特開 2024-140294 クリップ及びクリップを備える流体供給装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024140294

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】クリップ及びクリップを備える流体供給装置

(51)【国際特許分類】

   F16B 2/20 20060101AFI20241003BHJP

【ＦＩ】

F16B2/20 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023051375

(22)【出願日】2023-03-28

(71)【出願人】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】110002468

【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】熊本 拓哉

(72)【発明者】

【氏名】星子 泰輝

【テーマコード（参考）】

3J022

【Ｆターム（参考）】

3J022DA11

3J022HB06

(57)【要約】

【課題】容易に流体供給ラインに取り付けるとともに取付時にヒータの位置を容易に調整することができるクリップ及びクリップを備える流体供給装置を提供する。
【解決手段】複数のベースブロック１１を備えて構成された流体供給ライン１に取り付けられるヒータ付きクリップ２は、固定されたヒータ２１１ｂを有しベースブロック１１の一方側壁と面当接可能に形成された板部２１１と、ベースブロック１１の一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部２２１と、板部２１１と挟持部２２１とを連結する連結機構と、を備え、連結機構は、板部２１１と一体形成された第１連結片２１２と、挟持部２２１と一体形成された第２連結片２２２と、を有し、第１連結片２１２と第２連結片２２２とは、ねじ２３により連結されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の流路ブロックを備えて構成された流体供給ラインに取り付けられるクリップであって、
固定されたヒータを有し前記流路ブロックの一方側壁と面当接可能に形成された板部と、
前記流路ブロックの前記一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部と、
前記板部と前記挟持部とを連結する連結機構と、を備え、
前記連結機構は、
前記流路ブロックの上壁と対向可能に前記板部と一体形成された第１連結片と、
前記流路ブロックの前記上壁と対向可能に前記挟持部と一体形成された第２連結片と、を有し、
前記第１連結片と前記第２連結片とは、連結部材により連結されている、
クリップ。

【請求項2】

前記連結部材は、一端部と前記第１連結片とがねじにより連結され他端部と前記第２連結片とがねじにより連結された第３連結片を有し、
前記第３連結片は、
前記一端部が形成された第１サブ連結片と、
前記他端部が形成され、前記第１サブ連結片に対し屈曲するように前記第１サブ連結片と一体形成された第２サブ連結片と、を有する、
請求項１に記載のクリップ。

【請求項3】

前記第１連結片及び前記第２連結片のうちのいずれか一方には、ねじ孔が形成され、
前記第１連結片及び前記第２連結片のうちのいずれか他方には、前記流路ブロックの幅方向に沿って延在する長孔が形成され、
前記連結部材は、前記長孔を貫通させて前記ねじ孔と螺合するねじである、
請求項１に記載のクリップ。

【請求項4】

前記挟持部は、固定された前記ヒータを有する、
請求項１に記載のクリップ。

【請求項5】

前記板部は、前記流体供給ラインの長手方向に沿って延在するとともに配列された複数の前記流路ブロックの前記一方側壁と面当接可能に形成され、
前記挟持部は、前記流体供給ラインの長手方向に沿って延在するとともに配列された複数の前記流路ブロックの前記他方側壁と面当接可能に形成されている、
請求項４に記載のクリップ。

【請求項6】

前記連結機構は、
前記流体供給ラインの長手方向に間隔を空けて配列された複数の前記第１連結片と、
前記流体供給ラインの長手方向に間隔を空けて配列された複数の前記第２連結片と、
前記流体供給ラインの長手方向に間隔を空けて配列され、一端部と前記第１連結片とがねじにより連結され他端部と前記第２連結片とがねじにより連結された複数の第３連結片と、を有し、
各前記第３連結片は、
前記一端部が形成された第１サブ連結片と、
前記他端部が形成され、前記第１サブ連結片に対し屈曲するように前記第１サブ連結片と一体形成された第２サブ連結片と、を有し、
複数の前記第１連結片は、それぞれ、複数の前記第２連結片及び複数の前記第３連結片と対応して、前記流体供給ラインにおいて隣接する前記流路ブロックの境目箇所の前記上壁のそれぞれと対向している、
請求項５に記載のクリップ。

【請求項7】

前記板部は、前記流体供給ラインの長手方向に沿って延在するとともに配列された複数の前記流路ブロックの前記一方側壁と面当接可能に形成され、
前記挟持部は、前記流体供給ラインの長手方向に間隔を空けて配列された複数の挟持爪を有する、
請求項１に記載のクリップ。

