特開 2024-138937 バルブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024138937

(43)【公開日】2024-10-09

(54)【発明の名称】バルブ

(51)【国際特許分類】

   F16K 7/17 20060101AFI20241002BHJP

【ＦＩ】

F16K7/17 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023049669

(22)【出願日】2023-03-27

(71)【出願人】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】100183380

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 裕司

(72)【発明者】

【氏名】橋本 修宏

(57)【要約】

【課題】シート、ダイヤフラム、およびインナーディスク等の交換を容易に行うことが可能なバルブを提供する。
【解決手段】バルブ１の接液部３０は、ボディ本体１１に当接するガスケット３２と、ガスケット３２上に配置されたインナーディスク３３と、インナーディスク３３に保持され、ダイヤフラム３５が当接および離間するシート３４と、ダイヤフラム３５の外周縁部を押圧する押えアダプタ３６と、ガスケット３２、インナーディスク３３、シート３４、ダイヤフラム３５、および押えアダプタ３６を保持した状態で、ボンネット１２に対し連結リング１３により着脱可能に連結されるリテーナ３１とを備える。接液部３０をボンネット１２に連結した状態において、連結リング１３は、縮径した状態で、リテーナ３１の内周面に形成された結合溝３１ｂに嵌まりかつボンネット１２の外周面に形成されたリング溝１２ｂに位置している。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

流入路および流出路が形成されたボディ本体と、
前記流入路および前記流出路を開閉するダイヤフラムを有する接液部と、
前記ボディ本体に連結されたボンネットと、
前記接液部を前記ボンネットに着脱可能に連結する連結リングと、
前記ボンネットに移動可能に支持され、前記ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押えと、
前記ダイヤフラム押えを上下動させるアクチュエータと、を備え、
前記接液部は、
前記流入路に連通する第１中心孔と前記流出路に連通する複数の第１貫通孔とが形成され、前記ボディ本体に当接するガスケットと、
前記第１中心孔に連通する第２中心孔と前記複数の第１貫通孔に連通する複数の第２貫通孔とが形成され、前記ガスケット上に配置されたインナーディスクと、
前記インナーディスクに形成され、前記ダイヤフラムが当接および離間するシートと、
前記ダイヤフラムの外周縁部を前記インナーディスクの外周縁部に向かって押圧する押えアダプタと、
前記ガスケット、前記インナーディスク、前記シート、前記ダイヤフラム、および前記押えアダプタを保持した状態で、前記ボンネットに対し前記連結リングにより着脱可能に連結されるリテーナと、を備え、
前記接液部を前記ボンネットに連結した状態において、前記連結リングは、縮径した状態で、前記リテーナの内周面に形成された結合溝に嵌まりかつ前記ボンネットの外周面に形成されたリング溝に位置している、バルブ。

【請求項2】

前記リング溝の上下方向の幅は、前記連結リングの上下方向の幅よりも大きく構成されている、請求項１に記載のバルブ。

【請求項3】

前記リテーナの結合溝は、径方向外側に窪む横向きＶ字形状をなしている、請求項１または請求項２に記載のバルブ。

【請求項4】

前記ボディ本体および前記インナーディスクには、前記ガスケットに向かって突出し、前記ガスケットに対して当接する部分を押しつぶす凸部が設けられている、請求項１に記載のバルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、半導体製造装置等に用いるダイヤフラムバルブに関する。

【背景技術】

【0002】

バルブの流量を増加させるため、インナーディスクを備えるタイプの大流量バルブがある。このようなバルブを高温下で使用した場合、経年劣化によりシートが下がり流量が変化し、さらにシートが下がるとシートリークが発生してしまう。このような時には、シートを交換する必要がある。特許文献１に開示されたバルブでは、リテーナを備えるバルブを使用することで、シートを交換することが記載されている。特許文献１のバルブでは、シート、シートホルダ、ダイヤフラム、ダイヤフラム保持リングがリテーナに一体的に保持され、リテーナはダイヤフラム保持リングとガイド筒の外側に直接嵌め合わされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３－１１７２６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のバルブにおいて、ボンネットをボディから取り外した後、リテーナをガイド筒から取り外すことで、シート、シートホルダ、ダイヤフラム、ダイヤフラム保持リングがリテーナと一体となって外れるように構成されている。このように嵌め合わされたリテーナを外すのは、力を要するためシート交換の作業性が悪い。

