特開 2024-140315 プレス金型、及び、平行プレス製品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024140315

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】プレス金型、及び、平行プレス製品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B21D 37/14 20060101AFI20241003BHJP

   B21D 24/00 20060101ALI20241003BHJP

   B21D 22/20 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

B21D37/14 F

B21D24/00 L

B21D22/20 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023051404

(22)【出願日】2023-03-28

(71)【出願人】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110003214

【氏名又は名称】弁理士法人服部国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】奥村 京介

【テーマコード（参考）】

4E050

4E137

【Ｆターム（参考）】

4E050FA02

4E050FB03

4E137AA10

4E137EA26

4E137EA36

4E137HA10

(57)【要約】

【課題】プレス機に取り付けた状態で上型と下型との平行度を調整可能なプレス金型を提供する。
【解決手段】プレス金型において上型又は下型の一方は、フローティングユニット３０と、複数のクサビコマ６３と、コマロック機構（調整ネジ６７、ロックナット６９）と、を備える。フローティングユニット３０は、金型中心線Ｏを共有して対向する第１プレート４０及び第２プレート５０を含み、金型中心線上Ｏの点を支点として第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾きが調整可能に構成されている。複数のクサビコマ６３は、フローティングユニット３０の金型中心線Ｏを基準として放射状に配置される。クサビコマ６３は、第１プレート４０と第２プレート５０との間で金型中心線Ｏに向かって嵌入され、第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾き状態を保持する。コマロック機構は、クサビコマ６３が嵌入された位置でクサビコマ６３を固定する。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上型（７００）のプレス面（７２）と下型（８０）のプレス面（８２）との間でワーク（１００）がプレスされるプレス金型であって、
前記上型又は前記下型の一方は、
金型中心線（Ｏ）を共有して対向する第１プレート（４０）及び第２プレート（５０）を含み、前記金型中心線上の点を支点として前記第１プレートと前記第２プレートとの相対的傾きが調整可能に構成されたフローティングユニット（３０）と、
前記フローティングユニットの前記金型中心線を基準として放射状に３箇所以上配置され、前記第１プレートと前記第２プレートとの間で前記金型中心線に向かって嵌入され、前記第１プレートと前記第２プレートとの相対的傾き状態を保持する複数のクサビコマ（６３）と、
前記クサビコマが嵌入された位置で前記クサビコマを固定するコマロック機構（６７、６９）と、
を備え、
プレス機（９０）に取り付けられ、前記上型及び前記下型の前記プレス面同士が当接して前記第１プレートと前記第２プレートとの相対的傾きが倣い調整された状態で、複数の前記クサビコマが嵌入位置で固定されることが可能なプレス金型。

【請求項2】

前記フローティングユニットの前記第１プレート及び前記第２プレートは、前記金型中心線上に凹球面を有するボール受容穴（４１、５１）が形成されており、前記ボール受容穴に受容されたボール（６１）の頂点を支点としてフローティング可能である請求項１に記載のプレス金型。

【請求項3】

複数の前記クサビコマは、前記第１プレートに放射状に形成された収容溝（４３）に収容され、前記金型中心線に向かって嵌入されたとき、第１接触部（６３４）が前記収容溝の溝底面（４４）に接触し、第２接触部（６３５）が前記第２プレートに形成された傾斜面（５５）に接触する請求項１に記載のプレス金型。

【請求項4】

前記クサビコマは、調整ネジ（６７）の回転角度に応じて前記金型中心線に向かって嵌入され、
前記コマロック機構は、前記調整ネジと、前記調整ネジの回転を規制するロックナット（６９）とで構成されている請求項１に記載のプレス金型。

