特開 2024-141531 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024141531

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241003BHJP

   B65C 1/00 20060101ALI20241003BHJP

   B65C 9/20 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C1/00

B65C9/20

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023053240

(22)【出願日】2023-03-29

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA06

3E095AA20

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA22

3E095DA42

3E095DA48

3E095DA52

3E095EA24

3E095EA27

3E095FA12

5F131AA02

5F131AA12

5F131AA13

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131CA09

5F131DA02

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EA22

5F131EA24

5F131EB01

5F131EB31

5F131EB42

5F131EB46

5F131EB62

5F131EB81

5F131EB82

(57)【要約】

【課題】接着シート上に重なった接着シート部分が当該接着シート上から剥がれ易くなることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】供給される接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの反接着面ＡＳ２上に、当該接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの接着面ＡＳ１が重なるようにして、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するシート貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、第１接着面ＭＳ１と第２接着面ＭＳ２とを備えた仲介シートＭＳを供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとの間に配置する仲介シート配置手段４０を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

供給される接着シートにおける供給方向先端部の反接着面上に、当該接着シートにおける供給方向後端部の接着面が重なるようにして、当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付手段を備えたシート貼付装置において、
第１接着面と第２接着面とを備えた仲介シートを前記供給方向先端部と前記供給方向後端部との間に配置する仲介シート配置手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

供給される接着シートにおける供給方向先端部および供給方向後端部の少なくとも一方の反接着面上に、別の前記接着シートにおける供給方向先端部の接着面または、別の前記接着シートにおける供給方向後端部の接着面が重なるようにして、それら接着シートを被着体に貼付するシート貼付手段を備えたシート貼付装置において、
第１接着面と第２接着面とを備えた仲介シートを前記供給方向先端部と前記供給方向後端部との間に配置する仲介シート配置手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項3】

前記シート貼付手段は、前記被着体の所定の一面から前記接着シートの一部がはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを前記一面に貼付する第１貼付手段と、前記はみ出し領域を前記被着体の別の面方向に折り曲げて貼付する第２貼付手段とを備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

前記接着シートは、硬化エネルギーによって硬化可能に設けられ、
前記被着体に貼付された前記接着シートに前記硬化エネルギーを付与し、当該接着シートを硬化させる硬化エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項5】

前記仲介シートは、第１接着面および第２接着面の少なくとも一方にカバーシートが仮着されており、
前記仲介シートから前記カバーシートを剥離するカバーシート剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項6】

供給される接着シートにおける供給方向先端部の反接着面上に、当該接着シートにおける供給方向後端部の接着面が重なるようにして、当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付工程を行うシート貼付方法において、
第１接着面と第２接着面とを備えた仲介シートを前記供給方向先端部と前記供給方向後端部との間に配置する仲介シート配置工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。

【請求項7】

供給される接着シートにおける供給方向先端部および供給方向後端部の少なくとも一方の反接着面上に、別の前記接着シートにおける供給方向先端部の接着面または、別の前記接着シートにおける供給方向後端部の接着面が重なるようにして、それら接着シートを被着体に貼付するシート貼付工程を行うシート貼付方法において、
第１接着面と第２接着面とを備えた仲介シートを前記供給方向先端部と前記供給方向後端部との間に配置する仲介シート配置工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）では、保護テープ２７（接着シート）における供給方向先端部の基材テープ上に、同接着シートにおける供給方向後端部の粘着層が重なるようにして当該接着シートをウェハＷ（被着体）に貼付するようになっている。
しかし、特許文献１に記載されたようなシート貼付装置で採用される接着シートは、被着体に強く接着する粘着層を有するものが選定されるであろうが、そのような粘着層は、必ずしも基材テープにも強く接着するとは限らないため、接着シート上に重なった接着シート部分が当該接着シート上から剥がれ易くなるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シート上に重なった接着シート部分が当該接着シート上から剥がれ易くなることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、供給方向先端部と供給方向後端部との間に仲介シートを配置するので、接着シート上に重なった接着シート部分は、仲介シートを介して当該接着シート上に貼付されるようになる。従って、接着シート上に重なった接着シート部分が当該接着シート上から剥がれ易くなることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｈ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｉ）～（Ｋ）は、本発明のシート貼付装置の変形例に係る説明図。

