特開 2024-140931 両面研磨装置の上定盤平坦度測定器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024140931

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】両面研磨装置の上定盤平坦度測定器

(51)【国際特許分類】

   B24B 49/00 20120101AFI20241003BHJP

   B24B 37/08 20120101ALI20241003BHJP

   G01B 5/28 20060101ALI20241003BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

B24B49/00

B24B37/08

G01B5/28 101

H01L21/304 621A

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023052307

(22)【出願日】2023-03-28

(71)【出願人】

【識別番号】000004293

【氏名又は名称】ノリタケ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100085361

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 治幸

(74)【代理人】

【識別番号】100147669

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 光治郎

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 誠

【テーマコード（参考）】

2F062

3C034

3C158

5F057

【Ｆターム（参考）】

2F062AA55

2F062BB08

2F062CC27

2F062EE01

2F062EE66

2F062FF17

2F062GG18

2F062GG29

3C034AA07

3C034BB91

3C034BB96

3C034CA07

3C034CA11

3C034CB14

3C034DD10

3C158AA18

3C158AB04

3C158AB08

3C158AC02

3C158BA07

3C158CB04

3C158DA06

3C158DA09

3C158DA18

3C158EA01

3C158EB01

3C158EB26

5F057AA01

5F057AA19

5F057BA11

5F057BB03

5F057BB07

5F057BB08

5F057BB09

5F057CA19

5F057DA02

5F057FA17

5F057GB01

5F057GB16

(57)【要約】

【課題】両面研磨装置の上定盤の平坦度を、上定盤を両面研磨装置から取り外すことなく容易に測定可能とする両面研磨機の上定盤平坦度測定器を提供する。
【解決手段】ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部が第１掛止装置５０を介して上定盤１６の外周縁に掛け止められ、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部が第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８を介して上定盤１６の外周縁に掛け止められた状態で、ダイヤルゲージ支持装置４６に固定された第１ダイヤルゲージ４２及び第２ダイヤルゲージ４４を用いて、上定盤１６の平坦度が測定される。上定盤１６の下側から上定盤１６の下面に向かって上定盤平坦度測定器４０を押し当てる必要がないので、作業者が重量物である上定盤１６の下に入ることがなく安全な作業となる。また、上定盤１６を両面研磨装置１２から取り外すことなく、上定盤１６の平坦度を容易に測定することが可能となる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

下定盤と、前記下定盤に所定の間隔を隔てて対向するように設けられた上定盤とを備える両面研磨装置において、前記上定盤の平坦度を測定する両面研磨装置の上定盤平坦度測定器であって、
前記上定盤の直径に沿って、前記上定盤の回転中心の一方側に所定の間隔を隔てた位置に複数個の第１ダイヤルゲージを支持し、前記上定盤の回転中心の他方側に所定の間隔を隔てた位置に複数個の第２ダイヤルゲージを支持するダイヤルゲージ支持装置と、
前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部を前記上定盤の外周縁に掛け止める第１掛止装置と、
前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部の前記一対の形状測定用ダイヤルゲージが設けられている部分を前記上定盤の外周縁にそれぞれ掛け止める第２掛止装置及び第３掛止装置と、を備える
ことを特徴とする両面研磨装置の上定盤平坦度測定器。

【請求項2】

前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部に設けられた一つの第１基準面調整用ダイヤルゲージと、
前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部に前記上定盤の周方向に離隔した位置に設けられた一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ及び第３基準面調整用ダイヤルゲージと、を更に備え、
前記第１掛止装置は、前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部と前記上定盤との間隔を調整する第１調整ねじを有するものであり、
前記第２掛止装置及び第３掛止装置は、前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部の前記一対の形状測定用ダイヤルゲージが設けられている部分と前記上定盤との間の間隔をそれぞれ調整する第２調整ねじ及び第３調整ねじをそれぞれ有するものである
ことを特徴とする請求項１の両面研磨装置の上定盤平坦度測定器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体基板等のワークの両面を鏡面研磨するために用いられる両面研磨装置の下定盤の平坦性を計測する上定盤スパンゲージに関するものである。

【背景技術】

【0002】

ワークが、たとえばシリコン、炭化珪素、砒化ガリウム、ＩｎＰ（リン化インジウム）等の単結晶ウェハのような半導体基板のような被研磨部材は、その両面を高い平坦性（平坦度）で鏡面研磨されることが望まれている。

