特開 2024-141791 シート処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024141791

(43)【公開日】2024-10-10

(54)【発明の名称】シート処理装置

(51)【国際特許分類】

   B65H 5/08 20060101AFI20241003BHJP

   B65G 47/34 20060101ALI20241003BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20241003BHJP

   B26D 7/02 20060101ALI20241003BHJP

   B26D 7/20 20060101ALI20241003BHJP

   B26D 7/06 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

B65H5/08 A

B65H5/08 B

B65G47/34

H01L21/68 N

B26D7/02 B

B26D7/20

B26D7/06 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023053629

(22)【出願日】2023-03-29

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000970

【氏名又は名称】弁理士法人 楓国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100130638

【弁理士】

【氏名又は名称】野末 貴弘

(74)【代理人】

【氏名又は名称】西澤 均

(72)【発明者】

【氏名】西村 孝士

(72)【発明者】

【氏名】藤分 浩一郎

【テーマコード（参考）】

3C021

3F015

3F101

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C021CA01

3C021GA03

3F015AA20

3F015BA03

3F015CA02

3F015CA03

3F101CA05

3F101CC05

3F101CC11

3F101CC22

3F101CC29

3F101CE04

3F101LA16

3F101LB10

5F131AA13

5F131AA21

5F131AA23

5F131BA31

5F131BA53

5F131CA07

5F131DA33

5F131DA52

5F131DA55

5F131DB22

5F131DB62

5F131DB72

5F131EA05

5F131EA07

5F131EB01

5F131EB62

5F131EB64

(57)【要約】

【課題】長尺状のシートに反りが生じている場合でも、反りを抑制した処理を行うことができるシート処理装置を提供する。
【解決手段】シート処理装置１００は、長尺状のシート１を挟んで把持する把持部１１と、吸引によってシート１を吸着する吸引部１２とを備える搬送部１０と、吸引によってシート１を吸着する吸引ステージ２１と、吸引ステージ２１によって吸着された状態のシート１に対して処理を行う処理部２２とを備える。搬送部１０は、把持部１１がシート１を把持し、かつ、吸引部１２がシート１を吸着した状態で、シート１を吸引ステージ２１へと搬送する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺状のシートを挟んで把持する把持部と、吸引によって前記シートを吸着する吸引部とを備える搬送部と、
吸引によって前記シートを吸着する吸引ステージと、
前記吸引ステージによって吸着された状態の前記シートに対して処理を行う処理部と、
を備え、
前記搬送部は、前記把持部が前記シートを把持し、かつ、前記吸引部が前記シートを吸着した状態で、前記シートを前記吸引ステージへと搬送することを特徴とするシート処理装置。

【請求項2】

前記搬送部は、前記シートの長さ方向、および、前記シートの表面と直交する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項3】

前記搬送部は、前記シートを前記吸引ステージへと搬送する際、前記シートの表面と直交する方向に移動した後、前記シートの長さ方向に移動することを特徴とする請求項２に記載のシート処理装置。

【請求項4】

前記搬送部は、前記シートを前記吸引ステージへと搬送する際、前記シートの表面と直交する方向への移動中に、前記シートの長さ方向に移動することを特徴とする請求項２に記載のシート処理装置。

【請求項5】

前記搬送部が前記シートを前記吸引ステージへと搬送した際、前記吸引部は、少なくとも前記吸引ステージによる前記シートの吸引の開始以後に前記シートの吸引を解除することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項6】

前記吸引部は、前記シートを上方から吸引することによって吸着することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項7】

前記処理部は、前記シートの切断、前記シートに対する印刷、前記シートに対する吐出物の吐出、前記シートに対する熱処理、前記シートの測定、前記シートの検査、前記シートに対するレーザ加工、前記シートの組立加工、前記シートの積層、および、前記シートの搬送のうちの少なくとも１つの処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項8】

前記吸引部は、前記把持部よりも前記シートの搬送方向の前側に位置することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項9】

前記把持部は、前記吸引部よりも前記シートの搬送方向の前側に位置することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項10】