【図2】（Ａ）～（Ｆ）は、本発明のシート貼付装置の変形例に係る説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。図１（Ｄ）の実線は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。図１（Ｄ）の二点鎖線は、図１（Ａ）のＤＲ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付方法を実施するシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給される接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの反接着面ＡＳ２上に、当該接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの接着面ＡＳ１が重なるようにして、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するシート貼付工程を実施するシート貼付手段２０と、仲介シートＭＳを供給する仲介シート供給工程を実施する仲介シート供給手段３０と、第１接着面ＭＳ１と第２接着面ＭＳ２とを備えた仲介シートＭＳを供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとの間に配置する仲介シート配置工程を実施する仲介シート配置手段４０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶを付与し、当該接着シートＡＳを硬化させる硬化エネルギー付与工程を実施する硬化エネルギー付与手段５０と、仲介シートＭＳからカバーシートＣＳを剥離するカバーシート剥離工程を実施するカバーシート剥離手段６０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送工程を実施する被着体搬送手段７０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、供給方向の長さが被着体ＷＫの周長（外周面ＷＫ３の１周の長さ）よりも長いものが採用され、図１（Ａ）中ＣＣを付した図に示すように、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＬが積層され、当該接着剤層ＡＬにおける基材シートＢＳに当接した面の反対側の面が接着面ＡＳ１となり、当該基材シートＢＳにおける接着剤層ＡＬに当接した面の反対側の面が反接着面ＡＳ２となっている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。
さらに、仲介シートＭＳは、第１接着面ＭＳ１の基材シートＢＳに対する接着力が、接着シートＡＳにおける接着面ＡＳ１の基材シートＢＳに対する接着力よりも大きなものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、変形エネルギーとしての熱によって変形可能、且つ、硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶによって硬化可能なものが採用されている。具体的には、基材シートＢＳが熱によって変形し、接着剤層ＡＬが紫外線ＵＶによって硬化する構成となっている。
また、本実施形態の基材シートＢＳは、紫外線ＵＶを透過可能なものが採用されている。

【0012】

シート貼付手段２０は、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨ（図１（Ｂ）参照）が形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の両方向に折り曲げて貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段２２とを備えている。
第１貼付手段２１は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１Ａを備え、接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付するようになっている。
第２貼付手段２２は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した変形エネルギーとしての熱である熱風ＨＡを接着シートＡＳに吹き付け、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げる変形エネルギー付与工程を実施する変形エネルギー付与手段としての熱風送風機２２Ａと、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ２２Ｂ、第３押圧ローラ２２Ｃとを備えている。
なお、第１押圧ローラ２１Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
また、熱風送風機２２Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに、熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。
さらに、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃは、図１（Ｄ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃは、ＸＹ平面に対し、それぞれ４５度（１３５度）、１８０度（０度）の角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0013】

仲介シート供給手段３０は、供給手段１０と同等の構成であり、当該供給手段１０の構成説明における付番の十の位の１を３に変更するとともに、供給手段、接着シートＡＳ、剥離シートＲＬおよび原反ＲＳを、それぞれ仲介シート供給手段、仲介シートＭＳ、剥離シートＲＬ１および原反ＲＳ１に変更して読み替えることで説明ができるので図示のみとし、その詳細な構成説明は省略する。
なお、本実施形態の仲介シートＭＳは、変形エネルギーとしての熱によって変形可能、且つ、硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶによって硬化可能なものが採用されている。
また、本実施形態の仲介シートＭＳは、図１（Ａ）中ＤＤを付した図に示すように、第２接着面ＭＳ２にカバーシートＣＳが仮着されており、カバーシートＣＳおよび仲介シートＭＳの両方は、紫外線ＵＶを透過可能なものが採用されている。

【0014】

仲介シート配置手段４０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての仲介シート押圧ローラ４１を備えている。

【0015】

硬化エネルギー付与手段５０は、発光ダイオードや紫外線発光ランプ等の図示しない紫外線発光機器で発光した紫外線を照射する紫外線照射機５１を備えている。
なお、紫外線照射機５１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに紫外線ＵＶを照射可能な位置に配置されている。

【0016】

カバーシート剥離手段６０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ６１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ６２と、駆動機器としての直動モータ６３の出力軸６３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ６４と、駆動機器としての回動モータ６５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ６５Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ６５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ６５Ｂとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ６６とを備えている。

【0017】

被着体搬送手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１と、そのスライダ７１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ７２と、その出力軸７２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面７３Ａを有する支持テーブル７３とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル７３は、回動モータ７２によってテーブル中心７３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0018】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳ、ＲＳ１をセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して、図１（Ａ）に示すように、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａの駆動を停止する。また、仲介シート供給手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、原反ＲＳ１を繰り出して、図１（Ａ）に示すように、剥離板３４の剥離縁３４Ａによって折り返された剥離シートＲＬ１の折返し部で、先頭の仲介シートＭＳの供給方向先端部が当該剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離されると、回動モータ３５Ａの駆動を停止する。

