特開 2024-139064 フィルム剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024139064

(43)【公開日】2024-10-09

(54)【発明の名称】フィルム剥離装置

(51)【国際特許分類】

   B65H 41/00 20060101AFI20241002BHJP

   B65H 47/00 20060101ALI20241002BHJP

   B65H 3/46 20060101ALI20241002BHJP

   H10N 30/05 20230101ALI20241002BHJP

   H10N 30/20 20230101ALI20241002BHJP

【ＦＩ】

B65H41/00 A

B65H41/00 B

B65H47/00 A

B65H47/00 B

B65H3/46 J

H10N30/05

H10N30/20

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023049856

(22)【出願日】2023-03-27

(71)【出願人】

【識別番号】000204284

【氏名又は名称】太陽誘電株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100087480

【弁理士】

【氏名又は名称】片山 修平

(72)【発明者】

【氏名】石井 茂雄

(72)【発明者】

【氏名】福島 岳行

(72)【発明者】

【氏名】清水 寛之

(72)【発明者】

【氏名】濤川 雄一

【テーマコード（参考）】

3F108

3F343

【Ｆターム（参考）】

3F108JA02

3F108JA04

3F343FA09

3F343GA01

3F343GB01

3F343GC02

3F343GD04

3F343HA12

3F343JD26

3F343JD27

3F343KB05

3F343LA04

3F343LA18

3F343MA31

(57)【要約】

【課題】フィルムを容易に剥離することが可能なフィルム剥離装置を提供する。
【解決手段】フィルム剥離装置１００は、第１フィルムと第２フィルムとが重なった積層フィルムのうち第１フィルムの面を主面上に固定する部材と、人体の一部を用い積層フィルムから第２フィルムを剥離するときに部材の主面に振動を与える振動器と、振動器に、１０ｋＨ以上かつ１００ｋＨｚ以下の周波数を有する搬送波を１Ｈｚ以上かつ３００Ｈｚ以下の周波数を有する信号波により振幅変調させた変調波を供給する駆動装置と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１フィルムと第２フィルムとが重なった積層フィルムのうち第１フィルムの面を主面上に固定する部材と、
人体の一部を用い前記積層フィルムから第２フィルムを剥離するときに前記部材の前記主面に振動を与える振動器と、
前記振動器に、１０ｋＨ以上かつ１００ｋＨｚ以下の周波数を有する搬送波を１Ｈｚ以上かつ３００Ｈｚ以下の周波数を有する信号波により振幅変調させた変調波を供給する駆動装置と、
を備えるフィルム剥離装置。

【請求項2】

前記信号波は、矩形波またはのこぎり波である請求項１に記載のフィルム剥離装置。

【請求項3】

前記変調波の変調度は、８０％以上である請求項２に記載のフィルム剥離装置。

【請求項4】

前記搬送波の周波数は、前記部材の共振周波数の０．８６倍以上かつ１．１４倍以下である請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルム剥離装置。

【請求項5】

前記振動器は、前記主面に前記振動の定在波を形成する請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルム剥離装置。

【請求項6】

前記部材は板部材であり、
前記振動器は、前記第２フィルムを剥離する領域を挟み対向する位置に設けられた第１圧電素子および第２圧電素子を備える請求項５に記載のフィルム剥離装置。

【請求項7】

前記第１圧電素子および前記第２圧電素子の各々は、圧電体層と、第１方向において前記圧電体層を挟む第１電極および第２電極と、を備え、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することで前記第１方向に直交する第２方向に伸縮し、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とは、前記第１方向と前記第２方向とに直交する第３方向において、前記領域を挟み対向する請求項６に記載のフィルム剥離装置。

【請求項8】

前記積層フィルムは、樹脂フィルムである請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルム剥離装置。

【請求項9】

前記積層フィルムは袋である請求項８に記載のフィルム剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、フィルム剥離装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルムを剥離する装置として、ローラ等を用いフィルムを剥離する装置が知られている（例えば特許文献１）。振動器に変調波の信号を供給することで、様々な触覚が得られることが知られている（例えば特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１４７４０１号公報