前記吸引部は、前記把持部に対して前記シートの幅方向に並んで設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項11】

前記搬送部は、前記シートの幅方向に並んで２つ設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項12】

前記把持部が前記シートを把持する際に前記シートと接する部分には、弾性体が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項13】

前記搬送部が前記シートを前記吸引ステージへと搬送する際、前記シートには、長さ方向に張力が加えられていることを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【請求項14】

前記シートは、前記シートの長さ方向および幅方向のうちの少なくとも一方の方向に反りが生じていることを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、長尺状のシートに対して処理を行うシート処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

長尺状のシートを搬送して処理を行うシート処理装置が知られている。

【0003】

特許文献１には、シート状の電極材を把持して、電極材を切断する切断位置まで搬送するハンドを備えた電極製造装置が開示されている。図１２は、特許文献１に記載の電極製造装置２００の構成を模式的に示す平面図である。図１３は、特許文献１に記載の電極製造装置２００の構成を模式的に示す側面図である。

【0004】

電極製造装置２００は、ハンド２１０と、第１吸着コンベア２２０と、第２吸着コンベア２３０と、前端金型２４０と、後端金型２５０とを備える。ハンド２１０は、シート状の電極材２６０を把持した状態で上方に移動することによって、電極材２６０を第１吸着コンベア２２０から浮かした状態で、前端金型２４０へと搬送する。前端金型２４０および後端金型２５０はそれぞれ、長尺状の電極材２６０を切断する。電極材２６０の切断時に、電極材２６０は第１吸着コンベア２２０によって吸着されて保持される。切断された電極材２６０は、第２吸着コンベア２３０によって、前端金型２４０よりもさらに先へと搬送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２－２２７１２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ここで、シート状の電極材２６０は、幅方向および長さ方向の少なくとも一方の方向に反りが生じている場合がある。特許文献１に記載の電極製造装置２００では、ハンド２１０が電極材２６０を把持して、切断処理を行う前端金型２４０まで空中搬送するが、図１２および図１３に示すように、電極材２６０の前方部分は把持されていない。このため、電極材２６０に反りが生じている場合には、反りが生じたまま前端金型２４０へと搬送され、反りが生じた状態の電極材２６０に対して前端金型２４０で切断処理が行われることになる。このため、反りに起因して、電極材２６０が適切に切断されない可能性がある。これは、電極材２６０に対する処理が切断以外の処理の場合も同様であり、また、処理対象であるシートが電極材２６０以外の場合も同様である。

【0007】

本発明は、上記課題を解決するものであり、長尺状のシートに反りが生じている場合でも、反りを抑制した状態で処理を行うことができるシート処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明のシート処理装置は、
長尺状のシートを挟んで把持する把持部と、吸引によって前記シートを吸着する吸引部とを備える搬送部と、
吸引によって前記シートを吸着する吸引ステージと、
前記吸引ステージによって吸着された状態の前記シートに対して処理を行う処理部と、
を備え、
前記搬送部は、前記把持部が前記シートを把持し、かつ、前記吸引部が前記シートを吸着した状態で、前記シートを前記吸引ステージへと搬送することを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

本発明のシート処理装置によれば、搬送部は、把持部がシートを把持し、かつ、吸引部がシートを吸着した状態でシートを吸引ステージへと搬送し、吸引ステージでシートを吸着した状態で、処理部によってシートに対して処理を行うので、シートに反りが生じている場合でも、反りを抑制した状態で処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】一実施形態におけるシート処理装置の全体の構成を模式的に示す側面図である。

【図2】一実施形態におけるシート処理装置のうち、搬送部の構成を模式的に示す斜視図である。

【図3】シート処理装置のうちの搬送部を、吸着面側から見たときの構成を模式的に示す斜視図である。

【図4】（ａ）～（ｃ）はそれぞれ、反りが生じているシートの形状を模式的に示す斜視図である。

【図5】把持部が吸引部よりもシートの搬送方向の前側に位置する場合のシート処理装置の構成を模式的に示す側面図である。

【図6】（ａ）は、把持部と吸引部がシートの幅方向に並んで配置されている場合の構成を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す搬送部を矢印Ｙ１の方向に見たときの構成を模式的に示す図である。

