特開 2024-141504 バッファタンク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024141504

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】バッファタンク

(51)【国際特許分類】

   B01J 14/00 20060101AFI20241003BHJP

【ＦＩ】

B01J14/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023053199

(22)【出願日】2023-03-29

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】河崎 喜代司

(72)【発明者】

【氏名】新井 義之

【テーマコード（参考）】

4G075

【Ｆターム（参考）】

4G075AA13

4G075BA10

4G075DA02

4G075EB15

(57)【要約】

【課題】清掃が容易で、清掃後の内部に異物が残ることを防ぐことができるバッファタンクを提供することを目的としている。
【解決手段】溶液を溜める液溜め領域と、前記液溜め領域よりも上側で中空領域を保持する非液溜め領域と、が内部に形成された本体部を備えるバッファタンクであって、前記本体部には、前記本体部を上部分離体と下部分離体に分離する分離部が形成されており、前記上部分離体には、前記非液溜め領域が形成され、前記下部分離体には、前記液溜め領域が形成されている構成とする。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

溶液を溜める液溜め領域と、前記液溜め領域よりも上側で中空領域を保持する非液溜め領域と、が内部に形成された本体部を備えるバッファタンクであって、
前記本体部には、前記本体部を上部分離体と下部分離体に分離する分離部が形成されており、
前記上部分離体には、前記非液溜め領域が形成され、
前記下部分離体には、前記液溜め領域が形成されていることを特徴とするバッファタンク。

【請求項2】

前記上部分離体には、前記非液溜め領域と前記液溜め領域の一部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のバッファタンク。

【請求項3】

前記上部分離体には、前記本体部内の溶液を排出する排出部が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のバッファタンク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、薬液を一時的に溜めるバッファタンクに関するものである。

【背景技術】

【0002】

薬液を扱う生産設備において、薬液を一時的に溜めるためにバッファタンクが用いられている。このバッファタンクは、たとえば、タンパク質、ペプチド、核酸等の物質を、複数の薬液を反応させて化学合成させることにより生成する薬液合成装置にも用いられている。

【0003】

この薬液合成装置の一例として、下記特許文献１には、特定の薬液を溜める収容容器と、収容容器から供給された薬液を計量する計量機構と、計量後の薬液を化学合成させる反応容器と、を備えたものが開示されている。この薬液合成装置において、バッファタンクは、計量機構と反応容器の間に設けられ、配管により計量機構と反応容器のそれぞれに接続されている。そして、計量後の薬液が配管を通じてバッファタンクに送液され、バッファタンクで溜められた薬液が、配管を通じて反応容器に順次供給される。これにより、反応容器内で物質が生成される。

【0004】

このような薬液合成装置に用いられるバッファタンクでは、バッファタンク内に溜める薬液の種類を変更するとき、あるいは、反応容器における合成処理後等の所定のタイミングでバッファタンク内の清掃作業が行われる。清掃作業では、バッファタンク内に洗浄液を供給して一定時間洗浄液を溜めさせた後に、バッファタンク内から排出させることによって、バッファタンク内の清掃が行われるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－１７０１８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、上記バッファタンクでは、内部の清掃を十分に行うことができないという問題があった。すなわち、図４（ａ）に示すように、バッファタンク９００では、その内部に満量に薬液や洗浄液などの溶液を満たした場合に温度変化による溶液の体積変化によって生じる溶液の漏れを防止するため、図４（ａ）に示すように、バッファタンク９００内に溶液を貯留させない中空領域を保持する非液溜め領域９１０が形成されている。そのため、液はね等でバッファタンク９００内の非液溜め領域９１０が形成されている部分に薬液が付着するにも関わらず、非液溜め領域には洗浄液を満たすことができないため、バッファタンク９００内を十分に清掃することができなかった。

【0007】

ここで、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すようにバッファタンク９００の上側に取り外し可能な上蓋９２０を設け、この上蓋９２０を取り外した後でバッファタンク９００内に人手をアクセスさせてバッファタンク９００内の非液溜め領域９１０が形成されている部分を清掃することが考えられる。しかし、バッファタンク９００の周囲に存在する配管９３０等の障害物を避けながらバッファタンク９００内に人手を伸ばすことは非常に煩わしく、清掃作業がしにくいものになっていた。そのため、バッファタンク９００内を十分に清掃することは困難であり、清掃後のバッファタンク９００内に異物が残る場合があった。