【0003】

たとえば、特許文献１に記載されているように、両面研磨装置は、下定盤と、その下定盤に所定の間隔を隔てて対向するように設けられた上定盤とを備えている。高い平坦性で被研磨部材を研磨するためには、下定盤及び上定盤又はそれらの研磨面に貼り付けられた研磨パッドの平坦度を測定して、管理する必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第７２１８８３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、引用文献１に記載のような平面研磨装置の上定盤又はそれらの研磨面に貼り付けられた研磨パッドの平坦度を測定する場合は、上定盤を高い位置につり上げて下定盤と上定盤との間の空間を大きく広げ、上定盤を露出させる。この場合、上定盤の下側から上定盤の下面に平坦度測定器を押し当てるので、作業者が重量物である上定盤の下に入ることになって危険な作業となる。また、上定盤に貼り付けられた軟質な研磨パッドの上から平坦度を測定する場合には、平坦度測定器の押し上げ力を一定にすることが困難であって実質的に測定できないので、上定盤を両面研磨装置から取り外して平面研磨装置の外側で反転させた上定盤の平坦度を測定するため、上定盤の平坦度測定に手間がかかるという問題があった。

【0006】

本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、両面研磨装置の上定盤の平坦度を、上定盤を両面研磨装置から取り外すことなく容易に測定可能とする両面研磨機の上定盤平坦度測定器を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の要旨とするところは、下定盤と、その下定盤に所定の間隔を隔てて対向するように設けられた上定盤とを備える両面研磨装置において、前記上定盤の平坦度を測定する両面研磨装置の上定盤平坦度測定器であって、（ｂ）前記上定盤の直径に沿って、前記上定盤の回転中心の一方側に所定の間隔を隔てた位置に複数個の第１ダイヤルゲージを支持し、前記上定盤の回転中心の他方側に所定の間隔を隔てた位置に複数個の第２ダイヤルゲージを支持するダイヤルゲージ支持装置と、（ｃ）前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部を前記上定盤の外周縁に掛け止める第１掛止装置と、（ｄ）前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部の前記一対の形状測定用ダイヤルゲージが設けられている部分を前記上定盤の外周縁にそれぞれ掛け止める第２掛止装置及び第３掛止装置と、を備えることにある。

【発明の効果】

【0008】

本発明の両面研磨装置の上定盤平坦度測定器によれば、第１掛止装置により、前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部が前記上定盤の外周縁に掛け止められ、第２掛止装置及び第３掛止装置により、前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部の前記一対の形状測定用ダイヤルゲージが設けられている部分が前記上定盤の外周縁にそれぞれ掛け止められる。このように、ダイヤルゲージ支持装置の一端部が第１掛止装置を介して上定盤の外周縁に掛け止められ、ダイヤルゲージ支持装置の他端部が第２掛止装置及び第３掛止装置を介して上定盤の外周縁に掛け止められた状態で、ダイヤルゲージ支持装置に固定された複数個の第１ダイヤルゲージ及び複数個の第２ダイヤルゲージを用いて、上定盤の平坦度が測定される。これにより、上定盤の下側から上定盤の下面に向かって上定盤平坦度測定器を上方へ押し当てる必要がないので、作業者が重量物である上定盤の下に入ることがなく安全な作業となる。また、上定盤を両面研磨装置から取り外すことなく、上定盤の平坦度を容易に測定することが可能となる。

【0009】

好適には、前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部に設けられた基準面調整用ダイヤルゲージと、前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部に前記上定盤の周方向に離隔した位置に設けられた一対の形状測定用ダイヤルゲージと、を更に備え、前記第１掛止装置は、前記ダイヤルゲージ支持装置の一端部と前記上定盤との間隔を調整する第１調整ねじを有するものであり、前記第２掛止装置及び第３掛止装置は、前記ダイヤルゲージ支持装置の他端部の前記一対の形状測定用ダイヤルゲージが設けられている部分と前記上定盤との間の間隔をそれぞれ調整する第２調整ねじ及び第３調整ねじをそれぞれ有するものである。これにより、上定盤に掛け止められた状態で、基準面調整用ダイヤルゲージ、一対の形状測定用ダイヤルゲージが、ダイヤルゲージ支持装置及び上定盤を相互に平行となるようにそれぞれ操作されることにより、第１掛止装置、第２掛止装置及び第３掛止装置を介して上定盤に吊り下げられたダイヤルゲージ支持装置を上定盤と平行となるように設定することができ、上定盤の平坦度を容易に測定することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図４の上定盤平坦度測定器が適用される両面研磨装置の基本構成を概念的に示す模式図である。