【請求項8】

前記連結機構は、
前記流体供給ラインの長手方向に間隔を空けて配列された複数の前記第１連結片と、
前記流体供給ラインの長手方向に間隔を空けて配列された複数の前記第２連結片と、を有し、
複数の前記挟持爪は、前記流体供給ラインにおいて隣接する前記流路ブロックの境目箇所の前記他方側壁のそれぞれと当接し、
複数の前記第１連結片は、それぞれ、複数の前記第２連結片と対応して、前記流体供給ラインにおいて隣接する前記流路ブロックの前記境目箇所の前記上壁のそれぞれと対向している、
請求項７に記載のクリップ。

【請求項9】

複数の流路ブロックを備えて構成された流体供給ラインと、
前記流体供給ラインに取り付けられたクリップと、備え、
前記クリップは、
一体形成されたヒータを有し前記流路ブロックの一方側壁と面当接可能に形成された板部と、
前記流路ブロックの前記一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部と、
前記板部と前記挟持部とを連結する連結機構と、を有し、
前記連結機構は、
前記流路ブロックの上壁と対向可能に前記板部と一体形成された第１連結片と、
前記流路ブロックの前記上壁と対向可能に前記挟持部と一体形成された第２連結片と、を有し、
前記第１連結片と前記第２連結片とは、連結部材により連結されている、
流体供給装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリップ及びクリップを備える流体供給装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ガスライン（すなわち、流体供給ライン）及びガスラインの両側に設けられたヒータを挟持するヒータ固定具が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１５９４４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載のヒータ固定具は、ヒータと別体形成されているため、ヒータを容易にガスラインに取り付けることができるものの、取付時にヒータの位置を調整することが困難である。

【0005】

本発明は、この問題点に着目してなされたものであり、容易に流体供給ラインに取り付けるとともに取付時にヒータの位置を容易に調整することができるクリップ及びクリップを備える流体供給装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のある態様によれば、複数の流路ブロックを備えて構成された流体供給ラインに取り付けられるクリップであって、固定されたヒータを有し前記流路ブロックの一方側壁と面当接可能に形成された板部と、前記流路ブロックの前記一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部と、前記板部と前記挟持部とを連結する連結機構と、を備え、前記連結機構は、前記流路ブロックの上壁と対向可能に前記板部と一体形成された第１連結片と、前記流路ブロックの前記上壁と対向可能に前記挟持部と一体形成された第２連結片と、を有し、前記第１連結片と前記第２連結片とは、連結部材により連結されているクリップが提供される。

【0007】

本発明の他の態様によれば、複数の流路ブロックを備えて構成された流体供給ラインと、前記流体供給ラインに取り付けられたクリップと、備え、前記クリップは、一体形成されたヒータを有し前記流路ブロックの一方側壁と面当接可能に形成された板部と、前記流路ブロックの前記一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部と、前記板部と前記挟持部とを連結する連結機構と、を有し、前記連結機構は、前記流路ブロックの上壁と対向可能に前記板部と一体形成された第１連結片と、前記流路ブロックの前記上壁と対向可能に前記挟持部と一体形成された第２連結片と、を有し、前記第１連結片と前記第２連結片とは、連結部材により連結されている流体供給装置が提供される。

【発明の効果】

【0008】

これらの態様によれば、クリップを容易に流体供給装置の流体供給ラインに取り付けるとともに取付時にヒータの位置を容易に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本実施形態に係る流体供給装置を示す斜視図である。

【図2】図２は、ヒータ付きクリップが併設された流体供給ラインに取り付けられた状態を示す概略斜視図である。

【図3】図３は、ヒータ付きクリップが併設された流体供給ラインに取り付けられた状態を示す概略平面図である。

【図4】図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。

【図5】図５は、ヒータ付きクリップの一部を構成する第１部材を示す斜視図である。

【図6】図６は、ヒータ付きクリップの他部を構成する第２部材を示す斜視図である。

【図7】図７は、第２部材を示す正面図である。

【図8】図８は、ヒータ付きクリップの取り付け方法を示すフローチャートである。

【図9】図９は、変形例に係るヒータ付きクリップが流体供給ラインに取り付けられた状態を示す概略斜視図である。

【図10】図１０は、変形例に係るヒータ付きクリップが流体供給ラインに取り付けられた状態を示す概略平面図である。

【図11】図１１は、図１０におけるＸＩ－ＸＩ線に沿う断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。

【0011】

（流体供給装置）
図１を参照しながら本実施形態に係る流体供給装置１００について説明する。

【0012】

図１は、本実施形態に係る流体供給装置１００を示す斜視図である。なお、図１において、互いに直交する流体供給装置１００の長手方向、幅方向及び高さ方向をそれぞれＸ軸に沿う方向、Ｙ軸に沿う方向及びＺ軸に沿う方向とする。以下、説明の便宜上、流体供給装置１００の長手方向、幅方向及び高さ方向を単に長手方向、幅方向及び高さ方向とも称する。