【0005】

そこで本開示は、シート、ダイヤフラム、およびインナーディスク等の交換を容易に行うことが可能なバルブを提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を解決するために、本開示の一態様であるバルブは、流入路および流出路が形成されたボディ本体と、前記流入路および前記流出路を開閉するダイヤフラムを有する接液部と、前記ボディ本体に連結されたボンネットと、前記接液部を前記ボンネットに着脱可能に連結する連結リングと、前記ボンネットに移動可能に支持され、前記ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押えと、前記ダイヤフラム押えを上下動させるアクチュエータと、を備え、前記接液部は、前記流入路に連通する第１中心孔と前記流出路に連通する複数の第１貫通孔とが形成され、前記ボディ本体に当接するガスケットと、前記第１中心孔に連通する第２中心孔と前記複数の第１貫通孔に連通する複数の第２貫通孔とが形成され、前記ガスケット上に配置されたインナーディスクと、前記インナーディスクに保持され、前記ダイヤフラムが当接および離間するシートと、前記ダイヤフラムの外周縁部を前記インナーディスクの外周縁部に向かって押圧する押えアダプタと、前記ガスケット、前記インナーディスク、前記シート、前記ダイヤフラム、および前記押えアダプタを保持した状態で、前記ボンネットに対し前記連結リングにより着脱可能に連結されるリテーナと、を備え、前記接液部を前記ボンネットに連結した状態において、前記連結リングは、縮径した状態で、前記リテーナの内周面に形成された結合溝に嵌まりかつ前記ボンネットの外周面に形成されたリング溝に位置している。

【0007】

前記リング溝の上下方向の幅は、前記連結リングの上下方向の幅よりも大きく構成されてもよい。

【0008】

前記リテーナの結合溝は、径方向外側に窪む横向きＶ字形状をなしてもよい。

【0009】

前記ボディ本体および前記インナーディスクには、前記ガスケットに向かって突出し、前記ガスケットに対して当接する部分を押しつぶす凸部が設けられてもよい。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、シート、ダイヤフラム、およびインナーディスク等の交換を容易に行うことが可能なバルブを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態に係る開状態にあるバルブの断面図である。

【図2】バルブの接液部近傍の拡大断面図である。

【図3】（ａ）は、ガスケットの平面図であり、（ｂ）は、ガスケットの断面図である。

【図4】（ａ）は、インナーディスクの平面図であり、（ｂ）は、インナーディスクの断面図である。

【図5】バルブの組立方法の説明図である

【図6】バルブの組立方法の説明図である

【発明を実施するための形態】

【0012】

本開示の一実施形態に係るバルブ１について、図面を参照して説明する。

【0013】

図１は、本実施形態に係る開状態にあるバルブ１の断面図である。
図２は、バルブ１の接液部３０近傍の拡大断面図である。

【0014】

図１に示すように、バルブ１は、ボディ１０と、アクチュエータ２０とを備える。本実施形態に係るバルブ１は、いわゆる二方弁である。なお、以下の説明において、バルブ１の、アクチュエータ２０側を上側、ボディ１０側を下側として説明する。

【0015】

［ボディ１０］
ボディ１０は、ボディ本体１１と、ボンネット１２と、連結リング１３と、接液部３０と、ダイヤフラム押え１５と、ホルダ１６と、圧縮コイルスプリング１７とを備える。