【特許文献2】特開平８－３１４３６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

２枚のフィルムが重なった積層フィルムから、１枚のフィルムを他方のフィルムから剥離する場合、２枚のフィルムが付着し、１枚のフィルムを他方のフィルムから剥離することが難しいことがある。例えば、スーパマーケット等では、ポリエチレン袋が用いられている。ポリエチレン袋は、２枚のポリエチレンフィルムが重なった積層フィルムである。ユーザは指を用い積層フィルムを掴み、２つのフィルムから１枚のフィルムを剥離しようとするが、１枚のフィルムを積層フィルムから剥離することが難しいことがある。

【0005】

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、フィルムを容易に剥離することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、第１フィルムと第２フィルムとが重なった積層フィルムのうち第１フィルムの面を主面上に固定する部材と、人体の一部を用い前記積層フィルムから第２フィルムを剥離するときに前記部材の前記主面に振動を与える振動器と、前記振動器に、１０ｋＨ以上かつ１００ｋＨｚ以下の周波数を有する搬送波を１Ｈｚ以上かつ３００Ｈｚ以下の周波数を有する信号波により振幅変調させた変調波を供給する駆動装置と、を備えるフィルム剥離装置である。

【0007】

上記構成において、前記信号波は、矩形波またはのこぎり波である構成とすることができる。

【0008】

上記構成において、前記変調波の変調度は、８０％以上である構成とすることができる。

【0009】

上記構成において、前記搬送波の周波数は、前記部材の共振周波数の０．８６倍以上かつ１．１４倍以下である構成とすることができる。

【0010】

上記構成において、前記振動器は、前記主面に前記振動の定在波を形成する構成とすることができる。

【0011】

上記構成において、前記部材は板部材であり、前記振動器は、前記第２フィルムを剥離する領域を挟み対向する位置に設けられた第１圧電素子および第２圧電素子を備える構成とすることができる。

【0012】

上記構成において、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子の各々は、圧電体層と、第１方向において前記圧電体層を挟む第１電極および第２電極と、を備え、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することで前記第１方向に直交する第２方向に伸縮し、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とは、前記第１方向と前記第２方向とに直交する第３方向において、前記領域を挟み対向する構成とすることができる。

【0013】

上記構成において、前記積層フィルムは、樹脂フィルムである構成とすることができる。

【0014】

上記構成において、前記積層フィルムは袋である構成とすることができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、フィルムを容易に剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、実施例１に係るフィルム剥離装置の斜視図である。

【図2】図２は、実施例１における板部材の平面図である。

【図3】図３は、実施例１に係るフィルム剥離装置の断面図である。

【図4】図４は、実施例１における圧電素子の断面図である。

【図5】図５（ａ）は、実施例１におけるフィルムの平面図、図５（ｂ）は、フィルムの断面図である。

【図6】図６は、実施例１における袋の斜視図である。

【図7】図７（ａ）および図７（ｂ）は、実施例１における板部材とフィルムの断面図である。

【図8】図８は、実施例１において駆動装置が圧電素子に供給する信号の例を示す図である。

【図9】図９は、実施例１において駆動装置が圧電素子に供給する信号の別の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、図面を参照し実施例について説明する。

【実施例0018】

図１は、実施例１に係るフィルム剥離装置の斜視図である。図２は、実施例１における板部材１２の平面図である。図３は、実施例１に係るフィルム剥離装置の断面図であり、図２のＡ－Ａ断面に相当する。板部材１２において、フィルム３２が引き出される方向を－Ｘ方向（第３方向）、板部材１２の厚さ方向をＺ方向（第１方向）、Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向をＹ方向（第２方向）とする。ここで、第１方向、第２方向および第３方向が直交（略直交）するとは、幾何学的な直交に限らず、各方向のなす角度が７０°～１１０°でもよく、８０°～１００°でもよい。