【0013】

本実施形態に係る流体供給装置１００は、図示しない半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等／図示しない）におけるプロセスガス又はパージガスの供給手段に用いられる。

【0014】

図１に示すように、流体供給装置１００は、幅方向に沿って併設されるとともに長手方向に沿って延在する複数の流体供給ライン１と、複数の流体供給ライン１のそれぞれに取り付けられた（組み付けられた）複数のクリップとしてのヒータ付きクリップ２と、を備える。

【0015】

複数の流体供給ライン１は、例えば、それぞれ、気体としてのプロセスガスの流量を適宜制御してプロセスガスを半導体製造装置に供給する。隣接する流体供給ライン１の間には、僅かに間隙が形成されている。隣接する流体供給ライン１間の間隙には、隣接する流体供給ライン１のうちの一方に取り付けられた一方のヒータ付きクリップ２の後述する板部２１１と、隣接する流体供給ライン１のうちの他方に取り付けられた他方のヒータ付きクリップ２の後述する挟持爪部２２１とが互いに干渉しないように配置されている（図２から図７参照）。

【0016】

各流体供給ライン１は、長手方向に沿って配列された複数の流路ブロックとしてのベースブロック１１と、ボルト締めにより複数のベースブロック１１のそれぞれに固定された複数の流体機器１２と、を備える。複数の流体機器１２には、例えば、開閉弁、レギュレータ、プレッシャーゲージ及びマスフローコントローラ等が含まれている。各流体機器１２は、ベースブロック１１と連結された流路ブロックとしてのブロック部１２１と、ブロック部１２１に設けられた流体機器本体１２２と、を有する。ここでは、流路ブロックとは、流体を流れる流路が形成されたブロックである。

【0017】

ヒータ付きクリップ２は、一体形成されたヒータ２１１ｂの熱をベースブロック１１及び流体機器１２のブロック部１２１に伝達してプロセスガスの液化を防止するためのクリップである（図５参照）。なお、ヒータ付きクリップ２の詳細については後述する。

【0018】

（ヒータ付きクリップ）
次に、図１から図７を参照しながら本実施形態に係るヒータ付きクリップ２の詳細について説明する。

【0019】

図２は、ヒータ付きクリップ２が併設された流体供給ライン１に取り付けられた状態を示す概略斜視図である。図３は、ヒータ付きクリップ２が併設された流体供給ライン１に取り付けられた状態を示す概略平面図である。図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。図５は、ヒータ付きクリップ２の一部を構成する第１部材２１を示す斜視図である。図６は、ヒータ付きクリップ２の他部を構成する第２部材２２を示す斜視図である。図７は、第２部材２２を示す正面図である。図２から図４において、ベースブロック１１及びブロック部１２１が一体となり簡易的に図示され、流体機器本体１２２が省略されている。なお、図１に示すヒータ付きクリップ２は、図２から図４に示すヒータ付きクリップ２の一部に過ぎない。

【0020】

図１から図７に示すように、本実施形態に係るヒータ付きクリップ２は、第１部材２１と、第２部材２２と、第１部材２１と第２部材２２とを螺合により連結するねじ２３と、を備える。なお、第１部材２１（ヒータ２１１ｂを除く）及び第２部材２２は、板金を折り曲げることにより構成されている。

【0021】

第１部材２１は、一体形成された板部２１１及び複数（ここでは、三つ）の第１連結片２１２を有する。一方、第２部材２２は、一体形成された挟持爪部２２１及び複数（ここでは、三つ）の第２連結片２２２を有する。そして、ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、第１連結片２１２及び第２連結片２２２を有する連結機構により連結された板部２１１及び挟持爪部２２１は、ベースブロック１１及びブロック部１２１の両側壁を挟持している。

【0022】

板部２１１は、板部本体２１１ａと、板部本体２１１ａに固定されたヒータ２１１ｂと、板部本体２１１ａに設けられた複数（ここでは、三つ）の突出片２１１ｃと、板部本体２１１ａ及び突出片２１１ｃの両方に形成された複数（ここでは、三つ）の挿入孔２１１ｄと、を有する。

【0023】

ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、板部本体２１１ａは、流体供給ライン１の長手方向に沿って延在するとともに配列された複数のベースブロック１１及びブロック部１２１の一方側壁と面当接するように形成されている。