【0016】

ボディ本体１１は、全体として略円筒状をなしている。ボディ本体１１の上側部分には、接液部３０を収容する収容凹部１１ａが形成されている。ボディ本体１１の下側部分には、流入路１１ｂ、流出路１１ｃ、および環状溝１１ｄが形成されている。流入路１１ｂは、上下方向に沿って形成され、上端が収容凹部１１ａの底面１１Ｅに開口している。環状溝１１ｄは、上端が底面１１Ｅに開口し、流入路１１ｂの周囲に形成されている。流出路１１ｃは、上端が環状溝１１ｄに開口し、下端がボディ本体１１の下面に開口している。

【0017】

図２に示すように、収容凹部１１ａの底面１１Ｅであって、流入路１１ｂの上端の周囲には、環状をなす第１凸部１１Ｆが設けられている。収容凹部１１ａの底面１１Ｅであって、環状溝１１ｄの上端の周囲には、環状をなす第２凸部１１Ｇが設けられている。

【0018】

図１、２に示すように、ボンネット１２は、有蓋の略円筒状をなし、その下側部をボディ本体１１に螺合させることにより、収容凹部１１ａを覆うようにボディ本体１１に固定されている。ボンネット１２の下端部１２Ａの外周面には、一周連続して環状をなすリング溝１２ｂ（図５も参照）が形成されている。リング溝１２ｂの縦断面形状は、略矩形状である。

【0019】

連結リング１３は、例えば断面円形のＣリングであり、バルブ１の組立時にボンネット１２と接液部３０とを連結する部材である。連結リング１３は、バルブ１が組み立てられた状態では、リング溝１２ｂ内に設けられ、後述のリテーナ３１の結合溝３１ｂ（図５参照）に係合している。リング溝１２ｂの上下方向（ボンネット１２の軸方向）の幅は、連結リング１３の径（線径、上下方向の幅）よりも大きく構成されている。連結リング１３の外径は、外力が作用しない状態で、ボンネット１２の下端部１２Ａの外径およびリテーナ３１の内径よりも大きく構成されている。

【0020】

図２に示すように、接液部３０は、リテーナ３１と、ガスケット３２と、インナーディスク３３と、シート３４と、ダイヤフラム３５と、押えアダプタ３６とを備える。

【0021】

リテーナ３１は、円筒状をなし、その外径は収容凹部１１ａの内径よりもわずかに小さく、その内径はボンネット１２の下端部の外径よりもわずかに大きく構成されている。リテーナ３１の内周面３１ａの上端には、一周連続して環状をなす結合溝３１ｂ（図５参照）が形成されている。結合溝３１ｂは、径方向外側に窪む横向きＶ字形状をなしている。リテーナ３１の内周面３１ａの下端には、内方に突出する支持部３１Ｃが設けられている。

【0022】

図３（ａ）は、ガスケット３２の平面図であり、図３（ｂ）は、ガスケット３２の断面図である。
ガスケット３２は、金属製であり、円板状をなしている。ガスケット３２の中央部には、第１中心孔３２ａが形成されている。ガスケット３２は、内周縁部３２Ｂと、中間環状部３２Ｃと、外周縁部３２Ｄとを有する。中間環状部３２Ｃには、第１中心孔３２ａを囲むように複数の第１貫通孔３２ｅが形成されている。第１中心孔３２ａは、上下方向において流入路１１ｂに連通する。複数の第１貫通孔３２ｅは、上下方向において環状溝１１ｄに連通する。ガスケット３２の外周縁部３２Ｄは、リテーナ３１の支持部３１Ｃに下側から支持されている。これにより、ガスケット３２が、リテーナ３１から抜け落ちるのが防止される。

【0023】

図４（ａ）は、インナーディスク３３の平面図であり、図４（ｂ）は、インナーディスク３３の断面図である。
インナーディスク３３は、金属製であり、略円筒状をなしている。インナーディスク３３の中央部には、第２中心孔３３ａが形成されている。インナーディスク３３は、内周縁部３３Ｂと、中間環状部３３Ｃと、外周縁部３３Ｄとを有する。内周縁部３３Ｂおよび外周縁部３３Ｄの上下方向の幅は、中間環状部３３Ｃの上下方向の幅よりも厚く構成されている。内周縁部３３Ｂの上端部の環状凹部には、環状のシート３４が形成されている。シート３４は、インナーディスク３３と別体であり、例えば樹脂により構成されている。

