特開 2024-140054 濃度計測装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024140054

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】濃度計測装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/27 20060101AFI20241003BHJP

【ＦＩ】

G01N21/27 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023051041

(22)【出願日】2023-03-28

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田島 良一

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 優子

【テーマコード（参考）】

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G059AA01

2G059BB04

2G059EE01

2G059EE11

2G059GG02

2G059JJ01

2G059MM01

2G059MM14

(57)【要約】

【課題】光源の交換作業における利便性の向上を図ること。
【解決手段】濃度計測装置１０は、変換部１００と、検出部２００と、投光部１１０と、光源特性取得部１２１と、データ補正部１２２とを備える。変換部１００は、計測対象の濃度を演算する。検出部２００は、計測対象に投光された光を伝達する投光器２１０と、変換部１００に測定対象を透過した光を伝達する受光器２２０とを備える。投光部１１０は、変換部１００に搭載され、変換部１００と検出部２００とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光し、変換部１００にモジュールとして搭載されることで交換可能とする。光源特性取得部１２１は、投光部１１０の稼働時特性を取得する。データ補正部１２２は、光源特性取得部１２１によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

計測対象の濃度を演算する変換部と、
前記計測対象に投光された光を伝達する投光器と、前記変換部に前記計測対象を透過した光を伝達する受光器とを備える検出部と、
前記変換部に搭載され、前記変換部と前記検出部とを繋ぐ伝送路を介して前記計測対象に投光し、前記変換部にモジュールとして搭載されることで交換可能とする投光部と、
前記投光部の稼働時特性を取得する光源特性取得部と、
前記光源特性取得部によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算するデータ補正部と、
を備えることを特徴とする濃度計測装置。

【請求項2】

前記光源特性取得部は、前記投光部の稼働時特性として、前記投光部の順電圧値、順電流値、および、前記投光部の周囲温度のうち、いずれか一つまたは複数を取得する
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。

【請求項3】

前記投光部の固有の特性を予め記憶する固有特性記憶部をさらに備え、
前記データ補正部は、前記光源特性取得部によって取得された特性と、前記固有特性記憶部に記憶された特性とに基づき、計測データを補正演算する
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。

【請求項4】

前記投光部を空冷する空冷部をさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。

【請求項5】

前記投光部は、投光部の固有の特性を予め記憶する固有特性記憶部をさらに備え、
前記変換部は、前記投光部が交換された場合に、前記投光部に備えられた固有特性記憶部に記憶された情報を、前記変換部に備えられた固有特性記憶部に格納する
ことを特徴とする請求項３に記載の濃度計測装置。

【請求項6】

前記投光部は、前記計測対象に応じて交換可能であるモジュールとして、前記変換部に搭載される
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、濃度計測装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体のエッチング液や洗浄液といった水溶液に対して光を照射し、発光強度と水溶液を介して受光した光の強度とから水溶液の濃度を測定する技術が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１２４３８５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、従来技術では、光源の交換作業における利便性の向上を図るうえでさらなる改善の余地があった。例えば、従来のハロゲンランプを光源として使用した濃度計は、寿命が短いため、短期間で交換作業を行わなければならないという課題があった。他方で、長寿命のＬＥＤ（Light Emitting Diode）を使用した濃度計が提案されているが、検出部にＬＥＤが搭載されているため、光源交換時に調整作業が必要になるという課題があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の濃度計測装置は、計測対象の濃度を演算する変換部と、計測対象に投光された光を伝達する投光器と、変換部に計測対象を透過した光を伝達する受光器とを備える検出部と、変換部に搭載され、変換部と前記検出部とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光し、変換部にモジュールとして搭載されることで交換可能とする投光部と、投光部の稼働時特性を取得する光源特性取得部と、光源特性取得部によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算するデータ補正部とを備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、光源の交換作業における利便性の向上を図ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、実施形態に係る濃度計測装置の概要を示す図である。