【図7】（ａ）は、搬送部がシートの幅方向に並んで２つ設けられている場合の構成を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す搬送部を矢印Ｙ２の方向に見たときの構成を模式的に示す図である。

【図8】（ａ）～（ｃ）は、一実施形態におけるシート処理装置の動作を説明するための図である。

【図9】（ａ）～（ｃ）は、図８に続いて、一実施形態におけるシート処理装置の動作を説明するための図である。

【図10】（ａ）は、シートの搬送方向が斜め方向である場合のシート処理装置の構成を模式的に示す側面図であり、（ｂ）は、シートの搬送方向が鉛直方向である場合のシート処理装置の構成を模式的に示す側面図である。

【図11】シートに対して第２の平板部が上方に位置し、第１の平板部が下方に位置している場合のシート処理装置の構成を模式的に示す側面図である。

【図12】特許文献１に記載の電極製造装置の構成を模式的に示す平面図である。

【図13】特許文献１に記載の電極製造装置の構成を模式的に示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴を具体的に説明する。

【0012】

図１は、一実施形態におけるシート処理装置１００の全体の構成を模式的に示す側面図である。図２は、一実施形態におけるシート処理装置１００のうち、後述する搬送部１０の構成を模式的に示す斜視図である。図３は、シート処理装置１００のうちの搬送部１０を、後述する吸着面１２ａ側から見たときの構成を模式的に示す斜視図である。

【0013】

一実施形態におけるシート処理装置１００は、搬送部１０と、吸引ステージ２１と、処理部２２とを備える。

【0014】

搬送部１０は、長尺状のシート１を挟んで把持する把持部１１と、吸引によってシート１を吸着する吸引部１２とを備える。

【0015】

長尺状のシート１は、例えば、図１に示すように、巻き出しローラ２から巻き出されて、搬送部１０が配置されている位置へと供給される。シート１の幅は、例えば、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であり、厚みは、例えば、０．０５ｍｍ以上０．１ｍｍ以下である。シート１は、任意の材質からなり、例えば、金属、樹脂およびセラミックのうちの少なくとも１つを含む。シート１は、収縮率の異なる複数種類の材料がシート１の表面と直交する方向に重ねて配置されたものや、外力を解放すると一定の変形を保持し続けるものであってもよい。例えば、シート１は、セラミックグリーンシート、セラミックと樹脂との２層構造からなるシート、金属箔と樹脂との２層構造からなるシート、金属箔とセラミックとの２層構造からなるシート、金属箔と電極活物質層との２層構造からなるシート、印刷後の乾燥済みシートのうちのいずれか一つであってもよい。

【0016】

上述したような、収縮率の異なる複数種類の材料がシート１の表面と直交する方向に重ねて配置された構成のシート１では、反りが生じることがある。図４（ａ）～（ｃ）は、反りが生じているシート１の形状を模式的に示す斜視図である。

【0017】

図４（ａ）は、上側に膨らむように反りが生じている状態のシート１の形状の一例を示す図である。より具体的には、シート１の幅方向における中央部が上側に膨らむように反りが生じている。図４（ｂ）は、下側に膨らむように反りが生じている状態のシート１の形状の一例を示す図である。より具体的には、シート１の幅方向における中央部が下側に膨らむように反りが生じている。なお、上側および下側は、反りが生じていないシート１を水平面に載置した状態を基準としている。図４（ｃ）は、シート１の長さ方向において反りが生じている状態のシート１の形状の一例を示す図である。

【0018】

一実施形態におけるシート処理装置１００は、反りが生じているシート１に対して特に好ましく用いることができる。反りが生じているシート１は、図４（ａ）～（ｃ）に示すように、シート１の長さ方向および幅方向のうちの少なくとも一方の方向に反りが生じている。一実施形態におけるシート処理装置１００によれば、後述するように、シート１が上側に膨らむように反りが生じている場合、下側に膨らむように反りが生じている場合、シート１の長さ方向に反りが生じている場合、および、シート１の幅方向に反りが生じている場合のいずれの場合でも、反りを抑制した状態で処理を行うことができる。