【請求項5】

プレス機（９０）に取り付けられたプレス金型（２００）の上型（７００）のプレス面（７２）と下型（８０）のプレス面（８２）との間にワーク（１００）を挟んでプレスし、上端面と下端面とが平行である平行プレス製品を製造する方法であって、
前記上型又は前記下型の一方は、
金型中心線（Ｏ）を共有して対向する第１プレート（４０）及び第２プレート（５０）を含み、前記金型中心線上の点を支点として前記第１プレートと前記第２プレートとの相対的傾きが調整可能に構成されたフローティングユニット（３０）と、
前記フローティングユニットの前記金型中心線を基準として放射状に３箇所以上配置され、前記第１プレートと前記第２プレートとの間で前記金型中心線に向かって嵌入され、前記第１プレートと前記第２プレートとの相対的傾き状態を保持する複数のクサビコマ（６３）と、
前記クサビコマが嵌入された位置で前記クサビコマを固定するコマロック機構（６７、６９）と、
を備え、
前記プレス金型を前記プレス機に取り付け、前記上型及び前記下型の前記プレス面同士を当接させ、前記フローティングユニットの前記第１プレートと前記第２プレートとの相対的傾きが倣い調整されるフローティング工程（Ｓ１）と、
前記クサビコマが前記金型中心線に向かって嵌入されるコマ嵌入工程（Ｓ２）と、
前記クサビコマが嵌入された位置で前記コマロック機構により固定されるコマロック工程（Ｓ３）と、
前記プレス金型に前記ワークが挟まれてプレスされるワークプレス工程（Ｓ５）と、
を含む平行プレス製品の製造方法。

【請求項6】

前記平行プレス製品は、複数の平板状部品（１１、１２、１３）の間に接着剤層（１４）が積層された接着積層物である請求項５に記載の平行プレス製品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プレス金型、及び、平行プレス製品の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１に開示された技術では、平板状のリードフレーム、中間部材及び半導体チップの間に接着剤層が積層された積層構造体が、金型やプレスローラに挟まれて押圧されることで接着剤層が圧縮されて塑性変形する。積層構造体の半導体チップの上面とリードフレームの下面との間の平行度は接着剤層の厚さの所定比率以下となっていることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１６／０９３０７５号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本明細書では、プレス金型でプレスされて製造される、上端面と下端面とが平行である製品を「平行プレス製品」という。例えば特許文献１の積層構造体のような製品が平行プレス製品に該当する。平行プレス製品の中には上端面と下端面との平行度が数μｍ以下であることを要求されるものがある。その要求に対しプレス金型は、上型のプレス面と下型のプレス面との平行度を数μｍ以下にする必要がある。

【0005】

プレス金型単独でプレス面の精度を確保する視点から、上型及び下型がそれぞれ複数枚の型板で構成されている場合、一体に組み付けられた状態で研磨加工されることが好ましい。ただし、一部の型板にヒータ等の電気部品が設置されており、断線やクーラントの浸水による漏電等の懸念がある場合、一体での研磨加工ができない。型板を単体で研磨加工しても組付時に誤差が生じるおそれがある。また、上型及び下型を一体で研磨加工できる場合であっても、プレス機に取り付ける段階で傾きが生じるおそれもある。

【0006】

本発明はこのような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、プレス機に取り付けた状態で上型と下型との平行度を調整可能なプレス金型を提供することにある。別の目的は、平行度精度が確保された平行プレス製品の製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様は、上型（７００）のプレス面（７２）と下型（８０）のプレス面（８２）との間でワークがプレスされるプレス金型である。上型又は下型の一方は、フローティングユニット（３０）と、複数のクサビコマ（６３）と、コマロック機構（６７、６９）と、を備える。

【0008】

フローティングユニットは、金型中心線（Ｏ）を共有して対向する第１プレート（４０）及び第２プレート（５０）を含み、金型中心線上の点を支点として第１プレートと第２プレートとの相対的傾きが調整可能に構成されている。

【0009】

複数のクサビコマは、フローティングユニットの金型中心線を基準として放射状に３箇所以上配置される。クサビコマは、第１プレートと第２プレートとの間で金型中心線に向かって嵌入され、第１プレートと第２プレートとの相対的傾き状態を保持する。コマロック機構は、クサビコマが嵌入された位置でクサビコマを固定する。

【0010】

このプレス金型は、プレス機（９０）に取り付けられ、上型及び下型のプレス面同士が当接して第１プレートと第２プレートとの相対的傾きが倣い調整された状態で、複数のクサビコマが嵌入位置で固定されることが可能である。したがって、プレス機に取り付けた状態での倣い調整により、上型と下型との平行度を好適に調整することができる。