【0019】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心７３Ｃと重なるように、一方の面ＷＫ１を支持面７３Ａ側にして被着体ＷＫを当該支持面７３Ａ上に載置すると、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面７３Ａでの吸着保持を開始する。その後、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、支持テーブル７３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心７３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、リニアモータ７１の駆動を停止する。

【0020】

次に、供給手段１０および被着体搬送手段７０が回動モータ１５Ａ、７２を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、第１押圧ローラ２１Ａの押圧領域である第１押圧領域を通過すると、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、第１押圧ローラ２１Ａによって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧され、当該外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で被着体ＷＫに貼付される。そして、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端縁が仲介シート供給手段３０に対する所定の位置に到達すると、当該仲介シート供給手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、仲介シートＭＳを供給する。これにより、仲介シートＭＳは、剥離シートＲＬ１の折返し部で当該剥離シートＲＬ１から剥離され、仲介シート押圧ローラ４１の押圧領域である仲介シート押圧領域を通過すると、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、カバーシートＣＳを介して仲介シート押圧ローラ４１によって押圧され、第１接着面ＭＳ１が反接着面ＡＳ２に当接した状態で接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦに貼付される。次いで、先頭の仲介シートＭＳに続く次の仲介シートＭＳの供給方向先端部が、剥離シートＲＬ１の折返し部で当該剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離されると、仲介シート供給手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止し、仲介シートＭＳの供給を停止する。

【0021】

その後、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端縁が熱風送風機２２Ａの熱風吹付領域手前に到達すると、シート貼付手段２０が熱風送風機２２Ａを駆動し、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。次に、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風吹付領域を通過すると、熱風ＨＡによって当該接着シートＡＳが変形し、図１（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。この際、仲介シートＭＳおよびカバーシートＣＳも、接着シートＡＳと同様に一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。

【0022】

その後も回動モータ１５Ａ、７２の駆動が続行され、接着シートＡＳが第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃの押圧領域である第２、第３押圧領域を通過すると、図１（Ｄ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されていく。この際、仲介シートＭＳおよびカバーシートＣＳも、接着シートＡＳと同様に第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃによって段階的に折り曲げられる。そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端縁が紫外線照射機５１の紫外線照射領域手前に到達すると、硬化エネルギー付与手段５０が紫外線照射機５１を駆動し、被着体ＷＫに向けて紫外線ＵＶの照射を開始する。次いで、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが紫外線照射領域を通過すると、カバーシートＣＳを透過した紫外線ＵＶによって仲介シートＭＳが硬化し、カバーシートＣＳ、仲介シートＭＳおよび基材シートＢＳを透過した紫外線ＵＶによって接着剤層ＡＬが硬化していく。

【0023】

その後、図１（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳに貼付された仲介シートＭＳの第２接着面ＭＳ２に仮着されているカバーシートＣＳの供給方向先端縁が剥離ローラ６４の剥離領域に到達すると、カバーシート剥離手段６０が直動モータ６３を駆動し、剥離ローラ６４を移動させて剥離用テープＰＴをカバーシートＣＳの供給方向先端部に貼付した後、回動モータ６５Ａを駆動し、被着体ＷＫの回転速度に合わせて駆動ローラ６５を回転させる。これにより、カバーシートＣＳは、仲介シートＭＳの第２接着面ＭＳ２から剥離され、図１（Ｆ）に示すように、剥離用テープＰＴと共に回収ローラ６６方向に送られる。なお、本実施形態のように、カバーシートＣＳが一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていると、剥離用テープＰＴとカバーシートＣＳとの接着面積が少なくなり、剥離中のカバーシートＣＳが剥離用テープＰＴから剥離し易くなるため、例えば、剥離ローラ６４として弾性変形が可能なものや、断面視Ｕ字状の押圧面を備えたものを採用し、剥離用テープＰＴをカバーシートＣＳに貼付する際、一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっているカバーシートＣＳ部分に対しても、剥離用テープＰＴが回り込んで接着するようにするとよい。次に、カバーシートＣＳの供給方向後端縁が剥離領域を通過すると、カバーシート剥離手段６０が直動モータ６３を駆動し、剥離ローラ６４を初期位置に復帰させた後、回動モータ６５Ａの駆動を停止する。

