特開 2024-139336 液体吐出ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024139336

(43)【公開日】2024-10-09

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20241002BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20241002BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 307

B41J2/01 401

B41J2/14 611

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023050227

(22)【出願日】2023-03-27

(71)【出願人】

【識別番号】324006865

【氏名又は名称】理想テクノロジーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003708

【氏名又は名称】弁理士法人鈴榮特許綜合事務所

(72)【発明者】

【氏名】喜地 保仁

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA21

2C056EC07

2C056EC42

2C056FA04

2C057AF65

2C057AG47

2C057AM16

2C057AR14

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】再分極処理において振動板が塑性変形することを防止できる液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、ノズルプレートと、振動板と、複数の隔壁と、アクチュエータと、駆動回路と、を備える。ノズルプレートは、液体を吐出するノズルが形成される。複数の隔壁は、ノズルプレート及び振動板との間に設けられ、ノズルプレート及び振動板とともに前記ノズルと対向する複数の圧力室を形成する。アクチュエータは、前記振動板の複数の隔壁とは反対側の主面であって、振動板の前記圧力室と対向する部分と接合する第１圧電体、並びに、振動板の複数の隔壁とは反対側の主面であって、振動板の隔壁と対向する部分と接合する第２圧電体を有する。駆動回路は、液体の吐出時に、第１圧電体及び第２圧電体の駆動の差異で圧力室の容積を可変し、第１圧電体の再分極処理時、振動板の変形を抑制するように第１圧電体及び第２圧電体を駆動する。
【選択図】 図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を吐出するノズルが形成されるノズルプレートと、
振動板と、
前記ノズルプレート及び前記振動板との間に設けられ、前記ノズルプレート及び前記振動板とともに前記ノズルと対向する複数の圧力室を形成する複数の隔壁と、
前記振動板の前記複数の隔壁とは反対側の主面であって、前記振動板の前記圧力室と対向する部分と接合する第１圧電体、並びに、前記振動板の前記複数の隔壁とは反対側の前記主面であって、前記振動板の前記隔壁と対向する部分と接合する第２圧電体を有する、積層型圧電部材で形成されるアクチュエータと、
前記第１圧電体及び前記第２圧電体を駆動する駆動回路と、を備え、
前記駆動回路は、前記液体の吐出時に、前記第１圧電体及び前記第２圧電体の駆動の差異で前記振動板を変形することで前記圧力室の容積を可変し、前記第１圧電体の再分極処理時、前記振動板の変形を抑制するように前記第１圧電体及び前記第２圧電体を駆動する、液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記第２圧電体を複数備え、
前記第２圧電体は、前記第２圧電体に電界を印加する第１電極及び第２電極を備え、
前記第１電極は、２以上の前記第２圧電体に接続される第１共通電極を含み、
前記第２電極は、２以上の前記第２圧電体に接続される第２共通電極を含む、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記第１圧電体及び前記第２圧電体は積層型圧電部材に形成された複数の溝により、交互に並んで複数設けられ、
前記第１電極は、前記第１圧電体のそれぞれに設けられる複数の個別電極を含み、
前記第１共通電極は、前記２以上の前記第２圧電体を接続し、
前記複数の個別電極及び前記第１共通電極は、前記アクチュエータの同じ面に設けられる表面配線である、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記第１圧電体及び前記第２圧電体は積層型圧電部材に形成された複数の溝により、交互に並んで複数設けられ、
前記第１電極は、前記第１圧電体のそれぞれに設けられる複数の個別電極を含み、
前記第１共通電極は、前記２以上の前記第２圧電体を接続し、前記アクチュエータの表面に設けられる表面配線及び前記アクチュエータの内部に設けられる内部配線を含み、
前記複数の個別電極は、前記アクチュエータに設けられる表面配線であり、
前記複数の個別電極及び前記第１共通電極は、前記アクチュエータの同じ面に設けられる、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記駆動回路は、前記液体の吐出時に、前記第１圧電体に電圧を印加し、前記第２圧電体に電圧を印加しない、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド及び液体吐出記録装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、圧力室から連通するノズルより液体としてのインク滴を吐出させる液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドがある。このようなインクジェットヘッドは、ベース部材上に接合した積層型圧電部材をダイシングによって溝加工して１つの圧電部材に対して所要数の圧電柱を所定の間隔で櫛歯状に形成した圧電アクチュエータを用いる。また、圧電部材の複数の圧電柱は、駆動波形を与えて振動板を駆動させる駆動圧電柱、及び、吐出時には駆動波形を与えないで圧力室を支える支柱として使用する支柱圧電柱を含む。そして、複数の駆動圧電柱及び複数の支柱圧電柱は、交互に並び、両圧電柱の上端面が振動板に接合される。インクジェットヘッドは、圧力室容積を変動させ圧力室内のインクに振動を与え、圧力室から連通するノズルよりインク滴を吐出させる。

【0003】

このようなインクジェットヘッドでは、より小さな電界で圧力室容積を変化させるため、振動板の変形部は振動板が吐出駆動により塑性変形しない範囲で薄くする（変形しやすくする）ことが望ましい。

【0004】

一方、インクジェットヘッドは、圧電体の変位量の経時劣化を起こす。経時劣化の対策として圧電体に再分極を実施する方法があるが、駆動時に圧電体に印加する電界での安定動作を実現するため、再分極では駆動時の電界より大きな電界を印加することが望ましい。

【0005】

しかしながら、吐出駆動の印加電界で塑性変形しない範囲で限界まで振動板を薄くすると、再分極の印加電界で振動板が塑性変形する恐れが高まる。一方、再分極の印加電界で塑性変形しない範囲で振動板の厚みを決めた場合、吐出駆動時に振動板の変位量が小さくなり、インクジェットヘッドの吐出力が小さくなるため、再分極処理の実施が困難となる虞がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第5668382号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、再分極処理において振動板が塑性変形することを防止できる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