【0011】

本発明の別の態様は、プレス機（９０）に取り付けられたプレス金型（２００）の上型（７００）のプレス面（７２）と下型（８０）のプレス面（８２）との間にワーク（１００）を挟んでプレスし、上端面と下端面とが平行である平行プレス製品を製造する方法である。例えば平行プレス製品は、複数の平板状部品（１１、１２、１３）の間に接着剤層（１４）が積層された接着積層物である。

【0012】

プレス金型の構成は、上記のプレス金型の発明と同様である。この製造方法は、フローティング工程（Ｓ１）と、コマ嵌入工程（Ｓ２）と、コマロック工程（Ｓ３）と、ワークプレス工程（Ｓ５）と、を含む。

【0013】

フローティング工程では、プレス金型をプレス機（９０）に取り付け、上型及び下型のプレス面同士を当接させ、フローティングユニットの第１プレートと第２プレートとの相対的傾きが倣い調整される。

【0014】

コマ嵌入工程では、クサビコマが金型中心線に向かって嵌入される。コマロック工程では、クサビコマが嵌入された位置でコマロック機構により固定される。

【0015】

ワークプレス工程では、プレス金型にワークが挟まれてプレスされる。これにより、平行度精度が確保された平行プレス製品を製造することができる。例えば接着積層物では、接着剤層の厚みを均一にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】一実施形態によるプレス装置の上型上昇時（ワーク無し）の模式図。

【図2】一実施形態によるプレス装置の上型下降時（ワーク無し）の模式図。

【図3】一実施形態によるプレス装置のワークプレス時の模式図。

【図4】平行プレス製品の例である接着積層物の（ａ）平面図、（ｂ）正面図。

【図5】一実施形態によるプレス金型の上型モジュールの正面図。

【図6】図５のＶＩ－ＶＩ線断面図（第１プレートの底面図）。

【図7】図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線断面図（フローティングユニット断面図）。

【図8】初期状態を示す図６のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線断面模式図。

【図9】平行プレス製品の製造方法のフローチャート。

【図10】ψ＝０でのクサビコマ嵌入～コマロック工程を示す模式図。

【図11】ψ＞０でのクサビコマ嵌入～コマロック工程を示す模式図。

【図12】ψ＜０でのクサビコマ嵌入～コマロック工程を示す模式図

【図13】他の実施形態によるプレス金型のフローティングユニット部分断面図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明の一実施形態によるプレス金型、及び、平行プレス製品の製造方法を図面に基づいて説明する。パンチとダイとで様々な製品形状を成形する一般的なプレス金型とは異なり、本実施形態のプレス金型は、上型及び下型のプレス面がいずれも真正な平面である。このプレス金型は、上端面と下端面とが平行である平行プレス製品専用であり、底面積や高さが所定範囲内で多少異なる異種の平行プレス製品に対して共用可能である。プレス金型が一旦プレス機に取り付けられたら基本的に交換されることはなく、プレス機とプレス金型とが一体となった「プレス装置」として使用される。

【0018】

図１～図３を参照し、一実施形態によるプレス装置９００の構成及び動作を説明する。図１、図２にはワーク無しで上型７００を上昇、下降させた状態を示し、図３にはワーク１００を装置にセットしてプレスしている状態を示す。プレス金型２００がプレス機９０に取り付けられた状態で一体のプレス装置９００となっているが、便宜上、破線枠で囲んだ部分をプレス金型２００とみなす。プレス金型２００の中心線を金型中心線Ｏと表す。

【0019】

プレス機９０は、基台９１の上方に、天板９２が支柱９３及び背板９４により支持されている。背板９４には、プレス金型２００の背面側の作業をしやすくするため作業窓９５が形成されている。駆動モータ９６の駆動力により、スライド９８は、支柱９３、及び、天板９２から懸下されたガイドロッド９７にガイドされて昇降する（図１、図２参照）。スライド９８にはアダプタ９９を介してプレス金型２００の上型７００が取り付けられている。プレス金型２００の下型８０は基台９１に取り付けられている。