【0019】

搬送部１０の把持部１１は、シート１の表面と直交する方向に対向する位置に配置されている第１の平板部１１ａと第２の平板部１１ｂとを備えており、第１の平板部１１ａと第２の平板部１１ｂでシート１を挟み込んで把持する。把持部１１がシート１と接する部分、具体的には、第１の平板部１１ａがシート１と接する部分、および、第２の平板部１１ｂがシート１と接する部分には、弾性体が設けられていてもよい。把持部１１がシート１と接する部分に弾性体が設けられた構成とすることにより、シート１との間の摩擦抵抗を大きくすることができ、シート１をより確実に把持することができる。弾性体は、例えば、ゴムまたは樹脂である。

【0020】

また、把持部１１がシート１と接する部分に弾性体が設けられる代わりに、滑り止め剤が塗布されていてもよいし、凹凸が設けられていてもよい。滑り止め剤は、公知のものを用いることが可能である。把持部１１がシート１と接する部分に滑り止め剤が塗布された構成とすることにより、シート１をより確実に把持することができる。また、把持部１１がシート１と接する部分に凹凸が設けられた構成とすることにより、シート１をより確実に把持することができる。

【0021】

搬送部１０の吸引部１２は、シート１を吸着する吸着面１２ａを有する。吸着面１２ａには、図３に示すように、複数の吸引孔１２ｂが設けられている。吸引孔１２ｂの形状、サイズおよび数は任意である。例えば、吸引孔１２ｂの形状は円形であり、吸着面１２ａのうち、シート１の縁部に対応する位置に設けられる吸引孔１２ｂの形状は、溝状の形状としてもよい。シート１の縁部に対応する位置に設けられる吸引孔１２ｂの形状を溝状の形状とすることにより、シート１をより確実に吸着することができる。

【0022】

吸引孔１２ｂは、図示しない吸引装置と接続されており、吸引装置による吸引によって吸着面１２ａに吸引力が生じる。ただし、吸引力を生じさせる構成が上述した構成に限定されることはなく、例えば、吸着面１２ａに真空パッドが埋め込まれた構成とすることによって、吸引力を発生させるようにしてもよい。

【0023】

なお、吸着面１２ａには、シート１の搬送先の形状に応じて、孔や凹みが存在していてもよい。

【0024】

幅方向における吸着面１２ａの寸法は、幅方向におけるシート１の寸法より大きいことが好ましい。吸着面１２ａの幅方向とシート１の幅方向は、同じ方向である。幅方向における吸着面１２ａの寸法が幅方向におけるシート１の寸法より大きいことにより、吸着面１２ａでシート１をより確実に吸着し、反りを効果的に抑制した状態でシート１を搬送することができる。ただし、幅方向における吸着面１２ａの寸法が幅方向におけるシート１の寸法以下であってもよい。

【0025】

図１に示す構成例では、吸引部１２は、シート１を上方から吸引するように構成されている。すなわち、吸引部１２の吸着面１２ａは、シート１の上方に位置する。ただし、後述するように、吸引部１２は、シート１を下方から吸引するように構成されていてもよい。

【0026】

搬送部１０は、把持部１１がシート１を把持し、かつ、吸引部１２がシート１を吸着した状態で、シート１を吸引ステージ２１へと搬送可能に構成されている。搬送部１０によってシート１を搬送する際、搬送方向におけるシート１の先端部は、吸着面１２ａから飛び出していないことが好ましい。搬送方向におけるシート１の先端部が吸着面１２ａから飛び出していないことにより、シート１の搬送時に、吸着面１２ａでシート１をより確実に吸着し、反りを効果的に抑制した状態でシート１を搬送することができる。ただし、シート１の搬送時に、搬送方向におけるシート１の先端部が吸着面１２ａから飛び出していてもよい。その場合でも、シート１をより確実に吸着するためには、吸着面１２ａからシート１の先端部が飛び出している量は、少ないことが好ましい。

