５は、移動経路Ｔを設定する。そして、ロボット制御装置１５は、ハンド１２がキャリア１１０において、搬送対象の基板Ｗを取り上げるようにアーム１１を制御する。

【0025】

図３は、ハンド１２の指示点Ｐが確認位置Ｐｘに位置する状態を示す図である。図３においては、基板Ｗの中心Ｃがブレード２３の指示点Ｐからずれて基板Ｗがブレード２３に載置された例を示す。

【0026】

次に、ロボット制御装置１５は、基板Ｗを保持するハンド１２の指示点Ｐが経由点である確認位置Ｐｘに向けて移動経路Ｔ上を移動するようにアーム１１を制御する。そして、図３に示すように、ロボット制御装置１５は、ハンド１２の指示点Ｐが確認位置Ｐｘに位置すると、ハンド１２を一旦停止させる。

【0027】

図４は、確認位置Ｐｘに位置するハンド１２をカメラ６が撮影した画像Ｇを示す図である。

【0028】

次に、ロボット制御装置１５は、ハンド１２の指示点Ｐが確認位置Ｐｘに位置している時点においてカメラ６が撮影した画像Ｇを取得する。そして、ロボット制御装置１５は、図４に示すように、画像Ｇに写されている基板Ｗと基板搬送装置１及び基板Wを取り巻く所定の環境との距離を算出し、この距離に基づいて基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを算出する。本実施の形態において、上記所定の環境とは、開口周縁５２であり、更に具体的には、開口周縁５２の上下方向に延びる左右の側縁である。ロボット制御装置１５は、基板Ｗと隣り合って位置する開口周縁５２との間隙５３の寸法を算出し、間隙５３の寸法に基づいて基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを算出する。なお、基板Ｗの位置ずれは、ハンド１２の位置ずれに起因するものであってもよい。ハンド１２の位置ずれは、例えば、ロボット１０の繰り返し精度が低いことによって生じる。

【0029】

具体的には、ロボット制御装置１５は、画像Ｇに写されている位置ずれ方向Ｄにおける基板Ｗの第１端部Ｗｅ１と開口周縁５２との間隙である第１間隙５３ａの寸法Ｌａ、及び第２端部Ｗｅ２と開口周縁５２との間隙である第２間隙５３ｂの寸法Ｌｂを算出する。なお、位置ずれ方向Ｄとは、位置ずれ量を測定する方向であり、例えば、開口５１の幅方向である。そして、第１端部Ｗｅ１及び第２端部Ｗｅ２は、基板Ｗの中心Ｃを通る位置ずれ方向Ｄに延びる直線Ｌｓ上の部位であってもよい。また、第１間隙５３ａは、直線Ｌｓが開口周縁５２を通る部位と第１端部Ｗｅ１との間隙であってもよい。同様に、第２間隙５３ｂは、直線Ｌｓが開口周縁５２を通る部位と第２端部Ｗｅ２との間隙であってもよい。そして、位置ずれ量Ｌを以下の式を用いて算出する。
Ｌ＝（Ｌａ＋Ｌｂ）／２－Ｌａ
すなわち、位置ずれ量Ｌは、一対の間隙５３ａ、５３ｂの寸法が互いに等しくなる位置を基準位置Ｓとして、この基準位置Ｓから位置ずれ方向Ｄへの基板Ｗの符号付きの位置ずれ量である。このように、ロボット制御装置１５は、一対の端部Ｗｅ１，Ｗｅ２と環境との一対の間隙５３ａ、５３ｂの寸法に基づいて、基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを算出する。

【0030】

図５は、ハンド１２の指示点Ｐが修正確認位置Ｐｘａに位置する状態を示す図である。

【0031】

次に、図５に示すように、ロボット制御装置１５は、位置ずれ量Ｌに基づいて、移動経路Ｔ及び目標位置Ｐｙを補正する。具体的には、ロボット制御装置１５は、確認位置Ｐｘから目標位置Ｐｙに至る移動経路Ｔを位置ずれ方向Ｄに－Ｌ移動（シフト）させた修正移動経路Ｔａを算出する。

【0032】

次に、ロボット制御装置１５は、一旦停止させていたハンド１２の移動を再開し、ハンド１２の指示点Ｐが修正移動経路Ｔａの始点である修正確認位置Ｐｘａに位置するように、位置ずれ方向Ｄに位置ずれ量Ｌ移動（シフト）させる。これによって、位置ずれ方向Ｄにおいて、基板Ｗの中心Ｃが確認位置Ｐｘに一致するように基板Ｗの位置が補償される。

【0033】

次に、ロボット制御装置１５は、ハンド１２に修正移動経路Ｔａ上を移動させ、ハンド１２を修正移動経路Ｔａの終点である修正目標位置Ｐｙａに位置させる。なお、上述した通り、修正目標位置Ｐｙａにおけるハンド１２の姿勢は、修正確認位置Ｐｘａにおけるハンド１２の姿勢を維持した姿勢であるので、基板Ｗの位置ずれが再度発生することを防止することができる。

【0034】

以上の通り、基板処理設備１００の基板搬送装置１は、確認位置Ｐｘにおいて、基板Ｗを動かすことなく、キャリア１１０の移送時、基板搬送装置１による基板Ｗの搬送時等に起因して起こる基板Ｗの位置ずれや、基板搬送装置１の繰り返し精度が低いことに起因する基板Ｗの位置ずれ量Ｌを測定することができる。これによって、基板Ｗの位置ずれを検知することができる基板搬送装置をコンパクトにすることができる。また、基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを測定する構成を簡素化することができ、製造に有利、且つ、製造コストも安価となる。