【0020】

プレス金型２００は上型７００及び下型８０を含む。図６に参照されるように、上型７００及び下型８０の平面形状は略円形である。本実施形態では、上型７００はフローティングユニット３０とパーティング部７０とからなる。フローティングユニット３０の構成及び機能については後述する。パーティング部７０は、下型８０と共にプレス機能を担い、狭義の上型に相当する。上型７００のパーティング部７０のプレス面７２と下型８０のプレス面８２との間でワーク１００がプレスされる（図３参照）。例えば駆動モータ９６は、プレス荷重を目標値に近づけるようにサーボ制御により駆動制御される。

【0021】

パーティング部７０が狭義の上型だとすると、フローティングユニット３０とパーティング部７０とを合わせた部分を「上型モジュール７００」としてもよい。なお、プレス装置９００の完成に至るまでのフローティングユニット３０の取付順序は問わない。フローティングユニット３０のみが先にプレス機９０のアダプタ９９に取り付けられてから、上型パーティング部７０及び下型８０のセットがプレス機９０に取り付けられてもよい。

【0022】

図４に、ワーク１００となる平行プレス製品の一例である接着積層物を示す。接着積層物は、複数の平板状部品１１、１２、１３の間に接着剤層１４が積層されたものである。この例では、正方形板状の二枚の治具プレート１１、１２の間に略円板状のＳｉＣインゴット１３（半導体）が挟まれて接着される。上側の治具プレート１１とＳｉＣインゴット１３の上面との間、及び、ＳｉＣインゴット１３の下面と下側の治具プレート１２との間にそれぞれ接着剤層１４（ＷＡＸ）が積層される。例えば治具プレート１１、１２の正方形面の大きさは一辺２００ｍｍ程度であり、ＳｉＣインゴット１３の厚さは最大５０ｍｍ程度である。

【0023】

接着剤層１４の厚みを均一にする必要があるため、両治具プレート１１、１２の端面の平行度は数μｍ以下であること、すなわち千分の一ｍｍ単位の精度を有することが要求される。その要求に対し、プレス金型２００は、上型７００のプレス面７２及び下型８０のプレス面８２の各平面度が保証された上で、さらにプレス面７２、８２同士の平行度を数μｍ以下にする必要がある。

【0024】

ここで、上型パーティング部７０及び下型８０は、実際には一枚板ではなく、ヒータが設置された板、冷却通路が形成された板とそれをカバーする板等の複数枚の型板で構成されている。ヒータの断線やクーラントの浸水による漏電等を防止するため、複数枚の型板を合わせて一体で研磨加工することができない。プレス面７２、８２を有する型板を単体で研磨加工しても組付時に誤差が生じるおそれがある。また、ヒータ等の電気部品が設置されておらず、上型パーティング部７０及び下型８０を一体で研磨加工できる場合であっても、プレス機９０に取り付ける段階で傾きが生じるおそれもある。

【0025】

そこで本実施形態のプレス金型２００は、プレス機９０に取り付けた状態で上型パーティング部７０と下型８０との平行度を調整可能としたものである。次に図５～図８を参照し、上型モジュール７００、特にフローティングユニット３０の構成について説明する。上下方向の断面図である図７、図８では、傾斜面５５の角度θ等について上下方向の寸法比率を誇張して図示する。

【0026】

図５、図７に示すように、フローティングユニット３０は第１プレート４０及び第２プレート５０を含む。第１プレート４０及び第２プレート５０は、金型中心線Ｏを共有して対向する。フローティングユニット３０は、金型中心線Ｏ上の点を支点として第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾きが調整可能に構成されている。

【0027】

具体的に第１プレート４０及び第２プレート５０は、金型中心線Ｏ上に凹球面を有するボール受容穴４１、５１が形成されており、両プレート４０、５０のボール受容穴４１、５１に跨ってボール６１が受容される。第１プレート４０及び第２プレート５０は、センターずれが防止され、ボール６１の頂点を支点としてフローティング可能である。

【0028】

図６に示すように、第１プレート４０の平面形状は円形に近い十六角形を呈しており、第２プレート５０も同様である。完全な円形ではないが、便宜上、金型中心線Ｏを通る直線の方向を径方向といい、金型中心線Ｏに近い側を径方向内側、金型中心線Ｏから遠い側を径方向外側という。