【0024】

ヒータ２１１ｂは、板部２１１（具体的には、板部本体２１１ａ）の一方側面に設けられ、具体的には、電熱線（図示しない）及び電熱線を覆う保護フィルム（図示しない）から構成されている。換言すれば、ヒータ２１１ｂと板部本体２１１ａとは、一体形成されている。これにより、ヒータと別体形成されたクリップに比べ、ヒータ付きクリップ２を流体供給ライン１に取り付ける時（取付時）にヒータ２１１ｂの位置を容易に調整することができる。

【0025】

本実施形態では、ヒータ２１１ｂの伝熱性を向上させるために、ヒータ２１１ｂは、ベースブロック１１及びブロック部１２１の一方側壁と面当接する板部２１１の一方側面とは反対の他方側面に設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、板部２１１（具体的には、板部２１１の一方側面）とベースブロック１１及びブロック部１２１（具体的には、ベースブロック１１及びブロック部１２１の一方側壁）との間に介在されるように設けられてもよい。

【0026】

複数の突出片２１１ｃは、それぞれ、複数の第１連結片２１２と一体形成されている。換言すれば、複数の第１連結片２１２は、それぞれ複数の突出片２１１ｃを介して板部本体２１１ａと連結されている。複数の突出片２１１ｃは、長手方向に沿って間隔を空けるとともに板部本体２１１ａの上端から突出するように設けられている。

【0027】

ここでは、同一の流体供給ライン１において隣接する突出片２１１ｃ間の間隔は、流体機器１２の長手方向の長さによる。換言すれば、ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、複数の突出片２１１ｃは、同一の流体供給ライン１において隣接する流体機器１２の境目箇所（すなわち、ブロック部１２１の境目箇所／流体機器本体１２２が設けられていない領域）に位置するように設けられている。

【0028】

また、この状態において、板部本体２１１ａは、最も高いブロック部１２１の上壁から突出することなく、複数の突出片２１１ｃは、最も高いブロック部１２１の上壁から突出するように設けられている。これにより、板部本体２１１ａが最も高いブロック部１２１の上壁から突出する構造に比べ、ヒータ２１１ｂの熱を無駄なく板部２１１を介してベースブロック１１及びブロック部１２１に伝達することができるため、ヒータ２１１ｂからベースブロック１１及びブロック部１２１への伝熱効果を向上させることができる。

【0029】

複数の挿入孔２１１ｄは、板部本体２１１ａの長手方向と直交する高さ方向（突出片２１１ｃの突出方向）に沿って延在するように複数の突出片２１１ｃ（具体的には、突出片２１１ｃの全域）及び板部本体２１１ａの両方に形成された長孔である。具体的には、各挿入孔２１１ｄは、隣接する流体供給ライン１に取り付けられたヒータ付きクリップ２の挟持爪部２２１（具体的には、後述する挟持爪２２１ａ）が進入可能に形成されている。

【0030】

複数の第１連結片２１２は、板部２１１と挟持爪部２２１とを連結する連結機構の一部を構成する。複数の第１連結片２１２は、複数の突出片２１１ｃのそれぞれの先端を９０°折り曲げて構成されている。

【0031】

ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、複数の第１連結片２１２は、ブロック部１２１の上壁と対向するように板部２１１と一体形成されている。

【0032】

複数の第１連結片２１２には、それぞれ、複数のねじ２３と螺合する複数（ここでは、三つ）のねじ孔２１２ａが形成されている。これらのねじ孔２１２ａには、バーリング加工が施されている。また、複数の第１連結片２１２には、それぞれ、複数の挿入孔２１１ｄと連通する複数の開口としての切り欠き２１２ｂが形成されている。

【0033】

本実施形態では、複数の第１連結片２１２は、それぞれ複数の突出片２１１ｃを介して板部本体２１１ａと連結されているが、これに限定されるものではなく、例えば、複数の突出片２１１ｃを廃止して板部本体２１１ａの上端と直接連結されてもよい。この場合に、複数の挿入孔２１１ｄは、板部本体２１１ａのみに形成される。

【0034】

挟持爪部２２１は、複数（ここでは、三つ）の挟持爪２２１ａを有する。ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、複数の挟持爪２２１ａは、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列された挟持片である。換言すれば、複数の挟持爪２２１ａは、それぞれ、同一の流体供給ライン１において隣接する流体機器１２の境目箇所（すなわち、ブロック部１２１の境目箇所／流体機器本体１２２が設けられていない領域）の他方側壁と当接するように設けられている。なお、各挟持爪２２１ａには、ヒータが固定されていない。