【図2】図２は、実施形態に係る濃度計測装置の構成例を示す図である。

【図3】図３は、実施形態に係る投光部の具体例を示す図である。

【図4】図４は、実施形態に係る濃度計測装置処理の具体例を示す図である。

【図5】図５は、実施形態に係る濃度計測装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下に、本願に係る濃度計測装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本願に係る濃度計測装置が限定されるものではない。

【0009】

〔１．はじめに〕
図１は、本実施形態に係る濃度計測装置の概要を示す図である。図１の例では、本実施形態に係る濃度計測装置が備える機能の概要を示している。例えば、濃度計測装置１０は、変換部１００と検出部２００とから構成され、投光部１１０から投光された光を、配管２０を流れる計測対象の薬液に通過させ、通過した光を分光・受光し、解析することにより、薬液の濃度を演算する。そして、濃度計測装置１０は、演算した濃度を外部の端末装置３０に出力する。

【0010】

また、変換部１００は、計測対象の薬液へ光を投光する処理や投光する光の制御を行う処理、透過した光を分析することにより計測対象の薬液の濃度を演算する処理を行う構成部分であり、ＭＰＵ（Micro Processor Unit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の情報処理装置により構成される。そして、検出部２００は、投光部１１０から投光された光を、配管２０を流れる薬液に伝える投光器２１０と、薬液を透過した光を分光部１４０に伝える受光器２２０とを有し、投光器２１０及び受光器２２０は、例えば、レンズにより構成される。

【0011】

濃度計測装置１０は、変換部１００と検出部２００とを有し、変換部１００に搭載され、変換部１００と検出部２００とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光する。そして、濃度計測装置１０は、投光部１１０の稼働時特性を取得し、取得された特性に基づき計測データを補正演算する。

【0012】

濃度計測装置１０は、まず、変換部１００と検出部２００とを有し、変換部１００に搭載され、変換部１００と検出部２００とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光する。例えば、濃度計測装置１０は、前述の変換部１００と検出部２００とを有し、変換部１００に交換可能な投光モジュールとして搭載された投光部１１０が有するＬＥＤ（Light Emitting Diode）により、伝送路である光ファイバー等を介して、配管２０を流れる計測対象の薬液に投光する。

【0013】

そして、濃度計測装置１０は、投光部１１０の稼働時特性を取得する。例えば、濃度計測装置１０の光源特性取得部１２１は、投光部１１０が有するＬＥＤの稼働時特性である、順電圧値、順電流値、周囲温度を取得する。その後、濃度計測装置１０は、取得された特性に基づき計測データを補正演算する。例えば、濃度計測装置１０は、前述のＬＥＤの稼働時特性の値により、受光部１２４によって受光された特定の波長における光のスペクトル強度のデータを補正演算する。

【0014】

なお、変換部１００は、例えば、計測対象を透過した光を、検出部２００の受光器２２０を介して受光し、分光器により波長ごとに分光する分光部１４０を有してもよく、補正されたデータに基づき、計測対象の濃度を演算する処理部１２５を有してもよい。また、変換部１００は、外部の端末装置３０と通信の送受信を行う通信部１５０を有し、外部に計測した濃度の値を出力したり、光源の制御を行う光源制御部１２７の制御値の変更及び分光の制御を行う分光制御部１２８の制御値の変更について外部から受信したりしてもよい。

【0015】

さらに、変換部１００は、例えば、光源についての制御状況や分光についての制御状況を表示部１６０により表示してもよく、操作部１７０に備えられたボタン等の操作により、光源等の制御値の変更について受付けてもよい。また、変換部１００は、前述の通信部１５０により受信した制御値の変更や、操作部１７０により受付けられた制御値の変更について設定を行う設定部１２６を有してもよい。

【0016】

配管２０は、計測対象の薬液が流れており、例えば、濃度計測装置１０が配管２０の一部に光を投光することで、計測対象の薬液の濃度が計測される。また、配管内を流れる薬液は複数であってもよい。

【0017】

端末装置３０は、濃度計測装置１０によって計測された濃度が出力される外部の端末であり、例えば、ＰＣやＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等の情報処理装置により構成される。また、端末装置３０は、例えば、濃度計測装置１０と通信可能に接続され、端末装置３０への入力操作により、濃度計測装置１０について各種設定を行ってもよい。

