(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024138704
(43)【公開日】2024-10-09
(54)【発明の名称】クリーニング装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
(51)【国際特許分類】
B29C 43/34 20060101AFI20241002BHJP
B08B 5/04 20060101ALI20241002BHJP
B29C 43/02 20060101ALI20241002BHJP
H01L 21/56 20060101ALI20241002BHJP
【ＦＩ】
B29C43/34
B08B5/04 A
B29C43/02
H01L21/56 R
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023049317
(22)【出願日】2023-03-27
(71)【出願人】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100121441
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 竜平
(74)【代理人】
【識別番号】100154704
【弁理士】
【氏名又は名称】齊藤 真大
(74)【代理人】
【識別番号】100206151
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 惇志
(74)【代理人】
【識別番号】100218187
【弁理士】
【氏名又は名称】前田 治子
(74)【代理人】
【識別番号】100227673
【弁理士】
【氏名又は名称】福田 光起
(72)【発明者】
【氏名】林口 慎也
(72)【発明者】
【氏名】荒木 芳文
【テーマコード（参考）】
3B116
4F204
5F061
【Ｆターム（参考）】
3B116AA46
3B116AB13
3B116BA02
3B116BA23
3B116BB72
3B116CD22
4F204AA36
4F204AB03
4F204AC01
4F204AD19
4F204AG03
4F204AH37
4F204AM11
4F204AM12
4F204FA01
4F204FB01
4F204FB17
4F204FF01
4F204FF23
4F204FQ38
4F204FQ40
5F061AA01
5F061DA01
5F061DC01
(57)【要約】
【課題】樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵する。
【解決手段】樹脂材料Ｊを搬送するための材料保持枠１０を清掃するクリーニング装置３０であって、材料保持枠１０が載置されるステージ３１と、ステージ３１に設けられ、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃する第１清掃体３２と、ステージ３１に設けられ、材料保持枠１０の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口３３とを備える。
【選択図】図３
【解決手段】樹脂材料Ｊを搬送するための材料保持枠１０を清掃するクリーニング装置３０であって、材料保持枠１０が載置されるステージ３１と、ステージ３１に設けられ、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃する第１清掃体３２と、ステージ３１に設けられ、材料保持枠１０の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口３３とを備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するクリーニング装置であって、
前記材料保持枠が載置されるステージと、
前記ステージに設けられ、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体と、
前記ステージに設けられ、前記材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口とを備える、クリーニング装置。
前記材料保持枠が載置されるステージと、
前記ステージに設けられ、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体と、
前記ステージに設けられ、前記材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口とを備える、クリーニング装置。
【請求項2】
前記第１清掃体は、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内側に位置し、前記材料保持枠に対して上下移動する、請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項3】
前記集塵口は、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内側に位置し、下方に空気を吸引して集塵するものである、請求項１又は２に記載のクリーニング装置。
【請求項4】
前記第１清掃体は、前記集塵口の内側に設けられ、前記材料保持枠に対して上下移動するものである、請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項5】
前記ステージに載置された前記材料保持枠の上面に配置されるカバー体をさらに備え、
前記カバー体は、前記材料保持枠の上面との間に外部から空気を吸引するための流路を形成するものである、請求項３又は４に記載のクリーニング装置。
前記カバー体は、前記材料保持枠の上面との間に外部から空気を吸引するための流路を形成するものである、請求項３又は４に記載のクリーニング装置。