【0019】

図１から図３に示すように、実施例１のフィルム剥離装置１００では、板部材１２が筐体２０にはめ込まれている。筐体２０の＋Ｘ方向における端部のＹ方向における両側に、＋Ｚ方向に伸びる側壁２２が固定されている。２つの側壁２２の間には、ローラ２４および２６ａ～２６ｄが設けられている。ローラ２４は、フィルムローラであり、フィルム３２が巻かれたフィルムロール３０が設置されている。ローラ２６ａ～２６ｄはテンションローラであり、フィルム３２を引き出すときに、フィルム３２に張力を加える。

【0020】

板部材１２は平板状であり、平面形状は長方形である。板部材１２の上面（＋Ｚ側面）は、主面１３である。主面１３は、ほぼ平面である。主面１３は曲面を含んでいてもよい。板部材１２のＸ方向における中央部の領域１６に板部材１２を貫通する複数の孔１４が設けられている。孔１４は、フィルム３２を真空吸着させる。板部材１２のＸ方向における両端部の下面（主面１３と反対の面、－Ｚ側の面）に圧電素子１０ａおよび１０ｂが固定されている。圧電素子１０ａおよび１０ｂは、例えば樹脂接着剤または金属接合材を用い板部材１２に固定されている。圧電素子１０ａおよび１０ｂは、駆動装置６２に電気的に接続されている。

【0021】

筐体２０は、平面形状が長方形の平板部分を有し、平板部分の周縁部は、＋Ｚ方向に屈曲している。屈曲した部分は、板部材１２をＸ方向およびＹ方向において囲み、板部材１２のＸ側およびＹ側の側壁に接して設けられている。筐体２０と板部材１２との間には空気等の気体からなる空間２８が形成される。不図示のポンプが排気路２１から空間２８内の空気を吸引する。空間２８内は陰圧となり、孔１４は、板部材１２上のフィルム３２を真空吸着し、固定する。

【0022】

ローラ２４に巻き付けられているフィルムロール３０が取り付けられている。フィルム３２は、フィルムロール３０からローラ２６ａ～２６ｄを介し板部材１２の主面１３上に引き出される。引き出されたフィルム３２は、孔１４の吸引により板部材１２の主面１３に固定される。

【0023】

板部材１２、筐体２０、側壁２２、ローラ２４および２６ａ～２６ｄは、例えば金属または樹脂であり、一例としてアクリル樹脂である。板部材１２、筐体２０、側壁２２、ローラ２４および２６ａ～２６ｄの材料、形状および寸法は適宜設計できる。

【0024】

図４は、実施例１における圧電素子の断面図である。図４に示すように、圧電素子１０ａおよび１０ｂでは、複数の圧電体層４１からなる圧電体４０、複数の第１電極４２および複数の第２電極４４を備えている。複数の第１電極４２および複数の第２電極４４はＺ方向において互い違いに設けられている。１つの圧電体層４１は、Ｚ方向において１つの第１電極４２と１つの第２電極４４とに挟まれている。

【0025】

圧電体４０の－Ｙ側および＋Ｙ側の側面に、それぞれ外部電極４３および４５が設けられている。外部電極４３には第１電極４２が電気的に接続される。外部電極４５には第２電極４４が電気的に接続される。外部電極４３は、圧電体４０の上面（＋Ｚ側の面）に回り込んで設けられている。外部電極４５は、圧電体４０の上面（＋Ｚ側の面）および下面（－Ｚ側の面）に回り込んで設けられている。圧電体４０の上面の外部電極４５と最上層の第１電極４２とは最上層の圧電体層４１を挟んで設けられ、圧電体４０の下面の外部電極４５と最下層の第１電極４２とは最下層の圧電体層４１を挟んで設けられている。図４では、圧電体層４１が８層設けられており、各圧電体層４１は、第１電極４２と第２電極４４、または第１電極４２と外部電極４５とに挟まれている。

【0026】

外部電極４３および４５は、ケーブルを介し駆動装置６２に電気的に接続されている。圧電素子１０ａおよび１０ｂのように、平面形状がＹ方向に長い短冊状の場合、駆動装置６２が外部電極４３と４５との間に電圧を印加することで、圧電体４０は、矢印５６のようにＹ方向に伸縮する。このように、圧電素子１０ａおよび１０ｂは長方形状であり、圧電体層４１と、Ｚ方向において圧電体層４１を挟む第１電極４２および第２電極４４と、を備え、第１電極４２と第２電極４４との間に電圧を印加することで長方形状の長辺の延伸するＹ方向に伸縮する振動モードを横変位型モードまたはｄ３１モードという。