実施形態の液体吐出ヘッドは、ノズルプレートと、振動板と、複数の隔壁と、アクチュエータと、駆動回路と、を備える。ノズルプレートは、液体を吐出するノズルが形成される。複数の隔壁は、前記ノズルプレート及び前記振動板との間に設けられ、前記ノズルプレート及び前記振動板とともに前記ノズルと対向する複数の圧力室を形成する。アクチュエータは、前記振動板の前記複数の隔壁とは反対側の主面であって、前記振動板の前記圧力室と対向する部分と接合する第１圧電体、並びに、前記振動板の前記複数の隔壁とは反対側の前記主面であって、前記振動板の前記隔壁と対向する部分と接合する第２圧電体を有する。アクチュエータは、積層型圧電部材で形成される。駆動回路は、前記第１圧電体及び前記第２圧電体を駆動する。前記駆動回路は、前記液体の吐出時に、前記第１圧電体及び前記第２圧電体の駆動の差異で前記振動板を変形することで前記圧力室の容積を可変し、前記第１圧電体の再分極処理時、前記振動板の変形を抑制するように前記第１圧電体及び前記第２圧電体を駆動する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を概略的に示す断面図。

【図2】同液体吐出ヘッドの構成を概略的に示す断面図。

【図3】同液体吐出ヘッドの構成を概略的に示す断面図。

【図4】同液体吐出ヘッドの使用の一例として、非駆動時における構成を概略的に示す断面図。

【図5】同液体吐出ヘッドの使用の一例として、吐出波形入力前の駆動時における構成を概略的に示す断面図。

【図6】同液体吐出ヘッドの使用の一例として、吐出波形入力開始時の駆動時における構成を概略的に示す断面図。

【図7】同液体吐出ヘッドの使用の一例として、吐出波形入力終了時の駆動時における構成を概略的に示す断面図。

【図8】同液体吐出ヘッドの使用の一例として、再分極時における構成を概略的に示す断面図。

【図9】実施形態に係る液体吐出記録装置の構成を概略的に示す説明図。

【図10】他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を概略的に示す断面図。

【図11】同液体吐出ヘッドのアクチュエータの第１例を概略的に示す斜視図。

【図12】同液体吐出ヘッドのアクチュエータの第２例を概略的に示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、実施形態に係る液体吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１及び液体吐出記録装置であるインクジェット記録装置１００について、図１乃至図７を参照して説明する。図１乃至図３は、インクジェットヘッド１の構成を概略的に示す断面図である。図４乃至図８は、インクジェットヘッド１の使用の一例を概略的に示す断面図である。図９は、インクジェット記録装置１００の概略構成を示す説明図である。図中矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは互いに直交する３方向をそれぞれ示す。各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

【0011】

図１乃至図３に示すように、インクジェットヘッド１は、ベース１０と、複数の圧電柱２１、２２を有する一対のアクチュエータ２０と、振動板３０と、流路部材４０と、複数のノズル５１を有するノズルプレート５０と、構造部としてのフレーム部６０と、駆動回路７０と、を備える。インクジェットヘッド１は、振動板３０、流路部材４０及びノズルプレート５０により、複数の圧力室３１を形成し、アクチュエータ２０の圧電柱２１により振動板３０を振動させることで、圧力室３１内の液体としてのインクをノズル５１から吐出する。

【0012】

本実施形態において、一例として、インクジェットヘッド１は、アクチュエータ２０を２つ備え、複数のノズル５１が一方向（Ｘ方向）に並ぶノズル列、複数の圧力室３１が一方向（Ｘ方向）に並ぶ圧力室列及び複数の圧電柱２１、２２が一方向（Ｘ方向）に並ぶ圧電柱列をそれぞれ２列ずつ有する。

【0013】

ベース１０は一対のアクチュエータ２０を支持する支持部材である。ベース１０は例えばブロック状あるいは板状に形成される。

【0014】

アクチュエータ２０は、ベース１０に固定される。アクチュエータ２０は、例えば、ベース１０のＺ方向の一面に接合される。アクチュエータ２０は、ベース１０の一面の面方向（ＸＹ方向）における一方向（Ｘ方向）に長手方向が沿って配置される。一対のアクチュエータ２０は、例えば、アクチュエータ２０の短手方向（Ｙ方向）に並んでベース１０の一面上に配置される。

【0015】

アクチュエータ２０は、圧電材（圧電素子）である複数の圧電柱２１、２２を有する。アクチュエータ２０は、複数の駆動圧電柱（第１圧電体）２１と、複数の駆動圧電柱２１と圧電柱列の列方向（Ｘ方向）に沿って交互に配列される複数の支柱圧電柱（第２圧電体）２２と、これら複数の圧電柱２１、２２をベース１０側で一体に連結する連結部２６と、を備える。アクチュエータ２０は、積層型圧電部材で形成される。ここで、積層型圧電部材は、複数の圧電体層２１１と複数の内部電極２２１，２２２とが積層されることで形成される。また、アクチュエータ２０は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２に形成される外部電極２２３、２２４を有する。

【0016】

例えば、アクチュエータ２０を構成する積層型圧電部材は、内部電極２２１、２２２としての電極層が形成されたシート状の圧電材料を積層して焼結することで形成される。また、アクチュエータ２０は、予めベース１０に接合された積層型圧電部材を、ベース１０側とは反対側の端面からダイシング加工して溝２３を形成することで、矩形の柱状に形成された複数の圧電柱２１、２２を所定の間隔で形成する。そして、形成された複数の柱状の圧電材（圧電素子）に、外部電極２２３、２２４等が設けられる。これらの工程により、連結部２６に交互に配置され、外部電極２２３、２２４が外面に形成された複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２が形成される。

【0017】

複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２は、所定の間隔でアクチュエータ２０の長手方向（Ｘ方向）に並ぶ。駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２の振動方向は、例えば、Ｚ方向である。駆動圧電柱２１は、電圧が印加されることで駆動し、振動板３０を振動するアクチュエータである。支柱圧電柱２２は、振動板３０を支持し、電圧が印加されても流路部材４０により振動板３０を振動することが規制された、非駆動圧電柱である。

【0018】

一例として、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２とは、いずれも外形が同形状の直方体の柱状に形成される。アクチュエータ２０（積層型圧電部材）に形成された所定の深さの複数の溝２３により、積層型圧電部材が連結部２６を除いて複数に分割されることで、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２が形成される。例えば、アクチュエータ２０に形成される複数の溝２３は、同じ幅及び同じ間隔に形成される。これにより、交互に並ぶ複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２は、同ピッチで一方向に並ぶ。なお、溝２３の深さは、一様の深さに形成されていてもよく、また、例えば、一対のアクチュエータ２０の並び方向（アクチュエータ２０の短手方向、Ｙ方向）で一方側が他方側よりも深く形成されていてもよい。