【0027】

本実施形態において、吸引部１２は、把持部１１の第１の平板部１１ａと一体的に設けられている。具体的には、第２の平板部１１ｂと、第１の平板部１１ａのうちの第２の平板部１１ｂと対向する部分とが把持部１１を構成する。また、第１の平板部１１ａのうち、第２の平板部１１ｂと対向する部分以外の部分に吸引部１２が設けられている。ただし、吸引部１２は、把持部１１を構成する第１の平板部１１ａとは別に設けられていてもよい。

【0028】

図１に示すように、本実施形態において、吸引部１２は、把持部１１よりもシート１の搬送方向の前側に位置する。すなわち、吸引部１２は、シート１の搬送方向における前側に位置し、把持部１１は、後ろ側に位置する。

【0029】

ただし、図５に示すように、把持部１１が吸引部１２よりもシート１の搬送方向の前側に位置していてもよい。ただし、この場合、搬送部１０によってシート１を吸引ステージ２１へと搬送する際、第２の平板部１１ｂが吸引ステージ２１より高い位置となるまで搬送部１０を上昇させる必要がある。このため、搬送部１０の上昇量が少なく済むという観点からは、吸引部１２が把持部１１よりもシート１の搬送方向の前側に位置することが好ましい。

【0030】

また、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、把持部１１と吸引部１２がシート１の幅方向に並んで配置されていてもよい。図６（ａ）は、把持部１１と吸引部１２がシート１の幅方向に並んで配置されている場合の搬送部１０の構成を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す搬送部１０を矢印Ｙ１の方向に見たときの構成を模式的に示す図である。把持部１１と吸引部１２がシート１の幅方向に並んで配置された構成によれば、シート１の長さ方向における搬送部１０の配置スペースを小さくすることができる。

【0031】

さらに、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、搬送部１０がシート１の幅方向に並んで２つ設けられていてもよい。図７（ａ）は、搬送部１０がシートの幅方向に並んで２つ設けられている場合の構成を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す搬送部１０を矢印Ｙ２の方向に見たときの構成を模式的に示す図である。図７に示す構成例によれば、把持部１１および吸引部１２がそれぞれ、シート１の幅方向に並んで２つずつ配置されている。図７に示す構成例では、吸引部１２が把持部１１よりもシート１の搬送方向の前側に位置しているが、後ろ側に位置していてもよいし、シート１の幅方向において把持部１１と並んで配置されていてもよい。

【0032】

搬送部１０は、長尺状のシート１の長さ方向、および、シート１の表面と直交する方向に移動可能に構成されている。後述するように、搬送部１０は、シート１を吸引ステージ２１に搬送する際、シート１の表面と直交する方向に移動した後、シート１の長さ方向に移動する。

【0033】

吸引ステージ２１は、吸引によってシート１を吸着する。例えば、吸引ステージ２１には、複数の吸引孔が設けられており、吸引孔を介した吸引によってシート１を吸着する。吸引ステージ２１は、処理部２２の一部として構成されていてもよい。

【0034】

処理部２２は、吸引ステージ２１によって吸着された状態のシート１に対して処理を行う。処理部２２がシート１に対して行う処理は、例えば、シート１の切断、シート１に対する印刷、シート１に対する液体等の吐出物の吐出、シート１に対する熱処理、シート１の測定、シート１の検査、シート１に対するレーザ加工、シート１の組立加工、シート１の積層、および、シート１の搬送のうちの少なくとも１つである。ただし、処理部２２がシート１に対して行う処理が上述した処理に限定されることはない。

【0035】

以下では、図８および図９を参照しながら、本実施形態におけるシート処理装置１００の動作について説明する。ここでは、シート処理装置１００が受台３０をさらに備えた構成であるものとして説明する。受台３０は、シート１の搬送方向において、処理部２２の手前に設けられている。受台３０は、その上に載置されるシート１を吸引することによって吸着可能に構成されている。また、処理部２２は、シート１の切断を行うものとして説明する。