【0018】

なお、図１における濃度計測装置１０は一例であり、各構成部分は図１に示す配置に限られない。例えば、変換部１００に、光源であるＬＥＤと、光源特性取得部１２１と、空冷部１２３と、光源制御部１２７と、固有特性記憶部１３１とを有する交換式の投光モジュールである投光部１１０が組み込まれてもよく、計測対象の薬液の種類等に応じて、投光部１１０が交換されてもよい。

【0019】

〔２．濃度計測装置１０の構成〕
次に、図２を参照し、図１に示した濃度計測装置１０の構成を説明する。図２は、実施形態に係る濃度計測装置の構成例を示す図である。図２に示すように、実施形態に係る濃度計測装置１０は、変換部１００と、検出部２００とを有する。変換部１００は、投光部１１０と、制御部１２０と、記憶部１３０とを有する。

【0020】

検出部２００は、計測対象に投光された光を伝達する投光器２１０と、計測対象を透過した光を調整する受光器２２０とを備える。例えば、検出部２００は、投光部１１０から投光された光を、計測対象の薬液に投光する投光器２１０と、薬液を透過した光を変換部１００が有する分光部１４０に伝える受光器２２０とを備える。なお、例えば、投光器２１０及び受光器２２０はレンズ等により構成される。

【0021】

変換部１００は、計測対象の濃度を演算する。例えば、変換部１００は、計測対象に光を投光し、計測対象を通過した光を分光・受光し、解析することにより、薬液の濃度を演算する。

【0022】

また、変換部１００は、投光部１１０が交換された場合に、投光部１１０に備えられた固有特性記憶部１３１に記憶された情報を、変換部１００に備えられた固有特性記憶部１３１に格納してもよい。例えば、変換部１００は、後述する投光部１１０が固有特性記憶部１３１を備える場合において、投光部１１０が交換された際に、投光部１１０に備えられた固有特性記憶部１３１に記憶されている情報を読み取り、変換部１００に備えられた固有特性記憶部１３１に格納する。なお、前述の変換部１００による読み取り・格納処理は、投光部１１０の交換時の他に、電源の投入ごとに行われてもよい。

【0023】

そして、変換部１００は、図１に示す濃度計測装置１０の一例のように、様々な構成部分を有するが、以下では、本発明に密接に関わる構成部分である、投光部１１０と、光源特性取得部１２１と、データ補正部１２２と、空冷部１２３と、固有特性記憶部１３１と、補正後データ記憶部１３２とについて説明する。

【0024】

投光部１１０は、変換部１００に搭載され、変換部１００と検出部２００とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光し、変換部１００にモジュールとして搭載されることで交換可能とする。例えば、投光部１１０は、変換部１００に交換可能なモジュールとして搭載され、変換部１００と検出部２００の投光器２１０とを接続する伝送路である光ファイバー等を介して、光源であるＬＥＤから出力された光を、配管２０を流れる計測対象の薬液に投光する。

【0025】

また、投光部１１０は、例えば、光源であるＬＥＤと、ＬＥＤをパルス点灯制御する駆動部とからなり、前述の光源制御部１２７は、駆動部を介してＬＥＤのパルス点灯制御を行ってもよい。

【0026】

さらに、投光部１１０は、投光部１１０の固有の特性を予め記憶する固有特性記憶部１３１をさらに備えてもよい。例えば、投光部１１０は、後述する固有特性記憶部１３１に記憶される情報を、投光部１１０の出荷前に予め記憶した固有特性記憶部１３１を備える。

【0027】

ここで、投光部１１０が備える固有特性記憶部１３１は、例えば、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory）といった記憶素子で構成され、また、変換部１００が備える固有特性記憶部１３１とは別の構成部分であるが、記憶される情報は同一であってもよい。

【0028】

また、投光部１１０は、計測対象に応じて交換可能であるモジュールとして、変換部１００に搭載されてもよい。例えば、投光部１１０は、変換部１００から取り外しが可能である投光モジュールとして搭載され、計測対象の薬液の種類に応じて交換されてもよい。