【0035】

そして、ロボット制御装置１５は、位置ずれ量Ｌに基づいて目標位置Ｐｙを補正してもよい。これによって、位置ずれ方向Ｄにおける、基板載置位置Ｐｐからの基板Ｗの位置ずれを補償することができる。

【0036】

また、ハンド１２は、基準位置Ｓからの位置ずれ方向Ｄへの位置ずれを許容し、ロボット制御装置１５は、画像Ｇに写されている位置ずれ方向Ｄにおける基板Ｗの一対の端部と環境との一対の間隙５３の寸法に基づいて、基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを算出してもよい。これによって、基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを適切に測定することができる。

【0037】

更に、基準位置Ｓは、確認位置Ｐｘにおいて、一対の間隙５３の寸法が互いに等しくなる位置であってもよい。これによって、基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを適切に測定することができる。

【0038】

また、環境は、移動経路上を移動する基板Ｗが通過する基板処理設備１００のゲート５の開口周縁５２であってもよい。これによって、基板Ｗの基準位置Ｓからの位置ずれ量Ｌを適切に測定することができる。

【0039】

＜変形例＞
上記実施の形態においては、カメラ６はゲート５に取り付けられていたがこれに限られるものではない。これに代えて、図６に示すように、カメラ６は、リスト２４に取り付けられてもよい。

【0040】

また、上記実施の形態においては、確認位置Ｐｘにおいてハンド１２を一旦停止させて基板Ｗの位置ずれを測定したがこれに限られるものではない。これに代えて、ロボット制御装置１５は、ハンド１２を移動させながら、指示点Ｐが確認位置Ｐｘを通過した時点における画像Ｇに基づいて位置ずれを測定してもよい。そして、ロボット制御装置１５は、測定結果に基づいて、基板Ｗの位置ずれを基板載置位置Ｐｐ近傍で補償してもよい。

【0041】

更に、上記実施の形態においては、水平面において位置ずれ方向Ｄと直交する方向への基板Ｗの位置ずれは補償していないが、これを補償してもよい。例えば、ステレオカメラであるカメラ６が撮影した画像Ｇに基づいて、水平面において位置ずれ方向Ｄと直交する方向への基板Ｗの位置ずれを補償してもよい。

【0042】

また、上記実施の形態においては、間隙５３の寸法に基づいて位置ずれ量Ｌを測定したがこれに限られるものではない。例えば、所定位置に位置させた基板Ｗとステージ３２とが同時に画像に収まるように撮影し、この画像に映った基板Ｗとステージ３２との位置関係に基づいて位置ずれ量Ｌを測定してもよい。

【0043】

上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施の形態が明らかである。したがって、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。

【符号の説明】

【0044】

Ｇ 画像
Ｌ 位置ずれ量
Ｐｘ 確認位置
Ｐｙ 目標位置
Ｓ 基準位置
Ｔ 移動経路
Ｗ 基板
１ 基板搬送装置
６ カメラ
１０ ロボット
１１ アーム
１２ ハンド
１５ ロボット制御装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【手続補正書】

【提出日】2024-08-07

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板搬送装置であって、
基板を保持するハンドと、前記ハンドを移動させるアームとを備えるロボットと、
前記ハンドの移動経路を設定し、前記ハンドが前記移動経路上を目標位置に向かって移動するように前記アームを制御するロボット制御装置と、
前記ハンドの進行方向を撮影可能に前記ハンドに備えられ、所定の確認位置に位置する前記ハンドに保持された前記基板及び前記基板を取り巻く所定の環境を撮影するカメラと、を備え、
前記ロボット制御装置は、前記確認位置を通るように前記移動経路を設定し、前記ハンドが前記確認位置に位置したときに前記カメラが撮影した画像を取得し、前記画像に写されている前記基板と前記所定の環境との距離を算出し、前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの位置ずれ量を算出する、基板搬送装置。

【請求項2】

前記カメラは、前記基板及び前記環境を立体的に撮像するステレオビデオカメラである、請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記ロボット制御装置は、前記位置ずれ量に基づいて前記目標位置を補正する、請求項１又は２に記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記ハンドは、前記基準位置からの位置ずれ方向への位置ずれを許容し、
前記ロボット制御装置は、前記画像に写されている前記位置ずれ方向における前記基板の一対の端部と前記環境との一対の間隙の寸法に基づいて、前記基板の前記基準位置からの位置ずれ量を算出する、請求項１乃至３の何れか１項に記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記基準位置は、前記確認位置において、一対の間隙の寸法が互いに等しくなる位置である、請求項４に記載の基板搬送装置。

【請求項6】

前記環境は、前記移動経路上を移動する前記基板が通過する基板処理設備のゲートの開口周縁である、請求項１乃至５の何れか１項に記載の基板搬送装置。

【請求項7】

所定の確認位置を通るように移動経路を設定し、
基板を保持する基板搬送装置のハンドであって、前記移動経路上を移動するハンドが前記確認位置に位置したときに前記ハンドの進行方向を撮影可能に前記ハンドに備えられたカメラが撮影した画像を取得し、
前記画像に写されている前記基板と前記基板を取り巻く所定の環境との距離を算出し、
前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの位置ずれ量を算出する、基板位置ずれ測定方法。