【0024】

中間環状部３３Ｃには、第２中心孔３３ａを囲むように複数の第２貫通孔３３ｅが形成されている。第２中心孔３３ａは、上下方向において第１中心孔３２ａに連通する。複数の第２貫通孔３３ｅは、上下方向において複数の第１貫通孔３２ｅに連通する。

【0025】

インナーディスク３３の下面３３Ｆであって、内周縁部３３Ｂに相当する部分には、環状をなす第３凸部３３Ｇが設けられている。インナーディスク３３の下面３３Ｆであって、外周縁部３３Ｄに相当する部分には、環状をなす第４凸部３３Ｈが設けられている。

【0026】

図２に示すように、弁体であるダイヤフラム３５は、ボンネット１２の下側に配置された押えアダプタ３６とインナーディスク３３の外周縁部３３Ｄの上端とにより、その外周縁部が挟圧され保持されている。ダイヤフラム３５がシート３４に対し離間および当接（圧接）することによって、流体通路の開閉が行われる。ダイヤフラム３５は、例えば、複数枚の金属の薄板により構成され、円形に切り抜き、中央部を上方へ膨出させた球殻状に形成される。

【0027】

ダイヤフラム押え１５は、ダイヤフラム３５の上側に設けられ、ダイヤフラム３５の中央部を押圧可能に構成されている。ダイヤフラム押え１５はホルダ１６に嵌合されている。

【0028】

ホルダ１６は、略円柱状をなし、ボンネット１２内に上下移動可能に配置されている。後述のステム２５は、ホルダ１６の上部に対し螺合されている。

【0029】

圧縮コイルスプリング１７は、ボンネット１２内に設けられ、ホルダ１６を常に下側に付勢している。バルブ１は、圧縮コイルスプリング１７によって、通常時（アクチュエータ２０の非作動時）は閉状態に保たれる。

【0030】

［アクチュエータ２０］
図１に示すように、アクチュエータ２０は、エア駆動式であり、全体で略円柱形状をなし、ケーシング２１と、仕切ディスク２２と、第１ピストン２３と、第２ピストン２４と、ステム２５を備える。

【0031】

ケーシング２１は、下ケーシング２１Ａと、下端部が下ケーシング２１Ａの上端部に螺合された上ケーシング２１Ｂとを有する。下ケーシング２１Ａは、略段付き円筒状をなしている。下ケーシング２１Ａの下端部の外周が、ボンネット１２の貫通孔の内周に螺合されている。上ケーシング２１Ｂは、有蓋の略円筒状をなしている。上ケーシング２１Ｂの上端部には、流体導入路２１ｃが形成されている。下ケーシング２１Ａの下端部の外周には、ナット２６が螺合されている。

【0032】

仕切ディスク２２は、略円盤状をなし、ケーシング２１内に移動不能に設けられ、中央部をステム２５が貫通している。第１ピストン２３は、略円盤状をなし、中央部をステム２５が貫通している。第１ピストン２３および下ケーシング２１Ａにより、第１圧力室Ｐ１が形成される。第２ピストン２４は、略円盤状をなし、中央部をステム２５が貫通している。第２ピストン２４、仕切ディスク２２、および上ケーシング２１Ｂにより、第２圧力室Ｐ２が形成される。

【0033】

ステム２５は、略円柱状をなし、上下方向に移動可能に設けられ、ボンネット１２から、 下ケーシング２１Ａを通って、上ケーシング２１Ｂまで延びている。ステム２５の下端部は、ホルダ１６に螺合されている。ステム２５には、その上半分部分に、上下方向に延びるエア流路２５ａが形成され、さらにエア流路２５ａを横切る第１，２エア流出孔２５ｂ，２５ｃが形成されている。第１エア流出孔２５ｂは、第１圧力室Ｐ１に連通している。第２エア流出孔２５ｃは、第２圧力室Ｐ２に連通している。