【請求項6】
前記材料保持枠は、平面視において矩形枠状をなすものであり、
前記カバー体は、平面視において矩形状をなすものであり、前記材料保持枠の角部に接触する凸部を有し、前記材料保持枠の４つの辺部における上面との間に前記流路を形成する、請求項５に記載のクリーニング装置。
前記カバー体は、平面視において矩形状をなすものであり、前記材料保持枠の角部に接触する凸部を有し、前記材料保持枠の４つの辺部における上面との間に前記流路を形成する、請求項５に記載のクリーニング装置。
【請求項7】
前記ステージに設けられ、前記ステージに搬送される前記材料保持枠の下面を清掃する第２清掃体をさらに備える、請求項１乃至６の何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項8】
前記第２清掃体は、前記ステージに対して上下移動可能に設けられており、前記材料保持枠が前記ステージに搬送される際に上昇して前記材料保持枠の下面を清掃する、請求項７に記載のクリーニング装置。
【請求項9】
一対の成形型を有する樹脂成形モジュールと、
前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、
請求項１乃至８の何れか一項に記載のクリーニング装置とを備える、樹脂成形装置。
前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、
請求項１乃至８の何れか一項に記載のクリーニング装置とを備える、樹脂成形装置。
【請求項10】
請求項９に記載の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、
前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含む、樹脂成形品の製造方法。
前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、
前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含む、樹脂成形品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、クリーニング装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、下型のキャビティに樹脂材料及び離型フィルムを供給する構成として、特許文献１に示すように、平面視において貫通孔を有する材料保持枠を用いたものが考えられている。
【0003】
この材料保持枠は、貫通孔を含む下面を覆うように離型フィルムを吸着し、これにより、樹脂材料を収容する樹脂材料収容部を形成するものである。そして、この樹脂材料収容部に樹脂材料が収容されて、離型フィルムとともに樹脂材料が下型のキャビティに供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１５－２３３０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、材料保持枠は、下型のキャビティに樹脂材料を供給する毎に材料保持枠を清掃する必要があるが、特許文献１では、クリーニング機構の具体的構成まで開示されていない。また、材料保持枠を清掃する際に生じる塵埃についても全く考慮していない。
【0006】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
すなわち本発明に係るクリーニング装置は、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するクリーニング装置であって、前記材料保持枠が載置されるステージと、前記ステージに設けられ、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体と、前記ステージに設けられ、前記材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
このように構成した本発明によれば、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置の構成を模式的に示す平面図である。
【図2】同実施形態の材料保持枠の構成を模式的に示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ－Ａ線断面図、及び、（ｃ）樹脂材料を保持した状態のＡ－Ａ線断面図である。
【図3】同実施形態のクリーニング装置に材料保持枠を載置する前の状態を模式的に示す断面図である。
【図4】同実施形態のクリーニング装置に材料保持枠を載置する前の状態を模式的に示す平面図である。
【図5】同実施形態のクリーニング装置において（ａ）第１清掃体が下降した状態、及び、（ｂ）第１清掃体が上昇した状態を模式的に示す断面図である。
【図6】同実施形態のクリーニング装置のクリーニング動作を模式的に示すフロー図である。
【図7】変形実施形態のクリーニング装置のクリーニング動作を模式的に示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
次に、本発明に係る技術について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の技術により限定されない。
【0011】
本発明に係る技術１のクリーニング装置は、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するクリーニング装置であって、前記材料保持枠が載置されるステージと、前記ステージに設けられ、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体と、前記ステージに設けられ、前記材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口とを備えることを特徴とする。