【0024】

そして、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが再び第１押圧領域を通過すると、図１（Ｇ）に示すように、当該接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが第１押圧ローラ２１Ａによって押圧され、接着面ＡＳ１が第２接着面ＭＳ２に当接した状態で、仲介シートＭＳに貼付されていく。次いで、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの供給を停止する。その後、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端縁が第１押圧領域を通過した後、熱風吹付領域を通過すると、シート貼付手段２０が熱風送風機２２Ａの駆動を停止する。次いで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端縁が第２、第３押圧領域を通過した後、紫外線照射領域を通過すると、硬化エネルギー付与手段５０が紫外線照射機５１の駆動を停止する。これにより、図１（Ｈ）に示すように、仲介シートＭＳを介して供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なった一体物ＵＰが形成される。仲介シートＭＳは、第１接着面ＭＳ１の基材シートＢＳに対する接着力が、接着シートＡＳにおける接着面ＡＳ１の基材シートＢＳに対する接着力よりも大きなものが採用されている。なお、供給方向先端部ＡＳＦ上に重なった供給方向後端部ＡＳＲは、接着面ＡＳ１の接着力と第２接着面ＭＳ２の接着力との相乗効果によって相互の接着力が増加するため、接着面ＡＳ１単体での接着力よりも大きな接着力で仲介シートＭＳに接着する。また、仲介シートＭＳの第１接着面ＭＳ１の基材シートＢＳに対する接着力が、接着面ＡＳ１の基材シートＢＳに対する接着力よりも大きいので、供給方向後端部ＡＳＲは、接着面ＡＳ１単体での接着力よりも大きな接着力で供給方向先端部ＡＳＦ上に接着することとなる。

【0025】

その後、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端縁が所定の位置に到達すると、被着体搬送手段７０が回動モータ７２の駆動を停止した後、リニアモータ７１を駆動し、支持テーブル７３を初期位置に復帰させる。次に、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面７３Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面７３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0026】

以上のような実施形態によれば、供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとの間に仲介シートＭＳを配置するので、接着シートＡＳ上に重なった接着シートＡＳ部分は、仲介シートＭＳを介して当該接着シートＡＳ上に貼付されるようになる。従って、接着シートＡＳ上に重なった接着シートＡＳ部分が当該接着シートＡＳ上から剥がれ易くなることを防止することができる。

【0027】

ここで、シート貼付装置ＥＡは、上記の実施形態で例示した供給手段１０と、シート貼付手段２０と、仲介シート供給手段３０と、仲介シート配置手段４０と、硬化エネルギー付与手段５０と、カバーシート剥離手段６０と、被着体搬送手段７０とを備え、供給される接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方の反接着面ＡＳ２上に、別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの接着面ＡＳ１または、別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの接着面ＡＳ１が重なるようにして、それら接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するシート貼付工程を実施するようにシート貼付手段２０を構成し、さらに、第１接着面ＭＳ１と第２接着面ＡＳ２とを備えた仲介シートＭＳを供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとの間に配置するシート貼付工程を実施するように仲介シート配置手段４０を構成して、図２各図に示すような一体物ＵＰを形成してもよい。なお、この場合、接着シートＡＳは、供給方向の長さが被着体ＷＫの外周面ＷＫ３の周長よりも短いものが採用される。また、仲介シート供給手段３０と仲介シート配置手段４０は、仲介シート供給工程と仲介シート配置工程において、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの反接着面ＡＳ２と、供給方向後端部ＡＳＲの反接着面ＡＳ２との両方に仲介シートＭＳを貼付することが可能としておく。また、カバーシート剥離工程において、供給方向先端部ＡＳＦの反接着面ＡＳ２に貼付された仲介シートＭＳと、供給方向後端部ＡＳＲの反接着面ＡＳ２に貼付された仲介シートＭＳとの両方からカバーシートＣＳを剥離することが可能としておく。このような構成とすることで、供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとの間に仲介シートＭＳを配置するので、接着シートＡＳ上に重なった別の接着シートＡＳ部分は、仲介シートＭＳを介して当該接着シートＡＳ上に貼付されるようになる。従って、接着シートＡＳ上に重なった接着シートＡＳ部分が当該接着シートＡＳ上から剥がれ易くなることを防止することができる。