【0019】

例えば、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２は、それぞれ、Ｚ方向から見た平面視において、短手方向が圧電柱列の列方向（アクチュエータ２０の長手方向、Ｘ方向）に沿うとともに、長手方向が圧電柱列の列方向及び連結部２６から複数の圧電柱２１、２２が突出する方向（Ｚ方向）に対して直交する方向（アクチュエータ２０の短手方向、Ｙ方向）に沿う、矩形状に形成される。

【0020】

複数の駆動圧電柱２１は、Ｚ方向において、振動板３０、流路部材４０及びノズルプレート５０により形成された複数の圧力室３１に、振動板３０を介してそれぞれ対向する位置に配列される。一例として、駆動圧電柱２１及び圧力室３１は、駆動圧電柱２１の列方向（Ｘ方向）の中心位置と、圧力室３１の列方向（Ｘ方向）の中心位置とが、振動板３０を介してＺ方向に並ぶ。

【0021】

複数の支柱圧電柱２２は、Ｚ方向において、流路部材４０の後述する複数の隔壁部４３に、振動板３０を介してそれぞれ対向する位置に配列される。一例として、支柱圧電柱２２の列方向（Ｘ方向）の中心位置と、隔壁部４３の該圧電柱列の列方向と同方向（Ｘ方向）の中心位置とが、Ｚ方向に並ぶ。

【0022】

複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２は、Ｚ方向に積層された複数の圧電体層２１１と、各圧電体層２１１の主面に形成される内部電極２２１、２２２と、を備える。なお、一例として、駆動圧電柱２１、支柱圧電柱２２は同じ積層構造である。そして、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２には、例えば、表面に形成された表面配線としての外部電極２２３、２２４を備える。

【0023】

圧電体層２１１は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）系、または無鉛のＫＮＮ（ニオブ酸ナトリウムカリウム）系等の圧電セラミック材料から薄板状に構成される。圧電体層２１１の厚さ方向は、複数の圧電体層２１１を積層する積層方向に沿う。積層された複数の圧電体層２１１は、互いに接着される。本実施形態において、圧電体層２１１の厚さ方向及び積層方向は、駆動したときの圧電柱２１、２２の振動方向（Ｚ方向）に沿う。

【0024】

なお、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２を形成する積層型圧電部材は、ベース１０側とノズルプレート５０側の端部のいずれかまたは両方に、ダミー層２１２をさらに備えていてもよい。ダミー層２１２は例えば圧電体層２１１と同材料で構成され、電極を片側にしか有さず、電界がかからないので変形しない。例えばダミー層２１２は圧電体としては機能せず、アクチュエータ２０をベース１０に固定するベースとなり、あるいは組立中や組立後の精度を出すために研磨する研磨代となる。

【0025】

内部電極２２１、２２２は、銀パラジウムなどの焼成可能な導電性材料で所定形状に構成される導電膜である。内部電極２２１、２２２は各圧電体層２１１の主面の所定領域に形成される。内部電極２２１、２２２は、互いに異なる極である。

【0026】

例えば、一方の内部電極２２１は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２の並び方向である列方向（Ｘ方向）及び振動方向（Ｚ方向）の双方と直交する方向（Ｙ方向）において、圧電体層２１１の一方の端部に至り、圧電体層２１１の他方の端部には至らない領域に形成される。以下、内部電極２２１を第１内部電極２２１と説明することもある。

【0027】

他方の内部電極２２２は、列方向（Ｘ方向）及び振動方向（Ｚ方向）の双方と直交するＹ方向において、圧電体層２１１の一方の端部には至らず、圧電体層２１１の他方の端部に至る領域に形成される。以下、内部電極２２２を第２内部電極２２２と説明することもある。

【0028】

外部電極２２３、２２４は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２の表面にそれぞれ形成され、内部電極２２１、２２２の端部を集めて構成される。例えば外部電極２２３は、圧電体層２１１のＹ方向における一方の端面に、形成される。以下、外部電極２２３を第１外部電極（第１電極）２２３と説明することもある。外部電極２２４は、圧電体層２１１の延出方向における他方の端面に形成される。また外部電極２２４は圧電体層２１１のベース１０側の端面に延出していてもよい。以下、外部電極２２４を第２外部電極（第２電極）２２４と説明することもある。

【0029】

外部電極２２３、２２４はメッキ法やスパッタ法など既知の方法で、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕなどにより成膜される。外部電極２２３と外部電極２２４は、異なる極である。第１外部電極２２３及び第２外部電極２２４は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２の異なる側面にそれぞれ形成される。

【0030】

本実施形態において、一例として第１外部電極２２３は個別電極であり、第２外部電極２２４は共通電極である。第１外部電極２２３は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２にそれぞれ形成される。第２外部電極２２４は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱の全て、又は、いくつかに接続される。第２外部電極２２４が複数設けられる場合には、複数の第２外部電極２２４は、互いに独立して配置される。複数の第１外部電極２２３並びに単数又は複数の第２外部電極２２４は、互いに独立して配置される。

【0031】

第１外部電極２２３は、１つの駆動圧電柱２１又は１つの支柱圧電柱２２に形成された複数の第１内部電極２２１に接続される。例えば、単数又は複数の第２外部電極２２４は、アース電極である。単数又は複数の第２外部電極２２４は、設けられる複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２に形成された複数の第２内部電極２２２に接続される。

【0032】

複数の第１外部電極２２３及び単数又は複数の第２外部電極２２４は、駆動回路７０の後述するフレキシブル基板としてのＦＰＣ７１に接続される。例えば、単数又は複数の第２外部電極２２４は、一対のアクチュエータ２０の対向する外面に設けられるとともに、一対のアクチュエータ２０の対向する外面とは反対側の外面、即ち、複数の第１外部電極２２３が設けられる外面に取り回される。

【0033】

例えば、個々の外部電極２２３、２２４は、駆動回路７０を介して、駆動部としての制御部１１６に接続され、制御回路１１６１による制御によって各圧電柱２１、２２を駆動制御可能な信号が入力される。