【0029】

第１プレート４０には、金型中心線Ｏを基準として放射状に複数の収容溝４３が形成されている。本実施形態では４５°等間隔で８箇所の収容溝４３が形成されている。収容溝４３の径方向内側端部は、ボール受容穴４１の周囲に形成された環状逃がし溝４２に連通している。収容溝４３の径方向外側は外側壁４６で閉じられている。

【0030】

８箇所の各収容溝４３にはクサビコマ６３が収容されている。つまり本実施形態では、金型中心線Ｏを基準として放射状に８個のクサビコマ６３が配置されている。クサビコマ６３は段付直方体形状のブロックであり、両側面６３３が収容溝４３の内側壁にガイドされて第１プレート４０の径方向に摺動可能である（図６参照）。クサビコマ６３の径方向内側部分を前部、径方向外側部分を後部と記す。

【0031】

図８に示すように、第２プレート５０は、ボール受容穴５１の周囲から径外方向に向かって第１プレート４０から離れるように傾斜面５５が形成されている。傾斜面５５は全周にわたってテーパ面となっている。傾斜面５５の傾斜角θは例えば１°未満であり、勾配で１／１００程度である。傾斜面５５の外縁側には逃がし面５６が形成されている。

【0032】

図８に示す初期状態ではクサビコマ６３は径方向外側寄りに配置されている。上端面の第１接触部６３４と収容溝４３の溝底面４４との間、及び、後部下端面６３６と第２プレート５０の逃がし面５６との間には隙間がある。前部下端面の角である第２接触部６３５は、傾斜面５５に重力で軽く接触している。クサビコマ６３の後端面には調整ネジ６７の先端面が当接するテールシート６４が設けられている。

【0033】

調整ネジ６７は第１プレート４０の外周壁４６に形成されたネジ穴４７に螺合されている。初期状態では調整ネジ６７の先端面はテールシート６４に軽く接触しているか、或いは接触していなくてもよい。調整ネジ６７の中間部にはロックナット６９がフリー状態で保持されている。後述するようにクサビコマ６３が第１プレート４０と第２プレートとの間に嵌入された後、ロックナット６９が調整ネジ６７の回転を規制することでクサビコマ６３が固定される。

【0034】

図５、図７に示すように、最終締結ボルト３９は、第２プレート５０のフランジ部５８に形成された挿通穴５９を挿通し、第１プレート４０に形成されたネジ穴４９に螺合している。最終締結ボルト３９は、周方向においてクサビコマ６３と交互に８箇所設けられている。フローティングユニット３０がフローティングする段階では、図７の左側に示すように最終締結ボルト３９は仮締め状態である。クサビコマ６３が固定された後、図７の右側に示すように最終締結ボルト３９は本締めされる。

【0035】

続いて図９のフローチャート及び図１０～図１２を参照し、本実施形態による平行プレス製品の製造方法について説明する。図１０～図１２には、上型７００のパーティング部７０の上下面が平行であることを前提とし、下型８０のプレス面８２の傾きに倣ってフローティングユニット３０の第２プレート５０がフローティングする状態を示す。

【0036】

フローチャートの説明で記号「Ｓ」はステップを意味する。最後のＳ５を除くＳ１～Ｓ４は、「プレス金型の平行度調製方法」のステップでもある。Ｓ１～Ｓ４において、８個のクサビコマ６３は、第１プレート４０と第２プレートとの間で、調整ネジ６７の回転角度に応じて金型中心線Ｏに向かって嵌入され、第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾き状態を保持する。ロックナット６９は、クサビコマ６３が嵌入された位置で調整ネジ６７の回転を規制することで、クサビコマ６３を固定する。本実施形態では、調整ネジ６７及びロックナット６９が「コマロック機構」を構成する。

【0037】

Ｓ１のフローティング工程では、プレス金型２００をプレス機９０に取り付け、上型７００を下降させて、上型７００及び下型８０のプレス面７２、８２同士を当接させる（図２参照）。プレス面７２、８２の平面度は個々に保証されているものとする。これにより、フローティングユニット３０の第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾きが倣い調整される。

【0038】

ここで、フローティングユニット３０のフローティング角度ψを次のように定義する。図１０に示すように、第２プレート５０において金型中心線Ｏに垂直な平面（例えば逃がし面５６）が第１プレート４０の端面に平行であるとき、フローティング角度ψを０とする。上型７００のプレス面７２と下型８０のプレス面８２との平行度が０の場合、フローティング角度ψは０になる。

【0039】

図１１に示す視方向にて、第２プレート５０がボール６１の頂点Ｐを支点として反時計回り方向に回転するときのフローティング角度ψを正（ψ＞０）とする。フローティング角度ψが正のとき、この視方向における金型中心線Ｏの右側で第２プレート５０は第１プレート４０に接近する。

【0040】

図１２に示す視方向にて、第２プレート５０がボール６１の頂点Ｐを支点として時計回り方向に回転するときのフローティング角度ψを負（ψ＜０）とする。フローティング角度ψが負のとき、この視方向における金型中心線Ｏの右側で第２プレート５０は第１プレート４０から遠ざかる。

【0041】

Ｓ２のコマ嵌入工程では、調整ネジ６７を回転させて調整ネジ６７の先端面がテールシート６４を押すことで、クサビコマ６３が金型中心線Ｏに向かって移動し、第１プレート４０と第２プレート５０との間に嵌入される。クサビコマ６３が金型中心線Ｏに向かって嵌入されたとき、第１接触部６３４が収容溝４３の溝底面４４に接触し、第２接触部６３５が傾斜面５５に接触する。言い換えれば、クサビコマ６３の第２接触部６３５が傾斜面５５を上りながら、第１接触部６３４が収容溝４３の溝底面４４に接触する限界位置まで調整ネジ６７が回転される。例えば勾配１／１００の傾斜面５５に対しピッチ１．０の調整ネジ６７を１／１０（３６°）回転させると、クサビコマ６３が１μｍ上に移動する。

【0042】

第１プレート４０と第２プレート５０との間隔が離れているほどクサビコマ６３は深く嵌入される。フローティング角度ψと、初期状態から嵌入完了までのクサビコマ６３の移動距離との関係について、ψ＝０、ψ＞０、ψ＜０のときの移動距離をそれぞれＸ０、Ｘ１、Ｘ２とすると、「Ｘ１＜Ｘ０＜Ｘ２」となる。

【0043】

８個のクサビコマ６３を嵌入させる作業では、全ての調整ネジ６７を同じトルクで締め付けること、対角線の順番にバランス良く締め付けること等が要点となる。プレス機９０の背板９４に作業窓９５が形成されているため金型背面側の作業性が良い。また、クサビコマ６３は４５°等間隔で８箇所に配置されており、前後左右の対称性があるため、作業者が３次元の傾きを把握しやすい。８個のクサビコマ６３をバランス良く嵌入させることで、倣い調整された第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾き状態が精度良く保持される。

【0044】

Ｓ３のコマロック工程では、クサビコマ６３が嵌入された位置でコマロック機構により固定される。つまり、８個のロックナット６９をそれぞれ第１プレート４０の外側壁４６に当接させて締め込み、調整ネジ６７の回転を規制することで、クサビコマ６３が固定される。

【0045】

Ｓ４の本締め工程では、仮締め状態であった８本の最終締結ボルト３９が本締めされ、第２プレート５０と第１プレート４０とが締結される。ロックナット６９を締める作業や最終締結ボルト３９の本締めする作業についても、背板９４に作業窓９５が形成されているため金型背面側の作業性が良い。

【0046】

Ｓ５のワークプレス工程では、プレス金型２００にワーク１００が挟まれてプレスされる（図３参照）。なお、本実施形態では、上型パーティング部７０及び下型８０に設置されたヒータに通電され、プレス金型２００が所定温度に加熱される。プレス金型２００が一旦プレス機９０に取り付けられたら基本的に交換されることはなく、一体のプレス装置９００として量産が継続される。ただし、底面積や高さが所定範囲内で多少異なる異種の平行プレス製品を共通のプレス装置９００で製造することも可能である。