【0028】

すなわち、シート貼付手段２０が被着体搬送工程、供給工程、シート貼付工程、仲介シート供給工程、仲介シート配置工程、硬化エネルギー付与工程およびカバーシート剥離工程（以下、これら７つの工程を「７工程」という）を行って、接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付した後、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの仲介シートＭＳ上に、別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの接着剤層ＡＬが重なるように、かつ、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの仲介シートＭＳ上に、別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの接着剤層ＡＬが重なるように、被着体搬送工程、供給工程、シート貼付工程および硬化エネルギー付与工程（以下、これら４つの工程を「４工程」という）を行う。これにより、シート貼付手段２０は、図２（Ａ）に示すように、接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲが重なるとともに、接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦが重なった一体物ＵＰを形成することができる。

【0029】

また、シート貼付手段２０が７工程を行って、接着シートＡＳを当該外周面ＷＫ３に貼付した後、図示しない天地反転手段で当該被着体ＷＫを天地反転させ、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの仲介シートＭＳ上に、別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの接着剤層ＡＬが重なるように、かつ、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳにおける供給方向前後部ＡＳＲの仲介シートＭＳ上に、別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの接着剤層ＡＬが重なるように、４工程を行う。これにより、シート貼付手段２０は、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦが重なるとともに、接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲが重なった一体物ＵＰを形成することができる。

【0030】

さらに、図２（Ｃ）に示すように、接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲが重なるとともに、別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの上に、仲介シートＭＳを介して接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲが重なった一体物ＵＰを形成することができる。
また、図２（Ｄ）に示すように、別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの上に、仲介シートＭＳを介して接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦが重なるとともに、接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦが重なった一体物ＵＰを形成することができる。
さらに、図２（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦが重なるとともに、別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの上に、仲介シートＭＳを介して接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲが重なった一体物ＵＰを形成することができる。
また、図２（Ｆ）に示すように、別の接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの上に、仲介シートＭＳを介して接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦが重なるとともに、接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲの上に、仲介シートＭＳを介して別の接着シートＡＳにおける供給方向後端部ＡＳＲが重なった一体物ＵＰを形成することができる。

【0031】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、硬化エネルギー付与手段は、被着体に貼付された接着シートに硬化エネルギーを付与し、当該接着シートを硬化可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0032】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳおよびカバーシートＣＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、１つの被着体ＷＫに対して接着シートＡＳと別の接着シートＡＳとを貼付する場合（１つの被着体ＷＫに対して複数の接着シートＡＳを貼付する場合）、接着シートＡＳを供給するものが別の接着シートＡＳも供給してもよいし、接着シートＡＳを供給するものと別の接着シートＡＳを供給するものとが別々のものであってもよく、接着シートＡＳと別の接着シートＡＳは、同種のものであってもよいし、異種のものであってもよい。
供給手段１０は、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が接着シートＡＳを供給してもよい。

【0033】

シート貼付手段２０は、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部が一方の面ＷＫ１方向のみまたは、他方の面ＷＫ２方向のみにはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付手段２１を採用してもよいし、被着体ＷＫの所定の一面としての一方の面ＷＫ１または他方の面ＷＫ２から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１または他方の面ＷＫ２に貼付する第１貼付手段２１を備えていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１方向のみまたは、被着体ＷＫの別の面としての他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付する第２貼付手段２２を備えていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向のみや、被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向および他方の面ＷＫ２方向や、被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向および一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付する第２貼付手段２２を備えていてもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル７３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、被着体搬送手段７０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、図１（Ｉ）、（Ｊ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成されないように、接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３のみや、一方の面ＷＫ１のみや、他方の面ＷＫ２のみ等に貼付してもよいし、図１（Ｋ）、図２各図に示すように、１つの被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付してもよいし、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥ以外の例えば中央部に接着シートＡＳを貼付してもよいし、例えば、第１貼付手段２１および第２貼付手段２２の少なくとも一方によって構成されてもよいし、例えば、第1押圧ローラ２１Ａ、熱風送風機２２Ａ、第２押圧ローラ２２Ｂおよび第３押圧ローラ２２Ｃの少なくとも１つによって構成されてもよいし、１つの被着体ＷＫに対して接着シートＡＳと別の接着シートＡＳとを貼付する場合（１つの被着体ＷＫに対して複数の接着シートＡＳを貼付する場合）、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するものとは別に、別の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するものを採用してもよく、接着シートＡＳと別の接着シートＡＳは、同種のものであってもよいし、異種のものであってもよい。
第１貼付手段２１は、押圧部材としてガイド板、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材、回行ベルト、大気やガス等の気体の吹き付け、チャックシリンダや多関節ロボット等を採用し、供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようにしてもよいし、被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された被着体ＷＫに対し、第１押圧ローラ２１Ａ等の部材が離間接近してもよい。
第２貼付手段２２は、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃが上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみまたは、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２ＣがＸＹ平面に対し、それぞれ３０度（１５０度）、１７９度（１度）といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃの２組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを２段階で一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付したが、３体または３組以上の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを３段階以上で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したり、１体または１組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを１段階で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したりしてもよいし、被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された被着体ＷＫに対し、熱風送風機２２Ａ、第２押圧ローラ２２Ｂまたは第３押圧ローラ２２Ｃ等の部材が離間接近してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、押圧部材としてガイド板、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材、回行ベルト、大気やガス等の気体の吹き付け、チャックシリンダや多関節ロボット等を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、変形エネルギー付与手段を介さずに、押圧部材のみによってはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、押圧部材を介さずに、変形エネルギー付与手段のみによってはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよい。
変形エネルギー付与手段は、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波を付与するものや、熱湯や熱風等の加熱媒体を付与するものや、冷水や冷風等の冷却媒体を付与するもの等どのようなものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを変形させることができるものであればどのような変形エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに変形エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で変形エネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げてもよい。