【0036】

図８（ａ）は、処理部２２で切断されたシート片１ｓが処理部２２から取り出された状態を示す図である。図８（ａ）では省略しているが、切断されたシート片１ｓは、例えば、吸着ヘッドによって吸着されて処理部２２から取り出される。切断されたシート片１ｓが処理部２２から取り出される際、長尺状のシート１は、搬送部１０の把持部１１によって把持されるとともに、吸引部１２によって吸着されており、かつ、受台３０によって吸着されている。ここでは、長尺状のシート１のうち、少なくとも把持部１１によって把持されている部分は、水平方向に延伸している。図８（ａ）に示すように、受台３０は、シート１の搬送方向において、搬送部１０の第２の平板部１１ｂと、吸引ステージ２１との間に配置されている。

【0037】

図８（ａ）に示す状態から受台３０の吸引を解除した後、搬送部１０をシート１の表面と直交する方向に移動させた後、シート１の長さ方向に移動させることによって、シート１を吸引ステージ２１へと搬送する（図８（ｂ））。ここでは、搬送部１０を上方向に移動させた後、吸引ステージ２１へと向かう水平方向に移動させることによって、シート１を吸引ステージ２１へと搬送する。搬送部１０がシート１を吸引ステージ２１に搬送する際、シート１の表面と直交する方向に移動した後にシート１の長さ方向へと移動することにより、シート１が吸引ステージ２１と接触することを抑制することができる。

【0038】

シート１を吸引ステージ２１へと搬送する際、搬送部１０は、把持部１１がシート１を把持し、かつ、吸引部１２がシート１を吸着した状態でシート１を搬送する。把持部１１がシート１を把持し、かつ、吸引部１２がシート１を吸着した状態でシート１を搬送することにより、シート１に反りが生じている場合でも、反りを抑制した状態でシート１を搬送することができる。

【0039】

ここで、搬送部１０は、シート１を吸引ステージ２１へと搬送する際、シート１の表面と直交する方向への移動中に、シート１の長さ方向に移動してもよい。例えば、搬送部１０は、シート１の表面と直交する方向への移動と、シート１の長さ方向への移動を同時に開始してもよいし、シート１の表面と直交する方向への移動中に、シート１の長さ方向への移動を開始してもよい。搬送部１０がシート１の表面と直交する方向への移動中に、シート１の長さ方向に移動することにより、シート１をより早く吸引ステージ２１へと搬送することができる。

【0040】

搬送部１０がシート１を吸引ステージ２１へと搬送する際、シート１には、長さ方向に張力が加えられている。シート１に張力を加える方法は、任意の方法で行うことができる。例えば、テンション制御用ローラ４０が移動することによって、シート１の長さ方向に張力が加わり続けるようにすることができる。なお、図８（ａ）～図９（ｃ）に示す過程において、シート１の長さ方向には常に張力が加わり続けていることが好ましい。

【0041】

続いて、搬送部１０を吸引ステージ２１に向かって移動させることによって、シート１を吸引ステージ２１上に載置する（図８（ｃ））。ここでは、搬送部１０を下方に移動させることによって、シート１を吸引ステージ２１上に載置する。吸引ステージ２１は、載置されたシート１を吸引することによって吸着する。また、受台３０もシート１を吸引することによって吸着する。このとき、搬送部１０の第２の平板部１１ｂは、処理部２２の外部に位置している。

【0042】

搬送部１０がシート１を吸引ステージ２１へと搬送した際、吸引部１２は、少なくとも吸引ステージ２１によるシート１の吸引の開始以後にシート１の吸引を解除する。具体的には、吸引部１２は、吸引ステージ２１による吸引の開始と同時か、または、吸引の開始より少し後のタイミングで、吸引を解除する。したがって、搬送部１０の吸引部１２によって吸着されていたシート１が吸引ステージ２１によって吸着されるまでの間、シート１は、吸引部１２および吸引ステージ２１の少なくとも一方に吸引されている。これにより、シート１が吸引ステージ２１に載置される際の位置ずれを抑制することができる。