【0035】

複数の第２連結片２２２は、板部２１１と挟持爪部２２１（挟持爪２２１ａ）とを連結する連結機構の他部を構成する。複数の第２連結片２２２は、複数の挟持爪２２１ａのそれぞれの先端を折り曲げて構成されている。なお、挟持爪２２１ａは、第２連結片２２２との間の角度が変化可能に形成された弾性材である。挟持爪２２１ａが弾性変形しない場合に、第２連結片２２２と挟持爪２２１ａとの間には、鋭角が形成されている（図７参照）。

【0036】

ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、複数の第２連結片２２２は、ブロック部１２１の上壁と対向するように板部２１１と一体形成されている。具体的には、複数の第１連結片２１２及び複数の第２連結片２２２は、同一の流体供給ライン１において隣接する流体機器１２の境目箇所（すなわち、ブロック部１２１の境目箇所／流体機器本体１２２が設けられていない領域）の上壁から離間してブロック部１２１の上壁と対向するように形成されている。これにより、複数の第１連結片２１２（又は複数の第２連結片２２２）と流体機器１２の上壁に締められたボルトとの干渉を回避することができる。

【0037】

複数の第２連結片２２２の挟持爪２２１ａから離間する端部には、それぞれ、複数のねじ２３が貫通可能な複数（ここでは、三つ）の長孔２２２ａが形成されている。これらの長孔２２２ａは、幅方向（第２連結片２２２の延在方向）に沿って延在するように形成されている。そして、各ねじ２３は、各第２連結片２２２の各長孔２２２ａを貫通させて各第１連結片２１２の各ねじ孔２１２ａと螺合することで、板部２１１と挟持爪部２２１とを連結機構により容易に連結することができる。

【0038】

本実施形態では、幅方向において第１部材２１に対する第２部材２２の位置調整を行うために、第２連結片２２２に長孔２２２ａを形成しているが、これに限定されるものではなく、例えば、第２連結片２２２に円孔を形成してもよい。

【0039】

また、本実施形態では、ねじ孔２１２ａ及び長孔２２２ａは、それぞれ、第１連結片２１２及び第２連結片２２２に形成されているが、これに限定されるものではなく、それぞれ、第２連結片２２２及び第１連結片２１２に形成されてもよい。換言すれば、ねじ孔２１２ａは、第１連結片２１２及び第２連結片２２２のうちの一方に形成され、長孔２２２ａは、第１連結片２１２及び第２連結片２２２のうちの他方に形成されてもよい。

【0040】

ヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態（すなわち、流体供給ライン１がヒータ付きクリップ２により挟持された状態）において、挟持爪２２１ａが弾性変形し、第２連結片２２２と挟持爪２２１ａとの間に形成された角度は、ほぼ９０°となるように広がる。図４に示すように、この状態において、挟持爪２２１ａは、長さが挿入孔２１１ｄの長さよりも短くなるように形成されている。これにより、ヒータ付きクリップ２が隣接する流体供給ライン１のそれぞれに取り付けられた場合に、隣接する流体供給ライン１間の間隙に配置された一方のヒータ付きクリップ２の板部２１１の挿入孔２１１ｄ（又は、挿入孔２１１ｄ及び切り欠き２１２ｂの両方）には、他方のヒータ付きクリップ２の挟持爪２２１ａが収容されている。換言すれば、隣接する流体供給ライン１間の間隙に隣接する一方のヒータ付きクリップ２の板部２１１と、隣接する他方のヒータ付きクリップ２の挟持爪２２１ａとを互いに干渉しないように配置させることができる。この結果、隣接する流体供給ライン１間の間隙が狭くても（具体的には、隣接する流体供給ライン１間の間隙が板部２１１の厚みよりも広く、かつ、板部２１１の厚みと挟持爪２２１ａの厚みとの合計厚みよりも狭い場合であっても）、隣接するヒータ付きクリップ２を、それぞれ、隣接する流体供給ライン１に取り付けることができる。

【0041】

また、この場合に、隣接する流体供給ライン１間の間隙における一方のベースブロック１１及びブロック部１２１の他方側壁は、隣接する他方の流体供給ライン１（ベースブロック１１及びブロック部１２１）に取り付けられた他のヒータ付きクリップ２の板部２１１のヒータ２１１ｂにより加熱されるため、一方のベースブロック１１及びブロック部１２１を効率よく加熱（保温）することができる。

【0042】

上述の通り、本実施形態に係るヒータ付きクリップ２では、ヒータ２１１ｂを挟持爪部２２１に固定することなく、板部２１１（具体的には、板部本体２１１ａ）のみに固定するため、２つのヒータをベースブロック１１及びブロック部１２１の両側壁に挟持させるヒータ固定具を用いる流体供給装置に比べ、隣接する流体供給ライン１間の間隙を狭くすることができる。この結果、流体供給ライン１間の間隙が狭くても、ヒータ付きクリップ２を流体供給ライン１に取り付けることができる。

