発明の名称 研磨パッド、研磨パッドの製造方法、及び光学材料又は半導体材料の表面を研磨する方法
出願人 富士紡ホールディングス株式会社 (識別番号 5359)
特許公開件数ランキング 833 位(28件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 609 位(34件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2024-141175
公報発行日 2024年10月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-141175
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