【0043】

続いて、搬送部１０の把持部１１によるシート１の把持を解除する（図９（ａ））。この状態では、シート１は、吸引ステージ２１および受台３０によって吸引されて吸着されている。

【0044】

このように、吸引部１２がシート１を上方から吸引して、吸引ステージ２１の上にシート１を載置することにより、処理部２２によって、シート１の上面から処理を行うことができる。

【0045】

続いて、搬送部１０が処理部２２の外部へと出て、移動前の位置に戻るように、搬送部１０をシート１の長さ方向に移動させる（図９（ｂ））。ここでは、処理部２２から遠ざかるように搬送部１０を水平方向に移動させる。

【0046】

続いて、搬送部１０の把持部１１がシート１を把持し、その後に吸引部１２がシート１を吸引することによって吸着する（図９（ｃ））。処理部２２は、シート１を切断する処理を行う。

【0047】

以後、図８（ａ）～図９（ｃ）を用いて説明した工程を繰り返し行う。

【0048】

このように、一実施形態におけるシート処理装置１００によれば、搬送部１０は、把持部１１がシート１を把持し、かつ、吸引部１２がシート１を吸着した状態でシート１を吸引ステージ２１へと搬送し、吸引ステージ２１でシート１を吸着した状態で、処理部２２によってシート１に対して処理を行うので、シート１に反りが生じている場合でも、反りを抑制した処理を行うことができる。すなわち、シート１に反りが生じている場合でも、搬送部１０において把持部１１と吸引部１２が近傍に位置することにより、シート１を把持部１１で把持することである程度反りが矯正された状態で吸引部１２によって吸着することができるので、シート１を安定して吸着することができる。搬送部１０は、シート１が伸ばされて、反りが抑制された状態でシート１を吸引ステージ２１へと搬送し、吸引ステージ２１は、搬送されてくるシート１を、反りが抑制された状態で吸着する。したがって、処理部２２は、反りが抑制された状態のシート１に対して処理を行うことができる。

【0049】

なお、搬送部１０が吸引部１２を備えているので、把持部１１を使用せずに吸引部１２だけでシート１を吸着した状態で搬送することも可能である。しかしながら、シート１に反りが生じている場合や、シート１に張力が加えられている場合、シート１が薄くて破損しやすい場合などでは、吸着だけで搬送することが困難である。本実施形態におけるシート処理装置１００によれば、そのような場合でも、把持部１１がシート１を把持することにより、シート１を安定して搬送することができる。

【0050】

ここで、シート１の搬送方向が水平方向に限定されることはない。例えば、シート１の搬送方向は、図１０（ａ）に示すように、斜め方向でもよいし、図１０（ｂ）に示すように、鉛直方向でもよい。

【0051】

また、図１に示す構成では、シート１に対して第１の平板部１１ａが上方に位置し、第２の平板部１１ｂが下方に位置しているが、図１１に示すように、シート１に対して第２の平板部１１ｂが上方に位置し、第１の平板部１１ａが下方に位置していてもよい。図１１に示す構成では、吸引部１２の吸着面１２ａは、シート１の下方に位置する。また、吸引ステージ２１は、シート１を上方から吸引して吸着する。

【0052】

＜変形例＞
上述した一実施形態におけるシート処理装置１００において、シート１に反りが生じている場合の反り量によっては、搬送部１０の第１の平板部１１ａおよび第２の平板部１１ｂがシート１の長さ方向に移動する際に、シート１と干渉する可能性がある。例えば、搬送部１０が処理部２２の外部へと出て、移動前の位置に戻るように移動する際に（図９（ｂ））、第１の平板部１１ａおよび第２の平板部１１ｂのうちの少なくとも一方が、反りの生じているシート１と接触する可能性がある。このため、シート１に反りが生じている場合の反り量を検出し、検出した反り量に基づいて、搬送部１０がシート１から離れるようにシート１の表面と直交する方向に移動させてから、シート１の長さ方向に移動させてもよい。図９（ｂ）に示す例では、例えば、シートの反り量が大きい場合に、搬送部１０の第１の平板部１１ａをさらに上方に移動、および、第２の平板部１１ｂをさらに下方に移動のうちの少なくとも一方の移動を行ってから、シート１の長さ方向に移動させる。