【0012】
このクリーニング装置であれば、材料保持枠が載置されるステージに、材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体、及び、材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口を設けているので、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。
【0013】
本発明に係る技術２のクリーニング装置は、上記の技術１の構成に加えて、前記第１清掃体は、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内側に位置し、前記材料保持枠に対して上下移動するものであることが望ましい。
この構成であれば、材料保持枠の内周面を清掃する構成を簡単にすることができる。
この構成であれば、材料保持枠の内周面を清掃する構成を簡単にすることができる。
【0014】
本発明に係る技術３のクリーニング装置は、上記の技術１又は２の構成に加えて、前記集塵口は、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内側に位置し、下方に空気を吸引して集塵するものであることが望ましい。
この構成であれば、材料保持枠の内周面の清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。
この構成であれば、材料保持枠の内周面の清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。
【0015】
本発明に係る技術４のクリーニング装置は、上記の技術３の構成に加えて、前記第１清掃体は、前記集塵口の内側に設けられ、前記材料保持枠に対して上下移動するものであることが望ましい。
この構成であれば、材料保持枠の内周面の清掃により生じた塵埃を外部に漏れにくくして効率的に集塵することができる。また、第１清掃体及び集塵口を一箇所に設けることができ、ステージのフットプリントを小型化することができる。
この構成であれば、材料保持枠の内周面の清掃により生じた塵埃を外部に漏れにくくして効率的に集塵することができる。また、第１清掃体及び集塵口を一箇所に設けることができ、ステージのフットプリントを小型化することができる。
【0016】
本発明に係る技術５のクリーニング装置は、上記の技術３又は４の構成に加えて、前記ステージに載置された前記材料保持枠の上面に配置されるカバー体をさらに備え、前記カバー体は、前記材料保持枠の上面との間に外部から空気を吸引するための流路を形成するものであることが望ましい。
この構成であれば、カバー体により材料保持枠の上面との間に流路が形成され、集塵口による集塵動作により、この流路から吸引される空気の流速を速くすることができる。その結果、材料保持枠の上面を清掃することができる。
この構成であれば、カバー体により材料保持枠の上面との間に流路が形成され、集塵口による集塵動作により、この流路から吸引される空気の流速を速くすることができる。その結果、材料保持枠の上面を清掃することができる。
【0017】
本発明に係る技術６のクリーニング装置は、上記の技術５の構成に加えて、前記材料保持枠は、平面視において矩形枠状をなすものであり、前記カバー体は、平面視において矩形状をなすものであり、前記材料保持枠の角部に接触する凸部を有し、前記材料保持枠の４つの辺部における上面との間に前記流路を形成することが望ましい。
この構成であれば、４つの辺部に空気を吸引するための流路が形成されるので、材料保持枠の４つの辺部の上面を清掃することができる。
この構成であれば、４つの辺部に空気を吸引するための流路が形成されるので、材料保持枠の４つの辺部の上面を清掃することができる。
【0018】
本発明に係る技術７のクリーニング装置は、前記ステージに設けられ、前記ステージに搬送される前記材料保持枠の下面を清掃する第２清掃体をさらに備えることが望ましい。
この構成であれば、材料保持枠をステージに搬送する途中で材料保持枠の下面を清掃することができる。
この構成であれば、材料保持枠をステージに搬送する途中で材料保持枠の下面を清掃することができる。
【0019】
本発明に係る技術７のクリーニング装置は、前記第２清掃体は、前記ステージに対して上下移動可能に設けられており、前記材料保持枠が前記ステージに搬送される際に上昇して前記材料保持枠の下面を清掃することが望ましい。
この構成であれば、材料保持枠をステージに搬送する途中で材料保持枠の下面を清掃することができ、その後、第２清掃体を下降させることにより、材料保持枠をステージに載置する際に第２清掃体が邪魔になることを防止できる。
この構成であれば、材料保持枠をステージに搬送する途中で材料保持枠の下面を清掃することができ、その後、第２清掃体を下降させることにより、材料保持枠をステージに載置する際に第２清掃体が邪魔になることを防止できる。
【0020】
また、本発明に係る技術９の樹脂成形装置は、一対の成形型を有する樹脂成形モジュールと、前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、上記の技術１乃至８の何れか１つのクリーニング装置とを備えることを特徴とする。
この樹脂成形装置であれば、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
この樹脂成形装置であれば、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
【0021】
さらに、本発明に係る技術１０の樹脂成形品の製造方法は、上記の技術９の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含むことを特徴とする。