【0027】

圧電体層４１の材料としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）、チタン酸バリウム系材料（ＢａＴｉＯ_３、ＢａはＣａでもよく、ＴｉはＺｒでもよい）、チタン酸ビスマス系材料（ＢｉＴｉＯ_３、Ｂｉの一部がＮａでもよい）、ニオブ酸アルカリ系材料（ＮａＮｂＯ_３、ＮａはＬｉまたはＫでもよい）を用いることができる。第１電極４２、第２電極４４、外部電極４３および４５の材料としては、例えばＡｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、ＮｉおよびＡｕ等の金属を用いることができる。圧電素子１０ａおよび１０ｂは、表面に第１電極４２および第２電極４４が形成された圧電体シートを積層し、焼結することにより形成される焼結体からなるチップである。

【0028】

図２において、駆動装置６２が圧電素子１０ａおよび１０ｂに信号を供給すると、板部材１２はＹ方向に伸縮する。圧電素子１０ａおよび１０ｂに信号の位相を同位相、または適切な位相関係とすることで、圧電素子１０ａと１０ｂとの間に振動の定在波が形成される。

【0029】

図５（ａ）は、実施例１におけるフィルムの平面図、図５（ｂ）は、フィルムの断面図である。図５（ａ）に示すように、フィルム３２は、複数の袋３４が連結されており、袋３４の間に破線状の切り込み線３５が設けられている。フィルム３２の一端を引っ張ることで、フィルム３２は、切り込み線３５から破断される。これにより、１つの袋に分離される。図５（ｂ）に示すように、フィルム３２は、フィルム３２ａと３２ｂとが積層されている。

【0030】

図６は、実施例１における袋の斜視図である。図６に示すように、袋３４では、フィルム３２ａおよび３２ｂの平面形状は長方形である。フィルム３２ａと３２ｂとは長方形の３辺が接合されており、長方形の短辺の１つの１辺は接合されていない。これにより、フィルム３２ａと３２ｂとを引き離すと、フィルム３２ａと３２ｂとの間が空洞３７となる。フィルム３２ａと３２ｂとは静電気等により密着されている。フィルム３２ａおよび３２ｂは、例えば樹脂フィルムまたは金属フィルムであり、一例としてポリエチレンフィルムである。フィルム３２ａおよび３２ｂの各々の厚さは、例えば０．００１ｍｍ以上かつ０．１ｍｍである。

【0031】

図７（ａ）および図７（ｂ）は、実施例１における板部材とフィルムの断面図である。図７（ａ）に示すように、板部材１２の主面１３の領域１６にフィルム３２のうちフィルム３２ａの下面が例えば真空吸着により固定されている。ユーザは指３８の先端をフィルム３２ｂの上面に接触させる。駆動装置６２が圧電素子１０ａおよび１０ｂに信号を供給し、領域１６に振動の定在波が形成されている。指３８に振動が伝わる。駆動装置６２が圧電素子１０ａおよび１０ｂに供給する信号を後述するような駆動信号とすると、指３８を動かすと、指３８の先端に引っ掛かりのような感触が得られる。

【0032】

図７（ｂ）に示すように、指３８を動かすと、フィルム３２ｂと３２ａとがずれ、フィルム３２ｂがフィルム３２ａから剥がれる。ユーザが指３８でフィルム３２ｂを掴み引っ張ると、フィルム３２ｂはフィルム３２ａから剥離される。これにより、図６のような、袋３４を形成することができる。

【0033】

図８は、実施例１において駆動装置が圧電素子に供給する信号の例を示す図である。図８における横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示している。搬送波の周期Ｔ１（周波数ｆ１）の信号は搬送波６４である。変調波６６の包絡線６５は信号波に対応する。信号波は周期Ｔ２（周波数ｆ２）である。搬送波６４としては正弦波を用いるが、図の簡略化のため搬送波６４として三角波を図示している。また、周期Ｔ１は周期Ｔ２に比べ非常に小さいが、理解しやすいように図８では周期Ｔ１を大きく図示している。変調波６６では、搬送波６４が信号波により振幅変調されている。搬送波６４は正弦波であり、信号波は矩形波である。