【0034】

このような各圧電柱２１、２２は、外部電極２２３、２２４を介して内部電極２２１、２２２に駆動信号を入力し、電界を印加すると、ｄ３３方向に変位する。これにより、各圧電柱２１、２２の振動方向は、圧電体層２１１の積層方向（Ｚ方向）に沿う。

【0035】

具体例を説明すると、駆動圧電柱２１は、外部電極２２３、２２４を介して内部電極２２１、２２２に電圧が印加されることで、圧電体層２１１の積層方向に沿って縦振動する。ここで言う縦振動とは、例えば「圧電定数ｄ３３で定義される厚み方向の振動」である。駆動圧電柱２１は、縦振動により、振動板３０をＺ方向に変位させ、圧力室３１を変形させる。また、支柱圧電柱２２は、外部電極２２３、２２４を介して内部電極２２１、２２２に電圧が印加されることで、縦振動するように、ｄ３３方向に変位する方向に力が生じるが、隔壁部４３に振動板３０を介して対向するため、変位が規制される。

【0036】

一例として、各圧電柱２１、２２は、３層以上、５０層以下の圧電体層２１１を有し、各圧電体層２１１の厚さを１０μｍ以上、４０μｍ以下とし、厚さと総積層数の積を１０００μｍ未満とする。

【0037】

振動板３０は、一対のアクチュエータ２０の複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２の、連結部２６とはＺ方向で反対側の端部に固定される。換言すると、振動板３０は、複数の圧電柱２１、２２の振動方向において、複数の圧電柱２１、２２のベース１０とは反対側の面、即ち、複数の圧電柱２１、２２のノズルプレート５０側の面に接合される。

【0038】

振動板３０は、平板状に形成される。振動板３０は、例えば金属板である。振動板３０は、駆動圧電柱２１の変形によって変形可能に形成される。振動板３０は、流路部材４０及びノズルプレート５０とともに、圧力室３１を形成する。振動板３０は、複数の圧電柱２１、２２の並び方向（Ｘ方向）及び一対のアクチュエータ２０の並び方向（Ｙ方向）に延びる。即ち、振動板３０は、圧電柱２１、２２の振動方向であるＺ方向と直交する面に沿って延びる。振動板３０の一方の主面は、アクチュエータ２０の駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２と、フレーム部６０と、に接合される。振動板３０の他方の主面は、流路部材４０に接合される。例えば、振動板３０は、圧電柱２１、２２に対向する振動領域３０１と、フレーム部６０に対向する支持領域３０２と、を含む。

【0039】

振動板３０の振動領域３０１は、例えば厚さ方向が圧電体層２１１の振動方向となるように配された平板状である。振動板３０の振動領域３０１は、各圧力室３１及び各駆動圧電柱２１に対向し、各駆動圧電柱２１の振動によって、個別に変位可能な複数の振動部位を有する。振動板３０の振動領域３０１は、複数の振動部位が一体に連なって形成される。

【0040】

一例として、振動板３０はニッケルやＳＵＳ板で構成され、振動方向に沿う厚さ寸法は５μｍ～１５μｍ程度に構成される。なお、振動領域３０１は、複数の振動部位が、変位しやすいように、振動部位と隣接する部位あるいは互いに隣接する振動部位間に、折り目や段差が形成されていてもよい。振動領域３０１は、駆動圧電柱２１のＺ方向の変形によって、当該駆動圧電柱２１に対向配置された領域が変位することで弾性変形する。例えば、振動板３０は非常に薄く複雑な形状が必要なため、電鋳法等により形成される。振動板３０はアクチュエータ２０の上端面に接着などで接合される。

【0041】

支持領域３０２は、フレーム部６０と接合される。振動板３０の支持領域３０２には、フレーム部６０に形成される後述する共通室６１に連通する貫通孔３３が形成される。例えば、貫通孔３３には、液体が通過可能な多数の細孔を有するフィルタが設けられていても良い。また、貫通孔３３は、単数であっても、複数であってもよい。

【0042】

流路部材４０は、振動板３０及びノズルプレート５０の間に設けられる。流路部材４０は、周壁部４１と、仕切壁部４２と、複数の隔壁部４３と、を備える。周壁部４１、仕切壁部４２及び隔壁部４３は、振動板３０及びノズルプレート５０の間に設けられることで、振動板３０及びノズルプレート５０とともに、互いに隔てられる複数の圧力室３１、及び、互いに隔てられ、圧力室３１と共通室６１とを連通する複数の個別流路３２を含む、所定のインク流路を形成する。

【0043】

周壁部４１は、振動板３０及びノズルプレート５０の間の複数の圧力室３１及び複数の個別流路３２を形成する領域を囲う。仕切壁部４２は、周壁部４１内に設けられる。仕切壁部４２は、周壁部４１内の各アクチュエータ２０が対向する領域を区画し、各アクチュエータ２０により容積を変化される各複数の圧力室３１が形成される２つの空間に仕切る。

【0044】

複数の隔壁部４３は、周壁部４１内において仕切壁部４２で区画された領域を、さらに複数の圧力室３１及び複数の個別流路３２に区画する。すなわち、圧力室３１の並列方向（Ｘ方向）の両側壁は隔壁部４３によって構成される。また、複数の隔壁部４３は、Ｚ方向において、振動板３０を介して支柱圧電柱２２と対向する位置に設けられる。これにより、隔壁部４３は、支柱圧電柱２２及び振動板３０の支柱圧電柱２２が固定された部位の、Ｚ方向の変位を規制する。

【0045】

複数の圧力室３１は、振動板３０の振動領域３０１の一方側に形成される空間であり、個別流路３２や貫通孔３３を介して共通室６１に連通する。複数の圧力室３１は、ノズルプレート５０に形成されたノズル５１に連通する。また、圧力室３１は、ノズルプレート５０の反対側が振動板３０によって塞がれる。