この樹脂成形品の製造方法であれば、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
この樹脂成形品の製造方法であれば、樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
【0022】
＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
以下に、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【0023】
＜１．樹脂成形装置１００の基本構成＞
本実施形態の樹脂成形装置１００は、成形対象物である基板Ｗに固定された電子部品（不図示）を、熱硬化性の樹脂材料Ｊを用いた樹脂成形により樹脂封止して樹脂成形品Ｐを製造するものである。
本実施形態の樹脂成形装置１００は、成形対象物である基板Ｗに固定された電子部品（不図示）を、熱硬化性の樹脂材料Ｊを用いた樹脂成形により樹脂封止して樹脂成形品Ｐを製造するものである。
【0024】
ここで、基板Ｗとしては、例えば金属製基板、樹脂製基板、ガラス製基板、セラミックス製基板、回路基板、半導体製基板、リードフレーム、シリコンウエハ、ガラスウエハ等を挙げることができる。また、電子部品としては、例えば半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子、又はこれら電子素子の少なくとも１つが樹脂封止された形態の電子部品を挙げることができる。さらに、樹脂材料Ｊは、例えば液状樹脂、顆粒状樹脂、シート状樹脂、タブレット状樹脂、粒状樹脂等を挙げることができる。なお、樹脂材料Ｊは、熱可塑性を有する材料であってもよい。
【0025】
この樹脂成形装置１００は、図１に示すように、基板供給・収納モジュールＡと、樹脂成形モジュールＢと、樹脂材料供給モジュールＣとを、それぞれ構成要素として備える。各構成要素（各モジュールＡ～Ｃ）は、それぞれの構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【0026】
基板供給・収納モジュールＡは、成形前基板Ｗを供給する成形前基板供給部１と、成形済基板Ｗ（樹脂成形品Ｐ）を収納する成形済基板収納部２とを有する。
【0027】
樹脂成形モジュールＢは、基板Ｗに対して樹脂材料Ｊを圧縮成形するものである。この樹脂成形モジュールＢは、基板Ｗを保持する成形型である上型３と、キャビティ４Ｃが形成された成形型である下型４と、上型３及び下型４を型締めする型締め機構５とを有する。そして、樹脂成形モジュールＢは、上型３及び下型４を型締めすることにより基板Ｗに固定された電子部品を、樹脂材料Ｊを用いた樹脂成形により樹脂封止する。
【0028】
ここで、基板供給・収納モジュールＡ及び樹脂成形モジュールＢには、成形前基板Ｗ及び樹脂成形品Ｐを搬送する基板搬送機構６が設けられている。
【0029】
この基板搬送機構６は、基板供給・収納モジュールＡ及び樹脂成形モジュールＢに亘って延びるレール（不図示）上を移動するものである。基板搬送機構６は、基板供給・収納モジュールＡ及び樹脂成形モジュールＢにおいて少なくともＸ方向及びＹ方向に移動可能に構成されている。
【0030】
また、基板搬送機構６は、成形前基板Ｗを基板供給・収納モジュールＡから樹脂成形モジュールＢに搬送し、樹脂成形モジュールＢにおいて成形前基板Ｗを成形型３、４に供給する。成形前基板Ｗの樹脂成形後に、基板搬送機構６は、樹脂成形モジュールＢにおいて成形型３、４から樹脂成形品Ｐを受け取って、基板供給・収納モジュールＡに搬送する。
【0031】
樹脂材料供給モジュールＣは、樹脂材料Ｊを搬送するための材料保持枠１０に例えば顆粒状樹脂を供給する樹脂材料供給部２１を有する。樹脂材料供給部２１は、先端部に顆粒状樹脂を吐出する樹脂吐出部２１１を有している。なお、樹脂材料供給モジュールＣは、顆粒状樹脂を供給するものの他、液状樹脂、シート状樹脂、タブレット状樹脂、粒状樹脂などの他の形態の樹脂材料Ｊを供給するものであっても良い。
【0032】
本実施形態の材料保持枠１０は、図２に示すように、平面視において下型４のキャビティ４Ｃに対応する開口部１０１を有する枠部材である。本実施形態の材料保持枠１０は、平面視において矩形状の開口部１０１を有する矩形枠状をなしている。この材料保持枠１０の下面１０ｃには、離型フィルムＦを吸着して保持するための吸着部１０２が設けられている。そして、材料保持枠１０は、下面１０ｃに離型フィルムＦを保持することにより、下部開口が離型フィルムＦで塞がれた状態となり、離型フィルムＦとともに樹脂材料収容部１０ｘを形成する。なお、本実施形態の樹脂材料供給モジュールＣは、離型フィルムＦを切断するフィルム切断部２２と、切断した離型フィルムＦを材料保持枠１０に保持させるフィルム保持部２３とを有する。
【0033】
ここで、樹脂材料供給モジュールＣ及び樹脂成形モジュールＢには、材料保持枠１０及び樹脂材料Ｊを搬送する樹脂材料搬送機構７が設けられている。
【0034】
この樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣ及び樹脂成形モジュールＢに亘って延びるレール（不図示）上を移動するものである。樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣ及び樹脂成形モジュールＢにおいて少なくともＸ方向及びＹ方向に移動可能に構成されている。
【0035】
また、樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣにおいて樹脂材料Ｊが供給された材料保持枠１０を、樹脂材料供給モジュールＣから樹脂成形モジュールＢに搬送する。そして、樹脂材料搬送機構７は、樹脂成形モジュールＢにおいて、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｊを成形型３、４に供給する。成形前基板Ｗの樹脂成形後に、樹脂材料搬送機構７は、樹脂成形モジュールＢにおいて成形型３、４から使用済みの離型フィルムＦを回収する。樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣにある廃棄部（不図示）に使用済みの離型フィルムＦを廃棄することもできる。