【0043】

また、板部２１１と一体形成された第１連結片２１２と、挟持爪部２２１と一体形成された第２連結片２２２とを別体形成することにより、板部２１１、挟持爪部２２１及び両者を連結する連結機構が一体形成されたクリップに比べ、ヒータ付きクリップ２を容易に流体供給ライン１に取り付けることができる。

【0044】

（ヒータ付きクリップの取り付け方法）
次に、図８を参照しながらヒータ付きクリップ２の取り付け方法について説明する。

【0045】

図８は、ヒータ付きクリップ２の取り付け方法を示すフローチャートである。

【0046】

図８に示すように、まず、ステップＳ１において、ヒータ２１１ｂが固定された板部２１１と一体形成された第１連結片２１２と、挟持爪部２２１と一体形成された第２連結片２２２とをねじ螺合により仮締め（連結）する。

【0047】

次に、ステップＳ２において、板部２１１が流体供給ライン１のベースブロック１１及びブロック部１２１の一方側壁に当接するとともに挟持爪部２２１が流体供給ライン１の隣接する流体機器１２の境目箇所（すなわち、ブロック部１２１の境目箇所）の他方側壁に当接するようにヒータ付きクリップ２を流体供給ライン１に取り付ける。

【0048】

次に、ステップＳ３において、必要に応じて板部２１１（第１部材２１）に対する挟持爪部２２１（第２部材２２）の位置調整を行う。

【0049】

最後、ステップＳ４において、ねじ２３を締め付けることにより、流体供給ライン１が確実にヒータ付きクリップ２により挟持される。

【0050】

（変形例）
次に、図９から図１１を参照しながら変形例に係るヒータ付きクリップ２の詳細について説明する。なお、変形例では、上述した実施形態と一致する点について省略し、主に上述した実施形態と相違する点について説明する。

【0051】

図９は、変形例に係るヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態を示す概略斜視図である。図１０は、変形例に係るヒータ付きクリップ２が流体供給ライン１に取り付けられた状態を示す概略平面図である。図１１は、図１０におけるＸＩ－ＸＩ線に沿う断面図である。図９から図１１において、ベースブロック１１及びブロック部１２１が一体となり簡易的に図示され、流体機器本体１２２が省略されている。

【0052】

上述した実施形態では、板部本体２１１ａ及び突出片２１１ｃと第１連結片２１２とには、それぞれ、挿入孔２１１ｄと切り欠き２１２ｂとが形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、本変形例のように挿入孔２１１ｄと切り欠き２１２ｂとが形成されなくてもよい（図９から図１１参照）。

【0053】

また、上述した実施形態では、挟持部２２１は、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列された複数の挟持爪２２１ａを有して構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、本変形例のように板部２１１と同様に構成されてもよい（図９から図１１参照）。すなわち、本変形例では、挟持部２２１は、ヒータ２１１ｂ（図５参照）が固定された板部２１１と同様の板部から構成されている。なお、挟持部２２１（板部）の説明について省略する。

【0054】

この場合に、第２部材２２は、挟持部２２１及び第２連結片２２２から構成されている。本変形例では、第２連結片２２２は、第１連結片２１２と同様に構成されている。換言すれば、第１部材２１と第２部材２２とは、同様に構成されている。

【0055】

上述した実施形態では、連結機構は、第１連結片２１２、第２連結片２２２及びねじ２３から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、本変形例のように第１連結片２１２及び第２連結片２２２に加え、連結部材としての第３連結片２４及び二つのねじ２３を有して構成されてもよい（図９から図１１参照）。

【0056】

第３連結片２４は、一端部と第１連結片２１２とが一方のねじ２３により連結されるとともに他端部と第２連結片２２２とが他方のねじ２３により連結されている。具体的には、第３連結片２４は、一端部が形成された第１サブ連結片２４１と、第１サブ連結片２４１に対し屈曲するように第１サブ連結片２４１と一体形成された第２サブ連結片２４２と、を有する。

【0057】

図１１に示すように、第１サブ連結片２４１と第２サブ連結片２４２との間には、鈍角が形成されている。なお、第１サブ連結片２４１と第２サブ連結片２４２とは、屈曲線Ｌに対し鏡面対称に設けられている。