【0008】

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、清掃が容易で、清掃後の内部に異物が残ることを防ぐことができるバッファタンクを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために本発明のバッファタンクは、溶液を溜める液溜め領域と、前記液溜め領域よりも上側で中空領域を保持する非液溜め領域と、が内部に形成された本体部を備えるバッファタンクであって、前記本体部には、前記本体部を上部分離体と下部分離体に分離する分離部が形成されており、前記上部分離体には、前記非液溜め領域が形成され、前記下部分離体には、前記液溜め領域が形成されていることを特徴としている。

【0010】

上記バッファタンクによれば、非液溜め領域が形成された上部分離体と、液溜め領域が形成された下部分離体に本体部を分離することができるため、液溜め領域が形成された下部分離体を先に洗浄液で清掃した後に、洗浄液で清掃することができない非液溜め領域が形成された上部分離体を下部分離体から分離して清掃作業を行いやすい場所に移動させてから清掃することが可能になる。そのため、バッファタンクの周囲に存在する配管等の障害物を避けながら本体部内の非液溜め領域が形成されている部分に人手を伸ばして清掃する作業を回避することができる。これにより、清掃作業の煩わしさを抑えることができ、清掃が容易になるため、十分な清掃を行いやすくなる。したがって、清掃後の内部に異物が残ることを防ぐことができる。

【0011】

また、前記上部分離体には、前記非液溜め領域と前記液溜め領域の一部が形成されている構成としてもよい。

【0012】

この構成によれば、上部分離体に形成された液溜め領域に対して洗浄液による洗浄を行った後に、上部分離体を下部分離体から取り外すことにより非液溜め領域を分離させ、非液溜め領域に容易にアクセスして清掃することができる。

【0013】

前記上部分離体には、前記本体部内の溶液を排出する排出部が設けられている構成としてもよい。

【0014】

この構成によれば、上部分離体に排出部を設けているため、非液溜め領域を上部分離体のみに確実に形成させることができる。これにより、上部分離体を下部分離体から分離して清掃する際に非液溜め領域が形成されている部分を確実に清掃することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明のバッファタンクによれば、清掃が容易で、清掃後の内部に異物が残ることを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の一実施形態におけるバッファタンクを備える薬液合成装置を概略的に示す図である。

【図2】本発明の一実施形態におけるバッファタンクを側面側から見たときの断面図である。

【図3】本発明の一実施形態におけるバッファタンクを側面側から見たときの断面図であり、本体部を上部分離体と下部分離体に分離させた状態を示す図である。

【図4】従来のバッファタンクを示す図であり、（ａ）は上蓋が閉じた状態を示す図であり、（ｂ）は上蓋を取り外した状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明のバッファタンク１に係る実施の形態について図面を参照しながら説明する。

【0018】

図１は、本発明の一実施形態におけるバッファタンク１を備える薬液合成装置１００を概略的に示す図である。なお、本実施形態では、バッファタンク１が薬液合成装置１００に用いられる場合を例に説明するが、薬液を扱う生産設備であれば、薬液合成装置１００に関わらず適用することができる。

【0019】

薬液合成装置１００は、図１に示すように薬液が溜められた収容容器２と、薬液を計量する計量機構３と、計量後の薬液を一時的に溜める本発明のバッファタンク１と、バッファタンク１から供給された薬液を収容し化学合成させる反応容器４と、を備えており、それぞれが配管５で接続されている。そして、収容容器２から反応に必要な所定の薬液が計量機構３に供給されることにより計量機構３で計量され、計量後の薬液をバッファタンク１に溜めて流量を調節しながら反応容器４に順次供給することにより、脱トリチル化、カップリング、酸化、キャッピング等の処理を繰り返し行うことでビーズ（担体ともいう）に塩基を次々に結合させる。これにより、タンパク質、ペプチド、核酸等の合成物を生成する。

【0020】

収容容器２は、化学合成で用いる薬液を溜めるためのものである。本実施形態では、図１に示すように同じ構造の収容容器２が２つ設けられている。図１の例では、２つの収容容器２のみが記載されているが、実際には多数の収容容器２が設けられている。そして、それぞれの収容容器２は、図１に示すように薬液配管５１により計量機構３と連結されている。