【0036】
＜２．クリーニング装置３０の構成＞
本実施形態の樹脂材料供給モジュールＣは、樹脂材料Ｊを搬送するための枠部材である材料保持枠１０を清掃するクリーニング装置３０を備えている。このクリーニング装置３０は、樹脂材料Ｊ及び離型フィルムＦを搬送した後の材料保持枠１０を清掃するものである。
本実施形態の樹脂材料供給モジュールＣは、樹脂材料Ｊを搬送するための枠部材である材料保持枠１０を清掃するクリーニング装置３０を備えている。このクリーニング装置３０は、樹脂材料Ｊ及び離型フィルムＦを搬送した後の材料保持枠１０を清掃するものである。
【0037】
具体的にクリーニング装置３０は、図１、図３～図５に示すように、材料保持枠１０が載置されるステージと３１、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃する第１清掃体３２と、材料保持枠１０の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口３３と、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の上面１０ｂに配置されるカバー体３４と、ステージ３１に搬送される材料保持枠１０の下面１０ｃを清掃する第２清掃体３５と、を備えている。
【0038】
ステージ３１は、図３～図５に示すように、上面に材料保持枠１０が載置される載置面３１ａを有している。また、ステージ３１には、集塵機（不図示）が接続される集塵配管３１１が接続されている。ステージ３１の内部には、集塵配管３１１と集塵口３３を連通させる内部空間３１Ｓが形成されている。
【0039】
第１清掃体３２は、ステージ３１に設けられており、ステージ３１に載置された材料保持枠１０に対して上下移動して材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃する。
【0040】
具体的に第１清掃体３２は、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の内側に位置するように設けられている。つまり、第１清掃体３２は、ステージ３１における材料保持枠１０が載置される載置面３１ａの内側に設けられている。
【0041】
第１清掃体３２は、ブラシから構成されており、エアシリンダやモータ等のアクチュエータ（不図示）を用いて上下移動するように構成されている。また、第１清掃体３２は、材料保持枠１０の内周面１０ａの４つの辺部に対応して設けられている。本実施形態の第１清掃体３２は、図４に示すように、平面視において内周面１０ａに対応した矩形状をなしている。この第１清掃体３２が上下移動することにより、材料保持枠１０の内周面１０ａの４つ辺部が一挙に清掃される。
【0042】
集塵口３３は、ステージ３１に設けられており、下方に空気を吸引して集塵するものである。具体的に集塵口３３は、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の内側に位置するように設けられている。つまり、集塵口３３は、ステージ３１における材料保持枠１０に対応した載置面３１ａの内側に設けられている。
【0043】
本実施形態の集塵口３３の開口サイズは、材料保持枠１０の開口部１０１の開口サイズよりも大きく、ステージ３１に材料保持枠１０を載置した状態で、材料保持枠１０の内側全体が集塵口３３となる。
【0044】
本実施形態の集塵口３３は、平面視において矩形状をなすものである。そして、第１清掃体３２は、集塵口３３の内側に設けられ、当該集塵口３３を介して材料保持枠１０に対して上下移動するように構成されている。つまり、集塵口３３を形成する４つの辺部は、平面視において第１清掃体３２を取り囲むように設けられている。
【0045】
【0046】
カバー体３４は、図４に示すように、平面視において材料保持枠１０に対応した矩形状をなすものであり、材料保持枠１０の４つの角部に接触する４つの接触部３４１を有し、材料保持枠１０の４つの辺部における上面１０ｂとの間に流路１０Ｒを形成する。なお、接触部３４１は、カバー体３４の下面から下方に突出して形成されている（図３参照）。
【0047】
このカバー体３４は、ステージ３１に載置された材料保持枠１０に対して、例えば樹脂材料搬送機構７により搬送されて、材料保持枠１０の上面１０ｂに載置される。
【0048】
カバー体３４が材料保持枠１０の上部開口を覆うとともに流路１０Ｒを形成することにより、集塵口３３から空気が吸引されると、流速が増した空気が材料保持枠１０の上面１０ｂを通過する。これにより、材料保持枠１０の上面１０ｂに付着した塵埃が集塵口３３に集塵される。また、材料保持枠１０の上部開口をカバー体３４で覆うことにより、第１清掃体３２により材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃した際に生じる塵埃が外部に飛散することを防止できる。
【0049】
第２清掃体３５は、図３～図５に示すように、ステージ３１に設けられており、ステージ３１に搬送される材料保持枠１０の下面１０ｃを清掃するものである。この第２清掃体３５は、第１清掃体３２に対して搬入側に設けられている。本実施形態の第２清掃体３５は、平面視において概略直線状をなすものである。
【0050】
また、図４に示すように、第２清掃体３５の搬送方向に直交する長さは、搬送される材料保持枠１０の搬送方向に直交する長さよりも長くしてある。これにより、材料保持枠１０を搬送方向に搬送するだけで、第２清掃体３５が材料保持枠１０の下面１０ｃ全体を清掃するように構成してある。