【0046】

ノズルプレート５０には、複数の圧力室３１に対向する位置に複数のノズル５１が形成される。ノズルプレート５０は、例えばＳＵＳやＮｉなどの金属やポリイミドなどの樹脂材料からなる厚さ１０μｍ～１００μｍ程度の方形の板状に構成される。ノズルプレート５０は圧力室３１の一方側の開口を覆うように、周壁部４１、仕切壁部４２及び隔壁部４３の振動板３０とは反対側の面に接合される。

【0047】

ノズル５１は圧力室３１の並列方向と同じＸ方向に複数並び、ノズル列が形成される。例えばノズル５１は、一対のアクチュエータ２０の駆動圧電柱２１及び一対の圧力室列（複数の圧力室３１）と対応して２列設けられる。本実施形態において、ノズル５１は、圧力室３１の、Ｙ方向における端部の位置に、それぞれ設けられている。

【0048】

フレーム部６０は圧電柱２１、２２とともに振動板３０に接合される構造体である。フレーム部６０は圧電柱２１、２２の、振動板３０の、周壁部４１とは反対側の主面に一対設けられる。例えば、フレーム部６０は、アクチュエータ２０に隣接して一対配置される。フレーム部６０は、インクジェットヘッド１の外郭を構成する。また、フレーム部６０には、例えば、内部に液体の流路となる共通室６１が形成される。共通室６１は、フレーム部６０の内側に形成される。共通室６１は、振動板３０に形成された貫通孔３３と連通し、個別流路３２を通じて、圧力室３１に連通する。

【0049】

駆動回路７０は、一端が外部電極２２３、２２４に接続されるＦＰＣ７１（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔｓ：フレキシブルプリント回路基板）と、ＦＰＣ７１に搭載された駆動ＩＣ７２と、ＦＰＣ７１の他端に実装されたプリント配線基板７３と、を備える。

【0050】

駆動回路７０は、駆動ＩＣ７２により駆動電圧を外部電極２２３、２２４に印加することで、駆動圧電柱２１を駆動し、圧力室３１の容積を増減させて、ノズル５１から液滴を吐出させる。

【0051】

ＦＰＣ７１は積層型圧電部材の一方の側面に接続され、複数の外部電極２２３、２２４に接続される。ＦＰＣ７１として、電子部品として駆動ＩＣ７２が実装されたＣＯＦ（Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｆｉｌｍ）が用いられる。

【0052】

駆動ＩＣ７２は、ＦＰＣ７１を介して外部電極２２３、２２４に接続される。駆動ＩＣ７２は、吐出制御に用いられる電子部品である。

【0053】

駆動ＩＣ７２は、各駆動圧電柱２１を動作させるための制御信号及び駆動信号を生成する。駆動ＩＣ７２は、インクジェットヘッド１が搭載されるインクジェット記録装置１００の制御部１１６から入力された画像信号に従い、インクを吐出させるタイミング及びインクを吐出させる駆動圧電柱２１を選択するなどの制御のための制御信号を生成する。また、駆動ＩＣ７２は、制御部１１６からの制御信号に従って駆動圧電柱２１に印加する電圧、すなわち駆動信号を生成する。駆動ＩＣ７２が駆動圧電柱２１に駆動信号を印加すると、駆動圧電柱２１は、振動板３０を変位させて圧力室３１の容積を変化させるように駆動する。これにより、圧力室３１に充填されたインクは、圧力振動を生じる。圧力振動により、圧力室３１に連通するノズル５１からインクが吐出する。なお、インクジェットヘッド１は、１画素に着弾するインク滴の量を変更することで階調表現を実現できるようにしてもよい。また、インクジェットヘッド１は、インクの吐出回数を変えることで、１画素に着弾するインク滴の量を変更できるようにしてもよい。このように、駆動ＩＣ７２は、駆動信号を駆動圧電柱２１に印加する印加部の一例である。

【0054】

例えば、駆動ＩＣ７２は、データバッファ、デコーダ、及びドライバを備えている。データバッファは、印字データを駆動圧電柱２１毎に時系列に保存する。デコーダは、駆動圧電柱２１毎に、データバッファに保存された印字データに基づいて、ドライバを制御する。ドライバは、デコーダの制御に基づき、各駆動圧電柱２１を動作させる駆動信号を出力する。駆動信号は、例えば各駆動圧電柱２１に印加する電圧である。

【0055】

プリント配線基板７３は、各種電子部品やコネクタが搭載されたＰＷＡ（Ｐｒｉｎｔｉｎｇ Ｗｉｒｉｎｇ Ａｓｓｅｍｂｌｙ）であり、ヘッド制御回路７３１を有する。プリント配線基板７３は、インクジェット記録装置１００の制御部１１６に接続される。

【0056】

このように構成されたインクジェットヘッド１の駆動回路７０は、インクジェット記録装置１００の制御部１１６からの指令、及び、印字データに基づいて、対応する駆動圧電柱２１に駆動波形を出力し、駆動圧電柱２１を駆動して、圧力室３１の容積を変化させ、ノズル５１からインクを吐出させる。また、駆動回路７０は、制御部１１６からの指令により、複数の圧電柱２１、２２の再分極処理を行う。例えば、駆動回路７０は、インクの吐出時に、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２圧電体の駆動の差異で振動板３０を変形させるべく、駆動圧電柱２１を駆動することで圧力室３１の容積を可変する。また、駆動回路７０は、駆動圧電柱２１の再分極処理時において、駆動圧電柱２１の駆動による振動板３０の変形を抑制するように駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２を駆動する
図４乃至図７を用いて、駆動回路７０の制御による駆動圧電柱２１の制御の一例として、引打波形を入力して駆動圧電柱２１を制御し、引き打ちによりインク滴をノズル５１から吐出する例を説明する。なお、図４乃至図７において、「不動」とは、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２のＺ方向の伸長又は収縮しておらず、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２に電界が印加されていない状態と同じ長さであることを示す。また、図４乃至図７において、「伸長」とは、「不動」状態から駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２が伸びた状態である。