【0034】

［バルブ１の開閉動作］
次に、本実施形態に係るバルブ１の開閉動作について説明する。

【0035】

本実施形態のバルブ１では、第１、２圧力室Ｐ１、Ｐ２に駆動流体であるエアが流入していない状態では、ホルダ１６およびステム２５は圧縮コイルスプリング１７の付勢力によって下死点にあり（ボディ本体１１に近接し）、ダイヤフラム押え１５によりダイヤフラム３５が押され、ダイヤフラム３５の下面がシート３４に圧接されてバルブ１は閉状態となっている。つまり、バルブ１は、通常状態（駆動流体が供給されていない状態）では閉状態である。

【0036】

そして、図示せぬ駆動流体供給源からバルブ１へエアが流れる状態にする。これにより、バルブ１へエアが供給される。駆動流体は、図示せぬエアチューブおよび管継手を介して、流体導入路２１ｃ、エア流路２５ａ、および第１，２エア流出孔２５ｂ，２５ｃを通過して、第１、２圧力室Ｐ１、Ｐ２に流入する。これにより、第１、２ピストン２３、２４が、圧縮コイルスプリング１７の付勢力に抗して上昇する。ホルダ１６およびステム２５は上死点に移動してボディ本体１１から離間し、ダイヤフラム３５の弾性力および流体（ガス）の圧力によってダイヤフラム押え１５が上側に移動する。この結果、流入路１１ｂと流出路１１ｃとが、第１中心孔３２ａ、第２中心孔３３ａ、第２貫通孔３３ｅ、第１貫通孔３２ｅ、および、環状溝１１ｄを介して連通し、バルブ１は開状態となる。

【0037】

バルブ１を開状態から閉状態にするには、図示せぬ三方弁を、エアがバルブ１のアクチュエータ２０（第１、２圧力室Ｐ１、Ｐ２）から外部へ排出する流れに切り替える。これにより、第１、２圧力室Ｐ１、Ｐ２内のエアが、第１、２エア流出孔２５ｂ，２５ｃ、エア流路２５ａ、および流体導入路２１ｃを介して、外部へ排出される。これにより、ホルダ１６およびステム２５は圧縮コイルスプリング１７の付勢力によって下死点に移動し、バルブ１は閉状態となる。

【0038】

［バルブ１の組立方法］
次に、バルブ１の組立方法について説明する。
図５、６は、バルブ１の組立方法の説明図である。当該組立方法の説明では、ボンネット１２、連結リング１３、ダイヤフラム押え１５、ホルダ１６、圧縮コイルスプリング１７、およびアクチュエータ２０を組み合わせて一体化した組立品を上部組立品４０とする。なお、図５、６に示す上部組立品４０には、アクチュエータ２０を図示していない。

【0039】

図５（ａ）～（ｃ）は、上部組立品４０を接液部３０に組み付ける工程を示し、図５（ｅ）～（ｇ）は、図５（ａ）～（ｃ）の工程に対応するリテーナ３１と、ボンネット１２と、連結リング１３との位置関係を示している。図５（ｄ）は、接液部３０および上部組立品４０をボディ本体１１に組み付ける工程を示し、図５（ｈ）は、図５（ｄ）の工程に対応するリテーナ３１と、ボンネット１２と、連結リング１３との位置関係を示している。