【0034】

シート貼付手段２０は、第１貼付手段２１および第２貼付手段２２の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を備えた押圧部材を採用してもよい。このようなシート貼付手段２０の場合、例えば、仲介シートＭＳを介して供給方向後端部ＡＳＲを供給方向先端部ＡＳＦに貼付した１枚の接着シートＡＳを、保持部材で保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、保持部材で接着シートＡＳを１枚ずつ保持して被着体ＷＫに貼付するように構成し、先に被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲに、後から被着体ＷＫに貼付する別の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲが、仲介シートＭＳを介して貼付されるようにしてもよいし、保持部材で接着シートＡＳを複数保持して被着体ＷＫに貼付するように構成し、先に保持した接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲに、後から保持する別の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲが、仲介シートＭＳを介して貼付されるようにして保持し、当該保持部材で保持した複数の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよい。

【0035】

仲介シート供給手段３０は、帯状の剥離シートＲＬ１に仮着された帯状の仲介シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が仲介シートＭＳとされた原反ＲＳ１から当該仲介シートＭＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬ１に帯状の仲介シート基材が仮着された帯状仲介シート原反を採用し、当該帯状仲介シート原反を繰り出す途中で、仲介シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が仲介シートＭＳとされた原反ＲＳ１から当該仲介シートＭＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬ１に帯状の仲介シートＭＳが仮着された原反ＲＳ１から当該帯状の仲介シートＭＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳ１から仲介シートＭＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬ１を回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬ１に仮着されていない仲介シートＭＳを繰り出して供給してもよいし、１枚の接着シートＡＳに対して仲介シートＭＳと別の仲介シートＭＳとを配置する場合（１枚の接着シートＡＳに対して複数の仲介シートＭＳを配置する場合）、仲介シートＭＳを供給するものと、別の仲介シートＭＳを供給するものとが単一のものであってもよいし、別々のものであってもよく、この際の仲介シートＭＳと別の仲介シートＭＳは、同種のものであってもよいし、異種のものであってもよい。
仲介シート供給手段３０は、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が仲介シートＭＳを供給してもよい。
仲介シート供給手段３０は、例えば、供給手段１０が接着シートＡＳをシート貼付手段２０に供給する前の段階で、当該接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲの反接着面ＡＳ２や接着面ＡＳ１に仲介シート配置手段４０が仲介シートＭＳを貼付しておける位置に配置されてもよいし、例えば、供給手段１０と第１押圧ローラ２１Ａとの間、熱風送風機２２Ａと第２押圧ローラ２２Ｂとの間、第２押圧ローラ２２Ｂと第３押圧ローラ２２Ｃとの間、第３押圧ローラ２２Ｃと紫外線照射機５１との間、紫外線照射機５１とカバーシート剥離手段６０との間等、どこに配置されてもよく、供給手段１０と第１押圧ローラ２１Ａとの間に配置された場合、第１貼付手段２１が仲介シート配置手段４０を兼用する構成としてもよい。