【0057】

駆動回路７０は、印字データに基づくインクを吐出する前に、インクを吐出する圧力室３１に対応する駆動圧電柱２１を伸長させ、その後、駆動圧電柱２１を基準電圧により基準位置に戻し、そして、再び駆動圧電柱２１を伸長させる。具体例として、駆動回路７０は、図４に示すように、先ず、非駆動状態の駆動圧電柱２１に電界を印加し、図５に示すように、吐出波形入力前の駆動圧電柱２１を駆動し、吐出波形入力前の駆動圧電柱２１を伸長させる。これにより、図５に示すように、圧力室３１は、圧縮された状態となる。ここで、引き打ち前の準備として、図４に示す非駆動時における不動状態から図５に示す吐出波形入力前の駆動時における伸長状態への駆動圧電柱２１の状態変更は、ノズル５１から液滴が誤吐出しない程度に時間をかけて行う。即ち、引き打ち前においては、インク滴の誤吐出を防止するために、インク滴を吐出するときよりも長い時間を掛けて、駆動圧電柱２１を不動状態から伸長させる。なお、例えば、駆動回路７０は、インク滴をノズル５１から吐出するときに、支柱圧電柱２２に電界を印加しない。

【0058】

次に、駆動回路７０は、図５に示す伸長状態にある駆動圧電柱２１を、図６に示す不動状態に戻し、圧力室３１に負圧を生じさせる。これにより引き打ちが開始される。ここで、圧力室３１に発生した負圧は圧力振動となり、圧力室３１の主音響振動周波数の半周期の時間経過後に正圧に転じる。圧力室３１に生じた圧力振動が正圧に転じたタイミングで、駆動回路７０は、図７に示すように、駆動圧電柱２１を伸長させ、圧力室３１にさらなる圧力を加える。これにより圧力室３１と連通するノズル５１から外部にインク滴が吐出される。これにより、引き打ちが終了する。このように、駆動回路７０は、印字データに対応する駆動圧電柱２１を制御して、インク滴をノズル５１から吐出して紙葉類等の記録媒体に印字を行う。

【0059】

なお、インクジェットヘッド１においてノズル５１から吐出されるインク滴の１ドロップの体積はおおむね数ピコリットル(pL)である。圧力室３１に生じる主音響振動の半周期に合わせてアクチュエータ２０を駆動する点と、振動板３０の変形により圧力室３１において押し出したインクはその全てがノズル５１から吐出されるわけではなく、一部が圧力室３１への液体供給路側である個別流路３２や共通室６１にも移動する。このため、インク滴の吐出体積と圧力室３１が押し出すインクの体積は必ずしも一致しないが、ここでは目安として圧力室３１が押し出す液体の体積について記載する。例えば、150dpiのノズル列があるとすると、ノズル５１の間隔は約169μmとなり圧力室３１のＸ方向の幅はこれより小さくなる。ここでは圧力室３１の幅が100μmとする。次に圧力室３１の長手方向（Ｙ方向）の長さを1000μmとする。駆動圧電柱２１と支柱圧電柱２２の変位の差がゼロの場合、圧力室３１下辺の振動板３０はＹ方向で横一線状である。次に、駆動圧電柱２１のみが伸びる場合の振動板３０の変形を簡単のため上下逆のV字型とし、V字の高さ方向の変位が0.1μmとする。ここで圧力室３１の体積変位について、圧力室幅を三角形の底辺とし、V字高さを三角形の高さとし、奥行きを1000μmとした三角柱と単純化して考えると、V字変形により生じる圧力室３１の体積変位は5e-15立方メートル＝5pLとなる。V字変形により振動板３０に生じるせん断ひずみは、V字の高さ方向の変位/圧力室３１幅の半分=0.2%となる。

【0060】

尚、図５、図７の例では、振動板３０の変形は上下逆のV字ではなく上底が短い台形形状である。上底が短い台形形状で上下逆のV字変形と同等の体積変位を与える場合、台形の高さに対する台形の斜辺部分の幅の比率が小さくなり、台形斜辺部分のせん断ひずみは上下逆のV字の場合より大きくなる。負荷条件（繰り返し負荷か否か、負荷は片振りか両振りかなど）や振動板の材質により異なるが、一般的に金属材料の降伏ひずみは0.2％前後の場合が多く、振動板３０の変位は金属の降伏ひずみに近い変位となる。圧力室３１の長手方向長さを2倍の2000μmとすれば上下逆のV字変形で同等の体積変位を得る際のせん断ひずみは半分の0.1％となる。しかし、圧力室３１の長手方向長さを2倍とすると圧力室３１の主音響振動の半周期も大きくなる。その結果、駆動圧電柱２１を駆動する駆動信号の時間長さが大きくなる。これにより時間当たりの吐出ドロップ数が少なくなり、例えばインクジェットヘッド１を用いたプリンタであれば印刷時間が長くなる。

【0061】

次に圧電柱２１の再分極処理について説明する。なお、再分極処理においては、インク滴の吐出時における駆動時より大きな電界を圧電柱２１に印加することが望ましい。また電界が大きいほど再分極に要する時間は短くなる。しかし再分極処理の際に駆動圧電柱２１のみに駆動時より大きな電界をかけた場合、振動板３０に生じるせん断ひずみは上述した0.2％よりも大きくなり、振動板３０の塑性変形の懸念が大きくなる。ここで、再分極処理は、圧電柱２１の劣化を防ぐために実施するが、再分極処理により振動板３０の塑性変形が生じると、インクジェットヘッド１の寿命の悪化の懸念が生じる。

【0062】

しかしながら、本実施形態においては、図３に示すように、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２は、第１外部電極２２３を介して駆動回路７０に接続される。そして、圧電柱２１に再分極処理を行う際は、駆動回路７０は、第１外部電極２２３を介して駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２の双方に、同じ電界を印加する。これにより、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２は、図８に示すように、伸びを略同一とすることができる。また、駆動圧電柱２１及び支柱圧電柱２２は、インク滴の吐出時における駆動圧電柱２１の伸長よりも大きい伸長となる。よって、振動板３０は、一対のアクチュエータ２０に相対的にＺ方向に移動し、駆動圧電柱２１と対向した領域のみが変形することを抑止できる。

【0063】

これにより、インクジェットヘッド１は、再分極処理において、インク滴の吐出時における駆動時より大きな電界を駆動圧電柱２１に印加しても、振動板３０が塑性変形することを防止できる。

【0064】

以下、インクジェットヘッド１を備えるインクジェット記録装置１００の一例について、図９を参照して説明する。インクジェット記録装置１００は、筐体１１１と、媒体供給部１１２と、画像形成部１１３と、媒体排出部１１４と、搬送装置１１５と、制御部１１６と、を備える。