【0029】

ここで、図３を参照し、交換可能であるモジュールとして搭載される投光部１１０について説明する。図３は、実施形態に係る投光部の具体例を示す図である。図３の例において、投光部１１０は、光源であるＬＥＤと、前述した固有特性記憶部１３１の他に、投光部１１０と密接に関連する、光源特性取得部１２１と、空冷部１２３と、光源制御部１２７とを備える。なお、投光部１１０が光源特性取得部１２１と、空冷部１２３と、光源制御部１２７とを備える場合には、変換部１００は当該構成部分を備えなくてもよい。

【0030】

そして、投光部１１０は、計測対象の薬液の種類に応じて複数存在し、薬液種に対応したＬＥＤを有する投光部１１０が、投光部１１０－１～１１０－ｎの中から選択され、変換部１００に搭載される。また、変換部１００は、投光部１１０が交換された際、または、電源が投入された際に、投光部１１０が備える固有特性記憶部１３１に記憶された情報を読み取り、変換部１００が備える固有特性記憶部１３１に格納する。

【0031】

図３の例では、計測対象の薬液種に対応するとして、投光部１１０－１が選択され、変換部１００に搭載される。そして、投光部１１０－１の搭載の際に、投光部１１０－１が備える固有特性記憶部１３１－１に記憶された、出荷前に取得したＬＥＤの固有特性、使用可能薬液、薬液特性データ、製造Ｎｏなどのデータを読み取り、変換部１００が備える固有特性記憶部１３１に格納する。

【0032】

記憶部１３０は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）やフラッシュメモリ等の記憶装置によって実現され、制御部１２０による各種処理に必要なデータ及びプログラムを格納する。また、記憶部１３０は、固有特性記憶部１３１と、補正後データ記憶部１３２とを有する。

【0033】

固有特性記憶部１３１は、投光部１１０固有の特性を予め記憶する。例えば、固有特性記憶部１３１は、投光部１１０が有するＬＥＤについて、光強度と順電圧値との相関である補正係数や、補正係数の基準電圧値、順電圧値と周囲温度との相関である変換係数、ＬＥＤの製品番号、ＬＥＤの対応薬液種、対応薬液ごとの濃度演算用係数等の、ＬＥＤ固有の特性を予め記憶する。

【0034】

補正後データ記憶部１３２は、例えば、後述するデータ補正部１２２により補正された、計測値である光のデータを記憶する。なお、図１における処理部１２５は、例えば、補正後データ記憶部１３２に記憶された補正後のデータを使用して、計測対象の薬液の濃度を演算してもよい。

【0035】

制御部１２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）等によって、変換部１００内部の記憶装置に記憶されている各種プログラムがＲＡＭを作業領域として実行されることにより実現される。また、制御部１２０は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）などの集積回路により実現される。制御部１２０は、本発明に密接に関わる構成部分として、光源特性取得部１２１と、データ補正部１２２とを有し、必要に応じて、空冷部１２３を有してもよい。

【0036】

光源特性取得部１２１は、投光部１１０の稼働時特性を取得する。また、光源特性取得部１２１は、投光部１１０の稼働時特性として、投光部１１０の順電圧値、順電流値、または、投光部１１０の周囲温度を取得してもよい。

【0037】

例えば、光源特性取得部１２１は、パルス点灯中であるＬＥＤの順電圧値、順電流値、または、投光部１１０の周囲温度といった、投光部１１０の稼働時特性を取得し、取得した特性を送信可能な形式へと変換した後、後述するデータ補正部１２２に送信する。

【0038】

データ補正部１２２は、光源特性取得部１２１によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算する。例えば、データ補正部１２２は、前述の光源特性取得部１２１から送信された稼働時特性を取得し、受光部１２４から通知された計測データを補正演算する。その後、データ補正部１２２は、補正後のデータを補正後データ記憶部１３２に格納する。