【0053】

その場合、シート処理装置１００は、シート１に反りが生じている場合の反り量を検出するための反り量検出センサをさらに備えていてもよい。反り量検出センサは、例えば、レーザ光を送受信するレーザセンサ、または、超音波を送受信する超音波センサである。そのような構成によれば、シート１に生じている反り量が大きい場合でも、搬送部１０がシート１の長さ方向に移動する際にシート１と接触することを抑制することができる。

【0054】

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

【0055】

本出願におけるシート処理装置は、以下の通りである。
＜１＞．長尺状のシートを挟んで把持する把持部と、吸引によって前記シートを吸着する吸引部とを備える搬送部と、
吸引によって前記シートを吸着する吸引ステージと、
前記吸引ステージによって吸着された状態の前記シートに対して処理を行う処理部と、
を備え、
前記搬送部は、前記把持部が前記シートを把持し、かつ、前記吸引部が前記シートを吸着した状態で、前記シートを前記吸引ステージへと搬送することを特徴とするシート処理装置。
＜２＞．前記搬送部は、前記シートの長さ方向、および、前記シートの表面と直交する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする＜１＞に記載のシート処理装置。
＜３＞．前記搬送部は、前記シートを前記吸引ステージへと搬送する際、前記シートの表面と直交する方向に移動した後、前記シートの長さ方向に移動することを特徴とする＜２＞に記載のシート処理装置。
＜４＞．前記搬送部は、前記シートを前記吸引ステージへと搬送する際、前記シートの表面と直交する方向への移動中に、前記シートの長さ方向に移動することを特徴とする＜２＞に記載のシート処理装置。
＜５＞．前記吸引部は、少なくとも前記吸引ステージによる前記シートの吸引の開始より後に前記シートの吸引を解除することを特徴とする＜１＞～＜４＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜６＞．前記吸引部は、前記シートを上方から吸引することによって吸着することを特徴とする＜１＞～＜５＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜７＞．前記処理部は、前記シートの切断、前記シートに対する印刷、前記シートに対する吐出物の吐出、前記シートに対する熱処理、前記シートの測定、前記シートの検査、前記シートに対するレーザ加工、前記シートの組立加工、前記シートの積層、および、前記シートの搬送のうちの少なくとも１つの処理を行うことを特徴とする＜１＞～＜６＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜８＞．前記吸引部は、前記把持部よりも前記シートの搬送方向の前側に位置することを特徴とする＜１＞～＜７＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜９＞．前記把持部は、前記吸引部よりも前記シートの搬送方向の前側に位置することを特徴とする＜１＞～＜７＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜１０＞．前記吸引部は、前記把持部に対して前記シートの幅方向に並んで設けられていることを特徴とする＜１＞～＜７＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜１１＞．前記搬送部は、前記シートの幅方向に並んで２つ設けられていることを特徴とする＜１＞～＜１０＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜１２＞．前記把持部が前記シートを把持する際に前記シートと接する部分には、弾性体が設けられていることを特徴とする＜１＞～＜１１＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜１３＞．前記搬送部が前記シートを前記吸引ステージへと搬送する際、前記シートには、長さ方向に張力が加えられていることを特徴とする＜１＞～＜１２＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。
＜１４＞．前記シートは、前記シートの長さ方向および幅方向のうちの少なくとも一方の方向に反りが生じていることを特徴とする＜１＞～＜１３＞のいずれか一つに記載のシート処理装置。

【符号の説明】

【0056】

１ シート
２ 巻き出しローラ
１０ 搬送部
１１ 把持部
１１ａ 第１の平板部
１１ｂ 第２の平板部
１２ 吸引部
１２ａ 吸引部の吸着面
１２ｂ 吸引孔
２１ 吸引ステージ
２２ 処理部
３０ 受台
４０ テンション制御用ローラ
１００ シート処理装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】