【0036】

仲介シート配置手段４０は、被着体ＷＫに仲介シートＭＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル７３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、被着体搬送手段７０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、仲介シートＭＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、図１（Ｋ）、図２各図に示すように、１枚の接着シートＡＳに複数（２枚以上）の仲介シートＭＳを貼付してもよいし、押圧部材としてガイド板、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材、回行ベルト、大気やガス等の気体の吹き付け、チャックシリンダや多関節ロボット等が採用されてもよいし、被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された被着体ＷＫに対し、押圧ローラ４１等の押圧部材が離間接近しなくてもよいし、供給手段１０が接着シートＡＳをシート貼付手段２０に供給する前の段階で、当該接着シートＡＳにおける供給方向先端部ＡＳＦの反接着面ＡＳ２および接着面ＡＳ１の少なくとも一方や、供給方向後端部ＡＳＲの反接着面ＡＳ２および接着面ＡＳ１の少なくとも一方に仲介シートＭＳを貼付してもよいし、例えば、供給手段１０と第１押圧ローラ２１Ａとの間、熱風送風機２２Ａと第２押圧ローラ２２Ｂとの間、第２押圧ローラ２２Ｂと第３押圧ローラ２２Ｃとの間、第３押圧ローラ２２Ｃと紫外線照射機５１との間、紫外線照射機５１とカバーシート剥離手段６０との間等、どこに配置されてもよいし、仲介シート押圧ローラ４１の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、当該保持部材で吸着保持した仲介シートＭＳを供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとの間に配置してもよいし、供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なる重なり部（以下、単に「重なり部」という）の全域に仲介シートＭＳを配置してもよいし、重なり部の一部に仲介シートＭＳを配置してもよいし、重なり部からはみ出た領域に仲介シートＭＳを配置してもよいし、重なり部と同じ領域に仲介シートＭＳを配置してもよいし、１枚の接着シートＡＳに対して仲介シートＭＳと別の仲介シートＭＳとを配置する場合（１枚の接着シートＡＳに対して複数の仲介シートＭＳを配置する場合）、仲介シートＭＳを配置するものと、別の仲介シートＭＳを配置するものとが単一のものであってもよいし、別々のものであってもよく、この際の仲介シートＭＳと別の仲介シートＭＳは、同種のものであってもよいし、異種のものであってもよい。

【0037】

硬化エネルギー付与手段５０は、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波を付与するものや、熱湯や熱風等の加熱媒体を付与するものや、冷水や冷風等の冷却媒体を付与するもの等どのようなものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを硬化させることができるものであればどのような硬化エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、例えば、シート貼付手段２０で接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付する前に、当該接着シートＡＳに硬化エネルギーを付与してもよく、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに硬化エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに一括で硬化エネルギーを付与し、当該接着シートＡＳを一括で硬化させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0038】

カバーシート剥離手段６０は、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳおよびカバーシートＣＳを移動させることなくまたは、移動させつつ、自身が移動して仲介シートＭＳ上からカバーシートＣＳを剥離してもよいし、保持手段として枚葉の剥離用シートＰＴを採用したり、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能なものを採用したりして、それら保持部材でカバーシートＣＳを保持して仲介シートＭＳ上からカバーシートＣＳを剥離してもよいし、圧縮空気の吹き付けによって仲介シートＭＳ上からカバーシートＣＳを剥離してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに当該カバーシート剥離手段６０が備わっていない場合、仲介シートＭＳ上にカバーシートＣＳが仮着されていない接着シートＡＳが採用されればよい。

【0039】

被着体搬送手段７０は、支持面７３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル７３が採用されてもよいし、リニアモータ７１、回動モータ７２および支持テーブル７３に代えて多関節ロボット等の駆動機器によって、シート貼付手段２０やシート貼付手段２０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようにしてもよいし、リニアモータ７１、回動モータ７２および支持テーブル７３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを搬送してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0040】

シート貼付装置ＥＡは、複数重ねられた被着体ＷＫに１または複数の接着シートＡＳを貼付し、それら被着体ＷＫを一体化してもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側の少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材を重ね合わせ、当該被着体ＷＫに１または複数の接着シートＡＳを貼付し、それらを一体化してもよい。
次工程は、めっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0041】