【0021】

また、収容容器２には、収容容器２内の圧力を調節する図示しない加圧部（たとえば、ガスボンベ）がガス配管５２により接続されている。この加圧部からガス配管５２を通じて収容容器２内にガスが供給されると、収容容器２内が加圧され、薬液配管５１を通じて薬液が計量機構３に送液される。そして、薬液配管５１には、バルブ６１が設けられており、このバルブ６１の開閉状態を切り替えることにより、複数の収容容器２から選択された薬液のみを計量機構３に送液できるようになっている。なお、加圧部から収容容器２に供給されるガスは、収容容器２に溜められた薬液と反応しないガス（たとえば、不活性ガスやアルゴンガス等）である。

【0022】

計量機構３は、供給された薬液を計量するためのものである。この計量機構３は、図１に示すように薬液を受け入れる計量容器３１と、計量容器３１内の薬液を計量する計量部３２と、を有している。計量部３２は、たとえば、ロードセルであり、計量容器３１に接続されている。この計量部３２により計量容器３１内に供給された薬液の質量が計量されることによって、薬液が計量されるようになっている。

【0023】

計量容器３１には、図１に示すように上端部に薬液配管５１が接続され、下端部に計量容器３１とバッファタンク１とを連結する薬液配管５３が接続されており、収容容器２から送液された薬液が薬液配管５１を通じて供給され、計量後の薬液が薬液配管５３を通じてバッファタンク１に送液されるようになっている。そして、薬液配管５３には、バルブ６２が設けられており、このバルブ６２の開閉状態を切り替えることより薬液の送液と送液の停止を行うことができるようになっている。具体的には、バルブ６２を閉状態に切り替えた状態で、選択された薬液が収容容器２から薬液配管５１を通じて計量容器３１に供給される。そして、計量部３２により所定量の薬液が計量されると収容容器２からの送液が停止され、計量容器３１において所定量の薬液が溜められる。そして、薬液の計量後にバルブ６２を開状態に切り替えることにより計量後の薬液が計量容器３１からバッファタンク１に薬液配管５３を通じて送液される。

【0024】

この計量容器３１からバッファタンク１への薬液の送液は、前述の加圧部によって行われる。すなわち、計量容器３１には、加圧部がガス配管５４により接続されており、加圧部から計量容器３１にガスを供給できるようになっている。これにより、計量容器３１内が加圧され、薬液配管５３を通じて計量後の薬液がバッファタンク１に送液される。

【0025】

バッファタンク１は、供給された薬液を一時的に溜めるためのものである。このバッファタンク１は、円筒形状を有する本体部１１を備えており、図２に示すように天面位置の天壁部１１ａと、側面位置の側壁部１１ｂと、底面位置の底壁部１１ｃにより薬液を溜めるための内部空間が形成されている。この本体部１１は、少なくとも計量容器３１に比べて容量が大きくなるように形成されており、計量後の薬液を確実に溜めることができるようになっている。

【0026】

本体部１１には、その内部に満量に薬液や洗浄液などの溶液を満たした場合に温度変化による溶液の体積変化によって生じる溶液の漏れを防止するため、図２において鎖線で示すように、溶液を溜める液溜め領域Ａの上側で溶液を溜めさせない中空領域を保持する非液溜め領域Ｂが形成されている。すなわち、本体部１１内には、下側に液溜め領域Ａが形成され、上側に非液溜め領域Ｂが形成されており、供給される溶液が一定の水位を超えないように溜められている。なお、以下の説明では、薬液と溶液とを特に区別しない場合には溶液と呼ぶ。

【0027】

本実施形態では、本体部１１に溶液を排出する開口である排出部１２を設けて本体部１１内から溶液を排出させることによって、本体部１１内に溜められる溶液が一定の水位を超えないようしている。排出部１２は、本体部１１内に供給され一定の水位まで上昇した溶液を排出するためのものである。この排出部１２は、図２に示すように、本体部１１の側壁部１１ｂにおいて上側に形成されている。そして、本体部１１内に供給されて重力方向下側から上昇する溶液の液面が排出部１２に到達すると、到達した溶液が排出部１２から排出される。これにより、本体部１１内に溶液を供給し続けたとしても溶液の液面が一定の高さに保たれ、溶液が一定の水位を超えないように溜められる。

【0028】

そして、排出部１２には、図２に示すように排液配管５５が接続されており、この排液配管５５により図示しない排液タンクと連結されている。これにより、排出部１２から排出された溶液が排液配管５５を通じて排液タンクに排液される。この排液タンクは、バッファタンク１と反応容器４から排液された溶液を受けるためのものであり、バッファタンク１と反応容器４から溶液を複数回排液された場合でも溜めることができる容量に形成されている。