【0058】

第１サブ連結片２４１及び第２サブ連結片２４２には、それぞれ、一方のねじ２３が貫通する第１貫通孔２４１ａ及び他方のねじ２３が貫通する第２貫通孔２４２ａが形成されている。そして、一方のねじ２３は、第１サブ連結片２４１の第１貫通孔２４１ａを貫通させて第１連結片２１２のねじ孔２１２ａと螺合するとともに他方のねじ２３は、第２サブ連結片２４２の第２貫通孔２４２ａを貫通させて第２連結片２２２のねじ孔２２２ｂと螺合することで、板部２１１と挟持部２２１とを連結機構により容易に連結することができる。

【0059】

本変形例では、第１貫通孔２４１ａ及び第２貫通孔２４２ａは、いずれも円孔から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、これらのうちのいずれか一方が長孔から構成されてもよい。そして、長孔は、第１サブ連結片２４１に形成された場合に第１サブ連結片２４１の長手方向に沿って延在し、第２サブ連結片２４２に形成された場合に第２サブ連結片２４２の長手方向に沿って延在する。

【0060】

そして、第１サブ連結片２４１及び第２サブ連結片２４２から構成された第３連結片２４をヒータ付きクリップ２に用いることにより、ヒータ付きクリップ２全体に挟持力を持たせることができる。また、二つのねじ２３の締め具合を調整することで、第１サブ連結片２４１と第２サブ連結片２４２との間の鈍角（すなわち、屈曲角）が変化するため、挟持力を適宜調整することができる。これにより、板部２１１及び挟持部２２１の両方を流体供給ライン１のベースブロック１１及びブロック部１２１の両側壁に密着させることができるため、ベースブロック１１及びブロック部１２１をその両側壁に密着された板部２１１，挟持部２２１における一対のヒータ２１１ｂにより効率よく加熱（保温）することができる。

【0061】

本変形例では、板部２１１（挟持部２２１）は、流体供給ライン１の長手方向に沿って延在するとともに配列された複数のベースブロック１１及びブロック部１２１の側壁と面当接可能に形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、流体供給ライン１の長手方向に沿って延在するとともに単一のブロック部１２１の側壁と面当接可能に形成されてもよい。

【0062】

（作用効果）
次に、上述した実施形態及び変形例による作用効果について説明する。

【0063】

上述した実施形態及び変形例に係るヒータ付きクリップ２は、複数のベースブロック１１を備えて構成された流体供給ライン１に取り付けられるクリップであって、固定されたヒータ２１１ｂを有しベースブロック１１の一方側壁と面当接可能に形成された板部２１１と、ベースブロック１１の一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部２２１と、板部２１１と挟持部２２１とを連結する連結機構と、を備え、連結機構は、ブロック部１２１の上壁と対向可能に板部２１１と一体形成された第１連結片２１２と、ブロック部１２１の上壁と対向可能に挟持部２２１と一体形成された第２連結片２２２と、を有し、第１連結片２１２と第２連結片２２２は、連結部材により連結されている。

【0064】

また、上述した実施形態及び変形例に係る流体供給装置１００は、複数のベースブロック１１を備えて構成された流体供給ライン１と、流体供給ライン１に取り付けられたヒータ付きクリップ２と、備え、ヒータ付きクリップ２は、一体形成されたヒータ２１１ｂを有しベースブロック１１の一方側壁と面当接可能に形成された板部２１１と、ベースブロック１１の一方側壁とは反対の他方側壁と当接可能に形成された挟持部２２１と、板部２１１と挟持部２２１とを連結する連結機構と、を有し、連結機構は、ブロック部１２１の上壁と対向可能に板部２１１と一体形成された第１連結片２１２と、ブロック部１２１の上壁と対向可能に挟持部２２１と一体形成された第２連結片２２２と、を有し、第１連結片２１２と第２連結片２２２は、連結部材により連結されている。

【0065】

これらの構成によれば、板部２１１は、固定されたヒータ２１１ｂを有し、すなわち、ヒータ２１１ｂと板部２１１とは、一体形成されているため、ヒータと別体形成されたクリップに比べ、ヒータ付きクリップ２を流体供給ライン１のベースブロック１１及びブロック部１２１に取り付ける時（取付時）にヒータ２１１ｂの位置を容易に調整することができる。

【0066】

また、板部２１１と一体形成された第１連結片２１２と、挟持部２２１と一体形成された第２連結片２２２とを別体形成することにより、板部２１１、挟持部２２１及び両者を連結する連結機構が一体形成されたクリップに比べ、ヒータ付きクリップ２を容易に流体供給ライン１に取り付けることができる。

【0067】

上述した変形例では、連結部材は、一端部と第１連結片２１２とがねじ２３により連結され他端部と第２連結片２２２とがねじ２３により連結された第３連結片２４を有し、第３連結片２４は、一端部が形成された第１サブ連結片２４１と、他端部が形成され、第１サブ連結片２４１に対し屈曲するように第１サブ連結片２４１と一体形成された第２サブ連結片２４２と、を有する。