【0065】

インクジェット記録装置１００は、媒体供給部１１２から画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４に至る所定の搬送路Ｒに沿って、吐出対象物である印刷媒体として例えば用紙Ｐを搬送しながらインク等の液体を吐出することで、用紙Ｐに画像形成処理を行う液体吐出記録装置である。

【0066】

筐体１１１は、インクジェット記録装置１００の外郭を構成する。筐体１１１の所定箇所に、用紙Ｐを外部に排出する排出口を備える。

【0067】

媒体供給部１１２は複数の給紙カセットを備え、各種サイズの用紙Ｐを複数枚積層して保持可能に構成される。

【0068】

媒体排出部１１４は、排出口から排出される用紙Ｐを保持可能に構成された排紙トレイを備える。

【0069】

画像形成部１１３は、用紙Ｐを支持する支持部１１７と、支持部１１７の上方に対向配置された複数のヘッドユニット１３０と、を備える。

【0070】

支持部１１７は、画像形成を行う所定領域にループ状に備えられる搬送ベルト１１８と、搬送ベルト１１８を裏側から支持する支持プレート１１９と、搬送ベルト１１８の裏側に備えられた複数のベルトローラ１２０と、を備える。

【0071】

支持部１１７は、画像形成の際に、搬送ベルト１１８の上面である保持面に用紙Ｐを支持するとともに、ベルトローラ１２０の回転によって所定のタイミングで搬送ベルト１１８を送ることにより、用紙Ｐを下流側へ搬送する。

【0072】

ヘッドユニット１３０は、複数（４色）のインクジェットヘッド１と、各インクジェットヘッド１上にそれぞれ搭載された液体タンクとしてのインクタンク１３２と、インクジェットヘッド１とインクタンク１３２とを接続する接続流路１３３と、供給ポンプ１３４と、を備える。

【0073】

本実施形態において、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの４色のインクジェットヘッド１と、これらの各色のインクをそれぞれ収容するインクタンク１３２を備える。インクタンク１３２は接続流路１３３によってインクジェットヘッド１に接続される。

【0074】

また、インクタンク１３２には、図示しないポンプなどの負圧制御装置が連結される。そして、インクジェットヘッド１とインクタンク１３２との水頭値に対応して、負圧制御装置によりインクタンク１３２内を負圧制御することで、インクジェットヘッド１の各ノズル５１に供給されたインクを所定形状のメニスカスに形成させている。

【0075】

供給ポンプ１３４は、例えば圧電ポンプで構成される送液ポンプである。供給ポンプ１３４は、供給流路に設けられている。供給ポンプ１３４は、配線により制御部１１６の制御回路１１６１に接続され、制御部１１６により制御可能に構成される。供給ポンプ１３４は、インクジェットヘッド１に液体を供給する。

【0076】

搬送装置１１５は、媒体供給部１１２から画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４に至る搬送路Ｒに沿って、用紙Ｐを搬送する。搬送装置１１５は、搬送路Ｒに沿って配置される複数のガイドプレート対１２１と、複数の搬送用ローラ１２２と、を備えている。

【0077】

複数のガイドプレート対１２１は、それぞれ、搬送される用紙Ｐを挟んで対向配置される一対のプレート部材を備え、用紙Ｐを搬送路Ｒに沿って案内する。

【0078】

搬送用ローラ１２２は、制御部１１６の制御によって駆動されて回転することで、用紙Ｐを搬送路Ｒに沿って下流側に送る。なお、搬送路Ｒには用紙の搬送状況を検出するセンサが各所に配置される。

【0079】

制御部１１６は、コントローラであるＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等の制御回路１１６１と、各種のプログラムなどを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）と、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェイス部と、を備える。

【0080】

以上のように構成されたインクジェット記録装置１００において、制御部１１６は、例えばインターフェイスにおいてユーザが操作入力部の操作による印刷指示を検出すると、搬送装置１１５を駆動して用紙Ｐを搬送するとともに、所定のタイミングでヘッドユニット１３０に対して印字信号を出力することで、インクジェットヘッド１を駆動する。インクジェットヘッド１は吐出動作として、画像データに応じた画像信号により、駆動ＩＣ７２に駆動信号を送り、内部電極２２１、２２２に駆動電圧を印加して吐出対象の駆動圧電柱２１を選択的に駆動して例えば積層方向に縦振動させ、圧力室３１の容積を変化させることでノズル５１からインクを吐出し、搬送ベルト１１８上に保持された用紙Ｐに画像を形成する。また、液体吐出動作として、制御部１１６は、供給ポンプ１３４を駆動することで、インクタンク１３２からインクジェットヘッド１の共通室６１にインクを供給する。

【0081】

また、制御部１１６は、インターフェイスにおいてユーザが操作入力部の操作による再分極指示を検出するか、又は、インクジェットヘッド１の駆動時間及び／又は駆動回数が所定の時間及び／又は回数に達すると、再分極処理の信号を出力する。再分極処理の信号が入力されると、インクジェットヘッド１の駆動回路７０は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２に、インク滴の塗出時よりも大きな電界を印加し、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２の再分極処理を行う。

【0082】

上述した実施形態に係るインクジェットヘッド１及びインクジェット記録装置１００によれば、複数の圧電柱２１、２２再分極処理において振動板３０が塑性変形することを防止できる。

【0083】

なお、実施形態は上述した例に限定されない。例えば、上述した例では、第２外部電極２２４は共通電極（第２共通電極）であり、第１外部電極２２３は、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２にそれぞれ設けられる個別電極である構成を説明したがこれに限定されない。実施形態では支柱圧電柱２２は再分極処理の時のみ電界を印加することから、支柱圧電柱２２の圧電材を挟む２種の電極（第１外部電極２２３及び第２外部電極２２４）は両方とも共通電極とすることができる。

【0084】

このため、例えば、図１０に示すように、アース電極である第２外部電極２２４に加え、複数の支柱圧電柱２２に設けられる第１外部電極２２３を共通電極（第１共通電極）としてもよい。例えば、複数の支柱圧電柱２２に設けられる第１外部電極２２３を共通電極とする場合には、第１外部電極２２３は、複数の支柱圧電柱２２の全てを接続する共通電極としてもよく、また、第１外部電極２２３は、複数の支柱圧電柱２２のうち、いくつかの支柱圧電柱２２を接続する複数の共通電極としてもよい。