【0029】

また、本体部１１には、図２に示すように、側壁部１１ｂに薬液配管５３が接続されている。そして、本体部１１には、本体部１１内のガスを大気へ放出するための図示しない放出部と本体部１１を連結するガス配管５７ｂが接続されており、このガス配管５７ｂにはバルブ９２が設けられ、このバルブ９２を開状態に切り替えることにより本体部１１内からガスを大気中に放出することができるようになっている。これにより、本体部１１内が減圧され、計量機構３から送液された薬液が薬液配管５３を通じて本体部１１内に供給される。

【0030】

また、本体部１１には、図２に示すように、底壁部１１ｃに本体部１１と反応容器４とを連結する薬液配管５６が接続されている。これにより、本体部１１内で溜められた薬液が薬液配管５６を通じて反応容器４に送液されるようになっている。

【0031】

この本体部１１から反応容器４への薬液の送液は、前述の加圧部によって行われる。具体的には、本体部１１には、加圧部がバルブ９１が設けられたガス配管５７ａにより接続されており、バルブ９１の開閉状態を切り替えることにより加圧部から本体部１１内へのガスの供給および供給の停止を行うことができるようになっている。これにより、本体部１１内の圧力が調節され、薬液が薬液配管５６を通じて反応容器４に送液することができる。

【0032】

また、本体部１１には、ガス配管５７ｃが接続され、このガス配管５７ｃにより圧力測定部７１と本体部１１が連結されている。圧力測定部７１は、本体部１１内の圧力を測定するためのものであり、この圧力測定部７１による測定結果が加圧部による本体部１１内の圧力の調節に反映させるようになっている。すなわち、圧力測定部７１により本体部１１内の圧力を測定しながら、加圧部により本体部１１内の圧力の調節を行うことによって、本体部１１内の圧力が正確に調節され、本体部１１内の圧力を測定せずに本体部１１内の圧力を調節する場合に比べて本体部１１から反応容器４に送液される薬液の量を正確に調節することができる。これにより、より正確な量の薬液を反応容器４に供給することができる。

【0033】

反応容器４は、供給された薬液を化学反応させる反応場を提供するためのものである。この反応容器４は、一方向に延びる円筒管が使用されており、反応容器４内には図示しない多数のビーズ（担体ともいう）が収容されている。そして、反応容器４内に薬液が供給されると、その内部において薬液と担体が化学合成され、担体に塩基が結合される。これにより、反応容器４内に合成物が生成され、生成された合成物を取り出すことができるようになっている。

【0034】

また、反応容器４には、下端部に排液タンクと反応容器４を連結する排液配管５８が接続されており、反応完了後の薬液が反応容器４内から排液配管５８を通じて排液タンクに排液されるようになっている。

【0035】

また、バッファタンク１では、本体部１１内に溜める薬液の種類が変更されるとき、あるいは反応容器４における合成処理後等の所定のタイミングで、先に本体部１１内で溜められて反応容器４に送液された薬液と、後に本体部１１内で溜める薬液とが混合しないように本体部１１内の清掃作業が行われるようになっている。

【0036】

ここで、本体部１１には、洗浄液配管５９ａが接続されており、この洗浄液配管５９ａにより洗浄液容器８と本体部１１が連結されている。洗浄液容器８は、本体部１１内を洗浄するための洗浄液を溜めるためのものであり、本体部１１内を清掃する際、洗浄液容器８内で溜められた洗浄液が洗浄液配管５９ａを通じて本体部１１に送液されるようになっている。そして、洗浄液配管５９ａには、バルブ６３が設けられており、このバルブ６３の開閉状態を切り替えることより洗浄液の送液と送液の停止を行うことができるようになっている。

【0037】

この洗浄液容器８から本体部１１への洗浄液の送液は、前述の加圧部によって行われる。すなわち、洗浄液容器８には、加圧部がガス配管５９ｂにより接続されており、加圧部から洗浄液容器８にガスを供給できるようになっている。これにより、洗浄液容器８内が加圧され、洗浄液が洗浄液配管５９ａを通じて本体部１１への送液が可能となる。そして、バルブ９２を開状態に切り替えることによって、本体部１１内が減圧され、本体部１１内に洗浄液が供給される。