【0039】

また、データ補正部１２２は、光源特性取得部１２１によって取得された特性と、固有特性記憶部１３１に記憶された特性とに基づき、計測データを補正演算してもよい。例えば、データ補正部１２２は、前述の稼働時特性に加え、前述した固有特性記憶部１３１に記憶されたＬＥＤ固有の特性を取得し、両特性により計測データを補正演算する。

【0040】

空冷部１２３は、投光部１１０を空冷する。例えば、空冷部１２３は、投光部１１０が有する光源であるＬＥＤの発熱による周囲への熱影響を低減するために、空冷ファンを駆動させ投光部１１０を空冷する。

【0041】

〔３．実施例〕
ここで、図３を参照し、本実施形態における濃度計測装置１０における計測データの補正処理から濃度演算処理までの処理について説明する。図３は、実施形態に係る濃度計測装置の処理の具体例を示す図である。

【0042】

図３の例では、データ補正部１２２が、光源特性取得部１２１及び固有特性記憶部１３１からそれぞれの特性値を取得し、その特性値を使用して、受光部１２４で受光された各波長における光強度の計測値の補正を行う。そして、データ補正部１２２によって補正されたデータが補正後データ記憶部１３２に記憶された後、処理部１２５が補正後のデータから濃度を計測する。

【0043】

図３に示す通り、固有特性記憶部１３１は、投光部１１０が有するＬＥＤについての光強度と順電圧値との相関である補正係数や、補正係数の基準電圧値、順電圧値と周囲温度との相関である変換係数、ＬＥＤの製品番号、ＬＥＤの対応薬液種、対応薬液ごとの濃度演算用係数等のＬＥＤ固有の特性を記憶する。そして、データ補正部１２２は、固有特性記憶部１３１に記憶された特性を適宜取得する。

【0044】

また、図３の例では、光源特性取得部１２１は、光源制御部１２７によってＬＥＤを流れる電流が、例えば１００ｍＡに調整されている際の順電流値、順電圧値、周囲温度を取得し、取得した稼働時特性を送信可能な形式へと変換した後、データ補正部１２２に送信する。

【0045】

これにより、濃度計測装置１０は、ＬＥＤ固有の特性や、ＬＥＤの稼働時の特性から生じる計測値の誤差を補正することができるため、計測対象の薬液に対してより精度の高い濃度計測を行うことができる。

【0046】

〔４．濃度計による処理の一例〕
次に、図４を用いて、濃度計測装置１０よる処理について説明する。図４は、実施形態に係る濃度計測装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。濃度計測装置１０の投光部１１０は、計測対象の薬液に光を投光する（ステップＳ１０１）。そして、光源特性取得部１２１は、投光部１１０の稼働時特性を取得する（ステップＳ１０２）。

【0047】

その後、データ補正部１２２は、投光部１１０が有するＬＥＤの稼働時特性と、ＬＥＤ固有の特性とに基づき、計測データを補正演算する（ステップＳ１０３）。そして、濃度計測装置１０は、計測対象の濃度を演算して、工程を終了する（ステップＳ１０４）。

【0048】

〔５．実施形態の効果〕
前述してきたように、本実施形態に係る濃度計測装置１０は、変換部１００と、検出部２００と、投光部１１０と、光源特性取得部１２１と、データ補正部１２２とを備える。変換部１００は、計測対象の濃度を演算する。検出部２００は、計測対象に投光された光を伝達する投光器２１０と、変換部１００に計測対象を透過した光を伝達する受光器２２０とを備える。

【0049】

投光部１１０は、変換部１００に搭載され、変換部１００と検出部２００とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光し、変換部１００にモジュールとして搭載されることで交換可能とする。光源特性取得部１２１は、投光部１１０の稼働時特性を取得する。データ補正部１２２は、光源特性取得部１２１によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算する。

【0050】

これにより、濃度計測装置１０は、変換部１００と検出部２００とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に光を投光することにより、変換部１００に投光部１１０を搭載することができるため、光源の交換を容易に行うことができるという効果を奏する。また、濃度計測装置１０は、光源の稼働時特性により計測データの補正を行うため、より精度の高い濃度計測を行うことができるという効果も奏する。