【0040】

図５（ａ）に示すように、接液部３０に対し、上部組立品４０を上方から近づける。この時、図５（ｅ）に示すように、ボンネット１２は、リテーナ３１の上方に位置し、連結リング１３は、その自重で、ボンネット１２のリング溝１２ｂの底面１２Ｃ（最下端）に位置している。図５（ｂ）に示すように、上部組立品４０（ボンネット１２）の下端部をリテーナ３１に嵌め込む。この時、図５（ｆ）に示すように、連結リング１３は、リング溝１２ｂの上面１２Ｄに押され、リテーナ３１の上端の傾斜面およびリテーナ３１の内周面３１ａに沿って縮径しながら下方へ進む。

【0041】

図５（ｃ）、（ｇ）に示すように、連結リング１３が、リテーナ３１の結合溝３１ｂに嵌まると、連結リング１３は、その復元力によりわずかに拡径する。連結リング１３は、縮径した状態で、結合溝３１ｂに嵌まりかつリング溝１２ｂに位置している。これにより、リテーナ３１が、ボンネット１２に連結され、上部組立品４０と接液部３０とが結合する。この状態において、上部組立品４０および接液部３０を持ち上げた場合、連結リング１３および接液部３０は自重により上部組立品４０に対して下方へ移動し、図５（ｇ）に示すように、連結リング１３は、リング溝１２ｂの底面１２Ｃ（最下端）に位置する。図５（ｄ）に示すように、上部組立品４０および接液部３０を、ボディ本体１１を収容凹部１１ａに挿入させ、下方へ移動させる。図５（ｈ）に示すように、リテーナ３１と、ボンネット１２と、連結リング１３との位置関係は、図５（ｇ）に示したそれらの位置関係と同じである。

【0042】

図６（ａ）～（ｃ）は、上部組立品４０および接液部３０をボディ本体１１に組み付ける工程を示し、図６（ｄ）～（ｆ）は、図６（ａ）～（ｃ）の工程に対応するガスケット３２のシール状態を示し、図６（ｇ）～（ｉ）は、図６（ａ）～（ｃ）の工程に対応するリテーナ３１と、ボンネット１２と、連結リング１３と、押えアダプタ３６との位置関係を示している。

【0043】

図６（ａ）、（ｄ）に示すように、ボンネット１２がボディ本体１１に螺合するようにボンネット１２を回転させながら、ガスケット３２の下面がボディ本体１１の第１凸部１１Ｆ（図２）および第２凸部１１Ｇに当接するまで、上部組立品４０および接液部３０を下降させる。図６（ｇ）に示すように、リテーナ３１と、ボンネット１２と、連結リング１３との位置関係は、図５（ｈ）に示したそれらの位置関係と同じであり、ボンネット１２の下端面は押えアダプタ３６に当接していない。なお、図６（ｄ）に示すように、ガスケット３２の下面は、リテーナ３１の下面よりも下側に位置するように構成されている。

【0044】

図６（ｂ）、（ｈ）に示すように、さらにボンネット１２を締め付けると、ボンネット１２の下端面が押えアダプタ３６に当接する。ボンネット１２が少し下がるので、連結リング１３および結合溝３１ｂは、リング溝１２ｂ内を相対的に少し上側に移動する。この時、図６（ｅ）に示すように、ガスケット３２の上下面の第１～４凸部１１Ｆ（図２）、１１Ｇ、３３Ｇ（図２）、３３Ｈに当接する部分は、まだ押しつぶれていない。図６（ｃ）、（ｆ）に示すように、さらにボンネット１２を締め付けると、ガスケット３２の上下面の第１～４凸部１１Ｆ、１１Ｇ、３３Ｇ、３３Ｈに当接する部分が、第１～４凸部１１Ｆ、１１Ｇ、３３Ｇ、３３Ｈにより押しつぶされて、ガスケット３２により、流入路１１ｂと環状溝１１ｄとの間および環状溝１１ｄと外部との間がシールされる。ボンネット１２が少し下がるので、連結リング１３および結合溝３１ｂは、リング溝１２ｂ内を相対的に少し上側に移動する。