【0034】

図９は、実施例１において駆動装置が圧電素子に供給する信号の別の例を示す図である。信号波の波形は、急峻な立ち上がりと徐々に下がる立ち下がりを有するのこぎり波（下降ランプ波ともいう）である。その他の構成は、図８と同じであり、説明を省略する。

【0035】

図８および図９において、変調波６６における包絡線６５の最も大きい振幅をＡ１、包絡線６５の最も小さい振幅をＡ２としたとき、変調度ＭをＭ＝（Ａ１－Ａ２）／（Ａ１＋Ａ２）と定義する。

【0036】

［実験］
搬送波６４の周波数ｆ１を板部材１２および筐体２０の共振周波数に設定して、信号波の周波数ｆ２を変えて、フィルム３２ｂをフィルム３２ａから剥離する実験を行った。板部材１２および筐体２０の共振周波数は３０．７ｋＨｚであり、フィルム３２ａ、３２ｂの材料はポリエチレンである。変調波６６の変調度Ｍは１００％とした。

【0037】

周波数ｆ１を３０．７ｋＨｚとし、周波数ｆ２を１Ｈｚ～１０Ｈｚとすると、指３８には、人の脈動のような振動を感じる。周波数ｆ２を１０Ｈｚ～１００Ｈｚとすると、フィルム３２ｂの剥離は容易である。周波数ｆ２を１００Ｈｚ～３００Ｈｚとすると、細かい振動を感じる。一例として、フィルム３２として、厚さが０．０１ｍｍ未満の袋を用いた場合、周波数ｆ２を１６Ｈｚとすると、最もフィルム３２ｂの剥離が容易となった。フィルム３２として、厚さが０．０２ｍｍ程度の袋を用いた場合、周波数ｆ２を６１Ｈｚとすると、最もフィルム３２ｂの剥離が容易となった。

【0038】

信号波の波形を変え、フィルムを剥がす実験を行ったところ、図８のように信号波が矩形波の場合、指３８にはコツコツという振動が伝わり、フィルム３２ｂを容易に剥離することができた。図９のようなのこぎり波の場合、矩形波ほどではないが、指３８にはコツコツという振動が伝わり、フィルム３２ｂを剥離することができた。信号波の波形が、徐々に上がる立ち上がりと急峻な立ち下がりを有するのこぎり波（上昇ランプ波ともいう）の場合、下降ランプ波に比べると、フィルム３２ｂの剥離は難しかった。信号波の波形が正弦波の場合、フィルム３２ｂの剥離は難しかった。

【0039】

以上のように、信号波の波形が急峻な立ち上がりを有すると、フィルム３２ｂに指３８が引っ掛かり、フィルム３２ｂを剥離しやすい。信号波の波形が急峻な立ち下がりを有しても、信号波の波形が急峻な立ち上がりを有する場合ほどではないもの、フィルム３２ｂに指３８が引っ掛かり、フィルム３２ｂを剥離しやすい。

【0040】

実施例１によれば、図７（ａ）のように、板部材１２（部材）は、フィルム３２ａ（第１フィルム）と３２ｂ（第２フィルム）とが重なったフィルム３２（積層フィルム）のうちフィルム３２ａの面を主面１３上に固定する。振動器である圧電素子１０ａおよび１０ｂは、指３８を用いフィルム３２からフィルム３２ｂを剥離するときに主面１３に振動を与える。このようなフィルム剥離装置１００において、駆動装置６２は、圧電素子１０ａおよび１０ｂに、１０ｋＨ以上かつ１００ｋＨｚ以下の周波数ｆ１を有する搬送波６４を１Ｈｚ以上かつ３００Ｈｚ以下の周波数ｆ２を有する信号波により振幅変調させた変調波６６を供給する。これにより、フィルム３２ｂをフィルム３２ａから容易に剥離することができる。フィルム３２からフィルム３２ｂを剥離するときには、ユーザは、手などの人体の一部を用いればよい。