【図2】図１の両面研磨装置に設けられているキャリヤを示す図である。

【図3】図１の両面研磨装置の上定盤の平坦度を測定するに際して、上定盤が上方へ持ち上げられた状態を説明する図である。

【図4】本発明の一実施例の上定盤平坦度測定器を説明する正面図である。

【図5】図４の上定盤平坦度測定器を説明する底面図である。

【図6】図５の第１掛止装置、第２掛止装置、第３掛止装置の構成を説明する正面図である。

【図7】図６の第１掛止装置、第２掛止装置、第３掛止装置の構成を説明する底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一適用例を図面と共に詳細に説明する。

【実施例0012】

図１は、本発明の一例である上定盤平坦度測定器４０が適用される両面研磨装置１２の要部を観念的に示している。図１において、両面研磨装置１２には、垂直な回転中心線Ｃ１まわりに回転可能に支持された、下定盤１４及び上定盤１６が、所定の間隔を隔てて対向した状態で設けられている。下定盤１４の上面にはシート状の研磨パッド１４ａが取り付けられ、上定盤１６の下面にはシート状の研磨パッド１６ａが取り付けられている。下定盤１４の上面に取り付けられた研磨パッド１４ａ、及び上定盤１６の下面に取り付けられた研磨パッド１６ａは、被研磨部材２８の両面を研磨する平坦化研磨加工面として機能している。

【0013】

下定盤１４の下方には、定盤駆動装置１８が設けられている。定盤駆動装置１８は、下定盤１４を回転中心線Ｃ１まわりに回転駆動する一方で、上定盤駆動用円筒体２０を介して上定盤１６を回転中心線Ｃ１まわりに下定盤１４と逆方向に回転駆動する。上定盤駆動用円筒体２０は、下定盤１４から突設されて上定盤１６の中央穴１６ｂに相対回転不能に嵌合されている。上定盤駆動用円筒体２０には、キャリヤ２２の外周歯と噛み合うサンギヤ２４が形成されている。

【0014】

下定盤１４の外周には、内周歯２６ａが形成された環状の部材であるリングギヤ２６が下定盤１４と同心に固設されている。

【0015】

キャリヤ２２は、下定盤１４の研磨パッド１４ａと上定盤１６の研磨パッド１６ａとの間に介在させられている。キャリヤ２２は、たとえば図２に示すように円形の板材であって、半導体基板のような被研磨部材２８を嵌め入れる透孔３０と、外周歯２２ａとを備えている。また、キャリヤ２２の外周歯２２ａは、サンギヤ２４とリングギヤ２６の内周歯２６ａとに噛み合わされている。これにより、キャリヤ２２がサンギヤ２４の回転に伴って下定盤１４上を自転しつつ公転させられる過程で、キャリヤ２２の透孔３０に嵌め入れられた被研磨部材２８の両面が研磨される。被研磨部材２８は、キャリヤ２２の厚みよりも大きい厚みを有している。

【0016】

図３は、上定盤１６の下面の平坦度の測定に際して、上定盤１６が図示しない吊り下げ装置によって上方へ持ち上げられた状態を示している。このように下定盤１４と上定盤１６との間が開かれた状態で、上定盤１６の下面の平坦度を測定する上定盤平坦度測定器４０が用いられる。

【0017】

図４は、上定盤平坦度測定器４０の正面図を示し、図５は、上定盤平坦度測定器４０の平面図を示している。図５の上定盤平坦度測定器４０は、複数個、本実施例では３個の第１ダイヤルゲージ４２、及び複数個、本実施例では３個の第２ダイヤルゲージ４４が取り外されて示されている。

【0018】

上定盤平坦度測定器４０は、上定盤１６の下面に上定盤１６の上面の回転中
心線Ｃ１と上定盤平坦度測定器４０或いはダイヤルゲージ支持装置４６の中心とが同心となるように載置したとき、上定盤１６の径方向において回転中心線Ｃ１の一方の側に３個の第１ダイヤルゲージ４２と回転中心線Ｃ１の他方の側に３個の第２ダイヤルゲージ４４とが、それら第１ダイヤルゲージ４２の接触子４２ａ及び第２ダイヤルゲージ４４の接触子４４ａが一方向にすなわち上定盤１６に装着時には上定盤１６の下面に互いに平行に向かうように固定された長手状のダイヤルゲージ支持装置４６と、ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部のうち第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８が設けられている部分を上定盤１６の外周縁に掛け止める第１掛止装置５０と、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部のうち一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２及び第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４が設けられている周方向に離隔した２箇所の部分を上定盤１６の外周縁にそれぞれ掛け止める一対の第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８と、を備える