【0051】

また、濃度計測装置１０の光源特性取得部１２１は、投光部１１０の稼働時特性として、投光部１１０の順電圧値、順電流値、または、投光部１１０の周囲温度を取得する。これにより、濃度計測装置１０は、投光部１１０が有する光源であるＬＥＤが稼働している状態における順電圧値や順電流値、周囲温度といった、計測データに誤差を生じさせる要因の情報を取得し、計測データの補正を行うため、より精度の高い濃度計測を行うことができるという効果を奏する。

【0052】

さらに、濃度計測装置１０は、固有特性記憶部１３１を備える。固有特性記憶部１３１は、前記投光部固有の特性を予め記憶する。また、データ補正部１２２は、光源特性取得部１２１によって取得された特性と、固有特性記憶部１３１に記憶された特性とに基づき、計測データを補正演算する。

【0053】

これにより、濃度計測装置１０は、前述の稼働時特性に加え、投光部１１０が有するＬＥＤ固有の特性の情報も使用して計測データの補正を行うため、より精度の高い濃度計測を行うことができるという効果を奏する。

【0054】

また、濃度計測装置１０は、空冷部１２３を備える。空冷部１２３は、投光部１１０を空冷する。これにより、濃度計測装置１０は、光源であるＬＥＤを有する投光部１１０を、ファン等により空冷することで、ＬＥＤの発熱による周囲への熱影響を低減することができるという効果を奏する。

【0055】

さらに、濃度計測装置１０の投光部１１０は、投光部１１０の固有の特性を予め記憶する固有特性記憶部１３１をさらに備え、変換部１００は、投光部１１０が交換された場合に、投光部１１０に備えられた固有特性記憶部１３１に記憶された情報を、変換部１００に備えられた固有特性記憶部１３１に格納する。これにより、濃度計測装置１０は、ユーザに投光モジュール固有の設定や、薬液の種類が変更された際の設定を意識させずに、容易に濃度計測を行わせることができるという効果を奏する。

【0056】

また、濃度計測装置１０の投光部１１０は、計測対象に応じて交換可能であるモジュールとして、変換部１００に搭載される。これにより、濃度計測装置１０は、計測対象の薬液種に応じて、対応する光源に容易に変換することができるという効果を奏する。

【0057】

［６．その他］
前述の実施形態において説明した各処理のうち、自動的に行われるものとして説明した処理の全部又は一部を手動的に行うこともでき、あるいは、手動的に行われるものとして説明した処理の全部又は一部を公知の方法で自動的に行うこともできる。この他、上記文書中や図面中で示した処理手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。例えば、各図に示した各種情報は、図示した情報に限られない。

【0058】

また、図示した各装置の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の通り構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部又は一部を、各種の負荷や使用状況等に応じて、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。

【0059】

前述した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、前述してきた実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。

【0060】

また、前述してきた「部（ｓｅｃｔｉｏｎ、ｍｏｄｕｌｅ、ｕｎｉｔ）」は、「手段」や「回路」等に読み替えることができる。例えば、制御部は、制御手段や制御回路に読み替えることができる。

【0061】

以上、本発明の実施形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、発明の開示の欄に記載の態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。

【符号の説明】

【0062】

１０ 濃度計測装置
２０ 配管
３０ 端末装置
１００ 変換部
１１０、１１０－１～１１０－ｎ 投光部
１２０ 制御部
１２１、１２１－１～１２１－ｎ 光源特性取得部
１２２ データ補正部
１２３、１２３－１～１２３－ｎ 空冷部
１２４ 受光部
１２５ 処理部
１２６ 設定部
１２７、１２７－１～１２７－ｎ 光源制御部
１２８ 分光制御部
１３０ 記憶部
１３１、１３１－１～１３１－ｎ 固有特性記憶部
１３２ 補正後データ記憶部
１４０ 分光部
１５０ 通信部
１６０ 表示部
１７０ 操作部
２００ 検出部
２１０ 投光器
２２０ 受光器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】