【0045】

リング溝１２ｂの上面１２Ｄは、連結リング１３に当接せず、リング溝１２ｂの上面１２Ｄと連結リング１３との間には、隙間が形成される。このため、ボンネット１２の締め付け時に、連結リング１３を介してリテーナ３１の上端部にボンネット１２による締結力が分散しない。このようにして、本実施形態のバルブ１は組み立てられる。

【0046】

シート３４の交換時には、ボンネット１２を緩めて、上部組立品４０および接液部３０をボディ本体１１から外し、上部組立品４０を接液部３０のリテーナ３１から、連結リング１３の復元力に抗して抜き出す。すなわち、図５、６に示した工程の逆の工程を行う。そして、接液部３０を分解すれば、シート３４、ダイヤフラム３５、およびインナーディスク３３等を交換することができる。

【0047】

以上説明した本実施形態のバルブ１によれば、接液部３０は、ガスケット３２、インナーディスク３３、シート３４、ダイヤフラム３５、および押えアダプタ３６を保持した状態で、ボンネット１２に対し連結リング１３により着脱可能に連結されるリテーナ３１を備える。接液部３０をボンネット１２に連結した状態において、連結リング１３は、縮径した状態で、リテーナ３１の結合溝３１ｂに嵌まりかつボンネット１２のリング溝１２ｂに位置している。これにより、ガスケット３２に対する接液部３０の着脱が、連結リング１３の拡径と縮径により行われるので、シート３４、ダイヤフラム３５、およびインナーディスク３３等の交換作業が容易となる。

【0048】

リング溝１２ｂの上下方向（ボンネット１２の軸方向）の幅は、連結リング１３の径（線径、上下方向の幅）よりも大きく構成されている。このため、ボンネット１２の締め付け時に、連結リング１３を介してリテーナ３１の上端部にボンネット１２による締結力が分散することがない。この結果、リテーナ３１の下端部にも力が作用せず、ボンネット１２による締結力をガスケット３２およびインナーディスク３３に確実に伝えることができる。よって、ガスケット３２の上下面を、第１～４凸部１１Ｆ、１１Ｇ、３３Ｇ、３３Ｈにより確実につぶすことができるので、ガスケット３２により確実にシールすることができる。

【0049】

結合溝３１ｂは、径方向外側に窪む横向きＶ字形状をなしている。これにより、接液部３０がボンネット１２に連結され、連結リング１３が結合溝３１ｂに嵌まった状態において、ボンネット１２を持ち上げた際に、接液部３０がボンネット１２から落下しない所望の保持力を確保することができる。

【0050】

ボディ本体１１およびインナーディスク３３には、ガスケット３２に向かって突出し、ガスケット３２に対して当接する部分を押しつぶす第１～４凸部１１Ｆ、１１Ｇ、３３Ｇ、３３Ｈが設けられている。これにより、ガスケット３２のシール性を向上させることができる。

【0051】

なお、本開示は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本開示の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。

【0052】

結合溝３１ｂは、径方向外側に窪む横向きＶ字形状であったが、結合溝３１ｂの形状は、これに限られず、他の形状であってもよい。連結リング１３は、断面円形のＣリングであったが、断面形状は円形でなくてもよいし、Ｃリング以外の他のリングであってもよい。シート３４は、インナーディスク３３と別体であり、シート３４は弾性体シールであったが、シート３４とインナーディスク３３を金属により一体形成し、シート３４をメタルシールとしてもよい。

【符号の説明】

【0053】

１：バルブ
１１：ボディ本体
１１Ｆ：第１凸部
１１Ｇ：第２凸部
１２：ボンネット
１２ｂ：リング溝
１３：連結リング
１５：ダイヤフラム押え
２０：アクチュエータ
３０：接液部
３１：リテーナ
３１ｂ：結合溝
３２：ガスケット
３２ａ：第１中心孔
３２ｅ：第１貫通孔
３３：インナーディスク
３３ａ：第２中心孔
３３ｅ：第２貫通孔
３３Ｇ：第３凸部
３３Ｈ：第４凸部
３４：シート
３６：押えアダプタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】