【0051】
この第２清掃体３５は、ステージ３１に対して上下移動可能に設けられており、材料保持枠１０がステージ３１に搬送される際に上昇して材料保持枠１０の下面１０ｃを清掃する。
【0052】
第２清掃体３５は、例えばブラシから構成されており、エアシリンダやモータ等のアクチュエータ（不図示）を用いて上下移動するように構成されている。上昇した第２清掃体３５が材料保持枠１０の下面１０ｃに接触し、その接触した状態で材料保持枠１０が搬送に伴って、第２清掃体３５に対して相対移動することで、材料保持枠１０の下面１０ｃが清掃される。
【0053】
なお、ステージ３１には、第２清掃体３５を昇降移動させるための開口部３６が形成されており、この開口部３６もステージ３１の内部空間３１Ｓに連通している。つまり、開口部３６も集塵口として機能する。
【0054】
【0055】
まず、樹脂材料Ｊを下型４に搬送した後の使用済みの材料保持枠１０を樹脂材料搬送機構７によりステージ３１に搬送する。このとき、図３及び図６（ａ）に示すように、クリーニング装置３０の第２清掃体３５が上昇して待機している。そして、材料保持枠１０が搬送されて第２清掃体３５に到達すると、図６（ｂ）に示すように、搬送される材料保持枠１０の下面１０ｃが第２清掃体３５に接触しながら移動する。これにより、材料保持枠１０の下面１０ｃが第２清掃体３５によって清掃される。このとき発生した塵埃は、集塵口３３及び開口部３６から集塵される。
【0056】
そして、材料保持枠１０の下面１０ｃ全体が第２清掃体３５を通過すると、図５及び図６（ｃ）に示すように、第２清掃体３５は開口部３６内で下降して、ステージ３１の内部に退避する。また、樹脂材料搬送機構７は、ステージ３１の載置面３１ａに材料保持枠１０を載置する。また、樹脂材料搬送機構７は、図５及び図６（ｄ）に示すように、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の上面１０ｂにカバー体３４を配置する。カバー体３４を材料保持枠１０の上面１０ｂに配置することにより、流路１０Ｒから空気が吸引されて、材料保持枠１０の上面１０ｂが清掃される。また、図５及び図６（ｅ）、（ｆ）に示すように、第１清掃体３２を材料保持枠１０に対して複数回上下移動させることにより、材料保持枠１０の内周面１０ａが清掃される。このとき発生した塵埃は、集塵口３３から集塵される。
【0057】
以上により、材料保持枠１０の内周面１０ａ、上面１０ｂ及び下面１０ｃの清掃が完了する（図６（ｇ）参照）。清掃された材料保持枠１０は、樹脂材料搬送機構７により搬送されて、次の樹脂成形のために離型フィルムＦを保持し、樹脂材料Ｊが収容される。
【0058】
＜４．樹脂成形装置１００の樹脂成形動作＞
次に、樹脂成形装置１００の動作の一例を、図１及び図６を参照して説明する。以下に示す動作は、例えば基板供給・収納モジュールＡに設けられた制御機器ＣＴＬが樹脂成形装置１００の各部を制御することにより行われる。なお、制御機器ＣＴＬは、ＣＰＵ、内部メモリ、入出力インターフェース、ＡＤ変換器等を有する専用又は汎用のコンピュータである。
次に、樹脂成形装置１００の動作の一例を、図１及び図６を参照して説明する。以下に示す動作は、例えば基板供給・収納モジュールＡに設けられた制御機器ＣＴＬが樹脂成形装置１００の各部を制御することにより行われる。なお、制御機器ＣＴＬは、ＣＰＵ、内部メモリ、入出力インターフェース、ＡＤ変換器等を有する専用又は汎用のコンピュータである。
【0059】
（１）成形前基板供給工程
基板供給・収納モジュールＡにおいて、基板搬送機構６は、成形前基板供給部１から成形前基板Ｗを受け取り、樹脂成形モジュールＢに搬送する。そして、型開きされた上型３に成形前基板Ｗを受け渡す。その後、基板搬送機構６は、所定の待機位置に戻る。
基板供給・収納モジュールＡにおいて、基板搬送機構６は、成形前基板供給部１から成形前基板Ｗを受け取り、樹脂成形モジュールＢに搬送する。そして、型開きされた上型３に成形前基板Ｗを受け渡す。その後、基板搬送機構６は、所定の待機位置に戻る。
【0060】
（２）樹脂材料供給工程
樹脂材料供給モジュールＣにおいて、樹脂材料供給部２１が材料保持枠１０に保持された離型フィルムＦ上に樹脂材料Ｊを供給する。その後、樹脂材料搬送機構７は、材料保持枠１０を樹脂成形モジュールＢに搬送して、型開きされた下型４のキャビティ４Ｃに離型フィルムＦとともに樹脂材料Ｊを供給する。そして、樹脂材料搬送機構７は、所定の待機位置に戻る。
樹脂材料供給モジュールＣにおいて、樹脂材料供給部２１が材料保持枠１０に保持された離型フィルムＦ上に樹脂材料Ｊを供給する。その後、樹脂材料搬送機構７は、材料保持枠１０を樹脂成形モジュールＢに搬送して、型開きされた下型４のキャビティ４Ｃに離型フィルムＦとともに樹脂材料Ｊを供給する。そして、樹脂材料搬送機構７は、所定の待機位置に戻る。
【0061】
ここで、樹脂材料搬送機構７は、図６に示すように、樹脂材料Ｊを供給した後の材料保持枠１０をクリーニング装置３０に搬送する。そして、クリーニング装置３０は、材料保持枠１０の内周面１０ａ、上面１０ｂ及び下面１０ｃを清掃する。
【0062】
（３）樹脂成形工程
上記の工程の後、樹脂成形モジュールＢにおいて、型締め機構５により上型３及び下型４は所定の型締め圧により型締めされ、加熱される。所定時間が経過した後、型締め機構５により下型４を下降させて、上型３及び下型４が型開きされる。
上記の工程の後、樹脂成形モジュールＢにおいて、型締め機構５により上型３及び下型４は所定の型締め圧により型締めされ、加熱される。所定時間が経過した後、型締め機構５により下型４を下降させて、上型３及び下型４が型開きされる。
【0063】
（４）成形済基板搬出工程
成形済基板搬出工程において、基板搬送機構６を移動させて、型開きされた上型３から樹脂成形品Ｐを受け取る。そして、樹脂成形品Ｐを受け取った基板搬送機構６を、基板供給・収納モジュールＡに移動させ、樹脂成形品Ｐを基板搬送機構６から成形済基板収納部２に受け渡して収納する。