【0038】

そして、本体部１１内には、供給された洗浄液が一時的に溜められるようになっている。本実施形態では、バルブ９２を開状態に切り替えて本体部１１内の圧力が薬液配管５６内の圧力よりも小さくなるように本体部１１内を減圧し、薬液配管５６に設けられた後述するバルブ６４と後述するバルブ６５を閉状態に切り替えることによって、本体部１１内から洗浄液が排出されないようにして本体部１１内に洗浄液を溜めさせている。ここで、本体部１１内には、前述の通り液溜め領域Ａと非液溜め領域Ｂが形成されており、洗浄液は液溜め領域Ａに溜められる。

【0039】

そして、本体部１１内に一定時間溜められた後の洗浄液は、薬液配管５６に排出される。具体的には、加圧部により本体部１１内の圧力が薬液配管５６内の圧力よりも大きくなるように調節し、本体部１１内から洗浄液が薬液配管５６に排出されるようにしている。これにより、本体部１１内の液溜め領域Ａを形成する壁部に付着していた薬液等が洗い流される。

【0040】

ここで、薬液配管５６は、図１に示すように、反応容器４と本体部１１を連結する薬液配管５６ａと、排液タンクと本体部１１を連結する排液配管５６ｂに分岐するように形成されている。そして、薬液配管５６ａには、バルブ６４が設けられ、排液配管５６ｂにはバルブ６５が設けられており、バルブ６４を閉状態に切り替えるとともに、バルブ６５を開状態に切り替えることによって、本体部１１内に一定時間溜められた後の洗浄液は排液配管５６ｂを通じて排液タンクに排液される。これにより、本体部１１内から排出された洗浄液が、反応容器４内を経由することなく、排液タンクに排液される。

【0041】

また、本体部１１には、図２に示すように本体部１１を上部分離体１３と下部分離体１４に分離する分離部１５が形成されている。分離部１５は、上部分離体１３と下部分離体１４の接合部にもなっており、本実施形態では、図２および図３に示すような一対のフランジ１６により形成されている。

【0042】

具体的には、分離部１５は、上部分離体１３の下端部における側壁部１１ｂが径方向外側に向かって環状に広がるように形成されたフランジ１６ａと、下部分離体１４の上端部における側壁部１１ｂが径方向外側に向かって環状に広がるように形成されたフランジ１６ｂにより形成されている。これらフランジ１６の接合面には、溝１７（図３を参照）が形成されており、この溝１７にＯリング等のシール部材１８（図２を参照）を挟んで接合されるようになっている。そして、一対のフランジ１６を接合させた状態で図示しないヘルールクランプにより締結されて固定されることによって、図２に示すように本体部１１が形成される。そして、ヘルールクランプによる一対のフランジ１６の締結を解除することによって、図３に示すように本体部１１が上部分離体１３と下部分離体１４に分離される。

【0043】

ここで、分離部１５は、非液溜め領域Ｂと液溜め領域Ａの一部が形成された上部分離体１３と、液溜め領域Ａが形成された下部分離体１４に本体部１１を分離させるように形成されている。具体的には、分離部１５が本体部１１の側壁部１１ｂにおいて液溜め領域Ａが薬液で満たされたときの薬液の液面の高さよりも下側に位置するように形成されており、この分離部１５よりも上側に形成される上部分離体１３に非液溜め領域Ｂと液溜め領域Ａの一部が形成され、分離部１５よりも下側に形成される下部分離体１４に液溜め領域Ａが形成される。これにより、清掃作業の際、上部分離体１３を下部分離体１４から分離して清掃作業を行いやすい場所に移動させることで、上部分離体１３の非液溜め領域Ｂが形成されている部分に容易にアクセスすることができる。そして、人手を上部分離体１３内に挿入して拭き取りなどの清掃を行うことによって、液はね等で本体部１１内の非液溜め領域Ｂが形成されている部分に付着した薬液等を除去することができる。

【0044】

また、排出部１２は、上部分離体１３に設けられている。具体的には、本体部１１の側壁部１１ｂにおいて分離部１５よりも上側に所定の間隔を空けて形成されている。これにより、上部分離体１３に排出部１２が設けられるため、非液溜め領域Ｂを上部分離体１３のみに確実に形成させることができる。これにより、上部分離体１３を下部分離体１４から分離して清掃する際に非液溜め領域Ｂが形成されている部分を確実に清掃することができる。