接着シートＡＳは、供給方向の長さが被着体ＷＫの周長よりも長くてもよいし、短くてもよいし、被着体ＷＫの周長と同じ長さでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものであってもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーを透過するものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのう両方が変形エネルギーを透過しないものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものである場合、当該変形エネルギーによって接着力が増加してもよいし、接着力が低下してもよいし、接着力が増加も低下もしなくてもよい。
接着シートＡＳは、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものであってもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーを透過するものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が硬化エネルギーを透過しないものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものである場合、収縮を伴って硬化したり、膨張を伴って硬化したり、収縮も膨張も伴うことなく硬化したりするものでもよいし、基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものである場合、当該硬化エネルギーによって接着力が増加してもよいし、接着力が低下してもよいし、接着力が増加も低下もしなくてもよい。
接着シートＡＳは、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのような変形エネルギーによって変形するものでもよいし、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのような硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形し、且つ、硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形し、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、平面形状が一直線形状、湾曲形状、屈折形状等、どのような形状でもよい。
接着剤層ＡＬは、単体の層で構成されていてもよいし、複数の層で形成されていたりしてもよい。
基材シートＢＳは、単体の層で構成されていてもよいし、複数の層で構成されていてもよい。
仲介シートＭＳは、同一の接着剤からなる接着剤層が相互に積層された２層構造のものでもよいし、異なる接着剤からなる接着剤層が相互に積層された２層構造のものでもよいし、同一の接着剤からなる接着剤層の間に１層または複数層からなる中間層が積層された少なくとも３層構造のものでもよいし、異なる接着剤からなる接着剤層の間に１層または複数層からなる中間層が積層された少なくとも３層構造のものでもよいし、接着剤層を構成する接着剤が単一の接着剤で構成されていてもよいし、複数の接着剤で構成されていてもよいし、当該仲介シートＭＳを構成するもののうち少なくとも１つが、変形エネルギーによって変形可能に設けられていてもよいし、当該仲介シートＭＳを構成するもののうち少なくとも１つが、硬化エネルギーによって硬化可能に設けられていてもよい。
仲介シートＭＳは、変形エネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよいし、変形エネルギーによって変形するものである場合、当該変形エネルギーによって接着力が増加してもよいし、接着力が低下してもよいし、接着力が増加も低下もしなくてもよい。
仲介シートＭＳは、硬化エネルギーによって硬化するものである場合、収縮を伴って硬化したり、膨張を伴って硬化したり、収縮も膨張も伴うことなく硬化したりするものでもよいし、硬化エネルギーによって硬化するものである場合、当該硬化エネルギーによって接着力が増加してもよいし、接着力が低下してもよいし、接着力が増加も低下もしなくてもよい。
仲介シートＭＳは、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのような変形エネルギーによって変形するものでもよいし、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのような硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形し、且つ、硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形し、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、平面形状が一直線形状、湾曲形状、屈折形状等、どのような形状でもよい。
仲介シートＭＳは、第１接着面ＭＳ１のみにカバーシートＣＳが仮着されていてもよいし、第２接着面ＭＳ２のみにカバーシートＣＳが仮着されていてもよいし、第１接着面ＭＳ１と第２接着面ＭＳ２との両方にカバーシートＣＳが仮着されていてもよく、カバーシート剥離手段６０は、第１接着面ＭＳ１のみからカバーシートＣＳを剥離してもよいし、第２接着面ＭＳ２のみからカバーシートＣＳを剥離してもよいし、第１接着面ＭＳ１と第２接着面ＭＳ２との両方からカバーシートＣＳを剥離してもよい。
カバーシートＣＳは、単体の層で構成されていてもよいし、複数の層で構成されていてもよいし、変形エネルギーによって変形するものであってもよいし、変形エネルギーによって変形しないものであってもよいし、紫外線ＵＶを透過しないものが採用されてもよく、この場合、カバーシート剥離手段６０でカバーシートＣＳを剥離してから、硬化エネルギー付与手段５０で接着シートＡＳに紫外線ＵＶを照射するようにしてもよい。
被着体ＷＫは、他方の面ＷＫ２側に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材が取り付けられていてもよい。

【0042】

本発明における接着シートＡＳ、仲介シートＭＳ、カバーシートＣＳ、被着体ＷＫおよび付属部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、仲介シートＭＳ、カバーシートＣＳ、被着体ＷＫおよび付属部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳや仲介シートＭＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳや仲介シートＭＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。さらに、被着体ＷＫおよび付属部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0043】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0044】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0045】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…シート貼付手段
２１…第１貼付手段
２２…第２貼付手段
４０…仲介シート配置手段
５０…硬化エネルギー付与手段
６０…カバーシート剥離手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＦ…供給方向先端部
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳＲ…供給方向後端部
ＡＳ１…接着面
ＡＳ２…反接着面
ＣＳ…カバーシート
ＭＳ…仲介シート
ＭＳ１…第１接着面
ＭＳ２…第２接着面
ＵＶ…紫外線（硬化エネルギー）
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

【図1】

【図2】