成形済基板搬出工程において、基板搬送機構６を移動させて、型開きされた上型３から樹脂成形品Ｐを受け取る。そして、樹脂成形品Ｐを受け取った基板搬送機構６を、基板供給・収納モジュールＡに移動させ、樹脂成形品Ｐを基板搬送機構６から成形済基板収納部２に受け渡して収納する。
【0064】
（５）使用済み離型フィルム回収工程
使用済み離型フィルム回収工程において、樹脂材料搬送機構７を移動させて、型開きされた下型４から使用済みの離型フィルムＦを回収する。そして、使用済みの離型フィルムＦを回収した樹脂材料搬送機構７を、樹脂材料供給モジュールＣに移動させ、使用済みの離型フィルムＦを廃棄部に廃棄する。
使用済み離型フィルム回収工程において、樹脂材料搬送機構７を移動させて、型開きされた下型４から使用済みの離型フィルムＦを回収する。そして、使用済みの離型フィルムＦを回収した樹脂材料搬送機構７を、樹脂材料供給モジュールＣに移動させ、使用済みの離型フィルムＦを廃棄部に廃棄する。
【0065】
＜５．本実施形態の効果＞
本実施形態の樹脂成形装置１００によれば、材料保持枠１０が載置されるステージ３１に、材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃する第１清掃体３２、及び、材料保持枠１０の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口３３を設けているので、樹脂材料Ｊを搬送するための材料保持枠１０を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。その結果、樹脂成形品Ｐの品質を向上することができる。
本実施形態の樹脂成形装置１００によれば、材料保持枠１０が載置されるステージ３１に、材料保持枠１０の内周面１０ａを清掃する第１清掃体３２、及び、材料保持枠１０の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口３３を設けているので、樹脂材料Ｊを搬送するための材料保持枠１０を清掃するとともに清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。その結果、樹脂成形品Ｐの品質を向上することができる。
【0066】
また、集塵口３３がステージ３１に載置された材料保持枠１０の内側に位置し、下方に空気を吸引して集塵するので、材料保持枠１０の内周面１０ａの清掃により生じた塵埃を効率的に集塵することができる。
【0067】
さらに、第１清掃体３２が集塵口３３の内側に設けられているので、材料保持枠１０の内周面１０ａの清掃により生じた塵埃を外部に漏れにくくして効率的に集塵することができる。また、第１清掃体３２及び集塵口３３を一箇所に設けることができ、ステージ３１のフットプリントを小型化することができる。
【0068】
特に本実施形態では、材料保持枠１０の内周面１０ａ、上面１０ｂ及び下面１０ｃを清掃するので、次の樹脂成形に異物が混入することを防止でき、樹脂成形品Ｐの品質を向上することができる。
【0069】
また、本実施形態では、材料保持枠１０をステージ３１に搬送する途中で第２清掃体３５が材料保持枠１０の下面１０ｃに接触して清掃するので、ステージ３１への材料保持枠１０の搬送工程と、材料保持枠１０の下面１０ｃの清掃工程とを同時に行うことができる。したがって、材料保持枠１０の清掃時間を増加すること無く、材料保持枠１０の下面１０ｃを清掃することができる。
【0070】
＜６．その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【0071】
例えば、前記実施形態では、第２清掃体３５を有する構成であったが、図７に示すように、第２清掃体３５を有さない構成であっても良い。図７には、第２清掃体３５を有さない構成におけるクリーニング動作を示しており、材料保持枠１０の下面１０ｃの清掃工程が無い点を除いて、前記実施形態のクリーニング動作を同じである。
【0072】
前記実施形態では、第２清掃体３５がステージ３１に上下移動可能に設けられているが、第２清掃体３５が固定されていても良い。また、第２清掃体３５をステージ３１とは別に設けても良い。
【0073】
また、集塵口３３の内部に第１清掃体３２を上下移動可能に設ける構成の他、集塵口３３の空間と、第１清掃体３２が上下移動する空間とを別に設けても良い。
【0074】
さらに、前記実施形態の第１清掃体３２は、材料保持枠１０の内周面１０ａの４つの辺部に対応した平面視矩形状の清掃部を有する一体のものであったが、４つの辺部それぞれに対応した４つの清掃部を有する構成であっても良い。
【0075】
その上、前記実施形態では、ステージ３１に設けられた第２清掃体３５は１つであったが、複数の第２清掃体３５を搬送方向に沿って設けても良い。
【0076】
集塵口３３は、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の外側に設けても良い。また、集塵口３３は、ステージ３１に載置された材料保持枠１０の外側及び内側の両方に設けても良い。
【0077】
第１清掃体３２は、材料保持枠１０に対して上下移動する構成の他、材料保持枠１０に対して横方向又は斜め方向に移動する構成であっても良い。
【0078】
加えて、第２清掃体３５により材料保持枠１０の下面１０ｃを清掃する際には、第２清掃体３５に対して材料保持枠１０を複数回往復させるように移動させても良い。
【0079】
前記実施形態においては、基板供給・収納モジュールＡと樹脂材料供給モジュールＣとの間に、１つの樹脂成形モジュールＢを接続した構成であるが、２つ以上の樹脂成形モジュールＢを接続した構成としても良い。また、基板供給・収納モジュールＡと樹脂材料供給モジュールＣとを１つのモジュールにして、そのモジュールに樹脂成形モジュールＢを接続した構成としても良い。また、樹脂材料供給モジュールＣからフィルム切断モジュールを分離させてモジュール化しても良い。さらに、樹脂成形装置は、前記実施形態のように各モジュールにモジュール化されていなくても良い。