【0019】

ダイヤルゲージ支持装置４６は、上定盤１６の下面の回転中心線Ｃ１を通る第１直線Ｌ１に沿って一定の間隔を隔てた等間隔の位置に３個の第１ダイヤルゲージ４２が固定された第１ダイヤルゲージ固定部６０と、第１直線Ｌ１に直線状に連なる第２直線Ｌ２に沿って所定の間隔を隔てた等間隔の位置に３個の第２ダイヤルゲージ４４が固定された第２ダイヤルゲージ固定部６２と、第１ダイヤルゲージ固定部６０と第２ダイヤルゲージ固定部６２との互いに接近した端部間に連結して、それら第１ダイヤルゲージ固定部６０と第２ダイヤルゲージ固定部６２と相互に一体的に連結する長手状の連結部６４と、第１ダイヤルゲージ固定部６０の両端部のうち第２ダイヤルゲージ固定部６２から離れた端部に設けられた第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８と、第２ダイヤルゲージ固定部６２の両端部のうち第１ダイヤルゲージ固定部６０から離れた端部に上定盤１６の周方向に離隔した２箇所に設けられた一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２及び第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４と、を備えている。

【0020】

第１直線Ｌ１および第２直線Ｌ２は、下定盤１４の上面の回転中心線Ｃ１を通る共通の直径上に位置している。第１ダイヤルゲージ固定部６０は、上定盤１６の回転中心線Ｃ１に向かって緩やかの幅寸法が増加する第１ダイヤルゲージ固定部本体６６を有している。第１ダイヤルゲージ固定部本体６６は、長手状の連結部６４の一端部に第１連結ねじ６８により締結されることで、第１ダイヤルゲージ固定部本体６６が、連結部６４に一体的に連結されている。第１ダイヤルゲージ固定部本体６６には、３個の第１ダイヤルゲージ４２が固定された第１ダイヤルゲージ固定部材７０が重ねられた状態で第１ねじ７２により固定されている。

【0021】

第１ダイヤルゲージ固定部材７０には、３個の第１ダイヤルゲージ４２を差し通した状態で押しねじ７４により固定するゲージ固定穴７４が、第１直線Ｌ１に沿って複数設けられている。ゲージ固定穴７４は、第１ダイヤルゲージ４２の配置間隔よりも短い等間隔で、第１ダイヤルゲージ４２の個数よりも多い数で複数個形成されている。

【0022】

第２ダイヤルゲージ固定部６２は、上定盤１６の回転中心線Ｃ１から離れるほど幅寸法が増加する扇状に形成された第２ダイヤルゲージ固定部本体７６を、有している。第２ダイヤルゲージ固定部本体７６は、第１ダイヤルゲージ固定部６０側の端部が連結部６４の他端部に第２連結ねじ７８により締結されることで、第２ダイヤルゲージ固定部本体７６が連結部６４に一体的に連結されている。第２ダイヤルゲージ固定部本体７６には、３個の第２ダイヤルゲージ４４が固定された第２ダイヤルゲージ固定部材８０が重ねられた状態で第２ねじ８２により固定されている。

【0023】

第２ダイヤルゲージ固定部材８０には、第１ダイヤルゲージ固定部材７０と同様に３個の第２ダイヤルゲージ４４を差し通した状態で押しねじ８４により固定するゲージ固定穴８６が、第１直線Ｌ１に沿って複数設けられている。ゲージ固定穴８６は、第２ダイヤルゲージ４４の配置間隔よりも短い等間隔で、第２ダイヤルゲージ４４の個数よりも多い数で複数個形成されている。

【0024】

連結部６４は、第１連結ねじ６８及び第２連結ねじ７８によって、両端部が第１ダイヤルゲージ固定部本体６６及び第２ダイヤルゲージ固定部本体７６に連結された直線状の連結部材８８と、７本の締結ねじ９０により連結部材８８の側面に固定された補強板９２とを備えている。補強板９２は、回転中心線Ｃ１に平行な方向で連結部材８８に固定されている。

【0025】

第１掛止装置５０、第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８は、同様に構成れているので、第１掛止装置５０に代表させて説明する。第１掛止装置５０は、図６に示すように、マイクロメータ９４が立設され、マイクロメータ９４の接触子（ねじ）９４ａを介して上定盤１６の上面に掛け止められるブロック状の上アーム９６と、第１ダイヤルゲージ固定部本体６６の下面に掛け止められる板状の下アーム９８と、上アーム９６の一端と下アーム９８の一端とを連結するアーム連結柱１００と、を備え、全体としてコの字状或いはフック状に形成されている。