【0045】

また、本体部１１に接続される薬液配管５３、排液配管５５、ガス配管５７ａ、ガス配管５７ｂ、ガス配管５７ｃ、および洗浄液配管５９ａ（以下、これらを配管５と呼ぶ）は、上部分離体１３に接続されている。そして、上部分離体１３に接続された各配管５は、上部分離体１３の近傍で分離されるように形成されている。具体的には、図２に示すように、各配管５は、配管５の分離時に本体部１１に接続された状態で残る配管５ａと、もう一方側の配管５ｂのそれぞれの先端にフランジ１９が形成されている。これらフランジ１９の接合面には、図示しない溝が形成され、この溝にＯリング等の図示しないシール部材を挟んでそれぞれのフランジ１９を接合させた状態で図示しないヘルールクランプにより締結されて固定されることによって各配管５が形成されている。このヘルールクランプによる締結を解除することによって、図３に示すように配管５ａが配管５ｂから分離される。

【0046】

これにより、清掃作業の際、各配管５を配管５ａと配管５ｂに分離することによって、上部分離体１３を下部分離体１４から分離して清掃作業が行いやすい場所に移動させるときに、各配管５が障害になりにくくなる。

【0047】

このように、上記実施形態におけるバッファタンク１によれば、非液溜め領域Ｂが形成された上部分離体１３と、液溜め領域Ａが形成された下部分離体１４に本体部１１を分離することができるため、液溜め領域Ａが形成された下部分離体１３を先に洗浄液で清掃した後に、洗浄液で清掃することができない非液溜め領域Ｂが形成された上部分離体１３を下部分離体１４から分離して清掃作業を行いやすい場所に移動させてから清掃することが可能になる。そのため、バッファタンク１の周囲に存在する配管等の障害物を避けながら本体部１１内の非液溜め領域Ｂが形成されている部分に人手を伸ばして清掃する作業を回避することができる。これにより、清掃作業の煩わしさを抑えることができ、清掃が容易になるため、十分な清掃を行いやすくなる。したがって、清掃後の内部に異物が残ることを防ぐことができる。

【0048】

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。

【0049】

たとえば、上記実施形態では、分離部１５は、本体部１１の側壁部１１ｂにおいて前述の排出部１２よりも下側に排出部１２と所定の間隔を空けて形成されている例について説明したが、本体部１１内の側壁部１１ｂにおいて排出部１２の開口の下端部と同じ高さに位置するように形成されてもよい。この構成であっても、上部分離体１３に排出部１２が設けられるため、上部分離体１３に非液溜め領域Ｂを確実に形成させることができる。

【0050】

また、上記実施形態では、分離部１５を一対のフランジ１６により形成し、これらフランジ１６をヘルールクランプにより締結と締結の解除を行うことによって、本体部１１の形成と、上部分離体１３と下部分離体１４の分離を行う例について説明したが、ヘルールクランプではなくボルト等の部材によって締結と締結の解除を行うことによって行ってもよい。

【0051】

また、上記実施形態では、排出部１２から本体部１１内の溶液を排出することによって、本体部１１内に非液溜め領域Ｂを形成する例について説明したが、これに限られない。たとえば、本体部１１内の溶液の量を計測する図示しない計測手段を設け、この計測手段により本体部１１内の溶液の量の計測を行いながら、本体部１１内に溶液を供給または本体部１１内から溶液を排液させることによって、本体部１１内に非液溜め領域Ｂを形成してもよい。これにより、排出部１２を設けなかったとしても、供給部１１内に任意の非液溜め領域Ｂを形成させることができる。

【符号の説明】

【0052】

１００ 薬液合成装置
１ バッファタンク
１１ 本体部
１１ａ 天壁部
１１ｂ 側壁部
１１ｃ 底壁部
１２ 排出部
１３ 上部分離体
１４ 下部分離体
１５ 分離部
１６ フランジ
１６ａ フランジ
１６ｂ フランジ
１７ 溝
１８ シール部材
１９ フランジ
２ 収容容器
３ 計量機構
３１ 計量容器
３２ 計量部
４ 反応容器
５ 配管
５１ 薬液配管
５２ ガス配管
５３ 薬液配管
５４ ガス配管
５５ 排液配管
５６ 薬液配管
５６ａ 薬液配管
５６ｂ 排液配管
５７ａ ガス配管
５７ｂ ガス配管
５７ｃ ガス配管
５８ 排液配管
５９ａ 洗浄液配管
５９ｂ ガス配管
６１ バルブ
６２ バルブ
６３ バルブ
６４ バルブ
６５ バルブ
７１ 圧力測定部
８ 洗浄液タンク
９１ バルブ
９２ バルブ
Ａ 液溜め領域
Ｂ 非液溜め領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】