【0085】

また、アース電極となる第２外部電極２２４においては、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２の全て、又は、いくつかを接続する共通電極としてもよい。

【0086】

例えば、複数の支柱圧電柱２２に接続する第１外部電極２２３、並びに、複数の駆動圧電柱２１及び複数の支柱圧電柱２２に接続する第２外部電極２２４を共通電極とする例を、図１１及び図１２に示す。なお、図１１の第１例及び図１２の第２例においては、複数の駆動圧電柱２１に接続される第１外部電極２２３を個別電極２２３１とし、複数の支柱圧電柱２２のうち、２以上の支柱圧電柱２２に接続される第１外部電極２２３を共通電極（第１共通電極）２２３２とする。

【0087】

また、図１１の第１例においては、第１外部電極２２３の共通電極２２３２がアクチュエータ２０の表面に形成された表面配線である例を示し、図１２の第２例においては、第１外部電極２２３の共通電極２２３２の一部がアクチュエータ２０の内部に形成された内部配線を含む例を示す。また、第１外部電極２２３の共通電極２２３２は、単数設けられ、全ての支柱圧電柱２２を接続する構成としてもよく、また、複数設けられ、２以上の支柱圧電柱２２を接続する構成としてもよい。

【0088】

図１１の第１例において、第１外部電極２２３の複数の個別電極２２３１及び共通電極２２３２は、アクチュエータ２０の一方の外面に形成される。図１１の例において、第１外部電極２２３の複数の個別電極２２３１及び単数又は複数の共通電極２２３２は、アクチュエータ２０（積層型圧電部材）の表面に形成される表面配線である。第１外部電極２２３の共通電極２２３２は、複数の支柱圧電柱２２の外面にそれぞれ形成されるとともに、例えば、連結部２６において複数の支柱圧電柱２２の外面に形成された部位が接続されることで形成される。

【0089】

また、第１外部電極２２３の個別電極２２３１の端部及び共通電極２２３２の端部並びに第２外部電極２２４の端部は、アクチュエータ２０の例えば連結部２６の一方の外面において、高さ方向（Ｚ方向）において同じ高さに配置され、図１１に二点鎖線で示す領域２２５において、例えば、ＦＰＣ７１に接続される。

【0090】

また、図１２の第２例において、第１外部電極２２３の個別電極２２３１は、アクチュエータ２０の一方の外面に形成される表面配線である。また、図１２に示すように、第１外部電極２２３の共通電極２２３２は、一部、例えば、各支柱圧電柱２２の外面に設けられる部位がアクチュエータ２０の一方の外面に形成される表面配線であり、そして、一部、例えば、各支柱圧電柱２２の外面に設けられる部位が接続される部位が、アクチュエータ２０の内部に形成される内部配線であり、そして、端部、例えば、ＦＰＣ７１が接続される部位が、アクチュエータ２０の例えば連結部２６の外面に形成される表面配線である。

【0091】

また、第１外部電極２２３の個別電極２２３１の端部及び共通電極２２３２の端部並びに第２外部電極２２４の端部は、アクチュエータ２０の例えば連結部２６の一方の外面において、高さ方向（Ｚ方向）において同じ高さに配置され、図１２に二点鎖線で示す領域２２５において、ＦＰＣ７１に接続される。例えば、図１２の第２例とする場合には、ＦＰＣ７１と第１外部電極２２３との接続が、図１１の第１例よりも容易となる。

【0092】

また、図１１の第１例及び図１２の第２例のように、複数の支柱圧電柱２２に設けられる第１外部電極２２３を共通電極２２３２とすることで、ＦＰＣ７１と接続する電極数を低減させることができる。

【0093】

なお、例えば、上述した実施形態、並びに、図１１の第１例及び図１２の第２例において、第２外部電極２２４をＦＰＣ７１以外の経路からアース電圧源に接続する場合には、必ずしも、第２外部電極２２４を、第１外部電極２２３が設けられるアクチュエータ２０の外面側に取り回す必要がない。

【0094】

また、上述した例では、液体吐出記録装置１００は、液体としてインクを液体吐出ヘッド１から吐出させる例を説明したが、液体はインクに限定されない。即ち、液体吐出ヘッド１及び液体吐出記録装置１００は、例えば３Ｄプリンタ、産業用の製造機械、医療用途にも用いることが可能であり、種々の液体を吐出させることができる。

【0095】

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、再分極処理において振動板が塑性変形することを防止できる液体吐出ヘッドを提供できる。

【0096】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0097】

１…液体吐出ヘッド（インクジェットヘッド）、１０…ベース、２０…アクチュエータ、、２１…駆動圧電柱（第１圧電体）、２２…支柱圧電柱（第２圧電体）、２３…溝、２６…連結部、３０…振動板、３１…圧力室、３２…個別流路、３３…貫通孔、４０…流路部材、４１…周壁部、４２…仕切壁部、４３…隔壁部、５０…ノズルプレート、５１…ノズル、６０…フレーム部、６１…共通室、７０…駆動回路、７１…ＦＰＣ、７２…駆動ＩＣ、７３…プリント配線基板、１００…液体吐出記録装置（インクジェット記録装置）、１１１…筐体、１１２…媒体供給部、１１３…画像形成部、１１４…媒体排出部、１１５…搬送装置、１１６…制御部、１１７…支持部、１１８…搬送ベルト、１１９…支持プレート、１２０…ベルトローラ、１２１…ガイドプレート対、１２２…搬送用ローラ、１３０…ヘッドユニット、１３２…インクタンク、１３３…接続流路、１３４…供給ポンプ、２１１…圧電体層、２１２…ダミー層、２２１…第１内部電極、２２２…第２内部電極、２２３…第１外部電極（第１電極）、２２４…第２外部電極（第２電極、第２共通電極）、２２５…領域、３０１…振動領域、３０２…支持領域、７３１…ヘッド制御回路、１１６１…制御回路、２２３１…個別電極、２２３２…共通電極（第１共通電極）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】