【0041】

搬送波６４の周波数ｆ１は、２０ｋＨｚ以上かつ７０ｋＨｚ以下が好ましい。信号波の周波数ｆ２は、１０Ｈｚ以上かつ１００Ｈｚ以下が好ましい。

【0042】

信号波の波形は限定されないが、信号波は、矩形波またはのこぎり波であることが好ましい。これにより、指３８にコツコツといった振動が伝わり、指３８がフィルム３２ｂに引っ掛かりやすくなる。よって、フィルム３２ｂの剥離が容易となる。

【0043】

矩形波およびのこぎり波は、立ち上がり時間および立ち下り時間が周期Ｔ２より十分に小さい波形である。矩形波およびのこぎり波の立ち上がり時間および立ち下り時間は、例えば周期Ｔ２の１／２５倍以下であり、１／１００倍以下である。なお、立ち上がり時間および立ち下り時間の定義は、日本工業規格ＪＩＳ Ｃ １６１－０２－０５が準用される。すなわち、立ち上がり時間および立ち下り時間は、包絡線６５の電圧が振幅Ａ１のときと振幅Ａ２のときの電圧の差に対し１０％の電圧のときの時間と９０％の電圧のときの時間との差である。

【0044】

指３８にコツコツとした振動を伝えるためには、変調波６６の変調度は８０％以上が好ましく、９０％以上がより好ましい。

【0045】

搬送波６４の周波数を板部材１２および筐体２０の共振周波数とすると、指３８がフィルム３２ｂに接触して静止している場合には、あまり振動は伝わらないが、フィルム３２ｂに接触した状態で指３８を動かすと、強い振動が伝わる。このような現象は発明者らがはじめて見出した現象である。このため、指３８をフィルム３２ｂに接触させ、動かすことで、指３８にフィルム３２ｂが引っ掛かり、フィルム３２ｂを容易に剥離することができる。

【0046】

搬送波６４の周波数は、共振周波数の近傍の周波数でもよい。例えば、搬送波６４の周波数は、板部材１２および筐体２０の共振周波数の０．８６倍以上かつ１．１４倍以下の範囲が好ましく、０．９倍以上かつ１．１倍以下がより好ましい。

【0047】

板部材１２の主面１３には、振動の定在波を形成しなくてもよい。しかし、主面１３に定在波を形成しない場合、例えば圧電素子から離れると振動が弱くなる。よって、板部材１２の主面１３には、振動の定在波を形成することが好ましい。

【0048】

振動器としては、圧電素子１０ａおよび１０ｂを用いてもよい。圧電素子１０ａおよび１０ｂが振動を発生させることで、より強い振動を発生させることができる。圧電素子１０ａ（第１圧電素子）および圧電素子１０ｂ（第２圧電素子）を、フィルム３２ｂを剥離する領域１６を挟み対向する位置に設ける。これにより、領域１６に定在波を形成することができる。

【0049】

圧電素子１０ａおよび１０ｂ各々は、Ｙ方向に伸縮し、Ｘ方向において、領域１６を挟み対向する。これにより、領域１６に振動の定在波を形成することができる。

【0050】

フィルム３２が樹脂フィルムの場合、静電気等によりフィルム３２ａと３２ｂとが付着しやすい。よって、フィルム剥離装置１００を用いることが好ましい。

【0051】

フィルム３２が袋３４である場合には、図６のように、フィルム３２ａと３２ｂとを引き離して使用する。よって、フィルム剥離装置１００を用いることが好ましい。

【0052】

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0053】

１０ａ、１０ｂ 圧電素子
１２ 板部材
１３ 主面
１４ 孔
１６ 領域
２０ 筐体
２２ 側壁
２４、２６ａ～２６ｄ ローラ
３２、３２ａ、３２ｂ フィルム
３４ 袋
３８ 指
４１ 圧電体層
４２ 第１電極
４４ 第２電極
６２ 駆動装置
６４ 搬送波
６６ 変調波

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】