【0068】

この構成によれば、第１サブ連結片２４１及び第２サブ連結片２４２から構成された第３連結片２４をヒータ付きクリップ２に用いることにより、ヒータ付きクリップ２全体に挟持力を持たせることができる。また、二つのねじ２３の締め具合を調整することで、挟持力を適宜調整することができる。これにより、板部２１１及び挟持部２２１の両方を流体供給ライン１のベースブロック１１及びブロック部１２１の両側壁に密着させることができる。

【0069】

上述した実施形態では、第１連結片２１２及び第２連結片２２２のうちのいずれか一方にはねじ孔２１２ａが形成され、第１連結片２１２及び第２連結片２２２のうちのいずれか他方には、ベースブロック１１の幅方向に沿って延在する長孔２２２ａが形成され、連結部材は、長孔２２２ａを貫通させてねじ孔２１２ａと螺合するねじ２３である。

【0070】

この構成によれば、ねじ２３が長孔２２２ａ内を摺動することが可能であるため、必要に応じて板部２１１に対する挟持部２２１の位置調整を行うことができる。

【0071】

また、上述した変形例では、挟持部２２１は、固定されたヒータ２１１ｂを有する。

【0072】

この構成によれば、ベースブロック１１及びブロック部１２１をその両側壁に当接された板部２１１，挟持部２２１における一対のヒータ２１１ｂにより効率よく加熱（保温）することができる。

【0073】

また、上述した変形例では、板部２１１は、流体供給ライン１の長手方向に沿って延在するとともに配列された複数のベースブロック１１の一方側壁と面当接可能に形成され、挟持部２２１は、流体供給ライン１の長手方向に沿って延在するとともに配列された複数のベースブロック１１の他方側壁と面当接可能に形成されている。

【0074】

また、上述した変形例では、連結機構は、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列された複数の第１連結片２１２と、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列された複数の第２連結片２２２と、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列され、一端部と第１連結片２１２とがねじ２３により連結され他端部と第２連結片２２２とがねじ２３により連結された複数の第３連結片２４と、を有し、各第３連結片２４は、一端部が形成された第１サブ連結片２４１と、他端部が形成され、第１サブ連結片２４１に対し屈曲するように第１サブ連結片２４１と一体形成された第２サブ連結片２４２と、を有し、複数の第１連結片２１２は、それぞれ、複数の第２連結片２２２及び複数の第３連結片２４と対応して、同一の流体供給ライン１において隣接するブロック部１２１の境目箇所の上壁のそれぞれと対向している。

【0075】

これらの構成によれば、ヒータ付きクリップ２を容易に流体供給ライン１に取り付けることができるとともに複数の第１連結片２１２（又は複数の第２連結片２２２、複数の第３連結片２４）と流体機器１２に締められたボルトとの干渉を回避することができる。

【0076】

また、上述した実施形態では、板部２１１は、流体供給ライン１の長手方向に沿って延在するとともに配列された複数のベースブロック１１の一方側壁と面当接可能に形成され、挟持部２２１は、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列された複数の挟持爪２２１ａを有する。

【0077】

また、上述した実施形態では、連結機構は、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列されるとともにブロック部１２１の上壁と対向可能に板部２１１と一体形成された複数の第１連結片２１２と、流体供給ライン１の長手方向に間隔を空けて配列されるとともにブロック部１２１の上壁と対向可能に挟持部２２１と一体形成された複数の第２連結片２２２と、を有し、複数の挟持爪２２１ａは、同一の流体供給ライン１において隣接するベースブロック１１の境目箇所の他方側壁のそれぞれと当接し、複数の第１連結片２１２は、それぞれ、複数の第２連結片２２２と対応して、同一の流体供給ライン１において隣接するブロック部１２１の境目箇所の上壁のそれぞれと対向している。

【0078】

これらの構成によれば、ヒータ付きクリップ２を容易に流体供給ライン１に取り付けることができるとともに複数の第１連結片２１２（又は複数の第２連結片２２２）と流体機器１２に締められたボルトとの干渉を回避することができる。

【0079】

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

【符号の説明】

【0080】

１ 流体供給ライン
２ ヒータ付きクリップ（クリップ）
１１ 流路ブロック
２１１ 板部
２１１ｂ ヒータ
２１１ｄ 挿入孔
２１２ 第１連結片
２１２ａ ねじ孔
２２１ 挟持部
２２１ａ 挟持爪
２２２ 第２連結片
２２２ａ 長孔
１００ 流体供給装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】