【0080】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【0081】
１００・・・樹脂成形装置
Ｗ・・・成形対象物
Ｐ・・・樹脂成形品
Ｊ・・・樹脂材料
Ｂ・・・樹脂成形モジュール
３、４・・・成形型
Ｃ・・・樹脂材料供給モジュール
１０・・・材料保持枠
１０ａ・・・材料保持枠の内周面
１０ｂ・・・材料保持枠の上面
１０ｃ・・・材料保持枠の下面
１０Ｒ・・・流路
３０・・・クリーニング装置
３１・・・ステージ
３２・・・第１清掃体
３３・・・集塵口
３４・・・カバー体
３４１・・・接触部
３５・・・第２清掃体
Ｗ・・・成形対象物
Ｐ・・・樹脂成形品
Ｊ・・・樹脂材料
Ｂ・・・樹脂成形モジュール
３、４・・・成形型
Ｃ・・・樹脂材料供給モジュール
１０・・・材料保持枠
１０ａ・・・材料保持枠の内周面
１０ｂ・・・材料保持枠の上面
１０ｃ・・・材料保持枠の下面
１０Ｒ・・・流路
３０・・・クリーニング装置
３１・・・ステージ
３２・・・第１清掃体
３３・・・集塵口
３４・・・カバー体
３４１・・・接触部
３５・・・第２清掃体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【手続補正書】
【提出日】2023-03-30
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
樹脂材料を搬送するための材料保持枠を清掃するクリーニング装置であって、
前記材料保持枠が載置されるステージと、
前記ステージに設けられ、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体と、
前記ステージに設けられ、前記材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口とを備える、クリーニング装置。
前記材料保持枠が載置されるステージと、
前記ステージに設けられ、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内周面を清掃する第１清掃体と、
前記ステージに設けられ、前記材料保持枠の清掃により生じた塵埃を集塵する集塵口とを備える、クリーニング装置。
【請求項2】
前記第１清掃体は、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内側に位置し、前記材料保持枠に対して上下移動する、請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項3】
前記集塵口は、前記ステージに載置された前記材料保持枠の内側に位置し、下方に空気を吸引して集塵するものである、請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項4】
前記第１清掃体は、前記集塵口の内側に設けられ、前記材料保持枠に対して上下移動するものである、請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項5】
前記ステージに載置された前記材料保持枠の上面に配置されるカバー体をさらに備え、
前記カバー体は、前記材料保持枠の上面との間に外部から空気を吸引するための流路を形成するものである、請求項３に記載のクリーニング装置。
前記カバー体は、前記材料保持枠の上面との間に外部から空気を吸引するための流路を形成するものである、請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項6】
前記材料保持枠は、平面視において矩形枠状をなすものであり、
前記カバー体は、平面視において矩形状をなすものであり、前記材料保持枠の角部に接触する凸部を有し、前記材料保持枠の４つの辺部における上面との間に前記流路を形成する、請求項５に記載のクリーニング装置。
前記カバー体は、平面視において矩形状をなすものであり、前記材料保持枠の角部に接触する凸部を有し、前記材料保持枠の４つの辺部における上面との間に前記流路を形成する、請求項５に記載のクリーニング装置。
【請求項7】
前記ステージに設けられ、前記ステージに搬送される前記材料保持枠の下面を清掃する第２清掃体をさらに備える、請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項8】
前記第２清掃体は、前記ステージに対して上下移動可能に設けられており、前記材料保持枠が前記ステージに搬送される際に上昇して前記材料保持枠の下面を清掃する、請求項７に記載のクリーニング装置。
【請求項9】
一対の成形型を有する樹脂成形モジュールと、
前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、
請求項１乃至８の何れか一項に記載のクリーニング装置とを備える、樹脂成形装置。
前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、
請求項１乃至８の何れか一項に記載のクリーニング装置とを備える、樹脂成形装置。
【請求項10】
請求項９に記載の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、
前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含む、樹脂成形品の製造方法。
前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、
前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含む、樹脂成形品の製造方法。