【0047】

このように本実施形態のプレス金型２００は、プレス機９０に取り付けられ、上型７００及び下型８０のプレス面７２、８２同士が当接して第１プレート４０と第２プレート５０との相対的傾きが倣い調整された状態で、８個のクサビコマ６３が嵌入位置で固定されることが可能である。したがって、プレス機９０に取り付けた状態での倣い調整により、上型７００と下型８０との平行度を好適に調整することができる。

【0048】

また、本実施形態による平行プレス製品の製造方法では、上記のプレス金型を用いて、平行度精度が確保された平行プレス製品を製造することができる。例えばＳｉＣインゴット１３と治具プレート１１、１２との接着積層物では、接着剤層１４の厚みを均一にすることができる。

【0049】

（その他の実施形態）
（ａ）上型でなく下型がフローティングユニット３０を備えてもよい。つまり、本発明では上型又は下型の一方がフローティングユニット３０を備える。また、フローティングユニット３０の第１プレート４０と第２プレート５０とは上記実施形態に対し上下反転するように設けられてもよい。

【0050】

（ｂ）上記実施形態では、最終締結ボルト３９が仮締めの状態でフローティング工程が実施され、クサビコマ６３が嵌入してロックされた後に最終締結ボルト３９が本締めされて、第１プレート４０と第２プレート５０とが締結される。これに対し図１３に示す他の実施形態では、初期段階から第２プレート５０はスタッドボルト３７とスプリング３８とを用いて第１プレート４０にフレキシブルに締結されている。スタッドボルト３７の頭部と第２プレート５０のフランジ部５８との間に設けられたスプリング３８は、第２プレート５０を第１プレート４０側に付勢する。この構成では、図９のフローチャートにおける本締め工程Ｓ４が不要となる。

【0051】

（ｃ）フローティングユニット３０は、第１、第２プレート４０、５０とは別部品であるボール６１を備える構成に限らない。例えば、一方のプレートに一体に形成された凸球部と他方のプレートに形成された凹球部とが金型中心線Ｏ上の一点で接触するように構成されてもよい。

【0052】

（ｄ）クサビコマ６３の数は８個に限らない。プレス面７２、８２の平面度が理想的に０であれば、金型中心線Ｏを基準として最低３個のクサビコマ６３が放射状に配置されればよい。ただし現実にプレス面７２、８２のうねり等を考慮すると、上記実施形態のように８個、又はそれ以上のクサビコマ６３が設けられることが好ましい。

【0053】

（ｅ）上記実施形態の調整ネジ６７はクサビコマ６３のテールシート６４を押すのみであるが、他の実施形態では、例えばクサビコマ６３の後端面に螺合された調整ネジを正逆回転することにより、クサビコマ６３を押し引き可能な構造としてもよい。これにより、クサビコマ６３の嵌入作業時に誤って押し過ぎた場合に、一度引き戻して嵌入し直すことができる。

【0054】

（ｆ）クサビコマ６３は、側面６３３が収容溝４３の内側壁にガイドされて摺動する構成に限らない。例えば、クサビコマの底面に形成された凹部が第２プレートに形成されたレールにガイドされて摺動するようにしてもよい。

【0055】

（ｇ）コマロック機構は、調整ネジ６７とロックナット６９とで構成されるものに限らない。クサビコマ６３を直動させる何らかの直動機構と、所定位置で直動機構をクランプする手段とを組み合わせて構成されればよい。

【0056】

（ｈ）本発明の製造方法の対象となる接着積層物は、治具プレート１１、１２とＳｉＣインゴット１３との接着積層物に限らず、他の半導体や半導体以外の接着積層物であってもよい。さらに、本発明の製造方法の対象は接着剤層１４が圧縮される接着積層物に限らず、上端面と下端面との平行度が要求されるどのような平行プレス製品であってもよい。

【0057】

以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。

【符号の説明】

【0058】

１００・・・ワーク（平行プレス製品）、
２００・・・プレス金型、
３０ ・・・フローティングユニット、
４０ ・・・第１プレート、 ５０ ・・・第２プレート、
６３ ・・・クサビコマ、 ６７ ・・・調整ネジ、 ６９ ・・・ロックナット、
７００・・・上型（上型モジュール）、 ７２・・・プレス面、
８０ ・・・下型、 ８２・・・プレス面、
９０ ・・・プレス機。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】