【0026】

板状の下アーム９８の、上アーム９６に設けられたマイクロメータ９４に対応する位置には、Ｕ字状切欠１０２が形成されている。Ｕ字状切欠１０２は、ダイヤルゲージ支持装置４６を上定盤１６に吊り下げたときに第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８を嵌め入れるためものであり、第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８の接触子４８ａとマイクロメータ９４の接触子９４ａとを同心位置とする。第２掛止装置５６では、第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２の接触子５２ａとマイクロメータ９４の接触子９４ａとが同心位置とされ、第３掛止装置５８では、第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４の接触子５４ａとマイクロメータ９４の接触子９４ａとが同心位置とされる。

【0027】

第１掛止装置５０のマイクロメータ９４は、ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部と上定盤１６との間隔を調整する第１調整ねじとして機能し、第２掛止装置５６のマイクロメータ９４及び第３掛止装置５８のマイクロメータ９４は、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部と上定盤１６との間隔を調整する第２調整ねじ及び第３調整ねじとして機能している。

【0028】

第１ダイヤルゲージ固定部本体６６の外周側端部には、１本の基準面創生支柱１１０が立設され、第２ダイヤルゲージ固定部本体７６の外周側端部のうち、周方向に離隔した２箇所には、２本の基準面創生支柱１１０が立設されている。それら基準面創生支柱１１０は、たとえば５ｍｍ程度の径と、２．５ｍｍ程度のＲを有する先端部とを有している。このような形状を有する３本の基準面創生支柱１１０は、御影石定盤上に接触することで、基準面を創生する。また、３本の基準面創生支柱１１０は、上定盤１６の表面の研磨パッド１４ａに当接した場合には、研磨パッド１４ａにめり込むことが可能である。

【0029】

以上のように構成された上定盤平坦度測定器４０は、例えば、御影石製の平坦度の高い基準定盤上において、第１ダイヤルゲージ固定部６０と第２ダイヤルゲージ固定部６２に立設され、先端部がＲ形状である同じ高さの３本の基準面創生支柱１１０により支持された状態で、ダイヤルゲージ支持装置４６の第１ダイヤルゲージ固定部６０及び第２ダイヤルゲージ固定部６２を基準定盤と平行とした上で、各第１ダイヤルゲージ４２及び各第２ダイヤルゲージ４４の表示と第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８、第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２、第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４の表示を、たとえば零に予め設定し、次いで、第１掛止装置５０、第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８により、上定盤１６の下面の回転中心線Ｃ１とダイヤルゲージ支持装置４６の中心とが同心となるようにダイヤルゲージ支持装置４６を上定盤１６に吊り下げた状態でマイクロメータ９４を操作することで、第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８、第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２、第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４の表示を零としたとき、各第１ダイヤルゲージ４２及び各第２ダイヤルゲージ４４の表示を読み取ることにより、上定盤１６の平坦度を測定する。このとき、先端がＲ形状である３本の基準面創生支柱１１０は、硬い御影石定盤には食い込まないが、上定盤１６の表面にある軟質の研磨パッドには食い込むことが可能であるため、第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８を零に調整することが容易である。

【0030】

上述のように、本実施例の両面研磨装置１２の上定盤平坦度測定器４０によれば、第１掛止装置５０より、ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部が上定盤１６の外周縁に掛け止められ、第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８により、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部の一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２及び第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４が設けられている部分が上定盤１６の外周縁にそれぞれ掛け止められる。このように、ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部が第１掛止装置５０を介して上定盤１６の外周縁に掛け止められ、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部が第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８を介して上定盤１６の外周縁に掛け止められた状態で、ダイヤルゲージ支持装置４６に固定された複数個の第１ダイヤルゲージ４２及び複数個の第２ダイヤルゲージ４４を用いて、上定盤１６の平坦度が測定される。これにより、上定盤１６の下側から上定盤１６の下面に向かって上定盤平坦度測定器４０を上方へ押し当てる必要がないので、作業者が重量物である上定盤１６の下に入ることがなく安全な作業となる。また、上定盤１６を両面研磨装置１２から取り外すことなく、上定盤１６の平坦度を容易に測定することが可能となる。

【0031】

本実施例の両面研磨装置１２の上定盤平坦度測定器４０によれば、ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部に設けられた第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８と、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部に上定盤１６の周方向に離隔した位置に設けられた一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２及び第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４とが、備えられ、第１掛止装置５０は、ダイヤルゲージ支持装置４６の一端部と上定盤１６との間隔を調整するマイクロメータ（第１調整ねじ）９４を有するものであり、第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８は、ダイヤルゲージ支持装置４６の他端部の一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２及び第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４が設けられている部分と上定盤１６との間の間隔をそれぞれ調整するマイクロメータ（第２調整ねじ及び第３調整ねじ）９４をそれぞれ有するものである。これにより、上定盤１６に掛け止められた状態で、第１基準面調整用ダイヤルゲージ４８、一対の第２基準面調整用ダイヤルゲージ５２及び第３基準面調整用ダイヤルゲージ５４が、ダイヤルゲージ支持装置４６及び上定盤１６を相互に平行となるように表示するように、第１掛止装置５０、第２掛止装置５６、第３掛止装置５８のマイクロメータ（第１調整ねじ、第２調整ねじ及び第３調整ねじ）９４がそれぞれ操作されることにより、第１掛止装置５０、第２掛止装置５６及び第３掛止装置５８を介して上定盤１６に吊り下げられたダイヤルゲージ支持装置４６を上定盤１６と平行となるように設定することができ、上定盤１６の平坦度を容易に測定することが可能となる。

【0032】

以上、本発明の一実施例を説明したが、本発明は他の態様においても適用される。

【0033】

たとえば、前述の実施例の上定盤平坦度測定器４０は、第１ダイヤルゲージ４２及び各第２ダイヤルゲージ４４をそれぞれ３個ずつ備えたものであったが、４個以上の第１ダイヤルゲージ４２及び各第２ダイヤルゲージ４４をそれぞれ備えたものであってもよい。

【0034】

また、上定盤平坦度測定器４０に設けられた第１ダイヤルゲージ４２及び各第２ダイヤルゲージ４４は、機械式のものであってもよいし、電子式のものであってもよい。

【0035】

また、前述の実施例の上定盤平坦度測定器４０の第１ダイヤルゲージ固定部６０は、第１ダイヤルゲージ固定部本体６６とそれに固定された第１ダイヤルゲージ固定部材７０とから構成されていたが、それら第１ダイヤルゲージ固定部本体６６及び第１ダイヤルゲージ固定部材７０は、一体の部材から構成されていてもよい。同様に、第２ダイヤルゲージ固定部６２は、第２ダイヤルゲージ固定部本体７６とそれに固定された第２ダイヤルゲージ固定部材８０とから構成されていたが、それら第２ダイヤルゲージ固定部本体７６及び第２ダイヤルゲージ固定部材８０は、一体の部材から構成されていてもよい。

【0036】

その他一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて用いられるものである。

【符号の説明】

【0037】

１２：両面研磨装置
１４：下定盤
１４ａ：研磨パッド
１６：上定盤
１６ａ：研磨パッド
１８：定盤駆動装置
２０：上定盤駆動用円筒体
２２：キャリヤ
２２ａ：外周歯
２４：サンギヤ
２６：リングギヤ
２６ａ：内周歯
２８：被研磨部材
３０：透孔
４０：上定盤平坦度測定器
４２：第１ダイヤルゲージ
４２ａ：接触子
４４：第２ダイヤルゲージ
４４ａ：接触子
４６：ダイヤルゲージ支持装置
４８：第１基準調整用ダイヤルゲージ
５０：第１掛止装置
５２：第２基準調整用ダイヤルゲージ
５４：第３基準調整用ダイヤルゲージ
５６：第２掛止装置
５８：第３掛止装置
６０：第１ダイヤルゲージ固定部
６２：第２ダイヤルゲージ固定部
６４：連結部
６６：第１ダイヤルゲージ固定部本体
６８：第１連結ねじ
７０：第１ダイヤルゲージ固定部材
７２：第１ねじ
７３：押しねじ
７４：ゲージ固定穴
７６：第２ダイヤルゲージ固定部本体
７８：第２連結ねじ
８０：第２ダイヤルゲージ固定部材
８２：第２ねじ
８４：押しねじ
８６：ゲージ固定穴
８８：長手状の連結部材
９０：締結ねじ
９２：補強板
９４：マイクロメータ（調整ねじ）
９４ａ：接触子
９６：上アーム
９８：下アーム
１００：アーム連結柱
１０２：Ｕ字状切欠
１１０：基準面創生支柱
Ｃ１：回転中心線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】